JP2008307812A - Printing plate holder - Google Patents
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- 238000007639 printing Methods 0.000 title abstract description 27
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 100
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 100
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 81
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 38
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 20
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 19
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 10
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 5
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
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Abstract
Description
本発明は、段ボール印刷、フィルム印刷、プレプリント印刷、ラベル印刷などの凸版印刷用の液状版感光性樹脂凸版を製版する際に用いられる版保持具に関する。 The present invention relates to a plate holder used for making a liquid plate photosensitive resin relief plate for relief printing such as corrugated cardboard printing, film printing, preprint printing, and label printing.
従来の版保持具は、液状版感光性樹脂凸版の横幅以上の長さを有する長尺部材の前面又は後面に、間隔を開けて複数個のクランプが、前記長尺部材との間で前記液状版感光性樹脂凸版の版頭を挟み込むことができるように設けられた構成とされている。 In the conventional plate holder, a plurality of clamps are provided at intervals on the front or rear surface of a long member having a length equal to or greater than the width of the liquid plate photosensitive resin relief plate, and the liquid is interposed between the long member and the long member. The plate photosensitive resin relief plate is provided so that the plate head can be sandwiched.
ところで、液状版感光性樹脂凸版は、特許文献1に記載されているように、露光、回収、現像、後露光及び乾燥の各工程を経て製版される。このとき、例えば樹脂の回収工程において、樹脂回収装置に前記構成の版保持具を引っ掛けて、液状版感光性樹脂凸版を吊り下げ、前記液状版感光性樹脂凸版の未硬化樹脂を回収する。回収工程の済んだ前記液状版感光性樹脂凸版は、次の工程を行う処理装置まで作業員が手作業で搬送する。
By the way, as described in
つまり、液状版感光性樹脂凸版の工程間の搬送を搬送機構によって、機械式に自動で行う技術は見聞することができない。 In other words, it is impossible to observe a technique for automatically carrying out the conveyance between the processes of the liquid plate photosensitive resin relief printing plate mechanically by the conveyance mechanism.
そのため、液状版感光性樹脂凸版の工程間の搬送を搬送機構によって、機械式に自動で行う際に、好適に用いられる版保持具も見聞することができない。 Therefore, it is impossible to observe a plate holder that is suitably used when the liquid plate photosensitive resin relief printing is automatically conveyed mechanically by the conveyance mechanism.
本発明の目的は、液状版感光性樹脂凸版の工程間の搬送を搬送機構によって、機械式に自動で行い、液状版感光性樹脂凸版を製版する際に好適に用いることができる、版保持具を提供することである。 An object of the present invention is to provide a plate holder that can be suitably used when plate-making a liquid plate photosensitive resin relief plate by carrying out mechanical transfer automatically between processes of the liquid plate photosensitive resin relief plate by a conveyance mechanism. Is to provide.
上記課題を解決するための手段として、請求項1に記載した発明に係る版保持具は、
液状版感光性樹脂凸版を製版する際に用いられる版保持具であって、
前記液状版感光性樹脂凸版の横幅以上の長さを有する長尺部材の前面又は後面に、間隔を開けて複数個のクランプが、前記長尺部材との間で前記液状版感光性樹脂凸版の版頭を挟み込むことができるように、設けられていること、
前記長尺部材の側部に側面板が設けられており、前記側面板には穴が形成されていることを特徴とする。
As means for solving the above-mentioned problem, a plate holder according to the invention described in
A plate holder used when making a liquid plate photosensitive resin relief plate,
A plurality of clamps are provided on the front surface or the rear surface of the long member having a length equal to or greater than the lateral width of the liquid plate photosensitive resin relief plate, and a plurality of clamps are provided between the long member and the liquid plate photosensitive resin relief plate. Be provided so that the plate head can be sandwiched,
A side plate is provided on a side portion of the long member, and a hole is formed in the side plate.
請求項2記載の発明は、請求項1に記載の版保持具において、
側面板の穴の個数は4個であることを特徴とする。
The invention according to
The number of holes in the side plate is four.
請求項3記載の発明は、請求項1に記載の版保持具において、
長尺部材の上端部に引っ掛け片が形成されていることを特徴とする。
The invention according to
A hook piece is formed at the upper end of the long member.
