JP2008233910A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008233910A5 JP2008233910A5 JP2008068116A JP2008068116A JP2008233910A5 JP 2008233910 A5 JP2008233910 A5 JP 2008233910A5 JP 2008068116 A JP2008068116 A JP 2008068116A JP 2008068116 A JP2008068116 A JP 2008068116A JP 2008233910 A5 JP2008233910 A5 JP 2008233910A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thickness
- opening
- metal
- waveguide
- metal waveguide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 34
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 7
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Claims (11)
- 開口が内部に形成された導電性金属からなる金属導波路において、
前記開口は、入力端と出力端との間で光の進行方向を変えるように曲がっている構造を有し、前記曲がっている部分と出力端との間で出力端側に幅が次第に狭くなるテーパ構造を有し、前記開口を形成する金属の内面にリッジ部が突出して形成されることによって、前記開口がＣ型の形状を有することを特徴とする金属導波路。 - 光の進行方向に沿って金属導波路の厚さを定義するとき、前記開口が曲がっている部分から開口の幅が狭くなるテーパ部までの金属導波路の厚さｔｏｕｔは、金属導波路の入力端から曲がる前までの厚さｔｉｎより大きいことを特徴とする請求項１に記載の金属導波路。
- 前記金属導波路の入力端から曲がる前までの厚さｔｉｎは、前記入力端から曲がる前までの金属導波路部分に対する厚み共振分析を通じて、入射ビームの周波数と厚み共振周波数とが一致するように決定されることを特徴とする請求項２に記載の金属導波路。
- 基板上に金属層を積層する工程と、
前記金属層の一部をエッチングして一定の幅及び厚さを有する曲がっている形態のリッジ部を形成する工程と、
前記リッジ部及び金属層の残りの部分上に全体的に紫外線硬化性樹脂を塗布する工程と、
前記紫外線硬化性樹脂を部分的に硬化させ、前記リッジ部に沿って曲がっている構造を有し、一側端で幅が次第に狭くなるテーパ構造を有し、前記リッジ部を取り囲む開口を形成する工程と、
紫外線硬化性樹脂の硬化されていない残りの部分を除去する工程と、
前記開口を取り囲むように金属層を積層する工程と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の金属導波路の製造方法。 - 開口が内部に形成された導電性金属からなる第１金属導波路と、
光源から伝送された光を前記第１金属導波路に伝達する第２導波路と、を備え、
前記第１金属導波路で、前記開口は、入力端と出力端との間で光の進行方向を変えるように曲がっている構造を有し、前記曲がっている部分と出力端との間で出力端側に幅が次第に狭くなるテーパ構造を有し、前記開口を形成する金属の内面にリッジ部が突出して形成されることによって、前記開口がＣ型の形状を有することを特徴とする光伝送モジュール。 - 光の進行方向に沿って第１金属導波路の厚さを定義するとき、前記開口が曲がっている部分から開口の幅が狭くなるテーパ部までの金属導波路の厚さｔｏｕｔは、第１金属導波路の入力端から曲がる前までの厚さｔｉｎより大きいことを特徴とする請求項５に記載の光伝送モジュール。
- 前記第２導波路は、高さより幅がさらに大きい扁平な形態を有し、入力端の幅が出力端の幅より広いテーパ構造を有することを特徴とする請求項５又は６に記載の光伝送モジュール。
- 前記第２導波路は、ポリマー導波路であることを特徴とする請求項７に記載の光伝送モジュール。
- 磁気記録媒体に情報を記録するための磁場を形成する磁気記録部と、前記磁気記録媒体の記録予定領域を加熱するために光を照射する光伝送モジュールと、を備える熱補助磁気記録ヘッドにおいて、
前記光伝送モジュールは、
開口が内部に形成された導電性金属からなる第１金属導波路と、
光源から伝送された光を前記第１金属導波路に伝達する第２導波路と、を備え、
前記第１金属導波路で、前記開口は、入力端と出力端との間で光の進行方向を変えるように曲がっている構造を有し、前記曲がっている部分と出力端との間で出力端側に幅が次第に狭くなるテーパ構造を有し、前記開口を形成する金属の内面にリッジ部が突出して形成されることによって、前記開口がＣ型の形状を有することを特徴とする熱補助磁気記録ヘッド。 - 光の進行方向に沿って第１金属導波路の厚さを定義するとき、前記開口が曲がっている部分から開口の幅が狭くなるテーパ部までの金属導波路の厚さｔｏｕｔは、第１金属導波路の入力端から曲がる前までの厚さｔｉｎより大きいことを特徴とする請求項９に記載の熱補助磁気記録ヘッド。
- 前記第１金属導波路の入力端から曲がる前までの厚さｔｉｎは、前記入力端から曲がる前までの第１金属導波路部分に対する厚み共振分析を通じて、入射ビームの周波数と厚み共振周波数とが一致するように決定されることを特徴とする請求項１０に記載の熱補助磁気記録ヘッド。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2007-0026790 | 2007-03-19 | ||
| KR1020070026790A KR100846515B1 (ko) | 2007-03-19 | 2007-03-19 | 테이퍼진 ｃ-형 개구를 갖는 90도 굽어진 금속 도파로,상기 도파로의 제조 방법, 상기 도파로를 이용한 광전송모듈 및 상기 도파로를 채용한 열보조 자기기록 헤드 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012151192A Division JP5390670B2 (ja) | 2007-03-19 | 2012-07-05 | テーパ構造のｃ型開口を有する９０°に曲がっている金属導波路、該導波路の製造方法、該導波路を利用した光伝送モジュール及び該導波路を採用した熱補助磁気記録ヘッド |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008233910A JP2008233910A (ja) | 2008-10-02 |
| JP2008233910A5 true JP2008233910A5 (ja) | 2011-04-14 |
| JP5079556B2 JP5079556B2 (ja) | 2012-11-21 |
Family
ID=39774544
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008068116A Expired - Fee Related JP5079556B2 (ja) | 2007-03-19 | 2008-03-17 | テーパ構造のｃ型開口を有する９０°に曲がっている金属導波路、該導波路の製造方法、該導波路を利用した光伝送モジュール及び該導波路を採用した熱補助磁気記録ヘッド |
