JP2008170153A - Macro inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えば液晶ディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ(FPD)のガラス基板などの基板面上に照射角度を変えて照明光を照射して欠陥部を検査するマクロ検査装置に関する。 The present invention relates to a macro inspection apparatus that inspects a defective portion by irradiating illumination light on a substrate surface such as a glass substrate of a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display at different irradiation angles.
例えば液晶ディスプレイのガラス基板のマクロ検査は、ガラス基板面上に観察用のマクロ照明光を照射し、ガラス基板面上からの反射光の変化を目視により観察し、ガラス基板面上に生じているパターンの傷や欠け、基板表面上の膜圧むらやダストの付着を検出する。 For example, a macro inspection of a glass substrate of a liquid crystal display is generated on the glass substrate surface by irradiating macro illumination light for observation on the glass substrate surface and visually observing a change in reflected light from the glass substrate surface. Detects scratches and chips on the pattern, uneven film pressure on the substrate surface, and dust adhesion.
ガラス基板面上には、例えばライン状又は縦横比の異なる長方形状のパターンが規則性を持って形成されている。具体的には、例えば縦横比の異なる長方形状のTFT(thin film trasistor)が格子状に規則正しく形成されている。このように規則性のあるTFTパターンに対してマクロ照明光の入射方向を変えると、パターンからの回折光によりパターン発生した欠陥部の見え方が変わる。例えば、マクロ照明光の入射方向に対してパターンを90°回転させると、長方形状のTFTパターン上の欠陥からの反射条件、例えば散乱光や回折光の発生条件が変わる。これにより、TFTパターンや配線パターンに対してマクロ照明光の入射方向を変えると、パターンの長手方向から照射したマクロ照明光では観察されなかったガラス基板面上の欠陥部がパターンの長手方向と直交する方向からマクロ照明光を照射することにより観察できるようになる。液晶ディスプレイ用のマザーガラス基板は、生産性を高めるために多面取りの基板を用いているが、例えば多面取り基板の一部のパターンが90°向きを変えて形成されていることがある。このような多面取りのマザーガラス基板は、マクロ照明光の入射方向に対して90°に回転させることによりパターン方向の異なる多面取り基板を良好に観察することができる。 On the glass substrate surface, for example, a linear pattern or a rectangular pattern having a different aspect ratio is formed with regularity. Specifically, for example, rectangular TFTs (thin film transformers) having different aspect ratios are regularly formed in a lattice shape. When the incident direction of the macro illumination light is changed with respect to the regular TFT pattern in this manner, the appearance of the defect portion where the pattern is generated is changed by the diffracted light from the pattern. For example, when the pattern is rotated by 90 ° with respect to the incident direction of the macro illumination light, the reflection conditions from defects on the rectangular TFT pattern, for example, the generation conditions of scattered light and diffracted light are changed. As a result, when the incident direction of the macro illumination light is changed with respect to the TFT pattern or the wiring pattern, the defect portion on the glass substrate surface that is not observed with the macro illumination light irradiated from the longitudinal direction of the pattern is orthogonal to the longitudinal direction of the pattern. It becomes possible to observe by irradiating the macro illumination light from the direction to do. As a mother glass substrate for a liquid crystal display, a multi-chamfer substrate is used in order to increase productivity. For example, a part of the pattern of the multi-chamfer substrate may be formed by changing the orientation by 90 °. Such a multi-sided mother glass substrate can be favorably observed by rotating it at 90 ° with respect to the incident direction of the macro illumination light.
