JP2008164513A - Measuring period determining method, icp emission spectrometer analyzer and program - Google Patents

Measuring period determining method, icp emission spectrometer analyzer and program Download PDF

Info

Publication number
JP2008164513A
JP2008164513A JP2006356212A JP2006356212A JP2008164513A JP 2008164513 A JP2008164513 A JP 2008164513A JP 2006356212 A JP2006356212 A JP 2006356212A JP 2006356212 A JP2006356212 A JP 2006356212A JP 2008164513 A JP2008164513 A JP 2008164513A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
emission intensity
determination
determining
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006356212A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoru Tanaka
悟 田中
Hidehiro Daidoji
英弘 大道寺
Satoko Ishihara
聡子 石原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Horiba Ltd
Original Assignee
Horiba Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Horiba Ltd filed Critical Horiba Ltd
Priority to JP2006356212A priority Critical patent/JP2008164513A/en
Publication of JP2008164513A publication Critical patent/JP2008164513A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a measuring period determinating method more accurately determinating the measuring period of a sample, an ICP emission spectrometer, and a program that makes the ICP emission spectrometer to function. <P>SOLUTION: The input part 83 of the ICP emission analyzer 1 receives the input a monitor element and a central control part 8 acquires the emission intensity related to the received element via a detector 12. The measuring period of the sample is determined on the basis of the acquired emission intensity. The washing completion period of a sample is determined, on the basis of the emission intensities acquired after the measuring period of the sample is determined. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、試料中の元素の発光強度を測定するICP発光分析装置による試料の測定時期を判別する測定時期判別方法、ICP発光分析装置、及び該ICP発光分析装置を機能させるためのプログラムに関する。   The present invention relates to a measurement timing discriminating method for discriminating the measurement timing of a sample by an ICP emission analyzer that measures the emission intensity of an element in the sample, an ICP emission analyzer, and a program for causing the ICP emission analyzer to function.

高周波誘導結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma:ICP)を光源とする元素分析装置が知られている。高周波誘導結合プラズマは高周波誘導によって発生するプラズマである。ICP光源は、一般に、プラズマトーチと呼ばれる石英管に誘導コイルを巻き付けて高周波電流(例えば、27.12MHz)を流して誘導電場を発生させ、プラズマトーチ内にアルゴンガスを導入することによりプラズマを形成する。このプラズマ内には、霧状の試料がアルゴンのキャリヤーガスにより送り込まれる。   An elemental analyzer using a high frequency inductively coupled plasma (ICP) as a light source is known. High frequency inductively coupled plasma is plasma generated by high frequency induction. An ICP light source generally forms a plasma by winding an induction coil around a quartz tube called a plasma torch to flow a high-frequency current (for example, 27.12 MHz) to generate an induction electric field and introducing argon gas into the plasma torch. To do. A mist-like sample is fed into the plasma by an argon carrier gas.

プラズマの温度は、通常、数千度から一万度であるため、ここで試料中の元素に固有の波長において発光が起こる。これらの発光スペクトルは回折格子またはプリズム等を備える分光器により目的波長の光が選びだされ、例えば光電子増倍管等によって発光強度が測定される。通常は、一つの波長について数秒から数分間にわたり発光強度の測定が行われ、得られた値がデータ処理部で濃度等に換算される(例えば、特許文献1参照)。   Since the temperature of the plasma is usually several thousand degrees to 10,000 degrees, light emission occurs at a wavelength specific to the element in the sample. In these emission spectra, light having a target wavelength is selected by a spectroscope including a diffraction grating or a prism, and the emission intensity is measured by, for example, a photomultiplier tube. Usually, emission intensity is measured for several seconds to several minutes for one wavelength, and the obtained value is converted into a concentration or the like by a data processing unit (see, for example, Patent Document 1).

ところで試料を分析するための重要な項目として安定時間があげられる。安定時間には例えば電源の安定時間、プラズマの安定時間及び試料交換時の安定時間が存在する。試料はこの安定時間の経過後に分析される。安定時間のうち電源の安定時間及びプラズマの安定時間は装置固有の条件及び設置環境により定量的に定めることができる。   By the way, stabilization time is an important item for analyzing a sample. The stabilization time includes, for example, the stabilization time of the power source, the stabilization time of plasma, and the stabilization time at the time of sample exchange. Samples are analyzed after this stabilization time. Among the stabilization times, the stabilization time of the power source and the stabilization time of the plasma can be determined quantitatively according to the conditions and installation environment specific to the apparatus.

従来、試料交換時の安定時間については、試料が入れられた容器へ導入管を移し替える際に混入する空気が、プラズマトーチに到達する時間と、霧化される試料の霧の密度が一定になる時間とを、経験的に把握しているにすぎなかった。すなわち、従来は試料導入後、当該試料がプラズマトーチに到達するまでの時間を経験的に把握しておき、その時間をもって試料交換時の安定時間として分析を開始しているにすぎなかった。   Conventionally, regarding the stable time at the time of sample exchange, the time that the air mixed in when transferring the introduction tube to the container containing the sample reaches the plasma torch and the fog density of the atomized sample are constant. It was only empirically grasping the time to become. That is, conventionally, after the sample was introduced, the time until the sample reached the plasma torch was empirically grasped, and the analysis was only started as the stable time at the time of sample replacement.

また、試料の測定を終え、次の試料を測定する場合、蒸留水により装置内の洗浄が行われる。装置内の汚染防止及び測定精度を向上させるべく装置内は十分に洗浄する必要があるところ、従来は経験的に洗浄が終了したと判断し、その後次の試料を導入していた。
特開平8−145892号公報
When the measurement of the sample is completed and the next sample is measured, the inside of the apparatus is cleaned with distilled water. In order to prevent contamination in the apparatus and improve the measurement accuracy, the apparatus needs to be thoroughly cleaned. Conventionally, it has been empirically determined that the cleaning has been completed, and then the next sample has been introduced.
Japanese Patent Laid-Open No. 8-145892

しかしながら、従来の方法は試料交換時の安定時間を経験的に決めているにすぎず、正確とはいえなかった。すなわち、測定開始の時期に明確な基準がないという問題があった。特に、導入される試料が少量である場合、測定開始時期の遅れにより、試料を十分に分析できないという問題が発生する。   However, the conventional method has only empirically determined the stabilization time at the time of exchanging samples, and has not been accurate. That is, there is a problem that there is no clear standard at the start of measurement. In particular, when a small amount of sample is introduced, there is a problem that the sample cannot be sufficiently analyzed due to a delay in measurement start timing.

また、従来は洗浄終了時期を経験的に判別していたため、洗浄が完全に終了していないにもかかわらず、次の試料が導入される場合があり、装置内の汚染の発生及び未洗浄試料の蓄積による計測誤差の発生を招来していた。特に試料中にメモリ作用の大きい水銀またはホウ素が存在する場合には、その影響が大きい。   In addition, since the cleaning end time has been determined empirically in the past, the next sample may be introduced even though the cleaning has not been completed completely. The measurement error due to the accumulation of was invited. In particular, when mercury or boron having a large memory action is present in the sample, the influence is great.

本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、モニターする元素の入力を受け付け、この受け付けた元素に係る発光強度に基づいて試料の測定時期を判別することにより、より精度良く試料の測定時期を判別することが可能な測定時期判別方法、ICP発光分析装置、及び該ICP発光分析装置を機能させるためのプログラムを提供することにある。   The present invention has been made in view of such circumstances, and its purpose is to receive an input of an element to be monitored, and to determine the measurement timing of a sample based on the emission intensity related to the received element, thereby making it more accurate. An object of the present invention is to provide a measurement timing discriminating method capable of discriminating the measurement timing of a sample, an ICP emission analyzer, and a program for causing the ICP emission analyzer to function.

本発明の他の目的は、試料の測定時期を判別した後の、取得した発光強度に基づいて試料の洗浄終了時期を判別することにより、容易に試料の洗浄終了時期を判別でき、その後速やかに次の試料を測定することが可能な測定時期判別方法等を提供することにある。   Another object of the present invention is to determine the cleaning end time of the sample based on the obtained emission intensity after determining the measurement time of the sample, so that it is possible to easily determine the cleaning end time of the sample, and then quickly. An object of the present invention is to provide a measurement time determination method capable of measuring the next sample.

本発明の他の目的は、モニターする元素の入力を受け付ける前に、分光器から出力される各元素に対応する発光強度に基づき、試料の組成を分析することにより、試料中の元素を特定し、試料中の1または複数の元素をモニターする元素として受け付けることにより当該元素の測定時期を判別することが可能な測定時期判別方法等を提供することにある。   Another object of the present invention is to identify the element in the sample by analyzing the composition of the sample based on the emission intensity corresponding to each element output from the spectrometer before receiving the input of the element to be monitored. Another object of the present invention is to provide a measurement time discriminating method capable of discriminating the measurement time of an element by receiving one or more elements in a sample as an element to be monitored.

