JP2008204504A - サーティファイ検査装置およびサーティファイ検査方法 - Google Patents
サーティファイ検査装置およびサーティファイ検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008204504A JP2008204504A JP2007036293A JP2007036293A JP2008204504A JP 2008204504 A JP2008204504 A JP 2008204504A JP 2007036293 A JP2007036293 A JP 2007036293A JP 2007036293 A JP2007036293 A JP 2007036293A JP 2008204504 A JP2008204504 A JP 2008204504A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- magnetic recording
- signal
- error
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/093—Magnetoresistive devices using multilayer structures, e.g. giant magnetoresistance sensors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
【解決手段】磁気記録媒体の再生信号を検査するサーティファイ検査装置において、磁気ヘッド53は、磁気記録媒体に記録された信号を再生する。AGC部34は、再生された信号のうち磁気記録媒体のエラー部に起因する信号を入力されてからの経過時間に応じて制御した利得率で、再生された信号を増幅する。CMP部38は、増幅された信号のレベルとスライスレベルとを比較してエラーの有無を判定する。
【選択図】図3
Description
磁気記録媒体は、一般にアルミニウム合金やガラス基板等からなる基板の表面に、テキスチャリング処理などを施した後、その上に、下地層、磁性層、保護層、潤滑層などを順次形成して作製されている。その後、磁気記録媒体の検査工程として、グライド検査工程とサーティファイ検査工程が行われる。
サーティファイ検査装置の信号処理系は、概略すると図7のような構成となっている。すなわち、一定の磁気情報を書き込んだ磁気記録媒体において、磁気ヘッド71は磁気記録媒体から読み込んだ再生信号を後段の回路に送り、後段の回路ではTAA(Track Average Amplitude = 1周の平均出力)76に基づき設定されたスライスレベルと再生信号とをCMP78にて比較することにより、再生ビット一つ一つがエラーであるかどうかを判定する。
ところが、実際の磁気記録媒体においては、基板表面全体にうねり等が生じており基板表面が完全な平面でない場合が多く、このうねり等が磁気記録媒体のサーティファイ検査を難しくしている。例えば、図9(a)の磁気記録媒体のように、基板の右上方向の高出力領域A1で高く、左下方向の低出力領域A2で低いうねりが生じ、その基板の右上位置にエラー部E2がある場合を例にすると、このようなトラックについてサーティファイ検査を行うと、その時の再生信号は、図9(b)のようなエンベロープ信号になる。この場合の再生信号について、エラー部を検出するスライスレベルを図8と同様に図9(b)のように設定しても、図9(a)の矢印の箇所を、エラー箇所として検出することができない。
以上は、磁気記録媒体のサーティファイ検査において、エラー箇所の検出を困難にする要因として、磁気記録媒体の基板にうねりが生じている場合を例として示したが、このような要因としては、基板のうねり以外にも、磁気記録媒体における磁性膜の膜厚分布の不均一性等がある。
(1)磁気記録媒体の再生信号を検査するサーティファイ検査装置において、前記磁気記録媒体に記録された信号を再生する磁気ヘッド部と、前記再生された信号のうち前記磁気記録媒体のエラー部に起因する信号を入力されてからの経過時間に応じて制御した利得率で、前記再生された信号を増幅する増幅手段と、前記増幅された信号のレベルとスライスレベルとを比較してエラーの有無を判定する比較判定手段とを具備することを特徴とするサーティファイ検査装置。
(2)前記増幅手段は、前記エラー部に起因する信号を入力されてから、25μ秒から1000μ秒の間の時間だけ経過したときに出力レベルが一定となるように制御した利得率で増幅することを特徴とする前項1に記載のサーティファイ検査装置。
(3)前記増幅手段は、出力レベルが一定となるように前記時定数にて利得率を再帰制御して、前記再生された信号を増幅する自動利得率制御回路であることを特徴とする前項1または前項2に記載のサーティファイ検査装置。
(4)前記増幅された信号の平均値を算出し、該平均値に予め決められた割合を掛けた値を、前記スライスレベルとして前記比較判定手段に与えるスライスレベル設定手段を具備することを特徴とする前項1から前項3のいずれかの項に記載のサーティファイ検査装置。
(5)磁気記録媒体の再生信号を検査するサーティファイ検査装置におけるサーティファイ検査方法において、前記磁気記録媒体に記録された信号を再生する第1の過程と、前記再生された信号のうち前記磁気記録媒体のエラー部に起因する信号を入力されてから経過時間に応じて制御した利得率で、前記再生された信号を増幅する第2の過程と、前記増幅された信号のレベルとスライスレベルとを比較してエラーの有無を判定する第3の過程とを具備することを特徴とするサーティファイ検査方法。