本発明に係る版保持具は、液状版感光性樹脂凸版の工程間の搬送を搬送機構によって、機械式に自動で行い、液状版感光性樹脂凸版を製版する際に好適に用いることができる。 The plate holder according to the present invention can be suitably used when a liquid plate photosensitive resin relief printing plate is made by a mechanical mechanism that automatically transfers the liquid plate photosensitive resin relief printing plate between steps.
本発明に係る版保持具を図面に基づいて説明する。 A plate holder according to the present invention will be described with reference to the drawings.
本実施形態の版保持具1は、液状版感光性樹脂凸版2の横幅l以上の長さLを有する長尺部材3の後面(但し、前面でも可能。)に、間隔を開けて複数個のクランプ4が、前記長尺部材3との間で前記液状版感光性樹脂凸版2の版頭を挟み込むことができるように、設けられている(図1及び図2を参照)。
The
長尺部材3は液状版感光性樹脂凸版2を保持するのに十分な強度を有する鋼製の薄板材からなり、液状版感光性樹脂凸版2を保持した際に両側に突出部3aが形成される長さLとされている。クランプ4と4との間隔部分には肉抜き5が施されており、軽量化が図られている(図1を参照)。
The
クランプ4は、ハンドル4aを図2の矢印方向に回転させることで、前記ハンドル4aの端部に連結されたリンク機構4bが稼動し、前記リンク機構4bの端部に連結された押さえ棒4cの端部が長尺部材3に押し付けられ、又は引き離される構成とされている(図2を参照)。なお、前記押さえ棒4cの端部には、液状版感光性樹脂凸版2を長尺部材3との間に保持した際に、損傷させないようにゴム製のキャップ6が嵌め込まれている。
The clamp 4 rotates the
要するに、上記構成の版保持具1は、通例の版保持具と略同様の構成とされているが、長尺部材3の側部に側面板7が、前記長尺部材3に対して略直角に設けられており、この側面板7には穴8が形成されていることを特徴とする。つまり、詳細は後述するが、前記側面板7の穴8に、工程間を結ぶ搬送機構のピンを差し込んで、搬送する構成とされているのである。そのため、側面板7は、前記のように搬送機構のピンを穴8に差し込んで搬送した際に、液状版感光性樹脂凸版2を支持するのに十分な強度を発現させることができる、厚さ、大きさ、形状を有している。したがって、版保持具1は、液状版感光性樹脂凸版2の工程間の搬送を搬送機構によって、機械式に自動で行い、液状版感光性樹脂凸版2を製版する際に好適に用いることができる。ちなみに、本実施形態では、長尺部材3の両側部を同一方向に略直角に折り曲げて矩形状の側面板7とし、この側面板7に4個の穴8を形成している(請求項2記載の発明)。
In short, the
上記構成の版保持具1を用いて、液状版感光性樹脂凸版2を搬送する形態を説明する。本実施形態では、向かい合うように配置した樹脂回収装置9と洗浄装置10との間を搬送機構11によって搬送する(図3を参照)。なお、後述する樹脂回収装置9、洗浄装置10及び搬送機構11などは左右対称であるため、前記樹脂回収装置9側から見て左側部分のみを説明及び図示する。
A mode in which the liquid plate photosensitive
樹脂回収装置9は、通例の樹脂回収装置と同様に、露光装置で例えば液状感光性樹脂層に透明部を有するネガフィルムを通して活性光を照射した際に、活性光が照射されず未硬化樹脂の部分いわゆる非画像部を、ゴムブレードによる接触方式や、ホットエアナイフによる非接触方式によって液状版感光性樹脂凸版2の本体から除去する構成とされている(図示は省略)。
Similarly to the usual resin recovery device, the
すなわち、樹脂回収装置9は、吊り下げた状態で液状版感光性樹脂凸版2を搬入、搬出するのに十分な大きさを有する開口部が正面側及び背面側に形成された門型のケーシング12を有する(図3を参照)。前記ケーシング12内の側部に昇降機構13が設けられている。前記昇降機構13によって梁材14が昇降可能に支持されており、前記梁材14は駆動手段(図示は省略)によって回転可能な構成とされている。
