JP2008286743A - 計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検物(被検物50)にパターン光を投影するパターン投影部(液晶素子41、投影レンズ42、バックライト44)と、前記パターン光の一部を変調させるパターン変調部(パターン発生回路20中の点滅データ発生回路22)と、前記被検物に投影された前記パターン光の投影像(投影パターン60)を撮影するパターン撮影部(撮影カメラ43)と、前記投影像から前記パターン変調部によって変調された領域(点滅部分60c)を検出する変調領域検出部(パターン処理回路30中の点滅部検出回路31)と、前記変調領域検出部によって検出された変調領域の情報に基づいて前記被検物の形状を計測する形状計測部(パターン処理回路30中の断面形状計測回路32)と、を備える。
【選択図】 図1
Description
20 パターン発生回路
21 固定パターンデータ発生回路
22 点滅データ発生回路
30 パターン処理回路
31 点滅部検出回路
32 断面形状計測回路
33 形状合成回路
40 計測部
41 液晶素子
42 投影レンズ
43 撮影カメラ
44 バックライト
50 被検物
60 投影パターン
60a 白色部分
60b 黒色部分
Claims (7)
- 被検物にパターン光を投影するパターン投影部と、
前記パターン光の一部を変調させるパターン変調部と、
前記被検物に投影された前記パターン光の投影像を撮影するパターン撮影部と、
前記投影像から前記パターン変調部によって変調された領域を検出する変調領域検出部と、
前記変調領域検出部によって検出された変調領域の情報に基づいて前記被検物の形状を計測する形状計測部と、
を備えることを特徴とする計測装置。 - 請求項1に記載の計測装置において、
前記パターン変調部は前記パターン光の一部を時間的に変化させることを特徴する計測装置。 - 請求項2に記載の計測装置において、
前記投影像は平行縞模様からなり、
前記パターン光の一部の時間的変化によって前記平行縞模様の一部を点滅させることを特徴とする計測装置。 - 請求項1ないし3の何れか一項に記載の計測装置において、
前記形状計測部は前記パターン変調部の変調動作に同期して前記被検物の形状を計測することを特徴とする計測装置。 - 請求項3又は4に記載の計測装置において、
前記点滅の周期は前記パターン撮影部の撮影の周期の整数倍であることを特徴とする計測装置。 - 請求項3ないし5の何れか一項に記載の計測装置において、
前記パターン変調部は前記平行縞模様を構成する各縞模様が順次点滅するように前記パターン光の一部を変調させることを特徴とする計測装置。 - 請求項1ないし6の何れか一項に記載の計測装置において、
前記形状計測部は、前記パターン撮影部の位置と、前記パターン投影部の位置と、前記パターン撮影部の光軸方向と、前記投影像の前記変調領域の形状とに基づいて、前記変調領域に対応する前記被検物の箇所の形状を演算によって求めることを特徴とする計測装置。
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JP2007134220A JP2008286743A (ja) | 2007-05-21 | 2007-05-21 | 計測装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011021970A (ja) * | 2009-07-15 | 2011-02-03 | Nikon Corp | 三次元形状測定装置および三次元形状測定方法 |
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-
2007
- 2007-05-21 JP JP2007134220A patent/JP2008286743A/ja active Pending
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