図1は、本実施形態における磁気記録媒体の構造を例示するもので、ここに示す磁気記録媒体は、非磁性基板1の上に、非磁性下地層2、磁性層3、保護層4、液体潤滑層5を順次積層させたものである。
本実施形態における磁気記録媒体に係る非磁性基板1としては、Al、Al合金などの金属材料からなる基体上にNiPまたはNiP合金からなる膜が形成されたものを用いることができる。また、非磁性基板1としては、ガラス、セラミックス、シリコン、シリコンカーバイド、カーボン、樹脂などの非金属材料からなるものを用いてもよいし、この非金属材料からなる基体上にNiPまたはNiP合金の膜を形成したものを用いてもよい。
非磁性基板上には、非磁性下地層2が形成される。非磁性下地層2としてはCr合金等が用いられる。
本発明の磁気記録媒体に係わる磁性層3は、Co−Cr−Ta系、Co−Cr−Pt系、Co−Cr−Pt−Ta系、Co−Cr−Pt−B−Ta系合金等が用いられる。
本実施形態における磁気記録媒体では、保護層上に液体潤滑層5を設けるのが好ましい。液体潤滑層の層厚は1.5nm〜2.5nmの範囲内が好ましい。液体潤滑剤としては、例えば、パーフルオロポリエーテル化合物が用いられる。
なお、本実施形態では、TAA部36とDAC部37とでスライスレベル設定手段として機能する。
以上のように、磁気記録媒体のサーティファイ検査において、磁気ヘッドから出力された信号を、AGC回路で処理することにより、基板にうねり等の生じた磁気記録媒体においても適切にサーティファイ検査を実施することが可能とできる。
サーティファイ検査装置の回路では、磁気ヘッドの周速度に関係なくAGC回路は時定数に基づいて動作させる。一般的に、AGC回路からの出力信号は指数関数で変化し、その1次の線型系は次の微分方程式で表される。
本願発明に用いる磁気ヘッド53には、再生素子として巨大磁気抵抗効果(GMR)を利用したMR(magnetoresistance)素子だけでなく、トンネル磁気抵抗効果(TuMR)を利用したTMR素子などを有する、高記録密度に適したヘッドを用いることができる。
TuMR素子を用いることによって、さらなる高密度記録化が可能となる。
(実施例)
非磁性基板には、HOYA社製アモルファスガラス基板を使用した。ガラス基板のサイズは外径65mm、内径25mm、板厚1.27mmである。
この基板にテクスチャーを施し、十分に洗浄し乾燥した後、DCマグネトロンスパッタ装置(アネルバ社(日本)製C3010)内にセットした。真空到達度を2×10−7Torr(2.7×10−5Pa)まで排気した後、非磁性下地層として、Cr−Mn合金(Cr:70at%、Mn:30at%)からなるターゲットを用いて6nm積層した。磁性層としてCo−Cr−Pt−B合金(Co:60at%、Cr:20at%、Pt:13at%、B:7at%)からなるターゲットを用いて磁性層であるCo−Cr−Pt−B合金層を17nmの膜厚で形成し、保護膜(カ−ボン)3nmを積層した。成膜時のAr圧は3mTorr(0.4Pa)とした。その後、パーフルオロポリエーテルからなる潤滑剤2nmをディップ法で塗布し液体潤滑層を形成した。
グライド検査工程を通過した磁気記録媒体についてサーティファイ検査を実施した。サーティファイ検査は、図3に示した信号処理系を有す、図2の構成の検査装置で行った。磁気記録媒体の回転数は5400rpm、磁気記録媒体への書き込み周波数は80MHz、磁気記録媒体の検査位置を半径24.2mmの位置、検査ピッチを2μm、検出する欠陥に対応する信号の時間を15μ秒とした。この条件で、同一の磁気記録媒体を用いて、AGC回路の時定数を、2.5μ秒〜100μ秒(グラフL1)、25μ秒〜1000μ秒(グラフL2)、1000μ秒〜3000μ秒(グラフL3)と変化させサーティファイ検査を実施した。その結果を図6に示す。
実施例で用いた磁気記録媒体について、従来の方法でサーティファイ検査を実施した。すなわち、図3のAGC部34を設けない信号処理系によって磁気ヘッドからの信号を処理した。その結果、欠陥の検出数は約820となり、実施例の時定数1000μ秒の場合の約1.2倍の値となった。この結果と、磁気記録媒体の実際のエラーマップと対比したところ、検出した欠陥の約20%は、基板のうねりや磁性膜の膜厚分布に起因するものであり、磁気記録媒体のエラービットに起因するものではなかった。
以上、この発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
2…非磁性下地層
3…磁性層
4…保護層
5…液体潤滑層
31、33、35…AMP部
32…LPF部
34…AGC部
36…TAA部
37…DAC部
38…CMP部
39…LSI部
51…磁気記録媒体
52…媒体駆動部
53…磁気ヘッド
54…ヘッド駆動部
55…再生信号処理機構
56…ランプ
71…磁気ヘッド
72、74、75…AMP部
73…LPF部
76…TAA部
77…DAC部
78…CMP部
79…LSI部
Claims (5)
- 磁気記録媒体の再生信号を検査するサーティファイ検査装置において、
前記磁気記録媒体に記録された信号を再生する磁気ヘッド部と、
前記再生された信号のうち前記磁気記録媒体のエラー部に起因する信号を入力されてからの経過時間に応じて制御した利得率で、前記再生された信号を増幅する増幅手段と、
