JP2008229732A - 研磨剤供給装置およびそれを備える研磨機 - Google Patents

Abstract

【課題】研磨剤供給装置およびそれを備える研磨機において、保守作業における作業性を向上することができるようにする。
【解決手段】スラリー化された研磨剤１９を研磨機２０に供給する研磨剤供給装置１であって、研磨剤１９を貯留する、交換可能に設けられたタンク１６と、攪拌シャフト１４の先端に攪拌プロペラ１５が形成されてなる攪拌部材４と、攪拌部材４を回転駆動する攪拌モータ１０と、攪拌モータ１０をタンク１６の上方側で支持するモータ台１２とを備え、攪拌シャフト１４を、モータ台１２に固定された攪拌モータ１０のモータ軸１１に対して着脱可能に連結してなる構成とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、研磨剤供給装置およびそれを備える研磨機に関する。例えば、レンズ、ミラーなどの光学素子を形成するため、ガラス等の研磨加工を行う場合に、スラリー化された研磨剤を攪拌しつつ、研磨機に供給する研磨剤供給装置およびそれを備える研磨機に関する。

従来、例えば、レンズなどの研磨加工に用いる研磨機では、微小砥粒からなる研磨材を液体に分散させてスラリー化した研磨剤を、研磨剤供給装置によって攪拌しつつ研磨加工部に供給し、この研磨剤をワークと工具との間に介在させて研磨動作を行うことで、ワークの研磨加工を進行する。
このような研磨剤は、タンク内に放置しておくと研磨剤に含有された研磨材などの微粒子が重い粒子から沈殿してしまい、研磨剤の濃度が変化して安定した加工ができず、加工品質が悪化することが知られている。
このため、研磨剤を貯留するタンクに攪拌機構を備えることで、研磨剤の砥粒濃度の安定化を図る研磨剤供給装置が知られている。
例えば、特許文献１には、有底円筒形状の収納容器の上方側が密閉具で覆われ、この密閉具の中央部位にシャフトが貫通状態で回転自在に支持され、このシャフトの収納容器側の端部にプロペラが、密閉具の上方側に攪拌モータがそれぞれ設けられ、攪拌モータでプロペラを回転させることで、研磨剤を攪拌する研磨剤供給装置が記載されている。
特開２００２−３３７０４７号公報

しかしながら、上記のような従来の研磨剤供給装置には以下のような問題があった。
特許文献１に記載の技術では、収納容器を覆う密閉具に、攪拌プロペラが形成されたシャフトが回転自在に支持され、シャフトには攪拌モータが接続されている。そのため、劣化した研磨剤を入れ替えるために収納容器を洗浄したり、摩耗していく攪拌プロペラやシャフトをメンテナンスしたりする場合、攪拌プロペラおよび攪拌モータを接続した状態の密閉具を収納容器から取り外して作業を行う必要がある。比較的重い攪拌モータをシャフトから外してから密閉部を取り外すことも考えられるが、この場合でもまず攪拌モータを外してから持ち上げて移動しなければならない。
例えば、レンズ研磨加工などでは、スラリー化された研磨剤を多量に使用するため、研磨剤を貯留するタンク容量は、例えば２０リットル程度である。研磨剤による攪拌抵抗を考慮すると、攪拌モータの出力は、例えば１００Ｗ以上のものが採用されるため、攪拌モータだけでもかなりの重さになり、これらの取り外し作業で移動する部材の総質量は、例えば５ｋｇ以上にも達する。そのため、メンテナンス時の作業性が悪く、作業者の負荷も大きいという問題がある。
このような取り外し作業は、研磨機が多数設置され、多様な製品を研磨する生産現場では、日常的に頻繁に行う必要があるため、作業性の向上が強く求められている。

