JP2008238413A - Wiring member for liquid jet head, and liquid jet head - Google Patents

Wiring member for liquid jet head, and liquid jet head Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid jet head which can contribute to miniaturization. <P>SOLUTION: A plurality of terminal trains 46 each comprised of a plurality of wiring terminals 44 arranged in a row to be joined to driving terminals of piezoelectric elements are set correspondingly to piezoelectric element arrays. Of the terminal trains located at both ends in an arrangement direction of each terminal train 46, at least the terminal train of one end is made a wiring lead-out terminal train 47. At least a part of wiring cables which conduct with respective wiring terminals of the other terminal trains than the wiring lead-out terminal train are led out to the outside of the wiring lead-out terminal train through a gap between adjacent wiring terminals of the wiring lead-out terminal train. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドに用いられる液体噴射ヘッド用配線部材、及び、液体噴射ヘッドに係り、特に、液体噴射ヘッドの圧電素子に対応した配線端子を列設して成る配線端子列を有する液体噴射ヘッド用配線部材、及び、これを備えた液体噴射ヘッドに関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head wiring member used for a liquid ejecting head such as an ink jet recording head, and a liquid ejecting head, and in particular, wiring terminals corresponding to piezoelectric elements of the liquid ejecting head are arranged in a line. The present invention relates to a liquid ejecting head wiring member having a wiring terminal array, and a liquid ejecting head including the same.

圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドの一種に、振動板の表面に形成された圧電素子(圧力発生素子の一種)を撓み変形させることで液滴を吐出させるようにしたものがある。この液体噴射ヘッドは、例えば、圧力室と圧電素子とを備えたアクチュエータユニットと、ノズル開口や共通液室を備えた流路ユニットとから構成される。この液体噴射ヘッドでは、駆動信号を印加して圧電素子を駆動させることで圧力室容積を変化させ、圧力室内に貯留された液体に圧力変動を生じさせ、この圧力変動を利用することでノズル開口から液滴を吐出させる。   By deflecting and deforming a piezoelectric element (a kind of pressure generating element) formed on the surface of the diaphragm, a kind of liquid ejecting head that discharges as a droplet from the nozzle opening by causing a pressure fluctuation in the liquid in the pressure chamber There is one in which droplets are ejected. For example, the liquid ejecting head includes an actuator unit including a pressure chamber and a piezoelectric element, and a flow path unit including a nozzle opening and a common liquid chamber. In this liquid ejecting head, the pressure chamber volume is changed by driving a piezoelectric element by applying a drive signal, pressure fluctuation is generated in the liquid stored in the pressure chamber, and the nozzle opening is generated by using this pressure fluctuation. A droplet is discharged from the nozzle.

上記圧電素子は個別に素子端子を有しており、この素子端子にFPC(フレキシブル・プリンティング・サーキット)やTCP(テープ・キャリア・パッケージ)等のフィルム状の配線部材(以下、フレキシブルケーブル)の配線端子が接続され、このフレキシブルケーブルを介して駆動回路であるICから駆動信号が供給されるようになっている。図9は、従来のフレキシブルケーブルの一例を示している。このフレキシブルケーブル57は、ポリイミドやポリエステル等の絶縁性フィルムの表面に、銅箔で導体パターン(配線パターン:図示せず)を形成するとともに、配線端子59以外の部分をレジスト58で覆って構成している。このフレキシブルケーブル57の配線端子59の部分には、予めハンダメッキが施されており、この配線端子59を圧電素子の素子端子にハンダ付けすることによって、フレキシブルケーブル57がアクチュエータユニットに取り付けられる(例えば、特許文献1参照)。例示したフレキシブルケーブル57は、図9における左半分と右半分とで、それぞれ異なるアクチュエータユニットに対応している。即ち、このフレキシブルケーブル57は、2つのアクチュエータユニットに対して共通の配線ケーブルとなっている。   Each of the piezoelectric elements has an element terminal, and wiring of a film-like wiring member (hereinafter referred to as a flexible cable) such as FPC (flexible printing circuit) or TCP (tape carrier package) is provided on the element terminal. Terminals are connected, and a drive signal is supplied from an IC which is a drive circuit via the flexible cable. FIG. 9 shows an example of a conventional flexible cable. The flexible cable 57 is formed by forming a conductor pattern (wiring pattern: not shown) with copper foil on the surface of an insulating film such as polyimide or polyester and covering portions other than the wiring terminal 59 with a resist 58. ing. The portion of the wiring terminal 59 of the flexible cable 57 is pre-soldered, and the flexible cable 57 is attached to the actuator unit by soldering the wiring terminal 59 to the element terminal of the piezoelectric element (for example, , See Patent Document 1). The illustrated flexible cable 57 corresponds to different actuator units in the left half and the right half in FIG. That is, the flexible cable 57 is a common wiring cable for the two actuator units.

特開2006−281477号公報(図2、図3)JP 2006-281477 A (FIGS. 2 and 3)

ここで、上記フレキシブルケーブル57では、配線端子列60a〜60d同士の空きスペース(配線スペース)に配線パターンが形成されている。この例では、1列目の端子列60aの左側方、2列目の端子列60bと3列目の端子列60cの間、及び、4列目の端子列60dの右側方にそれぞれ配線スペースが設けられている。そして、例えば、1つの端子列60が90本の配線端子59を列設して構成されている場合、各端子列60から配線パターンがそれぞれの一側の配線スペースに90本ずつ出ていることになる。そして、2列目の端子列60bと3列目の端子列60cの間の配線スペースは、合計180本分の配線パターンを形成するための間隔(図9においてDの範囲で示す間隔)が必要となっていた。そして、この端子列60b,60cの間隔を必要とするために、アクチュエータユニット(圧力発生素子列)の配置間隔が規制されてしまい、その結果、液体噴射ヘッド全体の小型化に支障を来していた。   Here, in the flexible cable 57, a wiring pattern is formed in an empty space (wiring space) between the wiring terminal rows 60a to 60d. In this example, there is a wiring space on the left side of the first terminal row 60a, between the second row of terminal rows 60b and the third row of terminal rows 60c, and on the right side of the fourth row of terminal rows 60d. Is provided. For example, in the case where one terminal row 60 is configured by arranging 90 wiring terminals 59, 90 wiring patterns protrude from each terminal row 60 to the wiring space on one side. become. The wiring space between the second terminal row 60b and the third terminal row 60c needs to have a space for forming a total of 180 wiring patterns (the space indicated by the range D in FIG. 9). It was. Further, since the interval between the terminal rows 60b and 60c is required, the arrangement interval of the actuator units (pressure generating element rows) is restricted. As a result, the liquid ejecting head is hindered in size reduction. It was.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、小型化に寄与することが可能な液体噴射ヘッド用配線部材、及び、液体噴射ヘッドを提供することにある。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a liquid jet head wiring member and a liquid jet head that can contribute to downsizing.

