JP2008249589A - 微量液滴塗布システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】微量の液滴又は液を塗布する塗布装置の塗布量を計測する方法であって、水晶振動子を用いた微量質量センサ(QCMセンサ)に付着した被計測材料の質量から周波数の変化量を計測し、その計測値に基づいて塗布量制御のフィードバックを行い、塗布量を制御し、それにより、塗布される微量の液滴又は液の塗布量を計測することを特徴とする塗布量の計測方法、及びその計測装置。
【効果】ngレベルの塗布量を短時間で、かつ高精度に計測することが可能で、しかも塗布量をその場計測で計測し、塗布量制御のフィードバックにより微量の液滴又は液の塗布量を高精度に評価することができる。
【選択図】図1
Description
(1)微量の液滴又は液を塗布する塗布装置の塗布量を計測する方法であって、水晶振動子を用いた微量質量センサ(QCMセンサ)に付着した被計測材料の質量から周波数の変化量を計測し、その計測値に基づいて塗布量制御のフィードバックを行い、塗布量を制御し、それにより、塗布される微量の液滴又は液の塗布量を計測することを特徴とする塗布量の計測方法。
(2)塗布装置に配設したQCMセンサにより、上記周波数の変化量を計測することで、塗布される微量の液滴又は液の塗布量をその場計測により計測する、前記(1)記載の計測方法。
(3)上記計測値に基づいて塗布量の少又は多の評価を行い、その評価結果から塗布条件を変更することにより塗布量制御のフィードバックを行う、前記(1)記載の計測方法。
(4)上記塗布装置として、インクジェット又はディスペンサを用いる、前記(1)記載の計測方法。
(5)微量の液滴又は液を塗布する塗布装置の塗布量を計測する計測システムであって、微量の液滴又は液を塗布する塗布装置、塗布量を制御する塗出制御手段、上記塗布装置による塗布量を計測する水晶振動子を用いた微量質量センサ(QCMセンサ)、上記QCMセンサに付着した被計測材料の質量から周波数の変化量を計測する周波数計測器、上記周波数計測器による計測値に基づいて塗布量制御のフィードバックを行うフィードバック機構を具備していることを特徴とする塗布量の計測装置。
(6)上記塗布装置が、インクジェット又はディスペンサを備えた装置である、前記(5)記載の計測装置。
(7)前記(5)又は(6)に記載の計測装置を、塗布装置を含む塗布設備に配設して、塗布装置から塗出される微量の液滴又は液の量を所定の値に制御して、液滴又は液の塗出量を管理することを特徴とする塗布装置における液滴又は液の塗出量の管理方法。
本発明は、微量の液滴又は液を塗布する塗布装置の塗布量を高精度に計測する方法であって、水晶振動子を用いた微量質量センサ(QCMセンサ)に付着した被計測材料の質量から周波数の変化量を計測し、その計測値に基づいて塗布量制御のフィードバックを行い、塗布量を制御し、それにより、塗布される微量の液滴又は液の塗布量を短時間で、かつ高精度に計測する、ことを特徴とするものである。
(1)QCMセンサを用いて、微量の液滴もしくは液を塗布する塗布装置の塗布量を計測することで、ngレベルの塗布量を短時間で、かつ高精度に計測することが可能で、しかも塗布量制御のフィードバックが可能となる。
(2)小型であるQCMセンサを塗布装置の一部として組み込むことで、塗布量をその場計測で計測し、塗布量制御のフィードバックを実行することができる。
(3)QCMセンサを用いることで、微量の液滴の評価ができるため、塗布プロセスと当該プロセス間の均一塗布性を高精度に確認することができる。
(4)本発明の計測制御システムを利用することにより、塗布プロセスを含む生産工程の効率を上げることが可能となる。
(5)本発明の計測システムを利用することにより、塗布プロセスの品質管理を容易にすることが可能となる。
(6)小型軽量のQCMセンサを塗布装置の一部として組み込むことで、他の計測機器と比べて塗布部の移送を高速かつ高精度で実現できる。
本実施例では、図1に示されるQCMセンサのシステム構成において、塗布装置としてインクジェットを用いて塗布量の計測装置を構成した。すなわち、塗布材料として、イソプロパノール(i−propanol)を使用し、QCMセンサ(多摩デバイス製HC−49/U型水晶センサ)、周波数計測器(多摩デバイス製THQ−10D型)を具備する塗布量計測手段を備えた塗布システムを構築した。
図2に示されるシステムの制御アルゴリズムを利用して、塗布量制御のフィードバックシステムを作成した。すなわち、QCMセンサ、周波数計測器、インクジェット、塗出制御手段を含む塗布システムを用いて、データベースに保存した初期塗布条件で塗布を開始し、テスト塗布を実施した。QCMセンサで塗布量を計測し、その計測値と初期塗布条件を対照させて、塗布量の少又は多に応じて、塗布条件を変更し、変更塗布条件を設定して、塗布量が適用範囲内になるように塗布量制御のフィードバックを実行した。
本実施例では、上述のように、インクジェットシステムを用いて、QCMセンサにより塗布量の測定を行った。溶液としては、i−propanolを用いた。塗布条件としては、period 0.618 ms、delay 0.605 ms、温度は29℃とした。図3に、インクジェットの異なる塗布量(ドロップパルス数)に対する周波数シフト(Hz)と経時変化の関係を示す。横軸は時間経過(秒単位)、縦軸は周波数シフト(Hz)、グラフの100〜2000はドロップパルスで表した塗布量を示す。
Claims (7)
- 微量の液滴又は液を塗布する塗布装置の塗布量を計測する方法であって、水晶振動子を用いた微量質量センサ(QCMセンサ)に付着した被計測材料の質量から周波数の変化量を計測し、その計測値に基づいて塗布量制御のフィードバックを行い、塗布量を制御し、それにより、塗布される微量の液滴又は液の塗布量を計測することを特徴とする塗布量の計測方法。
- 塗布装置に配設したQCMセンサにより、上記周波数の変化量を計測することで、塗布される微量の液滴又は液の塗布量をその場計測により計測する、請求項1記載の計測方法。
- 上記計測値に基づいて塗布量の少又は多の評価を行い、その評価結果から塗布条件を変更することにより塗布量制御のフィードバックを行う、請求項1記載の計測方法。
- 上記塗布装置として、インクジェット又はディスペンサを用いる、請求項1記載の計測方法。
- 微量の液滴又は液を塗布する塗布装置の塗布量を計測する計測システムであって、微量の液滴又は液を塗布する塗布装置、塗布量を制御する塗出制御手段、上記塗布装置による塗布量を計測する水晶振動子を用いた微量質量センサ(QCMセンサ)、上記QCMセンサに付着した被計測材料の質量から周波数の変化量を計測する周波数計測器、上記周波数計測器による計測値に基づいて塗布量制御のフィードバックを行うフィードバック機構を具備していることを特徴とする塗布量の計測装置。
- 上記塗布装置が、インクジェット又はディスペンサを備えた装置である、請求項5記載の計測装置。
- 請求項5又は6に記載の計測装置を、塗布装置を含む塗布設備に配設して、塗布装置から塗出される微量の液滴又は液の量を所定の値に制御して、液滴又は液の塗出量を管理することを特徴とする塗布装置における液滴又は液の塗出量の管理方法。
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JP2007093057A JP2008249589A (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | 微量液滴塗布システム |
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JP2007093057A JP2008249589A (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | 微量液滴塗布システム |
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JP2002139370A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-17 | Ngk Insulators Ltd | 液滴吐出装置 |
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