That is, the
前記梁材14に所定の間隔でフック15が設けられている(図4を参照)、前記フック15に作業員の人力によって、正面側の開口部から液状版感光性樹脂凸版2の版保持具1が引っ掛けられて、前記液状版感光性樹脂凸版2が吊り下げられる。このとき、良好に吊り下げることができるように長尺部材3の上端部には、L型の引っ掛け片16が連続するように形成されていることが好ましい(図1等を参照、請求項3記載の発明)。
吊り下げられた液状版感光性樹脂凸版2の未硬化樹脂は、ケーシング12内の側部に設けられた昇降機構によって昇降可能に支持されたゴムブレードで除去される。このとき、同じく昇降機構によって昇降可能に支持されたゴムブレード支持部によって、液状版感光性樹脂凸版2の露光面の裏面から前記ゴムブレードに反力を与える。
The uncured resin of the suspended liquid plate photosensitive
樹脂回収装置9には、回収工程が済んだ液状版感光性樹脂凸版2を搬送機構11に受け渡す受け渡し機構17が設けられている(図4を参照)。受け渡し機構17は、ケーシング12の背面側の開口部から液状版感光性樹脂凸版2を搬出し、搬送機構11の受け渡し位置まで搬送することができるように、前記ケーシング12に支持されたレール18と、前記レール18に沿って滑走する滑走部材19とを有する。
The
前記滑走部材19は前記レール18に沿って滑走できるようにローラやモータ、さらには上下方向に伸縮可能なシリンダ20(図6)などが格納された基台部21と、前記シリンダ20の上端部に連結された差し込み部22とを有する。前記差し込み部22は上方に開放した凹み部22aを有し、前記凹み部22aには、版保持具1における側面板7と液状版感光性樹脂凸版2との間の突出部3aが差し込まれる。
The sliding
回収工程が済んだ液状版感光性樹脂凸版2は、昇降機構13によって下降させる。それと共に、受け渡し機構17の滑走部材19は、前記液状版感光性樹脂凸版2を保持する版保持具1の直下位置まで移動させる(図5を参照)。前記版保持具1の突出部3aを、前記滑走部材19の差し込み部22の凹み部22aに差し込む。その後、梁材14を駆動手段によって、図5の矢印方向に回転させてフック15を版保持具1の引っ掛け片16から外して、前記梁材14を昇降機構13によって上昇させる。最後に、滑走部材19をレール18に沿って滑走させ、搬送機構11との受け渡し位置まで前記液状版感光性樹脂凸版2を移動させる(図6を参照)。このとき、前記液状版感光性樹脂凸版2の版尻が引っ掛からないように、昇降機構によってゴムブレード等を、前記液状版感光性樹脂凸版2の版尻より低い位置まで下降させる。ちなみに、フック15を版保持具1の引っ掛け片16から外す際に、前記フック15が前記引っ掛け片16に引っ掛からないように、フック15の上端部が丸みを帯びた形状とされていることが好ましい。
The liquid plate photosensitive
搬送機構11は、樹脂回収装置9と前記液状版感光性樹脂凸版2の受け渡しが可能な位置に設けられている。即ち、樹脂回収装置9と洗浄装置10とを連結するようにレール23が架け渡されており、前記レール23を上下から挟み込むローラ24によって前記レール23に沿って移動可能に吊り下げ片25が支持されている(図7を参照)。この吊り下げ片25の下部には、水平方向に伸縮可能な2本のシリンダが、版保持具1の側面板7の上側2個の穴8に差し込まれるピン26として設けられている。ちなみに、搬送機構11の洗浄装置10側の端部は、前記洗浄装置10内まで導かれている(図8を参照)。
The
受け渡し機構17によって前記液状版感光性樹脂凸版2を吊り下げ片25の下方に配置すると、滑走部材19のシリンダ20を伸ばして、版保持具1の側面板7の上側2個の穴8と前記搬送機構11のピン26とが同心位置となるように前記版保持具1ごと上方に持ち上げる。前記搬送機構11のピン26を伸ばして、前記版保持具1の側面板7の上側2個の穴8に差し込む(図6を参照)。滑走部材19のシリンダ20を縮め、前記版保持具1の突出部3aを開放する。その後、液状版感光性樹脂凸版2が吊り下げられた状態で吊り下げ片25をレール23に沿って移動させ、洗浄装置10のケーシング27内に搬入する。このとき、2個の穴8にピン26を差し込んで液状版感光性樹脂凸版2を搬送するので、前記液状版感光性樹脂凸版2が振られることがほとんどなく、好都合である。
When the liquid plate photosensitive
