JP2008194658A - 純水製造システム - Google Patents

Abstract

【課題】軟水装置を備えた純水製造システムにおいて、硬度分に起因するスケールにより、電気式脱イオン装置の目詰まりが起きることを防止する。
【解決手段】機器への給水ライン２に、軟水装置４、逆浸透膜装置５および電気式脱イオン装置６を設けた純水製造システム１であって、前記軟水装置４の上流側の前記給水ライン２に原水硬度測定装置７を接続し、また前記軟水装置４の下流側の前記給水ライン２に流量測定装置８を接続し、さらに所定間隔で測定された前記原水硬度測定装置７の測定値と前記流量測定装置８によって測定された前記軟水装置４における通水開始からの積算通水量との積が、前記軟水装置４の最大除去硬度質量に達したとき、前記軟水装置４へ再生作動指令を出力する制御部９を備えることを特徴とする。
【選択図】図１

Description

この発明は、逆浸透膜装置と電気式脱イオン装置を備え、高純度の純水を供給する純水製造システムに関する。

従来、半導体洗浄装置等の機器へ純水を供給する純水製造システムが知られている。この純水製造システムとしては、前記機器への給水ラインに、逆浸透膜装置および電気式脱イオン装置を設けたものがある（たとえば、特許文献１参照）。このように前記逆浸透膜装置と前記電気式脱イオン装置とを備えた純水製造システムでは、前記逆浸透膜装置によって原水が濾過されて原水に含まれる不純物の８０％〜９０％程度が除去され、さらに残りの不純物が前記電気式脱イオン装置によって除去されて、高純度の純水が得られる。

ところで、原水には一般的にカルシウムイオンやマグネシウムイオン等の硬度分が含まれている。この硬度分は、前記逆浸透膜装置によって除去されるが、全て除去されるわけではない。ここで、前記電気式脱イオン装置は、陽イオン交換膜と陰イオン交換膜とを交互に配置して脱塩室と濃縮室とを形成し、前記脱塩室にイオン交換樹脂を収容した電気透析槽を備えている。このような電気式脱イオン装置へ供給される給水に硬度分が含まれ、この硬度分に起因するスケールが析出すると、このスケールが前記イオン交換樹脂や前記イオン交換膜に沈着して目詰まりを起こす。とくに、前記電気式脱イオン装置においては、僅かなスケール析出でも目詰まりを起こしやすい。

そこで、前記電気式脱イオン装置における硬度分に起因するスケールによる目詰まりを防止するため、前記電気式脱イオン装置の上流側の前記給水ラインに、軟水装置を設けた純水製造システムがある（たとえば、特許文献２参照）。
特開２００４−１６０３８０号公報 特開２００１−１７９２６２号公報

前記軟水装置は、ナトリウム型またはカリウム型のイオン交換樹脂により、原水に含まれるカルシウムイオンおよびマグネシウムイオンをナトリウムイオンまたはカリウムイオンと置換させることにより軟水を生成するようになっている。そして、前記軟水装置においては、前記イオン交換樹脂がカルシウムイオンやマグネシウムイオンと置換して飽和状態になる前に、前記イオン交換樹脂へ塩水を供給してそのイオン交換能力を回復させる再生作動が行われるようになっている。

再生作動は、たとえば機器において純水を使用しない時間帯（たとえば夜中等）などに設定された時刻になったときに行われるようになっている。また、予め原水の硬度を測定しておき、この測定値と前記軟水装置における通水開始からの積算通水量との積が前記軟水装置の最大除去硬度質量に達したとき、再生作動を行う場合もある。

しかし、原水硬度は季節的要因等によって変動する。したがって、前記のようにして再生作動を行うようになっていると、原水硬度が高くなった場合、再生作動を行うまでの前記軟水装置における硬度分除去量が増え、再生作動を行う前に硬度漏れが起きるおそれがある。また、設定時刻になったとき再生作動を行うようになっている場合、前記軟水装置における通水量が多くなり、再生作動を行うまでの前記軟水装置における硬度分除去量が増えると、再生作動を行う前に硬度漏れが起きるおそれがある。このように硬度漏れが起きた場合、前記電気式脱イオン装置において硬度分に起因するスケールによって目詰まりが起きることになる。