本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、保守作業における作業性を向上することができる研磨剤供給装置およびそれを備える研磨機を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、スラリー化された研磨剤を研磨機に供給する研磨剤供給装置であって、前記研磨剤を貯留するタンクと、攪拌翼が軸部の先端に形成されてなる攪拌部材と、該攪拌部材を回転駆動するモータと、該モータを前記タンクの上方側で支持する支持架台とを備え、前記攪拌部材の軸部を、前記架台に固定された前記モータの出力軸に対して着脱可能に連結してなる構成とする。
この発明によれば、モータを支持架台に固定した状態で、攪拌部材の軸部をモータの出力軸との連結を解除して、タンク内に残すことができるので、モータやモータを支持する部材などの重量物を移動させることなく、タンクおよび攪拌部材を研磨剤供給装置から移動させてそれぞれの保守作業を行うことができる。

請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の研磨剤供給装置において、前記タンクは、前記支持架台の下方側で水平方向に出し入れ可能に配置された構成とする。
この発明によれば、タンクを支持架台の下方側で水平方向に出し入れ可能に配置されているので、作業負荷を軽減することができ、保守作業が容易となる。

請求項３に記載の発明では、請求項１または２に記載の研磨剤供給装置において、前記攪拌部材の軸部と前記モータの出力軸とは、それぞれの端部に、互いに軸方向に着脱可能な状態に磁力で連結される連結部を備える構成とする。
この発明によれば、攪拌部材を磁力以上の力で軸方向に引っ張ることで連結を解除し、攪拌部材を連結部に対して軸方向に挿入することで挿着を行うことができる。そのため、軸方向の直線的な動作のみで着脱を行うことができるので、着脱作業が容易となる。

請求項４に記載の発明では、請求項１または２に記載の研磨剤供給装置において、前記攪拌部材の軸部と前記モータの出力軸とは、それぞれの端部に、互いに軸方向に着脱可能な状態で、プランジャ機構により連結される連結部を備える構成とする。
この発明によれば、攪拌部材をプランジャ機構の押圧力以上の力で軸方向に引っ張ることで連結を解除し、攪拌部材を連結部に対して軸方向にプランジャ機構の押圧力に抗して挿入することで挿着を行うことができる。そのため、軸方向の直線的な動作のみで着脱を行うことができるので、着脱作業が容易となる。

請求項５に記載の発明では、請求項１〜４のいずれかに記載の研磨剤供給装置において、前記攪拌部材の軸部および前記モータの出力軸の少なくともいずれかに、前記攪拌部材の軸部および前記モータの出力軸の連結された部分への前記研磨剤の付着を防護するカバー部材が設けられた構成とする。
この発明によれば、カバー部材により、攪拌部材の軸部およびモータの出力軸の連結された部分が防護されるので、研磨剤が連結された部分に付着されず、良好な連結性能を保つことができる。

請求項６に記載の発明では、研磨機において、請求項１〜５のいずれかに記載の研磨剤供給装置と、該研磨剤供給装置から供給される研磨剤を用いて研磨加工を行う研磨加工部とを備える構成とする。
この発明によれば、請求項１〜５のいずれかに記載の研磨剤供給装置を備えるので、請求項１〜５のいずれかに記載の発明と同様の作用効果を備える。

請求項７に記載の発明では、請求項６に記載の研磨機において、前記研磨剤供給装置は、前記研磨加工部の下側の空間に設けられた構成とする。
この発明によれば、研磨剤供給装置が、研磨加工部の下側の空間に設けられているので、省スペースである。また、作業者が、研磨加工部での加工状態と、研磨剤供給装置の動作とをともに容易に確認することができるので、研磨剤の補充や保守のタイミングなどを容易に把握することができる。

本発明の研磨剤供給装置およびそれを備える研磨機によれば、モータやモータを支持する部材などの重量物を移動させることなく、タンクおよび攪拌部材を研磨剤供給装置から移動させることができるので、保守作業における作業性を向上することができるという効果を奏する。

以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。

［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態に係る研磨剤供給装置について説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る研磨剤供給装置の模式的な構成図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係る研磨剤供給装置の連結部を示す模式的な斜視図である。

