JP2008286670A - テスト条件パラメータ抽出方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】テスト条件を適切に抽出できるテスト条件パラメータ抽出方法を提供する。
【解決手段】テストプログラム1は、抽出手段21へ入力され、テスト条件パラメータを抽出される。抽出手段21において抽出されたテスト条件パラメータは、中間ファイル生成手段22へ入力され、中間ファイル4として生成された後に、上書き手段23へ入力される。上書き手段23は、入力された中間ファイル4とフロー情報と出力条件2とに基づき、計算機内のメモリのうち半導体試験装置のレジスタに対応してテスト条件パラメータを記憶する領域において、テスト条件パラメータの上書きを行うものである。上書き手段23を用いて必要に応じテスト条件パラメータを順次上書きしていくことにより、新しい値が設定されない場合に設定済みの値をそのまま引き継ぐことが可能となる。
【選択図】図2
【解決手段】テストプログラム1は、抽出手段21へ入力され、テスト条件パラメータを抽出される。抽出手段21において抽出されたテスト条件パラメータは、中間ファイル生成手段22へ入力され、中間ファイル4として生成された後に、上書き手段23へ入力される。上書き手段23は、入力された中間ファイル4とフロー情報と出力条件2とに基づき、計算機内のメモリのうち半導体試験装置のレジスタに対応してテスト条件パラメータを記憶する領域において、テスト条件パラメータの上書きを行うものである。上書き手段23を用いて必要に応じテスト条件パラメータを順次上書きしていくことにより、新しい値が設定されない場合に設定済みの値をそのまま引き継ぐことが可能となる。
【選択図】図2
Description
本発明は、テスト条件パラメータ抽出方法に関し、特に、半導体試験装置用のテストプログラムにおいてテスト条件パラメータを短時間で適切に抽出するための技術に関する。
半導体試験装置においては、最終製品の市況や半導体の注文状況に伴い稼働率が増減するので、社内での負荷調整の一手法として、稼働率の高い半導体試験装置から稼働率の低い半導体試験装置へのテストプログラムの変更が行われている。
このとき、変換先(変更後)テストプログラムは、本来はテスト仕様書に基づき生成されるべきものではあるが、変更内容のフィードバックが不十分な場合に情報が欠落することを防ぐために、テストを行うときの電圧値等の条件に関するパラメータ情報(テスト条件パラメータ)を変換元(変更前)テストプログラムから抽出し変換することにより変換先テストプログラムを生成する場合が多い。また、このテスト条件パラメータの抽出および変換は、半自動または人手で行われることが多い。このテスト条件パラメータは、テストにおいて半導体試験装置のH/W(ハードウェア)にセットされる命令のパラメータであり、電圧値の他に、タイミング値等が挙げられる。また、定数のみならず演算式で表されることもある。
特に、変換対象がマイコン用テストプログラムの場合、テスト条件パラメータがほとんど変わらない製品から数十品種の製品が派生しており且つ製品寿命が長いという特徴により、似通ったテストプログラムが多数存在したり、複数の作業者が変換元テストプログラムを複数回変更している可能性があったりするので、解読ミスに繋がるおそれがある。従って、これを防ぐために、半自動や人手ではなく全て自動でテストプログラム変換(特にテスト条件の抽出)を行いたいというニーズがある。従来のプログラム変換方法の例は、例えば特許文献1〜3に開示されている。
一般的な半導体試験装置においては、テスト条件パラメータは、半導体試験装置が内蔵するレジスタに保管される。また、一般的なテストプログラムは、複数のテスト項目を含んでおり、各テスト項目において、テスト条件パラメータとして所定の値が設定され、テストが実行される。従って、半導体試験装置内のレジスタにテスト条件パラメータとして保管された内容は、テストプログラムにおいて複数のテスト項目が順次実行されるのに伴い、異なった値に上書きされていく。
しかし、例えば、引き続き実行される第1乃至第2テスト項目において、テスト条件パラメータとして同じ値(例えば電圧値を表す変数VS2=6.0V)が用いられる場合には、第2テスト項目においては、第1テスト項目で設定された値(6.0V)をそのまま用いることができる。このような場合には、第2テスト項目においては、必ずしも変数VS2を設定する必要はないので、変数VS2を設定する命令(VS2=6.0V)は省略されることがある。従来のプログラム変換方法は、このような点を考慮していなかったので、テスト条件パラメータ(上記の例では第2テスト項目における変数VS2の設定値)を適切に抽出できない場合があるという問題点があった。
本発明は以上の問題点を解決するためになされたものであり、テスト条件パラメータを適切に抽出できるテスト条件パラメータ抽出方法を提供することを目的とする。
本発明に係るテスト条件パラメータ抽出方法は、半導体試験装置において実行される複数のテスト項目を含むテストプログラムから複数のテスト項目それぞれにおける実行時のテスト条件パラメータを抽出するテスト条件パラメータ抽出方法であって、(a)テストプログラムから、テスト項目の実行順序を規定するフロー情報を抽出するステップと、(b)フロー情報を参照して、テストプログラムから複数のテスト項目それぞれにおける実行時のテスト条件パラメータを抽出するステップとを備え、ステップ(b)において、所定のテスト条件パラメータの値が、フロー情報に従い先に実行される第1テスト項目において設定され後に実行される第2テスト項目において設定されない場合には、所定のテスト条件パラメータは第2テスト項目においては第1テスト項目において設定された値が抽出される。
本発明に係るテスト条件パラメータ抽出方法では、所定のテスト条件パラメータの値が、フロー情報に従い先に実行される第1テスト項目において設定され後に実行される第2テスト項目において設定されない場合には、所定のテスト条件パラメータは第2テスト項目においては第1テスト項目において設定された値が抽出される。従って、テスト条件パラメータを適切に抽出できる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。本発明は、マイコン、メモリ、あるいはSOC製品等の半導体を試験する半導体試験装置のテストプログラムを変換する場合に適用可能である。
