JP2008282537A - Method and apparatus for manufacturing magnetic recording medium - Google Patents

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誠 磯崎
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium that eliminate the phenomenon, where a lubricant adhered to an end face of the magnetic recording medium (magnetic disk) results in spreading inside its media plane. <P>SOLUTION: The lubricant adhered to the end face that is to be spread in the media plane of the magnetic recording medium is wiped off. Specifically, while the magnetic disk (11), after a liquid lubricant layer is applied, is rotated; a solvent with a function of dissolving the liquid lubricant is sprayed (15) to a wiping tape (13) in a manner of spraying, the wiping tape is fed for each process; feeding of the wiping tape is stopped during the process, the wiping tape which is wet, by including the solvent is pressed against the magnetic disk by a pad (14); and then the liquid lubricant layer applied on the end face of the magnetic disk is wiped off using the wiping tape. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

この発明は、コンピュータなどの情報処理機器の情報記憶装置や民生機器に搭載される記憶装置(特にハードディスク装置)に用いられる磁気記録媒体の製造方法および製造装置に関する。   The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium used in an information storage device of an information processing device such as a computer and a storage device (particularly a hard disk device) mounted on a consumer device.

近年、コンピュータなど情報処理機器の取り扱う情報量の増加や機器の小型化に伴い、情報記憶装置の記憶容量の増大を図られ、情報記憶装置に使用される磁気記録媒体(以下、単に磁気ディスクとも称する)の記録容量は増加の一途をたどっている。また、その記憶容量の増加とともにデータ転送速度を向上させることを目的として磁気ディスクの回転数はより高回転化し、最近では15,000rpmの機種も存在している。   In recent years, with the increase in the amount of information handled by information processing devices such as computers and the miniaturization of devices, the storage capacity of information storage devices has been increased, and magnetic recording media (hereinafter simply referred to as magnetic disks) used in information storage devices have been increased. The recording capacity is constantly increasing. Further, the rotational speed of the magnetic disk has been increased for the purpose of improving the data transfer speed along with the increase in the storage capacity, and recently, there is a model of 15,000 rpm.

高回転化することの問題として、回転による基板の固有振動があげられる。この回転による振動により磁気ヘッドの安定な浮上が妨げられ、信頼性を著しく低下させられる。これらの対策の1つとして、最近は高回転の機種には剛性の高いガラス基板が用いられている。しかし、現状のガラス基板は高価であり、HDD装置(ハードディスク装置)全体のコストアップにつながることから、比較的廉価なアルミ基板で高回転を実現することが必要となっている。   The problem of increasing the rotation is the natural vibration of the substrate due to rotation. The vibration caused by the rotation prevents stable flying of the magnetic head, and the reliability is significantly reduced. As one of these measures, recently, a glass substrate having high rigidity is used for high-rotation models. However, the current glass substrate is expensive and leads to an increase in the cost of the HDD device (hard disk device), so it is necessary to realize high rotation with a relatively inexpensive aluminum substrate.

そこで、近年のアルミ基板は、その剛性を高める為に、板厚を0.8mmから1.0mmへ、更には1.27mmというように厚くしていくことで、固有振動を許容内に抑えている。最近では1.6mmという厚板のものまで考えられている。   Therefore, in order to increase the rigidity of recent aluminum substrates, the plate thickness is increased from 0.8 mm to 1.0 mm, and further to 1.27 mm, so that the natural vibration is suppressed within an allowable range. Yes. Recently, even thick plates of 1.6 mm have been considered.

これらの磁気ディスクは通常、アルミ基板の上に積層した非磁性金属下地層の上に、磁性層、保護層をスパッタ方式やCVD(化学気相堆積)方式などの工法で順次成膜した後、潤滑剤を塗布している。この潤滑剤の塗布方法は、量産性と装置の簡便さから、液体潤滑剤の原液を所望の膜厚に応じて溶剤(例えば、フロロカーボン系の有機溶剤)で適当な濃度に希釈した液槽に媒体を一定時間浸した後、この媒体を一定速度で引上げる(ディッピング法)ことにより、溶剤を蒸発させると同時に、媒体上に残った潤滑剤成分を保護層の上に吸着させ、これにより保護層上に薄膜化した潤滑層を形成する方法が多く用いられている。他に、スピンコート法、スプレー法などがある。   These magnetic disks are usually formed by sequentially forming a magnetic layer and a protective layer on a nonmagnetic metal underlayer laminated on an aluminum substrate by a method such as sputtering or CVD (chemical vapor deposition). Lubricant is applied. In this lubricant application method, a liquid lubricant stock solution is diluted with a solvent (for example, a fluorocarbon-based organic solvent) to an appropriate concentration in accordance with a desired film thickness because of mass productivity and ease of equipment. After immersing the medium for a certain period of time, this medium is pulled up at a constant speed (dipping method) to evaporate the solvent and at the same time adsorb the lubricant component remaining on the medium onto the protective layer, thereby protecting it. A method of forming a thinned lubricating layer on the layer is often used. Other methods include spin coating and spraying.