本発明に係る測定時期判別方法は、試料中の元素の発光強度を測定するICP発光分析装置による試料の測定時期を判別する測定時期判別方法において、モニターする元素の入力を受け付ける受け付けステップと、該受け付けステップにより受け付けた元素に係る発光強度を取得する取得ステップと、該取得ステップにより取得した発光強度に基づいて試料の測定時期を判別する判別ステップとを備えることを特徴とする。   The measuring time discriminating method according to the present invention is a measuring time discriminating method for discriminating the measuring time of a sample by an ICP emission spectrometer that measures the luminescence intensity of the element in the sample. An acquisition step of acquiring luminescence intensity related to the element received in the reception step, and a determination step of determining the measurement timing of the sample based on the luminescence intensity acquired in the acquisition step are provided.

本発明に係る測定時期判別方法は、前記判別ステップにより試料の測定時期を判別した後の、前記取得ステップにより取得した発光強度に基づいて試料の洗浄終了時期を判別する終了時期判別ステップをさらに備えることを特徴とする。   The measurement timing determination method according to the present invention further includes an end timing determination step of determining the cleaning end timing of the sample based on the emission intensity acquired by the acquisition step after determining the measurement timing of the sample by the determination step. It is characterized by that.

本発明に係る測定時期判別方法は、前記判別ステップは、前記取得ステップにより取得した発光強度の時間的変化が所定値より大きいか否かを判断する変化判別ステップと、該変化判別ステップにより前記所定値より大きいと判断した場合に、前記取得ステップにより取得した発光強度の時間的変化が所定範囲内であるか否かを判別する範囲判別ステップと、該範囲判別ステップにより所定範囲内であると判別した場合に、試料の測定時期であると判別するステップとを備えることを特徴とする。   In the measurement timing determination method according to the present invention, the determination step includes a change determination step for determining whether or not a temporal change in the emission intensity acquired in the acquisition step is greater than a predetermined value, and the predetermined determination by the change determination step. A range determination step for determining whether or not a temporal change in the emission intensity acquired in the acquisition step is within a predetermined range when it is determined that the value is greater than a value; and a determination as to be within the predetermined range by the range determination step And a step of discriminating that it is time to measure the sample.

本発明に係る測定時期判別方法は、前記終了時期判別ステップは、前記判別ステップにより試料の測定時期を判別した後に、前記取得ステップにより取得した発光強度の時間的変化が所定値より大きいか否かを判断するステップと、該ステップにより前記所定値より大きいと判断した場合に、前記取得ステップにより取得した発光強度の時間的変化が所定範囲内であるか否かを判別するステップと、該ステップにより所定範囲内であると判別した場合に、試料の洗浄終了時期であると判別するステップとを備えることを特徴とする。   In the measurement time determination method according to the present invention, the end time determination step determines whether or not the temporal change in the emission intensity acquired by the acquisition step is greater than a predetermined value after the measurement time of the sample is determined by the determination step. A step of determining whether or not a temporal change in the light emission intensity acquired by the acquisition step is within a predetermined range when the step determines that the value is larger than the predetermined value. A step of discriminating that it is the cleaning end timing of the sample when it is discriminated that it is within the predetermined range.

本発明に係る測定時期判別方法は、前記受け付けステップによりモニターする元素の入力を受け付ける前に、分光器から出力される各元素に対応する発光強度に基づき、試料の組成を分析する分析ステップをさらに備え、前記受け付けステップは、前記分析ステップにより分析された試料中の元素を、モニターする元素として受け付けることを特徴とする。   The measurement time determination method according to the present invention further includes an analysis step of analyzing the composition of the sample based on the emission intensity corresponding to each element output from the spectrometer before receiving the input of the element to be monitored in the receiving step. The receiving step is characterized in that the element in the sample analyzed by the analyzing step is received as an element to be monitored.

本発明に係る測定時期判別方法は、試料の含有元素が未知の場合に、測定対象以外の元素を添加するステップをさらに備え、前記受け付けステップは、前記添加した元素をモニターする元素として受け付けることを特徴とする。   The measurement time determination method according to the present invention further includes a step of adding an element other than the measurement target when the contained element of the sample is unknown, and the receiving step receives the added element as an element to be monitored. Features.

本発明に係るICP発光分析装置は、試料中の元素の発光強度を測定するICP発光分析装置において、モニターする元素の入力を受け付ける受け付け手段と、該受け付け手段により受け付けた元素に係る発光強度を取得する取得手段と、該取得手段により取得した発光強度に基づいて試料の測定時期を判別する判別手段とを備えることを特徴とする。   An ICP emission analysis apparatus according to the present invention is an ICP emission analysis apparatus that measures the emission intensity of an element in a sample, and receives an input of an element to be monitored and obtains the emission intensity of the element received by the reception means. And obtaining means for judging the measurement timing of the sample based on the emission intensity obtained by the obtaining means.

本発明に係るICP発光分析装置は、前記判別手段により試料の測定時期を判別した後の、前記取得手段により取得した発光強度に基づいて試料の洗浄終了時期を判別する終了時期判別手段をさらに備えることを特徴とする。   The ICP emission analysis apparatus according to the present invention further includes an end timing determination unit that determines the cleaning end timing of the sample based on the emission intensity acquired by the acquisition unit after the determination unit determines the measurement time of the sample. It is characterized by that.

本発明に係るICP発光分析装置は、前記判別手段は、前記取得手段により取得した発光強度の時間的変化が所定値より大きいか否かを判断する変化判別手段と、該変化判別手段により前記所定値より大きいと判断した場合に、前記取得手段により取得した発光強度の時間的変化が所定範囲内であるか否かを判別する範囲判別手段と、該範囲判別手段により所定範囲内であると判別した場合に、試料の測定時期であると判別する手段とを備えることを特徴とする。   In the ICP emission analysis apparatus according to the present invention, the determination means includes a change determination means for determining whether or not a temporal change in the emission intensity acquired by the acquisition means is greater than a predetermined value, and the predetermined change by the change determination means. When it is determined that the value is larger than the value, a range determination unit that determines whether or not the temporal change in the emission intensity acquired by the acquisition unit is within a predetermined range; and the range determination unit determines that the change is within the predetermined range And a means for discriminating that it is the measurement time of the sample.

本発明に係るICP発光分析装置は、前記終了時期判別手段は、前記判別手段により試料の測定時期を判別した後に、前記取得手段により取得した発光強度の時間的変化が所定値より大きいか否かを判断する手段と、該手段により前記所定値より大きいと判断した場合に、前記取得手段により取得した発光強度の時間的変化が所定範囲内であるか否かを判別する手段と、該手段により所定範囲内であると判別した場合に、試料の洗浄終了時期であると判別する手段とを備えることを特徴とする。   In the ICP emission analysis apparatus according to the present invention, the end time determination unit determines whether or not the temporal change in the emission intensity acquired by the acquisition unit is greater than a predetermined value after the determination unit determines the measurement time of the sample. Means for determining whether or not the temporal change in the emission intensity acquired by the acquisition means is within a predetermined range when the means determines that the value is greater than the predetermined value, and the means And a means for determining that it is the cleaning end time of the sample when it is determined to be within the predetermined range.

本発明に係るICP発光分析装置は、前記受け付け手段によりモニターする元素の入力を受け付ける前に、分光器から出力される各元素に対応する発光強度に基づき、試料の組成を分析する分析手段をさらに備え、前記受け付け手段は、前記分析手段により分析された試料中の元素を、モニターする元素として受け付けるよう構成してあることを特徴とする。   The ICP emission analysis apparatus according to the present invention further comprises an analyzing means for analyzing the composition of the sample based on the emission intensity corresponding to each element output from the spectrometer before receiving the input of the element to be monitored by the receiving means. The receiving means is configured to receive an element in the sample analyzed by the analyzing means as an element to be monitored.

本発明に係るプログラムは、試料中の元素の発光強度を測定するICP発光分析装置による試料の測定時期を判別するためのプログラムにおいて、ICP発光分析装置に、モニターする元素の入力を受け付ける受け付けステップと、該受け付けステップにより受け付けた元素に係る発光強度を取得する取得ステップと、該取得ステップにより取得した発光強度に基づいて試料の測定時期を判別する判別ステップとを実行させることを特徴とする。   The program according to the present invention is a program for discriminating the measurement time of a sample by an ICP emission analyzer that measures the emission intensity of an element in the sample, and accepting an input of the element to be monitored to the ICP emission analyzer; The acquisition step of acquiring the emission intensity related to the element received in the reception step and the determination step of determining the measurement time of the sample based on the emission intensity acquired in the acquisition step are performed.

本発明に係るプログラムは、前記判別ステップにより試料の測定時期を判別した後の、前記取得ステップにより取得した発光強度に基づいて試料の洗浄終了時期を判別する終了時期判別ステップをさらに実行させることを特徴とする。   The program according to the present invention further executes an end timing determination step of determining a cleaning end timing of the sample based on the emission intensity acquired by the acquisition step after determining the measurement timing of the sample by the determination step. Features.

本発明にあっては、受け付け手段は、モニターする元素の入力を受け付ける。取得手段によりこの受け付けた元素に係る発光強度を取得する。そして判別手段は、取得手段により取得した発光強度に基づいて試料の測定時期を判別する。この判別は、例えば、取得手段により取得した発光強度の時間的変化が所定値より大きいか否かを判断し、所定値より大きいと判断した場合に、取得手段により取得した発光強度の時間的変化が所定範囲内であるか否かを判別する。そして、発光強度の時間的変化が所定範囲内であると判別した場合に、試料の測定時期であると判別する。   In the present invention, the receiving means receives an input of the element to be monitored. The light emission intensity related to the accepted element is obtained by the obtaining means. The discriminating unit discriminates the measurement time of the sample based on the emission intensity acquired by the acquiring unit. This determination is made, for example, by determining whether or not the temporal change in the emission intensity acquired by the acquisition unit is greater than a predetermined value, and when it is determined that the temporal change is greater than the predetermined value, the temporal change in the emission intensity acquired by the acquisition unit Is determined to be within a predetermined range. When it is determined that the temporal change in the emission intensity is within the predetermined range, it is determined that it is the measurement time of the sample.