また、前記軟水装置において再生作動を行ったにも拘わらず、再生が不十分であった場合、再生作動を行う前に硬度漏れが起きるおそれがある。この場合にあっても、前記電気式脱イオン装置において硬度分に起因するスケールによって目詰まりが起きることになる。

この発明が解決しようとする課題は、軟水装置を備えた純水製造システムにおいて、硬度分に起因するスケールにより、電気式脱イオン装置の目詰まりが起きることを防止することである。

この発明は、前記課題を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、機器への給水ラインに、軟水装置、逆浸透膜装置および電気式脱イオン装置を設けた純水製造システムであって、前記軟水装置の上流側の前記給水ラインに原水硬度測定装置を接続し、また前記軟水装置の下流側の前記給水ラインに流量測定装置を接続し、さらに所定間隔で測定された前記原水硬度測定装置の測定値と前記流量測定装置によって測定された前記軟水装置における通水開始からの積算通水量との積が、前記軟水装置の最大除去硬度質量に達したとき、前記軟水装置へ再生作動指令を出力する制御部を備えることを特徴とする。

請求項２に記載の発明は、機器への給水ラインに、軟水装置、逆浸透膜装置および電気式脱イオン装置を設けた純水製造システムであって、前記軟水装置の上流側の前記給水ラインに原水硬度測定装置を接続し、また前記軟水装置の下流側の前記給水ラインに処理水硬度測定装置および流量測定装置を接続し、さらに所定間隔で測定された前記原水硬度測定装置の測定値と前記流量測定装置によって測定された前記軟水装置における通水開始からの積算通水量との積が、前記軟水装置の最大除去硬度質量に達したとき、または前記処理水硬度測定装置の測定値が所定値を超えたとき、前記軟水装置へ再生作動指令を出力する制御部を備えることを特徴とする。

さらに、請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の純水製造システムにおいて、前記軟水装置を前記給水ラインに複数並列または直列に設けたことを特徴とする。

請求項１に記載の発明によれば、所定間隔で測定された前記軟水装置の上流側の給水の硬度（原水硬度）と前記軟水装置における通水開始からの積算通水量との積が、前記軟水装置の最大除去硬度質量に達したとき、前記軟水装置において再生作動が行われる。これにより、前記軟水装置における実際の硬度分除去量に応じて再生作動を行うことができる。したがって、原水硬度が高くなった場合や、前記軟水装置における通水量が多くなった場合など、再生作動が行われるまでの硬度分除去量が増えた場合であっても、再生作動が行われる前に硬度漏れが起きることを防止することができ、前記電気式脱イオン装置において硬度分に起因するスケールによって目詰まりが起きることを防止することができる。

請求項２に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明と同様に、所定間隔で測定された前記軟水装置の上流側の給水の硬度（原水硬度）と前記軟水装置における通水開始からの積算通水量との積が、前記軟水装置の最大除去硬度質量に達したとき、前記軟水装置において再生作動が行われる。これにより、前記軟水装置における実際の硬度分除去量に応じて再生作動を行うことができるので、請求項１に記載の発明と同様の効果を得ることができる。また、前記軟水装置における再生が不十分であったりして、前記軟水装置における通水開始からの除去硬度質量が最大除去硬度質量に達する前に硬度漏れが起きたとしても、前記処理水硬度測定装置の測定値が所定値を超えたとき再生作動が行われるので、硬度漏れの状態がいち早く解消される。したがって、前記電気式脱イオン装置において硬度分に起因するスケールによって目詰まりが起きることをより確実に防止することができる。

さらに、請求項３に記載の発明によれば、複数設けられた前記軟水装置のうち、いずれか一の軟水装置の通水を停止して再生作動を行っても、他の軟水装置によって原水に含まれる硬度分を除去することができるので、前記電気式脱イオン装置において硬度分に起因するスケールによって目詰まりが起きることを防止することができる。