本実施形態の研磨剤供給装置１は、図１に示すように、研磨機２０にスラリー化された研磨剤１９を供給するものであり、その概略構成は、装置本体３、攪拌モータ１０（モータ）、攪拌部材４、タンク１６、供給管路２１、ポンプ２２、および回収管路２３からなる。
研磨機２０の種類は、周知の適宜の研磨機の構成を採用することができる。例えば、ガラスなどのワークに対して研磨皿を押圧し，ワークと研磨皿との間に研磨剤１９を供給した状態で研磨動作を行い、ワークを研磨皿の形状に研磨するものであれば、どのような研磨機であってもよい。
また、研磨機２０は、研磨剤供給装置１と別体として適宜の位置に配置することができる。
研磨剤１９は、例えば、水あるいはその他の液体、あるいはそれらの混合物からなる溶媒に、適宜粒径の砥粒を所定濃度に分散したもので、攪拌を繰り返すことで、所定濃度にスラリー化される液状体である。研磨剤１９の砥粒の粒径や濃度は、研磨機２０の加工対象、研磨工程の種類に応じて適宜設定される。

装置本体３は、床面に固定された複数の支柱１７の上部に攪拌モータ１０を固定する板状またはフレーム状のモータ台１２が水平に架設されてなる。
支柱１７の間隔は、少なくとも一対の間隔が後述するタンク１６を水平方向に出し入れ可能な寸法とされる。
攪拌モータ１０は、研磨剤１９を攪拌するために攪拌部材４を回転駆動するもので、モータ軸１１（出力軸）をモータ台１２の下方に突出させた状態で、モータ台１２に固定されている。
攪拌モータ１０は、研磨剤１９を攪拌するための出力を得ることができ、装置本体３で支持できるものであれば、方式や質量は特に限定されない。
本実施形態では、例えば、出力１５０Ｗ、質量２ｋｇのインダクションモータを採用することができる。

下方に向けられたモータ軸１１の先端部には、攪拌部材４を連結するための連結部１３が設けられている。
連結部１３は、図２に示すように、モータ軸１１と同軸に設けられた略円柱部材であり、モータ軸１１の先端部とともに回転するように、例えば、ネジ締結などの適宜の固定手段によって固定されている。
また、連結部１３の先端側には、モータ軸１１と直交する平面からなり軸方向に攪拌部材４を連結する連結面１３ｂと、連結面１３ｂの中心部で攪拌部材４を回り止めする嵌合穴１３ａとが形成されている。
嵌合穴１３ａの断面形状は、被嵌合部材を回り止め可能な適宜の多角形断面、例えば、矩形、三角形などの断面を採用することができる。図２では、断面が正方形の場合を図示している。
また本実施形態では、連結部１３は、磁力により吸着可能な磁性体から構成されている。

攪拌部材４は、軸部を構成する攪拌シャフト１４の一方の端部に攪拌プロペラ１５（攪拌翼）が、同じく他方の端部に連結部１４０が形成されてなる。
攪拌プロペラ１５は、攪拌シャフト１４から径方向に向かって、複数の翼部材から構成される。
連結部１４０は、図２に示すように、嵌合穴１３ａに嵌合する多角形棒状の嵌合突起１４０ａと、嵌合突起１４０ａが嵌合穴１３ａに嵌合した状態で連結面１３ｂと密着する連結面１４０ｃを有する略円柱状の磁石１４０ｂとからなる。ここで、嵌合突起１４０ａは回転方向の連結手段を構成し、磁石１４０ｂは軸方向の連結手段を構成している。
そして、連結部１４０は、攪拌シャフト１４に対し、例えば、ネジ締結などによって、攪拌シャフト１４とともに回転する状態に固定されている。
なお、図２は模式図のため、図示を省略しているが、嵌合穴１３ａの開口端や嵌合突起１４０ａの先端には、互いに挿入が容易に行われるように、テーパや面取りなどの適宜形状を設けることができる。
攪拌部材４の質量は、本実施形態の場合、例えば、０．２ｋｇ程度であり、攪拌モータ１０に比べて軽量な部材となっている。