また、かかる判別は例えば、取得手段により取得した発光強度が、予め記憶した閾値を超えた場合に、試料の測定時期と判別する。このように構成したので、精度良く試料の測定時期を判別することが可能となる。   Further, for example, when the emission intensity acquired by the acquisition unit exceeds a threshold stored in advance, the determination is made as the measurement time of the sample. Since it comprised in this way, it becomes possible to discriminate | determine the measurement time of a sample accurately.

本発明にあっては、終了時期判別手段は、判別手段により試料の測定時期を判別した後の、取得手段により取得した発光強度に基づいて試料の洗浄終了時期を判別する。この判別は例えば、判別手段により試料の測定時期を判別した後に、取得手段により取得した発光強度の時間的変化が所定値より大きいか否かを判断し、所定値より大きいと判断した場合に、取得手段により取得した発光強度の時間的変化が所定範囲内であるか否かを判別する。そして、発光強度の時間的変化が所定範囲内であると判別した場合に、試料の洗浄終了時期であると判別する。   In the present invention, the end time determination means determines the cleaning end time of the sample based on the emission intensity acquired by the acquisition means after the determination time of the sample is determined by the determination means. This determination is performed by, for example, determining whether the temporal change in the emission intensity acquired by the acquisition unit is greater than a predetermined value after determining the measurement time of the sample by the determination unit. It is determined whether or not the temporal change in the emission intensity acquired by the acquisition means is within a predetermined range. When it is determined that the temporal change in the emission intensity is within the predetermined range, it is determined that it is the cleaning end time of the sample.

本発明にあっては、分光器から出力される各元素に対応する発光強度に基づき、事前に定性分析を行う。これにより試料の組成が分析されるので、この分析による試料中の元素に関し計測でき、その後最適な元素をモニターする元素として選択し、最適なタイミングで試料の測定時期を判別することが可能となる。モニターする元素とは、試料中の元素の少なくとも一つが既知の場合、当該既知の元素から少なくとも一つ選択され、測定時期を判別するためにその発光強度変化をモニターされる元素のことである。試料中の元素が全く分からない場合、測定対象元素が決まっているならば、測定対象元素以外の任意の元素を試料に添加し、その添加された試料をモニターする元素として選択できる。また、試料の元素を分析したいのであれば、試料中に含まれる組成を分析する定性分析の後、定量分析をするときに、事前に分析した定性分析の結果からモニターする元素を選択することができる。   In the present invention, qualitative analysis is performed in advance based on the emission intensity corresponding to each element output from the spectrometer. Since the composition of the sample is analyzed by this, it is possible to measure the elements in the sample by this analysis, and then select the optimum element as the element to be monitored, and determine the measurement time of the sample at the optimum timing. . The element to be monitored is an element that, when at least one of the elements in the sample is known, is selected from at least one of the known elements and whose emission intensity change is monitored to determine the measurement timing. When the element in the sample is not known at all, if the element to be measured is determined, an arbitrary element other than the element to be measured can be added to the sample, and the added sample can be selected as an element to be monitored. In addition, if you want to analyze the elements of the sample, you can select the element to be monitored from the results of the qualitative analysis analyzed in advance when performing the quantitative analysis after the qualitative analysis that analyzes the composition contained in the sample. it can.

本発明にあっては、受け付け手段は、測定対象となる元素の入力を受け付け、取得手段によりこの受け付けた元素に係る発光強度を取得する。そして判別手段は、取得手段により取得した発光強度の時間的変化に基づいて試料の測定時期を判別するので、例えば、モニターする元素の発光強度の時間的変化が所定値よりも大きい場合、所定範囲内に収まったときに安定したと判断し、測定対象の元素分析(所謂定性分析または定量分析)を開始するなど、精度良く試料の測定時期を判別することが可能となる。これにより、ユーザの経験の有無を問わず最適なタイミングで試料の測定を開始することが可能となる。また、モニターする元素が試料に含まれているか不明な場合は、測定対象の試料以外の任意の元素を試料に添加し、その元素をモニター元素として発光強度の変化を見ることで同様の効果も得られる。   In the present invention, the receiving unit receives an input of an element to be measured, and acquires the emission intensity related to the received element by the acquiring unit. Since the determination means determines the measurement timing of the sample based on the temporal change in the emission intensity acquired by the acquisition means, for example, when the temporal change in the emission intensity of the element to be monitored is larger than a predetermined value, the predetermined range It is possible to determine the measurement timing of the sample with high accuracy, for example, by determining that the sample is stable when it falls within, and starting elemental analysis (so-called qualitative analysis or quantitative analysis) of the measurement target. Thereby, it becomes possible to start the measurement of the sample at the optimum timing regardless of the user's experience. If it is unclear whether the element to be monitored is contained in the sample, the same effect can be obtained by adding any element other than the sample to be measured to the sample and using the element as the monitor element to observe the change in emission intensity. can get.

本発明にあっては、終了時期判別手段は、判別手段により試料の測定時期を判別した後の、取得手段により取得した発光強度の時間的変化に基づいて試料の洗浄終了時期を判別するので、計測を終えた試料の洗浄終了時期をより正確に認識することが可能となる。これにより、ユーザの経験の有無を問わず、より正確に洗浄終了時期を認識でき、装置内の汚染及び計測誤差の発生を防止することが可能となる。特に、水銀またはホウ素等の他の元素よりも試料の洗浄に時間のかかるメモリ効果の大きい試料を計測する際にその効果が大きい。   In the present invention, the end time determination means determines the sample cleaning end time based on the temporal change in the emission intensity acquired by the acquisition means after the measurement time of the sample is determined by the determination means. It becomes possible to more accurately recognize the cleaning end time of the sample that has been measured. Accordingly, it is possible to recognize the cleaning end time more accurately regardless of whether or not the user has experience, and to prevent contamination in the apparatus and occurrence of measurement errors. In particular, the effect is greater when measuring a sample having a larger memory effect that takes longer to clean the sample than other elements such as mercury or boron.

本発明にあっては、モニターする元素を受け付ける前に分光器から出力される各元素に対応する発光強度に基づき、定性分析を行うと、この分析による試料中の元素に関し計測でき、その後例えば定量分析を行うときは最適なタイミングで試料の測定時期を判別することが可能となる等、本発明は優れた効果を奏する。   In the present invention, if a qualitative analysis is performed based on the emission intensity corresponding to each element output from the spectrometer before receiving the element to be monitored, the element in the sample by this analysis can be measured. The present invention has an excellent effect, for example, that it is possible to determine the measurement timing of the sample at an optimal timing when performing analysis.

実施の形態1
図1は本発明に係るICP発光分析装置のハードウェア構成を示すブロック図である。ICP発光分析装置1は、プラズマトーチ2,高周波電源3,高周波コイル5,ガス制御部6,試料導入部7,ポンプ9,導入管10,分光器11,検出器12,分光器制御部112,及び、取得手段としての中央制御部8を含んで構成される。
Embodiment 1
FIG. 1 is a block diagram showing a hardware configuration of an ICP emission analyzer according to the present invention. The ICP emission analyzer 1 includes a plasma torch 2, a high frequency power source 3, a high frequency coil 5, a gas control unit 6, a sample introduction unit 7, a pump 9, an introduction tube 10, a spectrometer 11, a detector 12, a spectrometer control unit 112, And it is comprised including the central control part 8 as an acquisition means.

プラズマトーチ2にはアルゴンガスが流れ、これを取り巻く高周波コイル5に高周波電源3からの高周波が供給されることによって、プラズマ4が生成される。分析対象である試料は例えば、Feを含む溶液またはNiを含む溶液等が用いられる。洗浄用の蒸留水は蒸留水容器13に蓄えられており、導入管10を介してポンプ9により吸入され試料導入部7へ導かれる。   Argon gas flows through the plasma torch 2, and a high frequency is supplied from a high frequency power source 3 to a high frequency coil 5 surrounding the plasma torch 2, thereby generating plasma 4. As the sample to be analyzed, for example, a solution containing Fe or a solution containing Ni is used. Distilled water for washing is stored in a distilled water container 13 and is sucked by a pump 9 through an introduction pipe 10 and guided to a sample introduction unit 7.

試料は試料容器14に蓄えられており、試料の分析を開始する場合は、蒸留水容器13に挿入されている導入管10を試料容器14へ移し替える。導入管10が試料容器14へ挿入された場合、試料は導入管10を介してポンプ9により吸入され試料導入部7へ導かれる。なお、本実施の形態においては手動で導入管10を蒸留水容器13及び試料容器14間で移し替える形態につき説明するが、例えばオートサンプラーを用いて自動で移し替えるようにしても良い。   The sample is stored in the sample container 14, and when the analysis of the sample is started, the introduction tube 10 inserted in the distilled water container 13 is transferred to the sample container 14. When the introduction tube 10 is inserted into the sample container 14, the sample is sucked by the pump 9 through the introduction tube 10 and guided to the sample introduction unit 7. In the present embodiment, a description will be given of a mode in which the introduction tube 10 is manually transferred between the distilled water container 13 and the sample container 14, but it may be automatically transferred using, for example, an autosampler.

