JP2008149588A - Piezoelectric actuator, liquid discharge head and image formation device - Google Patents

Piezoelectric actuator, liquid discharge head and image formation device Download PDF

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JP2008149588A JP2006340540A JP2006340540A JP2008149588A JP 2008149588 A JP2008149588 A JP 2008149588A JP 2006340540 A JP2006340540 A JP 2006340540A JP 2006340540 A JP2006340540 A JP 2006340540A JP 2008149588 A JP2008149588 A JP 2008149588A
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忠士 三村
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem that the joint of a piezoelectric element pillar with an oscillating board member in the state that the end area of an piezoelectric actuator can be used actually and a sufficient joint strength can be obtained is difficult. <P>SOLUTION: The piezoelectric actuator 10 includes a piezoelectric element unit 11 in which a piezoelectric element member 12a wherein two or more piezoelectric element pillars 12A are formed in a predetermined pitch through a groove and arranged in the shape of lines is jointed to a base member 13 and the oscillating board member 2 jointed to two or more piezoelectric element pillars 12A, 12B with an adhesive. One piezoelectric element pillar 12a and the oscillating board member 2 are adhered with the 1st and 2nd adhesives 21, 22. The adhering speed of the 1st adhesive 21 is made higher than the one of the 2nd adhesive 22, and the adhesion strength of the 2nd adhesive 22 is made stronger than the one of the 1st adhesive 21. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド、画像形成装置に関する。   The present invention relates to a piezoelectric actuator, a liquid discharge head, and an image forming apparatus.

一般に、プリンタ/ファックス/コピア或いはこれらの機能を複合した画像形成装置としては、例えば、記録液(液体)の液滴を吐出する液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッドを含む液体吐出装置を用いて、媒体(以下「用紙」ともいうが材質を限定するものではなく、また、被記録媒体、記録媒体、転写材、記録紙なども同義で使用する。)を搬送しながら、液体としての記録液(以下、インクともいう。)を用紙に付着させて画像形成(記録、印刷、印写、印字も同義語で用いる。)を行なうものがある。   In general, as a printer / fax / copier or an image forming apparatus combining these functions, for example, a liquid ejection apparatus including a recording head composed of a liquid ejection head that ejects liquid droplets of a recording liquid (liquid) is used. While conveying a medium (hereinafter also referred to as “paper”, the material is not limited, and a recording medium, a recording medium, a transfer material, and recording paper are also used synonymously) In some cases, image formation (recording, printing, printing, and printing are also used synonymously) is made by adhering ink to a sheet.

なお、画像形成装置は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与することをも意味する。また、液体吐出装置とは、液体吐出ヘッドから液体を吐出する装置を意味し、画像形成を行うものに限定されるものではない。   The image forming apparatus means an apparatus for forming an image by discharging a liquid onto a medium such as paper, thread, fiber, fabric, leather, metal, plastic, glass, wood, ceramics, etc. The term “not only” means not only giving an image having a meaning such as a character or a figure to a medium but also giving an image having no meaning such as a pattern to the medium. Further, the liquid ejection apparatus means an apparatus that ejects liquid from a liquid ejection head, and is not limited to an apparatus that performs image formation.

液体吐出ヘッドとしては、液室内の液体であるインクを加圧する圧力を発生するための圧力発生手段(アクチュエータ手段)として圧電素子、特に圧電層と内部電極を交互に積層した積層型圧電素子を用いて、積層型圧電素子のd33又はd31方向の変位で液室の壁面を形成する弾性変形可能な振動板を変形させ、液室内容積/圧力を変化させて液滴を吐出させるいわゆる圧電アクチュエータを用いた圧電型ヘッドが知られている。   As the liquid discharge head, a piezoelectric element, particularly a stacked piezoelectric element in which piezoelectric layers and internal electrodes are alternately stacked, is used as pressure generating means (actuator means) for generating pressure to pressurize ink that is liquid in the liquid chamber. Then, a so-called piezoelectric actuator is used that deforms the elastically deformable diaphragm that forms the wall surface of the liquid chamber by the displacement of the laminated piezoelectric element in the direction d33 or d31, and changes the volume / pressure in the liquid chamber to discharge droplets. Known piezoelectric heads are known.