本発明の液体噴射ヘッド用配線部材は、上記目的を達成するために提案されたものであり、素子端子を通じて駆動信号が印加されることにより変形し、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出させるための圧力発生素子を複数列設して成る圧力発生素子列を備えた液体噴射ヘッドに前記駆動信号を供給する配線部材であって、
前記圧力発生素子の素子端子に接合される配線端子を複数列設して成る端子列を、各圧力発生素子列に対応して複数有し、
各端子列の列設方向における両端に位置する端子列のうち、少なくとも一端の端子列を配線引出し端子列とし、
前記配線引出し端子列以外の他の端子列の各配線端子に導通する配線のうちの少なくとも一部を、配線引出し端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通して当該配線引出し端子列の外側に引き出したことを特徴とする。
The wiring member for a liquid jet head according to the present invention has been proposed in order to achieve the above object, and is deformed by applying a drive signal through an element terminal to cause pressure fluctuation in the liquid in the pressure chamber. A wiring member that supplies the drive signal to a liquid jet head having a pressure generating element array in which a plurality of pressure generating elements for discharging droplets from a nozzle opening are provided;
A plurality of terminal rows corresponding to each pressure generating element row, each having a plurality of wiring terminals connected to the element terminals of the pressure generating element;
Among the terminal rows located at both ends in the row direction of each terminal row, at least one terminal row is a wiring lead-out terminal row,
At least a part of the wiring that conducts to each wiring terminal of the other terminal row other than the wiring lead terminal row is drawn to the outside of the wiring lead terminal row through a gap between adjacent wiring terminals in the wire lead terminal row. It is characterized by that.

上記構成によれば、各端子列の列設方向における両端に位置する端子列のうち、少なくとも一端の端子列を配線引出し端子列とし、配線引出し端子列以外の他の端子列の各配線端子に導通する配線のうちの少なくとも一部を、配線引出し端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通して当該配線引出し端子列の外側に引き出したので、配線引出し端子列以外の他の端子列では、配線引出し端子列側とは反対側の側方に引き出す配線の本数を減らせるため、その分、配線スペースを縮小することができる。これにより、配線スペースを縮小した分だけ端子列間の間隔を狭めることができる。これに応じて、圧力発生素子列の配置間隔を狭めることができる。その結果、液体噴射ヘッド全体の小型化に寄与することが可能となる。   According to the above configuration, at least one terminal row among the terminal rows located at both ends in the row direction of each terminal row is a wiring lead-out terminal row, and each wiring terminal of the other terminal row other than the wiring lead-out terminal row Since at least a part of the conductive wiring is drawn out of the wiring lead-out terminal row through the gap between adjacent wiring terminals in the wiring lead-out terminal row, the wiring lead-out is performed in other terminal rows other than the wiring lead-out terminal row. Since the number of wires drawn out to the side opposite to the terminal row side can be reduced, the wiring space can be reduced accordingly. Thereby, the space | interval between terminal rows can be narrowed by the part which reduced wiring space. Accordingly, the arrangement interval of the pressure generating element rows can be reduced. As a result, it is possible to contribute to downsizing of the entire liquid ejecting head.

上記構成において、所定の端子列と前記配線引出し端子列との間に他の端子列が存在する構成において、当該所定の端子列の各配線端子の配線のうちの少なくとも一部を、前記他の端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通すと共に、前記配線引出し端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通して配線引出し端子列の外側に引き出す構成を採用することができる。   In the above configuration, in the configuration in which another terminal row exists between the predetermined terminal row and the wiring lead-out terminal row, at least a part of the wiring of each wiring terminal of the predetermined terminal row is connected to the other terminal row. It is possible to adopt a configuration in which the gap between adjacent wiring terminals in the terminal row is passed and the outside is extended to the outside of the wiring lead-out terminal row through the gap between adjacent wiring terminals in the wiring lead-out terminal row.

この構成によれば、所定の端子列の各配線端子の配線のうちの少なくとも一部を、他の端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通すと共に、配線引出し端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通して配線引出し端子列の外側に引き出すようにすることで、配線引出し端子列の隣の端子列に限らず、配線引出し端子列との間に他の端子列が存在する所定の端子列においても配線引出し端子列側とは反対側の側方に引き出す配線の本数を減らせることができる。   According to this configuration, at least a part of the wiring of each wiring terminal in the predetermined terminal row is passed through the gap between the adjacent wiring terminals in the other terminal row, and between the adjacent wiring terminals in the wiring lead-out terminal row. By pulling out to the outside of the wiring lead-out terminal row through the gap, not only in the terminal row next to the wiring lead-out terminal row, but also in a predetermined terminal row in which another terminal row exists between the wiring lead-out terminal row In addition, the number of wires drawn out to the side opposite to the wire lead-out terminal row side can be reduced.

また、上記構成において、前記配線端子が、無電解メッキによって導電性金属を固着することで形成される構成を採用することが望ましい。   Moreover, in the said structure, it is desirable to employ | adopt the structure in which the said wiring terminal is formed by adhering a conductive metal by electroless plating.

この構成によれば、電解メッキを採用する構成に比べてメッキ用導通パターンやメッキ用端子が不要となるので、その分、配線レイアウトの自由度が向上する。   According to this configuration, a conductive pattern for plating and a terminal for plating are not required as compared with a configuration employing electrolytic plating, and the degree of freedom in wiring layout is improved accordingly.

また、本発明の液体噴射ヘッドは、上記各構成の配線部材を通じて圧力発生素子に印加するように構成したことを特徴とする。   In addition, the liquid jet head according to the present invention is configured to be applied to the pressure generating element through the wiring members having the above-described configurations.

この構成では、配線部材における端子列間の間隔が従来よりも縮小されたので、各端子列に対応する圧力発生素子列の配置間隔を狭めることができる。その結果、液体噴射ヘッド全体の小型化が可能となる。   In this configuration, since the interval between the terminal rows in the wiring member is reduced as compared with the prior art, the arrangement interval of the pressure generating element rows corresponding to each terminal row can be reduced. As a result, the entire liquid ejecting head can be reduced in size.