つぎに、この発明の実施の形態について図面に基づいて詳細に説明する。
（第一実施形態）
まず、この発明の第一実施形態について説明する。図１は、この発明に係る純水製造システムの第一実施形態を示す概略的な説明図である。

図１において、純水製造システム１にあっては、半導体洗浄装置等の機器（図示省略）への給水ライン２に、活性炭濾過装置３，軟水装置４，逆浸透膜装置５および電気式脱イオン装置６が上流側からこの順に設けられている。

前記活性炭濾過装置３と前記軟水装置４の間の前記給水ライン２には、原水硬度測定装置７が接続されている。また、前記軟水装置４と前記逆浸透膜装置５の間の前記給水ライン２には、流量測定装置８が接続されている。そして、前記原水硬度測定装置７および前記流量測定装置８は制御部９と接続されている。

前記原水硬度測定装置７では、所定の間隔で硬度の測定が行われるようになっており、測定結果は前記制御部９に記憶されるようになっている。ここで、測定間隔は、たとえば１日毎であってもよいし、また前記軟水装置４において再生作動を行っているときであってもよく、さらに積算通水時間が所定時間に達する毎であってもよい。

また、前記流量測定装置８の測定情報は前記制御部９へ入力される。そして、前記制御部９では、前記流量測定装置８で測定された前記軟水装置４における通水開始からの積算通水量が把握されるようになっている。

さらに、前記制御部９は、前記軟水装置４と接続されて、この軟水装置４の再生作動を制御するようになっている。この制御部９による再生作動の制御について具体的に説明すると、前記軟水装置４の上流側の給水の硬度，すなわち原水硬度と前記軟水装置４における積算通水量とを積算することにより、前記軟水装置４における除去硬度質量を算出することができる。したがって、前記制御部９は、前記原水硬度測定装置７の測定値と前記流量測定装置８によって測定された前記軟水装置４における通水開始からの積算通水量とを常に積算し、この積算値，すなわち通水開始からの前記軟水装置４における除去硬度質量が、前記軟水装置４の最大除去硬度質量に達したとき、前記軟水装置４へ再生作動指令を出力するようになっている。ここで、通水開始からの積算通水量とは、前記軟水装置４において通水を停止した状態で行われる再生作動が終了した後に、再び通水を開始してからの積算の通水量のことである。

ちなみに、前記軟水装置４の最大除去硬度質量は、この軟水装置４における後述するイオン交換樹脂（図示省略）において除去可能な硬度分の質量である。この最大除去硬度質量は、前記イオン交換樹脂の容量に基づいて設定される。

前記給水ライン２には、前記軟水装置４のバイパスライン１０が接続されている。このバイパスライン１０は、前記軟水装置４の再生作動時に給水をバイパスさせるためのラインである。このバイパスライン１０の上流側は、流路切替弁１１を介して前記給水ライン２と接続されている。前記流路切替弁１１は、具体的には三方弁であり、前記制御部９と接続されこの制御部９からの流路切替指令を受けて、前記軟水装置４への通水と前記バイパスライン１０への通水とが切り替えられるようになっている。前記制御部９は、前記軟水装置４へ再生作動指令を出力する場合に、前記バイパスライン１０へ流路を切り替えるようになっている。

前記活性炭濾過装置３，前記軟水装置４，前記逆浸透膜装置５および前記電気式脱イオン装置６について説明する。まず、前記活性炭濾過装置３は、給水中に溶存する次亜塩素酸ナトリウムなどに由来する酸化剤を粒状の活性炭により吸着除去するものである。酸化剤は、前記軟水装置４の前記イオン交換樹脂を酸化させ、そのイオン交換能力を早期に低下させるおそれがある。また、前記逆浸透膜装置５の逆浸透膜（図示省略）を酸化させ、その濾過能力を早期に低下させるおそれがある。そこで、このような酸化による早期の能力低下を防止するために、酸化剤を吸着除去することにより、給水の処理効率の向上や処理された給水の水質の安定化などを図るようにしている。

