JP2008294352A - 露光方法及び露光用フォトマスク - Google Patents
露光方法及び露光用フォトマスク Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008294352A JP2008294352A JP2007140403A JP2007140403A JP2008294352A JP 2008294352 A JP2008294352 A JP 2008294352A JP 2007140403 A JP2007140403 A JP 2007140403A JP 2007140403 A JP2007140403 A JP 2007140403A JP 2008294352 A JP2008294352 A JP 2008294352A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- exposure
- photomask
- pattern
- mask pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【課題】オーバーレイエラーを低減させる露光方法を提供する。
【解決手段】マスクパターン102と、マスクパターン102を相補するマスクパターン104とが形成された露光用フォトマスク100に光源からの光を照射し、マスクパターン102,104をそれぞれマスクとして試料の同一領域に重ねて露光する。スキャナ装置で露光(転写)する場合には、相補する2つのマスクパターン102,104がスキャナ装置のスキャン方向Sに沿って並べて形成する。
【選択図】図1
【解決手段】マスクパターン102と、マスクパターン102を相補するマスクパターン104とが形成された露光用フォトマスク100に光源からの光を照射し、マスクパターン102,104をそれぞれマスクとして試料の同一領域に重ねて露光する。スキャナ装置で露光(転写)する場合には、相補する2つのマスクパターン102,104がスキャナ装置のスキャン方向Sに沿って並べて形成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、露光方法及び露光用フォトマスクに係り、特に、二重パターニング(ダブルパターニング:Double Patterning)或いは二重露光(ダブル露光:Double Exposure)技術に関する。また、これらに用いる相補パターンが形成されるマスクに関する。
半導体デバイスの微細化の進展を担うリソグラフィ技術は半導体製造プロセスのなかでも唯一パターンを生成する極めて重要なプロセスである。近年、LSIの高集積化に伴い、半導体デバイスに要求される回路線幅は年々微細化されてきている。これらの半導体デバイスへ所望の回路パターンを形成するためには、高精度の原画パターン(レチクル或いはマスクともいう。)が必要となる。
ここで、回路線幅の微細化に伴って、より波長の短い露光光源が求められるが、露光光源となる例えばArFレーザーの延命手法として、近年、二重露光技術と二重パターニング技術が注目されている。二重露光は、レジストが塗布されたウェハに2枚のマスクを取り替えながら同一領域に続けて露光する手法である。そして、その後に現像、及びエッチング工程等を経て所望するパターンをウェハ上に形成する。他方、二重パターニングは、レジストが塗布されたウェハに第1のマスクで露光し、現像、及びエッチング工程等を経てから再度レジストを塗布して第2のマスクでウェハの同一領域に露光する手法である。これらの技術は、現在の技術の延長で行なうことができる点でメリットがある。そして、これらの技術では、ウェハ上で所望するパターンを得るために2枚のマスクが必要になる。
図3は、従来の二重パターニング用マスクを説明するための概念図である。
図3に示すように、所望するパターン302をウェハへ露光するためには、フォトマスク300では、解像度が得られないために、2つのマスクに分ける必要があった。すなわち、フォトマスク310にパターン302の一部となるパターン312を形成し、フォトマスク320にパターン302の残りの一部となるパターン314を形成していた。そして、ステッパやスキャナ等の露光装置にこれら2つのフォトマスク310,320を順にセットして、それぞれ露光していた。
図3に示すように、所望するパターン302をウェハへ露光するためには、フォトマスク300では、解像度が得られないために、2つのマスクに分ける必要があった。すなわち、フォトマスク310にパターン302の一部となるパターン312を形成し、フォトマスク320にパターン302の残りの一部となるパターン314を形成していた。そして、ステッパやスキャナ等の露光装置にこれら2つのフォトマスク310,320を順にセットして、それぞれ露光していた。