特開2003−6849号公報JP 2003-6849 A 特公平7−58545号公報Japanese Examined Patent Publication No. 7-58545

しかしながら、潤滑剤塗布時の磁気ディスクの引上げの過程で、特に引上げ上下方向の端面に潤滑剤が多量に溜まってしまい、それら潤滑剤が時間とともに面内の外周部に拡散してくるという現象がおこることが判明した。図6に示す、矢印Aが磁気ディスクの引き上げ方向であり、磁気ディスク面内の色の濃い部分が潤滑剤拡散部分を示している。   However, in the process of pulling up the magnetic disk at the time of applying the lubricant, a large amount of lubricant is accumulated especially on the end face in the up-and-down direction, and the phenomenon that the lubricant diffuses to the outer peripheral portion in the plane with time. It turned out to happen. An arrow A shown in FIG. 6 is the magnetic disk pulling direction, and a dark colored portion in the surface of the magnetic disk indicates a lubricant diffusion portion.

このような潤滑剤の拡散現象は、特に磁気ディスクの板厚の厚いものほど、その面積に比例して端面に付着する潤滑量が多い為、面内外周部分に拡散してくる潤滑剤の絶対量も大きくなる。そして、この潤滑剤が拡散したディスク外周部分を磁気ヘッドが浮上することで、ヘッドスライダー部への潤滑剤の移着がおこりやすく、その結果、ヘッド浮上が不安定になり、電磁変換特性やヘッドシーク(揺れ)耐久性に悪影響を及ぼす。現在のヘッド浮上量は10nm程度であるが、将来実用化が予想される垂直磁気記録方式では更にヘッド浮上量が下がることが予定されており、これらの潤滑剤拡散の問題が更に露呈することが予定される。   This type of lubricant diffusion phenomenon is especially the case where the thicker the magnetic disk is, the greater the amount of lubrication that adheres to the end face in proportion to the area. The amount also increases. The magnetic head floats on the outer periphery of the disk where the lubricant is diffused, so that the lubricant is easily transferred to the head slider. As a result, the head flying becomes unstable, and the electromagnetic conversion characteristics and the head It adversely affects seek durability. Although the current head flying height is about 10 nm, it is planned that the head flying height will be further lowered in the perpendicular magnetic recording system expected to be put to practical use in the future, and these problems of lubricant diffusion may be further exposed. Scheduled.

従前では、端面に付着する潤滑剤の量は制御の対象外であったことに加え、媒体の板厚が0.8mm以下と薄かったこと、およびヘッド浮上量が15−20nm程度と現在よりも比較的に高かった為に、この種の潤滑剤拡散の問題は表面化しなかったものである。   In the past, the amount of lubricant adhering to the end face was not subject to control, the plate thickness of the medium was as thin as 0.8 mm or less, and the head flying height was about 15-20 nm, which is higher than current levels. Due to the relatively high cost, this type of lubricant diffusion problem did not surface.

現在は、潤滑剤の拡散現象に対して、潤滑剤液濃度の最適化や使用する希釈溶剤の選択、引上げ速度の最適化で対処しているが、潤滑剤の拡散を完全に防止することができないのが現状である。   Currently, the diffusion of lubricant is dealt with by optimizing the concentration of the lubricant, selecting the dilution solvent to be used, and optimizing the pulling speed, but it is possible to completely prevent the diffusion of the lubricant. The current situation is not possible.

一方、潤滑剤を塗付した表面にワイパーやバフを押し当てることで潤滑剤の分布を均一化し、表面を平坦化しようという提案が特許文献1、特許文献2に開示されているが、これら提案は、いずれもワイピング処理やバフ処理を施される部分が磁気記録媒体の面内(即ち、ヘッド浮上領域、記録領域)に限られており、またCSS(コンタクトスタートストップ)特性等の摩擦特性改善およびヘッドの吸着防止を目的としているにすぎず、上述のような媒体端面に付着した潤滑剤が時間の経過とともに媒体面内に拡散してくる課題の解決手段とはならない。   On the other hand, Patent Document 1 and Patent Document 2 disclose proposals for making the distribution of the lubricant uniform by pressing a wiper or buff against the surface to which the lubricant is applied. In both cases, the portion subjected to wiping and buffing is limited to the in-plane of the magnetic recording medium (that is, the head floating area and recording area), and the friction characteristics such as CSS (contact start / stop) characteristics are improved. It is merely intended to prevent the head from being adsorbed, and does not serve as a solution to the problem that the lubricant adhering to the end surface of the medium as described above diffuses into the medium surface over time.

