JP2008182049A - Repair device of electronic part - Google Patents
Repair device of electronic part Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008182049A JP2008182049A JP2007014366A JP2007014366A JP2008182049A JP 2008182049 A JP2008182049 A JP 2008182049A JP 2007014366 A JP2007014366 A JP 2007014366A JP 2007014366 A JP2007014366 A JP 2007014366A JP 2008182049 A JP2008182049 A JP 2008182049A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- side terminal
- terminal group
- component
- printed circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/14—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
Description
本発明は、プリント基板について接続不良や故障などの電子部品を取り外し、その取り外したのと同種の電子部品を再実装する電子部品のリペアに用いられるリペア装置に関し、特にプリント基板に実装した際に端子が隠された状態になるタイプの電子部品のリペアに好適なリペア装置に関する。 The present invention relates to a repair device used for repairing an electronic component in which an electronic component such as a connection failure or failure is removed from the printed circuit board and the electronic component of the same type as the removed one is mounted, and particularly when mounted on the printed circuit board. The present invention relates to a repair device suitable for repairing a type of electronic component in which a terminal is hidden.
近年、プリント基板はその実装密度がますます高くなってきている。これに伴い、LSI(大規模集積回路)のような高価な電子部品が多数実装され、プリント基板の単価も高価になってきている。このための実装電子部品のリペア技術の重要性が一層増してきている。電子部品のリペアは、プリント基板からリペア対象の電子部品を取り外して同種の電子部品を再実装する処理であり、実装電子部品に接続不良や回路不良などの故障を生じた場合、はんだ付け不良や接続不良の修正が困難な電子部品の実装時にはんだ付け不良などを生じた場合、あるいは電子部品実装済みのプリント基板の製品検査で異常などが見出された際にその解析をする場合などに行われる(例えば特許文献1)。 In recent years, the mounting density of printed circuit boards has been increasing. Along with this, many expensive electronic components such as LSI (Large Scale Integrated Circuit) are mounted, and the unit price of the printed circuit board is also increasing. For this reason, the importance of repair technology for mounted electronic components is increasing. Electronic component repair is the process of removing the electronic component to be repaired from the printed circuit board and re-mounting the same type of electronic component. If a failure such as a connection failure or circuit failure occurs in the mounted electronic component, Performed when a soldering failure occurs when mounting an electronic component for which it is difficult to correct a connection failure, or when an abnormality is found during product inspection of a printed circuit board on which the electronic component is mounted. (For example, Patent Document 1).
このようなリペアの対象となる電子部品として、BGA(Ball Grid Array)と呼ばれる電子部品やCSP(Chip Size Package)と呼ばれる電子部品がある。BGAは、BGAパッケージ方式でパッケージされており、バンプあるいははんだボールと呼ばれるはんだによるボール状の端子(部品側端子)がパッケージ外面に例えば格子状に配列して多数設けられ、これらの多数の部品側端子が部品側端子群を形成している。一方、CSPは、内蔵する半導体チップとほぼ同じ程度の大きさでパッケージされた電子部品であり、そのパッケージにおける端子構造はBGAパッケージ方式とされるのが一般的である。 As electronic parts to be repaired, there are electronic parts called BGA (Ball Grid Array) and electronic parts called CSP (Chip Size Package). The BGA is packaged in a BGA package system, and a large number of ball-shaped terminals (component-side terminals) made of solder called bumps or solder balls are arranged on the outer surface of the package, for example, in a lattice pattern. The terminals form a component side terminal group. On the other hand, a CSP is an electronic component packaged with a size approximately equal to that of a built-in semiconductor chip, and a terminal structure in the package is generally a BGA package type.
これらBGAやCSP(以下では、仮にBGAと総称する)のプリント基板への実装は、BGAの部品側端子群に対応するようにしてプリント基板に形成されている基板側端子群における各基板側端子にBGAの各部品側端子をはんだ付けで接合することでなされる。 The mounting of these BGAs and CSPs (hereinafter collectively referred to as BGAs) on a printed circuit board corresponds to the board-side terminals in the board-side terminal group formed on the printed circuit board so as to correspond to the BGA component-side terminal group. This is done by joining each component side terminal of the BGA by soldering.
こうしたBGAのプリント基板への実装については、BGAをプリント基板に実装する際に部品側端子群や基板側端子群がBGAによって隠された状態になることに起因する問題がある。 The mounting of the BGA on the printed circuit board has a problem caused by the component side terminal group and the board side terminal group being hidden by the BGA when the BGA is mounted on the printed circuit board.
例えば、端子位置合せ状態の直接的な確認を行えないという問題がその1つである。BGAのプリント基板への実装に際しては、端子のはんだ付けに先立って、プリント基板の実装位置にBGAを位置きめさせてBGA側各端子(部品側端子)とプリント基板側の各端子(基板側端子)の位置合せを行う。従来ではこの位置合せは、光学式カメラや人の目視によっていた。具体的には、実装対象の電子部品の輪郭などをシルク印刷などで印刷することで位置決めマークがプリント基板の実装面に形成されており、この位置決めマークにBGAの外形を光学式カメラによる画像を用いたり人の目視によったりして合せることで位置合わせを行うようにしていた。こうした位置合わせ法では、BGAによって端子が隠された状態になることから、端子の位置合せ状態を直接に確認することができない。このため端子の位置合せ精度が不十分となってしまう場合が発生する。すなわち位置決めマークは、シルク印刷などで形成されるものであることから、その精度が十分でない場合があり、そうした場合には電子部品側端子とプリント基板側端子に位置ずれを生じてしまことになるが、これを検出することができず、結果として端子の位置合せ精度が不十分となってしまう。そして端子の位置合せ精度が不十分であると、はんだ付け不良を生じる可能性が高くなってしまう。 For example, one of the problems is that the terminal alignment state cannot be directly confirmed. When mounting the BGA on the printed circuit board, prior to soldering the terminals, the BGA is positioned at the mounting position of the printed circuit board and each terminal on the BGA side (component side terminal) and each terminal on the printed circuit board (board side terminal) ). Conventionally, this alignment is performed by an optical camera or a human eye. Specifically, the positioning mark is formed on the mounting surface of the printed circuit board by printing the outline of the electronic component to be mounted by silk printing or the like, and the outer shape of the BGA is imaged by the optical camera on this positioning mark. Positioning is performed by using or visually observing. In such an alignment method, since the terminal is hidden by the BGA, the alignment state of the terminal cannot be directly confirmed. For this reason, the terminal alignment accuracy may be insufficient. In other words, since the positioning mark is formed by silk printing or the like, the accuracy may not be sufficient. In such a case, the electronic component side terminal and the printed circuit board side terminal will be misaligned. However, this cannot be detected, and as a result, the terminal alignment accuracy becomes insufficient. If the terminal alignment accuracy is insufficient, the possibility of defective soldering increases.