しかしながら、説明したように、露光する際に2枚のマスクを入れ替える必要がある。そのために、露光装置にセットする際の位置合わせが重要となってくる。位置がずれるとパターンの重ね合わせ誤差(オーバーレイのエラー)を生じる。この誤差がパターンの線幅寸法(CD)に直接影響を与えてしまう。
また、露光装置の露光エリアとして、スキャナ装置では例えば20mm×30mm角以上が規定されている。しかし、実際のデバイスでは、1つのチップがこの露光エリア全体を占めることは稀である。通常、1つのマスクに複数個の同一チップを形成することが行なわれる。
図4は、従来の二重パターニング用マスクの他の例を説明するための概念図である。
複数個の同一チップが形成されるとすると、図4に示すように、マスクAで示すフォトマスク200には、チップAで示す所望する4つのパターン202が形成されることになる。しかし、このままでは解像度が限界を超えているので、マスクBで示すフォトマスク210とマスクCで示すフォトマスク220とに分けることになる。そして、フォトマスク210には、チップBで示す所望する4つのパターン212が形成される。そして、フォトマスク220には、チップCで示す所望する4つのパターン214が形成される。このように複数のチップを1枚のマスクに持たせることで生産性を向上させている。しかし、いくらこのように複数のチップをもたせたとしてもフォトマスク210とフォトマスク220とを交換する際の位置ずれを回避することは困難である点に変わりは無い。
図4は、従来の二重パターニング用マスクの他の例を説明するための概念図である。
複数個の同一チップが形成されるとすると、図4に示すように、マスクAで示すフォトマスク200には、チップAで示す所望する4つのパターン202が形成されることになる。しかし、このままでは解像度が限界を超えているので、マスクBで示すフォトマスク210とマスクCで示すフォトマスク220とに分けることになる。そして、フォトマスク210には、チップBで示す所望する4つのパターン212が形成される。そして、フォトマスク220には、チップCで示す所望する4つのパターン214が形成される。このように複数のチップを1枚のマスクに持たせることで生産性を向上させている。しかし、いくらこのように複数のチップをもたせたとしてもフォトマスク210とフォトマスク220とを交換する際の位置ずれを回避することは困難である点に変わりは無い。
ここで、二重露光技術や二重パターニングと異なりパターンを重ね合わさないマルチ露光用に、x方向のパターンとy方向のパターンを1つのマスク上に形成するといった技術が文献に開示されている(例えば、特許文献1参照)。
特開2007−72423号公報
上述したように、2枚のマスクを交換する際の位置合わせ誤差によって、オーバーレイのエラーが生じ、CD誤差を生むといった問題があった。
そこで、本発明は、かかる問題点を克服し、オーバーレイエラーを低減させる露光方法およびフォトマスクを提供することを目的とする。
本発明の一態様の露光方法は、
第1のマスクパターンと、第1のマスクパターンを相補する第2のマスクパターンとが形成された露光用フォトマスクに光源からの光を照射し、
第1と第2のマスクパターンをそれぞれマスクとして試料の同一領域に重ねて露光することを特徴とする。
第1のマスクパターンと、第1のマスクパターンを相補する第2のマスクパターンとが形成された露光用フォトマスクに光源からの光を照射し、
第1と第2のマスクパターンをそれぞれマスクとして試料の同一領域に重ねて露光することを特徴とする。
1つの露光用フォトマスクに第1と第2のマスクパターンの両方を形成することで、マスク交換による位置ずれを回避することができる。
また、スキャナ装置を用いて露光が行なわれ、
第1と第2のマスクパターンは、スキャナ装置のスキャン方向に並んで形成されると好適である。
第1と第2のマスクパターンは、スキャナ装置のスキャン方向に並んで形成されると好適である。
そして、第1と第2のマスクパターンは、スキャン方向と直交する方向の位置を合わせて形成されると好適である。
また、露光用フォトマスクには、複数の第1のマスクパターンと複数の第2のマスクパターンとが形成されても好適である。
本発明の一態様の露光用フォトマスクは、
マスク基板と、
マスク基板上に形成された第1のマスクパターンと、
第1のマスクパターンとは異なるマスク基板上の領域に形成され、第1のマスクパターンが転写される領域に重ねて転写されることによって第1のマスクパターンを相補する第2のマスクパターンと、
を備えたことを特徴とする。
マスク基板と、
マスク基板上に形成された第1のマスクパターンと、
第1のマスクパターンとは異なるマスク基板上の領域に形成され、第1のマスクパターンが転写される領域に重ねて転写されることによって第1のマスクパターンを相補する第2のマスクパターンと、
を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、マスク交換時の位置合わせ誤差を無くすことができる。よって、オーバーレイエラーを無くす或いは低減させることができる。
実施の形態1.
