JP2008246613A - ナノ材料を曲げる方法およびナノ材料の作動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ナノワイヤ1の表面に、加工後の使用温度とは相異なる加工温度において、ナノワイヤ1とは相異なる線膨張係数を有する異材2を形成する。形成後の断面は、加工温度と使用温度との温度差によって生じる熱応力が、断面に曲げモーメントを発生せしめるように、異材2の断面内配置に非対称性を有する。加工温度から使用温度に温度を変化させると、前記の曲げモーメントにより曲げ変形が発生し、これにより曲げ加工が実現できる。また、加工後の当該ナノ材料について使用温度を変化させることにより、上記と同様の原理により曲げ変形の曲率を変化させることができ、これにより超微小な作動装置を実現できる。
【選択図】図1
Description
以下、本発明を具体化した第1の実施形態を、図1〜図3に従って説明する。
図1は、製膜技術を用いた実施形態の説明図である。ここでは、ナノ材料の例として、基板から直立したナノワイヤ1を取り上げて説明している。スパッタリングなどの製膜技術を用いて、図1(a)の矢印のような方向で、すなわちナノワイヤ1の長軸方向に対して0度より大きい角度を持って異材2の原子および粒子を飛翔させ、ナノワイヤ1表面に堆積させる。これにより、異材2の膜厚は、図1(b)のように、ナノワイヤ1の周方向で不均一となる。異材2には、線膨張係数がナノワイヤ1と互いに異なる材料を使用する。また、製膜(堆積)時のナノワイヤ基板の温度は、温度制御技術等を用いて、製膜後の屈曲ナノワイヤ1の使用温度とは異なる温度に設定する。すなわち、製膜時および使用時の環境温度に有限の差をもたせる。異材2の線膨張係数がナノワイヤ1に比べ小さく、かつ使用時の温度が製膜時の温度に比べ小さい場合、ナノワイヤ1が異材2に比べ長軸方向に大きく熱収縮しようとするため、当該被覆ナノワイヤには、屈曲形状3のように、異材2の膜厚の大きい側(図1(b)の右側)を凸側として曲げ変形が発生する。なお、ここでは、ナノワイヤ1を例として取り上げたが、ナノリボンなどのナノシートにも適用できる。
次に、本発明を具体化した第2の実施形態を、図4に従って説明する。
図4は、貼り合わせ(接合)技術を用いた実施形態の説明図である。ここでは、ナノ材料の例として、基板から直立したナノワイヤ4を取り上げて説明している。ナノワイヤ4の曲げたい箇所に、異材ナノワイヤ5を、長軸方向に接合する。図4(b)は、接合部の断面である。異材ナノワイヤ5には、線膨張係数がナノワイヤ4と互いに異なる材料を使用する。また接合時のナノワイヤ基板の温度は、温度制御技術等を用いて、製膜後の屈曲ナノワイヤの使用温度とは異なる温度に設定する。すなわち、接合時および使用時の環境温度に有限の差をもたせる。異材ナノワイヤ5の線膨張係数がナノワイヤ4に比べ小さく、かつ使用時の温度が接合時の温度に比べ小さい場合、ナノワイヤ4が異材ナノワイヤ5に比べ長軸方向に大きく熱収縮しようとするため、当該ナノワイヤ4の接合部には、屈曲形状6のように、異材ナノワイヤ5の側(図4(b)の右側)を凸側として曲げ変形が発生する。なお、ここでは、ナノワイヤ4を例として取り上げたが、ナノリボンなどのナノシートにも適用できる。
次に、本発明を具体化した第3の実施形態を、図1に従って説明する。
曲げ加工後のナノ材料3の温度を、当該ナノ材料3を支持する基板に付与した加熱用のヒーターあるいは加熱冷却用のペルチエ素子、および温度計測用の温度センサを用いて、所定の温度に変化させ、これに伴いナノ材料3の曲げ変形の曲率を所定の量に変化させることにより、作動装置としての働きを実現できる。なお、当該加熱用ヒーターの代わりに、輻射伝熱を利用したヒーターを用いてもよい。
2 異材
3 屈曲形状
4 ナノワイヤ
5 異材ナノワイヤ
6 屈曲形状
Claims (4)
- 所定の加工温度において、ワイヤ状あるいはシート状のナノ材料の表面に、前記ナノ材料とは異なる線膨張係数を有する一種以上の異材を、断面内配置が前記ナノ材料に対して非対称性を有するよう設け、前記加工温度とは異なる使用温度に環境温度を変化させた際に生じる熱応力により、前記ナノ材料の断面に曲げモーメントを発生させて、前記ナノ材料を曲げることを、特徴とするナノ材料を曲げる方法。
- 製膜技術により前記異材を前記ナノ材料の表面に堆積させて設けることを、特徴とする請求項1記載のナノ材料を曲げる方法。
- 前記異材はワイヤ状あるいはシート状であり、前記異材を前記ナノ材料の表面に貼り合わせて設けることを、特徴とする請求項1記載のナノ材料を曲げる方法。
- 請求項1、2または3記載のナノ材料を曲げる方法を用いて曲げ加工されたナノ材料と、
前記ナノ材料の曲げ変形の曲率を変化させるよう、前記ナノ材料の温度を変化可能に設けられた温度調節器とを、
有することを特徴とするナノ材料の作動装置。
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JP2007089548A JP5194252B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | ナノ材料を曲げる方法およびナノ材料の作動装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102320566A (zh) * | 2011-10-14 | 2012-01-18 | 中国科学院物理研究所 | 一种采用自对准成型制备三维纳米空间电极的方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2002172598A (ja) * | 2000-12-08 | 2002-06-18 | Fuji Xerox Co Ltd | カーボンナノチューブデバイスおよびその製造方法、並びに、カーボンナノチューブの精製方法 |
JP2002307400A (ja) * | 2001-04-10 | 2002-10-23 | Japan Science & Technology Corp | 単結晶部材の加工方法及びその加工装置 |
JP2008100335A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ナノ構造およびナノ構造の作製方法 |
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2007
- 2007-03-29 JP JP2007089548A patent/JP5194252B2/ja active Active
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