またはんだ付け不良への対応性の問題もある。すなわちはんだ付け不良を生じた場合に、その修正を行うことができず、リペアするかそのプリント基板を廃棄しなければならなくなるという問題である。さらに、実装後の端子のはんだ付け状態を検査することが困難であるという問題もある。 There is also a problem of compatibility with soldering defects. That is, when a soldering failure occurs, the correction cannot be performed, and the printed circuit board must be repaired or discarded. Furthermore, there is a problem that it is difficult to inspect the soldered state of the terminals after mounting.
こうした端子が隠された状態になることに起因する問題に対処する技術の一つとして、X線透視カメラで接合部の画像を取得し、その画像に基づいてはんだ付け状態の検査を行う技術が知られている(例えば特許文献2)。 As one of the technologies to cope with the problem caused by the terminal being hidden, there is a technology for acquiring an image of a joint portion with an X-ray fluoroscopic camera and inspecting a soldering state based on the image. Known (for example, Patent Document 2).
BGAなどの電子部品のリペアでは、プリント基板に局部的な熱ストレスが加わり、それによりプリント基板が劣化する。したがってリペアが繰り返されると劣化が進み、ついには高価なプリント基板を廃棄しなければならなくなる。こうしたことから、できるだけリペアの回数を少なくできるようにすることが望まれ、実際的には可能なリペアは1回程度に限られている。つまりリペア時の再実装では、はんだ付け不良の発生などを招くことのない高精度な実装が強く求められるということである。 In repairing an electronic component such as a BGA, local thermal stress is applied to the printed circuit board, thereby deteriorating the printed circuit board. Therefore, when the repair is repeated, the deterioration progresses, and finally, an expensive printed board must be discarded. For these reasons, it is desired to reduce the number of repairs as much as possible, and in reality, the number of repairs possible is limited to about one. In other words, re-mounting at the time of repair strongly demands high-precision mounting that does not cause the occurrence of soldering defects.
しかるに、BGAのような端子が隠された状態になる電子部品では、上述のように、従来の光学式カメラや人の目視による手法であると、端子の位置合せ状態を直接に確認することができないことから、端子の位置合せ精度が不十分となる場合の発生を避け難く、上記のような高精度実装要求に応えることができない。 However, in an electronic component such as a BGA in which the terminal is hidden, as described above, if the conventional optical camera or human visual method is used, the terminal alignment state can be directly confirmed. Since this is not possible, it is difficult to avoid the case where the terminal alignment accuracy becomes insufficient, and it is not possible to meet the above high-precision mounting requirements.
本発明は以上のような事情を背景になされたものであり、その課題は、BGAのような端子が隠された状態になる電子部品のリペアについて、その再実装時における電子部品側端子とプリント基板側端子の位置合せを高い精度で行え、これによりはんだ付け不良や接続不良を生じることのない信頼性の高いリペアを可能とする電子部品のリペア装置の提供にある。 The present invention has been made in the background as described above, and the problem is that the electronic component-side terminal and the printed circuit board at the time of re-mounting the repair of the electronic component in which the terminal such as BGA is hidden is printed. It is an object of the present invention to provide an electronic component repair apparatus that can perform highly accurate repair without causing poor soldering or poor connection by performing alignment of board-side terminals with high accuracy.
本発明では上記課題を解決するために、複数の部品側端子が配列されてなる部品側端子群を有する電子部品がリペア対象として取り外されることで、当該リペア対象電子部品の前記部品側端子群における端子配列に対応する配列の基板側端子による基板側端子群が残されたプリント基板に、前記リペア対象電子部品と同種の新たな電子部品である再実装電子部品を、当該再実装電子部品の部品側端子群における部品側端子の前記基板側端子群における基板側端子への接合で実装するのに用いられる電子部品のリペア装置において、前記プリント基板を保持する第1の保持手段、前記再実装電子部品を前記第1の保持手段で保持の前記プリント基板に対向させる状態にして保持する第2の保持手段、前記第1、第2の各保持手段に保持させた前記プリント基板や前記再実装電子部品の透視撮影を行う透視撮影手段、前記プリント基板における前記基板側端子群と前記再実装電子部品における部品側端子群それぞれの画像を前記透視撮影手段による撮影データから生成する端子群画像生成手段、および前記第1の保持手段に保持のプリント基板または前記第2の保持手段に保持の前記再実装電子部品の一方を他方に対して相対移動させることで前記再実装電子部品と前記プリント基板の前記対向状態での前記部品側端子群と前記基板側端子群に関する位置合せをなす際の制御を前記端子群画像生成手段で生成の基板側端子群画像と部品側端子群画像に基づいて行う位置合せ制御手段を備え、前記位置合せ制御手段による制御により位置合せをなした状態で前記第1の保持手段に保持のプリント基板または前記第2の保持手段に保持の前記再実装電子部品に前進動を行わせて前記接合をなすようにされていることを特徴としている。 In the present invention, in order to solve the above-mentioned problem, an electronic component having a component-side terminal group in which a plurality of component-side terminals are arranged is removed as a repair target, so that the repair-target electronic component in the component-side terminal group A re-mounted electronic component, which is a new electronic component of the same type as the electronic component to be repaired, is placed on the printed circuit board in which the board-side terminal group of the board-side terminals in the arrangement corresponding to the terminal arrangement is left. In an electronic component repair device used for mounting by bonding a component-side terminal in a side terminal group to a board-side terminal in the board-side terminal group, a first holding means for holding the printed circuit board, the remounted electronic Second holding means for holding the component in a state of being opposed to the printed circuit board held by the first holding means, and before the parts are held by the first and second holding means Perspective imaging means for performing fluoroscopic imaging of a printed circuit board and the remounted electronic component, and generating images of the board side terminal group on the printed circuit board and the component side terminal group on the remounted electronic component from imaging data by the fluoroscopic imaging means Terminal group image generation means, and a printed circuit board held by the first holding means or a re-mounting electronic component held by the second holding means by moving one of the re-mounting electronic components relative to the other. The board-side terminal group image and the component-side terminal group generated by the terminal group image generation means for controlling the position of the component-side terminal group and the board-side terminal group in the opposed state of the component and the printed board. An alignment control unit configured to perform image-based alignment, and the first holding unit holds a holding plate in a state in which the alignment is performed by the control of the alignment control unit. The retention in cement substrate or the second holding means to perform the forward movement in the re-mount electronic component is characterized in that it is so as to form the joint.