なお、本明細書において、テスト項目とは、半導体試験装置において所定の条件(電圧値等)下でDUT(被試験デバイス)に対して行われる1単位のテストの内容を指すものとする。また、テストプログラムとは、通常複数個のテスト項目を含んで構成され、一の半導体製品を試験するためのプログラムを指すものとする。また、テスト条件パラメータとは、テストにおいて半導体試験装置のH/W(ハードウェア)にセットされる命令のパラメータ(電圧値等)を指すものとする(定数または演算式で表されるものとする)。また、フロー情報とは、テストプログラムにおいて各テスト(項目)が実行される順序を規定する情報を指すものとする(なお、テスト条件と呼ぶ場合には、狭義には単にテスト条件パラメータを指す場合と、広義にはテスト条件パラメータにフロー情報を合わせた情報を指す場合とがある)。
<実施の形態1>
図1は、実施の形態1に係るプログラム変換システムの動作(テスト条件パラメータ抽出方法)を示す概念図である。
図1は、実施の形態1に係るプログラム変換システムの動作(テスト条件パラメータ抽出方法)を示す概念図である。
図1(a)に示される半導体試験装置においては、図1(b)に示されるようなテストプログラムを用いることにより、テスト条件パラメータで表される所定の電圧VS1,VS2をDUTに印加し、その際に流れる電流値に基づき判定を行っている。
すなわち、先に実行される第1テスト項目(”TEST 100”)においては、VS1=5.0V且つVS2=6.0Vに設定した後に、DUTに電圧VS1を2回印加し(”Dc_test”)、その際にDUTにそれぞれ流れる電流値data1,data2を測定しこれらに基づき判定を行っている(具体的には、電流値data2が、電流値data1以下で且つ0mA以上という制限(変数”Limit”)を満たしている場合に、試験をパスする)。
また、後に実行される第2テスト項目(”TEST 200”)においては、VS1=4.0Vに設定した後に、所定の試験(”Func_test”)を行っている。
第2テスト項目においては、電圧VS2は設定されないが、第2テスト項目は第1テスト項目に引き続き実行されるので、第2テスト項目においては、電圧VS2は第1テスト項目で設定された値(6.0V)を保った状態で、所定の試験(”Func_test”)が行われる。本発明に係るプログラム変換システムは、このようにテスト項目間でテスト条件パラメータが引き継がれることに着目することにより、テスト条件パラメータを適切に抽出することを特徴とするものである。
図2は、本実施の形態に係るプログラム変換システム10の機能を示すブロック図である。このプログラム変換システム10は、テストプログラムにおいて、ソースをS/W(ソフトウェア)エミュレートすることによりテスト条件パラメータを抽出した後に、変換を行うものである。図1には示されていないが、プログラム変換システム10は、CPU等の処理手段やメモリ等の記憶手段等を内蔵する計算機と、画像を表示するモニタ等の表示手段とユーザから指示を入力するキーボード等の入力手段とを備え、以下の処理は主に処理手段からの制御に基づき行われる。
図2において、テストプログラム1(変換元プログラム)は、抽出手段21へ入力され、テストを行うときの電圧値等の条件に関するパラメータ情報(テスト条件パラメータ)とプログラムの実行フローに関する情報(フロー情報)とを抽出される。テスト条件パラメータは、テストプログラム1に記載されている演算式から抽出され、フロー情報は、テストプログラム1に記載されているテスタ命令から抽出される(広義のテスト条件の抽出)。
抽出手段21において抽出されたテスト条件パラメータは、中間ファイル生成手段22へ入力され、中間ファイル4として生成された後に、上書き手段23へ入力される。この中間ファイル4は、テスト条件パラメータを暫定的に記憶しておくファイルであるが、あるいはファイルに限らず単なるデータ(中間データ)であってもよい。また、抽出手段21において抽出されたフロー情報は、上書き手段23へ直接に入力される。また、上書き手段23には、テスト条件パラメータの抽出結果を出力する出力条件2が入力(指定)される。上書き手段23は、入力された中間ファイル4とフロー情報と出力条件2とに基づき、計算機内のメモリのうち半導体試験装置のレジスタに対応してテスト条件パラメータを記憶する領域において、テスト条件パラメータの上書きを行うものである。
すなわち、上述したように、テストプログラム1において複数個のテスト項目を順次に実行していく場合には、半導体試験装置のレジスタ内に保管されているテスト条件パラメータは、新しい値に設定(すなわち上書き)される場合もあれば、新しい値が設定されず設定済みの値をそのまま引き継ぐ場合もある。従って、計算機内のメモリにおいても、半導体試験装置のレジスタと同様に、上書き手段23を用いて必要に応じテスト条件パラメータを順次上書きしていくことにより、新しい値が設定されない場合に設定済みの値をそのまま引き継ぐことが可能となる。
また、上書きされたテスト条件パラメータは、出力手段24を介して結果ファイル5として出力される。
図3は、図2のプログラム変換システム10の動作を示すフローチャートである。
まず、ステップS1において、テスト条件パラメータの抽出結果を出力する出力条件2が上書き手段23へ入力(指定)される。この出力条件2は、図4を用いて後述するように、全てのテスト条件パラメータを抽出するか、特定のテスト項目のテスト条件パラメータのみを抽出するかを指定するためのものである。
次に、ステップS2へ進み、抽出手段21において、テストプログラム1からテスト条件パラメータおよびフロー情報が抽出される。
次に、ステップS3へ進み、中間ファイル生成手段22において、ステップS2で抽出されたテスト条件パラメータが中間ファイル4として生成され、上書き手段23へ入力される。
次に、ステップS4へ進み、上書き手段23において、ステップS1で入力された出力条件2とステップS2で抽出されたフロー情報とステップS3で入力された中間ファイル4とに基づき、計算機内のメモリに記憶されているテスト条件パラメータの上書きが行われる。
次に、ステップS5へ進み、出力手段24を介して、ステップS4で上書きされた記憶手段内のテスト条件パラメータが結果ファイル5として出力される。以上で、テストプログラム変換システム10の1サイクルの処理が完了する。
