JP3389941B2 - Piezoelectric vibrator unit for ink jet recording head, method of manufacturing the same, and flexible cable for connection - Google Patents

Piezoelectric vibrator unit for ink jet recording head, method of manufacturing the same, and flexible cable for connection

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JP3389941B2
JP3389941B2 JP35165395A JP35165395A JP3389941B2 JP 3389941 B2 JP3389941 B2 JP 3389941B2 JP 35165395 A JP35165395 A JP 35165395A JP 35165395 A JP35165395 A JP 35165395A JP 3389941 B2 JP3389941 B2 JP 3389941B2
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common electrode
segment
connection region
electrode connection
electrode
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    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14491Electrical connection

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術の分野】本発明は、圧力発生室の一
方の面を振動板で封止し、この振動板を縦振動モードの
圧電振動子により圧力発生室を膨張、収縮させてノズル
開口からインク滴を発生させるインクジェット式記録ヘ
ッドに適した圧電振動子ユニットに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a nozzle opening by sealing one side of a pressure generating chamber with a vibrating plate and expanding and contracting the pressure generating chamber by a piezoelectric vibrator of a longitudinal vibration mode. The present invention relates to a piezoelectric vibrator unit suitable for an ink jet recording head that generates ink droplets from ink.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、特開平5-104715号公報に示され
たような縦振動モードの圧電振動子をインクジェット式
記録ヘッドの駆動に使用すると、圧電振動子と振動板と
の当接面積を極めて小さくできるため、90DPI程度
までの解像度を実現できる。
2. Description of the Related Art For example, when a piezoelectric vibrator of a longitudinal vibration mode as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 5-104715 is used for driving an ink jet recording head, the contact area between the piezoelectric vibrator and the diaphragm is reduced. Since it can be made extremely small, a resolution up to about 90 DPI can be realized.

【0003】縦振動モードの圧電振動子は、圧電材料、
一方の極となるセグメント電極及び他方の極となる共通
電極とを交互に積層するとともに、セグメント電極を伸
長方向の後端から、また共通電極を後端から露出させ、
少なくともこれら露出部において同一の極を並列接続す
る外部電極を形成して構成されており、これら複数の圧
電振動子を固定基板に一定ピッチで取付けて振動子ユニ
ットに纏めた上で記録ヘッドに組み込まれている。
A longitudinal vibration mode piezoelectric vibrator is a piezoelectric material,
While alternately laminating the segment electrode which is one pole and the common electrode which is the other pole, the segment electrode is exposed from the rear end in the extending direction, and the common electrode is exposed from the rear end,
At least these exposed parts are formed by forming external electrodes that connect the same poles in parallel, and these multiple piezoelectric vibrators are mounted on a fixed substrate at a fixed pitch and assembled into a vibrator unit, which is then incorporated in a recording head. Has been.

【0004】このようにして構成された振動子ユニット
は、特開平5-104715号公報に見られるように、共通電極
の外部電極を後端側に位置するセグメント電極の外部電
極の近傍まで延長し、これら外部電極の内共通電極の外
部電極をフレキシブルケーブルの先端側で幅方向に延び
る共通電極接続導電パターンに、また後端側のセグメン
ト電極の外部電極を共通電極接続導電パターンよりも内
側に形成されたセグメント電極導電パターンにそれぞれ
独立に接続され、このフレキシブルケーブルの他端に接
続された外部駆動回路から個々の圧電振動子に個別的に
駆動信号を供給するように構成されている。
In the vibrator unit thus constructed, as shown in Japanese Patent Laid-Open No. 5-104715, the external electrode of the common electrode is extended to the vicinity of the external electrode of the segment electrode located on the rear end side. , The external electrode of the common electrode of these external electrodes is formed on the common electrode connecting conductive pattern extending in the width direction at the tip side of the flexible cable, and the external electrode of the segment electrode on the rear end side is formed inside the common electrode connecting conductive pattern. Each of the piezoelectric vibrators is independently connected to the formed segment electrode conductive pattern, and is configured to individually supply a drive signal to each piezoelectric vibrator from an external drive circuit connected to the other end of the flexible cable.

【0005】圧電振動子の外部電極とフレキシブルケー
ブルの各接続用導電パターンとの接続には、通常、クリ
ーム半田による半田付けの手法が用いられいて、特に小
さなピッチで配列された圧電振動子のセグメント電極接
続用導電パターンの間に半田が流れ込んで短絡を起こす
という問題がある。このため、半田付け作業終了後に、
セグメント電極接続用導電パターンの圧電振動子が固定
されている側とは反対側にプローブを接続して、圧電振
動子の各セグメント電極導電パターン間での短絡の有無
をチェックすることが行われている。
A soldering method using cream solder is usually used for connecting the external electrodes of the piezoelectric vibrator and the respective conductive patterns for connection of the flexible cable, and the segments of the piezoelectric vibrator are arranged at a particularly small pitch. There is a problem that solder flows between the electrode connecting conductive patterns to cause a short circuit. Therefore, after the soldering work,
The probe is connected to the side of the conductive pattern for connecting segment electrodes that is opposite to the side where the piezoelectric vibrator is fixed, and the presence or absence of a short circuit between the conductive patterns of the segment electrodes of the piezoelectric vibrator is checked. There is.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、1つの
固定基板に128個以上の圧電振動子を70乃至150
μm程度(180〜360dpi)のピッチで固定した
高密度印刷に用いる記録ヘッドの圧電振動子ユニットに
あっては、限り有るフレキシブルケーブルの幅内に多数
の導電パターンを形成しようとすると、フレキシブルケ
ーブルに形成されている導電パターンの幅が、20〜5
0μm程度といきおい細くなって電気抵抗が極めて増大
するという問題がある。
However, 128 or more piezoelectric vibrators 70 to 150 are provided on one fixed substrate.
In the piezoelectric vibrator unit of the recording head used for high-density printing fixed at a pitch of about μm (180 to 360 dpi), if a large number of conductive patterns are formed within the limited flexible cable width, The width of the formed conductive pattern is 20 to 5
There is a problem in that the electrical resistance is extremely increased due to the extremely small thickness of about 0 μm.

【0007】このような問題を解消するため、圧電振動
子の近傍のフレキシブルケーブル上に印刷信号を各圧電
振動子を駆動するための個々の駆動信号に変換する半導
体集積回路を実装し、駆動信号の伝送距離を可及的に短
くして電気抵抗の増大に対処することが検討されてい
る。
In order to solve such a problem, a semiconductor integrated circuit for converting a print signal into an individual drive signal for driving each piezoelectric vibrator is mounted on a flexible cable near the piezoelectric vibrator, and the drive signal is It has been considered to cope with the increase in electric resistance by shortening the transmission distance of P.