特許文献1は、複数の円弧状の開口部を同心円状に形成したホルダ本体上に液晶ディスプレイ等のガラス基板を載置し、回転機構の各リフトピンを円弧状の各開口部を通すことによりガラス基板をホルダ本体の上方に持ち上げ、この状態で各リフトピンを介してガラス基板を略90°回転させ、この後に各リフトピンを下降させてガラス基板をホルダ本体上に再度載置するホルダ装置が開示されている。
液晶ディスプレイを多面取りで製造するマザーガラス基板は、半導体製造の技術の進歩と共に大型化が進み、例えば一辺が2000×3000mmを超える大型サイズが出現している。このような大型ガラス基板のマクロ検査を行うのに特許文献1のホルダ装置を用いるとすれば、検査者が目視観察し易い角度に基板ホルダ本体を立ち上げた状態でマクロ照明光を照射してマクロ検査を行い、次に基板ホルダ本体を水平な状態まで戻した後、基板ホルダ本体上に吸着保持された大型ガラス基板の吸着を解除し、各リフトピンにより支持して上方に持ち上げて略90°回転させ、この後に各リフトピンを下降させてガラス基板をホルダ本体上に載置し、吸着保持した後、再び基板ホルダ本体を目視観察に適した角度に立ち上げた状態でマクロ照明光を大型ガラス基板に照射してマクロ検査を行うことになる。
A mother glass substrate for manufacturing a liquid crystal display by multi-cavity has been increased in size with the progress of semiconductor manufacturing technology. For example, a large size having a side exceeding 2000 × 3000 mm has appeared. If the holder apparatus of
このため、大型ガラス基板を90°回転させて目視観察するためには、大型で重量のあるホルダ本体を回転させる回転機構が大型化するばかりでなく、ホルダ本体を水平状態に戻して大型ガラス基板を略90°回転しなければならないために時間がかかる。タクトタイムを出来るだけ小さくしたい液晶ディスプレイのガラス基板の製造工程では、ガラス基板を製造した後に欠陥検査を行う一連の工程があり、欠陥検査に要する時間も短縮したい要求がある。しかしながら、特許文献1では、ホルダ本体を水平位置まで戻した後に大型ガラス基板を持ち上げて略90°回転させてからホルダ本体上に載置し、再度、ホルダ本体を目視観察のために立ち上げる目視検査には不要な時間がかかり、検査タクトタイムの大きな損失となっている。
For this reason, in order to rotate the large glass substrate 90 ° for visual observation, not only the rotating mechanism for rotating the large and heavy holder main body is enlarged, but also the holder main body is returned to the horizontal state to obtain a large glass substrate. Takes approximately 90 ° to rotate. In the manufacturing process of a glass substrate of a liquid crystal display where the tact time is desired to be as small as possible, there is a series of processes for performing defect inspection after manufacturing the glass substrate, and there is a demand for reducing the time required for defect inspection. However, in
本発明は、基板を保持し検査者の目視視察に適した所定の角度に回動可能なホルダ本体と、ホルダ本体を所定の角度に回動させた状想で、基板に対して斜め上方の照肘方向と、斜め上方の照射方向に対して左側または右側に回転した照射方向とから照明光を照射する照明系とを備えたマクロ検査装置である。 The present invention is a holder body that holds a substrate and can be rotated to a predetermined angle suitable for an inspector's visual inspection, and a concept in which the holder body is rotated to a predetermined angle. It is a macro inspection apparatus provided with the illumination system which irradiates illumination light from an illuminating elbow direction and the irradiation direction rotated to the left or the right side with respect to the obliquely upward irradiation direction.
本発明によれば、基板に対する照明光の照射方向の切り替えを短時間で行うことができるマクロ検査装置を提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the macro inspection apparatus which can switch the irradiation direction of the illumination light with respect to a board | substrate in a short time can be provided.