なお、図2〜3においては、テスト条件パラメータのみを中間ファイル4を経て結果ファイル5として出力させる場合について説明したが、テスト条件パラメータに加えてフロー情報も中間ファイル4を経て結果ファイル5として出力させてもよい。
図4は、図3のステップS1の詳細な動作を示すフローチャートである。
まず、ステップS1−1において、デバイス測定時の温度条件やテスト工程の情報が指定される。
次に、ステップS1−2へ進み、抽出すべきテスト条件パラメータが指定される。具体的には、全てのテスト条件パラメータを抽出するか、特定のテスト項目のテスト条件パラメータのみを抽出するかが指定される(特定のテスト項目のみにおいてテスト条件パラメータ抽出する場合には、このテスト項目のテスト番号も指定される)。この指定に応じて、図3のステップS2〜ステップS3の動作が異なってくる。
以下では、図4のステップS1−2で全てのテスト条件パラメータを抽出する指定が行われた場合における図3のステップS2〜S3の動作を、図5〜20を用いて詳細に説明する。
従来のプログラム変換システムにおいては、テストフローの実行順序に沿って順次テスト条件パラメータを抽出していたので、条件分岐を多く含んだテストプログラムでは、本来であれば1回だけ抽出すればよいテスト条件パラメータが複数回必要以上に抽出されることがあった。本実施の形態に係るプログラム変換システム10は、図5〜20において、以下のような特徴を有するような処理を行うことにより、1回だけ抽出すればよいテスト条件パラメータが複数回抽出されることを防いでいる。
すなわち、ステップS3において、ステップS2で抽出されたテスト条件パラメータが中間ファイル生成手段22により中間ファイル4として生成されるが、このとき、テスト条件パラメータを、条件分岐、テスト本体、およびサブルーチン呼び出しそれぞれの実行に応じてテスト条件ファイル4A〜4Kに分割して生成する。また、テスト条件ファイル4A〜4Kの生成に並行して、フロー、サブルーチン呼び出し先、および条件分岐の分岐先と分岐元とに関する情報からなる順序情報(以下では、フロー情報、サブルーチン呼び出し先情報、および条件分岐情報とそれぞれ呼ぶ)を計算機のメモリに記憶させる。そして、ステップS4において、上記の順序情報に基づきテスト条件パラメータの上書きを行う。
図5は、図1のテストプログラム1の具体例を示す図である。テストプログラム1は、26行からなり、予め所定の値が設定されている変数a,b,cの値に応じて(具体的には値が0であるか否かで)、テスト条件パラメータとしての電圧値を表す変数VS1〜VS4を設定するものである。
図5に示されるように、テストプログラム1は、第1〜19行からなるメインルーチン100と第20〜26行からなるサブルーチン200とから構成されている。メインルーチン100は、第2〜6行からなるテストルーチン110と第7〜18行からなるテストルーチン120とを含んで構成されている。
第1行はメインルーチン100の開始を示す命令であり、第19行はメインルーチン100の終了を示す命令であり、第20行はサブルーチン200の開始を示す命令であり、第26行はサブルーチン200の終了を示す命令である。なお、サブルーチン200においては、変数cの値に応じて変数VS4が設定されるので、名称”set_vs4”が付与されている。
また、第2行はテストルーチン110の開始およびそのテスト番号(100)を示す命令であり、第7行はテストルーチン120の開始およびそのテスト番号(200)を示す命令である。
また、第6行および第18行には、それぞれ、テスト本体を実行する命令が記載されている。すなわち、テストルーチン110では第3〜5行で設定された変数VS1,VS2,VS4に基づき、テストルーチン120では第8〜17行で設定された変数VS3〜VS4(およびテストルーチン110で設定された変数VS1,VS2)に基づき、それぞれ、テスト本体が実行される。具体的には、名称”Func_test”が付与されたサブルーチンが呼び出され実行されるが、このサブルーチンの内容は本発明との直接の関わりは薄いので図示は省略している。
また、第5行および第17行には、それぞれ、サブルーチン200を呼び出して実行する命令が記載されている。このサブルーチン200は、上述したように、変数cの値に応じて変数VS4を設定する機能を有するブロックであり、具体的には、変数c=0である場合には、変数VS4=2.5Vに設定され、それ以外の場合には変数VS4=2.8Vに設定される。
すなわち、テストルーチン110では、第3行でVS1=5.5Vに設定され第4行でVS2=5.5Vに設定された後に、第5行において変数VS4が設定される。また、テストルーチン120では、第8〜9行で、変数a=0である場合には、変数VS3=5.0Vに設定され、変数a=0でない場合には、変数b=0であるときには第11〜12行で変数VS3=5.1Vに設定され、変数b=0でないときには第13〜14行で変数VS3=5.5Vに設定される。
すなわち、図5のテストプログラム1では、テストルーチン110,120における変数VS4の設定工程が同一であるので、これをサブルーチン200として共用している。
図6〜18は、図5のテストプログラム1において図4のステップS2〜S3を実行した場合に計算機のメモリに記憶される内容および生成される中間ファイル4を示す図である。図6〜18においては、中間ファイル4は、テスト条件ファイル4A〜4Kとして示されており、テスト条件パラメータとしての電圧値を表す変数VS1〜VS4を記憶する。
図6は、テストプログラム1の第1〜4行の変換処理を示す図である。メモリ内においては、フロー情報がフロー情報記憶部310に、サブルーチン呼び出し先情報がサブルーチン呼び出し先情報記憶部320に、条件分岐情報が条件分岐情報記憶部330に記憶されている。
第1行においては、フロー情報記憶部310には、テストプログラム1の名称”a”と、実行される行番号=1と、テスト番号=0(テストルーチンが開始されていないことを示す)と、サブルーチン/分岐番号=0(サブルーチン呼び出しおよび条件分岐がいずれも行われないことを示す)と、区間番号=1(1番目の区間であることを示す)と、メインルーチン100の開始を示す命令”begin”(メインルーチン100の名称として付与される)が記憶される。また、区間番号=1に対応するテスト条件ファイル4A(空ファイル)が新規に生成される。なお、この区間番号は、条件分岐の実行またはテスト番号の変更(ルーチンの変更)に伴いカウントアップされ、カウントアップされた区間番号に対応する中間ファイルが新規に生成(分割)されていくものとする。また、以下では、テストプログラム1の名称”a”および実行される行番号の記憶については、煩雑となることを避けるために説明を省略する。