【0008】このような構成を採ると、フレキシブルケ
ーブルでの駆動信号の減衰を可及的に低く抑えることが
できる反面、フレキシブルケーブルの圧電振動子の他端
側、つまり外部駆動回路接続側が半導体集積回路に直結
されているため、フレキシブルケーブルの他端側から圧
電振動子間のセグメント電極間の導電性をチェックする
ことができなくなり、圧電振動子と半導体集積回路との
間の、半導体集積回路から圧電振動子に駆動信号を伝送
する狭い領域の導電パターンにプローブを接続する作業
が必要となって、検査が困難になるという問題がある。
With such a structure, the attenuation of the drive signal in the flexible cable can be suppressed as low as possible, but the other end side of the piezoelectric vibrator of the flexible cable, that is, the external drive circuit connection side is a semiconductor integrated circuit. Since it is directly connected to the circuit, it becomes impossible to check the conductivity between the segment electrodes between the piezoelectric vibrators from the other end side of the flexible cable. There is a problem that an inspection becomes difficult because it is necessary to connect the probe to the conductive pattern in a narrow area for transmitting the drive signal to the piezoelectric vibrator.

【0009】本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであってその目的とするところは、高密度配列がな
された圧電振動子とフレキシブルケーブルとの接続の良
否を簡単に検査することができる圧電振動子ユニットを
提供することである。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to easily inspect whether or not the connection between the piezoelectric vibrators having a high density array and the flexible cable is good. It is to provide a piezoelectric vibrator unit capable of performing.

【0010】また、本発明の他の目的は、上記圧電振動
子ユニットの製造方法を提案することである。
Another object of the present invention is to propose a method for manufacturing the above piezoelectric vibrator unit.

【0011】さらに本発明の他の目的は、上記圧電振動
子ユニットを構成するのに適したフレキシブルケーブル
を提供することである。
Still another object of the present invention is to provide a flexible cable suitable for constructing the piezoelectric vibrator unit.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、一方の極となるセグメント
電極と、他方の極となる共通電極とを圧電材料を挟んで
交互に積層するとともに、前記共通電極を圧力発生室に
対向する側から露出させて外部電極により後端側の一方
の面に延長して共通電極の接続部と、また前記セグメン
ト電極を後端側から露出させて外部電極により後端側の
一方の面に延長してセグメント電極の接続部とが形成さ
れた複数の圧電振動子を固定板に一定のピッチで固定す
るとともに、前記セグメント電極のそれぞれに独立して
接続する直線状のセグメント電極接続領域と、複数の隣
接する前記圧電振動子を跨ぎ、かつ相互に分離されて形
成され、前記共通電極の接続部に接続される共通電極接
続領域と、前記共通電極接続領域を介して接続する共通
電極接続用導電パターンとを有し、前記セグメント電極
接続領域と前記共通電極接続領域との間が窓により分離
されたフレキシブルケーブルにより外部駆動回路に接続
されている。
In order to solve such a problem, in the present invention, a segment electrode which is one pole and a common electrode which is the other pole are alternately laminated with a piezoelectric material interposed therebetween. At the same time, the common electrode is exposed from the side facing the pressure generating chamber and extended to one surface on the rear end side by the external electrode to connect the common electrode, and the segment electrode is exposed from the rear end side. A plurality of piezoelectric vibrators extending to one surface on the rear end side by external electrodes and formed with connection portions of segment electrodes are fixed to a fixing plate at a constant pitch, and independently of each of the segment electrodes. crossing a linear segment electrode connecting region connecting, the piezoelectric vibrator in which a plurality of adjacent, and formed by being separated from each other, and a common electrode connection region connected to the connecting portion of the common electrode, said co A common electrode connecting conductive pattern connected via an electrode connecting region, and the segment electrode connecting region and the common electrode connecting region are connected to an external drive circuit by a flexible cable separated by a window. .

【0013】[0013]

【作用】セグメント電極接続領域を接続した段階では、
斜線領域側が自由端でかつ共通電極接続領域がセグメン
ト電極接続領域と個別的に導電関係を維持しているの
で、共通電極接続領域の先端側にプローブ接続領域を形
成しておいて、半田付けに起因するセグメント電極間の
短絡の有無を検査に供する。検査後にセグメント電極接
続領域と共通電極接続領域との間に形成された窓により
共通電極接続領域がセグメント電極接続領域から独立し
て共通電極接続用導電パターンに接続される。
[Operation] At the stage of connecting the segment electrode connection regions,
Since the shaded area side is a free end and the common electrode connection area maintains a conductive relationship with the segment electrode connection area individually, a probe connection area is formed on the tip side of the common electrode connection area for soldering. The presence or absence of the resulting short circuit between the segment electrodes is inspected. The window formed between the segment electrode connection area and the common electrode connection area after inspection
The common electrode connection region is connected to the common electrode connection conductive pattern independently of the segment electrode connection region.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例の基づいて説明する。図1(イ)、(ロ)
は、それぞれ本発明の振動子ユニットの一実施例を、フ
レキシブルケーブル接続前の状態、及びフレキシブルケ
ーブル接続後の状態で示すものであって、図中符号1
は、フレキシブルケーブル10が接続される前の圧電振
動子ユニット本体で、複数の圧電振動子2、2、2‥‥
及び側端側にダミー振動子3を固定基板4に一定ピッチ
で固定して構成されている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The details of the present invention will be described below with reference to illustrated embodiments. Figure 1 (a), (b)
1 shows an embodiment of the vibrator unit of the present invention in a state before connecting the flexible cable and a state after connecting the flexible cable, respectively.
Is a piezoelectric vibrator unit main body before the flexible cable 10 is connected, and includes a plurality of piezoelectric vibrators 2, 2, 2.
Also, the dummy vibrators 3 are fixed to the fixed substrate 4 at a constant pitch on the side edges.