試料導入部7へ導入された蒸留水、空気及び試料は霧状になりプラズマトーチ2へ送られる。プラズマトーチ2を流れるガスおよび試料導入部7で試料の霧化に用いられるガスの流量はガス制御部6により制御されている。また高周波出力,ガス流量などの測定条件は中央制御部8により制御されている。   Distilled water, air and sample introduced into the sample introduction unit 7 are atomized and sent to the plasma torch 2. The gas flow rate of the gas flowing in the plasma torch 2 and the gas used for atomizing the sample in the sample introduction unit 7 is controlled by the gas control unit 6. Measurement conditions such as high-frequency output and gas flow rate are controlled by the central control unit 8.

プラズマ4により生じた発光は分光器11を経て検出器12に到達する。検出器12は分光器11により分光された特定波長の光を電気信号に変換し、図示しない増幅回路により電気信号を増幅する。増幅後の電気信号はデジタル化され、光の強度に関する情報(発光強度)として中央制御部8へ出力される。分光器11は内部に回折格子111またはプリズムを備え特定波長の光を取り出す。分光器制御部112は中央制御部8及び分光器11に接続されており、中央制御部8からの指示により分光器11内の回折格子111の回動を制御する。なお、本実施の形態においては、分光器11としてモノクロメータを用いた形態につき説明するが、ポリクロメータを用いても良い。   Light emission generated by the plasma 4 reaches the detector 12 through the spectroscope 11. The detector 12 converts the light having a specific wavelength dispersed by the spectroscope 11 into an electric signal, and amplifies the electric signal by an amplifier circuit (not shown). The amplified electric signal is digitized and output to the central control unit 8 as information about the light intensity (light emission intensity). The spectroscope 11 includes a diffraction grating 111 or a prism inside and extracts light of a specific wavelength. The spectroscope control unit 112 is connected to the central control unit 8 and the spectroscope 11, and controls the rotation of the diffraction grating 111 in the spectroscope 11 according to an instruction from the central control unit 8. In the present embodiment, a mode using a monochromator as the spectroscope 11 will be described, but a polychromator may be used.

中央制御部8は例えばパーソナルコンピュータが用いられ、CPU(Central Processing Unit)81,RAM(Random Access Memory)82,記憶部85,入力部83,表示部84を含んで構成され、検出器12から出力される情報に基づき、各種データの処理、分光器制御部112の制御及び試料導入部7等の各種ハードウェアの制御を行う。なお、本実施の形態においてはパーソナルコンピュータにより各種処理を行う形態を示すが、これらの処理を集積回路等のハードウェアにより実現しても良い。   The central control unit 8 is, for example, a personal computer, and includes a CPU (Central Processing Unit) 81, a RAM (Random Access Memory) 82, a storage unit 85, an input unit 83, and a display unit 84, and outputs from the detector 12. Based on the information, various data processing, control of the spectroscope control unit 112, and control of various hardware such as the sample introduction unit 7 are performed. In this embodiment, various processes are performed by a personal computer. However, these processes may be realized by hardware such as an integrated circuit.

CPU81は、バス87を介して中央制御部8のハードウェア各部と接続されていて、それらを制御すると共に、ハードディスク等の記憶部85に格納された制御プログラムに従って、種々のソフトウェア的機能を実行する。制御プログラムは、C言語等のプログラミング言語で記述されている。   The CPU 81 is connected to each hardware unit of the central control unit 8 via the bus 87, and controls them, and executes various software functions according to a control program stored in the storage unit 85 such as a hard disk. . The control program is described in a programming language such as C language.

RAM82は、SRAM(Static Random Access Memory)またはフラッシュメモリ等で構成され、ソフトウェアの実行時に発生する一時的なデータを記憶する。入力部83は例えばキーボード、マウス等から構成され、ユーザが入力した情報をCPU81へ出力する。表示部84はLCD(Liquid Crystal Digital)ディスプレイ等で構成され、分析開始時期等の各種情報をCPU81の指示に基づき表示する。なお、入力部83及び表示部84はタッチパネルにより一体的に構成するようにしても良い。   The RAM 82 is configured by SRAM (Static Random Access Memory), flash memory, or the like, and stores temporary data generated during execution of software. The input unit 83 includes, for example, a keyboard and a mouse, and outputs information input by the user to the CPU 81. The display unit 84 is configured by an LCD (Liquid Crystal Digital) display or the like, and displays various information such as the analysis start time based on instructions from the CPU 81. Note that the input unit 83 and the display unit 84 may be configured integrally with a touch panel.

プラズマトーチ2、試料導入部7及び導入管10等の内部を洗浄するため、試料の測定に先立ち、導入管10からは蒸留水が導入される。ここで、ユーザは入力部83からモニターする元素(以下モニター元素という)を入力する。このモニター元素は、試料中の含有元素が少なくとも一つ分かっている場合は、その既知の元素から少なくとも一つ選択されモニター元素としても良い。この場合、既知の含有元素が測定対象の元素を含んでいる場合、その元素をモニター元素とすると、測定する二度手間を省くことができる。また試料中の含有元素が未知の場合は、測定対象の元素以外の任意の元素を試料に添加し、その添加した試料をモニター元素とすればよい。CPU81は、入力部83から入力された測定対象となる元素の入力を受け付ける。CPU81は、受け付けた元素の情報を分光器制御部112へ出力する。分光器制御部112は、回折格子111を、受け付けた元素に対応する角度まで回動する。続いてユーザは蒸留水容器13から試料容器14へと導入管10を移し替える。図2は検出器12から出力される発光強度の時間的変化を示すグラフである。図2において横軸は時間を示し、縦軸は光の発光強度を相対的に示すものである。   In order to clean the inside of the plasma torch 2, the sample introduction part 7, the introduction tube 10, etc., distilled water is introduced from the introduction tube 10 prior to the measurement of the sample. Here, the user inputs an element to be monitored (hereinafter referred to as a monitor element) from the input unit 83. When at least one element contained in the sample is known, at least one monitor element may be selected from the known elements and used as the monitor element. In this case, when a known contained element includes an element to be measured, if the element is a monitor element, it is possible to save the trouble of measuring twice. When the contained element in the sample is unknown, an arbitrary element other than the element to be measured may be added to the sample, and the added sample may be used as the monitor element. The CPU 81 accepts input of an element to be measured input from the input unit 83. The CPU 81 outputs the received element information to the spectrometer control unit 112. The spectroscope control unit 112 rotates the diffraction grating 111 to an angle corresponding to the received element. Subsequently, the user transfers the introduction tube 10 from the distilled water container 13 to the sample container 14. FIG. 2 is a graph showing temporal changes in the emission intensity output from the detector 12. In FIG. 2, the horizontal axis indicates time, and the vertical axis relatively indicates the light emission intensity.

本実施の形態においてはモニター元素として鉄(Fe)の入力を受け付けたものとする。なお、CPU81は、記憶部85から化学記号の周期表を読み出して表示部84に表示し、入力部83からユーザが選択した元素をモニター元素として受け付けるようにしても良い。図2のグラフは、回折格子111を鉄の波長を検出する角度へ回動させ、検出器12から出力される鉄の発光強度の時間的変化を示したものである。蒸留水に次いで鉄を含む試料が導入され、約10秒経過後に発光強度が急激に増加し、約15秒経過後に発光強度が安定したことが理解できる。   In this embodiment, it is assumed that an input of iron (Fe) is accepted as a monitor element. Note that the CPU 81 may read the periodic table of chemical symbols from the storage unit 85 and display the chemical symbol on the display unit 84, and may accept an element selected by the user from the input unit 83 as a monitor element. The graph of FIG. 2 shows the temporal change in the emission intensity of iron output from the detector 12 when the diffraction grating 111 is rotated to an angle for detecting the wavelength of iron. It can be understood that a sample containing iron was introduced next to distilled water, the emission intensity increased rapidly after about 10 seconds, and the emission intensity became stable after about 15 seconds.

中央制御部8は導入時期を判別すべく以下の処理を行う。中央制御部8のCPU81は出力された発光強度の時間的変化を算出し、記憶部85に予め記憶した所定値よりも大きいか否かを判断する。鉄を含む試料が導入された後、発光強度は時間的に急激に変化する。CPU81はこの時間的変化が所定値よりも大きい場合、発光強度の時間的変化が一定時間所定の範囲内であるか否かを判断する。これは例えば、CPU81が所定時間内の発光強度の標準偏差値または分散値を演算し、これが記憶部85に記憶した基準となる標準偏差値または分散値以下であるか否かを判断する。以下では標準偏差値を用いた例につき説明する。   The central control unit 8 performs the following processing to determine the introduction time. The CPU 81 of the central control unit 8 calculates a temporal change in the output light emission intensity, and determines whether or not it is larger than a predetermined value stored in the storage unit 85 in advance. After the sample containing iron is introduced, the emission intensity changes rapidly with time. When the temporal change is larger than a predetermined value, the CPU 81 determines whether or not the temporal change in the light emission intensity is within a predetermined range for a predetermined time. For example, the CPU 81 calculates a standard deviation value or dispersion value of the light emission intensity within a predetermined time, and determines whether or not this is equal to or less than a standard deviation value or dispersion value serving as a reference stored in the storage unit 85. Hereinafter, an example using standard deviation values will be described.

