JP2008209251A

JP2008209251A - Inspecting probe

Info

Publication number: JP2008209251A
Application number: JP2007046471A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Koike; 伸一小池
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2007-02-27
Filing date: 2007-02-27
Publication date: 2008-09-11
Anticipated expiration: 2027-02-27
Also published as: JP4897514B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspecting probe capable of reducing an inspection cost and improving inspection efficiency. <P>SOLUTION: The inspecting probe includes a body 11, a plurality of contacts 12a, 12b and 12c provided in a line on the body 11 and respectively brought into contact with a plurality of terminals on an object to be inspected for inputting/outputting an electric signal to/from the respective terminals, and piezoelectric elements 13a and 13b respectively attached to a side face 21 of the respective contacts 12a and 12b. Tips of the contacts 12a and 12b having the piezoelectric elements 13a and 13b attached can be brought closer to or farther away from the adjacent contact 12c by supplying voltage to the elements 13a and 13b. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、本体部と、本体部において列状に配設された接触子とを備えた検査用プローブに関するものである。 The present invention relates to an inspection probe including a main body portion and contacts arranged in a row in the main body portion.

この種の検査用プローブとして、特開平１１−２５８２７０号公報に開示された先端脱着式高周波プローブ（以下、単に「プローブ」ともいう）が知られている。このプローブは、同軸ケーブルの中心導体、および２つのグランド板が列状に配置される先端ユニットと、先端ユニットが固定される本体ユニットと、本体ユニットに固定されることによって同軸ケーブルの中心線を本体ユニットに圧着接続する押さえブロックとを備えて構成されている。この場合、先端ユニットは、ねじによって本体ユニットに固定されている。このため、このプローブでは、先端ユニットの交換が可能となっている。
特開平１１−２５８２７０号公報（第４頁、第１図） As this type of inspection probe, a detachable high-frequency probe (hereinafter also simply referred to as “probe”) disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-258270 is known. The probe includes a coaxial cable center conductor and a tip unit in which two ground plates are arranged in a row, a main unit to which the tip unit is fixed, and a center line of the coaxial cable by being fixed to the main unit. And a pressing block that is crimp-connected to the main unit. In this case, the tip unit is fixed to the main unit by screws. For this reason, in this probe, the tip unit can be replaced.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-258270 (page 4, FIG. 1)

ところが、上記のプローブには、以下の問題点がある。すなわち、このプローブでは、先端ユニットをねじによって本体ユニットに固定する構成を採用することで、先端ユニットの交換を可能としている。一方、この種のプローブは、集積回路や、集積回路が実装された回路基板などのように、隣接する端子間のピッチが狭い検査対象体に対する電気的検査に用いられている。この場合、検査対象体の種類によって端子間のピッチが異なるため、複数種類の検査対象体に対する検査を行うためには、各々のピッチに合わせて複数の先端ユニットを用意する必要があり、その分のコストに起因して、検査コストが上昇しているという問題点が存在する。また、端子間のピッチが狭い検査対象体に対する検査に用いられる先端ユニットは、先端ユニット自体も小形のため、ねじによって本体ユニットに固定する作業が煩雑でかつ作業に長い時間を要している。このため、複数種類の検査対象体に対する検査を行う際には、先端ユニットを頻繁に交換する必要があり、検査効率の向上が困難であるという問題点も存在する。 However, the above probe has the following problems. That is, in this probe, the tip unit can be replaced by adopting a configuration in which the tip unit is fixed to the main unit with screws. On the other hand, this type of probe is used for electrical inspection of an inspection object having a narrow pitch between adjacent terminals, such as an integrated circuit or a circuit board on which the integrated circuit is mounted. In this case, since the pitch between the terminals varies depending on the type of the inspection object, in order to inspect a plurality of types of inspection objects, it is necessary to prepare a plurality of tip units according to each pitch. Due to this cost, there is a problem that the inspection cost has increased. Moreover, since the tip unit used for the inspection of the inspection object with a narrow pitch between the terminals is also a small size, the work of fixing to the main body unit with a screw is complicated and requires a long time. For this reason, when inspecting a plurality of types of inspection objects, it is necessary to frequently replace the tip unit, and there is a problem that it is difficult to improve inspection efficiency.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、検査コストの低減および検査効率の向上を実現し得る検査用プローブを提供することを主目的とする。 The present invention has been made in view of such problems, and a main object of the present invention is to provide an inspection probe capable of realizing a reduction in inspection cost and an improvement in inspection efficiency.

上記目的を達成すべく請求項１記載の検査用プローブは、本体部と、前記本体部において列状に配設されると共に検査対象体における複数の端子にそれぞれ接触させられて当該各端子との間で電気信号を入出力する複数の接触子とを備えた検査用プローブであって、前記各接触子の少なくとも１つの側面に取り付けられた圧電素子を備えて、当該圧電素子に対する電圧の供給によって当該圧電素子が取り付けられている前記接触子の先端部を隣接する他の前記接触子に対して接離可能に構成されている。 In order to achieve the above object, the inspection probe according to claim 1 is arranged in a row in the main body portion and in the main body portion, and is brought into contact with each of a plurality of terminals in the inspection object to connect each of the terminals. An inspection probe comprising a plurality of contacts for inputting / outputting electrical signals between them, comprising a piezoelectric element attached to at least one side surface of each contact, and supplying a voltage to the piezoelectric element The tip of the contact to which the piezoelectric element is attached is configured to be able to contact and separate with respect to another adjacent contact.