【0015】これら圧電振動子2は、図1(ロ)に示し
たようにセグメント電極5と共通電極6との間に圧電材
料7に介装させて積層し、セグメント電極5の後端5a
(固定基板4側)を圧電材料7の後端側から露出させ、
また共通電極6の先端6aを圧電材料7の先端側から露
出させ、セグメント電極5が露出している後端面、上
面、及び下面に外部電極8を、また共通電極6が露出し
ている先端面、上面、及び下面に外部電極9を設けて1
つの圧電振動子2の複数のセグメント電極5、及び複数
の共通電極6がそれぞれ外部電極8、9により並列に接
続されて構成されている。
As shown in FIG. 1B, these piezoelectric vibrators 2 are laminated by interposing a piezoelectric material 7 between a segment electrode 5 and a common electrode 6, and a rear end 5a of the segment electrode 5 is formed.
Exposing the (fixed substrate 4 side) from the rear end side of the piezoelectric material 7,
Further, the tip 6a of the common electrode 6 is exposed from the tip side of the piezoelectric material 7, the external electrodes 8 are provided on the rear end surface, the upper surface, and the lower surface where the segment electrodes 5 are exposed, and the tip surface where the common electrode 6 is exposed. 1. Provide external electrodes 9 on the upper surface and the lower surface 1
A plurality of segment electrodes 5 and a plurality of common electrodes 6 of one piezoelectric vibrator 2 are connected in parallel by external electrodes 8 and 9, respectively.

【0016】その上で、各圧電振動子2のセグメント電
極5の外部電極8、及び共通電極6の外部電極9をそれ
ぞれ少なくとも固定基板4が取付けられている面とは反
対側の面に沿って固定基板4近傍まで延長して後述する
フレキシブルケーブル10と半田付けするための接続部
11、12が形成されている。
Further, the external electrodes 8 of the segment electrodes 5 and the external electrodes 9 of the common electrode 6 of each piezoelectric vibrator 2 are respectively provided along at least the surface opposite to the surface on which the fixed substrate 4 is attached. Connection portions 11 and 12 are formed so as to extend to the vicinity of the fixed substrate 4 and be soldered to a flexible cable 10 described later.

【0017】図2(イ)、(ロ)は、それぞれ圧電振動
子1とフレキシブルケーブル10との接続状態を固定基
板4を外して示すものであって、セグメント電極5の接
続部11は、フレキシブルケーブル10に実装されてい
る駆動信号発生用の半導体集積回路20から延びる駆動
信号供給用導電パターン21、21‥‥に、また共通電
極6の接続部12は、駆動信号供給用導電パターン2
1、21‥‥の先端に形成されている後述する共通電極
接続領域を構成する斜線領域21cにそれぞれ半田付け
により導電関係を維持するように固定され、フレキシブ
ルケーブル10の側部に形成された共通電極導電パター
ン22に接続されている。
2A and 2B show the connection state of the piezoelectric vibrator 1 and the flexible cable 10 with the fixed substrate 4 removed, and the connection portion 11 of the segment electrode 5 is flexible. The conductive patterns for driving signal supply 21, 21 ... Extending from the semiconductor integrated circuit 20 for generating the driving signal mounted on the cable 10 and the connecting portion 12 of the common electrode 6 are connected to the conductive pattern 2 for driving signal supply.
Common electrodes, which will be described later, formed at the tips of 1, 21 ,.
The shaded areas 21c forming the connection area are fixed by soldering so as to maintain the conductive relationship, and are connected to the common electrode conductive patterns 22 formed on the side portions of the flexible cable 10.

【0018】一方、フレキシブルケーブル10の半導体
集積回路20から他端側(図中、左側)には、図示しな
い外部駆動回路に接続して半導体集積回路20に印刷信
号を供給するための導電パターン24、24‥‥が設け
られている。このように外部駆動回路からフレキシブル
ケーブルを介して印刷信号を半導体集積回路20に供給
し、半導体集積回路で個々の圧電振動子2を駆動するた
めの駆動信号を生成する手法を採ると、圧電振動子の数
に関わりなく印刷信号伝送用導電パターンの本数を少な
くできるため、フレキシブルケーブルの拡幅を招くこと
無く、広い幅の印刷信号伝送用導電パターンを形成する
ことができる。
On the other hand, from the semiconductor integrated circuit 20 of the flexible cable 10 to the other end side (left side in the drawing), a conductive pattern 24 for connecting to an external drive circuit (not shown) and supplying a print signal to the semiconductor integrated circuit 20. , 24 ... Are provided. In this way, when the method of supplying the print signal from the external drive circuit to the semiconductor integrated circuit 20 via the flexible cable and generating the drive signal for driving the individual piezoelectric vibrators 2 in the semiconductor integrated circuit, the piezoelectric vibration is generated. Since the number of print signal transmission conductive patterns can be reduced irrespective of the number of children, it is possible to form a wide print signal transmission conductive pattern without causing widening of the flexible cable.

【0019】図3は、フレキシブルケーブル10の一実
施例を、半導体集積回路20と圧電振動子の接続領域と
の間を拡大して示すものであって、駆動信号供給用導電
パターン21、21‥‥の先端には圧電振動子2、2‥
‥のセグメント電極5の接続部と個別的に接続する直線
状の接続領域21a,21a‥‥と、最終的には共通電
極5に接続されるそれぞれ隣接するものと一定の間隔を
持つ斜線領域21cと、一時的にこれらの領域21a、
21cを接続する接続領域21bと、斜線領域の先端側
に連続するプローブ接続領域21d、21dとが形成さ
れている。
FIG. 3 shows one embodiment of the flexible cable 10 in an enlarged manner between the semiconductor integrated circuit 20 and the connection region of the piezoelectric vibrator, and the conductive patterns 21 for driving signal supply 21, 21 ... Piezoelectric vibrators 2 and 2 at the tip of
Linear connection regions 21a, 21a, which are individually connected to the connection parts of the segment electrodes 5, and finally, diagonally shaded regions 21c which are connected to the common electrode 5 and which are adjacent to each other and which have a constant interval. And temporarily these areas 21a,
A connection region 21b for connecting 21c and probe connection regions 21d, 21d continuous to the tip side of the shaded region are formed.

【0020】この斜線領域21cは、圧電振動子2の少
なくとも2本以上、この実施例では4本分の幅に相当す
る高さHを有し、「V」字状に形成されていて、圧電振
動子側(図では下方)にはセグメント電極接続領域21
a、21a‥‥と同一線上に位置するように直線状のプ
ローブ接続領域21d、21d‥‥が、隣接するもの同
士が重ならないように一定の間隙を空けて設けられてい
る。このプローブ接続領域21d、21d‥‥は、検査
用のプローブが装着しやすい箇所に引き出せるようにそ
の長さが選択されている。
The shaded area 21c has a height H corresponding to a width of at least two piezoelectric vibrators 2, that is, a width of four piezoelectric vibrators 2 in this embodiment, and is formed in a "V" shape. The segment electrode connection region 21 is provided on the oscillator side (downward in the figure).
.. are provided so as to be on the same line as a, 21a, .. .., and linear probe connection regions 21d, 21d .. are provided with a certain gap so that adjacent ones do not overlap. The lengths of the probe connection regions 21d, 21d ... Are selected so that the probe for inspection can be pulled out to a place where the probe can be easily attached.