CPU81が、発光強度の時間的変化が一定時間所定の範囲内であると判断した場合、安定したつまり測定時期に達したと判別し、記憶部85から所定のメッセージを読み出し、表示部84に表示する。このメッセージは、例えば「測定開始が可能です。」等とすればよい。その後、試料に含まれる元素の測定(定性分析)、もしくは予め決められた測定対象の元素が試料中にどれだけ含まれているかの分析(定量分析)を開始する。   When the CPU 81 determines that the temporal change in the light emission intensity is within the predetermined range for a predetermined time, it determines that the measurement is stable, that is, the measurement time has been reached, reads a predetermined message from the storage unit 85, and displays it on the display unit 84. To do. This message may be, for example, “Measurement can be started”. Thereafter, measurement of elements contained in the sample (qualitative analysis) or analysis of how much of the element to be measured that has been determined in advance (quantitative analysis) is started.

所定の計測後、ユーザは導入管10を試料容器14から蒸留水容器13へと移し替える。図2に示すように約40秒経過後に鉄を含む試料の洗浄が進み、約60秒経過後には洗浄が終了していることが理解できる。CPU81は、発光強度の時間的変化が一定時間所定の範囲内であると判断した後に、CPU81は出力された発光強度の時間的変化を算出し、記憶部85に予め記憶した所定値よりも大きいか否かを判断する。   After the predetermined measurement, the user transfers the introduction tube 10 from the sample container 14 to the distilled water container 13. As shown in FIG. 2, it can be understood that the cleaning of the sample containing iron proceeds after about 40 seconds, and the cleaning is completed after about 60 seconds. After the CPU 81 determines that the temporal change in the light emission intensity is within a predetermined range for a predetermined time, the CPU 81 calculates the temporal change in the output light emission intensity and is larger than a predetermined value stored in the storage unit 85 in advance. Determine whether or not.

鉄を含む試料に代えて蒸留水が導入された後、発光強度は時間的に急激に減少する。CPU81はこの時間的変化が所定値よりも大きい場合、発光強度の時間的変化が一定時間所定の範囲内であるか否かを判断する。これは上述した処理と同様に例えば、CPU81が所定時間内の発光強度の標準偏差値を演算し、これが記憶部85に記憶した基準となる標準偏差値以下であるか否かを判断する。CPU81が、発光強度の時間的変化が一定時間所定の範囲内であると判断した場合、洗浄終了時期に達したと判別し、記憶部85から所定のメッセージを読み出し、表示部84に表示する。このメッセージは、例えば「次の試料の導入が可能です。」または「洗浄が終了しました。」等とすればよい。   After distilled water is introduced instead of the sample containing iron, the emission intensity decreases rapidly with time. When the temporal change is larger than a predetermined value, the CPU 81 determines whether or not the temporal change in the light emission intensity is within a predetermined range for a predetermined time. For example, the CPU 81 calculates a standard deviation value of the light emission intensity within a predetermined time and determines whether or not the standard deviation value stored in the storage unit 85 is equal to or less than the standard deviation value as in the process described above. When the CPU 81 determines that the temporal change in the emission intensity is within the predetermined range for a predetermined time, it determines that the cleaning end time has been reached, reads a predetermined message from the storage unit 85, and displays it on the display unit 84. This message may be, for example, “Next sample can be introduced” or “Washing is completed”.

以上のハードウェア構成において測定時期及び洗浄終了時期の判別処理を、フローチャートを用いて説明する。図3は測定時期及び洗浄終了時期の判別処理を示すフローチャートである。試料の導入に先立ち、ユーザは入力部83からモニター元素を入力する。CPU81は、入力部83から入力されたモニター元素の入力を受け付ける(ステップS31)。CPU81は、受け付けた元素の情報を分光器制御部112へ出力する。分光器制御部112は、回折格子111を、受け付けた元素に対応する角度まで回動する(ステップS32)。   The determination process of the measurement time and the cleaning end time in the above hardware configuration will be described using a flowchart. FIG. 3 is a flowchart showing the determination process of the measurement time and the cleaning end time. Prior to the introduction of the sample, the user inputs a monitor element from the input unit 83. CPU81 receives the input of the monitor element inputted from input part 83 (Step S31). The CPU 81 outputs the received element information to the spectrometer control unit 112. The spectroscope control unit 112 rotates the diffraction grating 111 to an angle corresponding to the received element (step S32).

中央制御部8は検出器12から出力される発光強度を取得する(ステップS33)。CPU81は取得した発光強度を逐次RAM82に記憶すると共に、発光強度の時間的変化を算出し、記憶部85に予め記憶した所定値よりも大きいか否かを判断する(ステップS34)。CPU81は発光強度の時間的変化が所定値より小さいと判断した場合(ステップS34でNO)、まだ蒸留水が供給されていると判断し、ステップS34の処理を繰り返す。   The central control unit 8 acquires the emission intensity output from the detector 12 (step S33). The CPU 81 sequentially stores the acquired light emission intensity in the RAM 82, calculates a temporal change in the light emission intensity, and determines whether or not the light emission intensity is greater than a predetermined value stored in advance in the storage unit 85 (step S34). If the CPU 81 determines that the temporal change in the emission intensity is smaller than the predetermined value (NO in step S34), it determines that distilled water is still being supplied, and repeats the process in step S34.

一方、CPU81は発光強度の時間的変化が所定値より大きいと判断した場合(ステップS34でYES)、試料が供給され始めたと判断し、所定時間内における発光強度の時間的変化が、記憶部85に予め記憶した標準偏差値の範囲内であるか否かを判断する(ステップS35)。CPU81は発光強度の時間的変化が標準偏差値の範囲内でないと判断した場合(ステップS35でNO)、安定時間に達していないものとして、ステップS35の処理を繰り返す。一方、CPU81は発光強度の時間的変化が標準偏差値の範囲内であると判断した場合(ステップS35でYES)、測定時期と判別し、記憶部85から読み出したメッセージを表示部84へ表示する(ステップS36)。   On the other hand, when the CPU 81 determines that the temporal change in the emission intensity is greater than the predetermined value (YES in step S34), the CPU 81 determines that the sample has started to be supplied, and the temporal change in the emission intensity within the predetermined time is the storage unit 85. It is determined whether it is within the range of the standard deviation value stored in advance (step S35). If the CPU 81 determines that the temporal change in the light emission intensity is not within the standard deviation value range (NO in step S35), the CPU 81 repeats the process in step S35, assuming that the stable time has not been reached. On the other hand, if the CPU 81 determines that the temporal change in the emission intensity is within the standard deviation value range (YES in step S35), the CPU 81 determines that it is the measurement time and displays the message read from the storage unit 85 on the display unit 84. (Step S36).

その後、CPU81は発光強度の時間的変化が記憶部85に予め記憶した所定値よりも大きいか否かを判断する(ステップS37)。CPU81は発光強度の時間的変化が所定値より小さいと判断した場合(ステップS37でNO)、試料の供給が継続されていると判断し、ステップS37の処理を繰り返す。   Thereafter, the CPU 81 determines whether or not the temporal change in the light emission intensity is larger than a predetermined value stored in advance in the storage unit 85 (step S37). If the CPU 81 determines that the temporal change in the emission intensity is smaller than the predetermined value (NO in step S37), the CPU 81 determines that the sample supply is continued, and repeats the process in step S37.

一方、CPU81は発光強度の時間的変化が所定値より大きいと判断した場合(ステップS37でYES)、試料に代えて蒸留水が供給され始めたと判断し、所定時間内における発光強度の時間的変化が、記憶部85に予め記憶した標準偏差値の範囲内であるか否かを判断する(ステップS38)。なお、この標準偏差値はステップS35で記憶部85から読み出した標準偏差値よりも小さい値としても良い。CPU81は発光強度の時間的変化が標準偏差値の範囲内でないと判断した場合(ステップS38でNO)、洗浄がまだ終了していないものとして、ステップS38の処理を繰り返す。一方、CPU81は発光強度の時間的変化が標準偏差値の範囲内であると判断した場合(ステップS38でYES)、洗浄終了時期と判別し、記憶部85から読み出したメッセージを表示部84へ表示する(ステップS39)。   On the other hand, when the CPU 81 determines that the temporal change in the emission intensity is greater than the predetermined value (YES in step S37), the CPU 81 determines that distilled water has started to be supplied instead of the sample, and the temporal change in the emission intensity within the predetermined time. Is within the range of the standard deviation value stored in advance in the storage unit 85 (step S38). The standard deviation value may be a value smaller than the standard deviation value read from the storage unit 85 in step S35. When the CPU 81 determines that the temporal change in the light emission intensity is not within the standard deviation value range (NO in step S38), the CPU 81 repeats the process in step S38, assuming that the cleaning has not been completed yet. On the other hand, if the CPU 81 determines that the temporal change in the light emission intensity is within the standard deviation value range (YES in step S38), it determines that it is the cleaning end time, and displays the message read from the storage unit 85 on the display unit 84. (Step S39).