磁石１４０ｂの磁力は、磁石１４０ｂが連結部１３に吸着した状態から作業者が攪拌部材４を軸方向に容易に引き抜ける程度の力であり、かつ、攪拌時に研磨剤１９から受ける軸方向の引抜き力よりも大きな力に設定する。なお、攪拌プロペラ１５の回転方向、およびねじり角を適宜設定することで、攪拌時に研磨剤１９から受ける力が軸方向の圧縮力となるようにすれば、磁力をより低減することができる。
したがって、磁石１４０ｂの連結部１３に対する磁力は、研磨剤１９の量や濃度にもよるが、本実施形態では、例えば、３Ｎ〜５Ｎ程度に設定することができる。

また、図１に示すように、攪拌シャフト１４の連結部１４０側には、連結面１３ｂ、１４０ｃを下方および側方から覆うカップ状のカバー３５（カバー部材）が設けられている。
ただし、カバー３５の形状は、このようなカップ状の他にも、連結部１３、１４０に対する研磨剤１９の付着を防護する適宜の形状を採用することができる。例えば、攪拌シャフト１４から側方に延びる平板状として、下方側のみから連結部１３、１４０を覆うものであってもよい。
また、カバー３５の材質は、金属、プラスチックなど適宜の材質を採用することができる。例えば、ゴムや発泡体などの伸縮性や可撓性に富んだ材質であってもよい。
また、カバー３５は、研磨剤１９が付着した場合に容易に交換できるように、攪拌シャフト１４に対して着脱可能に設けることが好ましい。例えば、攪拌シャフト１４より小径で伸縮可能な取付穴を形成したゴムや発泡体などを攪拌シャフト１４に外嵌させることにより着脱可能に固定してもよい。

タンク１６は、研磨剤１９を貯留するため容器であり、上方に開口した有底円筒状に形成されている。そして、床面上で水平方向に移動可能に設けられたタンク移動台１８上に載置され、装置本体３の側方から、攪拌モータ１０の直下の位置（以下、セット位置と称する）に対して進退できるようになっている。
セット位置に配置されたタンク１６の上端の開口部の高さは、モータ台１２から下方に突出する連結部１３よりも低く設定され、タンク１６の上端と連結部１３との間に、少なくとも作業者の手が入る程度の空間を形成できるようになっている。

供給管路２１は、セット位置に配置されたタンク１６から、研磨剤１９を研磨機２０に供給するための管路であり、一方の端部がタンク１６内に上方から挿入され、他方の端部が研磨機２０と接続されている。供給管路２１の中間部には、研磨剤１９を汲み上げて研磨機２０側に給送するポンプ２２が設けられている。
回収管路２３は、研磨機２０で研磨に使用した研磨剤１９をタンク１６に回収するための管路であり、一方の端部がタンク１６内に上方から挿入され、他方の端部が研磨機２０に接続されている。

次に、研磨剤供給装置１の作用について、タンク１６の出し入れ作業における作用を中心に説明する。
研磨剤供給装置１は、研磨機２０による研磨加工時には、図１に示すように、タンク１６が研磨剤１９を所定量だけ満たした状態でセット位置に配置されている。
このとき、攪拌部材４は、嵌合突起１４０ａが嵌合穴１３ａに嵌合されることで回転方向に連結され、磁石１４０ｂによって連結部１３に磁力吸着されることで、軸方向に連結されている。このため、攪拌モータ１０が回転するとモータ軸１１の回転が、攪拌シャフト１４に伝達されるようになっている。
なお、本実施形態では、このような連結状態において、連結面１３ｂ、１４０ｃは軸方向に密着されている。
そして、攪拌部材４の攪拌プロペラ１５、供給管路２１の一方の端部、回収管路２３の一方の端部は、それぞれ研磨剤１９の液面下に配置される。

この状態で、攪拌モータ１０が回転駆動されると、連結部１３、１４０で連結された攪拌部材４が回転し、タンク１６内の研磨剤１９が攪拌プロペラ１５によって攪拌される。これにより、タンク１６内で、沈降しようとする研磨剤１９の砥粒は繰り返し攪拌されることで、均一に分散され、タンク１６内における砥粒の濃度分布が略一定に保たれる。
このとき、連結部１３、１４０の連結された部分は、カバー３５によって覆われているため、研磨剤１９の飛沫など生じても、連結された部分には付着しないようになっている。