【0021】一方、共通電極接続用導電パターン22
は、最外端の駆動信号供給用導電パターン21の斜線領
域21cの外形に沿うように形成されている。
On the other hand, the conductive pattern 22 for connecting the common electrode
Are formed along the outer shape of the shaded area 21c of the drive signal supplying conductive pattern 21 at the outermost end.

【0022】次にこのように構成されたフレキシブルケ
ーブル10と圧電振動子ユニット1との接続について説
明する。先ず、プローブ接続領域21d、21d‥‥に
導通検査装置のプローブを接続してフレキシブルケーブ
ル10単独状態の導電パターン21の良否を検査する。
Next, the connection between the flexible cable 10 thus constructed and the piezoelectric vibrator unit 1 will be described. First, the probe of the continuity inspection device is connected to the probe connection regions 21d, 21d, ... And the quality of the conductive pattern 21 of the flexible cable 10 alone is inspected.

【0023】次いで、検査が終了したフレキシブルケー
ブル10の各駆動信号供給用導電パターン21、21‥
‥の先端のセグメント電極接続領域21a,21a‥‥
と圧電振動子2、2‥‥のセグメント電極5の接続部1
1とが一致するように位置合わせして、セグメント電極
5の接続部11だけを最初に半田付けする。
Next, the conductive patterns 21, 21 ... For supplying each drive signal of the flexible cable 10 that has been inspected.
Segment electrode connection regions 21a, 21a at the tip of ...
And the piezoelectric vibrators 2, 2, ...
Only the connecting portion 11 of the segment electrode 5 is first soldered by aligning so as to match with 1.

【0024】半田付け後にもフリーな状態に置かれてい
るプローブ接続領域21d、21d‥‥に導通検査装置
のプローブを接続し、隣接する導電パターン21の間へ
の半田の流れ込みによる短絡が存在するか否かを検査す
る。
A probe of the continuity inspection device is connected to the probe connection regions 21d, 21d, ..., Which are placed in a free state even after soldering, and there is a short circuit due to the flow of solder between the adjacent conductive patterns 21. Inspect whether or not.

【0025】セグメント電極5とフレキシブルケーブル
10との接続の検査が終了した段階で、プローブを接続
領域21d、21d‥‥から外して、中間領域21bを
すべて除去するべく図4に示したように打ち抜き等によ
り窓23を形成し、またプローブ接続領域21dを切断
する。ついで斜線領域21cを圧電振動子ユニット1の
各圧電振動子2、及びダミー振動子3の共通電極6の接
続部12、13に半田付けする。
At the stage when the inspection of the connection between the segment electrode 5 and the flexible cable 10 is completed, the probe is removed from the connection regions 21d, 21d ... And punched out as shown in FIG. 4 in order to remove all the intermediate region 21b. The window 23 is formed by, for example, and the probe connection region 21d is cut. Next, the shaded area 21c is soldered to each piezoelectric vibrator 2 of the piezoelectric vibrator unit 1 and the connecting portions 12 and 13 of the common electrode 6 of the dummy vibrator 3.

【0026】これにより図5に示したように1つの斜線
領域21cに複数の圧電振動子2、2が跨ぎ、これらの
接続部12が半田により固定されるため、各斜線領域2
1cが跨いでいる複数の圧電振動子の接続部12を介し
て全体が並列に接続される、そして端部においてダミー
振動子3の接続部13を介して共通電極接続用導電パタ
ーン22に接続され、結果として各圧電振動子2、2‥
‥の共通電極6が共通電極接続用導電パターン22と導
電関係を持つことになる。
As a result, as shown in FIG. 5, a plurality of piezoelectric vibrators 2, 2 straddle one shaded area 21c, and these connecting portions 12 are fixed by soldering, so that each shaded area 2
The whole is connected in parallel via a connecting portion 12 of a plurality of piezoelectric vibrators 1c is straddled, and is connected to a common electrode connecting conductive pattern 22 via a connecting portion 13 of a dummy vibrator 3 at an end portion. , As a result, each piezoelectric vibrator 2, 2 ...
The common electrode 6 has a conductive relationship with the common electrode connecting conductive pattern 22.

【0027】なお、隣接する斜線領域21cはもともと
並列接続するためのものであるから、たとえ各斜線領域
21cの間に半田が流れ込んで短絡を生じても機能上、
何等の問題も生じないから、短絡の有無をチェックする
必要性はない。
Since the adjacent shaded regions 21c are originally for parallel connection, even if solder flows into the shaded regions 21c to cause a short circuit, the function is functionally improved.
There is no need to check for short circuits, since no problems will occur.

【0028】これにより、各圧電振動子2、2‥‥のセ
グメント電極5は、それぞれ駆動信号供給用導電パター
ン21、21‥と独立に接続され、また共通電極6は斜
線領域21cを介して共通電極接続用導電パターン22
に接続される。
As a result, the segment electrodes 5 of the respective piezoelectric vibrators 2, 2 ... Are independently connected to the drive signal supplying conductive patterns 21, 21 ... And the common electrode 6 is common via the shaded area 21c. Conductive pattern 22 for electrode connection
Connected to.

【0029】この実施例においては、共通電極6と接続
する斜線領域21cが略V字状となっているため、後述
する単なる斜線として形成したものに比較して接続部1
2との実効接触面積を大きく取ることができて、大きな
電流を局部的な発熱を招くこと無く安全に流すことが可
能となる。
In this embodiment, since the shaded area 21c connected to the common electrode 6 is substantially V-shaped, the connecting portion 1 is formed in comparison with the one formed as a mere shaded line which will be described later.
A large effective contact area with 2 can be secured, and a large current can be safely passed without causing local heat generation.