実施の形態2
実施の形態1においては、発光強度の時間的変化が所定値よりも大きいか否かを判断し、その後発光強度の時間的変化が所定範囲内であるか否かを判断したが、例えば定性分析の後に定量分析をする等、試料中の含有元素の少なくとも一つの発光強度が既知の場合、定性分析等で求めた大まかな発光強度を閾値として設定することにより、実施の形態2の如く予め記憶した閾値に基づいて判断しても良い。
Embodiment 2
In the first embodiment, it is determined whether or not the temporal change in the emission intensity is greater than a predetermined value, and then it is determined whether or not the temporal change in the emission intensity is within a predetermined range. If the emission intensity of at least one of the elements contained in the sample is known, such as by performing a quantitative analysis after the measurement, a rough emission intensity obtained by qualitative analysis or the like is set as a threshold value and stored in advance as in the second embodiment. The determination may be made based on the threshold value.

図4は実施の形態2に係る測定時期及び洗浄終了時期の判別処理を示すフローチャートである。試料の導入に先立ち、ユーザは入力部83からモニター元素を入力する。CPU81は、入力部83から入力されたモニター元素の入力を受け付ける(ステップS41)。CPU81は、受け付けた元素の情報を分光器制御部112へ出力する。分光器制御部112は、回折格子111を、受け付けた元素に対応する角度まで回動する(ステップS42)。   FIG. 4 is a flowchart showing the determination process of the measurement time and the cleaning end time according to the second embodiment. Prior to the introduction of the sample, the user inputs a monitor element from the input unit 83. CPU81 receives the input of the monitor element input from input part 83 (Step S41). The CPU 81 outputs the received element information to the spectrometer control unit 112. The spectroscope controller 112 rotates the diffraction grating 111 to an angle corresponding to the received element (step S42).

中央制御部8は検出器12から出力される発光強度を取得する(ステップS43)。CPU81は記憶部85から閾値を読み出す(ステップS44)。これは入力部83から適宜の発光強度が閾値として入力される。CPU81は、発光強度が読み出した閾値以上であるか否かを判断する(ステップS45)。CPU81は発光強度が閾値以上でないと判断した場合(ステップS45でNO)、安定時間に達していないものとして、ステップS45の処理を繰り返す。一方、CPU81は発光強度が閾値以上であると判断した場合(ステップS45でYES)、測定時期と判別し、記憶部85から読み出したメッセージを表示部84へ表示する(ステップS46)。   The central controller 8 acquires the light emission intensity output from the detector 12 (step S43). CPU81 reads a threshold value from the memory | storage part 85 (step S44). In this case, an appropriate emission intensity is input from the input unit 83 as a threshold value. The CPU 81 determines whether or not the light emission intensity is greater than or equal to the read threshold value (step S45). When the CPU 81 determines that the light emission intensity is not equal to or greater than the threshold (NO in step S45), the CPU 81 repeats the process of step S45 assuming that the stable time has not been reached. On the other hand, when the CPU 81 determines that the light emission intensity is equal to or higher than the threshold (YES in step S45), the CPU 81 determines that it is the measurement time and displays the message read from the storage unit 85 on the display unit 84 (step S46).

その後、CPU81は記憶部85から閾値を読み出す(ステップS47)。なお、この閾値はステップS44にて読み出した閾値とは異なる値としても良い。CPU81は、発光強度が読み出した閾値以下であるか否かを判断する(ステップS48)。CPU81は発光強度が閾値以下でないと判断した場合(ステップS48でNO)、洗浄が終了していないものとして、ステップS48の処理を繰り返す。一方、CPU81は発光強度が閾値以下であると判断した場合(ステップS48でYES)、洗浄終了時期と判別し、記憶部85から読み出したメッセージを表示部84へ表示する(ステップS49)。なお、実施の形態1の処理と実施の形態2の処理とを組み合わせても良い。例えば、測定時期の判別について実施の形態1に係るステップS34及びステップS35の処理を用い、洗浄終了時期の判別について実施の形態2に係るステップS48の処理を用いて行う等、標準偏差値による判別と閾値を用いた判別とを適宜組み合わせても良い。   Thereafter, the CPU 81 reads the threshold value from the storage unit 85 (step S47). This threshold value may be different from the threshold value read in step S44. The CPU 81 determines whether or not the emission intensity is equal to or less than the read threshold value (step S48). If the CPU 81 determines that the emission intensity is not less than or equal to the threshold value (NO in step S48), the process of step S48 is repeated assuming that the cleaning has not ended. On the other hand, when the CPU 81 determines that the light emission intensity is equal to or lower than the threshold value (YES in step S48), it determines that it is the cleaning end time, and displays the message read from the storage unit 85 on the display unit 84 (step S49). Note that the processing of the first embodiment and the processing of the second embodiment may be combined. For example, the determination based on the standard deviation value is performed, for example, the determination of the measurement time is performed using the processing of step S34 and step S35 according to the first embodiment, and the determination of the cleaning end time is performed using the processing of step S48 according to the second embodiment. And discrimination using a threshold value may be appropriately combined.

本実施の形態2は以上の如き構成としてあり、その他の構成及び作用は実施の形態1と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明を省略する。   The second embodiment is configured as described above, and the other configurations and operations are the same as those of the first embodiment. Therefore, corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

実施の形態3
事前に定性分析、すなわち試料中の元素の組成を分析した後に実施の形態1または2に記載の測定時期及び洗浄終了時期の判別処理を行っても良い。図5は実施の形態3に係るICP発光分析装置1のハードウェア構成を示すブロック図である。実施の形態1の構成に加えて記憶部85には定性分析で得られた定性分析ファイル851が記憶されている。図6は定性分析ファイル851のレコードレイアウトを示す説明図である。例えば定性分析ファイル851は元素フィールド、比較発光強度フィールド及び波長と関連づけられる回動角度フィールドを含んで構成される。元素フィールドには、定性分析で得られた複数の元素が記憶されている。比較発光強度フィールドには、元素に対応させて、閾値となる比較発光強度が記憶されている。回動角度フィールドには元素に対応させて、当該元素の発光強度を検出する際の回折格子111の回動角度が記憶されている。なお、単位は度である。
Embodiment 3
Qualitative analysis, that is, analysis of the composition of elements in the sample in advance, may be performed after the measurement timing and cleaning end timing described in the first or second embodiment. FIG. 5 is a block diagram showing a hardware configuration of the ICP emission spectrometer 1 according to the third embodiment. In addition to the configuration of the first embodiment, the storage unit 85 stores a qualitative analysis file 851 obtained by qualitative analysis. FIG. 6 is an explanatory diagram showing a record layout of the qualitative analysis file 851. For example, the qualitative analysis file 851 includes an element field, a comparative emission intensity field, and a rotation angle field associated with the wavelength. In the element field, a plurality of elements obtained by qualitative analysis are stored. In the comparative light emission intensity field, a comparative light emission intensity serving as a threshold is stored in association with the element. In the rotation angle field, the rotation angle of the diffraction grating 111 when detecting the emission intensity of the element is stored in correspondence with the element. The unit is degrees.

CPU81は発光強度が比較発光強度よりも大きいと判断した場合は、対応する元素が試料中に含まれていると判断する。図6の例では、回折格子111の回動角度が10度の場合に検出器12から出力される発光強度が比較発光強度30以上の場合、Feが試料中に含まれていると判断する。CPU81は事前に行われた定性分析により、定性した元素を表示部84へ表示する。ユーザはこれら表示された元素から、モニター元素を入力部83から選択する。CPU81はこの選択された元素の入力を受け付け、モニター元素の発光強度の時間的変化が所定値よりも大きい場合、時間的変化が所定範囲内であるかを判断するか、若しくは、発光強度が、定性分析ファイル851から読み出した比較発光強度よりも大きいか否かを判断し、上述した測定時期及び洗浄終了時期の判別処理を行う。なお、試料中に所定濃度のイットリウムまたは希土類元素等の元素を添加し、添加した元素の発光強度を測定するようにしても良い。この場合、CPU81は入力部83から入力される添加元素の情報を受け付け、分光器制御部112は回折格子111を添加元素に係る角度へ回動する。そして上述した測定時期及び洗浄終了時期の判別処理を行なう。   When the CPU 81 determines that the emission intensity is greater than the comparative emission intensity, the CPU 81 determines that the corresponding element is included in the sample. In the example of FIG. 6, when the light emission intensity output from the detector 12 is 10 or more when the rotation angle of the diffraction grating 111 is 10 degrees, it is determined that Fe is contained in the sample. The CPU 81 displays the qualitative elements on the display unit 84 by qualitative analysis performed in advance. From these displayed elements, the user selects a monitor element from the input unit 83. The CPU 81 accepts the input of the selected element, and when the temporal change in the emission intensity of the monitor element is larger than the predetermined value, it is determined whether the temporal change is within the predetermined range, or the emission intensity is It is determined whether or not it is greater than the comparative light emission intensity read from the qualitative analysis file 851, and the above-described measurement timing and cleaning end timing determination processing is performed. An element such as yttrium or a rare earth element having a predetermined concentration may be added to the sample, and the emission intensity of the added element may be measured. In this case, the CPU 81 receives information on the additive element input from the input unit 83, and the spectroscope control unit 112 rotates the diffraction grating 111 to an angle related to the additive element. Then, the above-described determination process of the measurement time and the cleaning end time is performed.