| JP2012151192A Expired - Fee Related JP5390670B2 (ja) | 2007-03-19 | 2012-07-05 | テーパ構造のｃ型開口を有する９０°に曲がっている金属導波路、該導波路の製造方法、該導波路を利用した光伝送モジュール及び該導波路を採用した熱補助磁気記録ヘッド |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012151192A Expired - Fee Related JP5390670B2 (ja) | 2007-03-19 | 2012-07-05 | テーパ構造のｃ型開口を有する９０°に曲がっている金属導波路、該導波路の製造方法、該導波路を利用した光伝送モジュール及び該導波路を採用した熱補助磁気記録ヘッド |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7944782B2 (ja) |
| JP (2) | JP5079556B2 (ja) |
| KR (1) | KR100846515B1 (ja) |
| CN (2) | CN102707375A (ja) |
Families Citing this family (39)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100707209B1 (ko) * | 2006-01-11 | 2007-04-13 | 삼성전자주식회사 | 열보조 자기기록 헤드 및 그 제조방법 |
| US8000175B2 (en) * | 2009-01-30 | 2011-08-16 | Tdk Corporation | Thermally assisted magnetic head having a semiconductor surface-emitting laser |
| US7936643B2 (en) * | 2009-02-03 | 2011-05-03 | Tdk Corporation | Thermal assisted magnetic recording head having surface-emitting semiconductor laser |
| US7898909B2 (en) * | 2009-02-12 | 2011-03-01 | Tdk Corporation | Thermal-assisted magnetic recording head having substrate and light reflection section |
| US8125856B1 (en) | 2009-11-05 | 2012-02-28 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for optically coupling a laser with a transducer in an energy assisted magnetic recording disk drive |
| US8164855B1 (en) | 2009-11-06 | 2012-04-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a write pole in an energy assisted magnetic recording disk drive |
| US8532157B2 (en) | 2010-02-23 | 2013-09-10 | Seagate Technology Llc | Capping method for laser diode protection |
| WO2011146017A1 (en) * | 2010-05-19 | 2011-11-24 | Agency For Science, Technology And Research | Optical coupler for hamr head |
| US8625941B1 (en) | 2010-05-20 | 2014-01-07 | Western Digital (Fremont), Llc | Broadband reflective waveguide metal gratings and their formation |
| US8375565B2 (en) | 2010-05-28 | 2013-02-19 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing an electronic lapping guide corresponding to a near-field transducer of an energy assisted magnetic recording transducer |
| US8351307B1 (en) | 2010-06-04 | 2013-01-08 | Western Digital (Fremont), Llc | Trailing edge optimized near field transducer having non-rectangular pin cross section |
| US8343364B1 (en) | 2010-06-08 | 2013-01-01 | Western Digital (Fremont), Llc | Double hard-mask mill back method of fabricating a near field transducer for energy assisted magnetic recording |
| US8310901B1 (en) | 2010-06-09 | 2012-11-13 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing separate write and optical modules in an energy assisted magnetic recording disk drive |
| US8320219B1 (en) | 2010-06-15 | 2012-11-27 | Western Digital (Fremont), Llc | Trailing edge optimized near field transducer |
| US8456964B1 (en) | 2010-11-16 | 2013-06-04 | Western Digital (Fremont), Llc | Energy assisted magnetic recording head having a reflector for improving efficiency of the light beam |
| US8379494B2 (en) | 2011-02-03 | 2013-02-19 | Seagate Technology Llc | Laser-in slider light delivery for heat assisted magnetic recording |
| JP5799538B2 (ja) * | 2011-03-18 | 2015-10-28 | セイコーエプソン株式会社 | テラヘルツ波発生装置、カメラ、イメージング装置、計測装置および光源装置 |
| US8325569B1 (en) | 2011-06-27 | 2012-12-04 | Western Digital (Fremont), Llc | EAMR head having improved optical coupling efficiency |
| US8787126B2 (en) * | 2011-10-10 | 2014-07-22 | Seagate Technology Llc | Waveguide with blocking layer |