本発明は、上述の課題に鑑みてなされたもので、その目的は、磁気記録媒体の面内への拡散が予想される端面に付着している潤滑剤を、溶剤を浸したワイパーで拭取ることで、磁気記録媒体端面に付着した潤滑剤が面内に拡散してくる課題を解決した、磁気記録媒体の製造方法および製造装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and its object is to wipe the lubricant adhering to the end surface of the magnetic recording medium that is expected to diffuse into the surface with a wiper dipped in a solvent. Thus, an object of the present invention is to provide a method and apparatus for manufacturing a magnetic recording medium that solves the problem that the lubricant adhering to the end face of the magnetic recording medium diffuses in the plane.

上記目的を達成するため、請求項1の本発明は、磁性層上に保護層を形成し、この保護層の上に液体潤滑層を塗付して形成される磁気記録媒体の製造方法であって、前記液体潤滑層を塗付された後に、磁気記録媒体を回転させながら、前記液体潤滑を溶解する働きを有する溶剤を含有したワイピングテープを該磁気記録媒体の端面に一定の押し付け面圧で押し当てて、該磁気記録媒体の端面に塗付されている液体潤滑層を該ワイピングテープで拭取ることを特徴とする。   In order to achieve the above object, the present invention of claim 1 is a method of manufacturing a magnetic recording medium formed by forming a protective layer on a magnetic layer and applying a liquid lubricant layer on the protective layer. Then, after the liquid lubricating layer is applied, a wiping tape containing a solvent having a function of dissolving the liquid lubrication while rotating the magnetic recording medium is pressed against the end face of the magnetic recording medium at a constant pressing surface pressure. The liquid lubricant layer applied to the end surface of the magnetic recording medium is wiped with the wiping tape by being pressed.

ここで、前記溶剤は、前記ワイピングテープの送り側にて該ワイピングテープにスプレー式で噴射されることを特徴とすることができる。   Here, the solvent may be sprayed onto the wiping tape on the feeding side of the wiping tape.

また、前記端面とは、厚みをもった円盤状の磁気記録媒体のチャンファー部を含む側面部分を指し、少なくとも磁気ヘッド浮上領域は含まないことを特徴とすることができる。   Further, the end face refers to a side face portion including a chamfer portion of a disc-shaped magnetic recording medium having a thickness, and at least does not include a magnetic head flying region.

上記目的を達成するため、請求項4の本発明は、磁性層上に保護層を形成し、この保護層の上に液体潤滑層を塗付して形成される磁気記録媒体の製造装置であって、前記液体潤滑層を塗付された後に、磁気記録媒体を回転させながら、前記液体潤滑を溶解する働きを有する溶剤を含有したワイピングテープを該磁気記録媒体の端面に一定の押し付け面圧で押し当てて、該磁気記録媒体の端面に塗付されている液体潤滑層を該ワイピングテープで拭取る手段を有することを特徴とする。   In order to achieve the above object, a fourth aspect of the present invention is an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium formed by forming a protective layer on a magnetic layer and applying a liquid lubricant layer on the protective layer. Then, after the liquid lubricating layer is applied, a wiping tape containing a solvent having a function of dissolving the liquid lubrication while rotating the magnetic recording medium is pressed against the end face of the magnetic recording medium at a constant pressing surface pressure. It has means for pressing and wiping the liquid lubricating layer applied to the end face of the magnetic recording medium with the wiping tape.

ここで、前記溶剤を、前記ワイピングテープの送り側にて該ワイピングテープにスプレー式で噴射する手段を有することを特徴とすることができる。   Here, the solvent may be sprayed onto the wiping tape on the feeding side of the wiping tape.

本発明で、上記のように、処理部分を端面に限定する理由は、湿式ワイプは潤滑剤を除去してしまう為、いずれも加工面の潤滑性を劣化させることで共通するからである。これが仮にヘッド浮上領域とすると、現行のヘッドの浮上量10nm程度でもハードディスクドライブ装置内の発ガスや塵埃等の劣悪な環境によっては間欠的な媒体とヘッドとの接触が想定され、最悪の場合ヘッドクラッシュを引き起こす可能性があるため、これを防止するため潤滑成分は通常のまま残しておく必要があるためである。   In the present invention, as described above, the reason why the treated portion is limited to the end face is that wet wipe removes the lubricant, and thus all of them are common to deteriorate the lubricity of the processed surface. Assuming that this is the head flying area, even if the current head flying height is about 10 nm, intermittent contact between the medium and the head is assumed depending on the poor environment such as gas generation or dust in the hard disk drive device. This is because, since it may cause a crash, the lubricating component needs to be left as it is to prevent this.