研磨機２０で研磨加工を開始する際には、ポンプ２２を作動させ、供給管路２１から研磨剤１９を研磨機２０に給送し、研磨機２０内のワークと研磨皿（いずれも不図示）の間に供給する。そして、研磨に使用された研磨剤１９は、研磨機２０内で回収され、回収管路２３を通して、タンク１６内に戻される。このようにして、研磨剤１９は、タンク１６と研磨機２０との間で循環して使用される。

このようにして研磨加工を続けていくと、種々の理由によりタンク１６の交換や研磨剤供給装置１のメンテナンスを行う必要が生じる。例えば、異なるワークを研磨するようなときに砥粒などを変えた他の研磨剤１９が投入された他のタンク１６に切り替える場合、あるいは、一定時間研磨して、劣化した研磨剤１９を排出して新しい研磨剤１９に入れ替える場合、さらには、攪拌部材４に対する研磨剤１９の固着や攪拌プロペラ１５の摩耗などのため、攪拌部材４を交換したりメンテナンスしたりする場合などの例が挙げられる。
これらの場合、研磨剤供給装置１では、まずポンプ２２、攪拌モータ１０を停止する。そして、作業者は研磨剤供給装置１の側方からタンク１６上に手を差し入れ、停止した攪拌シャフト１４の端部あるいは連結部１４０を把持して、磁石１４０ｂの磁力を上回る力で攪拌シャフト１４の軸方向に沿って下側に引っ張る。これにより、嵌合穴１３ａから嵌合突起１４０ａが引き抜かれ、連結部１３、１４０の連結が解除される。
そして、攪拌部材４をタンク１６内に残した状態で、タンク移動台１８を装置本体３の側方に移動させてタンク１６を引き出す。
このようにして、研磨剤供給装置１の外部において、攪拌部材４やタンク１６などに対して適宜の保守作業を行うことができる。
保守作業後のタンク１６、または他の研磨剤１９を満たしたタンク１６を研磨剤供給装置１にセットする場合は、上記の動作を逆の順序で実行することにより、タンク１６をセット位置に配置して、攪拌部材４を連結部１３に連結することができる。

このように研磨剤供給装置１では、攪拌モータ１０をモータ台１２に固定した状態で、攪拌部材４の着脱を行い、タンク１６を水平方向に進退させることで、タンク１６や攪拌部材４を装置外部に移動し、タンク１６や攪拌部材４を交換したり、メンテナンスしたりすることができる。
したがって、作業者は、タンク１６や攪拌部材４の交換やメンテナンスのための保守作業において、質量の大きな攪拌モータ１０を移動させることなく、しかも容易な操作で攪拌部材４を着脱することができるので作業性を向上することができる。

次に、本実施形態の変形例について説明する。
図３は、本発明の第１の実施形態の変形例に係る研磨剤供給装置の連結部を示す模式的な軸方向断面図である。
本変形例は、上記第１の実施形態の研磨剤供給装置１において、攪拌モータ１０の連結部１３、攪拌部材４の連結部１４０に代えて、図３に示すような連結部１３０、連結部１４１を備えるものである。上記第１の実施形態は磁石１４０ｂを軸方向の連結手段としているのに対して、本変形例は軸方向の連結手段として機械的な手段を用いた例となっている。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。

連結部１３０は、上記第１の実施形態の連結部１３と同様に断面が多角形状の嵌合穴１３ａを備え、その１つの内側面に連通して、ボール保持穴３３が形成され、ボール保持穴３３の底部に圧縮バネ３２が当接され、ボール保持穴３３の開口端には、圧縮バネ３２で弾性力が付勢された状態でボール保持穴３３の内側に突出されたボール３０が設けられている。
ボール３０、圧縮バネ３２、ボール保持穴３３は、ボール３０に作用する押圧力に応じて、ボール３０がボール保持穴３３内に進退可能となっているプランジャ機構３４を構成している。