前記軟水装置４は、酸化剤が除去された給水の硬度分，すなわちカルシウムイオンおよびマグネシウムイオンを前記イオン交換樹脂により除去するものである。具体的には、前記軟水装置４は、給水に含まれる硬度分を前記イオン交換樹脂におけるイオン交換反応によってナトリウムイオンおよびカリウムイオンなどの一価の陽イオンへ置換し、給水を軟水へ変換するように構成されている。

前記逆浸透膜装置５は、逆浸透膜モジュール（図示省略）により給水を濾過処理し、給水に含まれる不純物を除去するように構成されている。前記逆浸透膜モジュールの前記逆浸透膜（ＲＯ膜）は、ポリアミド系，ポリエーテル系などの合成高分子膜であり、分子量が数十程度の物質の透過を阻止できる液体分離膜である。前記逆浸透膜装置５にあっては、一側から供給された給水が、他側から透過水と濃縮水として流出するようになっている。そして、濃縮水は一部が系外へ排水されるとともに、残部が前記逆浸透膜装置５の上流側の前記給水ライン２へ還流されるようになっている（詳細な構成は図示省略）。

前記電気式脱イオン装置６は、陽イオン交換膜と陰イオン交換膜（それぞれ図示省略）とを交互に配置して脱塩室と濃縮室（それぞれ図示省略）とを形成し、前記脱塩室にイオン交換樹脂を収容した電気透析槽（図示省略）を備えている。そして、この電気透析槽において、前記逆浸透膜装置５で除去しきれなかった給水中のイオン化物質が除去され、純水が得られるようになっている。

さて、前記純水製造システム１では、前記原水硬度測定装置７の測定値と前記流量測定装置８によって測定された前記軟水装置４における通水開始からの積算通水量との積が、前記軟水装置４の最大除去硬度質量に達したとき、前記制御部９は、前記軟水装置４へ再生作動指令を出力する。このとき、前記制御部９は、前記流路切替弁１１へ流路切替指令を出力し、前記バイパスライン１０へ流路を切り替える。

前記制御部９からの再生作動指令を受けた前記軟水装置４においては再生作動が行われ、前記イオン交換樹脂（図示省略）のイオン交換能力が回復する。この軟水装置４の再生作動時には、給水は前記バイパスライン１０へ流れ、前記軟水装置４においては硬度分が除去されないが、前記逆浸透膜装置５において硬度分が除去される。

以上説明した前記純水製造システム１によれば、所定間隔で測定された前記原水硬度測定装置７の測定値と前記軟水装置４における通水開始からの積算通水量との積が、前記軟水装置４の最大除去硬度質量に達したとき、前記軟水装置４において再生作動が行われるので、前記軟水装置４における実際の硬度分除去量に応じて再生作動を行うことができる。これにより、再生作動が行われるまでの硬度分除去量が増えた場合であっても、再生作動が行われる前に硬度漏れが起きることを防止することができる。したがって、前記電気式脱イオン装置６において、硬度分に起因するスケールによって前記イオン交換樹脂（図示省略）や前記イオン交換膜（図示省略）の目詰まりが起きることを防止することができる。

（第二実施形態）
つぎに、この発明の第二実施形態について説明する。図２は、この発明に係る純水製造システムの第二実施形態を示す概略的な説明図である。図２において、前記第一実施形態と同一の構成については同一の符号を付してその説明を省略する。

第二実施形態の純水製造システム２０は、前記軟水装置４と前記逆浸透膜装置５の間の前記給水ライン２に処理水硬度測定装置２１が設けられている。この処理水測定装置２１は前記制御部９と接続されている。そして、前記処理水測定装置２１では、所定の間隔で硬度の測定が行われ、測定結果は前記制御部９へ入力されるようになっている。

前記制御部９は、所定間隔で測定された前記原水硬度測定装置７の測定値と前記流量測定装置８によって測定された前記軟水装置４における通水開始からの積算通水量との積が、前記軟水装置４の最大除去硬度質量に達したとき、または前記処理水硬度測定装置２１の測定値が所定値を超えたとき、前記軟水装置４へ再生作動指令を出力するようになっている。ここで、前記所定値は、前記逆浸透膜装置５の前記逆浸透膜（図示省略）および前記電気式脱イオン装置６の前記イオン交換樹脂（図示省略）や前記イオン交換膜（図示省略）に、硬度分に起因するスケールによる目詰まりが起きることを防止することができるように設定される。