上記構成により、本発明によれば、液体潤滑層を有する磁気ディスクにおいて、磁気ディスクの端面に付着している潤滑剤を、その潤滑剤を溶解する働きを有する溶剤を含有したワイピングテープで拭取るようにしているので、潤滑剤を的確にまた十分に拭取ることができ、それにより磁気ディスクの面内への潤滑剤の拡散を防止でき、信頼性を向上させることができる。また、スプレー式で溶剤を噴射することにより、容易に溶剤を必要量だけ均一にワイピングテープに含ませることができるから、それにより過剰な溶剤を含有したワイピングテープ、あるいは不均一な溶剤を含有したワイピングテープを用いたことによる不都合を防止できる利点が得られる。   With the above configuration, according to the present invention, in the magnetic disk having the liquid lubricant layer, the lubricant adhering to the end surface of the magnetic disk is wiped with a wiping tape containing a solvent having a function of dissolving the lubricant. As a result, the lubricant can be properly and sufficiently wiped off, whereby the diffusion of the lubricant into the surface of the magnetic disk can be prevented and the reliability can be improved. In addition, by spraying the solvent with a spray method, the solvent can be easily and uniformly contained in the wiping tape by the required amount, so that the wiping tape containing excess solvent or non-uniform solvent was contained. An advantage of preventing inconvenience due to the use of the wiping tape can be obtained.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(製造方法と装置構成)
図1は、本発明の一実施形態における、磁気記録媒体の端面に湿式ワイプ処理、紫外線照射処理を行う製造装置の概略構成を示す。図1において、11は潤滑剤塗付後の磁気記録媒体、Rはワーク回転方向である。12は端面湿式ワイプユニット、13はワイピングテープ、14はパッド、15は溶剤スプレ噴射、16は15に溶剤を供給する溶剤タンクである。17は端面UV(紫外線)照射ユニット、18はUVランプ、19は遮蔽版、20はスリット(細長い孔)である。ここでは、説明の便宜上、湿式ワイプ処理のユニット12と紫外線照射処理のユニット17を同一画面中に一緒に描いているが、別々の独立の装置でもよいのは勿論である。
(Manufacturing method and equipment configuration)
FIG. 1 shows a schematic configuration of a manufacturing apparatus that performs wet wiping processing and ultraviolet irradiation processing on an end surface of a magnetic recording medium in an embodiment of the present invention. In FIG. 1, 11 is a magnetic recording medium after the lubricant is applied, and R is the rotation direction of the workpiece. 12 is an end wet wipe unit, 13 is a wiping tape, 14 is a pad, 15 is a solvent spray, and 16 is a solvent tank for supplying the solvent to 15. Reference numeral 17 denotes an end face UV (ultraviolet) irradiation unit, 18 denotes a UV lamp, 19 denotes a shielding plate, and 20 denotes a slit (elongated hole). Here, for convenience of explanation, the wet wiping unit 12 and the ultraviolet irradiation unit 17 are drawn together on the same screen, but it goes without saying that they may be separate and independent devices.

端面湿式ワイプユニット12を使用して加工する場合は、液体潤滑層を塗付された後の磁気記録媒体11を一定のR方向に回転させながら、溶剤はワイピングテープ13の送り側にてスプレー式で噴射15し、加工毎にテープ13を送り、加工中はテープ13の送りを停止する。そして溶剤スプレ噴射15で溶剤が含有された湿ったワイピングテープ13をパッド14の押し当てによる一定の押し付け面圧で押し当てて、磁気記録媒11体の端面に塗付されている液体潤滑層をワイピングテープ13で拭取る。なお、ワイピングテープ13の近くに図示されている矢印は、ワイピングテープ13が巻き取られて進行する方向を表わしている。   When processing using the end face wet wipe unit 12, the solvent is sprayed on the feeding side of the wiping tape 13 while rotating the magnetic recording medium 11 coated with the liquid lubricant layer in a certain R direction. Is sprayed 15 and the tape 13 is fed for each processing, and the feeding of the tape 13 is stopped during the processing. Then, a wet wiping tape 13 containing a solvent in the solvent spray 15 is pressed with a constant pressing surface pressure by pressing the pad 14, and a liquid lubricating layer applied to the end surface of the magnetic recording medium 11 is formed. Wipe with wiping tape 13. An arrow shown near the wiping tape 13 indicates a direction in which the wiping tape 13 is wound and travels.

他方、端面UV照射ユニット17を使用して加工する場合は、液体潤滑層を塗付された後の磁気記録媒体11を一定方向のR方向に回転させながら、UVランプ18から遮蔽板19に開口したスリット20を通して磁気記録媒体11の端面に紫外線を照射して、該磁気記録媒体の端面に塗付されている液体潤滑層の潤滑剤成分を固化する。なお、スリット20のサイズは例えば2mm幅×5mm長である。   On the other hand, when processing using the end face UV irradiation unit 17, the magnetic recording medium 11 after the liquid lubricant layer is applied is opened from the UV lamp 18 to the shielding plate 19 while rotating in the R direction of a certain direction. The end face of the magnetic recording medium 11 is irradiated with ultraviolet rays through the slit 20, and the lubricant component of the liquid lubricant layer applied to the end face of the magnetic recording medium is solidified. The size of the slit 20 is, for example, 2 mm wide × 5 mm long.