連結部１４１は、攪拌シャフト１４の端部に、嵌合突起１４０ａと同様に嵌合穴１３ａと嵌合可能とされた嵌合突起１４１ａが形成され、さらに、嵌合突起１４１ａの側面に、ボール３０と嵌合可能な半球面状のボール受け穴１４１ｂが設けられたものである。

このような構成により、連結部１４１の嵌合突起１４１ａを嵌合穴１３ａに挿入すると、ボール３０がボール保持穴３３内に押し戻され、さらに挿入を進めて、ボール受け穴１４１ｂがボール保持穴３３に対向する位置に移動するとボール３０が押し出されてボール受け穴１４１ｂに嵌合される。
逆に攪拌シャフト１４を引き抜くことで、連結部１４１を軸方向に引き抜くと、ボール３０が押し戻されて容易に引き抜くことができる。この場合の引き抜きに要する力は、圧縮バネ３２のバネ定数やボール３０の大きさを適宜設定することで、上記第１の実施形態の磁力の大きさと同様に設定することができる。

このように、本変形例では、ボール受け穴１４１ｂとプランジャ機構３４とが軸方向の連結手段を構成し、嵌合穴１３ａと嵌合突起１４１ａとが回転方向の連結手段を構成している。そして、上記第１の実施形態と同様に、簡単な操作で攪拌部材４の着脱を行うことができる。

なお、本変形例では、プランジャ機構３４、ボール受け穴１４１ｂが一対設けられた場合の例で説明したが、例えば、嵌合穴１３ａ、嵌合突起１４１ａが正方形断面などのように嵌合に際して回転方向の方向性がない場合は、ボール受け穴１４１ｂを各側面に設けることが好ましい。この場合、連結可能な挿入方向が増えるため、連結作業がより容易になる。
また、ボール受け穴１４１ｂは、半球状の穴には限定されず、例えば、図３の紙面奥行き方向に同断面で貫通する円筒状の溝であってもよい。

［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態に係る研磨剤供給装置およびそれを備えた研磨機について説明する。
図４は、本発明の第２の実施形態に係る研磨剤供給装置およびそれを備えた研磨機の模式的な斜視構成図である。

本実施形態の研磨機５０は、図４に示すように、研磨加工部５１と研磨剤供給装置５２とからなり、研磨剤供給装置５２が研磨機５０内に一体化されたものである。

研磨加工部５１は、周知のレンズ研磨加工用の研磨装置を構成するものであり、装置筐体４０の上面４０ａに、２セットの研磨機構が、研磨加工の作業者が監視方向Ｐから同時に監視できるように並列して配置されている。以下では、それぞれに対応する部材には、それぞれ添字Ａ、Ｂを付して示す。これらは、配置位置が異なるのみで、互いに同一または略同様の構成を備える。
上面４０ａには、研磨加工時に供給される研磨剤１９Ａ、１９Ｂを下方で受けるとともに隣接領域に飛散させないように側方を覆う２台のタライ４１Ａ、４１Ｂが並列されている。それぞれの底面には、回収管４７Ａ、４７Ｂが接続されたドレイン（不図示）が設けられている。
回収管４７Ａ（４７Ｂ）は、図１の回収管路２３に相当するもので、それぞれのタライ４１Ａ（４１Ｂ）の下方に設置された研磨剤供給装置５２のタンク１６Ａ（１６Ｂ）に上方から挿入されている。
上面４０ａの高さは、本実施形態では８００ｍｍに設定されている。

タライ４１の中央部には、上端に研磨皿４４Ａ（４４Ｂ）が取り付けられ、研磨皿４４Ａ（４４Ｂ）を揺動可能かつ回転可能に支持する下軸４６Ａ（４６Ｂ）が設けられている。
下軸４６Ａ（４６Ｂ）の上方には、装置筐体４０に固定された上軸４２Ａ（４２Ｂ）によって、ワーク４３Ａ（４３Ｂ）が上下方向に可動支持されている。