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
図1乃至図3はマクロ検査装置の構成図であって、図1は正面図、図2は上面図、図3は側面図である。ホルダ本体1上には、例えばFPD基板として液晶ディスプレイを多面取りするガラス基板2が載置されている。このガラス基板2は、図4に示すように縦横比の異なる長方形状のTFT3が格子状に複数規則正しく形成されている。ホルダ本体1は、図3に示すように検査者が目視で観察する観察位置Cとなる検査装置の正面側に向って矢印A方向に揺動可能に設けられている。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
1 to 3 are configuration diagrams of a macro inspection apparatus, in which FIG. 1 is a front view, FIG. 2 is a top view, and FIG. 3 is a side view. On the holder
第1の照明系4は、ホルダ本体1の上方に配置されている。この第1の照明系4は、検査者の目視観察に適した所定の角度に立ち上げられたホルダ本体1に保持されたガラス基板2に対しての斜め上方の照射方向から第1の照明光をガラス基板2の面上に照射する。この第1の照明系4は、光束を放射する例えばメタルハライドランプ、ナトリウムランプ、蛍光灯などの第1の光源5と、この第1の光源5から放射された照明光(光束)を収束させて第1の照明光としてガラス基板2の面上に照射するフレネルレンズ等からなる第1の収束レンズ6とを有する。
The
これら第1の光源5と第1の収束レンズ6とは、ホルダ本体1上に載置されたガラス基板2に対する光軸(入射光軸)Q1上に一列に配置されている。本実施の形態では、第1の照明系4の光軸Q1を図3に示すように下方に垂直に設けてあるが、検査装置の正面側に対して前後方向に傾斜させてもよい。又、図5に示すように第1の収束レンズ6の後側焦点距離か長い場合には、反射ミラー30で照明光路を折り曲げることも可能である。
The
第1の照明系4は、例えば図3に示すようにホルダ本体1が傾斜している状態で、第1の光源5から発した第1の照明光を光軸Q1に沿って第1の収束レンズ6を通してガラス基板2に対して斜め上方の照明方向I1から照射する。第1の収束レンズ6で収束された第1の照明光は、図5に示すように検査者の観察位置Cに向くようにガラス基板2上で反射される。このときの第1の照明光の照射方向I1は、図4に示すように例えばTFT3の長手方向と平行である。
又、検査者は、第1の照明光がガラス基板2の面上に照射したときの反射光が検査者の観察位置Cに向くように、ホルダ本体1の傾き角度を調整する。このとき、検査者は、ガラス基板2上で反射した収束光の外側からガラス基板2上の欠陥部を良好に観察し易い角度に立ち上げる。なお、ガラス基板2の面上からの反射光が検査者の観察位置Cに到達するためには、第1の照明光を光軸Q1の傾き角度とホルダ本体1の傾斜角度とを相互に調整してもよく、検査者の背の高さ(身長)に応じてホルダ本体1の傾斜角度を予め設定してもよい。
Further, the inspector adjusts the tilt angle of the
図1に示すようにホルダ本体1の正面側に対して左右両側には、それぞれ左側の第2の照明系(以下、左側照明系と称する)7と右側の第2の照明系(以下、右側照明系と称する)8とが配置されている。左側照明系7は、目視観察と易い所定の角度に回動されたホルダ本体1の左側の斜め上方に設けられている。この左側照明系7は、光束を放射する例えばメタルハライドランプ、ナトリウムランプ、蛍光灯などの第2の左側光源9と、この第2の左側光源9から放射された光束を集光して第2の左側照明光として左側斜め上方からガラス基板2の面上に照射する左側の第2の左側収束レンズ10とを有し、光軸Q2上に一列に配置されている。
As shown in FIG. 1, a left second illumination system (hereinafter referred to as a left illumination system) 7 and a right second illumination system (hereinafter referred to as a right side) are respectively provided on the left and right sides with respect to the front side of the