| US8749790B1 (en) | 2011-12-08 | 2014-06-10 | Western Digital (Fremont), Llc | Structure and method to measure waveguide power absorption by surface plasmon element |
| US8675455B1 (en) | 2012-02-17 | 2014-03-18 | Western Digital (Fremont), Llc | Systems and methods for controlling light phase difference in interferometric waveguides at near field transducers |
| US8670294B1 (en) | 2012-02-17 | 2014-03-11 | Western Digital (Fremont), Llc | Systems and methods for increasing media absorption efficiency using interferometric waveguides |
| US8619513B1 (en) * | 2012-07-16 | 2013-12-31 | Seagate Technology Llc | Recording head with near-field antenna and composite pole |
| US9286920B1 (en) | 2013-01-31 | 2016-03-15 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for compensating for phase variations in an interferometric tapered waveguide in a heat assisted magnetic recording head |
| US9336814B1 (en) | 2013-03-12 | 2016-05-10 | Western Digital (Fremont), Llc | Inverse tapered waveguide for use in a heat assisted magnetic recording head |
| US9099142B2 (en) | 2013-03-12 | 2015-08-04 | Seagate Technology Llc | Radially dependent thermal heat resist layer |
| US9064527B1 (en) | 2013-04-12 | 2015-06-23 | Western Digital (Fremont), Llc | High order tapered waveguide for use in a heat assisted magnetic recording head |
| US9064528B1 (en) | 2013-05-17 | 2015-06-23 | Western Digital Technologies, Inc. | Interferometric waveguide usable in shingled heat assisted magnetic recording in the absence of a near-field transducer |
| US8947985B1 (en) | 2013-07-16 | 2015-02-03 | Western Digital (Fremont), Llc | Heat assisted magnetic recording transducers having a recessed pole |
| US8923102B1 (en) | 2013-07-16 | 2014-12-30 | Western Digital (Fremont), Llc | Optical grating coupling for interferometric waveguides in heat assisted magnetic recording heads |
| US9441938B1 (en) | 2013-10-08 | 2016-09-13 | Western Digital (Fremont), Llc | Test structures for measuring near field transducer disc length |
| US9142233B1 (en) | 2014-02-28 | 2015-09-22 | Western Digital (Fremont), Llc | Heat assisted magnetic recording writer having a recessed pole |
| US9190085B1 (en) | 2014-03-12 | 2015-11-17 | Western Digital (Fremont), Llc | Waveguide with reflective grating for localized energy intensity |
| JP5816768B1 (ja) * | 2015-03-31 | 2015-11-18 | 日本高周波株式会社 | 導波管型電力合成・分配器 |
| US9251830B1 (en) | 2015-05-19 | 2016-02-02 | Seagate Technology Llc | Waveguide cladding layer with transparent heat sink for heat-assisted magnetic recording device |
| US9384765B1 (en) | 2015-09-24 | 2016-07-05 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a HAMR writer having improved optical efficiency |
| CN106154416B (zh) * | 2016-08-31 | 2021-02-19 | 深圳大学 | 无泄漏低损磁光薄膜磁表面快模可控单向任意拐弯波导 |
| WO2018186037A1 (ja) * | 2017-04-04 | 2018-10-11 | Tdk株式会社 | 光ファイバ部材及び光ファイバ保持具 |
| CN114389150A (zh) * | 2020-10-05 | 2022-04-22 | 新科实业有限公司 | 光源单元、热辅助磁头、头万向节总成和硬盘驱动器 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100248055B1 (ko) * | 1997-08-26 | 2000-03-15 | 윤종용 | 하이브리드 광도파로 및 그 제작 공정 |
| JPH11312881A (ja) * | 1998-04-28 | 1999-11-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板の接合方法、及び高周波回路、アンテナ、導波管、線路変換器、線路分岐回路、並びに通信システム |
| EP1727138B1 (en) * | 1998-11-09 | 2009-03-11 | Seiko Instruments Inc. | Near-field optical head and method for manufacturing same |