さて、前記純水製造システム２０では、所定間隔で測定された前記原水硬度測定装置７の測定値と前記流量測定装置８によって測定された前記軟水装置４における通水開始からの積算通水量との積が、前記軟水装置４の最大除去硬度質量に達したとき、または前記処理水硬度測定装置２１の測定値が所定値を超えたとき、前記制御部９は前記軟水装置４へ再生作動指令を出力し、これを受けた前記軟水装置４において再生作動が行われる。このとき、前記制御部９は、前記第一実施形態と同様に前記流路切替弁１１へ流路切替指令を出力する。

以上説明した前記純水製造システム２０によれば、前記第一実施形態の純水製造システム１と同様に、前記軟水装置４における実際の硬度分除去量に応じて再生作動を行うことができ、前記第一実施形態の純水製造システム１と同様の効果を得ることができる。また、前記軟水装置４における再生が不十分であったりして、前記軟水装置４における通水開始からの除去硬度質量が最大除去硬度質量に達する前に硬度漏れが起きたとしても、前記処理水硬度測定装置２１の測定値が所定値を超えたとき再生作動が行われるので、硬度漏れの状態がいち早く解消される。したがって、前記電気式脱イオン装置６において硬度分に起因するスケールによって目詰まりが起きることをより確実に防止することができる。

（第三実施形態）
つぎに、この発明の第三実施形態について説明する。図３は、この発明に係る純水製造システムの第三実施形態を示す概略的な説明図である。図３において、前記第一，第二実施形態と同一の構成については同一の符号を付してその説明を省略する。

第三実施形態の純水製造システム３０は、第一軟水装置３１と第二軟水装置３２とを備えており、これら各軟水装置３１，３２は、前記給水ライン２に並列に設けられている。前記各軟水装置３１，３２は、前記各実施形態における前記軟水装置４と同様に、イオン交換樹脂（図示省略）を使用した軟水装置であり、交互に通水が行われるようになっている。

この第三実施形態では、前記原水硬度測定装置７は、前記活性炭濾過装置３と前記各軟水装置３１，３２の間の前記給水ライン２であって、前記各軟水装置３１，３２へ分岐する前の部分の前記給水ライン２に設けられている。また、前記流量測定装置８および前記処理水硬度測定装置２１は、前記各軟水装置３１，３２と前記逆浸透膜装置５の間の前記給水ライン２であって、前記各軟水装置３１，３２から合流した部分の前記給水ライン２に設けられている。そして、前記制御部９は、前記各軟水装置３１，３２のうち、通水状態にある方へ再生作動指令を出力するようになっている。

前記給水ライン２にあっては、前記第一軟水装置３１への通水と前記第二軟水装置３２への通水とを切り替えるため、前記第一軟水装置３１へのラインと前記第二軟水装置３２へのラインとに分岐する部分のうちの上流側の部分に、通水切替弁３３が設けられている。この通水切替弁３３は、具体的には三方弁であり、前記制御部９と接続されこの制御部９からの通水切替指令を受けて、前記第一軟水装置３１への通水と前記第二軟水装置３２への通水とが切り替えられるようになっている。

さて、前記純水製造システム３０では、前記各軟水装置３１，３２への通水を交互に行う。そして、通水状態にある前記第一軟水装置３１または前記第二軟水装置３２における再生作動は、前記第二実施形態と同様にして前記制御部９から再生作動指令が出力されたとき行われる。具体的には、所定間隔で測定された前記原水硬度測定装置７の測定値と前記流量測定装置８によって測定された前記第一軟水装置３１または前記第二軟水装置３２における通水開始からの積算通水量との積が、前記第一軟水装置３１または前記第二軟水装置３２の最大除去硬度質量に達したとき、または前記処理水硬度測定装置２１の測定値が所定値を超えたとき、前記制御部９は、前記第一軟水装置３１および前記第二軟水装置３２のうち、通水状態にある方へ再生作動指令を出力する。このとき、前記制御部９は前記通水切替弁３３へ通水切替指令を出力し、通水を停止して再生作動を行う軟水装置から、通水を開始する軟水装置へ通水を切り替える。