また本発明では上記課題を解決するために、複数の部品側端子が配列されてなる部品側端子群を有する電子部品がリペア対象として取り外されることで、当該リペア対象電子部品の前記部品側端子群における端子配列に対応する配列の基板側端子による基板側端子群が残されたプリント基板に、前記リペア対象電子部品と同種の新たな電子部品である再実装電子部品を、当該再実装電子部品の部品側端子群における部品側端子の前記基板側端子群における基板側端子への接合で実装するのに用いられる電子部品のリペア装置において、前記プリント基板や前記再実装電子部品の透視画像を取得する透視撮影手段を備え、前記透視撮影手段による撮影データから前記部品側端子群と前記基板側端子群それぞれについて生成される部品側端子群画像と基板側端子群画像に基づいて前記部品側端子群と前記基板側端子群に関する位置合せを行い、前記位置合せをなした状態で前記接合をなすようにされていることを特徴としている。 Further, in the present invention, in order to solve the above-described problem, an electronic component having a component-side terminal group in which a plurality of component-side terminals are arranged is removed as a repair target, so that the component-side terminal group of the repair-targeted electronic component is removed. A re-mounted electronic component that is a new electronic component of the same type as the electronic component to be repaired is printed on the printed circuit board in which the board-side terminal group of the board-side terminals in the arrangement corresponding to the terminal arrangement in FIG. In a repair device for an electronic component used for mounting by bonding a component-side terminal in a component-side terminal group to a substrate-side terminal in the board-side terminal group, a fluoroscopic image of the printed circuit board or the remounted electronic component is acquired. A component-side terminal group image that is generated for each of the component-side terminal group and the board-side terminal group from imaging data obtained by the fluoroscopic imaging unit. And based on the substrate side terminal group image performs alignment for said substrate-side terminals and the component side terminal group is characterized in that it is to form the joint in a state in which none of the alignment.
このように、透視撮影手段による撮影データから基板側端子群画像と部品側端子群画像を取得し、これらの端子群画像に基づいて部品側端子群と基板側端子群の位置合せを行うようにしたことにより、高精度な位置合せが可能となり、これによりはんだ付け不良や接続不良を生じることのない信頼性の高いリペアが可能となる。 In this way, the board-side terminal group image and the component-side terminal group image are acquired from the photographing data obtained by the fluoroscopic photographing means, and the component-side terminal group and the board-side terminal group are aligned based on these terminal group images. As a result, high-accuracy alignment is possible, thereby enabling highly reliable repair without causing soldering failure or connection failure.
上記のような電子部品のリペア装置における透視撮影手段は、前記プリント基板や前記電子部品に向けてX線を照射するX線照射手段、および前記X線照射手段で照射されて前記プリント基板や前記電子部品を透過したX線を検出するX線検出手段を含む構成とすることができる。このように透視撮影をX線で行う構成とすることで、より鮮明な端子群画像とすることができ、部品側端子群と基板側端子群の位置合せをより高精度なものとすることができる。 The fluoroscopic imaging means in the electronic component repair device as described above includes X-ray irradiation means for irradiating the printed circuit board and the electronic component with X-rays, and the printed circuit board and the electronic device irradiated with the X-ray irradiation means. An X-ray detection means for detecting X-rays transmitted through the electronic component can be included. By adopting a configuration in which fluoroscopic imaging is performed with X-rays in this way, a clearer terminal group image can be obtained, and the component side terminal group and the board side terminal group can be more accurately aligned. it can.
上記のような電子部品のリペア装置については、前記接合実装時における前記再実装電子部品の前記プリント基板への接合状態の画像を前記撮影手段による撮影データから生成する接合状態画像生成手段、および前記接合状態画像生成手段で生成した接合状態画像に基づいて前記再実装電子部品の前記プリント基板への接合状態を調整する接合状態調整手段をさらに備える構成とすることができる。このようにすることで、透視撮影手段の機能をより有効に活用することができ、リペアの信頼性をより高めることができる。 For the electronic device repair device as described above, a bonding state image generation unit that generates an image of a bonding state of the re-mounted electronic component to the printed circuit board at the time of the bonding mounting from the shooting data by the shooting unit, and the It can be set as the structure further equipped with the joining state adjustment means which adjusts the joining state to the said printed circuit board of the said remounting electronic component based on the joining state image produced | generated by the joining state image generation means. By doing in this way, the function of a fluoroscopic imaging means can be utilized more effectively and the reliability of repair can be improved more.
上記のような電子部品のリペア装置については、前記接合状態画像に基づいて前記再実装電子部品の前記プリント基板への接合実装の完了を判定する実装完了判定手段をさらに備える構成とすることができる。このようにすることで、透視撮影手段の機能をさらに一層有効に活用することができ、リペアの信頼性をさらに一層高めることができる。 The electronic component repair apparatus as described above may further include a mounting completion determination unit that determines completion of bonding and mounting of the remounted electronic component to the printed circuit board based on the bonding state image. . By doing in this way, the function of a fluoroscopic imaging means can be utilized still more effectively, and the reliability of repair can be improved further.
