JP2008157350A - レギュレータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流体を設定圧力に制御するレギュレータ1において、弁体7が当接又は離間する弁座部15の硬度が、D70以下である。流体を設定圧力に制御するレギュレータ1において、弁体7が当接又は離間する弁座部15の引張伸び率が、温度23度の条件下で、250%以上である。上記弁座部15は、PFA又はPTFEを材質とすることが望ましい。
【選択図】 図1
Description
PCTFE製の弁シートは、弁シート中心を挟んで反対位置にあるシール面のうち、一方のシール面の幅が、図10(a)に示すように120μmであったのに対して、他方のシール面の幅が、図10(b)に示すように28μmであった。よって、PTCFE製弁シートは、ポペット弁体が片当たりしていることが分かった。
(1)流体を設定圧力に制御するレギュレータにおいて、弁体が当接又は離間する弁座部は、硬度がD70以下のフッ素樹脂を材質とする。
(4)(1)乃至(3)の何れか一つに記載の発明において、1MPa以下の流体を制御するものである。
本発明のレギュレータは、1MPa以下の流体を制御するので、弁体が弁座部に当接する力が小さくて済む。よって、本発明のレギュレータによれば、弁座部の硬度が低く、或いは、引張伸び率が大きい場合でも、弁座部が破損しにくい。
レギュレータ1は、流路ブロック2にハウジング3が取り付けられて外観が構成されている。ハウジング3は、第1シリンダ部4と第2シリンダ部5を螺合接続して構成されている。第2シリンダ部5の上端部には、調整ハンドル6が回転可能に取り付けられている。流路ブロック2に内設されたポペット弁体7は、ダイアフラム8と分離して設けられたフリーポペット構造になっている。ポペット弁体7は、ステンレスなどの金属を材質とする。ダイアフラム8には、ハウジング3に内設された調整機構9が当接している。調整機構9は、調整ハンドル6の回転に応じてダイアフラム8に与える外圧を調整し、作用ガスの設定圧力を設定できるように構成されている。
一方、第2圧力室18の圧力が設定圧力より高い場合には、ダイアフラム8が上向きに変形し、それに伴いポペット弁体7が押し上げられる。これにより、弁開度が狭くなり、第2圧力室18に流入する作用ガスが減少し、第2圧力室18の圧力が低下する。
具体的には、PFA(四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)又はPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)を材質とする弁シート15を使用する。
PCTFE製サンプル150Aは、漏洩量が基準値L以下になるのに、約2.5Nの荷重を必要とした。これに対して、PFA製サンプル150B及びPTFE製サンプル150Cは、漏洩量が基準値L以下になるのに、約0.2Nの荷重を必要とした。
試験回路41は、上流側からサンプル用レギュレータ100A(100B)と圧力計52と弁53と流量調整弁54とを直列に接続したものである。サンプル用レギュレータ100A(100B)の設定圧力は、圧力計52が0.35MPaを計測するように設定する。また、流量調整弁54は、試料の流量を30slmに制御するように弁開度を調整する。
一方、PFA製サンプル150Bを使用するサンプル用レギュレータ100Bは、弁53が100万回動作しても、設定圧力の上昇は起こらなかった。
尚、PTFE製サンプル150Cを使用した場合の耐久性についても、PFAと同様の結果が得られた。
引張伸び率は、温度が23℃の条件下で、PCTFEが80〜250%、PFAが250〜350%、PTFEが200〜400%である。よって、PCTFEは、PFAやPTFEより引張伸び率が小さいため、変形しにくい。
図8に示すように、試験回路は、レギュレータ61と、圧力計62と、フィルタ63と、サンプル用レギュレータ100A(又は100B)と、圧力計64と、エアオペレイトバルブ65と、流量調整弁66と、流量計67とを直列に接続し、流量計67をパーティクルカウンタ68に接続して構成する。
図9に示すように、PCTFE製弁シート150Aを使用するサンプル用レギュレータ100Aは、動作回数が1.E+02回と少ないときから、パーティクルが500個以上生じ、さらに動作回数が1.E+03回になるまでの間にパーティクル発生量が約10倍に増加した。その後、パーティクル発生量が減少するが、これは弁シート150Aの摩耗が進んで削れにくくなり、パーティクルが減少したものと考えられる。
尚、発明者らは、PTFE製弁シート150Cについても同様の試験を行い、PFA製弁シート150Bと同様の結果が得られた。
しかも、PFA又はPTFE製弁シート15は、PCTFE製弁シートと比べて摩耗速度が遅くて摩耗しにくいので、流体漏れを生じにくく、耐久性が良い。
例えば、上記実施形態では、レギュレータをガス供給制御装置に使用したが、第1ポート11をガス容器に接続し、第2ポート12を真空ポンプに接続し、真空引きする際の圧力調整に使用してもよい。
例えば、上記実施形態では、流路ブロック2とシートホルダ16との間で狭持される弁シート15を「弁座部」の一例とした。これに対して、シートホルダ16又は流路ブロック2に弁シート15を一体に設けてもよいし、流路ブロック2やホルダ16などをPTFEなどの樹脂で形成して、弁座部を一体成形してもよい。
7 ポペット弁体(弁体)
15 弁シート(弁座部)
Claims (4)
- 流体を設定圧力に制御するレギュレータにおいて、
弁体が当接又は離間する弁座部は、硬度がD70以下のフッ素樹脂を材質とすることを特徴とするレギュレータ。 - 流体を設定圧力に制御するレギュレータにおいて、
弁体が当接又は離間する弁座部は、引張伸び率が、温度23度の条件下で、250%以上のフッ素樹脂を材質とすることを特徴とするレギュレータ。 - 請求項1又は請求項2に記載するレギュレータにおいて、
前記弁座部は、PFA又はPTFEを材質とすることを特徴とするレギュレータ。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一つに記載するレギュレータにおいて、
1MPa以下の流体を制御するものであることを特徴とするレギュレータ。
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