左側照明系7は、図3に示すようにホルダ本体1が傾斜している状態で、第2の左側照明光を光軸Q2に沿って左斜め上方からガラス基板2の左側面内に照射する。このときの第2の左側照明光は、図4に示すように例えばTFT3の長手方向と直交する左側斜め上方の照射方向I2から入射する。すなわち、第2の左側照明光の照射方向I2は、第1の照明系4により第1の照明光をガラス基板2の面上に照射する照射方向I1に対してガラス基板2の入射角度が略同じになるようにして左側方向に所定の角度回転、例えば略90°回転させた方向である。
右側照明系8は、ホルダ本体1の右側の斜め上方に設けられた点を除いて左側照明系7と同様である。第2の右側光源11と第2の右側収束レンズ12とは、光軸Q3上に一列に配置されている。
右側照明系8は、図3に示すようにホルダ本体1が傾斜している状態で、第2の右側照明光を光軸Q3に沿って右斜め上方からガラス基板2の右側面内に照射する。このときの第2の右側照明光の照射方向I3は、図4に示すように第1の照明系4により第1の照明光をガラス基板2上のパターンに照射する照射方向I1に対して右側方向に略90°回転させた方向である。
The
第1の照明系4の第1の光源5、左側照明系7の左側光源9、右側照明系8の右側光源11は、いずれか1つが点灯されていればよく、他の2つも必要に応じて点灯することも可能である。
図5はマクロ検査装置の第1の照明系4の具体的な構成図を示す。なお、図1と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。検査装置本体20内には、ベース21が設けられている。このベース21上には、ホルダ本体1を備えた基板支持台22が設けられている。ホルダ本体1は、基板支持台22上で矢印A方向に回動可能であり、かつ検査者が観察に適した所定の傾斜角度に係止させることが可能である。ベース21上には、ミクロ検査用として顕微鏡ユニットを門型アーム(ガントリー)に搭載した顕微鏡装置23が矢印B方向に移動可能に設けられている。
Any one of the
FIG. 5 shows a specific configuration diagram of the
検査装置本体20の上部には、第1の照明系4として光源カバー25内に収納された第1の光源5を備える光源ユニット24が配置されている。第1の光源5から放射される光束L1の光路上には、熱線吸収フィルタ26、調光ユニット27及びフィルタ28が設けられている。
光源ユニット24から放射される光束L1の光路上には、取付け枠29に固定された反射ミラー30が配置されている。この反射ミラー30は、その反射方向が下方のガラス基板2に向くように光束L1の光路に対して傾斜するように設けられている。この反射ミラー30は、光源ユニット24から放射された光束L1を光軸Q1上に沿って斜め下方に反射する折り返し光路を構成するもので、ガラス基板2の大型化に適用するために折り返し光路を採用している。
A
On the optical path of the light beam L1 emitted from the
第1の収束レンズ6は、第1のフレネルレンズ31、第2のフレネルレンズ32及び液晶散乱板33を有する。第1のフレネルレンズ31は、第1の光源5から出射された照明光を平行光束に成形するものである。第2のフレネルレンズ32は、第1のフレネルレンズ31で平行光束に成形された照明光を収束し、第1の照明光L1としてホルダ本体1上のガラス基板2の面上に対してパターンの長手方向と平行となる上方向からパターンエッジからの回折光や欠陥部からの散乱光が発生し易い入射角度で照射する。液晶散乱板33は、通常、光を透過しない散乱状態にあり、電圧印加により光透過状態になる。光源ユニット24は、液晶散乱板33を散乱状態にすることで面光源として使用し、透過状態にすることで収束光源として使用する。
The first converging
図6は左側照明系7及び右側照明系8の具体的な構成図である。なお、左側照明系7及び右側照明系8は、同一構成を有するので、一方の左側照明系7について説明する。第2の照明系である左側照明系7(右側照明系8)の各光源ユニット40は、光源カバー41内に収納された左側光源9(右側光源11)を備える。各光源ユニット40は、左側光源9(右側光源11)から放射される各光束L2の光路上には、熱線吸収フィルタ42、調光ユニット43及びフィルタ44が設けられている。
FIG. 6 is a specific configuration diagram of the left
各光源ユニット40から放射される光束L2の光路上には、取付け枠45に固定された反射ミラー46が配置されている。反射ミラー46は、その反射方向が第1の照明系の光軸Q1に対して左右方向に略90°回転した方向から下方のガラス基板2に向くように光束L2の光路に対して傾斜するように設けられている。これら反射ミラー46は、各光源ユニット40から放射された各光束L2をそれぞれ各光軸Q2、Q3上に沿って斜め下方に反射する折り返し光路を構成する。
On the optical path of the light beam L2 radiated from each