また、請求項２記載の検査用プローブは、請求項１記載の検査用プローブにおいて、前記接触子を３つ備え、前記圧電素子は前記各接触子のうちの両端側に位置する一対の接触子の側面にそれぞれ取り付けられている。 The inspection probe according to claim 2 is the inspection probe according to claim 1, wherein the inspection probe according to claim 1 includes three of the contacts, and the piezoelectric element is a pair of contacts located on both ends of the contacts. It is attached to each side.

また、請求項３記載の検査用プローブは、請求項２記載の検査用プローブにおいて、前記各圧電素子は、前記一対の接触子における各々の外側に位置する側面に取り付けられている。 According to a third aspect of the present invention, there is provided the inspection probe according to the second aspect, wherein each of the piezoelectric elements is attached to a side surface located outside each of the pair of contacts.

請求項１記載の検査用プローブによれば、圧電素子に対する電圧の供給によって圧電素子が取り付けられている接触子の先端部を隣接する他の接触子に対して接離可能に構成したことにより、圧電素子に対する電圧の供給によって各接触子間のピッチを任意に変更させることができるため、１つの検査用プローブで端子間のピッチが異なる複数の検査対象体に対する検査を行うことができる。したがって、ピッチに合わせて数多くの検査用プローブを用意する必要がない分、検査コストを十分に低減させることができる。また、１つの検査用プローブでピッチが異なる複数の検査対象体に対する検査を行うことができるため、検査対象体毎に検査用プローブを交換する煩雑な作業を省略することができる結果、検査効率を十分に向上することができる。 According to the inspection probe of claim 1, by configuring the tip of the contact to which the piezoelectric element is attached by supplying voltage to the piezoelectric element so as to be able to contact and separate from other adjacent contacts, Since the pitch between the contacts can be arbitrarily changed by supplying a voltage to the piezoelectric element, it is possible to inspect a plurality of inspection objects having different pitches between the terminals with one inspection probe. Therefore, since it is not necessary to prepare a large number of inspection probes according to the pitch, the inspection cost can be sufficiently reduced. In addition, since a plurality of inspection objects having different pitches can be inspected with one inspection probe, the complicated work of exchanging the inspection probes for each inspection object can be omitted. It can be improved sufficiently.

また、請求項２記載の検査用プローブによれば、接触子を３つ備えて、その３つの接触子のうちの両端側に位置する一対の接触子の側面に圧電素子をそれぞれ取り付けたことにより、例えば、一対の接触子にそれぞれ取り付けた両圧電素子に対して同じ電圧値の電圧を供給することで、圧電素子を取り付けた両接触子の間に位置する接触子を中心としてその両接触子を左右対称に同じ変位量で変形させることができる。このため、両圧電素子に同じ電圧値の電圧を供給するという簡易な制御を行うだけで、各接触子間のピッチを等しく維持した状態でそのピッチを任意に変更することができる。 Further, according to the inspection probe according to claim 2, by providing three contacts and attaching the piezoelectric elements to the side surfaces of the pair of contacts located at both ends of the three contacts, respectively. For example, by supplying a voltage having the same voltage value to both piezoelectric elements attached to a pair of contacts, both the contactors centered on the contacts located between the two contactors attached with the piezoelectric elements. Can be deformed symmetrically with the same displacement. For this reason, the pitch can be arbitrarily changed in a state where the pitch between the contacts is kept equal only by performing simple control of supplying the same voltage value to both piezoelectric elements.

また、請求項３記載の検査用プローブでは、一対の接触子における各々の外側に位置する側面に各圧電素子が取り付けられている。この場合、例えば、高周波の検査用信号を検査対象体に供給して検査する際には、高周波の検査用信号は、その特性上、表皮効果により、隣接する一対の接触子（圧電素子が取り付けられている接触子、および取り付けられていない接触子）における各々の内側の側面を流れる。したがって、接触子の内側に位置する側面に圧電素子を取り付けたときには、高周波の検査用信号が通過し難くなるのに対して、この検査用プローブによれば、検査用信号の通過に与える影響を十分に少なく抑えることができる結果、圧電素子に電圧を供給している状態においても十分に正確な検査を行うことができる。 In the inspection probe according to the third aspect, each piezoelectric element is attached to a side surface of each of the pair of contacts located on the outer side. In this case, for example, when a high-frequency inspection signal is supplied to an inspection object and inspected, the high-frequency inspection signal has, due to its skin property, a pair of adjacent contacts (a piezoelectric element is attached). Flow on each inner side of the contacted and unattached contacts). Therefore, when a piezoelectric element is attached to the side surface located inside the contact, a high-frequency inspection signal is difficult to pass. On the other hand, this inspection probe has an effect on the passage of the inspection signal. As a result of being able to be suppressed to a sufficiently low level, a sufficiently accurate inspection can be performed even when a voltage is supplied to the piezoelectric element.