図1は、実施の形態1におけるフォトマスクの一例を示す概念図である。
図1において、フォトマスク110には、ウェハ等の試料に露光したい所望するチップAで示すマスクパターン112が形成されている。しかし、限界解像度を超えた波長の光を露光光源として用いる場合には、上述したように、二重露光技術や二重パターニング技術を用いることができる。その場合、従来の手法では、所望するマスクパターン112を複数、例えば、チップB,Cで示す相補する2つのマスクパターン102,104に分けてそれぞれ1枚ずつのフォトマスクを形成することになる。その結果、マスク交換の位置ずれの問題を引き起こしていた。そこで、実施の形態1の露光用フォトマスク100では、図1に示すように、1枚のマスク基板106上に、チップB,Cで示す相補する2つのマスクパターン102,104の両方を形成する。1つの露光用フォトマスク100に相補する2つのマスクパターン102,104の両方を形成することで、マスク交換による位置ずれを回避することができる。
図1は、実施の形態1におけるフォトマスクの一例を示す概念図である。
図1において、フォトマスク110には、ウェハ等の試料に露光したい所望するチップAで示すマスクパターン112が形成されている。しかし、限界解像度を超えた波長の光を露光光源として用いる場合には、上述したように、二重露光技術や二重パターニング技術を用いることができる。その場合、従来の手法では、所望するマスクパターン112を複数、例えば、チップB,Cで示す相補する2つのマスクパターン102,104に分けてそれぞれ1枚ずつのフォトマスクを形成することになる。その結果、マスク交換の位置ずれの問題を引き起こしていた。そこで、実施の形態1の露光用フォトマスク100では、図1に示すように、1枚のマスク基板106上に、チップB,Cで示す相補する2つのマスクパターン102,104の両方を形成する。1つの露光用フォトマスク100に相補する2つのマスクパターン102,104の両方を形成することで、マスク交換による位置ずれを回避することができる。
ここで、上述したように、実際のデバイスでは、1つのチップがこの露光エリア全体を占めることは稀である。そのため、図1に示すように、相補する2つのマスクパターン102,104を並べて配置することができると共に、例えば、複数個ずつ配置することができる。図1では、マスクパターン102,104を2つずつ配置した例を示している。このように複数のチップを1枚のマスクに持たせることで従来の位置ずれを回避しながらさらに生産性を向上させることができる。また、スキャナ装置で露光(転写)する場合には、相補する2つのマスクパターン102,104がスキャナ装置のスキャン方向Sに沿って並んで形成されると好適である。例えば、図1に示すように、−y方向に向かってスキャンする場合には、マスクパターン102,104をy方向に並べて形成する。そして、スキャン方向と直交するx方向の位置を合わせておく。このように配置することで、スキャン中にx方向の移動を回避することができる。
そして、このようなマスクパターン102と、マスクパターン102を相補するマスクパターン104とが形成された露光用フォトマスク100を用いて、試料の同一領域に重ねて露光する。以下、二重パターニングの場合の露光手順に沿って説明する。
図2は、実施の形態1における二重パターニング方法の要部工程を示すフローチャート図である。
S(ステップ)102において、マスクセット工程として、露光装置に露光用フォトマスク100をセットする。露光装置は、スキャナ装置であっても良いし、ステッパ装置であってもよい。
S(ステップ)102において、マスクセット工程として、露光装置に露光用フォトマスク100をセットする。露光装置は、スキャナ装置であっても良いし、ステッパ装置であってもよい。
S104において、第1の露光工程として、露光用フォトマスク100に光源からの光を照射し、マスクパターン102をマスクとして、レジストが塗布されたシリコンウェハ等の基板(試料)の露光領域にマスクパターン102を転写する。
S106において、現像工程として、マスクパターン102が転写された基板を現像する。これによりマスクパターン102と同内容のレジストパターンを形成することができる。
S108において、エッチング工程として、レジストの開口部を介して露出した基板上の膜をエッチングする。
S110において、第2の露光工程として、露光用フォトマスク100に光源からの光を照射し、マスクパターン104をマスクとして、再度レジストが塗布された基板の露光された同一領域にマスクパターン104を重ねて転写する。
S112において、現像工程として、マスクパターン104が転写された基板を現像する。これによりマスクパターン104と同内容のレジストパターンを形成することができる。
S114において、エッチング工程として、レジストの開口部を介して露出した基板上の膜をエッチングする。
以上により、チップAで示した微細パターンを基板に形成することができる。ここでは、二重パターニングの場合について説明したが、同一領域に重ねて露光する二重露光の場合にも使用可能であることは言うまでも無い。
以上、具体例を参照しつつ実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。
また、装置構成や制御手法等、本発明の説明に直接必要しない部分等については記載を省略したが、必要とされる装置構成や制御手法を適宜選択して用いることができる。
その他、本発明の要素を具備し、当業者が適宜設計変更しうる全ての露光方法及び露光用フォトマスクは、本発明の範囲に包含される。
100,110,200,210,220,300,310,320 フォトマスク
102,104,112 マスクパターン
106 マスク基板
202,212,214,302,312,314 パターン
102,104,112 マスクパターン
106 マスク基板
202,212,214,302,312,314 パターン
Claims (5)
- 第1のマスクパターンと、前記第1のマスクパターンを相補する第2のマスクパターンとが形成された露光用フォトマスクに光源からの光を照射し、
前記第1と第2のマスクパターンをそれぞれマスクとして試料の同一領域に重ねて露光することを特徴とする露光方法。 - スキャナ装置を用いて前記露光が行なわれ、
前記第1と第2のマスクパターンは、スキャナ装置のスキャン方向に並んで形成されることを特徴とする請求項1記載の露光方法。 - 前記第1と第2のマスクパターンは、前記スキャン方向と直交する方向の位置を合わせて形成されることを特徴とする請求項1又は2記載の露光方法。
- 前記露光用フォトマスクには、複数の前記第1のマスクパターンと複数の前記第2のマスクパターンとが形成されることを特徴とする請求項1〜3いずれか記載の露光方法。
- マスク基板と、
前記マスク基板上に形成された第1のマスクパターンと、
前記第1のマスクパターンとは異なる前記マスク基板上の領域に形成され、前記第1のマスクパターンが転写される領域に重ねて転写されることによって前記第1のマスクパターンを相補する第2のマスクパターンと、