上記のような本発明によれば、BGAのような端子が隠された状態になる電子部品のリペアについて、その再実装時における電子部品側端子とプリント基板側端子の位置合せを高い精度で行え、これによりはんだ付け不良や接続不良を生じることのない信頼性の高いリペアが可能となる。 According to the present invention as described above, the electronic component side terminal and the printed circuit board side terminal can be aligned with high accuracy when the electronic component is repaired in a state where the terminal such as the BGA is hidden. This makes it possible to perform a repair with high reliability without causing soldering failure or connection failure.
以下、本発明を実施するための形態について説明する。図1に第1の実施形態による電子部品のリペア装置の構成を模式化して示す。本実施形態の電子部品のリペア装置1は、リペア作業部2、制御部3および表示部4を備えている。
Hereinafter, modes for carrying out the present invention will be described. FIG. 1 schematically shows the configuration of an electronic component repair device according to the first embodiment. An electronic
リペア作業部2は、X線遮断性の高い材料で函状に形成されたカバー体11の内部に、XYテーブル12、電子部品保持具13、X線撮影手段14、電子部品加熱ノズル15、および予備加熱ヒータ16を設けた構成とされている。
The
XYテーブル12は、プリント基板17を保持する第1の保持手段であり、水平状態を基本状態とするテーブル部18を有している。テーブル部18は、図2に模式化して示すように、X、Y、Zの各方向について、進退動と回転動を行えるようにされ、これらの動作によりプリント基板17を3次元的に自由に動かすことができるようにされている。またテーブル部18は、その下面に反り防止部材19が取り付けられることで反りの発生を抑制できるようにされている。つまり、後述のような局部的加熱でプリント基板17に生じようとする反りを反り防止部材19により抑制できるようにされている。
The XY table 12 is a first holding unit that holds the printed
電子部品保持具13は、電子部品21を保持する第2の保持手段であり、駆動機構22により図2に示すような進退動(図の状態での昇降動)と回転動を行えるようにされている。この電子部品保持具13は、後述のようにして電子部品21をプリント基板17に実装(再実装)する際に、XYテーブル12で保持のプリント基板17に対向させる状態にして電子部品21を保持し、その保持状態で必要時に電子部品21をプリント基板17に対して前進(下降)させて押接させるのに機能し、また後述のようにしてプリント基板17から電子部品21を取り外す際に、電子部品21を保持して後退(上昇)することでプリント基板17から引き離すのにも機能する。
The
ここで、電子部品21は、例えばBGAであり、ボール状のはんだで形成された部品側端子23がパッケージ外面に図3の(a)の例のような格子状配列などで多数設けられ、これらの多数の部品側端子23が部品側端子群24を形成している。またプリント基板17には、部品側端子群24に対応する基板側端子群25(図3の(b))が形成されている。基板側端子群25は、はんだによる基板側端子26を部品側端子23の配列に対応させて配列することで形成されている。なお図1や図3では、電子部品21の実装に先立って各基板側端子26にはんだペースト27を施した場合として示してある。
Here, the
X線撮影手段14は、透視撮影手段であり、X線照射手段であるX線照射器28とX線検出手段であるX線カメラ29を含む。そしてX線照射器28がプリント基板17や電子部品21に向けてX線30を照射し、これによりプリント基板17や電子部品21を透過したX線30をX線カメラ29が受光して撮影データを出力する。
The
電子部品加熱ノズル15は、電子部品加熱手段であり、電子部品21のプリント基板17への実装時やプリント基板17からの電子部品21の取外し時に、図示を省略の熱風発生源から供給される熱風を電子部品21に吹き付けて全体的に加熱することで部品側端子23や基板側端子26のはんだを溶融させる。
The electronic
予備加熱ヒータ16は、予備加熱手段であり、電子部品21のプリント基板17への実装時やプリント基板17からの電子部品21の取外し時に、プリント基板17を予備的に加熱する。この予備的加熱は、電子部品加熱ノズル15による電子部品21の加熱に伴うプリント基板17の局部的な加熱でプリント基板17に反りが発生するのを抑制するためにプリント基板17を全体的に加熱する処理であり、基板側端子26が溶融することのない範囲の加熱とされる。
The preheating
制御部3は、端子群画像生成手段31、位置合せ制御手段32、接合状態画像生成手段33、接合状態調整手段34、実装完了判定手段35、XYテーブル制御手段36、電子部品保持具制御手段37、加熱制御手段38、およびX線照射制御手段39を備えており、リペア作業部2におけるリペア作業を制御する。
The control unit 3 includes a terminal group
端子群画像生成手段31は、X線カメラ29が出力する撮影データから端子群画像を生成する。端子群画像生成手段31が生成する端子群画像には、部品側端子群24の画像である部品側端子群画像41a(図4の(a))と基板側端子群25の画像である基板側端子群画像41b(図4の(b))がある。これら端子群画像41a、41bは、撮影データに所定の処理を施して端子像42(部品側端子像42a、基板側端子像42b)を撮影データから抽出することで生成される。その端子群画像生成処理の一例について図5に処理の流れを示す。この例の処理は、撮影データの取得処理(ステップ101)、2値化処理(ステップ102)、膨張・収縮処理(ステップ103)、ラベリング処理(ステップ104)、テンプレートマッチング処理(ステップ105)および端子像の抽出処理(ステップ106)の各処理を含む。これらの処理は、画像処理分野で周知であるので、その詳細については説明を省略する。
The terminal group
位置合せ制御手段32は、電子部品保持具13が保持している電子部品21の部品側端子群24に対しプリント基板17の基板側端子群25をXYテーブル12の動作で位置合せする際の制御を行う。その位置合せ制御では、位置合せ制御データを生成し、これをXYテーブル制御手段36に送る。具体的には、図6に示すように、まず部品側端子群画像41aにおける各部品側端子像42aと基板側端子群画像41bにおける各基板側端子像42bの個々について重心43a、重心43bを求める。それから図7に示すように、重心43aと重心43bを重ならせる状態に位置合せするのに必要なプリント基板17の移動ベクトル(移動方向と移動量)を求める。この処理は、全ての端子像42(部品側端子像42a、基板側端子像42b)について行うか、または適切な基準で選んだいくつかについて行う。このような処理により位置合せ制御データが生成されるので、その位置合せ制御データを位置合せ制御指令としてXYテーブル制御手段36に送る。するとXYテーブル制御手段36は、位置合せ制御指令に基づいた周知のサーボ制御方向などによりXYテーブル12を動作させ、これにより部品側端子群24に対する基板側端子群25の高精度な位置合せがなされる。
The alignment control means 32 controls the alignment of the board-
ここで、本実施形態では位置合せ制御データを生成するについて、部品側端子像42aや基板側端子像42bの個々について求める重心を位置合せ指標とするようにしているが、このような端子別重心手法によることは必ずしも必要でない。例えば部品側端子群24と基板側端子群25それぞれの重心を位置合せ指標とする手法、あるいは部品側端子群24と基板側端子群25それぞれについて求める輪郭を位置合せ指標とする手法などであってもよい。ただ、端子別重心手法は、部品側端子23や基板側端子26の検査も可能とする。すなわち端子別重心手法にあって端子像42の全てについて個々に重心位置合せを行うことにより、その個々の重心位置合せについて例えば平均移動ベクトルを求めることができる。そして平均移動ベクトルが求まれば、この平均移動ベクトルと個々の移動ベクトルの偏差を求めてそれを所定の閾値と比較することで、部品側端子23や基板側端子26の位置不良やサイズ不良などのような実装不良に結びつく不良の検出が可能となる。こうした検査を実装に先立って行うことにより、無駄なリペア実装を事前に避けることができ、この点において端子別重心手法は有効性が高いものとなる。
Here, in this embodiment, for generating the alignment control data, the center of gravity obtained for each of the component-
接合状態画像生成手段33は、リペア実装のための接合処理開始後の接合状態、具体的にははんだ付け状態についての画像である接合状態画像をX線カメラ29の撮影データから生成する。その接合状態画像は、図8に示す例について説明すると、部品側端子23と基板側端子26の溶融接合で形成されつつある接合過程端子44による接合過程端子群45の画像であり、X線カメラ29の撮影データから上述の端子群画像の場合と同様な処理で生成される。