以下、本発明に係る検査用プローブの最良の形態について、添付図面を参照して説明する。 Hereinafter, the best mode of an inspection probe according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

最初に、本発明に係る検査用プローブの一例としてのプローブ１の構成について、図面を参照して説明する。図１に示すプローブ１は、例えば図２に示す検査装置２を用いて検査対象体（例えば、同図に示す電子部品１００）に対する電気的検査を行う際に用いられるＧ−Ｓ−Ｇタイプの高周波プローブであって、図１に示すように、本体部１１、３つの接触子１２ａ〜１２ｃ（以下、区別しないときには「接触子１２」ともいう）および圧電素子１３ａ，１３ｂ（以下、区別しないときには「圧電素子１３」ともいう）を備えて構成されている。 First, the configuration of a probe 1 as an example of an inspection probe according to the present invention will be described with reference to the drawings. A probe 1 shown in FIG. 1 is a GSG type used when an electrical inspection is performed on an inspection object (for example, the electronic component 100 shown in FIG. 2) using, for example, the inspection apparatus 2 shown in FIG. As shown in FIG. 1, the high-frequency probe has a main body 11, three contacts 12a to 12c (hereinafter, also referred to as “contact 12” when not distinguished) and piezoelectric elements 13a and 13b (hereinafter, when not distinguished). (Also referred to as “piezoelectric element 13”).

本体部１１は、図１に示すように、同軸ケーブル４０の先端部が挿入可能な全体として筒状のケーブル取り付け部１１ａと、接触子１２ａ〜１２ｃの基端部側が固定される固定台座１１ｂとを備えて構成されている。ここで、同軸ケーブル４０は、一例として、セミリジットタイプの同軸ケーブルであって、中心導体（信号線）４１と、中心導体４１の周囲を囲むの絶縁体４２と、導電材料（例えば銅）でパイプ状に構成されて絶縁体４２の外部を覆う外部導体（グランド線）４３とを備えて構成されている。この場合、同軸ケーブル４０は、本体部１１のケーブル取り付け部１１ａに挿入された外部導体４３の先端部とケーブル取り付け部１１ａの開口側端部（同図における下端部）とをハンダ付けすることによって本体部１１に固定される。 As shown in FIG. 1, the main body 11 includes an overall cylindrical cable mounting portion 11 a into which the distal end portion of the coaxial cable 40 can be inserted, and a fixed base 11 b to which the base end portions of the contacts 12 a to 12 c are fixed. It is configured with. Here, the coaxial cable 40 is a semi-rigid type coaxial cable as an example, and is piped with a central conductor (signal line) 41, an insulator 42 surrounding the central conductor 41, and a conductive material (for example, copper). And an external conductor (ground line) 43 that covers the outside of the insulator 42. In this case, the coaxial cable 40 is soldered to the distal end portion of the outer conductor 43 inserted into the cable attachment portion 11a of the main body portion 11 and the opening side end portion (lower end portion in the figure) of the cable attachment portion 11a. It is fixed to the main body 11.

接触子１２ａ〜１２ｃは、図１に示すように、例えば、弾力性および導電性を有する板状の金属材料でそれぞれ形成されて、互いに並列するようにして（列状の状態で）本体部１１の固定台座１１ｂに各々の基端部が固定されている。この場合、接触子１２ａ，１２ｂは、本体部１１のケーブル取り付け部１１ａにハンダ付けされた同軸ケーブル４０の外部導体４３と電気的に接続されている。また、接触子１２ｃは、接触子１２ａ，１２ｂに対して絶縁され、かつ同軸ケーブル４０の中心導体４１と電気的に接続される。また、接触子１２ａ〜１２ｃは、図２，３に示すように、検査対象体の端子（例えば、両図に示す電子部品１００の端子１０１ａ〜１０１ｃ（以下、区別しないときには「端子１０１」ともいう））にそれぞれ接触させられて、各端子１０１との間で電気信号を入出力する。 As shown in FIG. 1, the contacts 12 a to 12 c are formed of, for example, a plate-like metal material having elasticity and conductivity, and are arranged in parallel to each other (in a row). Each base end portion is fixed to the fixed base 11b. In this case, the contacts 12 a and 12 b are electrically connected to the outer conductor 43 of the coaxial cable 40 soldered to the cable attachment portion 11 a of the main body portion 11. The contact 12 c is insulated from the contacts 12 a and 12 b and is electrically connected to the central conductor 41 of the coaxial cable 40. As shown in FIGS. 2 and 3, the contacts 12 a to 12 c are terminals of an inspection object (for example, terminals 101 a to 101 c of the electronic component 100 shown in both drawings (hereinafter also referred to as “terminal 101” when not distinguished). )) To input / output electric signals to / from each terminal 101.

圧電素子１３ａ，１３ｂは、リード線３１を介しての直流電圧の作動用電圧Ｖｍの供給に応じて変形（作動）する板状の素子であって、図１に示すように、接触子１２ａ，１２ｂ（本発明における、両端側に位置する一対の接触子）における各々の外側の側面２１にそれぞれ取り付けられている。この場合、圧電素子１３ａ，１３ｂは、作動用電圧Ｖｍの供給によって変形することで、接触子１２ａ，１２ｂの先端部を隣接する接触子１２ｃに対して接離する方向に移動（変位）させる機能を有している。 The piezoelectric elements 13a and 13b are plate-shaped elements that are deformed (actuated) in response to the supply of the operating voltage Vm of the DC voltage via the lead wire 31, and as shown in FIG. 12b (a pair of contacts located on both ends in the present invention) 12b is attached to each outer side surface 21. In this case, the piezoelectric elements 13a and 13b are deformed by the supply of the operating voltage Vm to move (displace) the tips of the contactors 12a and 12b in a direction in which they contact and separate from the adjacent contact 12c. have.