各第2の収束レンズ10、12は、それぞれ第1のフレネルレンズ47、第2のフレネルレンズ48及び液晶散乱板49を有する。第1のフレネルレンズ47は、左側光源9(右側光源11)から出射された照明光を平行光束に成形させるものである。第2のフレネルレンズ48は、第1のフレネルレンズ47で平行光束に成形された照明光を収束し、第2の照明光L2としてホルダ本体1上のガラス基板2の面上に対してパターンの長手方向と直交する左側上方(右側上方)からパターンエッジからの回折光や欠陥部からの散乱光が発生し易い入射角度でそれぞれ照射する。液晶散乱板49は、第1の照明系4の散乱板33と同じである。
Each of the second converging
照明切換部50は、第1の照明系4の第1の光源5、左側照明系7の左側光源9を点灯制御するもので、検査条件に応じて第1の光源5、左側光源9又は右側光源11のいずれか1つを点灯制御したり、第1の光源5と左側光源9、第1の光源5と右側光源11、左側光源9と右側光源11のいずれかの組み合わせで点灯制御する。
The illumination switching unit 50 controls the lighting of the first
次に、上記の如く構成された装置の動作について説明する。
第1の照明系4の第1の光源5が照明切換部50によって点灯されると、この第1の光源5から放射された光束L1は、反射ミラー30で斜め下方に反射される。この反射ミラー30で反射された光束L1は、第1のフレネルレンズ31及び第2のフレネルレンズ32により収束され、液晶散乱板33を通って第1の照明光L1としてホルダ本体1上のガラス基板2の上方向から所定の入射角度で照射される。これにより、ガラス基板2は、第1の照明光L1の収束光によって例えば図4に示すようにTFT3の例えば長手方向と平行な照射方向I1から照明される。
Next, the operation of the apparatus configured as described above will be described.
When the first
このとき、ホルダ本体1は、図3に示すように検査装置の正面側(検査者側)に向って検査者が目視観察し易い角度まで矢印A方向に回動させて起き上がらせる。ホルダ本体1が所定の傾斜角度に停止して保持されたとき、ホルダ本体1上のガラス基板2が第1の照明光L1の光束によりマクロ照明される。このときのガラス基板2の面上からの散乱光や回折光等の反射光は、検査者の観察位置Cに到達する。検査者は、観察位置Cにおいてガラス基板2の面上からの反射光の変化を目視観察し、ガラス基板2の面上に露光機により形成されたパターンのみだれによる傷、欠けなどの欠陥、パターンの膜厚むらやガラス基板2上に付着したダストなどの欠陥を検出する。
At this time, as shown in FIG. 3, the holder
照明切換部50によって第1の照明系4の第1の光源5が消灯され、左側照明系7の左側光源9が点灯されると、この左側光源9から放射された光束L2は、反射ミラー46に入射し、第1のフレネルレンズ47及び第2のフレネルレンズ48と、液晶散乱板49を通って第2の照明光L2としてホルダ本体1上のガラス基板2を左側斜め上方から照射する。これにより、第2の照明光L2は、例えば図4に示すようにTFT3の長手方向と直交する第1の照明系4の照射方向I1に対して左側方向に略90°回転した照射方向I2から第2の照明光L2により照明される。
The illumination switching unit 50 is the first
このように第1の照明系4から第2の照明系7に切り換えることによりTFTパターンに対して照明光の入射角度を90°変えることができ、第1の照明系4の照明方向では観察できなかったガラス基板2の面上の欠陥が観察できるようになる。
照明切換部50によって左側照明系7の左側光源9が消灯され、右側照明系8の右側光源11が点灯されると、第2の照明光L2がホルダ本体1上のガラス基板2を右側斜め上方から照射される。これにより、第2の照明光L2は、例えば図4に示すようにTFT3に対する第1の照明系4の照射方向I1に対して右側方向に略90°回転した照射方向I3から第2の照明光L2を照明する。
By switching from the
By the illumination switching unit 50 is turned off the left
このように配列方向に規則性のあるTFTパターンに対して照明光の入射方向を90°変えてガラス基板2を目視観察することにより、ある特定の照射方向I1からの第1の照明光L1により観察できなかったガラス基板2の面上の方向性のある欠陥からの回折条件や散乱条件が変わり良好に検出することが可能になる。
In this way, by visually observing the
