JP2008203355A - 共振周波数調整装置および共振周波数調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】共振周波数調整装置は、アクチュエータ6の共振周波数を測定する測定手段2と、アクチュエータ6の可動板611の板面上に、樹脂材料を含む液体の液滴を付与する液滴付与手段4と、測定手段2の測定結果に基づいて、可動板611の板面上における液滴の付与位置および当該付与位置における液滴数の組み合わせを求め、それを実行するように液滴付与手段4を制御する制御手段3とを有し、可動板611の板面上に液滴を付与した後、それを硬化または固化させて、可動板611の回動中心軸X1まわりの慣性モーメントを増加させ、アクチュエータ6の共振周波数を調整するように構成されている。
【選択図】図1
Description
このような捩り振動子においては、ミラー基板の回動中心軸まわりの慣性モーメントとねじり梁のバネ定数とで定まる共振周波数と等しい周波数で駆動させることで、ミラー基板の回動角を大きくすることができる。
そこで、このような共振周波数のずれを補正する方法として、ミラー基板の板面に樹脂などの質量片を付着させ、ミラー基板の回動中心軸まわりの慣性モーメントを増加させることで、捩り振動子の共振周波数を目的の共振周波数に合わせ込む方法が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
そこで、捩り振動子の共振周波数を目的の共振周波数に合わせ込むには、質量片を付着する工程と、付着した後の捩り振動子の共振周波数を測定する工程とを交互に繰り返す必要がある。すなわち、捩り振動子の共振周波数を目的の共振周波数に合わせ込む効率が非常に悪い。
本発明の共振周波数調整装置は、回動可能に支持された可動板を備える振動系の共振周波数を測定する測定手段と、
前記可動板の板面上に、樹脂材料を含む液体の液滴を付与する液滴付与手段と、
前記測定手段の測定結果に基づいて、前記可動板の板面上における前記液滴の付与位置および当該付与位置における液滴数の組み合わせを求め、それを実行するように前記液滴付与手段を制御する制御手段とを有し、
前記測定手段の測定結果に基づいて前記液滴付与手段を作動させ、前記可動板の板面上に前記液滴を付与した後、それを硬化または固化させて、前記可動板の回動中心軸まわりの慣性モーメントを増加させ、前記振動系の共振周波数を調整するように構成されていることを特徴とする。
これにより、極めて効率的にかつ正確に前記振動系の共振周波数を調整することができる共振周波数調整装置を提供することができる。
これにより、前記振動系の共振周波数を調整するために必要な液滴数を少なくすることができ、極めて効率的に前記振動系の共振周波数を調整することができる。
これにより、前記可動板の平面視にて、前記可動板の重心を前記回動中心軸上のほぼ中央に保つことができる。その結果、極めて優れた回動特性を備える前記振動系を提供することができる。
前記各付与位置における液滴数には、上限値が定められていることが好ましい。
このように、各付与部位における液滴数の上限値を定めることで、液滴の垂れ、にじみ等を防止することができ、極めて正確に振動系の共振周波数を調整することができる。
本発明の共振周波数調整装置では、前記可動板の一方の面には、光反射性を有する光反射部が設けられており、
前記制御部は、前記可動板の前記光反射部が設けられている面とは反対の面上にて、前記液滴の付与部位を決定するように構成されていることが好ましい。
これにより、前記可動板の前記光反射部が設けられていない側の板面の全域から、前記液滴の付与位置を決定することができるため、前記振動系の共振周波数を広い範囲にて、かつ、正確に調整することができる。また、前記可動板の小型化を図ることもできる。
前記制御部は、前記可動板の前記光反射部が設けられている面上にて、前記液滴の付与部位を決定するように構成されていることが好ましい。
通常、前記可動板の前記光反射部が設けられた面は、光走査を行うために外部に露出している。そのため、前記可動板の光反射部が設けられた面に前記液滴を付与するように構成することで、極めて簡単に可動板の板面上に液滴を付与することができる。
前記振動系の共振周波数を測定する第1の工程と、
前記第1の工程の測定結果に基づいて、前記可動板の板面上における前記液滴の付与位置および当該付与位置における液滴数の組み合わせを求める第2の工程と、