洗浄装置10は、通例の洗浄装置と同様に、樹脂回収装置9で除去されずに液状版感光性樹脂凸版2の表面に残留した未硬化樹脂に、界面活性剤や消泡剤を含有した洗浄液を噴射したり、ナイロンや動物毛によるブラシで掻き取ったりして完全に表面から除去する構成とされている。
The
すなわち、洗浄装置10は、液状版感光性樹脂凸版2を吊り下げた状態で搬入、搬出するのに十分な大きさの開口部が樹脂回収装置9側(正面側)に形成された箱型のケーシング27を有する。前記ケーシング27内の側部に昇降機構が設けられており、前記昇降機構によって洗浄ノズル及び表面処理ノズルが昇降可能に支持されている(図示は省略)。
In other words, the
洗浄ノズルは、液状版感光性樹脂凸版2の横幅以上の長さを有する筒状部材に無数の穴が形成されている。前記洗浄ノズルは、タンクから洗浄ポンプで吸い上げられた洗浄液を液状版感光性樹脂凸版2の表面に噴射することによって、樹脂回収装置9で除去しきれず表面に残留した未硬化樹脂を完全に洗い流す。
The cleaning nozzle has innumerable holes formed in a cylindrical member having a length equal to or longer than the width of the liquid plate photosensitive
表面処理ノズルも、液状版感光性樹脂凸版2の横幅以上の長さを有する筒状部材に無数の穴が形成されている。前記表面処理ノズルは、上記タンクとは異なるタンクから表面処理ポンプで吸い上げられた表面処理液を噴射することによって、前記洗浄ノズルで完全に洗い流された液状版感光性樹脂凸版2の表面の粘着性を除去する。
The surface treatment nozzle also has innumerable holes formed in a cylindrical member having a length equal to or larger than the lateral width of the liquid plate photosensitive
表面処理液の噴射後は、液状版感光性樹脂凸版2の表面に残留した表面処理液を洗い流すために水等で版表面をリンスする構成とされている。
After the surface treatment liquid is jetted, the plate surface is rinsed with water or the like in order to wash away the surface treatment liquid remaining on the surface of the liquid plate photosensitive
ケーシング27内の背面には、上記のように洗浄処理される液状版感光性樹脂凸版2を支持する支持部材28が、前記搬送機構11と前記液状版感光性樹脂凸版2の受け渡しが可能な位置に設けられている(図8を参照)。前記支持部材28には、水平方向に伸縮可能な2本のシリンダが、搬送された液状版感光性樹脂凸版2の版保持具1における側面板7の下側2個の穴8に差し込まれるピン29として設けられている。
On the back surface in the
洗浄装置10内に液状版感光性樹脂凸版2を搬入した吊り下げ片25は、前記ピン29と版保持具1の側面板7の下側2個の穴8とが同心位置となるように移動させる。前記ピン29を伸ばして側面板7の下側2個の穴8に差し込むと共に、吊り下げ片25のピン26を縮めて側面板7の上側2個の穴8から抜き取り、液状版感光性樹脂凸版2を支持部材28によって支持する。前記吊り下げ片25を洗浄装置10の外方に移動させる。その後、前記ピン29によって支持された液状版感光性樹脂凸版2は、上述したように洗浄処理する。版保持具1をピン26の支持からピン29の支持へと移行させる際も、常に2本のピンで版保持具1が支持されているので、振られることがなく、安定している。
The
なお、昇降機構としては、支柱に沿って昇降する機構、チェーン、ベルト駆動によって昇降する機構など、公知の昇降機構を採用することができ、特に限定されない。 In addition, as a raising / lowering mechanism, well-known raising / lowering mechanisms, such as a mechanism raising / lowering along a support | pillar, a chain, and a mechanism raising / lowering by belt drive, can be employ | adopted, and it does not specifically limit.