このように上記第1の実施の形態によれば、ホルダ本体1の略真上に配置された第1の照明系4に対してホルダ本体1の左右両側に第2の照明系として左側照明系7と右側照明系8とを配置することで、従来のようにガラス基板2をホルダ45上で回転させたり、ホルダ本体1自体を回転させることなく、第1の光源5と左側光源9、右側光源11とを点灯、消灯するだけで、ガラス基板2面上に例えば0°、45°、90°と異なる方向に形成されたTFT3や配線パターンに対して異なる照射角度、例えば照射方向I1と、この照射方向I1に対して左側又は右側の方向に略90°回転した各照射方向I2、I3に照明光を短時間に切り換えることができる。これにより、異なる方向のパターンに対して各照射方向I1、I2、I3からそれぞれ照明光を照射することにより、パターン上の欠陥からの反射条件、例えば散乱光や回折光の発生条件を変えて、ガラス基板2面上の欠陥部の検査精度を向上させることができると共に、各照明光源5、9、11を点灯、消灯制御するだけで高速でガラス基板2に対する照射方向をでき、液晶ディスプレイのガラス基板2の製造工程での検査タクトタイムを短縮できる。
As described above, according to the first embodiment, the left illumination system as the second illumination system on both the left and right sides of the
又、各照射方向I1、I2、I3で照射したときのガラス基板2で反射した収束光は、全て検鏡者の観察位置Cに到達するので、検査者は、観察位置Cを変えることなく同一観察位置Cでガラス基板2を目視観察することができる。
ガラス基板2は、又は所定の角度に立ち上げられたホルダ本体1上に位置決めされた状態で固定保持されるため、従来のようにガラス基板2をホルダ本体1から持ち上げて回転させるものと比べてガラス基板2を位置決めした位置からずれることはなく、照射方向I1と略90°回転させた各照射方向I2、I3との照明により検出した各欠陥部の各座標に誤差が生じることがない。
Further, since all the convergent light reflected by the
Since the
次に、本発明の第2の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図1と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
図7はマクロ検査装置の構成図である。このマクロ検査装置は、第1の実施の形態に記載された左側光源9及び右側光源11を省き、第1の光源5を第1の照明系4の光軸Q1上と左側照明系7の光軸Q2上と右側照明系8の光軸Q3上との間に移動可能に設けたものである。第1の光源5の移動機構60は、例えば各光軸Q1、Q2、Q3間に敷設された軌道と、この軌道上を移動可能なステージとを有し、このステージ上に第1の光源5を設ける。他の構成は、第1の実施の形態と同じである。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
FIG. 7 is a block diagram of the macro inspection apparatus. In this macro inspection apparatus, the left
第1の照明系4から照明光をガラス基板2上に照射するときは、移動機構60によって第1の光源5が第1の照明系4の光軸Q1上に設けられる。左側照明系7から照明光をガラス基板2上に照射するときは、移動機構60によって第1の光源5が左側照明系7の光軸Q2上に設けられる。右側照明系8から照明光をガラス基板2上に照射するときは、移動機構60によって第1の光源5が右側照明系8の光軸Q3上に設けられる。
このように上記第2の実施の形態によれば、上述の第1の実施の形態と同様の効果を奏することが出来る。第1の光源5を第2の照明系の光源として流用することにより構成を簡略化することが出来る。
When the illumination light is irradiated onto the
As described above, according to the second embodiment, the same effects as those of the first embodiment described above can be obtained. The configuration can be simplified by diverting the first
次に、本発明の第3の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図1と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