第2行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=100(テストルーチン110が開始されたことを示す)と、サブルーチン/分岐番号=0とが記憶される。
第3行においては、テスト条件ファイル4Aに、VS1=5.5Vを表す情報が記載される。
第4行においては、テスト条件ファイル4Aに、VS2=5.5Vを表す情報が記載される。
図7は、テストプログラム1の第5行の変換処理を示す図である。
第5行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=100と、サブルーチン/分岐番号=SUB1−0(1番目のサブルーチンの1回目の呼び出しが行われることを示す)と、サブルーチン200の名称”set_vs4”とが記憶される。また、サブルーチン呼び出し先情報記憶部320には、1番目のサブルーチン(SUB1)であるサブルーチン200が名称”set_vs4”に対応している旨が記憶される。また、条件分岐情報記憶部330には、名称”begin”が付与されたメインルーチン100からサブルーチン番号=SUB1−0を有するサブルーチン(200)への呼び出しが行われた旨が記憶される。すなわち、本実施の形態においては、呼び出されたサブルーチンに条件分岐が含まれていることを予め見越して、サブルーチンが呼び出されるとその旨を条件分岐情報記憶部330に記憶させている。
図8は、テストプログラム1の第6行の変換処理を示す図である。
第6行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=100と、サブルーチン/分岐番号=0と、区間番号=2(2番目の区間であることを示す)と、テスト本体が実行されるサブルーチンの名称”Func_test”とが記憶される。すなわち、第6行においては、直前の第5行で呼び出されたサブルーチン200が条件分岐を含んでいるので、区間番号が1から2へカウントアップされる。また、区間番号=2に対応するテスト条件ファイル4B(空ファイル)が新規に生成される。なお、テスト本体が実行されるサブルーチンは、テストプログラム1には含まれていないので、サブルーチンが呼び出されたにも拘わらずサブルーチン番号=0となっている。
図9は、テストプログラム1の第7行の変換処理を示す図である。
第7行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=200と、サブルーチン/分岐番号=0と、区間番号=3(3番目の区間であることを示す)とが記憶される。すなわち、第7行においては、テスト番号が変更される(すなわちルーチンが変更される)ので、区間番号が2から3へカウントアップされる。また、区間番号=3に対応するテスト条件ファイル4C(空ファイル)が新規に生成される。
図10は、テストプログラム1の第8〜9行の変換処理を示す図である。
第8行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=200と、サブルーチン/分岐番号=分岐1−0(1番目の分岐の前半に位置する命令(if文)であることを示す)と、区間番号=4(4番目の区間であることを示す)と、if文が記憶される。すなわち、第8行においては、条件分岐が実行されるので、区間番号が3から4へカウントアップされる。また、区間番号=4に対応するテスト条件ファイル4D(空ファイル)が新規に生成される。また、条件分岐情報記憶部330には、名称”begin”を有するメインルーチン100から1番目の条件分岐が行われた旨が記憶される。
第9行においては、テスト条件ファイル4Dに、VS3=5.0Vを表す情報が記載される。
図11は、テストプログラム1の第10行の変換処理を示す図である。
第10行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=200と、サブルーチン/分岐番号=分岐1−1(1番目の分岐の後半に位置する命令(else文)であることを示す)と、区間番号=5(5番目の区間であることを示す)と、else文が記憶される。すなわち、第10行においては、条件分岐が実行されるので、区間番号が4から5へカウントアップされる。また、区間番号=5に対応するテスト条件ファイル4E(空ファイル)が新規に生成される。
図12は、テストプログラム1の第11〜12行の変換処理を示す図である。
第11行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=200と、サブルーチン/分岐番号=分岐2−0(2番目の分岐の前半に位置する命令(if文)であることを示す)と、区間番号=6(6番目の区間であることを示す)と、if文が記憶される。すなわち、第11行においては、条件分岐が実行されるので、区間番号が5から6へカウントアップされる。また、区間番号=6に対応するテスト条件ファイル4F(空ファイル)が新規に生成される。また、条件分岐情報記憶部330には、1番目の分岐の後半に位置する命令(else文)から2番目の条件分岐が行われた旨が記憶される。
第12行においては、テスト条件ファイル4Fに、VS3=5.1Vを表す情報が記載される。
図13は、テストプログラム1の第13〜14行の変換処理を示す図である。
第13行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=200と、サブルーチン/分岐番号=分岐2−1(2番目の分岐の後半に位置する命令(else文)であることを示す)と、区間番号=7(7番目の区間であることを示す)と、else文が記憶される。すなわち、第13行においては、条件分岐が実行されるので、区間番号が6から7へカウントアップされる。また、区間番号=7に対応するテスト条件ファイル4G(空ファイル)が新規に生成される。
第14行においては、テスト条件ファイル4Gに、VS3=5.5Vを表す情報が記載される。
図14は、テストプログラム1の第15〜16行の変換処理を示す図である。
