JP2008516283A - 共振空洞のバス導波路への垂直結合 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2A
Description
本発明は、一部、助成金番号第MDA972−03−3−0004の下で米国高等研究計画局(DARPA)による政府支援を受けてなされた。米国政府は、本発明において一定の権利を有する。
最近、チャネルドロッピングフィルタ、WDMデマルチプレクサ及び能動スイッチを含む、微小空洞を組み込んだ多くの実際的なデバイスが実証された。これら共振構造に固有のスペクトル選択性により、それらは、波長分割多重(WDM)システムに対する適用に対し魅力あるものとなっている。バス導波路に結合することにより、単一リングが、入力導波路から別の導波路に共振波長を完全に転送し、定在波共振器に比較して優れた性能を提供することができる。これらデバイスは、非常に小型であることが可能であり、そのため大規模な集積化に適用が可能である。さらに、デバイス設計をわずかに変更することにより、同じ基本構造を使用して、波長可変レーザ、検出器及び変調器をWDMシステムに組み込むことができ、それによりWDMシステムの機能性が大幅に増大する、ということは容易に想像することができる。
Hryniewicz, J.V.他著、「Higher Order Filter Response in Coupled Microring Resonators」(IEEE Photonics Technology Letters, Vol.12, No.3, p.320-332, (March 2000)) Djordjev, Kostadin他著、「Vertically Coupled InP Microdisk Switching Devices with Electroabsorptive Active Regions」(IEEE Photonics Technology Letters, Vol.14, No.8, p.1115-1117, (August 2002) Djordjev, Kostadin他著、「High-Q Vertically Coupled InP Microdisk Resonators」(IEEE Photonics Technology Letters, Vol.14, No.3, p.331-333, (March 2002)) Choi, Seung June他著、「Microdisk Lasers Vertically Coupled to Output Waveguides」(IEEE Photonics Technology Letters, Vol.15, No.10, p.1330-1332, (October 2003)) Choi, Seung June他著、「Microring Resonators Vertically Coupled to Buried Heterostructure Bus Waveguides」(IEEE Photonics Technology Letters, Vol.16, No.3, p.828-830, (March 2004)) Rabus, D.G.他著、「MMI-Coupled Ring Resonators in GaInAsP-InP」(IEEE Photonics Technology Letters, Vol.13, No.8, p.812-814, (August 2001))
本発明によれば、リング共振器とバス導波路とを結合する垂直構成が使用される。垂直結合構成は、導波路と共振器との間のエピタキシャル成長結合とともに、結合係数の制御を可能にする。垂直結合構成により、導波路及び共振器構造における異なる材料組成、たとえば能動量子井戸共振器及び透明導波路が可能となり、それにより能動WDM部品の設計が容易になる。
本発明の一実施形態は、空洞からのエネルギー漏れを低くそのためQ値を高くするために、深くエッチングされた共振器を使用するというものである。
Claims (11)
- 光デバイスであって、
表面を有する基板(203)と、
前記表面上に配置される導波路(201)と、
当該デバイスの結合領域(204)において前記導波路に垂直に結合され且つ前記表面上に配置される共振器(200)と
を具備する、光デバイス。 - 前記共振器(200)は、前記基板(203)にモノリシックに集積される、請求項1に記載の光デバイス。
- 前記導波路(201)は、前記共振器(200)の材料とは異なる材料を含む、請求項1に記載の光デバイス。
- 前記導波路(201)は受動的であり、前記共振器(200)は能動的である、請求項3に記載の光デバイス。
- 前記導波路(201)は透明材料を含み、前記共振器(200)は量子井戸を形成する複数の材料を含む、請求項3に記載の光デバイス。
- 前記導波路(201)は、
コア層(201)と、
前記コア層を包囲するクラッディング層(205)と
を備える、請求項1に記載の光デバイス。 - 前記クラッディング層(205)は、前記結合領域(204)においてより小さい径を有する、請求項6に記載の光デバイス。
- 前記クラッディング層(205)の一部はテーパ状の径を有し、該径は、前記結合領域(204)において最小であるように該結合領域からの距離に従って変化する、請求項6に記載の光デバイス。
- 前記径は断熱的に変化する、請求項8に記載の光デバイス。
- 前記導波路(201)は、高屈折率導波路の特性を有することからBH導波路の特性を有することまで変化する、請求項6に記載の光デバイス。
- 前記共振器(200)は、
コア層と、
前記コア層の一方の側に配置される第1のクラッディング層(202)と、
前記コア層の前記一方の側とは反対の側に配置される第2のクラッディング層(202)と
を備える、請求項1に記載の光デバイス。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010535356A (ja) * | 2007-07-30 | 2010-11-18 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | 微小共振装置およびその製造方法 |
JP2011197606A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-06 | Nec Corp | 光導波路型波長フィルタ及びその製造方法 |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA2668654A1 (en) * | 2006-11-21 | 2008-05-29 | Onechip Photonics Inc. | Integrated optics arrangement for wavelength (de)multiplexing in a multi-guide vertical stack |
US20080273567A1 (en) * | 2007-05-02 | 2008-11-06 | Amnon Yariv | Hybrid waveguide systems and related methods |
US7561770B2 (en) | 2007-07-30 | 2009-07-14 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Microresonator systems and methods of fabricating the same |
CN100464205C (zh) * | 2007-10-18 | 2009-02-25 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种微谐振环信道选择光开关 |
WO2009113469A1 (ja) * | 2008-03-13 | 2009-09-17 | 日本電気株式会社 | 光デバイス、その製造方法とそれを用いた光集積デバイス |
US9008467B2 (en) * | 2008-03-20 | 2015-04-14 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Nanoparticle-based quantum confined stark effect modulator |
US20100260453A1 (en) * | 2009-04-08 | 2010-10-14 | Block Bruce A | Quality factor (q-factor) for a waveguide micro-ring resonator |
US9057829B2 (en) | 2010-05-14 | 2015-06-16 | Cornell University | Tunable optical apparatus, method, and applications |
GB201113125D0 (en) * | 2011-07-29 | 2011-09-14 | Univ St Andrews | An optical resonator device |
US8625939B1 (en) * | 2011-11-29 | 2014-01-07 | Sandia Corporation | Ultralow loss cavities and waveguides scattering loss cancellation |