ここで、通水開始からの積算通水量とは、前記第一軟水装置３１または前記第二軟水装置３２の一方から他方へ通水を切り替えてからの積算の通水量のことである。

以上説明した前記純水製造システム３０によれば、前記各実施形態と同様の効果を得ることができる上に、前記各軟水装置３１，３２への通水を交互に行うことにより、一方の軟水装置が再生作動中であっても他方の軟水装置によって硬度分を除去することができ、前記電気式脱イオン装置６における硬度分に起因するスケールによる目詰まりが起きることをより確実に防止することができる。

ここで、この第三実施形態において、前記処理水硬度測定装置２１の測定値が所定値を超えて、前記第一軟水装置３１および前記第二軟水装置３２のいずれか一方の再生作動を行うとともに、他方への通水を行った後においても、前記処理水硬度測定装置２１の測定値が所定値以下にならない場合は、前記逆浸透膜装置５からの濃縮水の排水量を増加させてもよい。これについて説明すると、前記逆浸透膜装置５においては硬度分が除去されるが、前記逆浸透膜（図示省略）の表面付近において、硬度分の濃縮度合が高くなると、前記逆浸透膜装置５からの透過水へ硬度分が漏れるおそれがある。したがって、前記逆浸透膜装置５からの濃縮水の排水量を増加させることにより、前記逆浸透膜の表面付近における濃縮が抑制され、前記逆浸透膜装置５からの透過水へ硬度分が漏れることを抑制することができる。これにより、前記逆浸透膜装置５において硬度分に起因するスケールによる目詰まりが起きることを防止することができる。

（第四実施形態）
つぎに、この発明の第四実施形態について説明する。図４は、この発明に係る純水製造システムの第四実施形態を示す概略的な説明図である。図４において、前記第一，第二，第三実施形態と同一の構成については同一の符号を付してその説明を省略する。

第四実施形態の純水製造システム４０は、主軟水装置４１と補助軟水装置４２とを備えている。そして、この第四実施形態では、前記各軟水装置４１，４２は、前記給水ライン２に直列に設けられている。具体的には、前記主軟水装置４１は、前記活性炭濾過装置３と前記逆浸透膜装置５の間の前記給水ライン２に設けられ、前記補助軟水装置４２は、前記逆浸透膜装置５と前記電気式脱イオン装置６の間の前記給水ライン２に設けられている。

前記主軟水装置４１は、前記各実施形態における前記各軟水装置４，３１，３２と同様に、イオン交換樹脂（図示省略）を使用した再生型の軟水装置である。この第四実施形態では、前記原水硬度測定装置７は、前記主軟水装置４１および前記補助軟水装置４２のうち、上流側に設けられた前記主軟水装置４１へ供給される給水の硬度を測定するものである。具体的には、前記原水硬度測定装置７は、前記活性炭濾過装置３と前記主軟水装置４１の間の前記給水ライン２に接続されている。また、前記流量測定装置８および前記処理水硬度測定装置２１は、前記主軟水装置４１および前記補助軟水装置４２のうち、上流側に設けられた前記主軟水装置４１からの給水の流量および硬度を測定するものである。具体的には、前記流量測定装置８および前記処理水硬度測定装置２１は、前記主軟水装置４１と前記逆浸透膜装置５の間の前記給水ライン２に接続されている。そして、前記制御部９は前記主軟水装置４１へ再生作動指令を出力するようになっている。

また、前記第一，第二実施形態と同様に、前記主軟水装置４１をバイパスするようにして前記バイパスライン１０が、前記給水ライン２と接続されており、前記流路切替弁１１により、前記主軟水装置４１への通水と前記バイパスライン１０への通水とが切り替えられるようになっている。前記制御部９は、前記主軟水装置４１の再生作動時には、前記バイパスライン１０へ流路を切り替えるようになっている。