図8はマクロ検査装置の構成図である。このマクロ検査装置は、第2の実施の形態と同様に左側光源9及び右側光源11を省き、第2の照明系7、8の各光軸Q2、Q3上とにそれぞれ第1の折返しミラー61、62を設け、第1の光源5を第1と第2の折返しミラー61、62に向くように回動可能に設けたものである。第1の折返しミラー61は、左側照明系7の光軸Q2上に設けられ、第1の光源5からの第1の照明光を光軸Q2上に折り曲げる。第1の折返しミラー62は、右側照明系8の光軸Q3上に設けられ、第1の光源5からの第1の照明光を光軸Q3上に折り曲げる。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
FIG. 8 is a configuration diagram of the macro inspection apparatus. In this macro inspection apparatus, the left
なお、第1の光源5は、図示しない自転機構により矢印D方向に自転可能とし、第1の光源5から放射される光束L1の出射方向を第1の照明系4の光軸Q1の方向と、第1の折返しミラー61の設置された方向E1と、第1の折返しミラー62の設置された方向E2とに変更可能である。
第1の照明系4から照明光をガラス基板2上に照射するときは、第1の光源5から放射された光束L1を第1の照明系4の光軸Q1上に沿って伝播させ、第1の収束レンズ6を通して第1の照明光としてガラス基板2面上に照射する。
左側照明系7から照明光をガラス基板2上に照射するときは、例えば第1の光源5を回転させて光束L1の伝播方向を第1の折返しミラー61の設置された方向E1に設定する。第1の光源5から放射された光束L1は、第1の折り返しミラー61で反射し、さらに第2の折り返しミラー46で反射して左側照明系7の光軸Q2上に沿って伝播し、第2の照明光L2としてホルダ本体1上のガラス基板2を左側斜め上方から照射する。
The first
When irradiating the illumination light on the
When irradiated from the left
右側照明系8から照明光をガラス基板2上に照射するときは、例えば第1の光源5を回転させて光束L1の伝播方向を第2の折返しミラー52の設置された方向E2に設定する。第1の光源5から放射された光束L1は、第1の折り返しミラー61で反射し、さらに第2の折り返しミラー46で反射して右側照明系8の光軸Q3上に沿って伝播し、第2の照明光L2としてホルダ本体1上のガラス基板2における右側半面を右側斜め上方から照射する。
When irradiated from the right
このように上記第3の実施の形態においても上記第2の実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。なお、第1の折返しミラー61、62に限らず、複数の折返しミラーを設け、これら折返しミラーによって液晶ディスプレイのガラス基板2やその他の検査対象に形成されたパターンの方向に応じて欠陥部を観察しやすい傾斜角度で照明光をガラス基板2等の検査対象に照射するようにしてもよい。
As described above, also in the third embodiment, the same operational effects as those in the second embodiment can be obtained. In addition, not only the first folding mirrors 61 and 62 but also a plurality of folding mirrors are provided, and the defective parts are observed according to the direction of the pattern formed on the
なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されるものではなく、各種変形してもよい。例えば、照明系は、第1の光源を複数備えるようにしてもよい。
ガラス基板2面上に照射する照明光の照射方向は、第1の照明系の照射方向I1に対して左側又は右側略90°回転させた各照射方向I2又はI3とに限らず、液晶ディスプレイのガラス基板2やその他の検査対象に形成されたパターンの方向に応じて少なくとも第1の照明系4の照射方向I1に対して第2の照明系7、8の照射方向I2又はI3を90°の回転範囲内に設定してもよい。
The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications may be made. For example, the illumination system may include a plurality of first light sources.