前記増幅された信号のレベルとスライスレベルとを比較してエラーの有無を判定する比較判定手段と
を具備することを特徴とするサーティファイ検査装置。 - 前記増幅手段は、前記エラー部に起因する信号を入力されてから、25μ秒から1000μ秒の間の時間だけ経過したときに出力レベルが一定となるように制御した利得率で増幅することを特徴とする請求項1に記載のサーティファイ検査装置。
- 前記増幅手段は、出力レベルが一定となるように前記時定数にて制御した利得率にて、前記再生された信号を増幅する自動利得率制御回路であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のサーティファイ検査装置。
- 前記増幅された信号の平均値を算出し、該平均値に予め決められた割合を掛けた値を、前記スライスレベルとして前記比較判定手段に与えるスライスレベル設定手段を具備することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかの項に記載のサーティファイ検査装置。
- 磁気記録媒体の再生信号を検査するサーティファイ検査装置におけるサーティファイ検査方法において、
前記磁気記録媒体に記録された信号を再生する第1の過程と、
前記再生された信号のうち前記磁気記録媒体のエラー部に起因する信号を入力されてから経過時間に応じて制御した利得率で、前記再生された信号を増幅する第2の過程と、
前記増幅された信号のレベルとスライスレベルとを比較してエラーの有無を判定する第3の過程と
を具備することを特徴とするサーティファイ検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007036293A JP2008204504A (ja) | 2007-02-16 | 2007-02-16 | サーティファイ検査装置およびサーティファイ検査方法 |
US12/031,044 US7876518B2 (en) | 2007-02-16 | 2008-02-14 | Certify testing apparatus and certify testing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007036293A JP2008204504A (ja) | 2007-02-16 | 2007-02-16 | サーティファイ検査装置およびサーティファイ検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008204504A true JP2008204504A (ja) | 2008-09-04 |
Family
ID=39706433
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007036293A Pending JP2008204504A (ja) | 2007-02-16 | 2007-02-16 | サーティファイ検査装置およびサーティファイ検査方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7876518B2 (ja) |
JP (1) | JP2008204504A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03288372A (ja) * | 1990-04-03 | 1991-12-18 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 磁気ディスクのエラー検出方式 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3491288A (en) * | 1967-10-25 | 1970-01-20 | Forster F M O | Magnetic nondestructive testing system with endless tape recording means |
US4231071A (en) * | 1978-07-17 | 1980-10-28 | Digital Equipment Corporation | Reader for data recorded on magnetic disks at plural densities |
US4550351A (en) * | 1982-03-31 | 1985-10-29 | Rca Corporation | Adaptive automatic scan tracking system |
US5424881A (en) * | 1993-02-01 | 1995-06-13 | Cirrus Logic, Inc. | Synchronous read channel |
US5533031A (en) * | 1994-06-24 | 1996-07-02 | International Business Machines Corporation | Adjustable read channel equalization for error processing in a recordable media drive |
JP3553292B2 (ja) | 1996-09-30 | 2004-08-11 | 富士通株式会社 | サーマルアスペリティ除去方法及び磁気ディスク装置 |