(媒体の構造)
図2は図1の装置で加工処理される対象の磁気記録媒体(磁気ディスク)の断面構造の一例を示す。この磁気記録媒体は、アルミ基板(板厚1.27mm)21の上に、非磁性金属下地層22を形成し、その上に磁性層23、保護層24をスパッタ方式やCVD方式などで順次成膜した後、液体潤滑層25を例えば従来技術で説明したディッピング法で塗布している。なお、21はプラスチック基板等の他の非磁性基板でも適用可能である。
(Medium structure)
FIG. 2 shows an example of a sectional structure of a magnetic recording medium (magnetic disk) to be processed by the apparatus of FIG. In this magnetic recording medium, a nonmagnetic metal underlayer 22 is formed on an aluminum substrate (plate thickness 1.27 mm) 21, and a magnetic layer 23 and a protective layer 24 are sequentially formed thereon by a sputtering method, a CVD method, or the like. After film formation, the liquid lubricating layer 25 is applied by the dipping method described in the prior art, for example. 21 can also be applied to other non-magnetic substrates such as plastic substrates.

(加工領域)
図3は、本発明が意図している端面の最大領域を示す。31は媒体の側面、32はチャンファー部、33はヘッド浮上領域、34は本発明が意図している端面の最大領域である。本発明でいう端面とは、符号34で示すように、厚みをもった円盤状の磁気記録媒体11のチャンファー部32を含む側面部分全体を指し、少なくとも磁気ヘッド浮上領域33は含まない。
(Processing area)
FIG. 3 shows the maximum area of the end face contemplated by the present invention. 31 is a side surface of the medium, 32 is a chamfer portion, 33 is a head floating region, and 34 is a maximum region of an end surface intended by the present invention. The end face in the present invention refers to the entire side surface portion including the chamfer portion 32 of the disc-shaped magnetic recording medium 11 having a thickness as indicated by reference numeral 34, and does not include at least the magnetic head flying region 33.

(実験の一例)
図2に示すような磁気ディスクを用い、
(A)潤滑剤塗布後に処理を施さなかったもの、
(B)図1に示す装置の端面湿式ワイプユニット12から溶剤スプレ噴射15を取り除いたものを用いて、乾式のワイパーで端面拭取りを施したもの、
(C)図1に示す装置の端面湿式ワイプユニット12を用いて、スプレー式噴射により溶剤を浸した湿式ワイパーにより端面拭取りを施したもの、
(D)図1に示す装置の端面UV照射ユニット17を用いて、磁気ディスク端面に紫外線を照射したもの
の計4種を作製し、1週間常温常湿放置した後、それぞれの磁気ディスク面内の様子を後述のようにOSA(オプティカル・サーフェス・アナライザー)にて観察した。
(Example of experiment)
Using a magnetic disk as shown in FIG.
(A) What was not processed after lubricant application,
(B) A device obtained by wiping the end surface with a dry wiper using a device obtained by removing the solvent spray 10 from the end surface wet wipe unit 12 of the apparatus shown in FIG.
(C) Using the end face wet wipe unit 12 of the apparatus shown in FIG. 1, the end face was wiped with a wet wiper soaked in a solvent by spraying,
(D) Using the end face UV irradiation unit 17 of the apparatus shown in FIG. 1, a total of four types were produced by irradiating the end face of the magnetic disk with ultraviolet rays, and left at room temperature and humidity for 1 week. The state was observed with OSA (Optical Surface Analyzer) as described later.

上記(B),(C)の加工処理で使用したワイパー(ワイパーテープあるいはワイピングテープともいう)は東レ株式会社のTORAYSEE(登録商標)53203TR(製品名)であり、上記(C)の加工処理で使用した溶剤はデュポン社のバートレル(登録商標)XF(製品名)である。使用溶剤は潤滑剤を溶解する働きがあれば特に種類を問わないが、当該磁気ディスクにおいて潤滑剤を塗布するときに使用しているものと同一のものにすることが望ましい。さらに、使用するワイパーは上記(C)の加工処理で使用する溶剤に対して耐性があることが望ましい。   The wiper (also referred to as wiper tape or wiping tape) used in the processing processes (B) and (C) is TORAYSEE (registered trademark) 53203TR (product name) manufactured by Toray Industries, Inc. The solvent used is Vertrel (registered trademark) XF (product name) manufactured by DuPont. The solvent used is not particularly limited as long as it has a function of dissolving the lubricant, but is preferably the same as that used when the lubricant is applied to the magnetic disk. Furthermore, it is desirable that the wiper to be used is resistant to the solvent used in the processing (C).