The irradiation direction of the illumination light irradiated on the surface of the
第2の照明系として左側照明系7及び右側照明系8を設けているが、これら左側照明系7と右側照明系8とのうちいずれか一方のみを設ける構成としてもよい。この構成であっても、一つの照射方向だけでは観察されなかったガラス基板2面上の欠陥部を検査することができる。
Although the
又、上記各実施の形態では、第1の照明系と第2の照明系とを別体にしたが、光束を放射する光源と、この光源から放射された照明光を収束させる収束レンズとを一つのユニットに構成する。この照明系を第1の照明系の光軸Q1に相当する基板に対して斜め上方の照射方向と、第2の照明系の光軸Q2又はQ3に相当する斜め上方の照射方向に対して左側又は右側に回転した照射方向との間に移動可能に設けてもよい。 In each of the above embodiments, the first illumination system and the second illumination system are separated. However, a light source that emits a light beam and a converging lens that converges the illumination light emitted from the light source are provided. Configure as one unit. The irradiation direction of obliquely upward with respect to the substrate corresponding to the illumination system to the optical axis to Q 1 first illumination system, the irradiation direction of obliquely upward, which corresponds to the optical axis Q 2 or Q 3 of the second illumination system On the other hand, it may be provided so as to be movable between the irradiation direction rotated to the left or right.
1:ホルダ本体、2:ガラス基板、3:TFT、4:第1の照明系、5:第1の光源、6:第1の収束レンズ、30:反射ミラー、7:第2の照明系(左側照明系)、8:右側の第2の照明系(右側照明系)、9:第2の左側光源、10:第2の左側収束レンズ、11:第2の右側光源、12:第2の右側収束レンズ、20:検査装置本体、21:ベース、22:基板支持台、23:顕微鏡装置、25:光源カバー、24:光源ユニット、26:熱線吸収フィルタ、27:調光ユニット、28:フィルタ、29:取付け枠、31:第1のフレネルレンズ、32:第2のフレネルレンズ、33:液晶散乱板、40:光源ユニット、41:光源カバー、42:熱線吸収フィルタ、43:調光ユニット、44:フィルタ、45:取付け枠、46:反射ミラー、47:第1のフレネルレンズ、48:第2のフレネルレンズ、49:液晶散乱板、50:照明切換部、60:移動機構、61,62:折返しミラー。 1: holder body, 2: glass substrate, 3: TFT, 4: first illumination system, 5: first light source, 6: first focusing lens, 30: reflection mirror, 7: second illumination system ( Left illumination system), 8: second illumination system on the right side (right illumination system), 9: second left light source, 10: second left convergence lens, 11: second right light source, 12: second Right convergence lens, 20: inspection device main body, 21: base, 22: substrate support, 23: microscope device, 25: light source cover, 24: light source unit, 26: heat ray absorption filter, 27: light control unit, 28: filter , 29: mounting frame, 31: first Fresnel lens, 32: second Fresnel lens, 33: liquid crystal scattering plate, 40: light source unit, 41: light source cover, 42: heat ray absorption filter, 43: light control unit, 44: Filter, 45: Mounting frame, 46: Anti Mirror, 47: first Fresnel lens, 48: second Fresnel lens, 49: liquid crystal scattering plate, 50: Lighting switching unit, 60: moving mechanism, 61 and 62: a folding mirror.
Claims (7)
前記ホルダ本体を前記所定の角度に回動させた状想で、前記基板に対して斜め上方の照肘方向と、前記斜め上方の照射方向に対して左側または右側に回転した照射方向とから照明光を照射する照明系とを、
備えたことを特徴とするマクロ検査装置。 A holder body that holds the substrate and can be rotated to a predetermined angle suitable for an inspector's visual inspection;
Illuminating from the direction of the illuminator obliquely upward with respect to the substrate and the irradiation direction rotated to the left or right with respect to the irradiation direction obliquely upward, with the idea of rotating the holder body at the predetermined angle An illumination system that emits light,
A macro inspection apparatus characterized by comprising.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007000672A JP2008170153A (en) | 2007-01-05 | 2007-01-05 | Macro inspection device |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010043897A (en) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Koito Mfg Co Ltd | Foreign matter inspection device and foreign matter inspection method for vehicular lamp |
CN106680289A (en) * | 2017-01-25 | 2017-05-17 | 江苏东旭亿泰智能装备有限公司 | Macroscopic inspection system for glass substrate |
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2007
- 2007-01-05 JP JP2007000672A patent/JP2008170153A/en not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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