前記第2の工程で求められた前記組み合わせに基づいて前記可動板の板面上に前記液滴を付与したのち、それを硬化または固化させる第3の工程とを含んでいることを特徴とする。
これにより、極めて効率的にかつ正確に前記振動系の共振周波数を調整することができる。
これにより、前記振動系の共振周波数を調整するために必要な液滴数を少なくすることができ、極めて効率的に前記振動系の共振周波数を調整することができる。
これにより、前記可動板の平面視にて、前記可動板の重心を前記回動中心軸上のほぼ中央に保つことができる。その結果、極めて優れた回動特性を備える前記振動系を提供することができる。
前記各付与位置における液滴数には、上限値が定められていることが好ましい。
このように、各付与部位における液滴数の上限値を定めることで、液滴の垂れ、にじみ等を防止することができ、極めて正確に振動系の共振周波数を調整することができる。
<第1実施形態>
まず、本発明の共振周波数調整装置の第1実施形態を説明する。
図1は、本発明の共振周波数調整装置の第1実施形態を示す斜視図、図2は、図1に示す共振周波数調整装置で共振周波数の調整が行われるアクチュエータを示す部分断面斜視図、図3は、図2に示すアクチュエータに印加する交流電圧の一例を示す図、図4は、図1に示す共振周波数調整装置が備える測定装置を示すブロック図、図5は、図1に示す共振周波数調整装置が備える液滴付与装置を示す図、図6は、アクチュエータが備える可動板の上面図、図7は、図1に示す共振周波数調整装置の作動を示すフローチャート、図8は、図7に示すS2のサブルーチンを示すフローチャートである。
なお、以下では、説明の便宜上、図1に示すような互いに直交する軸をそれぞれ「X軸」、「Y軸」、「Z軸」とし、さらに、X軸に平行な方向を「X軸方向」、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」、Z軸に平行な方向を「Z軸方向」とする。
図2に示すように、アクチュエータ6は、振動系60を備える基体61と、接合層63を介して基体61を支持する支持基板62と、支持基板62の下面に接合している対向基板64と、対向基板64の上面に設けられた1対の固定電極651、652とを備えている。
可動板611の上面には、光反射性を有する光反射部611aが設けられている。これにより、アクチュエータ6を加速度センサ、角速度センサなどのMEMS応用センサや、光スキャナ、光スイッチ、光アッテネータなどの光学デバイスに用いることができる。
1対の連結部613、614は、それぞれ長手形状をなしており弾性変形可能である。連結部613、614のそれぞれは、可動板611を支持部612に対して回動可能とするように、可動板611と支持部612とを連結している。このような1対の連結部613、614は、同軸的に設けられており、この軸を回動中心軸X1として、可動板611が支持部612に対して回動するように構成されている。
以上のような基体61は、例えば、シリコンを主材料として構成されていて、可動板611と、支持部612と、1対の連結部613、614とが一体的に形成されている。
このような支持基板62は、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成されている。支持基板62は、枠状をなし、可動板611の平面視にて、支持部612とほぼ同一形状をなしている。
支持基板62と基体61との間に形成された接合層63は、例えば、ガラス、シリコン、またはSiO2を主材料として構成されている。
1対の固定電極651、652は、可動板611の平面視にて、可動板611に対応するように対向基板64の上面に設けられている。また、1対の固定電極651、652は、可動板611の平面視にて、回動中心軸X1を介して互いに離間するように、かつ、回動中心軸X1に対して対称となるように設けられている。
まず、基体61をアースする。そして、例えば、図3(a)に示すような電圧を固定電極651に印加するとともに、図3(b)に示すような電圧を固定電極652に印加する。すなわち、固定電極651にのみ電圧を印加している状態と、固定電極652にのみ電圧を交互に印加している状態とを交互に繰り返す。これにより、可動板611と固定電極651との間に静電引力(クーロン力)が発生している状態と、可動板611と固定電極652との間に静電引力が発生している状態とを交互に繰り返すことができる。その結果、1対の連結部613、614のそれぞれを捩り変形させて可動板611を回動中心軸X1まわりに回動させることができる。このことから、可動板611と1対の連結部613、614とで振動系60を構成していると言える。