端面ワイパー装置は、図1に示すような出願人が社内用に製作したものを用いた。溶剤はワイピングテープ13の送り側にてスプレー式で噴射15し、加工毎にテープ13を送り、加工中はテープ13の送りを停止する。そして湿ったテープ13を硬度60°のパッド14にて押し当て加工する。ここで、パッド14の硬度を極端に低いものを用いると、ディスク11の外周がパッド14に食い込み、最外周部面内のヘッド浮上領域33(図3参照)まで加工してしまう恐れがあるので望ましくない。処理時のディスク回転数は200rpm、押し付け圧力は0.5kg/cm、処理時間は10秒である。 As the end wiper device, the one manufactured by the applicant for in-house use as shown in FIG. 1 was used. The solvent is sprayed 15 on the feed side of the wiping tape 13 by spraying, and the tape 13 is fed every time processing is performed, and the tape 13 is stopped during processing. The wet tape 13 is pressed by a pad 14 having a hardness of 60 °. Here, if the pad 14 having an extremely low hardness is used, the outer periphery of the disk 11 may bite into the pad 14, and the head floating area 33 (see FIG. 3) in the outermost peripheral surface may be processed. Not desirable. The disk rotation speed during processing is 200 rpm, the pressing pressure is 0.5 kg / cm 2 , and the processing time is 10 seconds.

上記(D)の加工処理で用いたUVランプ18は、波長185nmと254nmの合成光であって、磁気ディスク11の基板端面からの最短距離を10mmに設定し、強度10mW/cm〜15mW/cm(Wはワット)の量で、10秒間だけ処理を行った。このときディスク11は回転させ、その端面だけを選択的に照射する為に、UVランプ18を遮蔽板19で覆い、その遮蔽板10の一部に2mm幅×5mm長のスリット20を開けて、この開口部分をディスク11の端面に最も接近させるようにすることで、紫外線(UV)を磁気ディスクの端面だけに照射した。 The UV lamp 18 used in the processing of (D) is a combined light with wavelengths of 185 nm and 254 nm, the shortest distance from the substrate end surface of the magnetic disk 11 is set to 10 mm, and the intensity is 10 mW / cm 2 to 15 mW / The treatment was performed for 10 seconds in the amount of cm 2 (W is Watt). At this time, the disk 11 is rotated, and in order to selectively irradiate only the end face, the UV lamp 18 is covered with a shielding plate 19, and a slit 20 having a width of 2 mm × 5 mm is opened in a part of the shielding plate 10, By making this opening portion approach the end surface of the disk 11 most, ultraviolet rays (UV) were irradiated only to the end surface of the magnetic disk.

(実験の結果)
以上のようにして、上記(A)〜(D)の計4種を作製し、1週間常温常湿放置した後、それぞれの磁気ディスク面内の様子をOSAにて観察したが、その観察で使用したOSAは、Candela社(キャンデラ コーポレーション)のOSA5100(製品名)である。OSAとはP偏光波(縦波)やS偏光波(横波)のレーザー光を媒体面に対して斜めから照射し、反射光の位相差を検知することで反射物質上(例えば、磁性層やカーボン層)の物質(カーボンや潤滑剤、他コンタミネーション類)の状態を定量する装置である。今回は潤滑剤の状態を詳細に観察する為、P・S波単体よりも感度の高いQ偏光波というP偏光波とS偏光波の位相差の変化(入射光と反射光のP−S波間位相差の差分)を利用している。
(results of the experiment)
As described above, a total of four types (A) to (D) described above were prepared and allowed to stand at room temperature and humidity for 1 week, and then the state of each magnetic disk surface was observed with OSA. The OSA used was OSA5100 (product name) from Candela (Candela Corporation). OSA is a laser beam of P-polarized wave (longitudinal wave) or S-polarized wave (transverse wave) that is irradiated obliquely with respect to the medium surface and detects the phase difference of the reflected light to detect the phase difference of the reflected light (for example, a magnetic layer or This is a device for quantifying the state of carbon layer) substances (carbon, lubricant, and other contaminants). This time, in order to observe the state of the lubricant in detail, the change in the phase difference between the P-polarized wave and the S-polarized wave, called the Q-polarized wave, which is more sensitive than the single P / S wave Phase difference).

図4は上記OSAにより得られた磁気ディスクの表面の様子を示すOSA画像の模式図であり、同図の(A)〜(D)の図は上記(A)〜(D)の処理にそれぞれ対応している。なお、図4の元になる原稿はカラー写真であるが、複写機等でそのままハーフトーンの白黒表示に変換すると、分かり難くなるため、後述の画像上濃く(暗く)表示される部分が良く分かるように、コントラストを強調して描写している。   FIG. 4 is a schematic diagram of an OSA image showing the state of the surface of the magnetic disk obtained by the OSA, and the diagrams (A) to (D) in FIG. 4 correspond to the processes (A) to (D), respectively. It corresponds. The original document in FIG. 4 is a color photograph. However, if it is converted into a halftone black and white display as it is with a copying machine or the like, it becomes difficult to understand. As shown, the contrast is emphasized.