第15行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=200と、サブルーチン/分岐番号=分岐2−E(2番目の分岐を終了させる命令(end文)であることを示す)と、end文が記憶される。
第16行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=200と、サブルーチン/分岐番号=分岐1−E(1番目の分岐を終了させる命令(end文)であることを示す)と、end文が記憶される。
図15は、テストプログラム1の第17〜19行の変換処理を示す図である。
第17行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=200と、サブルーチン/分岐番号=SUB1−1(1番目のサブルーチンへの2回目の呼び出しが行われることを示す)と、サブルーチン200の名称”set_vs4”とが記憶される。また、条件分岐情報記憶部330には、名称”begin”が付与されたメインルーチン100からサブルーチン番号=SUB1−1を有するサブルーチン(200)への呼び出しが行われた旨が記憶される。
第18行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=200と、サブルーチン/分岐番号=0と、区間番号=8(8番目の区間であることを示す)と、テスト本体が実行されるサブルーチンの名称”Func_test”とが記憶される。すなわち、第18行においては、直前の第17行で呼び出されたサブルーチン200が条件分岐を含んでいるので、区間番号が7から8へカウントアップされる。また、区間番号=8に対応するテスト条件ファイル4H(空ファイル)が新規に生成される。なお、上述したように、テスト本体が実行されるサブルーチンは、テストプログラム1には含まれていないので、サブルーチンが呼び出されたにも拘わらずサブルーチン番号=0となっている。
第19行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=200と、サブルーチン/分岐番号=END(メインルーチン100を終了させる命令であることを示す)と、終了を示す記号が記憶される。
図16は、テストプログラム1の第20行の変換処理を示す図である。
第20行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=+0(テスト番号が未だ指定されていないことを示す)と、サブルーチン/分岐番号=0と、区間番号=9(9番目の区間であることを示す)と、サブルーチン200の名称”set_vs4”とが記憶される。すなわち、第20行においては、テスト番号が変更される(すなわちルーチンが変更される)ので、区間番号が8から9へカウントアップされる。また、区間番号=9に対応するテスト条件ファイル4I(空ファイル)が新規に生成される。また、サブルーチン呼び出し先情報記憶部320には、名称”set_vs4”を付与されたサブルーチン200が第20行以降で区間9に対応している旨が記憶される。
図17は、テストプログラム1の第21〜22行の変換処理を示す図である。
第21行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=+0と、サブルーチン/分岐番号=分岐3−0(3番目の分岐の前半に位置する命令(if文)であることを示す)と、区間番号=10(10番目の区間であることを示す)と、if文が記憶される。すなわち、第21行においては、条件分岐が実行されるので、区間番号が9から10へカウントアップされる。また、区間番号=10に対応するテスト条件ファイル4J(空ファイル)が新規に生成される。また、条件分岐情報記憶部330には、1番目のサブルーチン(200)から3番目の条件分岐が行われた旨が記憶される。
第22行においては、テスト条件ファイル4Jに、VS4=2.5Vを表す情報が記載される。
図18は、テストプログラム1の第23〜26行の変換処理を示す図である。
第23行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=+0と、サブルーチン/分岐番号=分岐3−1(3番目の分岐の後半に位置する命令(else文)であることを示す)と、区間番号=11(11番目の区間であることを示す)と、else文が記憶される。すなわち、第23行においては、条件分岐が実行されるので、区間番号が10から11へカウントアップされる。また、区間番号=11に対応するテスト条件ファイル4K(空ファイル)が新規に生成される。
第24行においては、テスト条件ファイル4Kに、VS4=2.8Vを表す情報が記載される。
第25行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=+0と、サブルーチン/分岐番号=分岐3−E(3番目の分岐を終了させる命令(end文)であることを示す)と、end文が記憶される。
第26行においては、フロー情報記憶部310には、テスト番号=+0と、サブルーチン/分岐番号=0と、終了を示す記号が記憶される。
以上で、図4のステップS1−2で全てのテスト条件パラメータを抽出する指定が行われた場合における図3のステップS2〜S3の動作の動作が完了する。
次に、図3のステップS4の動作を、図19を用いて詳細に説明する。上述したように、ステップS4においては、出力条件2および中間ファイル4に基づき、計算機内のメモリに記憶されているテスト条件の上書きの上書きが行われるが、この上書きは、上述したように、フロー情報、サブルーチン呼び出し情報、および条件分岐情報等の順序情報に基づき行われる。
図19は、図5のテストプログラム1において図3のステップS4を実行した場合に計算機のメモリに記憶される内容および生成される中間ファイル4を示す図である。
図19に示されるように、条件分岐情報記憶部330には、if文を直接的に実行する第8,11,21行およびif文を間接的に実行する(if文を含むサブルーチン200を呼び出す)第5,17行に関する条件分岐情報が記憶されている。
まず、条件分岐情報記憶部330に記憶された条件分岐情報に基づき、フロー情報が生成される。すなわち、条件分岐情報として記憶されているように、第5行におけるサブルーチン200の呼び出しと第8行におけるif文の実行と第11行におけるif文の実行と第17行におけるサブルーチン200の呼び出しとの計4回の条件分岐が行われる。従って、組み合わせのみから単純にフロー情報を生成させた場合には、2(条件分岐における真と偽との2通りに対応)4=16通りのフローが生成される。なお、図19においては、真を0で偽を1でそれぞれ表することにより、16通りのフローが1〜16の番号を付与され示されている(以下では、これらをフローF1〜F16とそれぞれ呼ぶ)。