The joining state
接合状態調整手段34は、接合状態画像生成手段33から提供される接合状態画像に基づいて接合状態を判定し、その結果に応じて接合状態調整制御データを生成する。生成された接合状態調整制御データは、接合状態調整制御指令としてXYテーブル制御手段36や電子部品保持具制御手段37に送られる。そしてXYテーブル制御手段36や電子部品保持具制御手段37は、接合状態調整制御指令に基づいた周知のサーボ制御などによりXYテーブル12や電子部品保持具13の駆動機構22を動作させ、これにより電子部品21とプリント基板17の間の位置関係や対向角度関係が調整されることで、はんだ付け不良やはんだブリッジなどの発生を効果的に防止することができる。
The joining
図8〜図11に接合状態画像の例を部分的に拡大して誇張した状態にして示す。図8は、はんだブリッジが発生する可能性の高くなっている状態での接合状態画像である。接合状態調整手段34は、接合状態画像について、接合過程端子44同士の間隔wと接合過程端子44のサイズsについて常にデータを接合過程端子44ごとに取得するとともに、その取得した間隔データやサイズデータを所定のブリッジ間隔閾値やブリッジサイズ閾値と比較している。そして間隔wがブリッジ間隔閾値以下になったり、サイズsがブリッジサイズ閾値以上になったりした場合、接合状態調整手段34は、はんだブリッジ発生状態と判定するとともに、この状態ではんだブリッジの発生を避けるのに必要なXYテーブル12や電子部品保持具13の駆動機構22の動作についての接合状態調整制御データを生成し、それを接合状態調整制御指令としてXYテーブル制御手段36や電子部品保持具制御手段37に送る。
FIG. 8 to FIG. 11 show examples of the joining state images partially enlarged and exaggerated. FIG. 8 is a bonding state image in a state where the possibility that a solder bridge is generated is high. The joining state adjusting means 34 always obtains data for each joining
図9は、部品側端子23と基板側端子26のはんだが十分に接合しない状態であるはんだ未接合が発生する可能性の高くなっている状態での接合状態画像である。この場合も上述のブリッジ発生状態の場合と同様の処理を接合状態調整手段34が行い、間隔wが未接合間隔閾値以上になったり、サイズsが未接合サイズ閾値以下であったりした場合、接合状態調整手段34は、はんだ未接合発生状態と判定するとともに、この状態でははんだ未接合の発生を避けるのに必要なXYテーブル12や電子部品保持具13の駆動機構22の動作についての接合状態調整制御データを生成し、それを接合状態調整制御指令としてXYテーブル制御手段36や電子部品保持具制御手段37に送る。
FIG. 9 is a bonding state image in a state where there is a high possibility that solder unbonding, which is a state where the solder of the
図10は、電子部品21に図10の(b)のような傾きがあることではんだブリッジが発生する可能性の高くなっている状態での接合状態画像である。この場合も図8のブリッジ発生状態の場合と同様の処理を接合状態調整手段34が行い、間隔wがブリッジ間隔閾値以下になったり、サイズsがブリッジサイズ閾値以上になったりした場合、接合状態調整手段34は、はんだブリッジ発生状態と判定するとともに、この状態ではんだブリッジの発生を避けるのに必要なXYテーブル12や電子部品保持具13の駆動機構22の動作についての接合状態調整制御データを生成し、それを接合状態調整制御指令としてXYテーブル制御手段36や電子部品保持具制御手段37に送る。
FIG. 10 is a bonding state image in a state where there is a high possibility that a solder bridge is generated due to the inclination of the
図11は、電子部品21に図11の(b)のような傾きがあることではんだ未接合が発生する可能性の高くなっている状態での接合状態画像である。この場合も図8のブリッジ発生状態の場合と同様の処理を接合状態調整手段34が行い、間隔wが未接合間隔閾値以上になったり、サイズsが未接合サイズ閾値以下であったりした場合、接合状態調整手段34は、はんだ未接合発生状態と判定するとともに、この状態でははんだ未接合の発生を避けるのに必要なXYテーブル12や電子部品保持具13の駆動機構22の動作についての接合状態調整制御データを生成し、それを接合状態調整制御指令としてXYテーブル制御手段36や電子部品保持具制御手段37に送る。
FIG. 11 is a bonding state image in a state where there is a high possibility that solder unbonding occurs due to the inclination of the
実装完了判定手段35は、接合状態画像生成手段33から提供される接合状態画像に基づいて電子部品21のプリント基板17への接合実装の完了を判定する。図12の(a)に示す端子群画像における例えば部品側端子23の状態から実装が開始されて部品側端子23と基板側端子26の溶融接合が進むと、図12の(b)に示すような接合状態画像となってくる。実装完了判定手段35は、この接合状態画像について、接合状態調整手段34と同様に間隔wとサイズsを常時検出しており、図12の(b)におけるように、接合過程端子44のサイズsが全ての接合過程端子44について例えば実装完了閾値以上となり、しかも上記のようなはんだブリッジ状態やはんだ未接合状態などが現れていないことを条件に実装完了と判定する。
The mounting
XYテーブル制御手段36は、上述のような位置合せ制御手段32からの位置合せ制御指令や接合状態調整手段34からの接合状態調整制御指令を受けてXYテーブル12の動作を制御する。またXYテーブル制御手段36は、マニュアルによる入力を受けてXYテーブル12の動作を制御することもできるようにされている。
The XY
電子部品保持具制御手段37は、上述のような接合状態調整手段34からの接合状態調整制御指令を受けて駆動機構22による電子部品保持具13の動作を制御する。また電子部品保持具制御手段37は、マニュアルによる入力を受けて電子部品保持具13の動作を制御することもできるようにされている。
The electronic component holder control means 37 receives the joining state adjustment control command from the joining state adjustment means 34 as described above, and controls the operation of the
加熱制御手段38は、予め設定されている加熱スケジュールなどに基づいて電子部品加熱ノズル15や予備加熱ヒータ16を制御し、それにより電子部品21のプリント基板17からの取外しや電子部品21のプリント基板17への実装に最適な加熱状態を実現する。
The heating control means 38 controls the electronic
X線照射制御手段39は、リペア作業の進行に応じて必要となる電子部品21やプリント基板17の撮影のタイミングに合せてX線30を照射させるようにX線照射器28を制御する。
The X-ray irradiation control means 39 controls the
表示部4は、端子群画像や接合状態画像などの表示に用いられる。そしてこの表示部4に表示される端子群画像や接合状態画像などを参照することで作業員によるマニュアル操作を行うことも可能となる。 The display unit 4 is used for displaying a terminal group image, a bonding state image, and the like. A manual operation by an operator can be performed by referring to a terminal group image, a bonding state image, or the like displayed on the display unit 4.
以下では上述のようなリペア装置1でなされるリペア作業について説明する。まずプリント基板からリペア対象の電子部品を取り外す作業について説明する。図1の状態は、プリント基板17から取り外した電子部品21を電子部品保持具13が保持している状態とする。この状態に至る前に、まずプリント基板17に電子部品21が実装されている状態で予備加熱ヒータ16によるプリント基板17の予備加熱がなされる。それからプリント基板17に実装状態の電子部品21を電子部品加熱ノズル15で加熱することにより、互いに接合しているプリント基板17の基板側端子26と電子部品21の部品側端子23のはんだを溶融させる。この際にプリント基板17は、局部的な加熱を受けて反りを生じようとするが、その反りは反り防止部材19により抑制される。はんだの溶融が十分に進んだら、電子部品保持具13を下降させて電子部品21を保持し、それから電子部品保持具13を上昇させて電子部品21をプリント基板17から引き離す。この引離しを終えたら、プリント基板17に残されている基板側端子群のはんだを除去するなど、必要な後処理を行い、取外し完了となる。