US6574754B1 (en) * | 2000-02-14 | 2003-06-03 | International Business Machines Corporation | Self-monitoring storage device using neural networks |
JP2003257016A (ja) | 2002-03-01 | 2003-09-12 | Mitsubishi Chemicals Corp | 磁気記録媒体の製造方法及び製造装置 |
-
2007
- 2007-02-16 JP JP2007036293A patent/JP2008204504A/ja active Pending
-
2008
- 2008-02-14 US US12/031,044 patent/US7876518B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03288372A (ja) * | 1990-04-03 | 1991-12-18 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 磁気ディスクのエラー検出方式 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7876518B2 (en) | 2011-01-25 |
US20080198494A1 (en) | 2008-08-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20070279788A1 (en) | Method and apparatus to perform defect scanning | |
US20080072692A1 (en) | Defect inspection method of magnetic disk, device therefor, and magnetic disk drive device | |
JP2004310982A (ja) | チャンネル別特性による適応的ディフェクトスキャン処理方法及びその装置 | |
US7468859B2 (en) | Voice coil motor effective resistance determination | |
JP2006216223A (ja) | ハードディスクドライブの欠陥処理方法,記録媒体及び装置 | |
JP2006012353A (ja) | ディスク装置及びその製造方法 | |
JP2008204504A (ja) | サーティファイ検査装置およびサーティファイ検査方法 | |
JPH1145516A (ja) | 試験装置及び試験方法 | |
JP4474376B2 (ja) | 磁気ディスクの評価方法 | |
US7630154B2 (en) | Hard disk inspection method and system | |
US11482252B2 (en) | Magnetic disk inspection method of magnetic disk device and magnetic disk device | |
JP5438917B2 (ja) | 磁気記録媒体の評価方法および製造方法 | |
JP5536548B2 (ja) | 磁気記録再生装置の制御方法、磁気記録再生装置、磁気記録媒体の検査方法および磁気記録媒体の製造方法 | |
KR100574988B1 (ko) | 하드 디스크 드라이브에서 결함 디스크를 검출하는 장치,방법 및 그 기록매체 | |
KR101463951B1 (ko) | 디펙 검사 방법 및 이를 이용한 디스크 드라이브 | |
JP2005018826A (ja) | 垂直磁気記録ディスクの検査方法及びハードディスクドライブ | |
KR100640586B1 (ko) | 디스크 드라이브의 진행성 디펙 검출 방법 및 장치 | |
JP2002056527A (ja) | 磁気ディスクの検査方法および検査装置 | |
JP5184283B2 (ja) | 磁気ディスクの製造方法 | |
JP5182866B2 (ja) | 磁気記録媒体のシーク評価方法およびシーク評価装置 | |
JP2008146803A (ja) | 磁気記録媒体の検査方法、およびその検査工程を有する磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2007328828A (ja) | 磁気記録媒体の検査方法、およびその検査工程を有する磁気記録媒体の製造方法。 | |
JP2011054220A (ja) | ディスクの突起検出・平坦度測定回路およびディスクのグライドテスター | |
JP2010152953A (ja) | 磁気記録媒体の評価方法及び評価装置、並びに磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2006196073A (ja) | ヘッド浮上量測定方法およびディスク装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110614 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110815 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120605 |