【0030】なお、上述の実施例においては斜線領域2
1cを「V」字状に構成してプローブ接続部21dの位
置を個々の圧電振動子2との対応付けが明確になるよう
に構成されているが、図6に示したように単に斜めに引
き出した直線状のパターン21eとして構成し、これの
先端に圧電振動子の軸方向に延びるプローブ接続領域2
1fを形成しても、セグメント電極間の短絡の検査を行
うことが可能である。
In the above embodiment, the shaded area 2
1c is formed in a "V" shape so that the position of the probe connecting portion 21d is clearly associated with each piezoelectric vibrator 2, but as shown in FIG. It is configured as a linear pattern 21e that is drawn out, and a probe connection region 2 that extends in the axial direction of the piezoelectric vibrator is formed at the tip of the linear pattern 21e.
Even if 1f is formed, it is possible to inspect for a short circuit between the segment electrodes.

【0031】また上述の実施例においてはフレキシブル
ケーブル10に駆動信号発生用の半導体集積回路20を
設け、これからの駆動信号により圧電振動子を駆動する
場合について説明したが、外部駆動回路からの駆動信号
をフレキシブルケーブルを介して圧電振動子に供給する
ものに適用しても同様の作用を奏することは明らかであ
る。
In the above-described embodiment, the flexible cable 10 is provided with the semiconductor integrated circuit 20 for generating a drive signal and the piezoelectric vibrator is driven by the drive signal from now on. However, the drive signal from the external drive circuit is described. It is obvious that the same effect can be obtained by applying the above-mentioned to the one that is supplied to the piezoelectric vibrator through the flexible cable.

【0032】さらに上述の実施例においては、隣接する
導電パターン21の間への半田の流れ込みによる短絡の
有無を検査するため、2回に分けて半田付けするように
しているが、半田量等が十分に管理できて、隣接するパ
ターンへの半田の流れ込みが生じる虞がない場合には、
フレキシブルケーブル単独での導電パターンの検査が終
了した段階で図4に示したように打ち抜き等により窓2
3を形成するとともに、プローブ接続領域21dを切断
する。
Further, in the above-mentioned embodiment, the soldering is performed in two times in order to inspect for the presence or absence of a short circuit due to the inflow of the solder between the adjacent conductive patterns 21, but the amount of solder or the like is different. If it can be managed sufficiently and there is no risk of solder flowing into adjacent patterns,
When the inspection of the conductive pattern of the flexible cable alone is completed, the window 2 is punched as shown in FIG.
3 is formed, and the probe connection region 21d is cut off.

【0033】そして各駆動信号供給用導電パターン2
1、21‥‥の先端のセグメント電極接続領域21a,
21a‥‥と圧電振動子2、2‥‥のセグメント電極5
の接続部11との位置合わせ、及びフレキシブルケーブ
ル10の斜線領域21cと圧電振動子ユニット1の各圧
電振動子2、及びダミー振動子3の共通電極6とを位置
合わせを行ってから、これらセグメント電極接続領域2
1aと斜線領域21cとの2つの領域を同時に半田付け
するようにしてもよい。
The conductive pattern 2 for supplying each drive signal
Segment electrode connection regions 21a at the tips of 1, 21, ...
21a ... and the segment electrodes 5 of the piezoelectric vibrators 2, 2 ...
After the alignment with the connecting portion 11 of the flexible cable 10 and the alignment of the shaded area 21c of the flexible cable 10 with each piezoelectric vibrator 2 of the piezoelectric vibrator unit 1 and the common electrode 6 of the dummy vibrator 3, these segments Electrode connection area 2
You may make it solder two areas, 1a and the shaded area 21c simultaneously.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば
セグメント電極接続領域を接続した段階では、共通電極
接続領域側が自由端でかつ共通電極接続領域がセグメン
ト電極接続領域と個別的に導電関係を維持できて、共通
電極接続領域の先端側に自由端となるプローブ接続領域
を形成しておけば、ここにプローブを接続して半田付け
に起因するセグメント電極間の短絡の有無を検査して圧
電振動子が高密度配列された振動子ユニットを高い信頼
性でもって製造することができる。
As described above, according to the present invention,
At the stage of connecting the segment electrode connection area, the common electrode
And the common electrode connection region a connection region side free end is able to maintain the individual conductive relationship with the segment electrode connection regions, the common
If a probe connection area that is a free end is formed on the tip side of the electrode connection area, the probe is connected to this area and the presence or absence of a short circuit between the segment electrodes due to soldering is inspected to make the piezoelectric vibrator high density. The arrayed vibrator units can be manufactured with high reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図(イ)(ロ)は、それぞれ本発明の圧電振動
子ユニットの一実施例を、フレキシブルケーブル接続以
前の状態と、フレキシブルケーブルを接続した状態での
圧電振動子の構造を拡大して示す図である。
1A and 1B are enlarged views of an embodiment of a piezoelectric vibrator unit according to the present invention, showing a structure of a piezoelectric vibrator in a state before a flexible cable is connected and in a state in which a flexible cable is connected. FIG.

【図2】図(イ)(ロ)は、それぞれ本発明の圧電振動
子ユニットの一実施例を固定基板を外して示した断面図
と、上面図である。
2A and 2B are a cross-sectional view and a top view, respectively, showing a piezoelectric vibrator unit according to an embodiment of the present invention with a fixed substrate removed.

【図3】圧電振動子が接続される以前のフレキシブルケ
ーブルの一実施例を示す図。
FIG. 3 is a diagram showing an embodiment of a flexible cable before the piezoelectric vibrator is connected.

【図4】圧電振動子のセグメント電極が接続されて不要
部分がカットされた状態でのフレキシブルケーブルを示
す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a flexible cable in a state where segment electrodes of a piezoelectric vibrator are connected and unnecessary portions are cut.

【図5】圧電振動子にフレキシブルケーブルが接続され
て状態での斜線領域と圧電振動子との位置関係を示す図
である。
FIG. 5 is a diagram showing a positional relationship between a hatched region and a piezoelectric vibrator in a state where a flexible cable is connected to the piezoelectric vibrator.