一方、抵抗検査装置２は、図２に示すように、信号入出力部５１、操作部５２、ＲＡＭ５３、表示部５４、電源部５５および制御部５６を備えて構成されている。信号入出力部５１は、同軸ケーブル４０のコネクタを接続可能に構成され、制御部５６の制御に従い、同軸ケーブル４０を介してプローブ１に対して検査用信号Ｓｔを出力すると共に、同軸ケーブル４０を介してプローブ１からの信号（以下、この信号「入力信号Ｓｉ」ともいう）を入力する。操作部５２は、電源スイッチ、検査スイッチ、圧電素子作動スイッチ、電圧調整ダイヤルおよびキーボードなどを備えて構成されて、これらの操作に対応する操作信号Ｓｏを制御部５６に出力する。 On the other hand, as shown in FIG. 2, the resistance test apparatus 2 includes a signal input / output unit 51, an operation unit 52, a RAM 53, a display unit 54, a power supply unit 55, and a control unit 56. The signal input / output unit 51 is configured to be connectable to the connector of the coaxial cable 40, and outputs a test signal St to the probe 1 through the coaxial cable 40 according to the control of the control unit 56 and the coaxial cable 40. A signal from the probe 1 (hereinafter also referred to as this signal “input signal Si”) is input. The operation unit 52 includes a power switch, an inspection switch, a piezoelectric element operation switch, a voltage adjustment dial, a keyboard, and the like, and outputs an operation signal So corresponding to these operations to the control unit 56.

ＲＡＭ５３は、操作部５２の操作によって入力された検査用基準データＤｓや、制御部５６によって演算された電気的パラメータの値を示す演算データＤｃなどを一時的に記憶する。表示部５４は、制御部５６の制御に従って検査結果等を表示する。電源部５５は、制御部５６の制御に従い、プローブ１の圧電素子１３に対して作動用電圧Ｖｍを出力する。制御部５６は、ＣＰＵで構成されて、操作部５２から出力される操作信号Ｓｏに従い、電源部５５および表示部５４を制御する。また、制御部５６は、プローブ１からの入力信号Ｓｉに基づいて各種の電気的パラメータの値を演算すると共に、その値を示す演算データＤｃ、および検査用基準データＤｓに基づいて検査対象体の良否を検査する。 The RAM 53 temporarily stores reference data for inspection Ds input by the operation of the operation unit 52, calculation data Dc indicating the value of the electrical parameter calculated by the control unit 56, and the like. The display unit 54 displays test results and the like according to the control of the control unit 56. The power supply unit 55 outputs an operating voltage Vm to the piezoelectric element 13 of the probe 1 under the control of the control unit 56. The control unit 56 includes a CPU, and controls the power supply unit 55 and the display unit 54 in accordance with an operation signal So output from the operation unit 52. Further, the control unit 56 calculates values of various electrical parameters based on the input signal Si from the probe 1, and calculates the inspection object Dc based on the calculation data Dc indicating the values and the inspection reference data Ds. Inspect for pass / fail.

次に、プローブ１および抵抗検査装置２を用いて検査対象体を検査する方法について、図面を参照して説明する。 Next, a method for inspecting an inspection object using the probe 1 and the resistance inspection apparatus 2 will be described with reference to the drawings.

まず、抵抗検査装置２における操作部５２の電源スイッチを操作して電源を投入し、次いで、操作部５２の検査スイッチを操作する。この際に、制御部５６が、操作部５２から出力された操作信号Ｓｏに従い、信号入出力部５１を制御して、４０ＧＨｚ程度の高周波成分を含む検査用信号Ｓｔを生成させる。 First, the power switch of the operation unit 52 in the resistance test apparatus 2 is operated to turn on the power, and then the test switch of the operation unit 52 is operated. At this time, the control unit 56 controls the signal input / output unit 51 in accordance with the operation signal So output from the operation unit 52 to generate an inspection signal St including a high frequency component of about 40 GHz.

次に、図３に示すように、第１の検査対象体としての電子部品１００の各端子１０１ａ〜１０１ｃに対して、プローブ１の各接触子１２ａ〜１２ｃをそれぞれ近接させる。この場合、同図に示すように、各端子１０１ａ〜１０１ｃ間のピッチ（間隔）と各接触子１２ａ〜１２ｃ間のピッチとが同じ（または、ほぼ同じ）ときには、引き続いて、各接触子１２ａ〜１２ｃを各端子１０１ａ〜１０１ｃにそれぞれ接触させる。この際に、信号入出力部５１によって生成されている検査用信号Ｓｔが同軸ケーブル４０およびプローブ１の各接触子１２ａ〜１２ｃを介して電子部品１００の端子１０１ａ〜１０１ｃに出力される。また、信号入出力部５１は、検査用信号Ｓｔの出力によって端子１０１ａ〜１０１ｃに生じる入力信号Ｓｉをプローブ１の各接触子１２ａ〜１２ｃおよび同軸ケーブル４０を介して入力する。 Next, as shown in FIG. 3, the respective contacts 12 a to 12 c of the probe 1 are brought close to the respective terminals 101 a to 101 c of the electronic component 100 as the first inspection object. In this case, as shown in the figure, when the pitch (interval) between the terminals 101a to 101c and the pitch between the contacts 12a to 12c are the same (or substantially the same), the contacts 12a to 12c is brought into contact with each of the terminals 101a to 101c. At this time, the test signal St generated by the signal input / output unit 51 is output to the terminals 101 a to 101 c of the electronic component 100 via the coaxial cable 40 and the contacts 12 a to 12 c of the probe 1. In addition, the signal input / output unit 51 inputs an input signal Si generated at the terminals 101 a to 101 c by the output of the inspection signal St via the contacts 12 a to 12 c of the probe 1 and the coaxial cable 40.