また、上記構成において、前記圧力発生素子の素子端子と液体噴射ヘッド用配線部材の配線端子が、異方性導電接着剤によって接合される構成を採用することが望ましい。   In the above configuration, it is desirable to adopt a configuration in which the element terminal of the pressure generating element and the wiring terminal of the liquid jet head wiring member are joined by an anisotropic conductive adhesive.

この構成によれば、配線端子に半田付け用の材料を用いなくても圧力発生素子の素子端子との電気的な導通がとれるので、配線端子の形成に無電解メッキを使用することが可能となる。   According to this configuration, it is possible to use electroless plating for the formation of the wiring terminal because the electrical connection with the element terminal of the pressure generating element can be obtained without using a soldering material for the wiring terminal. Become.

さらに、上記構成において、上記各圧力発生素子列が、圧力発生素子の列設方向に直交する方向に配列されている構成に好適である。   Furthermore, in the above configuration, each of the pressure generating element rows is suitable for a configuration in which the pressure generating element rows are arranged in a direction perpendicular to the direction in which the pressure generating elements are arranged.

以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録装置(液体噴射装置の一種。以下、単にプリンタという)に搭載されるインクジェット式記録ヘッド(以下、単に記録ヘッドという)を例に挙げて行う。   The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In the embodiments described below, various limitations are made as preferred specific examples of the present invention. However, the scope of the present invention is not limited to the following description unless otherwise specified. However, the present invention is not limited to these embodiments. In the following description, an ink jet recording head (hereinafter simply referred to as a recording head) mounted on an ink jet recording apparatus (a type of liquid ejecting apparatus; hereinafter simply referred to as a printer) is taken as an example of the liquid ejecting head of the present invention. To do.

図1は、記録ヘッド1の構成の一例を説明する分解斜視図である。この記録ヘッド1は、図示しないインクカートリッジ内に貯留されたインク(本発明における液体の一種)をヘッド内部に導入するインク供給針2が複数配設された供給針ユニット3と、圧電素子30(圧力発生素子の一種。図2等参照)を有するアクチュエータユニット4及び流路ユニット5から成るヘッドユニット6とを、ヘッドケース9に備えて概略構成される。また、この記録ヘッド1において、ヘッドケース9の先端側(供給針ユニット3の接合面とは反対側)には、ヘッドユニット6を保護すると共に、ノズルプレート8を接地電位に調整するための金属製のカバー10が取り付けられるようになっている。   FIG. 1 is an exploded perspective view illustrating an example of the configuration of the recording head 1. The recording head 1 includes a supply needle unit 3 provided with a plurality of ink supply needles 2 for introducing ink (a kind of liquid in the present invention) stored in an ink cartridge (not shown) into the head, and a piezoelectric element 30 ( A head unit 6 including an actuator unit 4 having a kind of pressure generating element (see FIG. 2 and the like) and a flow path unit 5 is schematically provided. Further, in this recording head 1, a metal for protecting the head unit 6 and adjusting the nozzle plate 8 to the ground potential on the tip side of the head case 9 (on the side opposite to the joint surface of the supply needle unit 3). A cover 10 made of metal is attached.

供給針ユニット3は、インク供給針2がヘッド主走査方向(ノズル列直交方向)に横並びに配設された合成樹脂製の部材である。この供給針ユニット3に配設されるインク供給針2の先端部は円錐状に尖っており、インクカートリッジ内に挿入し易くなっている。また、この先端部には、インク供給針2の内外を連通する導入孔が複数穿設されており、これらの導入孔を通じてインクカートリッジ内のインクがヘッド内に導入される。そして、本実施形態の記録ヘッド1は4種類のインクを吐出可能であるため、供給針ユニット3には、合計4本のインク供給針2が先端を上方に突出した姿勢で配設されている。   The supply needle unit 3 is a synthetic resin member in which the ink supply needles 2 are arranged side by side in the head main scanning direction (the nozzle row orthogonal direction). The tip of the ink supply needle 2 disposed in the supply needle unit 3 is pointed in a conical shape so that it can be easily inserted into the ink cartridge. In addition, a plurality of introduction holes communicating with the inside and outside of the ink supply needle 2 are formed at the tip portion, and ink in the ink cartridge is introduced into the head through these introduction holes. Since the recording head 1 of the present embodiment is capable of ejecting four types of ink, the supply needle unit 3 is provided with a total of four ink supply needles 2 with the tip protruding upward. .

ヘッドケース9は、上記供給針ユニット3や配線基板11が取り付けられるベース部12と、このベース部12の底部から下方に向けて延出し、開口面にヘッドユニット6が取り付けられる中空箱体状のケース部13とにより構成される部材である。本実施形態においては、このヘッドケース9と上記供給針ユニット3は、例えば、変性PPE(ポリフェニレンエーテル)樹脂等の合成樹脂によって作製されている。そして、ヘッドケース9のベース部12には、ケース流路14の上部開口が、供給針ユニット3の各インク供給針2に対応した位置にそれぞれ開設されている。また、ベース部12には、配線基板11を配設するための基板配設部15が区画されている。   The head case 9 has a base portion 12 to which the supply needle unit 3 and the wiring substrate 11 are attached, and a hollow box-like shape that extends downward from the bottom portion of the base portion 12 and has the head unit 6 attached to the opening surface. It is a member constituted by the case portion 13. In the present embodiment, the head case 9 and the supply needle unit 3 are made of a synthetic resin such as a modified PPE (polyphenylene ether) resin. In the base portion 12 of the head case 9, an upper opening of the case flow path 14 is opened at a position corresponding to each ink supply needle 2 of the supply needle unit 3. Further, the base portion 12 is partitioned with a substrate placement portion 15 for placing the wiring substrate 11.

上記配線基板11は、コネクタ16を備えており、このコネクタ16には、プリンタ本体側からのFFC(フレキシブルフラットケーブル)等の配線ケーブル(図示せず)が装着されるようになっている。また、配線基板11には、接続用端子17が形成されており、この接続用端子17には、TCP(テープキャリアパッケージ)等のフィルム状のフレキシブルケーブル18(本発明における配線部材の一種に相当)が電気的に接続される。そして、この配線基板11は、プリンタ本体側からの駆動信号をFFCを通じて受けると共に、この駆動信号をフレキシブルケーブル18を通じてアクチュエータユニット4の圧電素子30に印加するようになっている。このフレキシブルケーブル18の詳細については後述する。   The wiring board 11 includes a connector 16 to which a wiring cable (not shown) such as an FFC (flexible flat cable) from the printer main body side is attached. The wiring board 11 is formed with a connection terminal 17, and the connection terminal 17 is a film-like flexible cable 18 such as a TCP (tape carrier package) (corresponding to a kind of wiring member in the present invention). ) Are electrically connected. The wiring board 11 receives a drive signal from the printer body through the FFC and applies the drive signal to the piezoelectric element 30 of the actuator unit 4 through the flexible cable 18. Details of the flexible cable 18 will be described later.