ここで、1対の固定電極651、652のそれぞれに印加する電圧の周波数を振動系60の共振周波数と一致させることで、可動板611を大きく回動させることができる。
このような共振周波数調整装置1は、可動板611の板面上に液滴を付与した後、それを固化または硬化(以下、単に「固化」という)させて、可動板611の回動中心軸X1まわりの慣性モーメントを増加させ、振動系60の共振周波数を調整するように構成されている。
このような移動装置7の進行方向の途中には、振動系60の共振周波数を測定する測定装置2と、可動板611に液滴を付与する液滴付与装置4とが設けられている。すなわち、共振周波数調整装置1は、アクチュエータ6をステージ5上に固定した状態で移動装置7を作動させることで、測定装置2で振動系60の共振周波数を測定し、液滴付与装置4で可動板611の板面上に液滴を付与するように構成されている。これにより、極めて効率的に振動系60の共振周波数を変更、調整することができる。
回転盤52は、基台51の上面に対向するように設けられている。そして、回転盤52は、基台51に対してZ軸まわりに回転可能である。このような回転盤52は、制御手段3と接続されており、制御手段3によりその作動(回転運動)が制御されている。また、回転盤52の上面は、X−Y平面と平行な面をなしており、この面上にアクチュエータ6が固定される。なお、アクチュエータ6を固定する際には、アクチュエータ6を回動駆動可能な状態としておく。
そして、固定電極651、652に印加する交流電圧の周波数が所定値(例えば、32KHz)になるまで、可動板611の回転角度の測定を繰り返し行う。この測定結果から、振動系60の共振周波数が求まる。
このような液滴吐出装置4は、アクチュエータ6の可動板の上面(光反射部611aが設けられている面)上に液滴を吐出するように構成されている。可動板611の上面は、外部に露出している。そのため、可動板611の上面に液滴を付与するように構成することで、液滴付与装置4は、極めて簡単に可動板611の板面上に液滴を付与することができる。
また、前記ノズルの数は、特に限定されず、1つであってもよいし、2以上の複数であってもよい。前記ノズルが複数個設けられている場合には、制御部3が複数のノズルから、吐出動作を行うノズルと吐出動作を行わないノズルとを設定(選択)するように構成されていてもよい。
一方、アクチュエータ6が固定されているステージ5は、前述したように、移動装置7によってX軸方向に移動可能となっているとともに、回転盤52がZ軸まわりに回転可能となっている。したがって、このような液滴付与装置4とステージ5とを用いることで、前記ノズルと可動板611との相対的位置関係を自在に変更することができ、極めて正確に液滴を可動板611上の付与位置に付与することができる。
そして、移動装置7を作動し、ステージ5を第2の位置に移動する。そして、測定装置2により振動系60の共振周波数f1を測定する。測定方法としては、前述した通りであるため、その説明を省略する。測定装置2により測定された振動系60の共振周波数f1のデータは、制御部3に送られ蓄積させる。
IS=M×R2(kg・m2)‥‥‥(1)
この時点で制御部3には、共振周波数f0、共振周波数f1および共振周波数f2のそれぞれのデータが蓄積されていることとなる。そして、制御部3は、この3つの共振周波数f0、f1、f2のデータから共振周波数f1と共振周波数f2とを用いて、振動系60を構成する可動板611の回動中心軸X1まわりの慣性モーメント(以下、この慣性モーメントを「I」という)と、1対の連結部613、614の捩れバネ定数(以下、このバネ定数を「K」とする)とを求める(S203)。具体的には、以下に示す式(2)に共振周波数f1の値を代入し、同様に、以下に示す式(3)に共振周波数f2の値および慣性モーメントISの値をそれぞれ代入する。その結果、慣性モーメントIとバネ定数Kとを求めることができる。
f1=1/2π√(k/I)‥‥‥(2)
f2=1/2π√{k/(I+IS)}‥‥‥(3)
f0=1/2π√{k/(I+IS+ΔI)}‥‥‥(4)
このような液滴付与可能位置P1〜P30は、回動中心軸X1に平行な複数の線分L1〜L6と、可動板611の平面視にて回動中心軸X1に直交する複数の線分L7〜L11との交点上に位置している。
線分L7は、可動板611の平面視にて、可動板611の重心を通り、回動中心軸X1に直交する線分である。そして、線分L8と線分L9、および、線分L10と線分L11のそれぞれは、線分L7に対して対称である。
