JP2008153461A - 放射線検出器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】放射線検出器1は、結晶性中間層30の結晶粒径が光導電層17の結晶粒径よりも小さいため、結晶性中間層30の前面30aにおける凹凸の度合いが、光導電層17の前面17aにおける凹凸の度合いに対して緩和される。よって、光導電層17の前面17aに結晶性中間層30を形成して当該結晶性中間層30の前面30aに共通電極18を形成することにより、共通電極18が不連続に形成されるのを防止する。
【選択図】図5
Description
結晶性中間層の一方の主面に形成された共通電極と、を備え、結晶性中間層の結晶粒径は、結晶性光導電層の結晶粒径よりも小さいことを特徴とする。
まず、本発明の第1実施形態に係る放射線検出器について説明する。
次に、本発明の第2実施形態に係る放射線検出器について説明する。
Claims (5)
- 放射線を検出するための放射線検出器であって、
基板、及び当該基板の一方の主面側に1次元又は2次元に配列された複数の画素電極を有する信号読出し基板と、
前記信号読出し基板の一方の主面側に形成された結晶性光導電層と、
前記結晶性光導電層の一方の主面側に形成された結晶性中間層と、
前記結晶性中間層の一方の主面に形成された共通電極と、を備え、
前記結晶性中間層の結晶粒径は、前記結晶性光導電層の結晶粒径よりも小さいことを特徴とする放射線検出器。 - 前記結晶性光導電層及び前記結晶性中間層は、いずれも金属ハロゲン化物からなることを特徴とする請求項1記載の放射線検出器。
- 前記結晶性光導電層と前記結晶性中間層とは、同一の金属ハロゲン化物からなることを特徴とする請求項1又は2記載の放射線検出器。
- 放射線を検出するための放射線検出器であって、
基板、及び当該基板の一方の主面側に1次元又は2次元に配列された複数の画素電極を有する信号読出し基板と、
前記信号読出し基板の一方の主面側に形成された結晶性光導電層と、
前記結晶性光導電層の一方の主面側に形成された結晶性中間層と、
前記結晶性中間層の一方の主面側に形成された導電性中間層と、
前記導電性中間層の一方の主面に形成された共通電極と、を備え、
前記結晶性中間層の結晶粒径は、前記結晶性光導電層の結晶粒径よりも小さく、
前記導電性中間層の一方の主面における単位領域当たりの表面積は、前記結晶性中間層の一方の主面における単位領域当たりの表面積よりも小さいことを特徴とする放射線検出器。 - 前記導電性中間層は、ダイヤモンドライクカーボンを含むことを特徴とする請求項4記載の放射線検出器。
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WO2013094099A1 (ja) * | 2011-12-19 | 2013-06-27 | 株式会社島津製作所 | 放射線検出器およびその製造方法 |
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JP2001102602A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Shimadzu Corp | アレイ型検出装置、およびその製造方法 |
JP2003209238A (ja) * | 2002-01-17 | 2003-07-25 | Toshiba Corp | X線検出器及びその製造方法 |
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