次に、フローF1〜F16のうち実際には起こり得ない条件分岐を削除する。すなわち、第11行(分岐2)は、第8行(分岐1)が真(0)である場合には実行されることはないので、削除(−)が可能となる。この削除により、フローF3,F4,F11,F12は、それぞれ、フローF1,F2,F9,F10と同一となり重複する。すなわち、第8行のif文は、本発明に係る第1の条件分岐として機能し、第11行のif文は、本発明に係る第2の条件分岐として機能する。
次に、重複するフローF3,F4,F11,F12を削除する。これにより、フローの種類を16種類から12種類へ減らすことができる。
すなわち、図4のステップS1−2で全てのテスト条件を抽出する指定が行われた場合には、従来のテスト条件抽出方法においては、テスト項目の実行順序を、16種類のフロー(情報)全てに対応させて求め、それぞれの実行順序に従って各テスト項目からテスト条件パラメータを抽出する必要があったので、処理時間が長くなるという問題点があった。本実施の形態に係るテスト条件抽出方法においては、フローの種類を減らすことにより、処理時間を短縮することが可能となる。
以上で、図4のステップS1−2で全てのテスト条件を抽出する指定が行われた場合における図3のステップS4の動作の動作が完了する。
次に、図3のステップS5の動作を、図20を用いて詳細に説明する。上述したように、ステップS5においては、ステップS4で上書きされたメモリ内のテスト条件パラメータが結果ファイル5として出力されるが、このとき、結果ファイル5は、以下で説明するように、半導体装置への依存をできる限り抑えた形式で出力される。
図20は、図5のテストプログラム1において図3のステップS5を実行した場合に計算機のメモリに記憶される内容、生成される中間ファイル4、および出力される結果ファイル5を示す図である。図20には、図19と同様のフローF1〜F16と、図18と同様のフロー情報およびサブルーチン呼び出し先情報ならびにテスト条件ファイル4A〜4Kと、結果ファイル5とが、それぞれ示されている。この結果ファイル5は、フローF1〜F16についてそれぞれ生成されるが、以下では、フローF1を例にとり結果ファイル5の形式について説明する。
図20に示されるように、フローF1においては、第5,17行におけるサブルーチン200の呼び出し(すなわち第21行におけるif文の実行)および第1の条件分岐としての第8行におけるif文の実行で条件分岐の判定が全て真となる(すなわちa=c=0)ので、第2の条件分岐としての第11行におけるif文は実行されない。従って、図20に示されるように、結果ファイル5には、第5,17行におけるサブルーチン200の呼び出しと第8行におけるif文の実行とが計3個の条件分岐として記載される。
また、フローF1では、区間1,9,10,2,3,4,8をこの順に辿ることにより、第3,4,22,9行において、変数VS1〜VS4が定められる。従って、上記の区間1,9,10,2,3,4,8に対応するテスト条件ファイル4A,4I,4J,4B,4C,4D,4Hに記載された情報に基づき、変数VS1〜VS4が定められる。すなわち、区間1に対応するテスト条件ファイル4Aに基づきVS1=5.5VおよびVS2=5.5Vと定められ、区間10に対応するテスト条件ファイル4Jに基づきVS4=2.5Vと定められ、区間4に対応するテスト条件ファイル4Dに基づきVS3=5.0Vと定められる。図20に示されるように、結果ファイル5には、これらの変数VS1〜VS4の値と、テスト本体が実行されるテスト番号が記載される。すなわち、テスト番号が100である場合には変数VS1,VS2,VS4に基づきテスト本体が実行されることが記載されるとともに、テスト番号が200である場合には変数VS1〜VS4に基づきテスト本体が実行されることが記載される。
なお、図20では、テストプログラム1において変数(VS1〜VS4)が定数(5.5V)のみで表される場合について説明したが、これに限らず、例えば図21に示されるように、変数(Limit)が変数(data1)を含む演算式(data1,0)で表されてもよい。このような場合には、テスト条件ファイル(4E)においては、変数Limitが演算式(data1,0)で表される。
以上で、図4のステップS1−2で全てのテスト条件を抽出する指定が行われた場合における図3のステップS5の動作の動作が完了する。
次に、図4のステップS1−2で特定のテスト項目のテスト条件のみを抽出する指定が行われた場合における図3のステップS2〜S3の動作を、図22〜23を用いて詳細に説明する。
従来のプログラム変換システムにおいては、特定のテスト項目のテスト条件のみを抽出する指定が行われた場合には、最初のテスト項目から指定されたテスト項目までの全てのテスト項目をエミュレーションしテスト条件パラメータを抽出する。従って、指定されたテスト項目が最後に近い場合には、抽出に要する時間が長くなる。本実施の形態に係るプログラム変換システム10は、図22〜23に示されるように、最初のテスト項目から指定されたテスト項目までの全てのテスト項目における条件分岐において、ユーザに所望の分岐先を入力させることにより不要な分岐先におけるテスト条件パラメータの抽出を省くことを特徴とする。
図22は、本実施の形態に係るプログラム変換システム10において特定のテスト項目のテスト条件パラメータのみを抽出する指定が行われた場合に、テストプログラム1の1行分の命令を読み出しこれに基づき中間ファイル4への書き込みを行う処理を示すフローチャートである。なお、図22には示されていないが、ステップS11に先立ち、テスト条件パラメータを抽出すべきテスト項目のテスト番号(例えば100とする)が予め指定されているものとする。
まず、ステップS11において、書き込み対象となる中間ファイル4をオープンする。
次に、ステップS12へ進み、テスト条件パラメータを抽出される対象となるテストプログラム1から1行分の命令をプログラムバッファ(計算機のメモリ内)に読み込む。