以上より、本発明に係る版保持具1は、液状版感光性樹脂凸版2の工程間の搬送を搬送機構11によって、機械式に自動で行い、液状版感光性樹脂凸版2を製版する際に好適に用いることができる。
As described above, the
本発明の実施形態を説明したが、本発明はこうした実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の形態で実施し得る。例えば、穴は2つで1ピン毎突き刺す。ただし突き刺したあとピンが二つに割れて上下、または左右に広がり版保持具をしっかり固定(ホールド)する。それによって、版保持具が不安定にぐらつくことを抑制する。また別例で、ピンを突き刺すことによって版を保持、搬送するのではなく、掴むような機構(チャッキング機構)によってピンの代わりに保持、搬送することも可能であるが、コストや作業の正確性の点からは、上記実施形態が好ましい。 Although the embodiments of the present invention have been described, the present invention is not limited to these embodiments and can be implemented in various forms without departing from the gist of the present invention. For example, two holes are inserted into each pin. However, after the piercing, the pin breaks into two and spreads up and down or left and right to firmly hold the plate holder. As a result, the plate holder is prevented from unstablely wobbling. In another example, the plate can be held and transported instead of the pin by a gripping mechanism (chucking mechanism) instead of holding and transporting the plate by piercing the pin. From the viewpoint of the properties, the above embodiment is preferable.
本発明の版保持具は、段ボール印刷、フィルム印刷、プレプリント印刷、ラベル印刷などの凸版印刷用の液状版感光性樹脂凸版を製版する際に利用可能である。 The plate holder of the present invention can be used when making a liquid plate photosensitive resin relief plate for relief printing such as cardboard printing, film printing, preprint printing, label printing, and the like.
1 版保持具
2 液状版感光性樹脂凸版
3 長尺部材
3a 突出部
4 クランプ
7 側面板
8 穴
9 樹脂回収装置
10 洗浄装置
11 搬送機構
L 版保持具の長さ
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記液状版感光性樹脂凸版の横幅以上の長さを有する長尺部材の前面又は後面に、間隔を開けて複数個のクランプが、前記長尺部材との間で前記液状版感光性樹脂凸版の版頭を挟み込むことができるように、設けられていること、
前記長尺部材の側部に側面板が設けられており、前記側面板には穴が形成されていることを特徴とする、版保持具。 A plate holder used when making a liquid plate photosensitive resin relief plate,
A plurality of clamps are provided on the front surface or the rear surface of the long member having a length equal to or greater than the lateral width of the liquid plate photosensitive resin relief plate, and a plurality of clamps are provided between the long member and the liquid plate photosensitive resin relief plate. Be provided so that the plate head can be sandwiched,
A plate holder, wherein a side plate is provided on a side portion of the elongated member, and a hole is formed in the side plate.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007158617A JP2008307812A (en) | 2007-06-15 | 2007-06-15 | Printing plate holder |
PCT/JP2008/060596 WO2008153017A1 (en) | 2007-06-15 | 2008-06-10 | Photoengraving apparatus for liquid type photosensitive resin letterpress, photoengraving method using the apparatus, and drying device, post-exposing device, letterpress holding member, and resin recovering device constituting the photoengraving apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007158617A JP2008307812A (en) | 2007-06-15 | 2007-06-15 | Printing plate holder |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008307812A true JP2008307812A (en) | 2008-12-25 |
Family
ID=40235848
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007158617A Pending JP2008307812A (en) | 2007-06-15 | 2007-06-15 | Printing plate holder |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008307812A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112672883A (en) * | 2018-04-26 | 2021-04-16 | 赛康印前公众有限公司 | Apparatus and method for handling and transporting relief printing plate precursors |
-
2007
- 2007-06-15 JP JP2007158617A patent/JP2008307812A/en active Pending
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---|---|---|---|---|
CN112672883A (en) * | 2018-04-26 | 2021-04-16 | 赛康印前公众有限公司 | Apparatus and method for handling and transporting relief printing plate precursors |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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