このような圧電アクチュエータを用いた液体吐出ヘッドにおいては、特許文献1、2に記載されているように圧電素子と振動板とは接着剤で接合される。
特開2002−240279号公報 特開2006−035807号公報
In a liquid discharge head using such a piezoelectric actuator, as described in Patent Documents 1 and 2, the piezoelectric element and the vibration plate are joined with an adhesive.
Japanese Patent Laid-Open No. 2002-240279 JP 2006-035807 A

この場合、特許文献3、4に記載されているように、圧電素子の振動板と接合される面の端部に切り込み加工を行ったり、接着時の余剰接着剤を逃がす逃げ溝加工を行ったりすことが知られている。
特開2001−047632号公報 特許第2933608号公報
In this case, as described in Patent Documents 3 and 4, the end of the surface to be joined to the diaphragm of the piezoelectric element is cut, or a clearance groove is formed to release excess adhesive during bonding. It is known that
JP 2001-047632 A Japanese Patent No. 2933608

また、特許文献5に記載されているように、振動板が、圧電素子の接合用接着剤が塗布されない領域に対向する凹部を有し、この凹部において速硬化性接着剤により振動板と圧電素子とを固定することが知られている。
特開2002−240279号公報
Further, as described in Patent Document 5, the vibration plate has a recess facing a region where the bonding adhesive for the piezoelectric element is not applied, and the vibration plate and the piezoelectric element are formed in the recess by a fast-curing adhesive. It is known to fix.
Japanese Patent Laid-Open No. 2002-240279

上述したように、圧電アクチュエータ及びこれを含む液体吐出ヘッドにあっては、振動板と圧電素子柱とを接着剤接合するが、接着剤としては、信頼性が高く、耐湿性の高い熱硬化性のエポキシ接着剤等が一般的に使用されている。しかし、熱硬化性接着剤は低温時の硬化速度が遅いため、組立て工程の工期短縮の障害となる。   As described above, in the piezoelectric actuator and the liquid discharge head including the piezoelectric actuator, the vibration plate and the piezoelectric element column are bonded with an adhesive. However, as the adhesive, the thermosetting property is highly reliable and has high moisture resistance. An epoxy adhesive or the like is generally used. However, since the thermosetting adhesive has a low curing rate at low temperatures, it becomes an obstacle to shortening the construction period of the assembly process.

そこで、圧電素子を柱状に複数形成した圧電素子ユニットを振動板と接合するとき、圧電素子柱の並び方向の端部で圧電アクチュエータとして使用しない部分にUV(紫外線硬化型)接着剤を用いて、その他の駆動部として使用する圧電素子柱には熱硬化接着剤を用いることが考えられる。これにより、UV接着剤を瞬時に硬化させ位置ズレを防止した後に、熱を加えて接合を完了させることができる。   Therefore, when a piezoelectric element unit in which a plurality of piezoelectric elements are formed in a columnar shape is joined to a diaphragm, a UV (ultraviolet curable) adhesive is used on a portion that is not used as a piezoelectric actuator at the end of the piezoelectric element column in the arrangement direction. It is conceivable to use a thermosetting adhesive for the piezoelectric element columns used as other driving units. As a result, the UV adhesive can be instantaneously cured to prevent positional displacement, and then heat can be applied to complete the bonding.

しかしながら、圧電アクチュエータの端部に駆動部として使用しない部分があってもごく僅かな領域しかない場合には、圧電アクチュエータの端部領域にUV接着剤を、中央部に熱硬化接着剤を使用すると、接着剤の異なる領域間でアクチュエータの特性が変るため、実使用できないという課題がある。また、UV接着剤だけを使用した場合は接合強度が弱く所要の特性が得られないという課題が生じる。   However, if there is only a small area even if there is a part that is not used as the drive part at the end of the piezoelectric actuator, UV adhesive is used for the end area of the piezoelectric actuator, and thermosetting adhesive is used for the center part. Since the characteristics of the actuator change between different areas of the adhesive, there is a problem that it cannot be used in practice. Further, when only the UV adhesive is used, there arises a problem that the required strength cannot be obtained because the bonding strength is weak.