次いで、制御部５６は、信号入出力部５１が入力した入力信号Ｓｉに基づいて電子部品１００についての所定の電気的パラメータの値を演算してその演算データＤｃをＲＡＭ５３に記憶させる。続いて、制御部５６は、ＲＡＭ５３に記憶されている検査用基準データＤｓを読み出して、検査用基準データＤｓと演算データＤｃとに基づき、電子部品１００の良否を検査（判定）する。次いで、制御部５６は、表示部５４を制御して、検査結果（良否判定結果）を表示させる。これにより、電子部品１００の検査が終了する。 Next, the control unit 56 calculates a value of a predetermined electrical parameter for the electronic component 100 based on the input signal Si input by the signal input / output unit 51 and stores the calculated data Dc in the RAM 53. Subsequently, the control unit 56 reads the inspection reference data Ds stored in the RAM 53 and inspects (determines) the quality of the electronic component 100 based on the inspection reference data Ds and the calculation data Dc. Next, the control unit 56 controls the display unit 54 to display the inspection result (good / bad determination result). Thereby, the inspection of the electronic component 100 is completed.

次に、図４に示すように、第２の検査対象体としての電子部品２００の各端子２０１ａ〜２０１ｃ（以下、区別しないときには「端子２０１」ともいう）に対して、プローブ１の各接触子１２ａ〜１２ｃをそれぞれ近接させる。この場合、各端子２０１ａ〜２０１ｃ間のピッチが、同図に破線示す初期状態における各接触子１２ａ〜１２ｃ間のピッチよりも長く（各端子２０１ａ〜２０１ｃの間隔が広く）、各端子２０１ａ〜２０１ｃに対する各接触子１２ａ〜１２ｃの接触が困難なときには、接触子１２ａ〜１２ｃにおける先端部のピッチを変更させる。 Next, as shown in FIG. 4, each contact of the probe 1 with respect to each terminal 201 a to 201 c (hereinafter also referred to as “terminal 201” when not distinguished) of the electronic component 200 as the second inspection object. 12a-12c is made to adjoin, respectively. In this case, the pitch between the terminals 201a to 201c is longer than the pitch between the contacts 12a to 12c in the initial state shown by the broken line in FIG. When it is difficult to contact each of the contacts 12a to 12c, the pitch of the tips of the contacts 12a to 12c is changed.

具体的には、まず、操作部５２の圧電素子用作動スイッチを操作する。これに応じて、制御部５６は、電源部５５を制御して作動用電圧Ｖｍを出力させる。この際に、リード線３１を介して作動用電圧Ｖｍが供給されて、図４に示すように、圧電素子１３ａ，１３ｂが、各々の外側を収縮させるようにして変形する。これに伴い、圧電素子１３ａ，１３ｂが取り付けられている接触子１２ａ，１２ｂにおける各々の先端部が外側に広がるようにして、つまり隣接する接触子１２ｃから離反するようにして変形（弾性変形）させられる。この結果、同図に示すように、各接触子１２ａ〜１２ｃにおける先端部のピッチが広げられる。次いで、操作部５２の電圧調整ダイヤルを操作して、作動用電圧Ｖｍの値を増減させる。これに伴い、圧電素子１３ａ，１３ｂおよび接触子１２ａ，１２ｂの変形量が作動用電圧Ｖｍの増加に応じて大きくなり、減少に応じて小さくなる。 Specifically, first, the operation switch for piezoelectric element of the operation unit 52 is operated. In response to this, the control unit 56 controls the power supply unit 55 to output the operating voltage Vm. At this time, the operating voltage Vm is supplied via the lead wire 31, and as shown in FIG. 4, the piezoelectric elements 13a and 13b are deformed so that the outer sides thereof contract. Accordingly, the distal ends of the contacts 12a and 12b to which the piezoelectric elements 13a and 13b are attached are expanded (elastically deformed) so as to spread outward, that is, away from the adjacent contacts 12c. It is done. As a result, as shown in the figure, the pitch of the tip of each contact 12a-12c is increased. Next, the voltage adjustment dial of the operation unit 52 is operated to increase or decrease the value of the operating voltage Vm. Accordingly, the deformation amount of the piezoelectric elements 13a and 13b and the contacts 12a and 12b increases as the operating voltage Vm increases, and decreases as the operation voltage Vm decreases.