本実施の形態3は以上の如き構成としてあり、その他の構成及び作用は実施の形態1及び2と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明を省略する。   The third embodiment is configured as described above, and the other configurations and operations are the same as those of the first and second embodiments. Therefore, corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. To do.

実施の形態4
図7は実施の形態4に係るICP発光分析装置1のハードウェア構成を示すブロック図である。実施の形態1乃至3に係るICP発光分析装置1を動作させるためのプログラムは、本実施の形態4のように、CD−ROM、メモリーカード等の可搬型記録媒体1Aで提供することも可能である。さらに、プログラムを、LAN、またはインターネット等の図示しない通信網を介して図示しないサーバコンピュータからダウンロードすることも可能である。以下に、その内容を説明する。
Embodiment 4
FIG. 7 is a block diagram showing a hardware configuration of the ICP emission spectrometer 1 according to the fourth embodiment. The program for operating the ICP emission analysis apparatus 1 according to the first to third embodiments can be provided on a portable recording medium 1A such as a CD-ROM or a memory card as in the fourth embodiment. is there. Furthermore, the program can be downloaded from a server computer (not shown) via a communication network (not shown) such as a LAN or the Internet. The contents will be described below.

図7に示すICP発光分析装置1の図示しない記録媒体読み取り装置に、元素の選択を受け付けさせ、発光強度を取得させ、測定時期を判別させ、洗浄終了時期を判別させるプログラムが記録された可搬型記録媒体1Aを、挿入して記憶部85のプログラム内にこのプログラムをインストールする。または、かかるプログラムを、図示しない通信部を介して外部の図示しないサーバコンピュータからダウンロードし、記憶部85にインストールするようにしても良い。かかるプログラムはRAM82にロードして実行される。これにより、上述のような本発明のICP発光分析装置1として機能する。   A portable type recording program that allows a recording medium reader (not shown) of the ICP emission analyzer 1 shown in FIG. 7 to accept element selection, acquire emission intensity, determine the measurement time, and determine the cleaning end time. The recording medium 1A is inserted, and this program is installed in the program of the storage unit 85. Alternatively, such a program may be downloaded from an external server computer (not shown) via a communication unit (not shown) and installed in the storage unit 85. Such a program is loaded into the RAM 82 and executed. Thereby, it functions as the ICP emission analysis apparatus 1 of the present invention as described above.

本実施の形態4は以上の如き構成としてあり、その他の構成及び作用は実施の形態1乃至3と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明を省略する。   The fourth embodiment is configured as described above, and the other configurations and operations are the same as those of the first to third embodiments. Therefore, the corresponding parts are denoted by the same reference numerals and detailed description thereof is omitted. To do.

本発明に係るICP発光分析装置のハードウェア構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the hardware constitutions of the ICP emission analysis apparatus which concerns on this invention. 検出器から出力される発光強度の時間的変化を示すグラフである。It is a graph which shows the time change of the emitted light intensity output from a detector. 測定時期及び洗浄終了時期の判別処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the discrimination | determination process of a measurement time and washing | cleaning completion time. 実施の形態2に係る測定時期及び洗浄終了時期の判別処理を示すフローチャートである。10 is a flowchart showing a determination process of a measurement time and a cleaning end time according to the second embodiment. 実施の形態3に係るICP発光分析装置のハードウェア構成を示すブロック図である。6 is a block diagram showing a hardware configuration of an ICP emission analyzer according to Embodiment 3. FIG. 定性分析ファイルのレコードレイアウトを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the record layout of a qualitative analysis file. 実施の形態4に係るICP発光分析装置のハードウェア構成を示すブロック図である。FIG. 10 is a block diagram showing a hardware configuration of an ICP emission analyzer according to a fourth embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1 ICP発光分析装置
8 中央制御部
10 導入管
11 分光器
12 検出器
13 蒸留水容器
14 試料容器
81 CPU(制御部)
82 RAM
83 入力部
84 表示部
85 記憶部
851 定性分析ファイル
111 回折格子
112 分光器制御部
1A 可搬型記録媒体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ICP emission analyzer 8 Central control part 10 Introducing pipe 11 Spectrometer 12 Detector 13 Distilled water container 14 Sample container 81 CPU (control part)
82 RAM
83 Input unit 84 Display unit 85 Storage unit 851 Qualitative analysis file 111 Diffraction grating 112 Spectrometer control unit 1A Portable recording medium

Claims (13)

試料中の元素の発光強度を測定するICP発光分析装置による試料の測定時期を判別する測定時期判別方法において、
モニターする元素の入力を受け付ける受け付けステップと、
該受け付けステップにより受け付けた元素に係る発光強度を取得する取得ステップと、
該取得ステップにより取得した発光強度に基づいて試料の測定時期を判別する判別ステップと
を備えることを特徴とする測定時期判別方法。
In a measurement timing discrimination method for discriminating the measurement timing of a sample by an ICP emission spectrometer that measures the emission intensity of an element in the sample,
A reception step for receiving an input of an element to be monitored;
An acquisition step of acquiring emission intensity relating to the element received in the reception step;
And a determination step for determining the measurement time of the sample based on the emission intensity acquired in the acquisition step.
前記判別ステップにより試料の測定時期を判別した後の、前記取得ステップにより取得した発光強度に基づいて試料の洗浄終了時期を判別する終了時期判別ステップ
をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の測定時期判別方法。
The end timing determination step of determining the cleaning end timing of the sample based on the emission intensity acquired by the acquisition step after the determination timing of the sample by the determination step is further provided. Method of determining the measurement time.
前記判別ステップは、
前記取得ステップにより取得した発光強度の時間的変化が所定値より大きいか否かを判断する変化判別ステップと、
該変化判別ステップにより前記所定値より大きいと判断した場合に、前記取得ステップにより取得した発光強度の時間的変化が所定範囲内であるか否かを判別する範囲判別ステップと、
該範囲判別ステップにより所定範囲内であると判別した場合に、試料の測定時期であると判別するステップと
を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の測定時期判別方法。
The determination step includes
A change determining step for determining whether or not a temporal change in the emission intensity acquired by the acquiring step is greater than a predetermined value;
A range determining step for determining whether or not the temporal change in the emission intensity acquired by the acquiring step is within a predetermined range when the change determining step determines that the predetermined value is greater than the predetermined value;
The method according to claim 1, further comprising a step of discriminating that it is the measurement time of the sample when it is discriminated that it is within the predetermined range by the range discriminating step.
前記終了時期判別ステップは、
前記判別ステップにより試料の測定時期を判別した後に、前記取得ステップにより取得した発光強度の時間的変化が所定値より大きいか否かを判断するステップと、
該ステップにより前記所定値より大きいと判断した場合に、前記取得ステップにより取得した発光強度の時間的変化が所定範囲内であるか否かを判別するステップと、
該ステップにより所定範囲内であると判別した場合に、試料の洗浄終了時期であると判別するステップと
を備えることを特徴とする請求項2または3に記載の測定時期判別方法。
The end time determination step includes
After determining the measurement time of the sample by the determination step, determining whether the temporal change in the emission intensity acquired by the acquisition step is greater than a predetermined value;
A step of determining whether or not the temporal change in the emission intensity acquired by the acquisition step is within a predetermined range when it is determined that the step is greater than the predetermined value;
The method according to claim 2 or 3, further comprising a step of discriminating that it is the cleaning end timing of the sample when it is discriminated within the predetermined range by the step.
前記受け付けステップによりモニターする元素の入力を受け付ける前に、分光器から出力される各元素に対応する発光強度に基づき、試料の組成を分析する分析ステップをさらに備え、
前記受け付けステップは、
前記分析ステップにより分析された試料中の元素を、モニターする元素として受け付ける
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の測定時期判別方法。
Before receiving the input of the element to be monitored by the receiving step, further comprising an analysis step of analyzing the composition of the sample based on the emission intensity corresponding to each element output from the spectrometer,
The receiving step includes
5. The measurement timing determination method according to claim 1, wherein an element in the sample analyzed by the analysis step is received as an element to be monitored.
試料の含有元素が未知の場合に、測定対象以外の元素を添加するステップをさらに備え、
前記受け付けステップは、
前記添加した元素をモニターする元素として受け付ける
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一つに記載の測定時期判別方法。
A step of adding an element other than the measurement target when the contained element of the sample is unknown,
The receiving step includes
The measurement time determination method according to any one of claims 1 to 5, wherein the added element is received as an element to be monitored.
試料中の元素の発光強度を測定するICP発光分析装置において、
モニターする元素の入力を受け付ける受け付け手段と、
該受け付け手段により受け付けた元素に係る発光強度を取得する取得手段と、
該取得手段により取得した発光強度に基づいて試料の測定時期を判別する判別手段と
を備えることを特徴とするICP発光分析装置。
In an ICP emission spectrometer that measures the emission intensity of an element in a sample,
Receiving means for receiving input of elements to be monitored;
Obtaining means for obtaining the emission intensity of the element received by the receiving means;
An ICP emission analyzer comprising: a discriminating unit that discriminates a measurement timing of the sample based on the emission intensity acquired by the acquiring unit.
前記判別手段により試料の測定時期を判別した後の、前記取得手段により取得した発光強度に基づいて試料の洗浄終了時期を判別する終了時期判別手段
をさらに備えることを特徴とする請求項7に記載のICP発光分析装置。
8. The apparatus according to claim 7, further comprising: an end time determination unit that determines a cleaning end time of the sample based on the emission intensity acquired by the acquisition unit after the determination unit determines the measurement time of the sample. ICP emission analyzer.
前記判別手段は、
前記取得手段により取得した発光強度の時間的変化が所定値より大きいか否かを判断する変化判別手段と、
該変化判別手段により前記所定値より大きいと判断した場合に、前記取得手段により取得した発光強度の時間的変化が所定範囲内であるか否かを判別する範囲判別手段と、
該範囲判別手段により所定範囲内であると判別した場合に、試料の測定時期であると判別する手段と
を備えることを特徴とする請求項7または8に記載のICP発光分析装置。
The discrimination means includes
Change determination means for determining whether or not the temporal change in the emission intensity acquired by the acquisition means is greater than a predetermined value;
A range discriminating unit for discriminating whether or not the temporal change in the emission intensity acquired by the acquiring unit is within a predetermined range when it is determined by the change determining unit that the value is larger than the predetermined value;
9. The ICP emission analysis apparatus according to claim 7 or 8, further comprising means for discriminating that it is time to measure a sample when the range discriminating means discriminates that it is within a predetermined range.
前記終了時期判別手段は、
前記判別手段により試料の測定時期を判別した後に、前記取得手段により取得した発光強度の時間的変化が所定値より大きいか否かを判断する手段と、
該手段により前記所定値より大きいと判断した場合に、前記取得手段により取得した発光強度の時間的変化が所定範囲内であるか否かを判別する手段と、
該手段により所定範囲内であると判別した場合に、試料の洗浄終了時期であると判別する手段と
を備えることを特徴とする請求項8または9に記載のICP発光分析装置。
The end time determination means includes
Means for determining whether or not a temporal change in emission intensity acquired by the acquisition means is greater than a predetermined value after determining the measurement time of the sample by the determination means;
Means for determining whether or not the temporal change in the emission intensity acquired by the acquisition means is within a predetermined range when the means determines that the value is greater than the predetermined value;
The ICP emission analysis apparatus according to claim 8 or 9, further comprising means for discriminating that it is the cleaning end time of the sample when it is discriminated within the predetermined range by the means.
前記受け付け手段によりモニターする元素の入力を受け付ける前に、分光器から出力される各元素に対応する発光強度に基づき、試料の組成を分析する分析手段をさらに備え、
前記受け付け手段は、
前記分析手段により分析された試料中の元素を、モニターする元素として受け付けるよう構成してある
ことを特徴とする請求項7乃至10のいずれか一つに記載のICP発光分析装置。
Before receiving the input of the element to be monitored by the receiving means, further comprising analysis means for analyzing the composition of the sample based on the emission intensity corresponding to each element output from the spectrometer,
The accepting means is
The ICP emission analysis apparatus according to any one of claims 7 to 10, wherein an element in the sample analyzed by the analyzing means is received as an element to be monitored.
試料中の元素の発光強度を測定するICP発光分析装置による試料の測定時期を判別するためのプログラムにおいて、
ICP発光分析装置に、
モニターする元素の入力を受け付ける受け付けステップと、
該受け付けステップにより受け付けた元素に係る発光強度を取得する取得ステップと、
該取得ステップにより取得した発光強度に基づいて試料の測定時期を判別する判別ステップと
を実行させることを特徴とするプログラム。
In a program for discriminating the measurement time of a sample by an ICP emission spectrometer that measures the emission intensity of an element in the sample,
ICP emission analyzer
A reception step for receiving an input of an element to be monitored;
An acquisition step of acquiring emission intensity relating to the element received in the reception step;
And a determination step of determining a measurement time of the sample based on the emission intensity acquired in the acquisition step.
前記判別ステップにより試料の測定時期を判別した後の、前記取得ステップにより取得した発光強度に基づいて試料の洗浄終了時期を判別する終了時期判別ステップ
をさらに実行させることを特徴とする請求項12に記載のプログラム。
13. The process according to claim 12, further comprising: an end time determination step of determining a cleaning end time of the sample based on the emission intensity acquired in the acquisition step after determining the measurement time of the sample in the determination step. The program described.
JP2006356212A 2006-12-28 2006-12-28 Measuring period determining method, icp emission spectrometer analyzer and program Pending JP2008164513A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006356212A JP2008164513A (en) 2006-12-28 2006-12-28 Measuring period determining method, icp emission spectrometer analyzer and program