図4から分かるように、図4の(C)の湿式ワイパー処理のものと、図4の(D)の端面紫外線照射処理のものが、面内への拡散が防止されているのが確認できた。(B)の乾式ワイプ処理は効果がなかった。   As can be seen from FIG. 4, it can be confirmed that the wet wiper treatment of FIG. 4C and the end face ultraviolet irradiation treatment of FIG. It was. The dry wipe treatment (B) had no effect.

OSAでの判定法は、画像処理にて潤滑剤膜厚のコントラストのレンジ幅を5Å程度に調整したとき、画像上濃く(暗く)表示される部分が存在しないことで効果を確認する。この色の濃い(暗い)部分が潤滑剤膜厚の増大部(端面からの拡散部)を示す。   The OSA determination method confirms the effect when there is no dark (dark) part of the image when the contrast range of the lubricant film thickness is adjusted to about 5 mm in image processing. This dark (dark) portion of the color indicates an increased portion of the lubricant film thickness (diffused portion from the end face).

図4の(A),(B)で示すような、この色の濃い(暗い)部分をFTIR(フーリエ変換赤外分光計)で潤滑剤の膜厚測定を行った結果を図5に示す。図5の横軸は磁気ディスク面の基準位置からの角度位置、縦軸は潤滑剤の膜厚を示している。図5で周辺部より膜厚が厚くなっている部分(例えば、サンプル1の角度15度近傍部分、角度180度近傍部分)はOSAで画像上濃く(暗く)表示される部分である。OSAで画像上濃く(暗く)表示される部分はFTIR膜厚測定によっても、他の部分よりも潤滑剤の膜厚が5Å程度厚くなっていることが確認される。ただし、FTIRは測定に時間が掛かるため、通常はOSA画像で判定している。   FIG. 5 shows the result of measuring the film thickness of the lubricant with FTIR (Fourier Transform Infrared Spectrometer) in this dark (dark) portion as shown in FIGS. 4 (A) and 4 (B). The horizontal axis in FIG. 5 indicates the angular position from the reference position on the magnetic disk surface, and the vertical axis indicates the film thickness of the lubricant. In FIG. 5, the portion where the film thickness is thicker than the peripheral portion (for example, the portion near the angle of 15 degrees and the portion near the angle of 180 degrees of the sample 1) is a portion that is displayed darker (darker) on the image by OSA. It is confirmed by the FTIR film thickness measurement that the lubricant film thickness is about 5 mm thicker than the other portions in the OSA film thickness measurement at the dark (dark) image on OSA. However, since FTIR takes time to measure, it is usually determined by an OSA image.

(他の実施形態)
以上、本発明の好適な実施形態例と実験例を説明したが、本発明はこれに限定されず、請求項の記載の範囲内であれば、その数値等の変更、類似の方法や材質のものとの置換、周知技術との組み合わせ等の変形は本発明の実施形態に含まれる。例えば、本発明による端面湿式ワイプ工程と端面UV照射工程との組み合わせも本発明の実施形態に含まれる。
(Other embodiments)
The preferred embodiments and experimental examples of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to this, and within the scope of the claims, changes in numerical values, similar methods and materials can be used. Modifications such as substitution with a thing and combination with a well-known technique are included in the embodiments of the present invention. For example, a combination of an end face wet wipe process and an end face UV irradiation process according to the present invention is also included in the embodiment of the present invention.

本発明の一実施形態における、磁気記録媒体の端面に湿式ワイプ処理を行う製造装置の概略構成を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows schematic structure of the manufacturing apparatus which performs a wet wipe process to the end surface of a magnetic recording medium in one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態で加工処理される磁気記録媒体(磁気ディスク)の断面構造例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the example of a cross-section of the magnetic recording medium (magnetic disc) processed by one Embodiment of this invention. 本発明が意図している端面の最大領域を模式的に示す模式図である。It is a schematic diagram which shows typically the maximum area | region of the end surface which this invention intends. OSA(オプティカル・サーフェス・アナライザー)により得られた磁気ディスクの表面の様子を示すOSA画像の模式図であり、(A)は従来と同様に潤滑剤塗布後に処理を施さなかったもの、(B)は比較例として乾式のワイパーで端面拭取りを施したもの、(C)は本発明に従うスプレー式噴射で溶剤を浸した湿式ワイパーにより端面拭取りを施したもの、(D)は本発明に従う磁気ディスク端面に紫外線を照射したものをそれぞれ示す図である。It is the schematic diagram of the OSA image which shows the mode of the surface of the magnetic disk obtained by OSA (optical surface analyzer), (A) is what was not processed after lubricant application like the past, (B) As a comparative example, the end surface was wiped with a dry wiper, (C) the end surface was wiped with a wet wiper soaked with a solvent by spraying according to the present invention, and (D) the magnetic according to the present invention. It is a figure which each shows what irradiated the ultraviolet-ray to the disc end surface. 磁気ディスクの面内の潤滑剤拡散部分は他の部分よりも5Å程度厚くなっていることを表わすFTIR(フーリエ変換赤外分光計)膜厚測定結果を示す特性図である。It is a characteristic view showing a FTIR (Fourier Transform Infrared Spectrometer) film thickness measurement result showing that the lubricant diffusion portion in the surface of the magnetic disk is about 5 mm thicker than other portions. 従来技法による磁気ディスク面内の潤滑剤拡散部分を示す平面図である。It is a top view which shows the lubricant diffusion part in the magnetic disk surface by a conventional technique.

