JP2008243743A - 固体酸化物薄膜、固体酸化物薄膜の形成方法、その固体酸化物薄膜を用いた固体酸化物形燃料電池、及び固体酸化物形水蒸気電解装置 - Google Patents
固体酸化物薄膜、固体酸化物薄膜の形成方法、その固体酸化物薄膜を用いた固体酸化物形燃料電池、及び固体酸化物形水蒸気電解装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】固体酸化物薄膜は、RFマグネトロンスパッタリングでアノード電極3上に中間層を介在させずに固体酸化物を堆積させ、前記アノード電極3との間に反応相を生成させずに熱処理して形成した。固体酸化物薄膜の形成方法は、RFマグネトロンスパッタリングにより、アノード電極3上にランタンガレートを堆積する工程と、前記ランタンガレートを堆積した前記アノード電極3を1200℃未満で熱処理する工程とを備える。
【選択図】図1
Description
1.実施形態
(1)第1実施形態(固体酸化物形燃料電池)
図1に示す固体酸化物形燃料電池(SOFC:Solid Oxide Fuel Cell)1は、支持体としてのアノード電極2、該アノード電極2の表面上に形成した電解質層としての固体酸化物薄膜3、該固体酸化物薄膜3の表面上に形成したカソード電極4からなるシングルセルを基本単位として構成されている。固体酸化物薄膜3は、RFマグネトロンスパッタリングでアノード電極2の表面上に固体酸化物としてのランタンガレートを堆積して形成されている。このようにRFマグネトロンスパッタリングで固体酸化物薄膜3を形成するので、厚さを5μm以下とすることができる。
(2)第2実施形態(固体酸化物形水蒸気電解装置)
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。尚、上記した構成と同様の構成については同様の符号を付し、簡単のため説明を省略する。図2に示す固体酸化物形水蒸気電解装置15は、支持体としての水素極16、該水素極16の表面上に形成した固体酸化物薄膜3、該固体酸化物薄膜3の表面上に形成した酸素極17、及び電源11からなる。
2.実施例
実施例として、熱処理温度に対する固体酸化物薄膜の結晶構造を調べた。試料は、RFマグネトロンスパッタリングにより、支持体としてのNiO−ScSZ基板上に、固体酸化物としてのランタンガレートを堆積させた後、ランタンガレートを堆積したNiO−ScSZ基板を熱処理して作製した。熱処理の温度は600℃〜1100℃である。
2 アノード電極(支持体)
3 固体酸化物薄膜(電解質層)
4 カソード電極(支持体)
15 固体酸化物形水蒸気電解装置
16 水素極(支持体)
Claims (9)
- RFマグネトロンスパッタリングで中間層を介在させずに支持体上に固体酸化物を堆積させ、前記支持体との間に反応相を生成させずに熱処理して形成したことを特徴とする固体酸化物薄膜。
- 厚さが5μm以下であることを特徴とする請求項1記載の固体酸化物薄膜。
- 前記固体酸化物がランタンガレートであることを特徴とする請求項1又は2記載の固体酸化物薄膜。
- 前記請求項1〜3のうちいずれかの固体酸化物薄膜を電解質層に用いたことを特徴とする固体酸化物形燃料電池。
- 前記請求項1〜3のうちいずれかの固体酸化物薄膜を電解質層に用いたことを特徴とする固体酸化物形水蒸気電解装置。
- RFマグネトロンスパッタリングにより、中間層を介在させずに支持体上に固体酸化物を堆積する第1の工程と、前記固体酸化物を堆積した前記支持体を1200℃未満で熱処理する第2の工程とを備えることを特徴とする固体酸化物薄膜の形成方法。
- 前記第1の工程は、前記固体酸化物がランタンガレートであって、支持体の温度を室温又は300℃〜600℃、0.1〜10Paのアルゴンと酸素の混合ガス雰囲気において、RFパワーを1〜50W/cm2とする成膜条件で行うことを特徴とする請求項6記載の固体酸化物薄膜の形成方法。
- 前記第1の工程は、前記固体酸化物がランタンガレートであって、支持体の温度を室温又は300℃〜600℃、0.1〜10Paのアルゴンガス雰囲気において、RFパワーを1〜50W/cm2とする成膜条件で行うことを特徴とする請求項6記載の固体酸化物薄膜の形成方法。
- 前記支持体が、NiO−ScSZ、NiO−YSZ、NiO−GDC、及びNiO−SDCのうちいずれかで構成されていることを特徴とする請求項6〜8のうちいずれか1項に記載の固体酸化物薄膜の形成方法。
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