前記補助軟水装置４２は、イオン交換樹脂ポリッシャである。このイオン交換樹脂ポリッシャは、硬度分，すなわちカルシウムイオンおよびマグネシウムイオンの除去を、イオン交換樹脂におけるイオン交換反応によってナトリウムイオンおよびカリウムイオンなどの一価の陽イオンへ置換することにより行う非再生型の軟水装置である。前記イオン交換樹脂ポリッシャは安価であり、また前記主軟水装置４１の再生作動を行っているときにのみ負荷がかかるものであるため、頻繁に交換する必要はない。したがって、前記主軟水装置４１の再生作動時においても硬度分を除去できるシステムを低コストで実現することができる。

さて、前記純水製造システム４０では、所定間隔で測定された前記原水硬度測定装置７の測定値と前記流量測定装置８によって測定された前記主軟水装置４１における通水開始からの積算通水量との積が、前記主軟水装置４１の最大除去硬度質量に達したとき、または前記処理水硬度測定装置２１の測定値が所定値を超えたとき、前記制御部９は前記主軟水装置４１へ再生作動指令を出力し、これを受けた前記主軟水装置４１において再生作動が行われる。このとき、前記制御部９は前記流路切替弁１１へ流路切替指令を出力し、前記バイパスライン１０へ流路を切り替える。

以上説明した前記純水製造システム４０によれば、前記各実施形態と同様の効果を得ることができる上に、前記補助軟水装置４２としてイオン交換樹脂ポリッシャを使用したので、コストを抑えることができる。

以上、この発明を前記各実施形態により説明したが、この発明は、その主旨を変更しない範囲で種々変更実施可能なことは勿論である。たとえば、前記第三，第四実施形態において、前記処理水硬度測定装置２１は必ずしも設けられている必要はない。この場合、前記原水硬度測定装置７の測定値と前記各軟水装置３１，３２，４１における通水開始からの積算通水量との積が、前記各軟水装置３１，３２，４１の最大除去硬度質量に達したとき、前記制御部９が再生作動指令を出力する。

この発明に係る純水製造システムの第一実施形態を示す概略的な説明図である。 この発明に係る純水製造システムの第二実施形態を示す概略的な説明図である。 この発明に係る純水製造システムの第三実施形態を示す概略的な説明図である。 この発明に係る純水製造システムの第四実施形態を示す概略的な説明図である。

符号の説明

１，２０，３０，４０ 純水製造システム
２ 給水ライン
４ 軟水装置
５ 逆浸透膜装置
６ 電気式脱イオン装置
７ 原水硬度測定装置
８ 流量測定装置
９ 制御部
２１ 処理水硬度測定装置

Claims (3)

1. 機器への給水ラインに、軟水装置、逆浸透膜装置および電気式脱イオン装置を設けた純水製造システムであって、
   前記軟水装置の上流側の前記給水ラインに原水硬度測定装置を接続し、また前記軟水装置の下流側の前記給水ラインに流量測定装置を接続し、さらに所定間隔で測定された前記原水硬度測定装置の測定値と前記流量測定装置によって測定された前記軟水装置における通水開始からの積算通水量との積が、前記軟水装置の最大除去硬度質量に達したとき、前記軟水装置へ再生作動指令を出力する制御部を備えることを特徴とする純水製造システム。
2. 機器への給水ラインに、軟水装置、逆浸透膜装置および電気式脱イオン装置を設けた純水製造システムであって、
   前記軟水装置の上流側の前記給水ラインに原水硬度測定装置を接続し、また前記軟水装置の下流側の前記給水ラインに処理水硬度測定装置および流量測定装置を接続し、さらに所定間隔で測定された前記原水硬度測定装置の測定値と前記流量測定装置によって測定された前記軟水装置における通水開始からの積算通水量との積が、前記軟水装置の最大除去硬度質量に達したとき、または前記処理水硬度測定装置の測定値が所定値を超えたとき、前記軟水装置へ再生作動指令を出力する制御部を備えることを特徴とする純水製造システム。
3. 前記軟水装置を前記給水ラインに複数並列または直列に設けたことを特徴とする請求項１または２に記載の純水製造システム。

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