【図6】接続用フレキシブルケーブルの他の実施例を示
す図である。
FIG. 6 is a diagram showing another embodiment of the connection flexible cable.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 振動子ユニット 2 圧電振動子 3 ダミー振動子 4 固定基板 5 セグメント電極 6 共通電極 7 圧電材料 8、9 外部電極 10 フレキシブルケーブル 11、12 接続部 20 半導体集積回路 21 駆動信号供給用導電パターン 21a セグメント電極の接続領域 21c 共通電極接続用の斜線領域 21d プローブ接続領域 22 共通電極接続用導電パターン 23 窓 1 transducer unit 2 Piezoelectric vibrator 3 Dummy oscillator 4 fixed board 5 segment electrode 6 common electrode 7 Piezoelectric material 8, 9 External electrode 10 flexible cable 11, 12 connection 20 Semiconductor integrated circuits 21 Conductive pattern for driving signal supply 21a Segment electrode connection area 21c Shaded area for common electrode connection 21d probe connection area 22 Conductive pattern for common electrode connection 23 windows

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/045 B41J 2/055 B41J 29/00 H01L 41/09 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) B41J 2/045 B41J 2/055 B41J 29/00 H01L 41/09

Claims (13)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 一方の極となるセグメント電極と、他方
の極となる共通電極とを圧電材料を挟んで交互に積層す
るとともに、前記共通電極を圧力発生室に対向する側か
ら露出させて外部電極により後端側の一方の面に延長し
て形成された共通電極の接続部と、また前記セグメント
電極を後端側から露出させて外部電極により後端側の一
方の面に延長して形成されたセグメント電極の接続部と
を有する複数の圧電振動子を固定板に一定のピッチで固
定するとともに、 前記セグメント電極のそれぞれに独立して接続する直線
状のセグメント電極接続領域と、複数の隣接する前記
電振動子を跨ぎ、かつ相互に分離されて形成され、前記
共通電極の接続部に接続される共通電極接続領域と、前
記共通電極接続領域を介して接続する共通電極接続用導
電パターンとを有し、前記セグメント電極接続領域と前
記共通電極接続領域との間が窓により分離されたフレキ
シブルケーブルにより外部駆動回路に接続されるインク
ジェット記録ヘッド用圧電振動子ユニット。
1. A segment electrode serving as one pole and a common electrode serving as the other pole are alternately laminated with a piezoelectric material sandwiched therebetween, and the common electrode is exposed from the side facing the pressure generating chamber and externally exposed. The common electrode connecting portion is formed by extending the one surface on the rear end side by the electrode, and the segment electrode is exposed from the rear end side and is formed on the one surface on the rear end side by the external electrode. A plurality of piezoelectric vibrators each having a segment electrode connecting portion fixed to a fixing plate at a constant pitch, and a linear segment electrode connecting region that is independently connected to each of the segment electrodes, and a plurality of adjacent segment electrode connecting regions. the straddle the pressure <br/> electrostatic vibrator, and are formed separately from each other, and a common electrode connection region connected to the connecting portion of the common electrode, the common electrode connected via the common electrode connecting region For connection A piezoelectric vibrator unit for an inkjet recording head, which has a conductive pattern and is connected to an external drive circuit by a flexible cable in which the segment electrode connection region and the common electrode connection region are separated by a window.
【請求項2】 前記共通電極接続領域が、略「V」字状
に形成されている請求項1のインクジェット記録ヘッド
用圧電振動子ユニット。
2. The piezoelectric vibrator unit for an ink jet recording head according to claim 1, wherein the common electrode connection region is formed in a substantially “V” shape.
【請求項3】 前記フレキシブルケーブルに、前記セグ
メント電極接続領域から延長する導電パターンに外部駆
動回路から印刷信号を受ける半導体集積回路が接続され
て実装されている請求項1のインクジェット記録ヘッド
用圧電振動子ユニット。
3. A piezoelectric vibration for an ink jet recording head according to claim 1, wherein a semiconductor integrated circuit receiving a print signal from an external drive circuit is connected to a conductive pattern extending from the segment electrode connection region and mounted on the flexible cable. Child unit.
【請求項4】 一方の極となるセグメント電極と、他方
の極となる共通電極とを圧電材料を挟んで交互に積層す
るとともに、前記共通電極を圧力発生室に対向する側か
ら露出させて外部電極により後端側の一方の面に延長し
て共通電極の接続部と、また前記セグメント電極を後端
側から露出させて外部電極により後端側の一方の面に延
長してセグメント電極の接続部とが形成された複数の圧
電振動子を固定板に一定のピッチで固定してなる圧電振
動子本体に、 前記セグメント電極のそれぞれに独立して対向する直線
状のセグメント電極接続領域と、該セグメント電極接続
領域と連続するとともに、複数の隣接する前記圧電振動
子を跨ぎ、かつ相互に分離されて形成され、前記共通電
極の接続部に対向する共通電極接続領域と、前記共通電
極接続領域の先端で連続するプローブ接続領域と、前記
共通電極接続領域から分離され、かつ前記圧電振動子を
介して接続可能な共通電極接続用導電パターンとを有す
るフレキシブルケーブルの、前記セグメント電極接続領
域を前記圧電振動子のセグメント電極接続部に半田付け
する第1の工程と、 前記プローブ接続領域を介して前記半田付けの良否を判
定する第2の工程と、 前記セグメント電極接続領域と共通電極接続領域との間
に窓を形成して両者を電気的に分離する第3の工程と、 を備えたインクジェット記録ヘッド用圧電振動子ユニッ
トの製造方法。
4. A segment electrode serving as one pole and a common electrode serving as the other pole are alternately laminated with a piezoelectric material sandwiched therebetween, and the common electrode is exposed from the side facing the pressure generating chamber and externally exposed. Connecting to the common electrode connecting part by extending to one surface on the rear end side by an electrode, and connecting the segment electrode by extending the segment electrode from the rear end side and extending to one surface on the rear end side by an external electrode A plurality of piezoelectric vibrators each having a section formed thereon are fixed to a fixing plate at a constant pitch, and a linear segment electrode connection region that independently faces each of the segment electrodes, and with continuous segment electrode connection regions, spanning the piezoelectric vibrator in which a plurality of adjacent, and formed by being separated from each other, and a common electrode connection region facing the connecting portion of the common electrode, the common electrode contact The segment electrode connection region of a flexible cable having a probe connection region continuous at the tip of the region and a common electrode connection conductive pattern which is separated from the common electrode connection region and is connectable via the piezoelectric vibrator, A first step of soldering to the segment electrode connection portion of the piezoelectric vibrator; a second step of determining whether the soldering is good or bad via the probe connection area; the segment electrode connection area and common electrode connection area And a third step of electrically separating the two from each other by forming a window therebetween, and a method for manufacturing a piezoelectric vibrator unit for an inkjet recording head, comprising:
【請求項5】 一方の極となるセグメント電極と、他方
の極となる共通電極とを圧電材料を挟んで交互に積層す
るとともに、前記共通電極を圧力発生室に対向する側か
ら露出させて外部電極により後端側の一方の面に延長し
て共通電極の接続部と、また前記セグメント電極を後端
側から露出させて外部電極により後端側の一方の面に延
長してセグメント電極の接続部とが形成された複数の圧
電振動子を固定板に一定のピッチで固定してなる圧電振
動子本体に、 前記セグメント電極のそれぞれに独立して対向する直線
状のセグメント電極接続領域と、該セグメント電極接続
領域と連続するとともに、複数の隣接する圧電振動子を
跨ぎ、かつ相互に分離されて形成され、前記共通電極の
接続部に対向する共通電極接続領域と、前記共通電極接
続領域の先端で連続するプローブ接続領域と、前記共通
電極接続領域から分離され、かつ前記圧電振動子との接
続により接続可能な共通電極接続用導電パターンとを有
するフレキシブルケーブルの、前記セグメント電極接続
領域を前記圧電振動子のセグメント電極接続部に半田付
けする第1の工程と、 前記プローブ接続領域を介して前記半田付けの良否を判
定する第2の工程と、 前記セグメント電極接続領域と共通電極接続領域との間
に窓を形成するとともに、前記プローブ接続領域を切断
する第3の工程と、 を備えたインクジェット記録ヘッド用圧電振動子ユニッ
トの製造方法。
5. A segment electrode serving as one pole and a common electrode serving as the other pole are alternately laminated with a piezoelectric material sandwiched therebetween, and the common electrode is exposed from the side facing the pressure generating chamber and externally exposed. Connecting to the common electrode connecting part by extending to one surface on the rear end side by an electrode, and connecting the segment electrode by extending the segment electrode from the rear end side and extending to one surface on the rear end side by an external electrode A plurality of piezoelectric vibrators each having a section formed thereon are fixed to a fixed plate at a constant pitch, and a linear segment electrode connection region that individually opposes each of the segment electrodes, A common electrode connection region that is continuous with the segment electrode connection region, straddles a plurality of adjacent piezoelectric vibrators, and is separated from each other, and faces the connection portion of the common electrode, and the common electrode connection region. The segment electrode connection region of a flexible cable having a probe connection region continuous at the tip of, and a common electrode connection conductive pattern that is separated from the common electrode connection region and that can be connected by connection with the piezoelectric vibrator. A first step of soldering to the segment electrode connection portion of the piezoelectric vibrator; a second step of determining whether the soldering is good or bad via the probe connection area; the segment electrode connection area and common electrode connection area And a third step of cutting the probe connection region while forming a window between the piezoelectric vibrator unit for an inkjet recording head and the third step.
【請求項6】 前記フレキシブルケーブルに、前記セグ
メント電極接続領域から延長する導電パターンに外部駆
動回路から印刷信号を受ける半導体集積回路が実装され
ている請求項5のインクジェット記録ヘッド用圧電振動
子ユニットの製造方法。
6. The piezoelectric vibrator unit for an ink jet recording head according to claim 5, wherein a semiconductor integrated circuit that receives a print signal from an external drive circuit is mounted on a conductive pattern extending from the segment electrode connection region on the flexible cable. Production method.
【請求項7】 一方の極となるセグメント電極と、他方
の極となる共通電極とを圧電材料を挟んで交互に積層す
るとともに、前記共通電極を圧力発生室に対向する側か
ら露出させて外部電極により後端側の一方の面に延長し
て共通電極の接続部と、また前記セグメント電極を後端
側から露出させて外部電極により後端側の一方の面に延
長してセグメント電極の接続部とが形成された複数の圧
電振動子を固定板に一定のピッチで固定してなる圧電振
動子本体に、 前記セグメント電極のそれぞれに独立して対向する直線
状のセグメント電極接続領域と、該セグメント電極接続
領域と連続するとともに、複数の隣接する圧電振動子を
跨ぎ、かつ相互に分離されて形成され、前記共通電極の
接続部に対向する共通電極接続領域と、前記共通電極接
続領域の先端で連続するプローブ接続領域と、前記共通
電極接続領域から分離され、かつ前記圧電振動子との接
続により接続可能な共通電極接続用導電パターンとを有
するフレキシブルケーブルの、前記セグメント電極接続
領域を前記圧電振動子のセグメント電極接続部に半田付
けする第1の工程と、 前記プローブ接続領域を介して前記半田付けの良否を判
定する第2の工程と、 前記セグメント電極接続領域と共通電極接続領域との間
に窓を形成するとともに、前記プローブ接続領域を切断
する第3の工程と、 前記圧電振動子の前記共通電極と前記フレキシブルケー
ブルの共通電極接続領域を接続する第4の工程と、 を備えたインクジェット記録ヘッド用圧電振動子ユニッ
トの製造方法。
7. A segment electrode serving as one pole and a common electrode serving as the other pole are alternately laminated with a piezoelectric material sandwiched therebetween, and the common electrode is exposed from the side facing the pressure generating chamber and externally exposed. Connecting to the common electrode connecting portion by extending to one surface on the rear end side by an electrode, and connecting the segment electrode by extending the segment electrode from the rear end side and extending to one surface on the rear end side by an external electrode A plurality of piezoelectric vibrators each having a section formed thereon are fixed to a fixing plate at a constant pitch, and a linear segment electrode connection region that independently faces each of the segment electrodes, and A common electrode connection region that is continuous with the segment electrode connection region, straddles a plurality of adjacent piezoelectric vibrators, and is separated from each other, and faces the connection portion of the common electrode, and the common electrode connection region. The segment electrode connection region of a flexible cable having a probe connection region continuous at the tip of, and a common electrode connection conductive pattern that is separated from the common electrode connection region and that can be connected by connection with the piezoelectric vibrator. A first step of soldering to the segment electrode connection portion of the piezoelectric vibrator; a second step of determining whether the soldering is good or bad via the probe connection area; the segment electrode connection area and common electrode connection area A third step of forming a window between the probe electrode and the probe connection area, and a fourth step of connecting the common electrode of the piezoelectric vibrator and the common electrode connection area of the flexible cable. A method for manufacturing a piezoelectric vibrator unit for an inkjet recording head, which is provided.
【請求項8】 前記フレキシブルケーブルに、前記セグ
メント電極接続領域から延長する導電パターンに外部駆
動回路から印刷信号を受ける半導体集積回路が実装され
ている請求項7のインクジェット記録ヘッド用圧電振動
子ユニットの製造方法。