制御部3は、各液滴付与可能位置P1〜P30の回動中心軸X1からの距離(m)および各液滴付与可能位置P1〜P30に付与することのできる液滴数の上限値のそれぞれに関するデータ(情報)を有している。そのため、液滴付与可能位置P1〜P30のうちの、どの液滴付与可能位置にどれだけの数の液滴を付与すれば、それによる可動板611の回動中心軸X1まわりの慣性モーメントの増加量がΔIと等しくなるかを極めて簡単に求めることができる。
ΔIがΔIAよりも小さい場合には、制御部3は、液滴付与可能位置P1〜P10上に付与すべき液滴の液滴数を求める。すなわち、液滴付与可能位置P1〜P10上に何滴の液滴を付与すれば、それにより増加する可動板611の回動中心軸X1まわりの慣性モーメントがΔIと等しくなるかを求める。そして、求められた液滴数に基づいて、液滴付与可能位置P1〜P10から液滴の付与位置を選択するとともに、選択された付与位置における液滴数を決定する(S206)。
また、制御部3は、線分L1上の液滴付与可能位置P1〜P5のうち、可動板611の重心を通り、かつ回動中心軸X1に直交する線分に近い方から優先的に付与位置として選択する。すなわち、制御部3は、まず、液滴付与可能位置P1を付与位置として選択し、次に、P2またはP3の一方を付与位置として選択し、次に、P2またはP3の他方を付与位置として選択し、次に、P4またはP5の一方を付与位置として選択し、最後に、P4またはP5の他方を付与位置として選択する。これにより、可動板611の平面視にて、可動板611の重心を回動中心軸X1上のほぼ中央に保つことができる。その結果、極めて優れた回動特性を備えるアクチュエータ6を提供することができる。液滴付与可能位置P6〜P10についても液滴付与可能位置P1〜P5と同様であるため、その説明を省略する。
そして、線分L3上の液滴付与可能位置P11〜P15および線分L4上の液滴付与可能位置P16〜P20のそれぞれに、前記上限値と等しい液滴数を付与した場合の可動板611の回動中心軸X1まわりの慣性モーメントの増加量(以下、この増加量を「ΔIB」とする)と(ΔI−ΔIA)とを比較する(S208)。
ここで、線分L5上の液滴付与可能位置P21〜P25および線分L6の液滴付与可能位置P26〜P30のそれぞれに、前記上限値と等しい液滴数を付与した場合の可動板611の回動中心軸X1まわりの慣性モーメントの増加量(以下、この増加量を「ΔIC」とする)は、{ΔI−(ΔIA+ΔIB)}よりも大きい。
以上より、制御部3は、複数の液滴付与可能位置P1〜P30のうち、回動中心軸X1に対して遠位に位置する液滴付与可能位置を優先的に液滴の付与位置として選択するように構成されている。これにより、振動系60の共振周波数を調整するために必要な液滴数を少なくすることができ、極めて効率的かつ経済的に振動系60の共振周波数を調整することができる。
このような共振周波数調整装置1(すなわち、共振周波数調整方法)を用いることで、極めて効率的にかつ正確に振動系60の共振周波数を調整することができる。
次に、本発明の共振周波数調整装置の第2実施形態について説明する。
図9は、本発明の共振周波数調整装置の第2実施形態を示す斜視図、図10は、図9に示す共振周波数調整装置によって共振周波数の調整が行われるアクチュエータが備える可動板の下面図である。なお説明の便宜上、図9中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」と言う。
本発明の第2実施形態にかかる共振周波数調整装置1Aは、可動板611の下面(光反射部が設けられている面とは反対の面)に、液滴を付与するように構成されている以外は、第1実施形態の共振周波数調整装置1とほぼ同様である。また、前述した第1実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
ステージ5Aは、移動手段5上に設けられた基台51と、基台51に対してZ軸に回転可能な回転盤52と、回転盤52上に設けられた固定部材53Aとを有している。
固定部材53Aは、アクチュエータ6のうちの基体61を支持するための部材である。ここで、基体61を固定する際には、基体61が備える可動板611の裏面(光反射部611aとは反対側の面)が図9中の上側を向くように基体61を固定する。このように基体61を固定することで、可動板611の裏面に液滴を付与することができる。