次いで、電圧調整ダイヤルの操作によって各端子２０１ａ〜２０１ｃ間のピッチと接触子１２ａ〜１２ｃにおける先端部のピッチとが同じ（または、ほぼ同じ）状態になったときには、各接触子１２ａ〜１２ｃを各端子２０１ａ〜２０１ｃにそれぞれ接触させる。この際に、上記した電子部品１００に対する検査時の動作と同様にして、検査用信号Ｓｔが各接触子１２ａ〜１２ｃを介して電子部品２００の端子２０１ａ〜２０１ｃに出力される。また、信号入出力部５１が端子２０１ａ〜２０１ｃに生じる入力信号Ｓｉを入力する。次いで、制御部５６は、入力信号Ｓｉに基づいて電子部品２００についての所定の電気的パラメータの値を演算して、その演算データＤｃと検査用基準データＤｓとに基づいて電子部品２００の良否を検査する。続いて、制御部５６は、表示部５４を制御して、電子部品２００についての検査結果を表示させる。これにより、電子部品２００の検査が終了する。次いで、操作部５２の圧電素子用作動スイッチを操作して、電源部５５からの作動用電圧Ｖｍの出力を停止させる。これにより、圧電素子１３ａ，１３ｂの変形が解除され、これに伴って接触子１２ａ，１２ｂが初期状態に復帰する。 Next, when the pitch between the terminals 201a to 201c and the pitch of the tips of the contacts 12a to 12c are the same (or substantially the same) by operating the voltage adjustment dial, the contacts 12a to 12c are moved to the respective positions. The terminals 201a to 201c are brought into contact with each other. At this time, the inspection signal St is output to the terminals 201a to 201c of the electronic component 200 via the respective contacts 12a to 12c, in the same manner as the operation at the time of the inspection of the electronic component 100 described above. Further, the signal input / output unit 51 inputs an input signal Si generated at the terminals 201a to 201c. Next, the control unit 56 calculates a value of a predetermined electrical parameter for the electronic component 200 based on the input signal Si, and determines whether the electronic component 200 is acceptable based on the calculated data Dc and the inspection reference data Ds. inspect. Subsequently, the control unit 56 controls the display unit 54 to display the inspection result for the electronic component 200. Thereby, the inspection of the electronic component 200 is completed. Subsequently, the operation switch for piezoelectric element of the operation unit 52 is operated to stop the output of the operation voltage Vm from the power supply unit 55. Thereby, the deformation of the piezoelectric elements 13a and 13b is released, and the contacts 12a and 12b return to the initial state accordingly.

次に、図５に示すように、第３の検査対象体としての電子部品３００の各端子３０１ａ〜３０１ｃ（以下、区別しないときには「端子３０１」ともいう）に対して、プローブ１の各接触子１２ａ〜１２ｃをそれぞれ近接させる。この場合、各端子３０１ａ〜３０１ｃ間のピッチが、同図に破線示す初期状態の各接触子１２ａ〜１２ｃ間のピッチよりも短く（各端子３０１ａ〜３０１ｃの間隔が狭く）、各端子３０１ａ〜３０１ｃに対する各接触子１２ａ〜１２ｃの接触が困難なときには、接触子１２ａ〜１２ｃにおける先端部のピッチを変更させる。 Next, as shown in FIG. 5, each contact of the probe 1 with respect to each terminal 301 a to 301 c (hereinafter also referred to as “terminal 301” when not distinguished) of the electronic component 300 as the third inspection object. 12a-12c is made to adjoin, respectively. In this case, the pitch between the terminals 301a to 301c is shorter than the pitch between the contacts 12a to 12c in the initial state shown by the broken line in the drawing (the interval between the terminals 301a to 301c is narrow), and the terminals 301a to 301c are. When it is difficult to contact each of the contacts 12a to 12c, the pitch of the tips of the contacts 12a to 12c is changed.

具体的には、上記した電子部品２００に対する検査時の操作と同様にして、操作部５２の圧電素子用作動スイッチを操作することによって圧電素子１３ａ，１３ｂに作動用電圧Ｖｍを供給させる。次いで、操作部５２の電圧調整ダイヤルを操作して、作動用電圧Ｖｍの極性を、上記した電子部品２００に対する検査時とは逆の極性に反転させる。これに応じて、圧電素子１３ａ，１３ｂが、図５に示すように、各々の内側を収縮させるようにして変形し、これに伴って接触子１２ａ，１２ｂにおける各々の先端部が内側に向けて、つまり隣接する接触子１２ｃに近接するようにして変形させられる。この結果、同図に示すように、各接触子１２ａ〜１２ｃにおける先端部のピッチが狭められる。次いで、操作部５２の電圧調整ダイヤルをさらに操作して、接触子１２ａ，１２ｂの変形量を増減させる。次いで、各端子３０１ａ〜３０１ｃ間のピッチと接触子１２ａ〜１２ｃにおける先端部のピッチとが同じ（または、ほぼ同じ）状態になったときには、各接触子１２ａ〜１２ｃを各端子３０１ａ〜３０１ｃにそれぞれ接触させる。 Specifically, the operation voltage Vm is supplied to the piezoelectric elements 13 a and 13 b by operating the piezoelectric element operation switch of the operation unit 52 in the same manner as the operation for the electronic component 200 described above. Next, the voltage adjustment dial of the operation unit 52 is operated to invert the polarity of the operating voltage Vm to a polarity opposite to that at the time of inspection of the electronic component 200 described above. Accordingly, as shown in FIG. 5, the piezoelectric elements 13a and 13b are deformed so that the inner sides of the piezoelectric elements 13a and 13b are contracted, and accordingly, the respective distal end portions of the contactors 12a and 12b are directed inward. That is, it is deformed so as to be close to the adjacent contact 12c. As a result, as shown in the figure, the pitch of the tip portions of the contacts 12a to 12c is narrowed. Next, the voltage adjustment dial of the operation unit 52 is further operated to increase or decrease the deformation amount of the contacts 12a and 12b. Next, when the pitch between the terminals 301a to 301c and the pitch of the tips of the contacts 12a to 12c are the same (or substantially the same), the contacts 12a to 12c are respectively connected to the terminals 301a to 301c. Make contact.