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006356212A JP2008164513A (en) 2006-12-28 2006-12-28 Measuring period determining method, icp emission spectrometer analyzer and program

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008164513A true JP2008164513A (en) 2008-07-17

Family

ID=39694208

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006356212A Pending JP2008164513A (en) 2006-12-28 2006-12-28 Measuring period determining method, icp emission spectrometer analyzer and program

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008164513A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013099928A1 (en) * 2011-12-28 2013-07-04 イマジニアリング株式会社 System for provision of analysis results, analysis terminal, and method for provision of analysis results
CN110196248A (en) * 2019-04-19 2019-09-03 东旭科技集团有限公司 The detection method of iron content in micro- iron sample

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63196841A (en) * 1987-02-12 1988-08-15 Shimadzu Corp Icp emission analyzer
JPH06109639A (en) * 1992-09-25 1994-04-22 Nippon Sheet Glass Co Ltd Method for emission spectral analysis
JPH08145892A (en) * 1994-11-25 1996-06-07 Hitachi Ltd Icp light emitting analyzer
JPH09239298A (en) * 1996-03-06 1997-09-16 Kinousui Kenkyusho:Kk Spray apparatus for icp
JP2002503807A (en) * 1998-02-13 2002-02-05 マサチューセッツ・インスティテュート・オブ・テクノロジー Microwave-induced plasma elemental sensor

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63196841A (en) * 1987-02-12 1988-08-15 Shimadzu Corp Icp emission analyzer
JPH06109639A (en) * 1992-09-25 1994-04-22 Nippon Sheet Glass Co Ltd Method for emission spectral analysis
JPH08145892A (en) * 1994-11-25 1996-06-07 Hitachi Ltd Icp light emitting analyzer
JPH09239298A (en) * 1996-03-06 1997-09-16 Kinousui Kenkyusho:Kk Spray apparatus for icp
JP2002503807A (en) * 1998-02-13 2002-02-05 マサチューセッツ・インスティテュート・オブ・テクノロジー Microwave-induced plasma elemental sensor

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013099928A1 (en) * 2011-12-28 2013-07-04 イマジニアリング株式会社 System for provision of analysis results, analysis terminal, and method for provision of analysis results
JPWO2013099928A1 (en) * 2011-12-28 2015-05-11 イマジニアリング株式会社 Analysis result providing system, analysis terminal, and analysis result providing method
US9903818B2 (en) 2011-12-28 2018-02-27 Imagineering, Inc. System for provision of analysis results, analysis terminal, and method for provision of analysis results
CN110196248A (en) * 2019-04-19 2019-09-03 东旭科技集团有限公司 The detection method of iron content in micro- iron sample

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10001410B2 (en) Quantitative elemental profiling in optical emission spectroscopy
JP2007078375A (en) Autoanalyzer
EP3136085A1 (en) Spectroscopic quantification method, and spectroscopic quantification device and program
JP5522584B2 (en) ICP emission spectroscopy method
Luna et al. A comparison of different strategies in multivariate regression models for the direct determination of Mn, Cr, and Ni in steel samples using laser-induced breakdown spectroscopy
Gu et al. Rugged, portable tungsten coil atomic emission spectrometer
JP2008164513A (en) Measuring period determining method, icp emission spectrometer analyzer and program
JP5387536B2 (en) How to create a calibration curve
JP4754888B2 (en) Emission spectroscopy analysis method and emission spectroscopy analyzer
JP3274187B2 (en) Emission spectroscopy method
JP2009511890A (en) Methods for qualitative and quantitative analysis by emission spectroscopy
JP2007024679A (en) Analyzer and analyzing processing method
JP4506524B2 (en) Optical emission spectrometer
JP4626572B2 (en) Optical emission spectrometer
JP2007155547A (en) Analysis start time determination method and icp light emission analyzer
Skřínský et al. Allan variance for optimal signal averaging—monitoring by diode–laser and CO2 laser photo-acoustic spectroscopy
JPH09318599A (en) Data processor for chromatograph/mass spectrometer
JP2000136999A (en) Detection device of analysis device
JP3187346U (en) Luminescence analyzer
JP2001311720A (en) Mass spectrometry and mass spectrometer
Benhabib et al. Surface-Enhanced Raman Spectroscopy for Rapid and Cost-Effective Quantification of Amines in Sour Water
JP2007315945A (en) Component analysis method and apparatus of melted metal within finery
JP6973123B2 (en) Analytical control device, analytical device, analytical control method and analytical method
JP3750628B2 (en) Analysis method support system and method
JP3972307B2 (en) Ni emission spectroscopic analysis method and steel making method using this method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Effective date: 20081218

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

A977 Report on retrieval

Effective date: 20101216

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20110104

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110426