Below, the repair operation | work done with the
次に、電子部品の再実装作業について説明する。図1の状態は、上述のようにしてリペア対象の電子部品の取外しを行った後に再実装用の電子部品21を電子部品保持具13が保持させた状態であるとする。この状態、つまり電子部品保持具13で保持の電子部品21とXYテーブル12で保持のプリント基板17が対向する状態で、X線照射器28にX線30を照射させて端子群画像を取得する。その処理は上述のようにしてなされ、図4の例のような部品側端子群画像41aと基板側端子群画像41bが取得される。
Next, electronic component remounting work will be described. The state in FIG. 1 is a state in which the
端子群画像が得られたら、それに基づいて部品側端子23と基板側端子26の位置合せを行う。その端子位置合せは、上述のように、位置合せ制御手段32が端子群画像に基づいて位置合せ制御指令データを生成してこれを位置合せ制御指令としてXYテーブル制御手段36に送り、これを受けてXYテーブル制御手段36がXYテーブル12を動作させることによりなされる。
When the terminal group image is obtained, the
ここで、位置合せ制御指令データの生成過程で得られるデータ(移動ベクトルデータ)は、上述のように、部品側端子23や基板側端子26の検査にも使うことができる。そこで、上記の端子位置合せに先立って、電子部品21やプリント基板17について部品側端子23や基板側端子26の不良を検査するようにしてもよい。そうした検査を行う場合には、部品側端子23に不良があれば、電子部品21を交換することになり、また基板側端子26に不良があれば、当該プリント基板17についてのリペア作業を終了する。
Here, the data (movement vector data) obtained in the process of generating the alignment control command data can be used for the inspection of the
端子位置合せを終えたら電子部品21の実装を行うことになるが、それに先立って位置合せ精度の確認を行うようにしてもよい。位置合せ精度の確認は、端子位置合せを終えた状態で端子群画像を取得し、その端子群画像に基づいて行うことができる。
When the terminal alignment is completed, the
電子部品21の実装処理では、プリント基板17を予備加熱した後に電子部品21を電子部品加熱ノズル15で加熱し、それから電子部品21を電子部品保持具13で下降させてプリント基板17に押接させる。その加熱処理は、上述のように、電子部品加熱ノズル15から熱風を吹き付けることで電子部品21を全体的に加熱するようにしてなし、部品側端子群24における各部品側端子23のはんだが均一的に溶融するような所定のはんだ溶融状態とする。
In the mounting process of the
こうした加熱処理は、例えば電子部品加熱ノズル15による加熱時間を設定することで所定のはんだ溶融状態を得るようにして進めることもできるが、好ましくは、はんだ溶融状態画像を取得し、それに基づいてはんだ溶融状態を判定しながら進めるようにする。この場合のはんだ溶融状態画像の取得やそれに基づくはんだ溶融状態の判定は、上述の接合状態画像の取得やそれに基づく接合状態の判定に準じた処理として行うことができる。
Such a heat treatment can be carried out so as to obtain a predetermined solder melting state by setting a heating time by the electronic
上述のようにして電子部品21がプリント基板17に押接させられて部品側端子23と基板側端子26の接合が進み始めたら、上述のような接合状態の調整を行う。そして最後に上述のような実装完了判定を行い、完了と判定されたら当該電子部品21についてのリペア作業は終了となる。
When the
以上のように、X線撮影手段14による撮影データから部品側端子群画像41aと基板側端子群画像41bを取得し、これらの端子群画像に基づいて部品側端子群24と基板側端子群25の位置合せを行うようにしたことにより、高精度な位置合せが可能となり、これによりはんだ付け不良や接続不良を生じることのない信頼性の高いリペアが可能となる。
As described above, the component-side
図13に、第2の実施形態によるリペア装置のリペア作業部の構成を示す。本実施形態におけるリペア作業部50は、基本的には第1の実施形態のリペア装置1におけるリペア作業部2と同じである。相違しているのは、X線撮影手段14を電子部品保持具13で保持の電子部品21やXYテーブル12で保持のプリント基板17に対して回転させることができるようにしていることである。このようにすることにより、電子部品21やプリント基板17を多様な角度で撮影することができ、接合状態の判定などをより高い精度で行えるようになる。この他の構成については、第1の実施形態におけるリペア作業部2と同じなので、図1と共通の符号を付し、それらについては上での説明を援用する。
FIG. 13 shows the configuration of the repair work unit of the repair device according to the second embodiment. The
以上、本発明を実施するための形態について説明したが、これらは代表的な例に過ぎず、本発明は、その趣旨を逸脱することのない範囲で様々な形態で実施することができる。例えば上記の実施形態では、端子群画像生成手段31を独立に設けていたが、これに代えて端子群画像生成機能を位置合せ制御手段32に組み込むようにしてもよい。このことは、接合状態画像生成手段33と接合状態調整手段34についてもいえる。また例えば上記の実施形態では、実装完了判定手段35を独立に設けていたが、これに代えて接合状態調整手段34に実装完了判定機能を含めるようにしてもよい。
As mentioned above, although the form for implementing this invention was demonstrated, these are only typical examples, This invention can be implemented with various forms in the range which does not deviate from the meaning. For example, in the above embodiment, the terminal group
1 リペア装置
12 XYテーブル(第1の保持手段)
13 電子部品保持具(第2の保持手段)
14 X線撮影手段(透視撮影手段)
17 プリント基板
21 電子部品
23 部品側端子
24 部品側端子群
25 基板側端子群
26 基板側端子
28 X線照射器(X線照射手段)
29 X線カメラ(X線検出手段)
30 X線
31 端子群画像生成手段
32 位置合せ制御手段
33 接合状態画像生成手段
34 接合状態調整手段
35 実装完了判定手段
41a 部品側端子群画像
41b 基板側端子群画像
1
13 Electronic component holder (second holding means)
14 X-ray imaging means (perspective imaging means)
17 Printed
29 X-ray camera (X-ray detection means)
30
Claims (5)
前記プリント基板を保持する第1の保持手段、
前記再実装電子部品を前記第1の保持手段で保持の前記プリント基板に対向させる状態にして保持する第2の保持手段、
前記第1、第2の各保持手段に保持させた前記プリント基板や前記再実装電子部品の透視撮影を行う透視撮影手段、
前記プリント基板における前記基板側端子群と前記再実装電子部品における部品側端子群それぞれの画像を前記透視撮影手段による撮影データから生成する端子群画像生成手段、および
前記第1の保持手段に保持のプリント基板または前記第2の保持手段に保持の前記再実装電子部品の一方を他方に対して相対移動させることで前記再実装電子部品と前記プリント基板の前記対向状態での前記部品側端子群と前記基板側端子群に関する位置合せをなす際の制御を前記端子群画像生成手段で生成の基板側端子群画像と部品側端子群画像に基づいて行う位置合せ制御手段を備え、
前記位置合せ制御手段による制御により位置合せをなした状態で前記第1の保持手段に保持のプリント基板または前記第2の保持手段に保持の前記再実装電子部品に前進動を行わせて前記接合をなすようにされていることを特徴とする電子部品のリペア装置。 By removing an electronic component having a component-side terminal group in which a plurality of component-side terminals are arranged as a repair target, the board-side terminals of the array corresponding to the terminal arrangement in the component-side terminal group of the repair-target electronic component A re-mounted electronic component that is a new electronic component of the same type as the electronic component to be repaired is printed on the printed circuit board on which the board-side terminal group remains, and the board side of the component-side terminal in the component-side terminal group of the re-mounted electronic component In the repair device for electronic components used for mounting by bonding to the board side terminal in the terminal group,