ノズルプレート8は、流路ユニット5を構成する部材の1つである。このノズルプレート8には、ドット形成密度に応じたピッチで複数のノズル開口19が列状に開設されており、本実施形態においては、このノズル開口19の列(ノズル列)が、主走査方向に複数条(4列)並設されている。そして、このノズルプレート8は、流路ユニット5において、アクチュエータユニット4の接合面側とは反対側に配置される。   The nozzle plate 8 is one member constituting the flow path unit 5. In the nozzle plate 8, a plurality of nozzle openings 19 are formed in a row at a pitch corresponding to the dot formation density. In this embodiment, the row of nozzle openings 19 (nozzle row) is in the main scanning direction. Multiple lines (4 rows) are arranged side by side. The nozzle plate 8 is disposed in the flow path unit 5 on the side opposite to the joint surface side of the actuator unit 4.

図2は、上記ヘッドユニット6の構成を説明する要部断面図、図3は、ヘッドユニット6の平面図である。本実施形態におけるヘッドユニット6は、流路ユニット5の上面(アクチュエータ載置面)にアクチュエータユニット4を積層した状態で一体化して構成されている。流路ユニット5は、オリフィスとして機能するインク供給口22及びノズル連通口23の一部となる通孔が形成された供給口プレート24と、インク供給針2側からのインクが供給されるリザーバ25(共通液体室)及びノズル連通口23の一部となる通孔が形成されたリザーバプレート26と、上記ノズルプレート8とから構成されている。そして、流路ユニット5は、リザーバプレート26の一方の面にノズルプレート8を、他方の面に供給口プレート24をそれぞれ配置し、これらの部材の間を熱溶着フィルム等によって接合して構成されている。これらの供給口プレート24、リザーバプレート26、ノズルプレート8は、例えば、ステンレス鋼などの金属製の板材をプレス加工することで作製されている。そして、この流路ユニット5は、リザーバ25からノズル開口19に至るまでのインク流路(液体流路)を形成している。   FIG. 2 is a cross-sectional view of an essential part for explaining the configuration of the head unit 6, and FIG. 3 is a plan view of the head unit 6. The head unit 6 in the present embodiment is integrally configured with the actuator unit 4 laminated on the upper surface (actuator placement surface) of the flow path unit 5. The flow path unit 5 includes an ink supply port 22 that functions as an orifice and a supply port plate 24 in which a through hole that is a part of the nozzle communication port 23 is formed, and a reservoir 25 that is supplied with ink from the ink supply needle 2 side. (Common liquid chamber) and a reservoir plate 26 in which a through-hole serving as a part of the nozzle communication port 23 is formed, and the nozzle plate 8. The flow path unit 5 is configured such that the nozzle plate 8 is disposed on one surface of the reservoir plate 26 and the supply port plate 24 is disposed on the other surface, and these members are joined together by a heat welding film or the like. ing. The supply port plate 24, the reservoir plate 26, and the nozzle plate 8 are produced, for example, by pressing a metal plate material such as stainless steel. The flow path unit 5 forms an ink flow path (liquid flow path) from the reservoir 25 to the nozzle opening 19.

アクチュエータユニット4は、圧力室28となる通孔を開設した圧力室プレート29と、圧電素子30が複数横並びに実装されると共に圧力室28の一部を区画する振動子プレート31と、供給側連通口32となる通孔及びノズル連通口23となる通孔を形成した連通口プレート34とを積層した状態で備えている。これらの圧力室プレート29、振動子プレート31、及び、連通口プレート34は、アルミナや酸化ジルコニウム等のセラミックスで作製されており、焼成によって一体化される。本実施形態においては、図3に示すように、合計2つのアクチュエータユニット4が流路ユニット5上に設けられている。そして、1つのアクチュエータユニット4は、2条のノズル列分の圧力室28や圧電素子30を備えてユニット化されている。   The actuator unit 4 includes a pressure chamber plate 29 having a through hole serving as a pressure chamber 28, a transducer plate 31 in which a plurality of piezoelectric elements 30 are mounted side by side, and a part of the pressure chamber 28, and a supply-side communication. A communication hole plate provided with a through hole to be the port 32 and a communication hole plate having a through hole to be the nozzle communication port 23 are provided in a stacked state. The pressure chamber plate 29, the vibrator plate 31, and the communication port plate 34 are made of ceramics such as alumina and zirconium oxide, and are integrated by firing. In the present embodiment, a total of two actuator units 4 are provided on the flow path unit 5 as shown in FIG. One actuator unit 4 is unitized with pressure chambers 28 and piezoelectric elements 30 for two nozzle rows.

上記の圧力室28は、ノズル列とは直交する方向に細長い空部となっており、ノズル開口19に対応して複数形成されている。そして、各圧力室28の一端側は、供給側連通口32及びインク供給口22を通じてリザーバ25に連通している。また、供給側連通口32とは反対側の圧力室28の他端側は、ノズル連通口23を通じてノズル開口19に連通している。この圧力室28の一部、即ち、連通口プレート34とは反対側となる面は、振動子プレート31によって区画されている。   The pressure chamber 28 is a hollow space that is elongated in a direction orthogonal to the nozzle row, and a plurality of pressure chambers 28 are formed corresponding to the nozzle openings 19. One end side of each pressure chamber 28 communicates with the reservoir 25 through the supply side communication port 32 and the ink supply port 22. The other end of the pressure chamber 28 opposite to the supply side communication port 32 communicates with the nozzle opening 19 through the nozzle communication port 23. A part of the pressure chamber 28, that is, a surface opposite to the communication port plate 34 is partitioned by the vibrator plate 31.

本実施形態において、圧力発生素子の一種として機能する圧電素子30は、付与された電界に応じて撓み振動を行う所謂撓みモードの圧電素子であり、駆動電極36と共通電極37で圧電体層38を挟んだ状態に形成されている。この圧電素子30は、圧力室28とは反対側の振動子プレート31の表面に、圧力室28を覆い隠す状態に形成されている。即ち、各圧電素子30は、各圧力室28に対応してノズル列方向に列設されて、圧電素子列41(圧力発生素子列)を形成している。そして、1つのアクチュエータユニット4には、圧電素子列41が、圧電素子30の列設方向(ノズル列方向)に直交する方向に2列形成されている。したがって、ヘッドユニット6には、合計4列の圧電素子列41が設けられている。   In the present embodiment, the piezoelectric element 30 that functions as a kind of pressure generating element is a so-called bending mode piezoelectric element that performs bending vibration in accordance with an applied electric field. The piezoelectric layer 38 includes a drive electrode 36 and a common electrode 37. It is formed in the state which pinched | interposed. The piezoelectric element 30 is formed on the surface of the transducer plate 31 opposite to the pressure chamber 28 so as to cover the pressure chamber 28. That is, each piezoelectric element 30 is arranged in the nozzle row direction corresponding to each pressure chamber 28 to form a piezoelectric element row 41 (pressure generating element row). In one actuator unit 4, two rows of piezoelectric element rows 41 are formed in a direction perpendicular to the direction in which the piezoelectric elements 30 are arranged (nozzle row direction). Therefore, the head unit 6 is provided with a total of four rows of piezoelectric elements 41.

上記圧電素子30の長手方向の一側には、圧電素子30毎に個別の駆動端子39(素子端子の一種)が形成されている。この駆動端子39は、圧電素子30の駆動電極36に導通すると共に、フレキシブルケーブル18の配線端子44(図4参照)と電気的に接続される部分である。また、共通電極37は、共通幹電極を介して共通接地端子(素子端子の一種。図示せず)に導通している。駆動端子39及び共通接地端子は、金属材料によって作製されており、例えばスクリーン印刷によって、アクチュエータユニット4の表面に形成されている。そして、各駆動端子39や共通接地端子は、ノズル列方向に列設されて駆動端子列40を構成しており、この駆動端子列40は、アクチュエータユニット4の幅方向の中心寄りに2列形成されている。したがって、ヘッドユニット6には、合計4列の駆動端子列40が設けられている。   On one side in the longitudinal direction of the piezoelectric element 30, an individual drive terminal 39 (a kind of element terminal) is formed for each piezoelectric element 30. The drive terminal 39 is a portion that is electrically connected to the drive electrode 36 of the piezoelectric element 30 and is electrically connected to the wiring terminal 44 (see FIG. 4) of the flexible cable 18. The common electrode 37 is electrically connected to a common ground terminal (a kind of element terminal, not shown) via a common trunk electrode. The drive terminal 39 and the common ground terminal are made of a metal material, and are formed on the surface of the actuator unit 4 by, for example, screen printing. Each drive terminal 39 and the common ground terminal are arranged in the nozzle row direction to form a drive terminal row 40. The drive terminal row 40 is formed in two rows near the center of the actuator unit 4 in the width direction. Has been. Therefore, the head unit 6 is provided with a total of four drive terminal rows 40.

上記駆動端子39を通じて駆動電極36に駆動信号が印加されると、駆動電極36と共通電極37との間には電位差に応じた電界が発生する。この電界は圧電体層38に付与され、圧電体層38は付与された電界の強さに応じて撓み変形する。即ち、圧電素子30に印加される電位をプラス側に上昇させる程、圧電素子30は、流路ユニット5に近づく方向に変位し、圧力室28の容積を減少するように振動子プレート31を変形させる。一方、圧電素子30に印加される電位をマイナス側に下降させる程、圧電素子30は、流路ユニット5よりも遠ざかる方向に変位し、圧力室28の容積を増加させるように振動子プレート31を変形させる。このような圧電素子30の作動により、圧力室28が収縮又は膨張し、これにより、圧力室28内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動を利用することで、圧力室28内のインクをノズル開口19からインク滴として吐出させることができる。   When a drive signal is applied to the drive electrode 36 through the drive terminal 39, an electric field corresponding to the potential difference is generated between the drive electrode 36 and the common electrode 37. This electric field is applied to the piezoelectric layer 38, and the piezoelectric layer 38 bends and deforms according to the strength of the applied electric field. That is, as the potential applied to the piezoelectric element 30 is increased to the plus side, the piezoelectric element 30 is displaced in a direction closer to the flow path unit 5 and the transducer plate 31 is deformed so as to reduce the volume of the pressure chamber 28. Let On the other hand, as the electric potential applied to the piezoelectric element 30 is lowered to the minus side, the piezoelectric element 30 is displaced away from the flow path unit 5 and the vibrator plate 31 is moved so as to increase the volume of the pressure chamber 28. Deform. By the operation of the piezoelectric element 30, the pressure chamber 28 contracts or expands, thereby causing a pressure variation in the ink in the pressure chamber 28. By utilizing this pressure fluctuation, the ink in the pressure chamber 28 can be ejected from the nozzle opening 19 as ink droplets.

図4は、上記フレキシブルケーブル18の構成を説明する要部拡大図であり、圧電素子30に接続される先端側部分を示している。このフレキシブルケーブル18は、ポリイミド等の絶縁フィルムから成るベースフィルム43の表面に、銅箔等の導体材料で配線パターン(導体パターン)42が形成され、配線端子44以外の部分がレジストで覆われて構成されている。また、このフレキシブルケーブル18には、配線基板11側からの駆動信号を圧電素子30に対して選択的に供給する制御を行うICチップ(図示せず)が実装されている。本実施形態におけるフレキシブルケーブル18は、隣り合う2つのアクチュエータユニット4に共通な1枚のケーブルとなっており、図4において左半分と右半分がそれぞれ1つのアクチュエータ4に対応している。フレキシブルケーブル18の各配線端子44は、アクチュエータユニット4の駆動端子39毎に対応させて複数列設され、端子列46を形成している。そして、端子列46は、2つのアクチュエータユニット4の各駆動端子列40に対応して合計4列形成されている。なお、図4においては、各端子列46における配線端子44の一部を示している。   FIG. 4 is an enlarged view of a main part for explaining the configuration of the flexible cable 18, and shows a tip side portion connected to the piezoelectric element 30. In the flexible cable 18, a wiring pattern (conductor pattern) 42 is formed of a conductive material such as copper foil on the surface of a base film 43 made of an insulating film such as polyimide, and portions other than the wiring terminals 44 are covered with a resist. It is configured. The flexible cable 18 is mounted with an IC chip (not shown) that performs control to selectively supply a drive signal from the wiring board 11 side to the piezoelectric element 30. The flexible cable 18 in this embodiment is a single cable common to two adjacent actuator units 4, and the left half and the right half correspond to one actuator 4 in FIG. 4. Each wiring terminal 44 of the flexible cable 18 is provided in a plurality of rows corresponding to each drive terminal 39 of the actuator unit 4 to form a terminal row 46. A total of four terminal rows 46 are formed corresponding to the drive terminal rows 40 of the two actuator units 4. In FIG. 4, a part of the wiring terminals 44 in each terminal row 46 is shown.