また、画像形成装置の高速記録化に対応するため、例えば複数個の圧電素子ユニットを共通の振動板に対して並べて配置してラインヘッドなどの長尺ヘッドを構成する場合、駆動部を等ピッチで配置する関係上、圧電素子ユニットのつなぎ部分(端部)が駆動部となる圧電素子となり、圧電アクチュエータの端部に駆動部として使用しない部分がない場合が生じることがある。このような場合にも、圧電アクチュエータの端部の駆動部にUV接着剤を、中央部に熱硬化接着剤を使用すると、駆動部間で特性が変化することになるという課題がある。   Also, in order to support high-speed recording of the image forming apparatus, for example, when a long head such as a line head is configured by arranging a plurality of piezoelectric element units side by side with respect to a common diaphragm, the drive unit is arranged at an equal pitch. In some cases, the connecting portion (end portion) of the piezoelectric element unit becomes a piezoelectric element that serves as a drive unit, and the end portion of the piezoelectric actuator may not have a portion that is not used as the drive unit. Even in such a case, when a UV adhesive is used for the driving part at the end of the piezoelectric actuator and a thermosetting adhesive is used for the central part, there is a problem that the characteristics change between the driving parts.

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、端部まで実使用可能で、安定した接合品質が得られる圧電アクチュエータ及びこれを備える液体吐出ヘッド、画像形成装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a piezoelectric actuator that can be actually used up to the end portion and that can provide stable bonding quality, a liquid discharge head including the piezoelectric actuator, and an image forming apparatus. To do.

上記の課題を解決するため、本発明に係る圧電アクチュエータは、複数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された圧電素子部材と、複数の圧電素子柱に接着剤接合された振動板部材とを備え、1つの圧電素子柱と振動板部材とは、第1の接着剤及び第2の接着剤で接着され、第1の接着剤は第2の接着剤よりも接着速度が速く、第2の接着剤は第1の接着剤よりも接着強度が強い構成としたものである。   In order to solve the above problems, a piezoelectric actuator according to the present invention includes a piezoelectric element member in which a plurality of piezoelectric element columns are formed at predetermined pitches through grooves and arranged in a line, and a plurality of piezoelectric elements. And a piezoelectric element column and a diaphragm member are bonded to each other with a first adhesive and a second adhesive, and the first adhesive is a second adhesive. The bonding speed is higher than that of the adhesive, and the second adhesive has a higher adhesive strength than the first adhesive.

ここで、第1の接着剤は可視光硬化型、2液硬化型、熱硬化型、紫外線硬化型及び湿度硬化型のいずれかの接着剤であり、第2の接着剤は熱硬化型接着剤であることが好ましい。また、第1の接着剤は複数の圧電素子柱の並び方向と直交する方向で第2の接着剤よりも端部側にあることが好ましい。また、圧電素子柱は第2の接着剤の接着部分に凹部が形成されていることが好ましく、この場合、凹部は端部に向けて開放された切り欠きである構成とすることができる。また、凹部は圧電素子柱の不活性領域より小さい範囲に形成されている構成、或いは、逆に、凹部は圧電素子柱の不活性領域より大きい範囲に形成されている構成とすることができる。   Here, the first adhesive is a visible light curable adhesive, a two-component curable adhesive, a thermosetting adhesive, an ultraviolet curable adhesive, or a humidity curable adhesive, and the second adhesive is a thermosetting adhesive. It is preferable that Moreover, it is preferable that a 1st adhesive agent exists in an edge part side rather than a 2nd adhesive agent in the direction orthogonal to the row direction of a some piezoelectric element pillar. Moreover, it is preferable that the piezoelectric element column has a recess formed in the bonding portion of the second adhesive, and in this case, the recess may be a notch opened toward the end. The recess may be formed in a range smaller than the inactive region of the piezoelectric element column, or conversely, the recess may be formed in a range larger than the inactive region of the piezoelectric element column.

また、第1、第2の接着剤により接着される第1の圧電素子と、第2の接着剤により接着される第2の圧電素子を含む構成とすることができる。また、第1、第2の接着剤により接着される第1の圧電素子柱と、第2の接着剤により接着される第2の圧電素子柱を含み、第1の圧電素子柱には第2の接着剤の接着部分に凹部が形成され、第2の圧電素子柱には凹部が形成されていない構成とすることができる。これらの場合、第1の圧電素子柱は駆動電圧が印加されない圧電素子柱であり、第2の圧電素子柱は駆動電圧が印加される圧電素子柱である構成とすることができる。   Moreover, it can be set as the structure containing the 1st piezoelectric element adhere | attached with a 1st, 2nd adhesive agent, and the 2nd piezoelectric element adhere | attached with a 2nd adhesive agent. The first piezoelectric element column includes a first piezoelectric element column bonded by a first adhesive and a second adhesive, and a second piezoelectric element column bonded by a second adhesive, and the first piezoelectric element column includes a second piezoelectric element column. A concave portion is formed in the adhesive portion of the adhesive, and the concave portion is not formed in the second piezoelectric element column. In these cases, the first piezoelectric element column may be a piezoelectric element column to which no driving voltage is applied, and the second piezoelectric element column may be a piezoelectric element column to which a driving voltage is applied.

本発明に係る液体吐出ヘッドは、本発明に係る圧電アクチュエータを備えたものである。   The liquid discharge head according to the present invention includes the piezoelectric actuator according to the present invention.

本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えたものである。   An image forming apparatus according to the present invention includes the liquid ejection head according to the present invention.

本発明に係る圧電アクチュエータによれば、複数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された圧電素子部材と、複数の圧電素子柱に接着剤接合された振動板部材とを備え、1つの圧電素子柱と振動板部材とは、第1の接着剤及び第2の接着剤で接着され、第1の接着剤は第2の接着剤よりも接着速度が速く、第2の接着剤は第1の接着剤よりも接着強度が強い構成としたので、第1の接着剤により接合位置を決定し、第2の接着剤により接合品質を安定させることができて、端部まで使用可能で安定した接合品質を得ることができる。   According to the piezoelectric actuator according to the present invention, a plurality of piezoelectric element columns are formed at a predetermined pitch through grooves, and are bonded to the plurality of piezoelectric element columns with piezoelectric element members arranged in rows. The one piezoelectric element column and the diaphragm member are bonded with a first adhesive and a second adhesive, and the first adhesive has a bonding speed higher than that of the second adhesive. Since the second adhesive has a stronger adhesive strength than the first adhesive, the bonding position can be determined by the first adhesive and the bonding quality can be stabilized by the second adhesive. It is possible to obtain a stable joint quality that can be used up to the end.

本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、本発明に係る圧電アクチュエータを備えるので、端部まで使用可能で安定した接合品質が得られるとともに、圧電アクチュエータの端部まで駆動部として利用可能になることで圧電素子柱を等ピッチに保って連結することが可能になり、1本でのつなぎによる長尺ヘッド化が可能なる。   According to the liquid ejection head according to the present invention, since the piezoelectric actuator according to the present invention is provided, it is possible to use up to the end and obtain a stable joining quality, and it is possible to use the drive up to the end of the piezoelectric actuator. Thus, it is possible to connect the piezoelectric element columns at an equal pitch, and it is possible to make a long head by connecting them by one.

本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、液体吐出ヘッドを圧電アクチュエータの端部まで駆動部として利用して圧電素子柱を等ピッチに保って連結した長尺ヘッド化することができ、低コストで高速記録化を図れるようになる。   According to the image forming apparatus of the present invention, since the liquid discharge head according to the present invention is provided, the liquid discharge head is used as a drive unit to the end of the piezoelectric actuator, and the piezoelectric element columns are connected at a constant pitch. The long head can be made, and high-speed recording can be achieved at low cost.

以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。まず、本発明に係る液体吐出ヘッドの一実施形態について図1ないし図3を参照して説明する。なお、図1は同液体吐出ヘッドの外観斜視説明図、図2は図1のA−A線に沿う液室長手方向(液室の並び方向と直交する方向)に沿う断面説明図、図3は同じく液室短手方向(液室の並び方向)に沿う断面説明図である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. First, an embodiment of a liquid discharge head according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 is an external perspective view of the liquid discharge head, FIG. 2 is a cross-sectional explanatory view along the longitudinal direction of the liquid chamber along the line AA in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional explanatory view along the shorter direction of the liquid chamber (the direction in which the liquid chambers are arranged).

この液体吐出ヘッドは、SUS基板で形成した流路基板(液室基板)1と、この流路基板1の下面に接合した振動板部材2と、流路基板1の上面に接合したノズル板3とを有し、これらによって液滴(液体の滴)を吐出するノズル4が連通する個別流路としての液室(以下「加圧液室」というが、圧力室、加圧室、流路などとも称される。)6、加圧液室6に液体であるインク(記録液)を供給する供給路を兼ねた流体抵抗部7、複数の加圧液室6に記録液を供給する共通液室8を形成している。なお、共通液室8には図示しない液体タンクから供給路を介して記録液が供給される。   The liquid discharge head includes a flow path substrate (liquid chamber substrate) 1 formed of a SUS substrate, a vibration plate member 2 bonded to the lower surface of the flow path substrate 1, and a nozzle plate 3 bonded to the upper surface of the flow path substrate 1. And a liquid chamber (hereinafter referred to as a “pressurized liquid chamber” as a separate flow path) through which a nozzle 4 that discharges liquid droplets (liquid droplets) communicates with the pressure chamber, the pressure chamber, the flow path, etc. 6), a fluid resistance section 7 that also serves as a supply path for supplying ink (recording liquid) that is liquid to the pressurized liquid chamber 6, and a common liquid that supplies recording liquid to the plurality of pressurized liquid chambers 6. A chamber 8 is formed. The recording liquid is supplied to the common liquid chamber 8 from a liquid tank (not shown) via a supply path.

ここで、流路基板1は、リストリクタプレート1Aとチャンバーブレート1Bとを接着して構成している。この流路基板1は、SUS基板を、酸性エッチング液を用いてエッチング、あるいは打ち抜き(プレス)などの機械加工することで、各加圧液室6、流体抵抗部7、共通液室8などの開口をそれぞれ形成している。なお、流体抵抗部7は、リストリクタプレート1Aの部分を開口し、チャンバーブレート1Bの部分を開口しないことで形成している。   Here, the flow path substrate 1 is configured by adhering a restrictor plate 1A and a chamber plate 1B. The flow path substrate 1 is formed by etching the SUS substrate with an acidic etchant or machining such as punching (pressing), so that each pressurized liquid chamber 6, fluid resistance portion 7, common liquid chamber 8, etc. Each opening is formed. The fluid resistance portion 7 is formed by opening a portion of the restrictor plate 1A and not opening a portion of the chamber plate 1B.

振動板部材2は、流路基板1を構成するチャンバーブレート1Bに接着接合している。この振動板部材2は、金属板、樹脂板、金属板と樹脂層の積層部材などで構成され、加圧液室6の壁面を形成する部分は変形可能な振動板領域2Aとしている。   The diaphragm member 2 is adhesively bonded to the chamber plate 1B constituting the flow path substrate 1. The diaphragm member 2 is composed of a metal plate, a resin plate, a laminated member of a metal plate and a resin layer, and the part forming the wall surface of the pressurized liquid chamber 6 is a deformable diaphragm region 2A.

ノズル板3は、各加圧液室6に対応して直径10〜30μmの多数のノズル4を形成し、流路基板1のリストリクタプレート1Aに接着剤接合している。このノズル板3としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、ポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル面(吐出方向の表面:吐出面)には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。   The nozzle plate 3 forms a large number of nozzles 4 having a diameter of 10 to 30 μm corresponding to the pressurized liquid chambers 6 and is bonded to the restrictor plate 1 </ b> A of the flow path substrate 1 with an adhesive. As this nozzle plate 3, what consists of metals, such as stainless steel and nickel, resin, such as a polyimide resin film, silicon | silicone, and those combinations can be used. Further, a water repellent film is formed on the nozzle surface (surface in the ejection direction: ejection surface) by a known method such as a plating film or a water repellent coating in order to ensure water repellency with ink.

そして、振動板部材2の面外側(加圧液室6と反対面側)には複数個の圧電素子ユニット11を接着剤接合して並べて2列配置している。これらの複数個の圧電素子ユニット11と振動板部材2とによって本発明に係る圧電アクチュエータ10を構成している。   A plurality of piezoelectric element units 11 are adhesively bonded and arranged in two rows on the outer side of the diaphragm member 2 (on the side opposite to the pressurized liquid chamber 6). The plurality of piezoelectric element units 11 and the diaphragm member 2 constitute a piezoelectric actuator 10 according to the present invention.

1つの圧電素子ユニット11は、複数の圧電素子柱12aをハーフカットの溝加工(スリット加工)によって分断することなくことなく形成した圧電素子部材12と、この圧電素子部材12を接合したベース部材13とを備えている。そして、圧電素子部材22の各圧電素子柱12aは、1つおきに駆動する第2の圧電素子柱(駆動圧電素子柱)12Aと駆動しない第1の圧電素子柱(非駆動圧電素子柱)12Bとして使用する。各圧電素子部材12の圧電素子部材12の一端面には駆動波形を与えるためのFPCケーブルなどの給電部材14が接続される。   One piezoelectric element unit 11 includes a piezoelectric element member 12 formed without dividing a plurality of piezoelectric element columns 12a by half-cut groove processing (slit processing), and a base member 13 to which the piezoelectric element members 12 are joined. And. Each piezoelectric element column 12a of the piezoelectric element member 22 has a second piezoelectric element column (driving piezoelectric element column) 12A that is driven every other one and a first piezoelectric element column (non-driving piezoelectric element column) 12B that is not driven. Use as A power feeding member 14 such as an FPC cable for applying a driving waveform is connected to one end face of each piezoelectric element member 12.

なお、圧電素子部材12は、厚さ10〜50μm/1層のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の圧電層と、厚さ数μm/1層の銀・パラジューム(AgPd)からなる内部電極層とを交互に積層したものであり、内部電極を交互に端面の端面電極(外部電極)である図示しない個別電極及び共通電極にそれぞれ電気的に接続したものである。この圧電定数がd33(d33は内部電極面に垂直(厚み方向)の伸び縮みを指す。)である圧電素子柱12Aの伸縮により振動板領域2Aを変位させて加圧液室6を収縮、膨張させるようになっている。圧電素子柱12Aに駆動信号が印加され充電が行われると伸長し、また圧電素子柱12Aに充電された電荷が放電すると反対方向に収縮する。   The piezoelectric element member 12 includes a lead zirconate titanate (PZT) piezoelectric layer having a thickness of 10 to 50 μm / layer, and an internal electrode layer made of silver / palladium (AgPd) having a thickness of several μm / layer. The internal electrodes are alternately electrically connected to individual electrodes and common electrodes (not shown) that are end face electrodes (external electrodes) on the end faces. This piezoelectric constant is d33 (d33 indicates expansion / contraction perpendicular to the internal electrode surface (thickness direction)). The diaphragm region 2A is displaced by the expansion / contraction of the piezoelectric element column 12A, and the pressurized liquid chamber 6 is contracted and expanded. It is supposed to let you. When the drive signal is applied to the piezoelectric element column 12A and charging is performed, the piezoelectric element column 12A expands, and when the electric charge charged to the piezoelectric element column 12A is discharged, the piezoelectric element column 12A contracts in the opposite direction.

なお、圧電素子柱12Aの圧電方向としてd33方向の変位を用いて加圧液室6内インクを加圧する構成とすることも、圧電素子柱12Aの圧電方向としてd31方向の変位を用いて加圧液室6内インクを加圧する構成とすることもできる。本実施形態ではd33方向の変位を用いた構成をとっている。   It should be noted that the ink in the pressurized liquid chamber 6 may be pressurized using the displacement in the d33 direction as the piezoelectric direction of the piezoelectric element column 12A, or may be pressurized using the displacement in the d31 direction as the piezoelectric direction of the piezoelectric element column 12A. A configuration may be adopted in which the ink in the liquid chamber 6 is pressurized. In the present embodiment, a configuration using displacement in the d33 direction is adopted.

