JP2008218670A - 固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本実施形態に係る固体撮像素子のG画素301は、光電変換領域201aと転送トランジスタ202aとを備え、光電変換領域201aは、半導体基板401に形成されたV溝形状を有する第1光電変換領域201aaと、第1光電変換領域201aaと同層に設けられ、半導体基板401の表面に対して平坦形状を有する第2光電変換領域201abとを備える。
【選択図】図7
Description
赤色の第3可視光波長域に対して他の可視光波長域よりも高い透過率を持つ第3色フィルタを有する第3画素と、を少なくとも備え、前記第1画素は、前記半導体基板の表面に形成されたV溝形状を備える第1光電変換領域と、前記第1光電変換領域で光電変換された電気信号を前記第1画素外に出力する第1トランジスタ領域と、を備え、前記第2画素は、前記半導体基板の表面に対して平坦形状で構成された第2光電変換領域と、前記第2光電変換領域で光電変換された電気信号を前記第2画素外に出力する第2トランジスタ領域と、を備え、前記第3画素は、前記半導体基板の表面に対して平坦形状で構成された第3光電変換領域と、前記第3光電変換領域で光電変換された電気信号を前記第3画素外に出力する第3トランジスタ領域と、を備えたことを特徴とする。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
次に、本発明の第2の実施形態を、図面を参照して説明する。
201a 光電変換領域
201aa 第1光電変換領域
201ab 第2光電変換領域
201b 光電変換領域
201c 光電変換領域
201d 光電変換領域
201da 第1光電変換領域
201db 第2光電変換領域
202 転送トランジスタ
203 FD
203a 不純物拡散領域
210a トランジスタ領域
210b トランジスタ領域
210c トランジスタ領域
301 G画素
302 R画素
303 B画素
401 半導体基板
402 層間絶縁膜
403a 色フィルタ
403b 色フィルタ
403c 色フィルタ
404 遮光膜
405 p型半導体領域
406 n型半導体領域
407 ゲート絶縁膜
408 ゲート電極
409 素子分離領域
410 P+領域
Claims (8)
- 半導体基板上にマトリクス状に形成された複数の画素を備えた固体撮像素子であって、
前記複数の画素は、
緑色の第1可視光波長域に対して他の可視光波長域よりも高い透過率を持つ第1色フィルタを有する第1画素と、
青色の第2可視光波長域に対して他の可視光波長域よりも高い透過率を持つ第2色フィルタを有する第2画素と、
赤色の第3可視光波長域に対して他の可視光波長域よりも高い透過率を持つ第3色フィルタを有する第3画素と、を少なくとも備え、
前記第1画素は、前記半導体基板の表面に形成されたV溝形状を備える第1光電変換領域と、前記第1光電変換領域で光電変換された電気信号を前記第1画素外に出力する第1トランジスタ領域と、を備え、
前記第2画素は、前記半導体基板の表面に対して平坦形状で構成された第2光電変換領域と、前記第2光電変換領域で光電変換された電気信号を前記第2画素外に出力する第2トランジスタ領域と、を備え、
前記第3画素は、前記半導体基板の表面に対して平坦形状で構成された第3光電変換領域と、前記第3光電変換領域で光電変換された電気信号を前記第3画素外に出力する第3トランジスタ領域と、を備えたことを特徴とする固体撮像素子。 - 半導体基板上にマトリクス状に形成された複数の画素を備えた固体撮像素子であって、
前記複数の画素は、
緑色の第1可視光波長域に対して他の可視光波長域よりも高い透過率を持つ第1色フィルタを有する第1画素と、
青色の第2可視光波長域に対して他の可視光波長域よりも高い透過率を持つ第2色フィルタを有する第2画素と、
赤色の第3可視光波長域に対して他の可視光波長域よりも高い透過率を持つ第3色フィルタを有する第3画素と、を少なくとも備え、
前記第1画素は、前記半導体基板の表面に形成されたV溝形状を備える第1光電変換領域と、前記第1光電変換領域で光電変換された電気信号を前記第1画素外に出力する第1トランジスタ領域と、を備え、
前記第2画素は、前記半導体基板の表面に形成されたV溝形状を備える第2光電変換領域と、前記第2光電変換領域で光電変換された電気信号を前記第2画素外に出力する第2トランジスタ領域と、を備え、
前記第3画素は、前記半導体基板の表面に対して平坦形状で構成された第3光電変換領域と、前記第3光電変換領域で光電変換された電気信号を前記第3画素外に出力する第3トランジスタ領域と、を備えたことを特徴とする固体撮像素子。 - 半導体基板上にマトリクス状に形成された複数の画素を備えた固体撮像素子であって、