EP3118661A4 (en) * | 2014-03-28 | 2017-03-29 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Optical interconnection device, optoelectronic chip system, and optical signal sharing method |
WO2017214366A1 (en) | 2016-06-08 | 2017-12-14 | University Of Central Florida Research Foundation, Inc. | Photonic methods and apparatus for controlling polarization |
US10247676B1 (en) * | 2016-06-17 | 2019-04-02 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Optical microresonator device with thermal isolation |
US10114173B2 (en) * | 2017-03-14 | 2018-10-30 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Optical device |
US11131601B2 (en) * | 2017-11-30 | 2021-09-28 | Rain Tree Photonics Pte. Ltd. | Method for in-line optical testing |
US11101620B2 (en) * | 2018-08-16 | 2021-08-24 | Ramot At Tel-Aviv University Ltd. | Response shaping by multiple injection in a ring-type structure |
US10942321B1 (en) * | 2019-09-04 | 2021-03-09 | Globalfoundries U.S. Inc. | Hybrid wavelength-division multiplexing filters |
CN111628036B (zh) * | 2020-07-30 | 2020-11-06 | 武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 | 一种具有谐振波导结构的光电探测器 |
CN114608632B (zh) * | 2022-04-15 | 2024-01-19 | 南京邮电大学 | 一种多层多波长多模式多参量微环传感器及制备方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5370839A (en) * | 1976-12-07 | 1978-06-23 | Fujitsu Ltd | Production of optical wave guide circuit |
JPH08213690A (ja) * | 1994-12-05 | 1996-08-20 | Hitachi Cable Ltd | 高利得光増幅器用導波路及びその製造方法 |
JPH1152156A (ja) * | 1997-08-06 | 1999-02-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 位相型光導波路及びその製造方法 |
JP2002072260A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光スイッチ素子及び波長ルータ |
JP2002543452A (ja) * | 1999-04-23 | 2002-12-17 | サントル・ナショナル・ドゥ・ラ・レシェルシュ・サイエンティフィーク | 共振光学コンポーネントを含む集積型フォトニック回路とその製造方法 |
JP2004109888A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Yasuo Kokubu | 光導波路及びその製造方法 |
WO2004061524A2 (en) * | 2002-12-17 | 2004-07-22 | General Electric Company | A tunable micro-ring filter for optical wdm/dwdm communication |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6411752B1 (en) * | 1999-02-22 | 2002-06-25 | Massachusetts Institute Of Technology | Vertically coupled optical resonator devices over a cross-grid waveguide architecture |
US6891865B1 (en) * | 2002-02-15 | 2005-05-10 | Afonics Fibreoptics, Ltd. | Wavelength tunable laser |
US20040037341A1 (en) * | 2002-08-21 | 2004-02-26 | Tan Michael R. | Laser utilizing a microdisk resonator |
US6965128B2 (en) * | 2003-02-03 | 2005-11-15 | Freescale Semiconductor, Inc. | Structure and method for fabricating semiconductor microresonator devices |
-
2004
- 2004-10-08 US US10/961,940 patent/US20060078254A1/en not_active Abandoned
-
2005
- 2005-08-31 JP JP2007535685A patent/JP2008516283A/ja active Pending
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5370839A (en) * | 1976-12-07 | 1978-06-23 | Fujitsu Ltd | Production of optical wave guide circuit |
JPH08213690A (ja) * | 1994-12-05 | 1996-08-20 | Hitachi Cable Ltd | 高利得光増幅器用導波路及びその製造方法 |
JPH1152156A (ja) * | 1997-08-06 | 1999-02-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 位相型光導波路及びその製造方法 |
JP2002543452A (ja) * | 1999-04-23 | 2002-12-17 | サントル・ナショナル・ドゥ・ラ・レシェルシュ・サイエンティフィーク | 共振光学コンポーネントを含む集積型フォトニック回路とその製造方法 |
JP2002072260A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光スイッチ素子及び波長ルータ |
JP2004109888A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Yasuo Kokubu | 光導波路及びその製造方法 |
WO2004061524A2 (en) * | 2002-12-17 | 2004-07-22 | General Electric Company | A tunable micro-ring filter for optical wdm/dwdm communication |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010535356A (ja) * | 2007-07-30 | 2010-11-18 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | 微小共振装置およびその製造方法 |
JP2011197606A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-06 | Nec Corp | 光導波路型波長フィルタ及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB0707688D0 (en) | 2007-05-30 |
US20060078254A1 (en) | 2006-04-13 |
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GB2433330A (en) | 2007-06-20 |
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