本実施形態においては、後述するように、圧電素子30の駆動端子39と配線端子44との接合に異方性導電接着剤を採用している。この異方性導電接着剤を採用することにより、配線端子44に半田付け用の材料を用いなくても駆動端子39との電気的な導通がとれる。そして、配線端子44の表面には、無電解メッキによって導電性金属が固着されている。具体的には、導電性金属(例えば、ニッケルやスズ等)を含む溶剤に溶ける化合物と還元剤を液に溶かし、ケーブルの基体を液に浸漬して配線端子44上で金属を析出させる。この無電解メッキを用いることにより、電解メッキによって端子を形成する場合のように、メッキ用導通パターンやメッキ用導通端子を設ける必要が無く、また、近接して隣り合う端子列46同士の間にスリットを設ける必要が無い。   In the present embodiment, as will be described later, an anisotropic conductive adhesive is used for joining the drive terminal 39 and the wiring terminal 44 of the piezoelectric element 30. By employing this anisotropic conductive adhesive, electrical connection with the drive terminal 39 can be achieved without using a soldering material for the wiring terminal 44. A conductive metal is fixed to the surface of the wiring terminal 44 by electroless plating. Specifically, a compound that dissolves in a solvent containing a conductive metal (for example, nickel or tin) and a reducing agent are dissolved in the liquid, and the base of the cable is immersed in the liquid to deposit the metal on the wiring terminal 44. By using this electroless plating, there is no need to provide a conductive pattern for plating or a conductive terminal for plating as in the case of forming a terminal by electrolytic plating, and between adjacent adjacent terminal rows 46. There is no need to provide a slit.

即ち、図9に示す従来におけるフレキシブルケーブル57では、図5に示す拡大図(図9における領域Aの拡大図)のように、隣り合う端子列60の間に、両端子列に共通の幹電極61が設けられ、この幹電極61には電解メッキ時に使用される通電用端子62が設けられていた。そして、通電用端子62と幹電極61を通じて各端子列60にメッキが施された後、図においてハッチングで示す部分にスリットSを設けることで、両端子列60を分断していた。   That is, in the conventional flexible cable 57 shown in FIG. 9, as shown in the enlarged view shown in FIG. 5 (enlarged view of the region A in FIG. 9), between the adjacent terminal rows 60, the trunk electrode common to both terminal rows is provided. 61 was provided, and the main electrode 61 was provided with a current-carrying terminal 62 used during electrolytic plating. Then, after each terminal row 60 is plated through the energizing terminal 62 and the trunk electrode 61, the both terminal rows 60 are divided by providing slits S in the hatched portions in the figure.

これに対し、本発明にかかるフレキシブルケーブル18では、通電用端子や幹電極を用いなくとも、無電解メッキによって各端子44に個々に金属被膜を形成することができるので、従来のように端子列同士の間にスリットを設ける必要が無い。このため、従来スリットであった部分を配線用のスペースとして利用することができる。即ち、配線レイアウトの自由度が向上する。そして、フレキシブルケーブル18は、このスリットであった部分を配線スペースとして利用すると共に配線レイアウトを工夫することによって端子列44の配置間隔を縮小している。   On the other hand, in the flexible cable 18 according to the present invention, a metal film can be individually formed on each terminal 44 by electroless plating without using a current-carrying terminal or a trunk electrode. There is no need to provide a slit between them. For this reason, the part which was a slit conventionally can be utilized as a space for wiring. That is, the degree of freedom of wiring layout is improved. The flexible cable 18 uses the portion that was the slit as a wiring space and devise the wiring layout to reduce the arrangement interval of the terminal rows 44.

ここで、フレキシブルケーブル18では、各端子列46の列設方向における両端に位置する端子列のうち、少なくとも一端の端子列が、本発明における配線引出し端子列として機能する。図4の例では、左端に位置する端子列46が配線引出し端子列47となっている。そして、配線引出し端子列47以外の他の端子列46の各配線端子44に導通する配線のうちの少なくとも一部を、配線引出し端子列47における隣り合う配線端子44間の間隙を通して、この配線引出し端子列47の外側(側方)に引き出している。より具体的には、図4に示すように、配線引出し端子列47の右隣の端子列46(端子列46a)の配線端子44のうちの一部の配線、例えば、90本中の50本を、端子列間のスペース、即ち、従来スリットがあった部分と配線引出し端子列47の配線端子44間の間隙とを通して、配線引出し端子列47の左側方に引き出している。   Here, in the flexible cable 18, at least one terminal row among the terminal rows located at both ends in the arrangement direction of each terminal row 46 functions as the wiring lead-out terminal row in the present invention. In the example of FIG. 4, the terminal row 46 located at the left end is a wiring lead-out terminal row 47. Then, at least a part of the wiring that conducts to each wiring terminal 44 of the other terminal row 46 other than the wiring lead terminal row 47 is passed through the gap between the adjacent wiring terminals 44 in the wiring lead terminal row 47. The terminal line 47 is drawn to the outside (side). More specifically, as shown in FIG. 4, a part of the wiring terminals 44 in the terminal row 46 (terminal row 46a) on the right side of the wiring lead-out terminal row 47, for example, 50 out of 90 wires Is drawn to the left side of the wiring lead-out terminal row 47 through the space between the terminal rows, that is, the gap between the wiring lead-out terminal row 47 and the wiring lead-out terminal row 47.

このように配線をレイアウトすることによって、端子列46aから配線引出し端子列47とは反対側の側方(右側方)へ引き出す配線の本数を減らすことができるため、その分、この端子列46aの右側方の配線スペースを縮小することができる。これにより、端子列46aの右隣に位置する端子列44との間の間隔Dxを狭めることができる。その結果、記録ヘッド1において隣り合うアクチュエータユニット4同士の間隔(圧力発生素子列の間隔)を狭めることができ、これにより、記録ヘッド1全体の小型化に寄与することが可能となる。   By laying out the wiring in this way, the number of wirings to be drawn from the terminal row 46a to the side (right side) opposite to the wiring lead-out terminal row 47 can be reduced. The wiring space on the right side can be reduced. Thereby, the space | interval Dx between the terminal rows 44 located on the right side of the terminal row 46a can be narrowed. As a result, the interval between the adjacent actuator units 4 in the recording head 1 (the interval between the pressure generating element arrays) can be reduced, thereby contributing to the miniaturization of the entire recording head 1.

なお、図4の例では、左端に位置する端子列44のみを配線引出し端子列47としたが、勿論、右端に位置する端子列44も配線引出し端子列47として、その左隣の端子列の配線をこの配線引出し端子列47の右側方に引き出す構成を採用することもできる。また、2つのアクチュエータユニット4に対して1枚のフレキシブルケーブル18を用いる構成を例示したが、これには限らず、図6に示すように、アクチュエータ4毎に個別のフレキシブルケーブル18(18a,18b)を用いる構成を採用しても良い。この構成においても、各ケーブル18a,18bの配線パターンを互いに反対側の側方に引き出すようにすることで、これらの各ケーブル18a,18bの配置間隔Dzを可及的に狭めることができる。その結果、記録ヘッド1の小型化に寄与することができる。   In the example of FIG. 4, only the terminal row 44 located at the left end is used as the wiring lead-out terminal row 47, but of course, the terminal row 44 located at the right end is also used as the wiring lead-out terminal row 47. A configuration in which the wiring is drawn out to the right side of the wiring lead-out terminal row 47 can also be adopted. Further, the configuration in which one flexible cable 18 is used for the two actuator units 4 is illustrated, but the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 6, individual flexible cables 18 (18 a, 18 b) for each actuator 4. ) May be adopted. Also in this configuration, by arranging the wiring patterns of the cables 18a and 18b to the sides opposite to each other, the arrangement interval Dz of the cables 18a and 18b can be reduced as much as possible. As a result, the recording head 1 can be reduced in size.

続いて、上記フレキシブルケーブル18の配線端子44と圧電素子30の駆動端子39との接合について説明する。本実施形態においては、上述したように両端子44,39間の接合に異方性導電接着剤(異方性導電接着フィルム)を採用している。図7(a)に示すように、この異方性導電接着剤49は、接着剤樹脂50中に導電粒子51を分散させて構成される。接着剤樹脂50としては、主にエポキシ系の熱硬化樹脂が用いられている。また、導電粒子51としては、例えば、スズ−ニッケル合金、ニッケル等の金属からなる粒子や、スチレン、ジビニルベンゼン、ベンゾグアナミン等の核となる樹脂にニッケル又はニッケル・金メッキを施した粒子等が用いられる。そして、図7(b)に示すように、この異方性導電接着剤49を、フレキシブルケーブル18の配線端子44と圧電素子30の駆動端子39との間に介在させた状態で熱と圧力を加えて硬化させると、導電粒子51が両端子間に挟まれる。この導電粒子51によって配線端子44と駆動端子39とを導通させることができる。   Next, the joining of the wiring terminal 44 of the flexible cable 18 and the drive terminal 39 of the piezoelectric element 30 will be described. In the present embodiment, as described above, an anisotropic conductive adhesive (anisotropic conductive adhesive film) is employed for joining between the terminals 44 and 39. As shown in FIG. 7A, the anisotropic conductive adhesive 49 is configured by dispersing conductive particles 51 in an adhesive resin 50. As the adhesive resin 50, an epoxy thermosetting resin is mainly used. Further, as the conductive particles 51, for example, particles made of a metal such as a tin-nickel alloy or nickel, particles obtained by applying nickel or nickel / gold plating to a core resin such as styrene, divinylbenzene, or benzoguanamine are used. . Then, as shown in FIG. 7B, heat and pressure are applied while the anisotropic conductive adhesive 49 is interposed between the wiring terminal 44 of the flexible cable 18 and the drive terminal 39 of the piezoelectric element 30. In addition, when cured, the conductive particles 51 are sandwiched between both terminals. The conductive particles 51 can make the wiring terminal 44 and the drive terminal 39 conductive.

ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。   By the way, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made based on the description of the scope of claims.

図8は、本発明の第2実施形態におけるフレキシブルケーブル18′の構成を説明する要部拡大図である。この第2実施形態におけるフレキシブルケーブル18′は、端子列46を横並びで合計3列有している。本実施形態においては、この3列の端子列46のうち、左端に位置する端子列46が配線引出し端子列47として機能する。そして、上記第1実施形態と同様に、配線引出し端子列47の右隣に位置する端子列46aの配線端子44のうちの一部の配線を配線引出し端子列47の配線端子44間の間隙を通して、配線引出し端子列47の左側方に引き出している。さらに本実施形態では、右端に位置する端子列46bの配線端子44のうちの一部の配線を、端子列46aの配線端子44間の間隙を通すと共に、配線引出し端子列47の配線端子44間の間隙を通して、配線引出し端子列47の左側方に引き出している。   FIG. 8 is an enlarged view of a main part for explaining the configuration of the flexible cable 18 ′ in the second embodiment of the present invention. The flexible cable 18 ′ in the second embodiment has a total of three terminal rows 46 arranged side by side. In the present embodiment, among the three terminal rows 46, the terminal row 46 located at the left end functions as the wiring lead-out terminal row 47. As in the first embodiment, a part of the wiring terminals 44 in the terminal row 46 a located on the right side of the wiring lead-out terminal row 47 is passed through the gap between the wiring terminals 44 in the wiring lead-out terminal row 47. The wiring lead-out terminal row 47 is pulled out to the left side. Further, in the present embodiment, a part of the wiring terminals 44 of the terminal row 46 b located at the right end is passed through the gap between the wiring terminals 44 of the terminal row 46 a and between the wiring terminals 44 of the wiring lead-out terminal row 47. The wiring lead-out terminal row 47 is led out to the left side through the gap.

このように、所定の端子列(端子列46b)と配線引出し端子列(47)との間に他の端子列(端子列46a)が存在する構成において、所定の端子列の各配線端子の配線のうちの少なくとも一部を、他の端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通すと共に、配線引出し端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通して配線引出し端子列の外側に引き出す構成を採用することができる。即ち、配線引出し端子列における隣り合う配線端子間に配線を互いに接触することなく通せる限り、複数の端子列の配線を配線引出し端子列の外側に引き出すことができる。これにより、配線引出し端子列の隣の端子列に限らず、配線引出し端子列との間に他の端子列が存在する所定の端子列においても配線引出し端子列側とは反対側の側方に引き出す配線の本数を減らせることができる。   Thus, in the configuration in which another terminal row (terminal row 46a) exists between the predetermined terminal row (terminal row 46b) and the wiring lead-out terminal row (47), the wiring of each wiring terminal of the predetermined terminal row Adopting a configuration in which at least a part of the wire is passed through the gap between the adjacent wiring terminals in the other terminal row and drawn out to the outside of the wiring lead-out terminal row through the gap between the adjacent wiring terminals in the wire drawing terminal row. Can do. That is, as long as the wires can pass between adjacent wiring terminals in the wiring lead-out terminal row without contacting each other, the wirings of the plurality of terminal rows can be drawn out to the outside of the wiring lead-out terminal row. As a result, not only in the terminal row adjacent to the wiring lead-out terminal row, but also in a predetermined terminal row in which another terminal row exists between the wiring lead-out terminal row and the side opposite to the wiring lead-out terminal row side. The number of wires to be drawn can be reduced.