前記複数の画素は、
緑色の第1可視光波長域に対して他の可視光波長域よりも高い透過率を持つ第1色フィルタを有する第1画素と、
青色の第2可視光波長域に対して他の可視光波長域よりも高い透過率を持つ第2色フィルタを有する第2画素と、
赤色の第3可視光波長域に対して他の可視光波長域よりも高い透過率を持つ第3色フィルタを有する第3画素と、を少なくとも備え、
前記第1画素は、前記半導体基板の表面に形成されたV溝形状を備える第1光電変換領域と、前記第1光電変換領域に近接し、かつ同層に設けられ、前記半導体基板の表面に対して平坦形状を有する第2光電変換領域と、前記第1光電変換領域及び前記第2光電変換領域で光電変換された電気信号を前記第1画素外に出力する第1トランジスタ領域と、を備え、
前記第2画素は、前記半導体基板の表面に対して平坦形状で構成された第3光電変換領域と、前記第3光電変換領域で光電変換された電気信号を前記第2画素外に出力する第2トランジスタ領域と、を備え、
前記第3画素は、前記半導体基板の表面に対して平坦形状で構成された第4光電変換領域と、前記第4光電変換領域で光電変換された電気信号を前記第3画素外に出力する第3トランジスタ領域とを備えたことを特徴とする固体撮像素子。 - 半導体基板上にマトリクス状に形成された複数の画素を備えた固体撮像素子であって、
前記複数の画素は、
緑色の第1可視光波長域に対して他の可視光波長域よりも高い透過率を持つ第1色フィルタを有する第1画素と、
青色の第2可視光波長域に対して他の可視光波長域よりも高い透過率を持つ第2色フィルタを有する第2画素と、
赤色の第3可視光波長域に対して他の可視光波長域よりも高い透過率を持つ第3色フィルタを有する第3画素と、を少なくとも備え、
前記第1画素は、前記半導体基板の表面に形成されたV溝形状を備える第1光電変換領域と、前記第1光電変換領域に近接し、かつ同層に設けられ、前記半導体基板の表面に対して平坦形状を有する第2光電変換領域と、前記第1光電変換領域及び前記第2光電変換領域で光電変換された電気信号を前記第1画素外に出力する第1トランジスタ領域と、を備え、
前記第2画素は、前記半導体基板の表面に形成されたV溝形状を備える第3光電変換領域と、前記第3光電変換領域に近接し、かつ同層に設けられ、前記半導体基板の表面に対して平坦形状を有する第4光電変換領域と、前記第3光電変換領域及び前記第4光電変換領域で光電変換された電気信号を前記第2画素外に出力する第2トランジスタ領域と、を備え、
前記第3画素は、前記半導体基板の表面に対して平坦形状で構成された第5光電変換領域と、前記第5光電変換領域で光電変換された電気信号を前記第3画素外に出力する第3トランジスタ領域と、を備えたことを特徴とする固体撮像素子。 - 前記第2光電変換領域の不純物濃度のピーク値は、前記第1光電変換領域の不純物濃度のピーク値より高く、かつ前記第2光電変換領域の不純物濃度は、前記第2光電変換領域に隣接する転送トランジスタをONした時のチャネル電位よりも低いポテンシャルを形成する不純物濃度で構成されていることを特徴とする請求項3に記載の固体撮像素子。
- 前記第1画素の前記第2光電変換領域の不純物濃度のピーク値は、前記第1光電変換領域の不純物濃度のピーク値より高く、かつ前記第2光電変換領域の不純物濃度は、前記第2光電変換領域に隣接する転送トランジスタをONした時のチャネル電位よりも低いポテンシャルを形成する不純物濃度で構成され、
前記第2画素の前記第4光電変換領域の不純物濃度のピーク値は、前記第3光電変換領域の不純物濃度のピーク値より高く、かつ前記第4光電変換領域の不純物濃度は、前記第4光電変換領域に隣接する転送トランジスタをONした時のチャネル電位よりも低いポテンシャルを形成する不純物濃度で構成されていることを特徴とする請求項4に記載の固体撮像素子。 - 前記第1光電変換領域及び前記第2光電変換領域は、前記半導体基板の表面近傍領域に設けられた第1導電型の第1不純物拡散層と、前記第1不純物拡散層の下層に設けられた第2導電型の第2不純物拡散層と、の積層構造で構成されていることを特徴とする請求項5に記載の固体撮像素子。
- 前記第1光電変換領域及び前記第2光電変換領域は、前記半導体基板の表面近傍領域に設けられた第1導電型の第1不純物拡散層と、前記第1不純物拡散層の下層に設けられた第2導電型の第2不純物拡散層と、の積層構造で構成され、
前記第3光電変換領域及び前記第4光電変換領域は、前記半導体基板の表面近傍領域に設けられた第1導電型の第3不純物拡散層と、前記第3不純物拡散層の下層に設けられた第2導電型の第4不純物拡散層と、の積層構造で構成されていることを特徴とする請求項6に記載の固体撮像素子。
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