符号の説明Explanation of symbols

11 潤滑剤塗付後の磁気記録媒体
12 端面湿式ワイプユニット
13 ワイピングテープ
14 パッド
15 溶剤スプレ噴射
16 溶剤タンク
17 端面UV(紫外線)照射ユニット
18 UVランプ
19 遮蔽版
20 スリット(細長い孔)
21 アルミ基板
22 非磁性金属下地層
23 磁性層
24 保護層
25 液体潤滑層
31 媒体の側面
32 チャンファー部
33 ヘッド浮上領域
34 本発明が意図している端面の最大領域
11 Magnetic recording medium after lubricant application
12 Wet end wipe unit
13 Wiping tape
14 Pad 15 Solvent spray 16 Solvent tank
17 End UV (ultraviolet) irradiation unit
18 UV lamp
19 Shield version
20 Slit (Elongated hole)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 21 Aluminum substrate 22 Nonmagnetic metal base layer 23 Magnetic layer 24 Protective layer 25 Liquid lubrication layer 31 Side surface of medium 32 Chamfer part 33 Head floating area 34 Maximum area of end face intended by the present invention

Claims (6)

磁性層上に保護層を形成し、この保護層の上に液体潤滑層を塗付して形成される磁気記録媒体の製造方法であって、
前記液体潤滑層を塗付された後に、磁気記録媒体を回転させながら、前記液体潤滑を溶解する働きを有する溶剤を含有したワイピングテープを該磁気記録媒体の端面に一定の押し付け面圧で押し当てて、該磁気記録媒体の端面に塗付されている液体潤滑層を該ワイピングテープで拭取ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
A method of manufacturing a magnetic recording medium formed by forming a protective layer on a magnetic layer and applying a liquid lubricant layer on the protective layer,
After the liquid lubricant layer is applied, a wiping tape containing a solvent having a function of dissolving the liquid lubricant is pressed against the end surface of the magnetic recording medium with a constant pressing surface pressure while rotating the magnetic recording medium. A method for producing a magnetic recording medium, comprising: wiping the liquid lubricant layer applied to the end face of the magnetic recording medium with the wiping tape.
前記溶剤は、前記ワイピングテープの送り側にて該ワイピングテープにスプレー式で噴射されることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体の製造方法。   The method of manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein the solvent is sprayed onto the wiping tape on a feeding side of the wiping tape. 前記端面とは、厚みをもった円盤状の磁気記録媒体のチャンファー部を含む側面部分を指し、少なくとも磁気ヘッド浮上領域は含まないことを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録媒体の製造方法。   3. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the end surface refers to a side surface portion including a chamfer portion of a disk-shaped magnetic recording medium having a thickness, and does not include at least a magnetic head floating region. Manufacturing method. 磁性層上に保護層を形成し、この保護層の上に液体潤滑層を塗付して形成される磁気記録媒体の製造装置であって、
前記液体潤滑層を塗付された後に、磁気記録媒体を回転させながら、前記液体潤滑を溶解する働きを有する溶剤を含有したワイピングテープを該磁気記録媒体の端面に一定の押し付け面圧で押し当てて、該磁気記録媒体の端面に塗付されている液体潤滑層を該ワイピングテープで拭取る手段を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
A magnetic recording medium manufacturing apparatus formed by forming a protective layer on a magnetic layer and applying a liquid lubricant layer on the protective layer,
After the liquid lubricant layer is applied, a wiping tape containing a solvent having a function of dissolving the liquid lubricant is pressed against the end surface of the magnetic recording medium with a constant pressing surface pressure while rotating the magnetic recording medium. And a means for wiping the liquid lubricant layer applied to the end face of the magnetic recording medium with the wiping tape.
前記溶剤を、前記ワイピングテープの送り側にて該ワイピングテープにスプレー式で噴射する手段を有することを特徴とする請求項4に記載の磁気記録媒体の製造装置。   5. The apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 4, further comprising means for spraying the solvent onto the wiping tape on a feeding side of the wiping tape. 前記端面とは、厚みをもった円盤状の磁気記録媒体のチャンファー部を含む側面部分を指し、少なくとも磁気ヘッド浮上領域は含まないことを特徴とする請求項4または5に記載の磁気記録媒体の製造装置。   6. The magnetic recording medium according to claim 4, wherein the end surface refers to a side surface portion including a chamfer portion of a disk-shaped magnetic recording medium having a thickness, and does not include at least a magnetic head floating region. Manufacturing equipment.
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