可動板611の裏面には、光反射部611aが設けられていない。そのため、図10に示すように、この裏面には、全域にわたって液滴付与可能位置Pが定められている。したがって、振動系60の共振周波数を広い範囲にて、かつ、正確に調整することができる。また、可動板611の光反射部611aが設けられた面に液滴を付与する場合に比べて可動板611の小型化を図ることもできる。
なお、基体61は、このような共振周波数調整装置1Aによって共振周波数が調整された後に、接合層63を介して支持基板62と接合される。さらに、固定電極651、652が設けられた対向基板64と接合させることでアクチュエータ6が製造されることとなる。
以上、本発明の共振周波数調整装置および共振周波数調整方法について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明の共振周波数調整装置では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
また、前述した実施形態では、互いに平行な複数の線分と、その線分に直交する複数の線分との交点を液滴付与可能位置として決定していたが、液滴付与可能位置の決定方法としては、これに限定されない。例えば、可動板の上面に複数の液滴付与可能位置を無秩序に決定してもよい。また、予め可動板に複数の凹部などを形成しておき、制御部がその凹部を液滴付与可能位置として決定してもよい。
Claims (10)
- 回動可能に支持された可動板を備える振動系の共振周波数を測定する測定手段と、
前記可動板の板面上に、樹脂材料を含む液体の液滴を付与する液滴付与手段と、
前記測定手段の測定結果に基づいて、前記可動板の板面上における前記液滴の付与位置および当該付与位置における液滴数の組み合わせを求め、それを実行するように前記液滴付与手段を制御する制御手段とを有し、
前記測定手段の測定結果に基づいて前記液滴付与手段を作動させ、前記可動板の板面上に前記液滴を付与した後、それを硬化または固化させて、前記可動板の回動中心軸まわりの慣性モーメントを増加させ、前記振動系の共振周波数を調整するように構成されていることを特徴とする共振周波数調整装置。 - 前記制御手段は、前記可動板の板面上における前記可動板の回動中心軸から遠位の部位を優先的に前記液滴の付与位置とするように構成されている請求項1に記載の共振周波数調整装置。
- 前記制御手段は、前記可動板の重心を通り、かつ、前記回動中心軸に直交する線分に近い位置を優先的に前記液滴の付与位置とするように構成されている請求項1または2に記載の共振周波数調整装置。
- 前記制御手段は、前記液滴の付与位置を複数決定し、
前記各付与位置における液滴数には、上限値が定められている請求項1ないし3のいずれかに記載の共振周波数調整装置。 - 前記可動板の一方の面には、光反射性を有する光反射部が設けられており、
前記制御部は、前記可動板の前記光反射部が設けられている面とは反対の面上にて、前記液滴の付与部位を決定するように構成されている請求項1ないし4のいずれかに記載の共振周波数調整装置。 - 前記可動板の一方の面には、光反射性を有する光反射部が設けられており、
前記制御部は、前記可動板の前記光反射部が設けられている面上にて、前記液滴の付与部位を決定するように構成されている請求項1ないし4のいずれかに記載の共振周波数調整装置。 - 可動板の板面上に樹脂材料を含む液体の液滴を付与することで、回動可能に支持された前記可動板を備える振動系の共振周波数を調整する共振周波数調整方法であって、
前記振動系の共振周波数を測定する第1の工程と、
前記第1の工程の測定結果に基づいて、前記可動板の板面上における前記液滴の付与位置および当該付与位置における液滴数の組み合わせを求める第2の工程と、
前記第2の工程で求められた前記組み合わせに基づいて前記可動板の板面上に前記液滴を付与したのち、それを硬化または固化させる第3の工程とを含んでいることを特徴とする共振周波数調整方法。 - 前記第2の工程では、前記可動板の板面上における前記可動板の回動中心軸から遠位の部位を優先的に前記液滴の付与位置とする請求項7に記載の共振周波数調整方法。
- 前記第2の工程では、前記可動板の重心を通り、かつ、前記回動中心軸に直交する線分に近い位置を優先的に前記液滴の付与位置とする請求項7または8に記載の共振周波数調整方法。
- 前記第2の工程では、前記液滴の付与位置を複数決定し、
前記各付与位置における液滴数には、上限値が定められている請求項7ないし9のいずれかに記載の共振周波数調整方法。
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