次に、ステップS13へ進み、ステップS12で読み込まれた1行分の命令に基づき中間ファイル4としてのフロー情報を生成しフロー情報記憶部310に記憶させる。このフロー情報は、図5〜18を用いて上述したように、中間ファイル4の名称と、実行される行番号と、テスト番号と、サブルーチン/分岐番号とを含んでいる。
次に、ステップS14へ進み、ステップS12でプログラムバッファに読み込まれた1行分の命令がテスト番号を含む(すなわち、図5の第2行または第7行である)か否かを判定する。そして、テスト番号が含まれない場合にはステップS15へ進み、テスト番号が含まれる場合にはステップS21へ進む。
次に、ステップS15において、ステップS12でプログラムバッファに読み込まれた1行分の命令が条件分岐すなわちif文を含むか否かを判定する。そして、条件分岐を含まない場合にはステップS16へ進みプログラムポインタを次の行へ進めた後にステップS12へ進み、条件分岐を含む場合にはステップS17へ進む。
次に、ステップS17において、条件分岐式を表示手段の画面へ表示する。
次に、ステップS18へ進み、ユーザは、ステップS17で表示された条件分岐式を参照し、所望の分岐先を入力手段から入力する。
次に、ステップS19へ進み、ステップS18で入力された分岐先に基づき中間ファイルとしての条件分岐情報を生成し条件分岐情報記憶部330に記憶させる。そして、ステップS20へ進みプログラムポインタを次の行へ進めた後にステップS12へ進む。
次に、ステップS21において、フロー情報記憶部310に記憶されているテスト番号を参照することにより、現在のテスト番号が予め指定されたテスト番号に一致するかどうかを判定する(テスト番号として100が指定された場合には、第2〜6行においてのみ一致する)。そして、一致する場合にはステップS22へ進み最終テスト番号フラグをイネーブルにした後にステップS15へ進む。一方、一致しない場合にはステップS23へ進み最終テスト番号フラグがイネーブルであるかどうかを判定し、イネーブルである場合には動作を終了し、イネーブルでない場合にはステップS15へ進む。
この最終テスト番号フラグは、例えばテスト番号として100が指定された場合には、第2行において初めてイネーブルとなり(ステップS22)、第3〜6行においてイネーブルであり続ける(ステップS22)。そして、第7行においては、テスト番号が100から200に変わるので、ステップS21からステップS23を経て動作を終了する。すなわち、最終テスト番号フラグを用いることにより、予め指定されたテスト項目(テスト番号=100)においてのみテスト条件パラメータを抽出することが可能となる。これにより、テスト条件パラメータの抽出に要する時間を短縮できる。
図23(a)〜(b)は、本実施の形態に係るプログラム変換システム10において特定のテスト項目のテスト条件のみを抽出する指定が行われた場合に、結果ファイル5を抽出する動作を示すフローチャートである。なお、図23(a)は、図3において、テスト条件に加えてフロー情報も結果ファイル5として出力させる場合に対応している。
ステップS1においては、入力手段からユーザにより出力条件2が指定される。
また、ステップS2においては、テスト条件パラメータおよびフロー情報が抽出され表示手段に表示される。ユーザは、表示されたフロー情報に含まれる条件分岐式を参照し、分岐先(判定を真とするか偽とするか)を入力(指定)する。
また、ステップS4においては、フロー情報に基づきテスト条件パラメータの上書きが行われる。
例えば、図1のテストプログラム1において、第1,2,3,4,5,20,21,23,24,25,6行がこの順に実行される場合(第21行においてはユーザによりc≠0が指定される)には、上記の行を実行順序とは逆に第6行から第3行まで遡ることにより変数VS1,VS2,VS4を全て抽出できる。すなわち、第24行においてはVS4=2.8Vが、第4行においてはVS2=5.5Vが、第3行においてはVS1=5.5Vが、それぞれ抽出される。
また、ステップS5においては、テスト条件ファイルに基づき、結果ファイル5が生成され出力される。なお、この結果ファイル5には、テストプログラム1に記載されている全ての条件分岐がフロー情報から抽出され記載される。
このように、本実施の形態に係るプログラム変換システム10(を用いたプログラム変換方法)においては、テストプログラム1に含まれる複数のテスト項目の実行順序を規定するフロー情報を参照することにより、所定のテスト条件パラメータ(変数VS2等)の値が、先に実行される第1テスト項目において設定され後に実行される第2テスト項目において設定されない場合には、変数VS2等は第2テスト項目においては第1テスト項目において設定された値(6.0V等)を保っているものとして抽出される。従って、第2テスト項目において所定のテスト条件パラメータが設定されない場合においても、テスト条件パラメータを適切に抽出できる。
また、複数の条件分岐における真偽の組み合わせを、実行され得ない組み合わせを除いて求め、これらの組み合わせに基づきテスト項目の実行順序を求め、これらの実行順序に従ってテスト条件パラメータを抽出するので、処理時間を短縮できる。
すなわち、従来のプログラム変換システムにおいては、条件分岐における全ての真偽の組み合わせから単純にテスト条件パラメータを抽出するので、実際には実行され得ない組み合わせも想定しテスト条件パラメータが抽出される。従って、テスト条件パラメータの抽出に要する時間が長くなるという問題点があった。
例えば、一般的なマイコン品種においては、測定結果や判定結果に基づく条件分岐が5〜10個程度が含まれるので、単純に自動でテスト条件パラメータを抽出した場合には、抽出すべきテスト条件パラメータの組み合わせは、25〜210すなわち32〜1024通りである。従来は、変換元テストプログラムを人手で解読し必要最小限のテスト条件パラメータを取得していたが、近年、デバイスの複雑化に伴いプログラムが複雑化しているので、テストプログラムを変換するための処理時間(TAT)が非常に長くなっていた。
例えば、1工程で実施されるテスト項目の数を100項目とし測定結果に基づく条件分岐を含むテスト項目の数を5項目とした場合には、単純に全ての組み合わせでテスト条件パラメータを抽出する従来のプログラム変換システムにおいては、25=32通りを抽出する必要が必要がある。本実施の形態に係るプログラム変換システム10では、以下のように、大幅に処理時間を短縮することができる。