研磨剤供給装置５２は、研磨加工部５１に並列された２セットの研磨機構に対応して、研磨剤供給装置１と略同様の２セットの研磨材供給機構を構成するものであり、それぞれ、タンク１６、研磨剤１９、供給管路２１に代えて、それらと略同様のタンク１６Ａ（１６Ｂ）、研磨剤１９Ａ（１９Ｂ）、供給管４８Ａ（４８Ｂ）を備える。攪拌モータ１０、攪拌部材４、ポンプ２２はそれぞれ第１の実施形態と共通である。また、図４では、見易さのためカバー３５の図示を省略している。
２台の攪拌モータ１０は、装置筐体４０の上面４０ａの下側において水平に架設されたモータ台１２０に対してそれぞれタライ４１Ａ、４１Ｂの下方となる位置に固定されている。
また、各攪拌モータ１０の側方のモータ台１２０上には、回収管４７Ａ、供給管４８Ａ、および回収管４７Ｂ、供給管４８Ｂをそれぞれ挿通する貫通孔１２０ａが設けられている。
また、各ポンプ２２には、それぞれ研磨剤供給管４５Ａ、４５Ｂが接続されている。
研磨剤供給管４５Ａ（４５Ｂ）は、先端がタライ４１Ａ（４１Ｂ）内にまで延ばされ、先端に設けられたノズル部は、研磨皿４４Ａ（４４Ｂ）、ワーク４３Ａ（４３Ｂ）の側方から、それらの当接面に向けて研磨剤１９Ａ（１９Ｂ）を供給できるような位置に配置されている。

タンク１６Ａ（１６Ｂ）は、タンク１６と同様の有底円筒状とされ、モータ台１２０（支持架台）に固定された各攪拌モータ１０の下方において監視方向Ｐ側から水平方向に進退可能に設置されている。このため、装置筐体４０は、タンク１６Ａ（１６Ｂ）の進退方向に開口されている。研磨剤供給装置１における支柱１７などの支持構造は、装置筐体４０によって置き換えられている。
タンク１６Ａ（１６Ｂ）の寸法としては、本実施形態では、例えば、直径３００ｍｍ、深さ４００ｍｍ程度の大きさとされており、このようなタンク１６Ａ、１６Ｂをモータ台１２０の下方に収容するため、装置筐体４０は、開口側の幅７５０ｍｍ、進退方向の奥行き５００ｍｍ程度の大きさに設定される。
タンク１６Ａ（１６Ｂ）は、特に図示しないが、上記第１の実施形態と同様にタンク移動台１８などの移動機構上に載置されている。

このように、本実施形態では、作業者は、装置筐体４０の開口部を通して、監視方向Ｐ側から手を差し入れ、それぞれの攪拌部材４を第１の実施形態の場合と同様にして着脱することができる。そして、攪拌部材４の連結を解除した状態において、開口部を通してタンク１６Ａ（１６Ｂ）を研磨機５０に対して進退移動することができる。したがって、第１の実施形態と同様に、攪拌モータ１０を移動させることなく容易に保守作業を行うことができる。
さらに、本実施形態では、研磨加工部５１の各研磨機構に対応する研磨材供給機構が、各研磨機構の下方に配置されているため、省スペースな研磨機を構成することができる。
また、このような構成により、研磨状態と研磨剤の攪拌、供給の状態とを一定の監視方向から同時に監視し、必要に応じて同方向から、攪拌部材４を着脱して、タンク１６とともに交換したり移動したりすることができる。
このため、作業者が一人であっても、複数の研磨機構を同時並行的に監視し、必要に応じて効率的な保守作業を行うことができる。

なお、上記の第１の実施形態の説明では、連結部１３を磁性体とし、連結部１４０に磁石１４０ｂを設けた構成の場合で説明したが、連結部１３に磁石を設け、連結部１４０を磁性体とした構成としてもよい。また、連結部１３、１４０にそれぞれ異極性の磁石を設けた構成としてもよい。