First holding means for holding the printed circuit board;
Second holding means for holding the remounted electronic component in a state of being opposed to the printed circuit board held by the first holding means;
Fluoroscopic imaging means for performing fluoroscopic imaging of the printed circuit board and the re-mounted electronic component held by the first and second holding means;
A terminal group image generation means for generating images of the board side terminal group on the printed circuit board and a component side terminal group on the re-mounted electronic component from image data obtained by the fluoroscopic imaging means; and the first holding means The re-mounted electronic component and the component-side terminal group in the opposed state of the printed circuit board by moving one of the re-mounted electronic components held on the printed board or the second holding means relative to the other, Positioning control means for performing control when making the alignment for the board side terminal group based on the board side terminal group image and the component side terminal group image generated by the terminal group image generation means,
In the state in which the alignment is performed by the control by the alignment control unit, the printed circuit board held by the first holding unit or the re-mounted electronic component held by the second holding unit is caused to move forward to perform the joining. An electronic component repair device characterized by comprising:
前記プリント基板や前記再実装電子部品の透視画像を取得する透視撮影手段を備え、前記透視撮影手段による撮影データから前記部品側端子群と前記基板側端子群それぞれについて生成される部品側端子群画像と基板側端子群画像に基づいて前記部品側端子群と前記基板側端子群に関する位置合せを行い、前記位置合せをなした状態で前記接合をなすようにされていることを特徴とする電子部品のリペア装置。 By removing an electronic component having a component-side terminal group in which a plurality of component-side terminals are arranged as a repair target, the board-side terminals of the array corresponding to the terminal arrangement in the component-side terminal group of the repair-target electronic component A re-mounted electronic component that is a new electronic component of the same type as the electronic component to be repaired is printed on the printed circuit board on which the board-side terminal group remains, and the board side of the component-side terminal in the component-side terminal group of the re-mounted electronic component In the repair device for electronic components used for mounting by bonding to the board side terminal in the terminal group,
A component-side terminal group image generated for each of the component-side terminal group and the substrate-side terminal group from imaging data obtained by the fluoroscopic imaging unit, comprising a fluoroscopic imaging unit that acquires a fluoroscopic image of the printed circuit board and the remounted electronic component And the board side terminal group image, the electronic component is configured to perform alignment with respect to the component side terminal group and the board side terminal group, and to perform the bonding in the aligned state. Repair device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007014366A JP4738356B2 (en) | 2007-01-24 | 2007-01-24 | Electronic component repair device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007014366A JP4738356B2 (en) | 2007-01-24 | 2007-01-24 | Electronic component repair device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008182049A true JP2008182049A (en) | 2008-08-07 |
JP4738356B2 JP4738356B2 (en) | 2011-08-03 |
Family
ID=39725710
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007014366A Expired - Fee Related JP4738356B2 (en) | 2007-01-24 | 2007-01-24 | Electronic component repair device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4738356B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010261835A (en) * | 2009-05-08 | 2010-11-18 | Shimadzu Corp | X-ray inspection apparatus, and heating apparatus for the same |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03175647A (en) * | 1989-12-04 | 1991-07-30 | Hitachi Ltd | Semiconductor manufacturing apparatus |