8. The piezoelectric vibrator unit for an ink jet recording head according to claim 7, wherein the flexible cable is mounted with a semiconductor integrated circuit which receives a print signal from an external drive circuit on a conductive pattern extending from the segment electrode connection region. Production method.
【請求項9】 セグメント電極のそれぞれに独立して対
向する直線状のセグメント電極接続領域と、該セグメン
ト電極接続領域と連続するとともに、複数の隣接する圧
電振動子を跨ぎ、かつ相互に分離されて形成され、前記
圧電素子の共通電極の接続部に対向する共通電極接続領
域と、前記共通電極接続領域の先端で連続するプローブ
接続領域と、前記共通電極接続領域から分離され、かつ
前記圧電振動子を介して接続可能な共通電極接続用導電
パターンとを有するフレキシブルケーブルの前記プロー
ブ接続領域を介して前記セグメント電極接続領域に連続
する導電パターンを検査する第1の工程と、 前記セグメント電極接続領域と共通電極接続領域との間
に窓を形成するとともに、前記プローブ接続領域を切断
する第2の工程と、 一方の極となる前記セグメント電極と、他方の極となる
前記共通電極とを圧電材料を挟んで交互に積層するとと
もに、前記共通電極を圧力発生室に対向する側から露出
させて外部電極により後端側の一方の面に延長して共通
電極の接続部と、また前記セグメント電極を後端側から
露出させて外部電極により後端側の一方の面に延長して
セグメント電極の接続部とが形成された複数の圧電振動
子を固定板に一定のピッチで固定してなる圧電振動子本
体に、前記セグメント電極接続領域及び前記共通電極接
続領域を前記圧電振動子のセグメント電極接続部及び共
通電極接続部に半田付けする第3の工程と、 を備えたインクジェット記録ヘッド用圧電振動子ユニッ
トの製造方法。
9. A linear segment electrode connection region independently facing each of the segment electrodes, and a segment electrode connection region that is continuous with the segment electrode connection region and straddles a plurality of adjacent piezoelectric vibrators and is separated from each other. Formed and said
A common electrode connection region facing the connection portion of the common electrode of the piezoelectric element, a probe connection region continuous at the tip of the common electrode connection region, and a connection from the common electrode connection region separated from the common electrode connection region and via the piezoelectric vibrator. A first step of inspecting a conductive pattern continuous to the segment electrode connection area via the probe connection area of a flexible cable having a possible common electrode connection conductive pattern; and the segment electrode connection area and the common electrode connection area. to form a window, and a second step of cutting the probe connection region, and the segment electrodes to be one pole, the other pole between
The common electrode and the common electrode are alternately laminated, and the common electrode is exposed from the side facing the pressure generating chamber and extended to one surface on the rear end side by an external electrode to connect the common electrode. Also, a plurality of piezoelectric vibrators in which the segment electrodes are exposed from the rear end side and extended to one surface on the rear end side by the external electrodes and the connection portions of the segment electrodes are formed on the fixed plate at a constant pitch. A third step of soldering the segment electrode connection region and the common electrode connection region to the segment electrode connection part and the common electrode connection part of the piezoelectric oscillator on the piezoelectric vibrator body fixed by A method for manufacturing a piezoelectric vibrator unit for an inkjet recording head.
【請求項10】 前記フレキシブルケーブルに、前記セ
グメント電極接続領域から延長する導電パターンに外部
駆動回路から印刷信号を受ける半導体集積回路が実装さ
れている請求項9のインクジェット記録ヘッド用圧電振
動子ユニットの製造方法。
10. The piezoelectric vibrator unit for an ink jet recording head according to claim 9, wherein the flexible cable is mounted with a semiconductor integrated circuit which receives a print signal from an external drive circuit on a conductive pattern extending from the segment electrode connection region. Production method.
【請求項11】 一方の極となるセグメント電極と、他
方の極となる共通電極とを圧電材料を挟んで交互に積層
するとともに、前記共通電極を圧力発生室に対向する側
から露出させて外部電極により後端側の一方の面に延長
して形成された共通電極の接続部と、また前記セグメン
ト電極を後端側から露出させて外部電極により後端側の
一方の面に延長して形成されたセグメント電極の接続部
とを有する複数の圧電振動子を固定板に一定のピッチで
固定した圧電振動子ユニットと外部駆動回路とを接続す
るフレキシブルケーブルにおいて、 前記セグメント電極のそれぞれに独立して対向する直線
状のセグメント電極接続領域と、該セグメント電極接続
領域と連続するとともに、複数の隣接する圧電振動子を
跨ぎ、かつ相互に分離されて形成され、前記共通電極の
接続部に対向する共通電極接続領域と、前記共通電極接
続領域の先端で連続するプローブ接続領域と、前記共通
電極接続領域から分離され、かつ前記圧電振動子を介し
て接続可能な共通電極接続用導電パターンとを有するフ
レキシブルケーブル。
11. A segment electrode serving as one pole and a common electrode serving as the other pole are alternately laminated with a piezoelectric material sandwiched therebetween, and the common electrode is exposed from a side facing the pressure generating chamber and externally exposed. The common electrode connecting portion is formed by extending the one surface on the rear end side by the electrode, and the segment electrode is exposed from the rear end side and is formed on the one surface on the rear end side by the external electrode. In a flexible cable for connecting a piezoelectric vibrator unit in which a plurality of piezoelectric vibrators having fixed segment electrode connecting portions are fixed to a fixed plate at a constant pitch, and to an external drive circuit, each of the segment electrodes is independently provided. The linear segment electrode connecting regions facing each other are formed continuously with the segment electrode connecting regions, straddling a plurality of adjacent piezoelectric vibrators, and separated from each other. A common electrode connection region facing the connection part of the common electrode, a probe connection region continuous at the tip of the common electrode connection region, and a region separated from the common electrode connection region and connectable via the piezoelectric vibrator A flexible cable having a conductive pattern for connecting a common electrode.
【請求項12】 前記共通電極接続領域が、略「V」字
状に形成されている請求項11のフレキシブルケーブ
ル。
12. The flexible cable according to claim 11, wherein the common electrode connection region is formed in a substantially “V” shape.
【請求項13】 前記フレキシブルケーブルに、前記セ
グメント電極接続領域から延長する導電パターンに外部
駆動回路から印刷信号を受ける半導体集積回路が実装さ
れている請求項11のフレキシブルケーブル。
13. The flexible cable according to claim 11, wherein a semiconductor integrated circuit which receives a print signal from an external drive circuit is mounted on a conductive pattern extending from the segment electrode connection region on the flexible cable.
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