また、上記の第１の実施形態の変形例の説明では、機械的な連結手段として、プランジャ機構３４を用いた場合の例で説明したが、軸方向の進退によって連結と連結解除とを切り替えられる他の機械的な連結手段を用いてもよい。例えば、弾性フックが係合溝と係合される構成とし、連結解除時には、解除ボタンなどにより、弾性フックを解除方向に変形させつつ軸方向に引き抜くような構成としてもよい。

また、上記の説明では、攪拌部材の軸部にカバー部材を設けた場合の例で説明したが、例えば、モータ軸側の連結部に、連結される部分より十分下方まで延びるカバー部材を設けた構成としてもよい。この場合、カバー部材を攪拌部材を挿入する案内部材を兼ねるようにしてもよい。
また、連結部の形状や材質によって、研磨剤の付着を軽減することができる場合や、付着しても容易に除去できる場合などは、連結性能に影響しないのでカバー部材を有しない構成としてもよい。

また、上記の説明では、タンクが水平方向の移動機構上に載置されているものとして説明したが、タンクを床面上で容易に移動できる場合には移動機構を省略してもよい。また、移動機構を用いるとしても、タンクは移動機構上に常時載置されている必要はなく、移動時のみタンクを保持して移動するタンク搬送治具などを用いて移動してもよい。

本発明の第１の実施形態に係る研磨剤供給装置の模式的な構成図である。 本発明の第１の実施形態に係る研磨剤供給装置の連結部を示す模式的な斜視図である。 本発明の第１の実施形態の変形例に係る研磨剤供給装置の連結部を示す模式的な軸方向断面図である。 本発明の第２の実施形態に係る研磨剤供給装置およびそれを備えた研磨機の模式的な斜視構成図である。

符号の説明

１、５２ 研磨剤供給装置
４ 攪拌部材
１０ 攪拌モータ
１１ モータ軸（出力軸）
１２、１２０ モータ台（支持架台）
１３、１３０、１４０ 連結部
１３ａ 嵌合穴
１４ 攪拌シャフト（軸部）
１５ 攪拌プロペラ（攪拌翼）
１６、１６Ａ、１６Ｂ タンク
１９、１９Ａ、１９Ｂ 研磨剤
２０、５０ 研磨機
２１ 供給管路
３４ プランジャ機構
３５ カバー（カバー部材）
３６ ボール受け穴
４５Ａ、４５Ｂ 研磨剤供給管
５１ 研磨加工部
１４０ａ 嵌合突起
１４０ｂ 磁石

Claims (7)

1. スラリー化された研磨剤を研磨機に供給する研磨剤供給装置であって、
   前記研磨剤を貯留するタンクと、
   攪拌翼が軸部の先端に形成されてなる攪拌部材と、
   該攪拌部材を回転駆動するモータと、
   該モータを前記タンクの上方側で支持する支持架台とを備え、
   前記攪拌部材の軸部を、前記支持架台に固定された前記モータの出力軸に対して着脱可能に連結してなることを特徴とする研磨剤供給装置。
2. 前記タンクは、前記支持架台の下方側で水平方向に出し入れ可能に配置されたことを特徴とする請求項１に記載の研磨剤供給装置。
3. 前記攪拌部材の軸部と前記モータの出力軸とは、それぞれの端部に、互いに軸方向に着脱可能な状態に磁力で連結される連結部を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の研磨剤供給装置。
4. 前記攪拌部材の軸部と前記モータの出力軸とは、それぞれの端部に、互いに軸方向に着脱可能な状態で、プランジャ機構により連結される連結部を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の研磨剤供給装置。
5. 前記攪拌部材の軸部および前記モータの出力軸の少なくともいずれかに、前記攪拌部材の軸部および前記モータの出力軸の連結された部分への前記研磨剤の付着を防護するカバー部材が設けられたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の研磨剤供給装置。
6. 請求項１〜５のいずれかに記載の研磨剤供給装置と、
   該研磨剤供給装置から供給される研磨剤を用いて研磨加工を行う研磨加工部とを備えた研磨機。
7. 前記研磨剤供給装置は、前記研磨加工部の下側の空間に設けられたことを特徴とする請求項６に記載の研磨機。

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