この際に、上記した電子部品１００，２００に対する検査時の動作と同様にして、検査用信号Ｓｔが各接触子１２ａ〜１２ｃを介して電子部品３００の端子３０１ａ〜３０１ｃに出力され、信号入出力部５１が端子３０１ａ〜３０１ｃに生じる入力信号Ｓｉを入力する。次いで、制御部５６は、入力信号Ｓｉに基づいて電子部品３００についての所定の電気的パラメータの値を演算して、その演算データＤｃと検査用基準データＤｓとに基づいて電子部品３００の良否を検査する。続いて、制御部５６は、表示部５４を制御して、電子部品３００についての検査結果を表示させる。これにより、電子部品３００の検査が終了する。 At this time, in the same manner as the operation at the time of the inspection of the electronic components 100 and 200, the inspection signal St is output to the terminals 301a to 301c of the electronic component 300 via the contacts 12a to 12c, and the signal input / output is performed. The unit 51 inputs an input signal Si generated at the terminals 301a to 301c. Next, the control unit 56 calculates a value of a predetermined electrical parameter for the electronic component 300 based on the input signal Si, and determines whether the electronic component 300 is acceptable based on the calculated data Dc and the inspection reference data Ds. inspect. Subsequently, the control unit 56 controls the display unit 54 to display the inspection result for the electronic component 300. Thereby, the inspection of the electronic component 300 is completed.

このように、このプローブ１によれば、各接触子１２の少なくとも１つの側面に取り付けられた圧電素子１３に対する作動用電圧Ｖｍの供給によって圧電素子１３が取り付けられている接触子１２の先端部を隣接する他の接触子１２に対して接離可能に構成したことにより、圧電素子１３に対する作動用電圧Ｖｍの供給によって各接触子１２間のピッチを任意に変更させることができるため、１つのプローブ１で端子間のピッチが異なる複数の検査対象体に対する検査を行うことができる。したがって、ピッチに合わせて数多くのプローブを用意する必要がない分、検査コストを十分に低減させることができる。また、１つのプローブ１でピッチが異なる複数の検査対象体に対する検査を行うことができるため、検査対象体毎にプローブ１を交換する煩雑な作業を省略することができる結果、検査効率を十分に向上することができる。 Thus, according to this probe 1, the tip of the contact 12 to which the piezoelectric element 13 is attached by supplying the operating voltage Vm to the piezoelectric element 13 attached to at least one side surface of each contact 12 is provided. Since it is configured to be able to contact and separate with respect to other adjacent contacts 12, the pitch between the contacts 12 can be arbitrarily changed by supplying the operating voltage Vm to the piezoelectric element 13. 1, it is possible to inspect a plurality of inspection objects having different pitches between terminals. Therefore, since it is not necessary to prepare many probes according to the pitch, the inspection cost can be sufficiently reduced. In addition, since a plurality of inspection objects having different pitches can be inspected with one probe 1, the troublesome work of exchanging the probes 1 for each inspection object can be omitted, resulting in sufficient inspection efficiency. Can be improved.

また、このプローブ１によれば、３つの接触子１２ａ〜１２ｃのうちの両端側に位置する一対の接触子１２ａ，１２ｂに圧電素子１３を取り付けたことにより、例えば、接触子１２ａ，１２ｂにそれぞれ取り付けた圧電素子１３ａ，１３ｂに対して同じ電圧値の作動用電圧Ｖｍを供給することで、両接触子１２ａ，１２ｂの間に位置する接触子１２ｃを中心として両接触子１２ａ，１２ｂを左右対称に同じ変位量で変形させることができる。このため、両圧電素子１３ａ，１３ｂに同じ電圧値の作動用電圧Ｖｍを供給するという簡易な制御を行うだけで、各接触子１２ａ〜１２ｃ間のピッチを等しく維持した状態でそのピッチを任意に変更することができる。 Moreover, according to this probe 1, by attaching the piezoelectric element 13 to a pair of contacts 12a and 12b located on both ends of the three contacts 12a to 12c, for example, the contacts 12a and 12b are respectively connected to the contacts 12a and 12b. By supplying the operating voltage Vm having the same voltage value to the attached piezoelectric elements 13a and 13b, the contacts 12a and 12b are symmetrical with respect to the contact 12c positioned between the contacts 12a and 12b. Can be deformed with the same displacement. For this reason, it is possible to arbitrarily adjust the pitch while maintaining the pitch between the contacts 12a to 12c equal only by performing simple control of supplying the operating voltage Vm having the same voltage value to both the piezoelectric elements 13a and 13b. Can be changed.