すなわち、全テスト項目においてテスト条件パラメータを抽出し結果ファイルを出力した場合には、従来のプログラム変換システムでは、テスト条件パラメータの抽出(1秒)とテスト条件パラメータの上書き(1秒)と結果ファイルの出力(1秒)とそれぞれに3秒ずつかかるので、合計の処理時間は、3秒×(100項目×32)=3秒×3200項目≒2.7時間かかっていた。一方、本実施の形態に係るプログラム変換システム10では、テスト条件パラメータの抽出および中間ファイルの出力(1秒)が(100項目+4項目)=104項目において行われテスト条件パラメータの上書きおよび結果ファイルの出力が(100項目×32)=3200項目において行われるので、合計の処理時間は、2秒×104項目+2秒×3200項目≒2.0時間となる。すなわち、合計の処理時間は、約2.5割が削減されている。
また、個別のテスト項目(50項目)においてテスト条件パラメータを抽出し結果ファイルを出力した場合には、従来のプログラム変換システムでは、合計の処理時間は、3秒×50項目=2.5分かかっていた。一方、本実施の形態に係るプログラム変換システム10では、フロー情報の抽出(1秒)が50項目において行われテスト条件パラメータの抽出と中間ファイルの出力とテスト条件の上書きと結果ファイルの出力が1項目において行われるので、合計の処理時間は、1秒×50項目+4秒×1項目≒1分となる。すなわち、合計の処理時間は、約6割が削減されている。
また、従来のプログラム変換システムにおいては、測定結果に基づく演算式がテストプログラムに含まれている場合には、全てのテスト条件パラメータを抽出することができないことがあるという問題点があった。これを避けるためには、テストプログラムのうち演算式に関する部分のみを人手で編集することが考えられるが、編集ミスに繋がる可能性があるという問題点があった。本実施の形態に係るプログラム変換システム10では、図21を用いて上述したように、テスト条件ファイルには、定数のみならず測定結果に基づく演算式も記憶される。従って、測定結果に基づく演算式がテストプログラムに含まれている場合においても、全てのテスト条件パラメータを抽出することができる。
また、一般的な半導体試験装置は、テスト条件パラメータのうち、定数で表されるものについてはレジスタに保管しているが、演算式で表されるものについてはレジスタに保管していない。従って、従来のテストプログラム変換システムにおいては、テスト条件パラメータのうち、変換先プログラムを生成する上で必要な演算式については、抽出することができないという問題点があった。本実施の形態に係るプログラム変換システム10では、上述したように、テスト条件パラメータが演算式で表される場合においても、演算式としてテスト条件ファイルに記憶させることにより抽出が可能となる。
1 テストプログラム、2 出力条件、4 中間ファイル、4A〜4K テスト条件ファイル、5 結果ファイル、10 プログラム変換システム、21 抽出手段、22 中間ファイル生成手段、23 上書き手段、24 出力手段、100 メインルーチン、110,120 テストルーチン、200 サブルーチン、310 フロー情報記憶部、320 サブルーチン呼び出し先情報記憶部、330 条件分岐情報記憶部。
Claims (5)
- 半導体試験装置において実行される複数のテスト項目を含むテストプログラムから前記複数のテスト項目それぞれにおける実行時のテスト条件パラメータを抽出するテスト条件パラメータ抽出方法であって、
(a)前記テストプログラムから、前記テスト項目の実行順序を規定するフロー情報を抽出するステップと、
(b)前記フロー情報を参照して、前記テストプログラムから前記複数のテスト項目それぞれにおける実行時のテスト条件パラメータを抽出するステップと
を備え、
前記ステップ(b)において、所定のテスト条件パラメータの値が、前記フロー情報に従い先に実行される第1テスト項目において設定され後に実行される第2テスト項目において設定されない場合には、前記所定のテスト条件パラメータは前記第2テスト項目においては前記第1テスト項目において設定された値が抽出される
テスト条件パラメータ抽出方法。 - 請求項1に記載のテスト条件パラメータ抽出方法であって、
前記ステップ(a)において、前記フロー情報として、第1の条件分岐および前記第1の条件分岐の結果に応じて実行される第2の条件分岐を少なくとも含む複数の条件分岐が抽出され、
前記ステップ(b)は、
(b−1)前記複数の条件分岐における真偽の組み合わせを、前記第1の条件分岐における真偽と前記第2の条件分岐における真偽との組み合わせのうち前記第2の条件分岐が実行され得ない組み合わせを除いて求めるステップと、
(b−2)前記ステップ(b−1)で求められた前記複数の条件分岐における真偽の組み合わせに基づき前記テスト項目の実行順序を求めるステップと、
(b−3)前記ステップ(b−2)で求められた前記テスト項目の実行順序に従って前記テストプログラムから前記複数のテスト項目それぞれにおける実行時のテスト条件パラメータを抽出するステップと
を有するテスト条件パラメータ抽出方法。 - 請求項1又は請求項2に記載のテスト条件パラメータ抽出方法であって、
前記ステップ(b)において、抽出された前記テスト条件パラメータは記憶手段内で順次上書きされていく
テスト条件パラメータ抽出方法。 - 請求項3に記載のテスト条件パラメータ抽出方法であって、
前記ステップ(b)において、前記テストプログラムを前記テスト項目の実行順序と逆に遡り前記テスト条件パラメータが抽出される
テスト条件パラメータ抽出方法。 - 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のテスト条件パラメータ抽出方法であって、
前記ステップ(b)において、前記テスト条件パラメータは演算式として抽出される
テスト条件パラメータ抽出方法。
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JP2010085177A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Yokogawa Electric Corp | 半導体試験装置 |
-
2007
- 2007-05-18 JP JP2007132632A patent/JP2008286670A/ja active Pending
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