| TW576933B (en) * | 2001-05-25 | 2004-02-21 | Wavien Inc | Collecting and condensing system, method for collecting electromagnetic radiation emitted by a source, tapered light pipe (TLP), numerical aperture (NA) conversion device, and portable front projection system |
| JP2003045004A (ja) | 2001-07-27 | 2003-02-14 | Fuji Xerox Co Ltd | 光アシスト磁気ヘッド及び光アシスト磁気ディスク装置 |
| US7272102B2 (en) | 2002-03-29 | 2007-09-18 | Seagate Technology Llc | Ridge waveguide with recess |
| US7215629B2 (en) | 2002-06-20 | 2007-05-08 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording device for heat assisted magnetic recording |
| JP3833582B2 (ja) * | 2002-06-27 | 2006-10-11 | 富士通株式会社 | 光照射ヘッド及び情報記録再生装置 |
| JP3668779B2 (ja) * | 2002-07-25 | 2005-07-06 | 国立大学法人岐阜大学 | 光導波装置 |
| US7027700B2 (en) * | 2002-09-30 | 2006-04-11 | Seagate Technology Llc | Planar waveguide for heat assisted magnetic recording |
| US7239599B2 (en) | 2003-03-28 | 2007-07-03 | Fujitsu Limited | Light irradiation head and information storage apparatus |
| AU2003236283A1 (en) * | 2003-03-28 | 2004-10-25 | Fujitsu Limited | Light irradiation head and information storage device |
| JP2006148206A (ja) * | 2004-11-16 | 2006-06-08 | Mitsubishi Electric Corp | 変換回路 |
| JP4635607B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2011-02-23 | Ｔｄｋ株式会社 | 熱アシスト磁気記録ヘッド及び熱アシスト磁気記録装置 |
| KR100851973B1 (ko) * | 2006-11-02 | 2008-08-12 | 삼성전자주식회사 | 굽은 도파로, 이의 제조방법, 굽은 도파로를 이용한 광전송모듈 및 굽은 도파로를 채용한 열보조 자기기록 헤드 |
-
2007
- 2007-03-19 KR KR1020070026790A patent/KR100846515B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-10-25 US US11/923,976 patent/US7944782B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-03-17 JP JP2008068116A patent/JP5079556B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-03-17 CN CN2012101712729A patent/CN102707375A/zh active Pending
- 2008-03-17 CN CN2008100854355A patent/CN101271174B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-07-05 JP JP2012151192A patent/JP5390670B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2008233910A5 (ja) | ||
| JP2008117509A5 (ja) | ||
| JP5079556B2 (ja) | テーパ構造のｃ型開口を有する９０°に曲がっている金属導波路、該導波路の製造方法、該導波路を利用した光伝送モジュール及び該導波路を採用した熱補助磁気記録ヘッド | |
| WO2010110496A3 (en) | Method of manufacturing optical waveguide having mirror face, and optoelectronic composite wiring board | |
| EP2769252A1 (en) | Grating couplers with deep-groove non-uniform gratings | |
| CN103620459A (zh) | 光波导以及制造光波导的方法 | |
| JP4237665B2 (ja) | 光導波路型センサ及びその製造方法 | |
| JP2008521051A (ja) | 導波路のテーパ化及び最適化した導波路構造の形成を行う方法並びにプロセス | |
| JP5101345B2 (ja) | 光導波路装置の製造方法 | |
| JP2010286690A5 (ja) | ||
| KR100518030B1 (ko) | 누설모드를 이용한 고 효율 광 커플러 | |
| Wang et al. | Polarization selectivity of the thin-metal-film plasmon-assisted fiber-optic polarizer | |
| WO2009066699A1 (ja) | 光導波路及びその製造方法 | |
| Zhong et al. | Effective heat dissipation in an adiabatic near-field transducer for HAMR | |
| JP2017173710A (ja) | 光ファイバ搭載光集積回路装置 | |
| JP2007183467A (ja) | ミラー付光導波路及びその製造方法 | |
| JP2014170126A (ja) | 光導波路モード変換器 | |
| KR100873394B1 (ko) | 필름 광도파로 제조 방법 | |
| JP2008058530A (ja) | 押し出しラミネートによる導波路作製方法および金型の作製方法 | |
| KR100584987B1 (ko) | 표면 플라즈몬파를 이용한 피라미드 형상의 근접장 탐침 | |
| JP2007133026A (ja) | Ｖ溝付き光導波路の製造方法 | |
| ATE497184T1 (de) | Verfahren zur herstellung eines optischen wellenleiters | |
| WO2014196043A1 (ja) | 光モジュールおよび光モジュールの製造方法 | |
| JP2010266662A (ja) | 光学素子が搭載された光導波路基板及びその製造方法 | |
| JP3876303B2 (ja) | 極微小光導波路およびその製造方法 |