また、このプローブ１では、一対の接触子１２ａ，１２ｂにおける各々の外側に位置する側面２１に圧電素子１３が取り付けられている。この場合、高周波の検査用信号Ｓｔを検査対象体に供給して検査する際には、高周波の検査用信号Ｓｔは、その特性上、表皮効果により、隣接する一対の接触子１２ａ，１２ｃにおける各々の内側の側面を流れると共に隣接する一対の接触子１２ｂ，１２ｃにおける各々の内側の側面を流れる。したがって、一対の接触子１２ａ，１２ｂにおける各々の内側に位置する側面に圧電素子１３を取り付けたときには、高周波の検査用信号Ｓｔが通過し難くなるのに対して、このプローブ１によれば、検査用信号Ｓｔの通過に与える影響を十分に少なく抑えることができる結果、作動用電圧Ｖｍを供給している状態においても十分に正確な検査を行うことができる。 Moreover, in this probe 1, the piezoelectric element 13 is attached to the side surface 21 located on the outer side of each of the pair of contacts 12a and 12b. In this case, when the high-frequency inspection signal St is supplied to the inspection object and inspected, the high-frequency inspection signal St is, due to its skin effect, due to the skin effect in each of the pair of adjacent contacts 12a and 12c. And the inner side surfaces of a pair of adjacent contacts 12b and 12c. Therefore, when the piezoelectric element 13 is attached to the side surface located inside each of the pair of contacts 12a and 12b, the high-frequency inspection signal St is difficult to pass. As a result of sufficiently suppressing the influence on the passage of the operation signal St, it is possible to perform a sufficiently accurate inspection even when the operating voltage Vm is supplied.

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、３つの接触子１２を備えたＳ−Ｇ−Ｓタイプのプローブ１を例に挙げて説明したが、２つまたは４つ以上の任意の数の接触子１２を備えて、各接触子１２のうちの少なくとも１つに圧電素子１３を取り付けた構成を採用することができる。また、接触子１２の外側の側面２１に圧電素子１３を取り付けた構成例について上記したが、内側の側面に圧電素子１３を取り付けた構成や、外側および内側の両側面に圧電素子１３を取り付けた構成を採用することもできる。さらに、接触子１２を板状に形成した構成例について上記したが、接触子１２の形状はこれに限定されず、円柱状等の任意の形状に形成することができる。また、先端部が基端部に対して所定の角度をなすように折り曲げられた形状の接触子を用いる構成を採用することもできる。 In addition, this invention is not limited to said structure. For example, the SGS type probe 1 including three contacts 12 has been described as an example. However, the contact 12 includes any number of two or four or more contacts 12. A configuration in which the piezoelectric element 13 is attached to at least one of them can be adopted. In addition, the configuration example in which the piezoelectric element 13 is attached to the outer side surface 21 of the contactor 12 has been described above. However, the configuration in which the piezoelectric element 13 is attached to the inner side surface, and the piezoelectric elements 13 are attached to both the outer and inner side surfaces. A configuration can also be adopted. Furthermore, although the configuration example in which the contact 12 is formed in a plate shape has been described above, the shape of the contact 12 is not limited thereto, and can be formed in an arbitrary shape such as a columnar shape. Moreover, the structure using the contactor of the shape bent so that a front-end | tip part may make a predetermined angle with respect to a base end part is also employable.

プローブ１および同軸ケーブル４０の構成を示す斜視図である。2 is a perspective view showing the configuration of a probe 1 and a coaxial cable 40. FIG. プローブ１が接続された検査装置２の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the test | inspection apparatus 2 to which the probe 1 was connected. プローブ１の接触子１２を電子部品１００の端子１０１に接触させている状態を示す斜視図である。2 is a perspective view showing a state in which a contact 12 of the probe 1 is in contact with a terminal 101 of an electronic component 100. FIG. プローブ１の接触子１２を電子部品２００の端子２０１に接触させている状態を示す斜視図である。2 is a perspective view showing a state in which a contact 12 of a probe 1 is in contact with a terminal 201 of an electronic component 200. FIG. プローブ１の接触子１２を電子部品３００の端子３０１に接触させている状態を示す斜視図である。4 is a perspective view showing a state in which a contact 12 of the probe 1 is in contact with a terminal 301 of an electronic component 300. FIG.

Explanation of symbols

１プローブ
１１本体部１１
１２ａ〜１２ｃ接触子
１３ａ，１３ｂ圧電素子
２１側面
１００，２００，３００電子部品
１０１ａ〜１０１ｃ，２０１ａ〜２０１ｃ，３０１ａ〜３０１ｃ端子
Ｓｉ入力信号
Ｓｔ検査用信号
Ｖｍ作動用電圧 1 Probe 11 Body 11
12a-12c Contactor 13a, 13b Piezoelectric element 21 Side surface 100, 200, 300 Electronic component 101a-101c, 201a-201c, 301a-301c Terminal Si input signal St Inspection signal Vm Operating voltage

Claims

A main body, and a plurality of contacts that are arranged in a row in the main body and are brought into contact with a plurality of terminals in the inspection object to input and output electrical signals between the terminals. An inspection probe,
A piezoelectric element attached to at least one side surface of each contact, and a tip of the contact to which the piezoelectric element is attached by supplying a voltage to the piezoelectric element is connected to another adjacent contact An inspection probe configured to be able to contact and separate.

Comprising three of the contacts,
The inspection probe according to claim 1, wherein the piezoelectric elements are respectively attached to side surfaces of a pair of contacts located on both ends of each contact.

The inspection probe according to claim 2, wherein each of the piezoelectric elements is attached to a side surface located outside each of the pair of contacts.