また、以上では、液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録ヘッド1を例に挙げて説明したが、本発明は他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレー、FED(面発光ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ(生物化学素子)の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。   In the above description, the ink jet recording head 1 has been described as an example of the liquid ejecting head, but the present invention can also be applied to other liquid ejecting heads. For example, a color material ejecting head used for manufacturing a color filter such as a liquid crystal display, an electrode material ejecting head used for forming an electrode such as an organic EL (Electro Luminescence) display, an FED (surface emitting display), a biochip (biochemical element) The present invention can also be applied to bioorganic matter ejecting heads and the like used in the production of

記録ヘッドの構成を説明する分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating a configuration of a recording head. ヘッドユニットの構成を説明する要部断面図である。It is principal part sectional drawing explaining the structure of a head unit. ヘッドユニットの平面図である。It is a top view of a head unit. フレキシブルケーブルの構成を説明する要部拡大図である。It is a principal part enlarged view explaining the structure of a flexible cable. 従来の電解メッキによって端子を形成する工程を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the process of forming a terminal by the conventional electrolytic plating. フレキシブルケーブルの変形例の構成を説明する要部拡大図である。It is a principal part enlarged view explaining the structure of the modification of a flexible cable. 異方性導電接着剤によって配線端子と駆動端子を接合する工程を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the process of joining a wiring terminal and a drive terminal with an anisotropic conductive adhesive. 第2実施形態におけるフレキシブルケーブルの構成を説明する要部拡大図である。It is a principal part enlarged view explaining the structure of the flexible cable in 2nd Embodiment. 従来のフレキシブルケーブルの構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure of the conventional flexible cable.

符号の説明Explanation of symbols

1…記録ヘッド,4…アクチュエータユニット,6…ヘッドユニット,18…フレキシブルケーブル,30…圧電素子,39…駆動端子,40…駆動端子列,41…圧電素子列,42…配線パターン,44…配線端子,46…端子列,47…配線引出し端子列,49…異方性導電接着剤,50…接着剤樹脂,51…導電粒子   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Recording head, 4 ... Actuator unit, 6 ... Head unit, 18 ... Flexible cable, 30 ... Piezoelectric element, 39 ... Drive terminal, 40 ... Drive terminal row, 41 ... Piezoelectric device row, 42 ... Wiring pattern, 44 ... Wiring Terminals, 46... Terminal row, 47 .. wiring lead terminal row, 49... Anisotropic conductive adhesive, 50 .adhesive resin, 51.

Claims (6)

素子端子を通じて駆動信号が印加されることにより変形し、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出させるための圧力発生素子を複数列設して成る圧力発生素子列を備えた液体噴射ヘッドに前記駆動信号を供給する配線部材であって、
前記圧力発生素子の素子端子に接合される配線端子を複数列設して成る端子列を、各圧力発生素子列に対応して複数有し、
各端子列の列設方向における両端に位置する端子列のうち、少なくとも一端の端子列を配線引出し端子列とし、
前記配線引出し端子列以外の他の端子列の各配線端子に導通する配線のうちの少なくとも一部を、配線引出し端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通して当該配線引出し端子列の外側に引き出したことを特徴とする液体噴射ヘッド用配線部材。
A pressure generating element array formed by arranging a plurality of pressure generating elements for deforming when a drive signal is applied through an element terminal and causing pressure fluctuations in the liquid in the pressure chamber to eject droplets from the nozzle openings. A wiring member for supplying the drive signal to the liquid jet head provided,
A plurality of terminal rows corresponding to each pressure generating element row, each having a plurality of wiring terminals connected to the element terminals of the pressure generating element;
Among the terminal rows located at both ends in the row direction of each terminal row, at least one terminal row is a wiring lead-out terminal row,
At least a part of the wiring that conducts to each wiring terminal of the other terminal row other than the wiring lead terminal row is drawn to the outside of the wiring lead terminal row through a gap between adjacent wiring terminals in the wire lead terminal row. A wiring member for a liquid jet head, comprising:
所定の端子列と前記配線引出し端子列との間に他の端子列が存在する構成において、当該所定の端子列の各配線端子の配線のうちの少なくとも一部を、前記他の端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通すと共に、前記配線引出し端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通して配線引出し端子列の外側に引き出したことを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド用配線部材。   In a configuration in which another terminal row exists between a predetermined terminal row and the wiring lead-out terminal row, at least a part of the wiring of each wiring terminal of the predetermined terminal row is adjacent to the other terminal row. 2. The wiring member for a liquid jet head according to claim 1, wherein the wiring member is pulled out to the outside of the wiring lead-out terminal row through a gap between adjacent wiring terminals and through a gap between adjacent wiring terminals in the wiring lead-out terminal row. . 前記配線端子は、無電解メッキによって導電性金属を固着することで形成されたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液体噴射ヘッド用配線部材。   The liquid jet head wiring member according to claim 1, wherein the wiring terminal is formed by fixing a conductive metal by electroless plating. 信号供給源からの駆動信号が素子端子を通じて印加されることにより変形し、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出させるための圧力発生素子を複数列設して成る圧力発生素子列を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記駆動信号を、請求項1から請求項3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド用配線部材を通じて各圧力発生素子に印加するように構成したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
A plurality of rows of pressure generating elements for deforming the drive signal from the signal supply source through the element terminals to cause pressure fluctuations in the liquid in the pressure chamber and ejecting droplets from the nozzle openings are provided. A liquid ejecting head including a pressure generating element array,
A liquid ejecting head, wherein the driving signal is applied to each pressure generating element through the liquid ejecting head wiring member according to any one of claims 1 to 3.
前記圧力発生素子の素子端子と液体噴射ヘッド用配線部材の配線端子は、異方性導電接着剤によって接合されたことを特徴とする請求項4に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 4, wherein the element terminal of the pressure generating element and the wiring terminal of the liquid ejecting head wiring member are joined by an anisotropic conductive adhesive. 上記各圧力発生素子列は、圧力発生素子の列設方向に直交する方向に配列されていることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の液体噴射ヘッド。
6. The liquid jet head according to claim 4, wherein each of the pressure generating element arrays is arranged in a direction orthogonal to a direction in which the pressure generating elements are arranged.
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