を備えたことを特徴とする露光用フォトマスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007140403A JP2008294352A (ja) | 2007-05-28 | 2007-05-28 | 露光方法及び露光用フォトマスク |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007140403A JP2008294352A (ja) | 2007-05-28 | 2007-05-28 | 露光方法及び露光用フォトマスク |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008294352A true JP2008294352A (ja) | 2008-12-04 |
Family
ID=40168740
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007140403A Pending JP2008294352A (ja) | 2007-05-28 | 2007-05-28 | 露光方法及び露光用フォトマスク |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008294352A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011100108A (ja) * | 2009-10-06 | 2011-05-19 | Hoya Corp | マスクブランク、転写用マスク、および転写用マスクセット |
KR101751542B1 (ko) | 2009-10-06 | 2017-06-27 | 호야 가부시키가이샤 | 마스크 블랭크, 전사용 마스크, 및 전사용 마스크 세트 |
JP2018097376A (ja) * | 2012-08-01 | 2018-06-21 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | ウェーハの検査、及び/又はウェーハ上に形成されるデバイスの一つ若しくは複数の特性の予測 |
-
2007
- 2007-05-28 JP JP2007140403A patent/JP2008294352A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011100108A (ja) * | 2009-10-06 | 2011-05-19 | Hoya Corp | マスクブランク、転写用マスク、および転写用マスクセット |
KR101751542B1 (ko) | 2009-10-06 | 2017-06-27 | 호야 가부시키가이샤 | 마스크 블랭크, 전사용 마스크, 및 전사용 마스크 세트 |
JP2018097376A (ja) * | 2012-08-01 | 2018-06-21 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | ウェーハの検査、及び/又はウェーハ上に形成されるデバイスの一つ若しくは複数の特性の予測 |
JP2020057008A (ja) * | 2012-08-01 | 2020-04-09 | ケーエルエー コーポレイション | デバイスの特性の予測方法及びシステム |
JP2021182162A (ja) * | 2012-08-01 | 2021-11-25 | ケーエルエー コーポレイション | デバイスの特性の予測方法及びシステム |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4996978B2 (ja) | 描画方法 | |
US8533634B2 (en) | Exposure mask manufacturing method, drawing apparatus, semiconductor device manufacturing method, and mask blanks product | |
US7244533B2 (en) | Method of the adjustable matching map system in lithography | |
US20110091797A1 (en) | Superimpose photomask and method of patterning | |
JP2001022051A (ja) | レチクル及び半導体装置の製造方法 | |
US9513552B2 (en) | Multiple-patterning photolithographic mask and method | |
US20040248016A1 (en) | Method of designing a reticle and forming a semiconductor device therewith | |
JP2006310446A (ja) | 半導体装置の製造方法、および露光装置 | |
US6455203B1 (en) | Mask structure and method of manufacturing the same | |
US7141338B2 (en) | Sub-resolution sized assist features | |
JP2008294352A (ja) | 露光方法及び露光用フォトマスク | |
JP4794408B2 (ja) | フォトマスク及び半導体装置の製造方法 | |
TW200304669A (en) | Multi-exposure lithography method and system providing increased overlay accuracy | |
JP3245556B2 (ja) | ミックスアンドマッチ露光方法 | |
JP2004071767A (ja) | マスク、露光方法および半導体装置の製造方法 | |
JP2000021714A (ja) | 露光方法および装置、ならびにデバイス製造方法 | |
CN113504710B (zh) | 光刻工艺中的多次曝光的方法 | |
KR20010028305A (ko) | 위치정합 보정 방법 | |
JP4529099B2 (ja) | レチクル、露光方法および半導体装置の製造方法 | |
JP2008218594A (ja) | 露光方法 | |
JP2003347203A (ja) | マスク、パターンの転写方法、アライメント精度測定方法、および装置 | |
US7910268B2 (en) | Method for fabricating fine pattern in photomask | |
JPH11204407A (ja) | パターンデータ作成方法 | |
JP2002072447A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2000305276A (ja) | 露光方法および装置 |