JP2000260804A (en) * | 1999-03-03 | 2000-09-22 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | Semiconductor structure and manufacture thereof |
JP2003149173A (en) * | 2001-11-09 | 2003-05-21 | Tohken Co Ltd | X-ray examining device having function of heating examining object |
JP2004340973A (en) * | 2003-05-15 | 2004-12-02 | Samsung Electronics Co Ltd | Real-time monitoring system in jointing process, and method therefor |
JP2005353712A (en) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Okuhara Electric Inc | Soldering equipment including radioscopy camera |
JP2006165402A (en) * | 2004-12-09 | 2006-06-22 | Toyota Motor Corp | Soldering equipment and soldering method |
-
2007
- 2007-01-24 JP JP2007014366A patent/JP4738356B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03175647A (en) * | 1989-12-04 | 1991-07-30 | Hitachi Ltd | Semiconductor manufacturing apparatus |
JP2000260804A (en) * | 1999-03-03 | 2000-09-22 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | Semiconductor structure and manufacture thereof |
JP2003149173A (en) * | 2001-11-09 | 2003-05-21 | Tohken Co Ltd | X-ray examining device having function of heating examining object |
JP2004340973A (en) * | 2003-05-15 | 2004-12-02 | Samsung Electronics Co Ltd | Real-time monitoring system in jointing process, and method therefor |
JP2005353712A (en) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Okuhara Electric Inc | Soldering equipment including radioscopy camera |
JP2006165402A (en) * | 2004-12-09 | 2006-06-22 | Toyota Motor Corp | Soldering equipment and soldering method |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010261835A (en) * | 2009-05-08 | 2010-11-18 | Shimadzu Corp | X-ray inspection apparatus, and heating apparatus for the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4738356B2 (en) | 2011-08-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6823103B2 (en) | Mounting method and mounting device | |
JP4816194B2 (en) | Electronic component mounting system, electronic component mounting apparatus, and electronic component mounting method | |
KR101369700B1 (en) | Thin-film pattern forming apparatus, thin-film pattern forming method, and adjusting method of the apparatus | |
JP2007287779A (en) | System and method for mounting electronic component, and mounted state inspection apparatus | |
KR20170019061A (en) | Probe Bonding Device and Probe Bonding Method Using the Same | |
JP2011216503A (en) | Soldering method, method for manufacturing mounting substrate and soldering apparatus | |
JP2007134406A (en) | Printing solder inspection apparatus | |
JPWO2006118018A1 (en) | Flip chip mounting deviation inspection method and mounting apparatus | |
CN113937020A (en) | Laser compression bonding apparatus and method for semiconductor chips | |
JP4738356B2 (en) | Electronic component repair device | |
JPH08162455A (en) | Spherical electrode forming method and device | |
JP2010212394A (en) | Method and apparatus for inspecting component mounting substrate and component mounting apparatus | |
JPH05251897A (en) | Apparatus for mounting parts | |
CN113508652B (en) | Component mounting device, component mounting method, mounting board manufacturing system, mounting board manufacturing method, and mounted component inspection device | |
JPH06140799A (en) | Component mounting method | |
JP2004146776A (en) | Machine and method for mounting flip-chip | |
JP2003309139A (en) | Bump formation method and method and apparatus for repair | |
JP3065750B2 (en) | Soldering inspection correction device | |
JP2023051804A (en) | Mounting device | |
KR102510457B1 (en) | Apparatus and method for surface mounting | |
KR101090131B1 (en) | Fpcb bonding system using laser and method of bonding fpcb | |
CN109219339B (en) | Component mounting device and storage medium | |
JP2008235471A (en) | Method and apparatus for recovering poorly mounted solder ball, and bump forming method | |
JP3173338B2 (en) | How to repair defective bumps | |
JP2010212527A (en) | Bonding method and bonding device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081118 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101130 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110131 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110426 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |