JP2008150125A - Levitation conveying device - Google Patents

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Kunihiko Kimura
邦彦 木村
Yasuyuki Takahashi
泰之 高橋
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Mitsubishi Materials Techno Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a levitation conveying device capable of finely adjusting the conveying speed of a conveyed material with a method except adjustment of the air jet pressure. <P>SOLUTION: In this levitation conveying device for conveying a thin plate-like conveyed material w along a conveying path, levitating it, a plate 23 arranged along the conveying path is formed with air jet holes 23a for jetting air to levitate the conveyed material over the whole surface, and a speed adjusting air jet unit 7 is provided to accelerate/decelerate the conveyed material in the conveying direction by jetting air to the lower surface of the conveyed material. A plurality of air jet units 7 are provided along the conveying path outside the plate, possibly to adjust the air jet angle in relation to the conveyed material. In a travelling starting part 1, the air jet unit 7 is provided to jet the air forward in the conveying direction of the conveyed material, and in a travelling stop part 3, the air jet unit 7 is provided to jet the air backward in the conveying direction of the conveyed material. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ガラス板などの薄板状の被搬送物を速度調整しつつ浮上搬送させることができる浮上搬送装置に関するものである。   The present invention relates to a levitating and conveying apparatus capable of levitating and conveying a thin plate-like object to be conveyed such as a glass plate while adjusting the speed.

上記被搬送物を搬送する搬送装置としては、例えば、特許文献1に示すように、搬送方向に直交する方向に向けて水平に配設された棒状の搬送ローラを搬送方向に向けて多数配設したものが用いられている。この搬送装置によれば、搬送ローラを、被搬送物の載置面が搬送方向に向けて移動するように回転させることによって、被搬送物が搬送方向に搬送されるようになっている。   As a transport device for transporting the object to be transported, for example, as shown in Patent Document 1, a large number of bar-shaped transport rollers disposed horizontally in the direction orthogonal to the transport direction are disposed in the transport direction. Is used. According to this transport apparatus, the transported object is transported in the transport direction by rotating the transport roller so that the placement surface of the transported object moves in the transport direction.

しかしながら、被搬送物が搬送ローラの上を移動する際に、搬送ローラによって被搬送物が傷付けられる恐れや搬送ローラ表面に付着している異物が被搬送物に転写される恐れがある。このため、特に、被搬送物がディスプレイパネル用のガラス板などである場合に、傷や異物が製品の欠陥の原因となりうるという問題があった。   However, when the object to be conveyed moves on the conveying roller, there is a possibility that the object to be conveyed is damaged by the conveying roller, or that foreign matter adhering to the surface of the conveying roller is transferred to the object to be conveyed. For this reason, particularly when the object to be conveyed is a glass plate for a display panel or the like, there has been a problem that scratches or foreign matter may cause a product defect.

そこで、近年、搬送装置として、エアーを噴出して、被搬送物を浮上させつつ搬送させる浮上搬送装置が開発されている(例えば、特許文献2)。この浮上搬送装置は、外観視厚板状のプレートに、被搬送物を浮上させるエアー噴出孔や被搬送物を搬送路に沿って前進させるエアー噴出孔がそれぞれ形成されており、搬送ローラによって被搬送物が傷付けられる恐れや搬送ローラによる被搬送物への異物の転写の恐れがない。   In recent years, therefore, a levitation conveyance device has been developed as a conveyance device that ejects air and conveys an object to be conveyed while floating (for example, Patent Document 2). In this levitation conveyance device, an air ejection hole for levitating the object to be conveyed and an air ejection hole for advancing the object to be conveyed along the conveyance path are formed on a plate having a thick plate in appearance. There is no risk of the transported object being damaged or the transfer of foreign matter to the transported object by the transport roller.

ところが、この浮上搬送装置は、噴出孔の角度を調整することができないために、被搬送物の搬送速度を調整するためにはエアーの噴出圧量を調整するしかなく、被搬送物を加速させる場合には、不要に多量のエアーを噴出させることとなり、エネルギー効率が悪い上に、噴出圧力の増減だけでは搬送速度の微調整が困難であるという問題があった。   However, since this levitation transport device cannot adjust the angle of the ejection hole, the only way to adjust the transport speed of the transported object is to adjust the air ejection pressure amount and accelerate the transported object. In this case, a large amount of air is unnecessarily ejected, resulting in problems that energy efficiency is poor and fine adjustment of the conveying speed is difficult only by increasing or decreasing the ejection pressure.

特開2005−194060号公報JP 2005-194060 A 特開2004−345814号公報JP 2004-345814 A

本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、エアー噴出圧力の調整以外の方法によって被搬送物の搬送速度を微調整することができる浮上搬送装置を提供することを課題とする。   This invention is made | formed in view of this situation, and makes it a subject to provide the levitation conveyance apparatus which can finely adjust the conveyance speed of a to-be-conveyed object by methods other than adjustment of air ejection pressure.

すなわち、請求項1に記載の発明は、薄板状の被搬送物を浮上させつつ搬送路に沿って搬送させる浮上搬送装置において、上記搬送路に沿って配設されたプレートに全面に亘って上記被搬送物を浮上させるエアーの噴出孔が形成されており、かつ上記被搬送物の下面に向けてエアーを噴出して、上記被搬送物を搬送方向に向けて加減速させる速度調整エアー噴出器が上記被搬送物に対するエアー噴出角度を調整可能に上記プレートの外方に上記搬送路に沿って複数設けられていることを特徴としている。   That is, the invention according to claim 1 is a levitation conveyance device that conveys a thin plate-shaped object to be conveyed along a conveyance path while levitating the plate, and the plate is disposed over the entire surface along the conveyance path. A speed-adjusting air ejector that is formed with an air ejection hole for levitating the object to be conveyed and that injects air toward the lower surface of the object to be conveyed and accelerates or decelerates the object to be conveyed in the conveying direction. Are provided on the outside of the plate along the transport path so that the air ejection angle with respect to the transported object can be adjusted.

また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の浮上搬送装置において、上記速度調整エアー噴出器は、上記搬送路の走行起動部に上記被搬送物の搬送方向に向けてエアーを噴出するように設けられており、かつ上記搬送路の走行停止部に上記被搬送物の搬送方向後方に向けてエアーを噴出するように設けられていることを特徴としている。   Further, the invention according to claim 2 is the levitation conveyance apparatus according to claim 1, wherein the speed adjustment air ejector blows air toward a traveling start portion of the conveyance path toward a conveyance direction of the object to be conveyed. It is provided so that it may be ejected, and it is provided so that air may be ejected to the back of the conveyance direction of the above-mentioned to-be-conveyed object at the travel stop part of the above-mentioned conveyance path.

さらに、請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の浮上搬送装置において、上記走行起動部の速度調整エアー噴出器は、上記エアーの噴出方向が上記プレートの表面に直交する方向に対して15°以上であって、かつ75°以下の角度になるように設置されていることを特徴としている。   Further, the invention according to claim 3 is the levitation conveyance apparatus according to claim 2, wherein the speed adjusting air ejector of the travel activation unit is in a direction in which the air ejection direction is perpendicular to the surface of the plate. It is characterized by being installed at an angle of 15 ° or more and 75 ° or less.

請求項1〜3のいずれかに記載の浮上搬送装置によれば、プレートの全面に形成されたエアー噴出孔から噴出されるエアーによって、被搬送物を浮上させつつ、プレートの外方に搬送路に沿って被搬送物に対するエアー噴出角度を調整可能に設けられた速度調整エアー噴出器によって、被搬送物を搬送方向に向けて加減速させることができる。
このため、速度調整エアー噴出器のエアー噴出角度を調整することによって、被搬送物の搬送速度を微調整することができ、搬送速度を加速させる際にも、不要にエアー噴出量を増加させることなく、被搬送物を搬送させることができる。
According to the levitation conveyance apparatus according to any one of claims 1 to 3, a conveyance path is formed outside the plate while the object to be conveyed is levitated by air ejected from an air ejection hole formed on the entire surface of the plate. The speed adjustment air ejector provided so that the air ejection angle with respect to the object to be conveyed can be adjusted along the direction of the object can be accelerated and decelerated in the conveying direction.
For this reason, it is possible to finely adjust the transport speed of the object to be transported by adjusting the air ejection angle of the speed adjustment air ejector, and unnecessarily increase the amount of air ejection when accelerating the transport speed. And the object to be conveyed can be conveyed.

それ故に、この速度調整エアー噴出器は、請求項2に記載の発明のように、搬送路の走行起動部に搬送方向に向けてエアーを噴出するように設けることによって、被搬送物を搬送路に沿って、漸次、加速させて前進させることができるとともに、搬送路の走行停止部に搬送方向後方に向けてエアーを噴出するように設けることによって、漸次、被搬送物を減速させて停止させることができる。   Therefore, as in the invention described in claim 2, the speed adjusting air ejector is provided so that air is ejected toward the transport direction in the travel starting part of the transport path, thereby conveying the object to be transported to the transport path. In addition to being able to be accelerated and advanced along the direction, the object to be conveyed is gradually decelerated and stopped by providing air at the traveling stop portion of the conveyance path so as to eject air toward the rear in the conveyance direction. be able to.

その際、走行起動部の速度調整エアー噴出器は、請求項3に記載の発明のように、エアーの噴出方向がプレートの表面に直交する方向に対して15°以上であって、かつ75°以下の角度になるように設置することによって、被搬送物を搬送方向に向けて速やかに加速させることができる。   At that time, the speed adjusting air jet of the travel starting part is 15 ° or more with respect to the direction perpendicular to the surface of the plate and 75 ° as in the invention of claim 3. By installing so that it may become the following angles, a to-be-conveyed object can be accelerated rapidly toward a conveyance direction.

以下、本発明の浮上搬送装置の最良の実施形態を、図1〜図10を用いて説明する。
本実施形態の浮上搬送装置は、図1及び図2に示すように、走行起動部1と、走行部2と、走行停止部3とによって構成されており、被搬送物としてのガラス板wを走行起動部1から走行部2を経由して走行停止部3に向けて搬送する搬送路を形成するようになっている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the best embodiment of a levitation transport apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIGS. 1 and 2, the levitation transport apparatus of the present embodiment is configured by a travel starter 1, a traveler 2, and a travel stop 3, and a glass plate w as a transported object is provided. A transport path for transporting from the travel start unit 1 to the travel stop unit 3 via the travel unit 2 is formed.

この走行起動部1は、床上に支持された中空の基台4の上部に、搬送方向に直交する方向に向けて水平に配設された外観略矩形筒状のアルミフレーム11が搬送方向に向けて並列的に複数本配設されて、ボルト・ナット等の接合部材によって一体的に設けられている。このアルミフレーム11上に、搬送方向に向けて橋架されたアルミフレーム(プレート)12が搬送路における幅方向の左右両部に複数本ずつ水平に設置されるとともに、アルミフレーム11にボルト・ナット等の接合部材によって一体的に設けられている。   The travel activation unit 1 includes an aluminum frame 11 having a substantially rectangular cylindrical shape that is horizontally disposed on a hollow base 4 supported on a floor in a direction perpendicular to the transport direction. A plurality of them are arranged in parallel, and are integrally provided by a joining member such as a bolt and a nut. On the aluminum frame 11, a plurality of aluminum frames (plates) 12 bridged in the conveying direction are horizontally installed on both the left and right sides in the width direction of the conveying path, and bolts, nuts, etc. Are integrally provided by the joining member.

これらのアルミフレーム12は、それぞれ内部空間が気密的に設けられてチャンバー41を構成しているとともに、上部全面に等間隔に噴出孔が形成されている。また、この噴出孔を覆うように多孔質パットが敷かれるとともに、この多孔質パッドとアルミフレーム12との間の噴出孔の外周にOリングが介在され、かつこの多孔質パッドをアルミフレーム12上に固定して、噴出孔から噴出するエアーを多孔質パットによって拡散させて、上方に向けて噴出させる固定リング13が設置されている。この固定リング13は、円板の中央部に噴出孔に通じる円形の開口が形成された上面固定部13aと、この上面固定部13aの外周からアルミフレーム12に向けて突出して、アルミフレーム12と一体的に設けられた円筒状の側壁部13bとによって構成されている。   Each of the aluminum frames 12 has an internal space hermetically provided to form a chamber 41, and jet holes are formed at equal intervals on the entire upper surface. In addition, a porous pad is laid to cover the ejection hole, an O-ring is interposed on the outer periphery of the ejection hole between the porous pad and the aluminum frame 12, and the porous pad is placed on the aluminum frame 12. The fixing ring 13 is installed so that the air ejected from the ejection holes is diffused by the porous pad and ejected upward. The fixing ring 13 has an upper surface fixing portion 13a in which a circular opening leading to the ejection hole is formed at the center of the disc, and projects from the outer periphery of the upper surface fixing portion 13a toward the aluminum frame 12, It is comprised by the cylindrical side wall part 13b provided integrally.

他方、上記基台4内には、各チャンバー41に対応する風量調整ダンパー42がそれぞれ搬送路幅方向に向けて並列的に設置されており、これらの各ダンパー42の両端部から各アルミフレーム12の両端部にそれぞれダクト43が接続されて、所定の圧力を有するエアーが各チャンバー41内に供給されるようになっている。これにより、アルミフレーム12の噴出孔からエアーが上方に向けて噴出して、多孔質パットにより拡散しつつ固定リング13の開口から放出されることにより、ガラス板wが浮上するようになっている。   On the other hand, in the base 4, air volume adjustment dampers 42 corresponding to the respective chambers 41 are installed in parallel in the conveyance path width direction, and the aluminum frames 12 are provided from both ends of the respective dampers 42. Ducts 43 are connected to the both ends of the chamber, respectively, so that air having a predetermined pressure is supplied into each chamber 41. As a result, air is ejected upward from the ejection holes of the aluminum frame 12 and is released from the opening of the fixing ring 13 while being diffused by the porous pad, whereby the glass plate w is floated. .

一方、搬送路の幅方向の中央部と、同幅方向の左右両端部には、それぞれ搬送方向にむけてエアーを噴出する速度調整エアー噴出器7がアルミフレーム12に沿って複数基配設されている。これらの速度調整エアー噴出器7は、図7及び図8に示すように、それぞれ外観視略矩形平板状のエアー噴出器本体70にL字状の流路71が形成されるとともに、その上部に流路71に通じる噴出孔71aが形成されており、流路71の他端部に配管継手72が接続されて概略構成されている。そして、各配管継手72に圧力を調整したエアーを供給する配管(図示を略す)がダクト43及び風量調整ダンパー42等のアルミフレーム12にエアーを供給する機構から独立して設けられており、速度調整エアー噴出器7は、一定台数毎に個々のユニットを構成している。   On the other hand, a plurality of speed adjusting air ejectors 7 for ejecting air toward the transport direction are provided along the aluminum frame 12 at the center in the width direction of the transport path and at both left and right ends in the width direction. ing. As shown in FIGS. 7 and 8, these speed-adjusting air ejectors 7 are each formed with an L-shaped flow channel 71 in an air ejector main body 70 having a substantially rectangular plate shape in appearance, and an upper portion thereof. An ejection hole 71 a communicating with the flow path 71 is formed, and a pipe joint 72 is connected to the other end portion of the flow path 71 and is schematically configured. A pipe (not shown) for supplying air whose pressure is adjusted to each pipe joint 72 is provided independently from a mechanism for supplying air to the aluminum frame 12 such as the duct 43 and the air volume adjusting damper 42. The adjusted air ejector 7 constitutes an individual unit for every fixed number of units.

そして、一つのユニットを構成している複数台のエアー噴出器7は、それぞれエアー噴出器本体70の平板面下部70aがエアー噴出器本体70の一側面に接してアルミフレーム11上に搬送方向に向けて固設された一本の支持板73に固定されるとともに、平板面の上部がエアー噴出器本体70の他方の側面に接して移動可能に配設された一本の細長状の連結板74に固定されている。さらに、各連結板74に固定された一台のエアー噴出器本体70にそれぞれ回転機構8が連結されている。   The plurality of air ejectors 7 constituting one unit are each in the conveying direction on the aluminum frame 11 with the flat plate surface lower part 70a of the air ejector body 70 in contact with one side surface of the air ejector body 70. One elongate connecting plate fixed to one supporting plate 73 fixed toward the surface and movably arranged with the upper portion of the flat plate contacting the other side surface of the air ejector body 70 74 is fixed. Further, the rotating mechanism 8 is connected to one air ejector body 70 fixed to each connecting plate 74.

この回転機構8は、図9及び図10に示すように、エアー噴出器本体70に支持板73を挿通して連結されたウォームホイール81と、このウォームホイール81の噛合する螺旋状の歯が上下方向に向けて形成された細長状のウォーム82aを具備する調節具82とによって構成されている。この調節具82は、その下部にハンドル82bが備えられており、このハンドル82bを回転駆動させることによって、ウォーム82aが上下方向に移動して、ウォームホイール81が回転することにより、連結されたエアー噴出器本体70が下部70aを中心に一定角度に回転するようになっている。そして、この連結された一台のエアー噴出器本体70が回転することによって、連結板74が移動して、その他のエアー噴出器本体70がそれぞれ下部70aを中心に同角度だけ回転するようになっている。これにより、各エアー噴出器本体70は、噴出孔71a側の流路71の直線部が鉛直線に対して30°以上であって、かつ60°以下の所定角度に配設されて設置されている。   As shown in FIGS. 9 and 10, the rotating mechanism 8 includes a worm wheel 81 that is connected to the air ejector body 70 through a support plate 73 and a helical tooth that meshes with the worm wheel 81. And an adjusting tool 82 having an elongated worm 82a formed in the direction. The adjuster 82 is provided with a handle 82b at the lower portion thereof. When the handle 82b is driven to rotate, the worm 82a is moved in the vertical direction, and the worm wheel 81 is rotated to thereby connect the connected air. The ejector body 70 rotates at a constant angle around the lower part 70a. Then, by rotating the connected one air ejector body 70, the connecting plate 74 is moved, and the other air ejector bodies 70 are rotated by the same angle around the lower portion 70a. ing. Thereby, each air ejector main body 70 is disposed with a straight portion of the flow path 71 on the ejection hole 71a side being disposed at a predetermined angle of 30 ° or more and 60 ° or less with respect to the vertical line. Yes.

次いで、走行部2は、床上に支持された中空の基台5の上部に、搬送方向に直交する方向に配設された外観略矩形筒状のアルミフレーム21が搬送方向に向けて並列的に複数本配設されて、ボルト・ナット等の接合部材によって一体的に設けられている。また、これらのアルミフレーム21上に搬送路における幅方向の左右両部にそれぞれ複数枚の水平板状のデッキボード22が搬送方向に向けて直列に配設されている。各デッキボード22は、全面に噴出孔22aが形成されるとともに、下部に搬送路に沿って配設された扁平な有底筒体23が一体に設けられて、有底筒体23とともに水平プレートを構成している。各有底筒体23は、上記幅方向の中央部にエアー導入部23aが搬送路に沿って複数設けられるとともに、デッキボード22との間の内部空間が気密的に設けられてチャンバー51が形成されている。   Next, the traveling unit 2 includes an aluminum frame 21 having a substantially rectangular cylindrical shape arranged in a direction orthogonal to the transport direction in parallel with the transport direction in the upper part of the hollow base 5 supported on the floor. A plurality of them are provided and integrally provided by a joining member such as a bolt and a nut. On these aluminum frames 21, a plurality of horizontal plate-like deck boards 22 are arranged in series in the conveyance direction at both the left and right portions in the width direction of the conveyance path. Each deck board 22 has an ejection hole 22a formed on the entire surface, and a flat bottomed cylindrical body 23 disposed along the conveyance path is integrally provided at the lower portion, and a horizontal plate together with the bottomed cylindrical body 23. Is configured. Each bottomed cylindrical body 23 is provided with a plurality of air introduction portions 23a along the conveyance path at the center in the width direction, and an internal space between the deck board 22 and the chamber 51 is formed in an airtight manner. Has been.

他方、上記基台5内には、各チャンバー51に対応する風量調整ダンパー52がそれぞれ搬送路の幅方向に向けて並列的に複数設置されており、これらの各ダンパー52の両端部から各エアー導入部23aにそれぞれダクト(図示を略す)が接続されて、所定の圧力を有するエアーが各チャンバー51内に供給されるようになっている。これにより、デッキボード22の噴出孔22aからエアーが上方に向けて噴出して、この噴出エアーをガラス板wに直接接触させて、ガラス板wを浮上させたまま走行停止部3に搬送するようになっている。   On the other hand, a plurality of air volume adjustment dampers 52 corresponding to the respective chambers 51 are installed in parallel in the width direction of the conveyance path in the base 5, and each air is supplied from both ends of each of the dampers 52. Ducts (not shown) are connected to the introduction portions 23a, respectively, so that air having a predetermined pressure is supplied into each chamber 51. As a result, air is ejected upward from the ejection holes 22a of the deck board 22, and the ejected air is brought into direct contact with the glass plate w so as to be conveyed to the travel stop unit 3 while the glass plate w is floated. It has become.

次ぎに、走行停止部3は、走行部2と同様に、床上に支持された中空の基台6の上部に、搬送方向に直交する方向に配設された外観略矩形筒状のアルミフレーム31が搬送方向に向けて並列的に複数本配設されて、ボルト・ナット等の接合部材によって一体的に設けられている。また、これらのアルミフレーム31上に搬送路における幅方向の左右両部に各1枚の板状のデッキボード32が水平に配設されている。各デッキボード32は、図5及び図6に示すように、全面に噴出孔32aが形成されるとともに、それぞれ下部に搬送路に沿って配設された扁平な有底筒体33が一体に設けられて、有底筒体33とともに水平プレートを構成している。また、各デッキボード32は、その上部全面にガラス板wが停止する際に傷付くことを防止するテフロン(登録商標、以下同様)製の樹脂シート(図示を略す)が敷かれており、各有底筒体33は、有底筒体23と同様に、エアー導入部33aが複数設けられるとともに、デッキボード32との間にチャンバー61が形成されている。   Next, similarly to the traveling unit 2, the traveling stop unit 3 is formed on the upper part of the hollow base 6 supported on the floor, and has a substantially rectangular cylindrical aluminum frame 31 arranged in a direction orthogonal to the conveying direction. Are arranged in parallel in the transport direction and are integrally provided by a joining member such as a bolt and a nut. In addition, one plate-like deck board 32 is horizontally disposed on each of the aluminum frames 31 at the left and right portions in the width direction of the conveyance path. As shown in FIGS. 5 and 6, each deck board 32 has an ejection hole 32 a formed on the entire surface, and a flat bottomed cylindrical body 33 disposed along the conveyance path at the lower part thereof. Thus, a horizontal plate is formed together with the bottomed cylindrical body 33. In addition, each deck board 32 is provided with a resin sheet (not shown) made of Teflon (registered trademark, the same applies hereinafter) for preventing the glass plate w from being damaged when the glass plate w stops. As with the bottomed cylinder 23, the bottomed cylinder 33 is provided with a plurality of air introduction portions 33 a, and a chamber 61 is formed between the bottomed cylinder 33 and the deck board 32.

他方、上記基台6内には、基台5と同様に、各チャンバー61に対応する風量調整ダンパー62が設置されており、これらの各ダンパー62の両端部から各エアー導入部33aにそれぞれダクト63が接続されて、所定の圧力を有するエアーが各チャンバー61内に供給されるようになっている。これにより、デッキボード32の噴出孔32aからエアーが上方に向けて噴出して、この噴出エアーを樹脂シートを介してガラス板wに接触させて、ガラス板wを浮上させるようになっている。   On the other hand, in the base 6, similarly to the base 5, air volume adjustment dampers 62 corresponding to the respective chambers 61 are installed, and ducts are provided from both ends of the respective dampers 62 to the respective air introduction parts 33 a. 63 is connected so that air having a predetermined pressure is supplied into each chamber 61. As a result, air is ejected upward from the ejection holes 32a of the deck board 32, and the ejected air is brought into contact with the glass plate w through the resin sheet, so that the glass plate w is floated.

一方、速度調整エアー噴出器7のユニットは、上述の走行起動部1から走行部2の走行起動部1側まで噴出器本体70が回転機構8によって噴出孔71aを搬送方向前方部に向けて搬送路の幅方向の中央部と両端部とに配設されている。   On the other hand, in the unit of the speed adjusting air ejector 7, the ejector main body 70 conveys the ejection hole 71 a toward the front part in the conveying direction by the rotation mechanism 8 from the above-described traveling activation unit 1 to the traveling activation unit 1 side of the traveling unit 2. It is arrange | positioned at the center part and both ends of the width direction of a path | route.

また、同噴出器7のユニットは、走行部2の走行停止部3側から走行停止部3までデッキボード22、32同士の間及びその両側方に配設されている。これらのユニットは、噴出器7が上述の走行起動部1から走行部2に配設されたユニットと搬送方向中央部の横断線に対して線対称になるように配設されており、回転機構8による回転によって噴出孔71aを搬送方向後方に向けるように配設されている。   The units of the ejector 7 are disposed between the deck boards 22 and 32 and on both sides of the traveling unit 2 from the traveling stop unit 3 side to the traveling stop unit 3. These units are arranged so that the ejector 7 is line-symmetric with respect to the transverse line at the central part in the transport direction with respect to the unit arranged in the traveling part 2 from the traveling activation part 1 described above. 8 is arranged so that the ejection hole 71a is directed rearward in the transport direction.

これにより、浮上搬送装置は、ガラス板wを走行起動部1で浮上させつつ、搬送方向に向けて加速させて、走行部2で浮上させたまま走行停止部3に搬送して、走行停止部3で浮上したまま減速させて、停止させるようになっている。   As a result, the levitating and conveying apparatus causes the glass plate w to float in the travel starting unit 1, accelerates in the transport direction, transports the glass plate w to the travel stop unit 3 while floating in the travel unit 2, and travels to the travel stop unit. 3 is decelerated while ascending and stopped.

次ぎに、上述の浮上搬送装置を用いて、外形1950mm×2250mm、厚さ0.7mmのガラス板wを搬送する際の作用について説明する。
まず、速度調整エアー噴出器7の噴出器本体70を、ハンドル82bを回転させることによって、噴出孔71a側の流路71の直線部が鉛直線に対して所定の角度に配設されるように設置する。
Next, an operation when the glass plate w having an outer shape of 1950 mm × 2250 mm and a thickness of 0.7 mm is transferred using the above-described levitation transfer apparatus will be described.
First, by rotating the handle body 82b of the ejector body 70 of the speed adjusting air ejector 7, the straight portion of the flow channel 71 on the ejection hole 71a side is disposed at a predetermined angle with respect to the vertical line. Install.

次いで、ダンパー42を作動させて、チャンバー41にエアーを供給することにより、固定リング13の開口からエアーを噴出させるとともに、走行起動部1の速度調整エアー噴出器7の配管継手72からエアー噴出器本体70にエアー供給して、噴出孔71aから圧力を調整したエアーを噴出させた状態で、ガラス板wを走行起動部1のアルミフレーム12の上方に配設する。   Next, by operating the damper 42 and supplying air to the chamber 41, the air is ejected from the opening of the fixing ring 13, and the air ejector from the pipe joint 72 of the speed adjusting air ejector 7 of the travel starter 1. The glass plate w is disposed above the aluminum frame 12 of the travel starter 1 in a state where air is supplied to the main body 70 and air whose pressure is adjusted is ejected from the ejection hole 71a.

すると、ガラス板wは、その下面が固定リング13の開口から噴出されるエアーによって全面的に支持されて浮上した状態で、その下面の上記搬送路の幅方向の中央部及び両端部に噴出孔71aから搬送方向に噴出されるエアーが吹き付けられるため、漸次加速して、撓むことなく走行部2に向けて搬送される。
このため、ダンパー42の作動直後に、ダンパー52を作動させるとともに、走行部2の走行起動部1側の速度調整エアー噴出器7の配管継手72からエアー噴出器本体70にエアーを供給する。
Then, the glass plate w has its lower surface entirely supported by the air ejected from the opening of the fixing ring 13 and floated, and the ejection holes are formed in the central portion and both end portions of the lower surface of the conveyance path in the width direction. Since air ejected from the 71a in the transport direction is blown, the air is gradually accelerated and transported toward the traveling unit 2 without being bent.
For this reason, immediately after the operation of the damper 42, the damper 52 is operated, and air is supplied to the air ejector main body 70 from the pipe joint 72 of the speed adjustment air ejector 7 on the travel starter 1 side of the travel unit 2.

これにより、走行部2に搬送されたガラス板wは、浮上したまま走行停止部3に向けて搬送されるため、走行停止部3側のエアー噴出器本体70にエアーを供給した直後に、ダンパー62を作動させるとともに、走行停止部3のエアー噴出器本体70にエアー供給する。すると、走行部2から走行停止部3に供給されたガラス板wは、漸次減速して、停止する。   Thereby, since the glass plate w conveyed to the traveling unit 2 is conveyed toward the traveling stop unit 3 while being floated, immediately after supplying air to the air ejector main body 70 on the traveling stop unit 3 side, the damper 62 is operated, and air is supplied to the air ejector body 70 of the travel stop unit 3. Then, the glass plate w supplied from the traveling unit 2 to the traveling stop unit 3 is gradually decelerated and stopped.

次いで、上述の浮上搬送装置のエアー噴出器本体70の角度と、ガラス板wの加速との関係について調べた。なお、以下の計測は、搬送方向の長さが1000mm以上の走行起動部1を具備した浮上搬送装置によって、外形1950mm×2250mm、厚さ0.7mmの同一のガラス板wを搬送させることによって行った。また、エアー噴出器本体70の噴出孔71aから噴出されるエアー圧力を一定、かつアルミフレーム12から噴出されるエアー圧力を一定にして行った。   Next, the relationship between the angle of the air ejector main body 70 of the above-described levitation transfer apparatus and the acceleration of the glass plate w was examined. In addition, the following measurement is performed by transporting the same glass plate w having an outer shape of 1950 mm × 2250 mm and a thickness of 0.7 mm by the levitating transport device including the travel activation unit 1 having a length in the transport direction of 1000 mm or more. It was. Further, the air pressure ejected from the ejection hole 71a of the air ejector main body 70 was kept constant, and the air pressure ejected from the aluminum frame 12 was kept constant.

まず、ハンドル82bを回転駆動させて、全ての噴出器本体70を噴出孔71a側の流路71の直線部の鉛直線に対する角度θが15°になるように配設して、ダンパー42を作動させて、固定リング13の開口からエアーを噴出するとともに、走行起動部1の速度調整エアー噴出器7の配管継手72からエアー噴出器本体70にエアー供給する。
次いで、ガラス板wをアルミフレーム12の上方に配設して、浮上させたまま搬送方向前方に向けて搬送するとともに、500mm地点を通過した際の経過時間及びそこから1000mm地点まで移動した際の経過時間を計測して、図11及び図12にプロットした。
First, the handle 82b is driven to rotate, and all the ejector bodies 70 are arranged so that the angle θ with respect to the vertical line of the straight portion of the flow path 71 on the ejection hole 71a side is 15 °, and the damper 42 is operated. Thus, air is ejected from the opening of the fixing ring 13 and air is supplied to the air ejector main body 70 from the pipe joint 72 of the speed adjusting air ejector 7 of the travel starter 1.
Next, the glass plate w is disposed above the aluminum frame 12 and transported forward in the transport direction while being floated, and the elapsed time when passing through the 500 mm point and when moving from the point to the 1000 mm point. The elapsed time was measured and plotted in FIG. 11 and FIG.

同様に、ハンドル82bを回転駆動させて、全ての噴出器本体70を噴出孔71a側の流路71の直線部の鉛直線に対する角度θが30°、45°、60°、75°になるように配設して、ガラス板wの500mm地点を通過した際の経過時間及びそこから1000mm地点まで移動した際の経過時間をそれぞれ計測して、図11及び図12にプロットした。   Similarly, the handle 82b is driven to rotate so that the angle θ with respect to the vertical line of the straight portion of the flow passage 71 on the side of the ejection hole 71a of all the ejector main bodies 70 is 30 °, 45 °, 60 °, and 75 °. The elapsed time when passing through the 500 mm point of the glass plate w and the elapsed time when moving from there to the 1000 mm point were measured, respectively, and plotted in FIG. 11 and FIG.

図11及び図12から判るように、いずれの場合にも500mm地点を通過した際の経過時間が12秒未満であるとともに、そこから1000mm地点まで移動した際の経過時間が2.0秒未満であり、ガラス板を比較的速やかに搬送することができた。
特に、角度θが30°、45°及び60°の場合には、500mm地点を通過した際の経過時間が6秒以上10秒未満であるとともに、そこから1000mm地点まで移動した際の経過時間が0.9秒以上1.4秒未満である。このため、角度θが30°以上であって、かつ60°以下の場合には、浮上搬送装置を大規模化して搬送路が長くなった際にも、ガラス板wを速やかに搬送することができる。
As can be seen from FIGS. 11 and 12, in both cases, the elapsed time when passing through the 500 mm point is less than 12 seconds, and the elapsed time when moving from there to the 1000 mm point is less than 2.0 seconds. Yes, the glass plate could be conveyed relatively quickly.
In particular, when the angle θ is 30 °, 45 °, and 60 °, the elapsed time when passing through the 500 mm point is 6 seconds or more and less than 10 seconds, and the elapsed time when moving from there to the 1000 mm point. 0.9 seconds or more and less than 1.4 seconds. For this reason, when the angle θ is 30 ° or more and 60 ° or less, the glass plate w can be quickly conveyed even when the levitation conveyance device is enlarged and the conveyance path becomes long. it can.

上述の実施形態の浮上搬送装置によれば、アルミフレーム12に形成されたエアー噴出孔から多孔質パッドを介して噴出されるエアーによって、ガラス板wを浮上させることができ、かつ速度調整エアー噴出器7の噴出器本体70の角度を回転機構8により調整するとともに、配管継手72に供給するエアー圧力を調整することによって、ガラス板wを搬送方向に向けて加速度を微調整することができる。このため、不要にエアー噴出量を増加させることなく、ガラス板wを搬送することができる。   According to the levitating and conveying apparatus of the above-described embodiment, the glass plate w can be levitated by the air ejected from the air ejection holes formed in the aluminum frame 12 through the porous pad, and the speed adjusted air ejection By adjusting the angle of the ejector body 70 of the container 7 by the rotation mechanism 8 and adjusting the air pressure supplied to the pipe joint 72, the acceleration can be finely adjusted with the glass plate w directed in the transport direction. For this reason, the glass plate w can be conveyed without increasing the amount of air ejection unnecessarily.

その際、エアー噴出器本体70を、噴出孔71a側の流路71の直線部が鉛直線に対する角度を15°以上であって、かつ75°以下に配設されるように設置することによって、ガラス板wの加速を速やかに行うことができる。   At that time, by installing the air ejector body 70 so that the straight line portion of the flow channel 71 on the ejection hole 71a side is disposed at an angle of 15 ° or more and 75 ° or less. The glass plate w can be accelerated quickly.

また、デッキボード32に形成された噴出孔32aから噴出されるエアーによって、ガラス板wを浮上させることができ、かつ速度調整エアー噴出器7の噴出器本体70の角度を調整するとともに、配管継手72に供給するエアー圧力を調整することによって、ガラス板wの減速の程度を微調整することができる。   Further, the glass plate w can be floated by the air jetted from the jet holes 32a formed in the deck board 32, and the angle of the jet body 70 of the speed adjusting air jet 7 is adjusted, and the pipe joint By adjusting the air pressure supplied to 72, the degree of deceleration of the glass plate w can be finely adjusted.

なお、本発明は、上述の実施形態に何ら限定されるものでなく、例えば、走行起動部1は、アルミフレーム12に代えて、デッキボード32等からなる水平プレートが配設されてもよく、同様に、走行部2、走行停止部3は、デッキボード22、32に代えてアルミフレーム12が配設されてもよい。また、走行停止部3に敷かれた樹脂シートは、走行起動部1や走行部2に配設したデッキボード22、32上に配設されてもよく、この樹脂シートに代えてデッキボード22、32の少なくとも表面部がテフロン等のガラス板wの傷防止のための樹脂板によって構成されていてもよい。   The present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, the travel activation unit 1 may be provided with a horizontal plate including a deck board 32 or the like instead of the aluminum frame 12. Similarly, the travel unit 2 and the travel stop unit 3 may be provided with an aluminum frame 12 instead of the deck boards 22 and 32. Further, the resin sheet laid on the travel stop unit 3 may be disposed on the deck boards 22 and 32 disposed in the travel start unit 1 and the travel unit 2, and instead of the resin sheet, the deck board 22, At least a surface portion of 32 may be formed of a resin plate for preventing scratches on the glass plate w such as Teflon.

最良の実施形態の浮上搬送装置の平面全体図である。It is a plane whole view of the levitation conveyance device of the best embodiment. 図1の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of FIG. 走行起動部1の縦断面図である。FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a travel starter 1. 図3のIV−IV断面図である。It is IV-IV sectional drawing of FIG. 走行停止部3の縦断面図であるIt is a longitudinal cross-sectional view of the travel stop part 3 図5のVI−VI断面図である。It is VI-VI sectional drawing of FIG. 速度調整エアー噴出器7の1ユニットの平面図である。It is a top view of 1 unit of the speed adjustment air ejector. 図7の正面図である。FIG. 8 is a front view of FIG. 7. 図8のIX−IX断面図である。It is IX-IX sectional drawing of FIG. 図8のX−X断面図である。It is XX sectional drawing of FIG. 噴出孔71a側の流路71の直線部の鉛直線に対する角度θが15°、30°、45°、60°、75°である場合におけるガラス板wが搬送方向前方に向けて500mm地点を通過する経過時間をそれぞれプロットした線グラフである。When the angle θ with respect to the vertical line of the straight line portion of the flow path 71 on the ejection hole 71a side is 15 °, 30 °, 45 °, 60 °, and 75 °, the glass plate w passes through the 500 mm point toward the front in the transport direction. It is the line graph which plotted each elapsed time to do. 噴出孔71a側の流路71の直線部の鉛直線に対する角度θが15°、30°、45°、60°、75°である場合におけるガラス板wが500mm地点を通過後の1000地点まで移動する際の経過時間をそれぞれプロットした線グラフである。When the angle θ with respect to the vertical line of the straight part of the flow path 71 on the ejection hole 71a side is 15 °, 30 °, 45 °, 60 °, 75 °, the glass plate w moves to the 1000 point after passing the 500 mm point. It is the line graph which plotted the elapsed time at the time of doing.

符号の説明Explanation of symbols

1 走行起動部
2 走行部
3 走行停止部
7 速度調整エアー噴出器
8 回転機構
12 アルミフレーム(プレート)
22、32 デッキボード(プレート)
23、33 有底筒体(プレート)
22a、32a 噴出孔
70 エアー噴出器本体
71a 噴出孔
w ガラス板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Travel start part 2 Travel part 3 Travel stop part 7 Speed adjustment air ejector 8 Rotation mechanism 12 Aluminum frame (plate)
22, 32 Deck board (plate)
23, 33 Bottomed cylinder (plate)
22a, 32a Ejection hole 70 Air ejector body 71a Ejection hole w Glass plate

Claims (3)

薄板状の被搬送物を浮上させつつ搬送路に沿って搬送させる浮上搬送装置において、
上記搬送路に沿って配設されたプレートに全面に亘って上記被搬送物を浮上させるエアーの噴出孔が形成されており、かつ上記被搬送物の下面に向けてエアーを噴出して、上記被搬送物を搬送方向に向けて加減速させる速度調整エアー噴出器が上記被搬送物に対するエアー噴出角度を調整可能に上記プレートの外方に上記搬送路に沿って複数設けられていることを特徴とする浮上搬送装置。
In a levitation conveyance device that conveys a thin plate-shaped object to be conveyed along a conveyance path,
An air ejection hole is formed on the plate disposed along the conveyance path to float the object to be conveyed over the entire surface, and air is ejected toward the lower surface of the object to be conveyed, A plurality of speed-adjusting air ejectors for accelerating / decelerating the object to be conveyed in the conveying direction are provided on the outside of the plate along the conveying path so as to be able to adjust the air ejection angle with respect to the object to be conveyed A floating transport device.
上記速度調整エアー噴出器は、上記搬送路の走行起動部に上記被搬送物の搬送方向に向けてエアーを噴出するように設けられており、かつ上記搬送路の走行停止部に上記被搬送物の搬送方向後方に向けてエアーを噴出するように設けられていることを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。   The speed adjusting air ejector is provided so as to eject air toward a traveling start portion of the transport path in a transport direction of the transported object, and the transported object is disposed at a travel stop portion of the transport path. The levitation conveyance apparatus according to claim 1, wherein the levitation conveyance apparatus is provided so as to eject air toward the rear in the conveyance direction. 上記走行起動部の速度調整エアー噴出器は、上記エアーの噴出方向が上記プレートの表面に直交する方向に対して15°以上であって、かつ75°以下の角度になるように設置されていることを特徴とする請求項2に記載の浮上搬送装置。   The speed adjustment air ejector of the travel activation unit is installed so that the air ejection direction is 15 ° or more and 75 ° or less with respect to the direction orthogonal to the surface of the plate. The levitation conveyance apparatus according to claim 2.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH0780011A (en) * 1993-09-14 1995-03-28 Menicon Co Ltd Device for carrying material for producing ophthalmic lens and method therefor
JP2006176255A (en) * 2004-12-21 2006-07-06 Murata Mach Ltd Conveying system

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0780011A (en) * 1993-09-14 1995-03-28 Menicon Co Ltd Device for carrying material for producing ophthalmic lens and method therefor
JP2006176255A (en) * 2004-12-21 2006-07-06 Murata Mach Ltd Conveying system

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