さらに、振動板部材2の周囲にはフレーム部材17を接着剤で接合している。そして、このフレーム部材17には、振動板部材2で構成した変形可能な部分としてのダイアフラム部2Cを介して共通液室8に隣接するバッファ室18を形成している。ダイアフラム部2Cは共通液室8及びバッファ室18の壁面を形成する。なお、バッファ室18は連通路20を介して大気と連通させている。   Further, a frame member 17 is joined around the diaphragm member 2 with an adhesive. In the frame member 17, a buffer chamber 18 adjacent to the common liquid chamber 8 is formed via a diaphragm portion 2 </ b> C as a deformable portion configured by the diaphragm member 2. The diaphragm portion 2 </ b> C forms wall surfaces of the common liquid chamber 8 and the buffer chamber 18. The buffer chamber 18 communicates with the atmosphere via the communication path 20.

また、この液体吐出ヘッドでは、圧電素子12は300dpiの間隔で形成し、それが対向して2列に並んでいる構成としている。また、加圧液室6及びノズル4は1列150dpiの間隔で2列を千鳥状に並べて配置しており、300dpiの解像度を1スキャンで得ることができる。   In this liquid discharge head, the piezoelectric elements 12 are formed at intervals of 300 dpi and are arranged in two rows so as to face each other. Further, the pressurized liquid chamber 6 and the nozzle 4 are arranged in two rows in a staggered manner at intervals of 150 dpi, and a resolution of 300 dpi can be obtained in one scan.

また、上述したようにこの液体吐出ヘッドは、ほとんどの部材をSUSから形成し、その熱膨張係数を揃えているので、ヘッドの組立中、あるいは、使用中における熱膨張による種々の不具合を避けることができる。   In addition, as described above, since this liquid discharge head is made of SUS and has the same thermal expansion coefficient, various problems due to thermal expansion during the assembly or use of the head are avoided. Can do.

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば第2の圧電素子柱12Aに印加する電圧を基準電位から下げることによって第2の圧電素子柱12Aが収縮し、振動板部材2の振動板領域2Aが下降して加圧液室6の容積が膨張することで、加圧液室6内に記録液が流入し、その後、第2の圧電素子柱12Aに印加する電圧を上げて第2の圧電素子柱12Aを積層方向に伸長させ、振動板領域2Aをノズル4方向に変形させて加圧液室6の容積/体積を収縮させることにより、加圧液室6内の記録液が加圧され、ノズル4から記録液の滴が吐出(噴射)される。   In the liquid discharge head configured as described above, for example, the voltage applied to the second piezoelectric element column 12A is lowered from the reference potential, so that the second piezoelectric element column 12A contracts, and the diaphragm region 2A of the diaphragm member 2 is reduced. And the volume of the pressurized liquid chamber 6 expands, so that the recording liquid flows into the pressurized liquid chamber 6, and then the voltage applied to the second piezoelectric element column 12A is increased to increase the second piezoelectric element. The recording liquid in the pressurizing liquid chamber 6 is pressurized by extending the element columns 12A in the stacking direction and deforming the diaphragm region 2A in the nozzle 4 direction to contract the volume / volume of the pressurizing liquid chamber 6. The recording liquid droplets are ejected (ejected) from the nozzle 4.

そして、第2の圧電素子柱12Aに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板領域2Aが初期位置に復元し、加圧液室6が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室8から加圧液室6内に記録液が充填される。そこで、ノズル4のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。   Then, by returning the voltage applied to the second piezoelectric element column 12A to the reference potential, the diaphragm region 2A is restored to the initial position, and the pressurized liquid chamber 6 expands to generate a negative pressure. The recording liquid is filled into the pressurized liquid chamber 6 from the common liquid chamber 8. Therefore, after the vibration of the meniscus surface of the nozzle 4 is attenuated and stabilized, the operation proceeds to the next droplet discharge.

なお、このヘッドの駆動方法については上記の例(引き−押し打ち)に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行うこともできる。   Note that the driving method of the head is not limited to the above example (drawing-pushing), and striking or pushing can be performed depending on the direction of the drive waveform.

そこで、この液体吐出ヘッドにおける圧電素子部材12と振動板部材2との接合について図4をも参照して具体的に説明する。なお、図4は圧電素子ユニットの拡大説明図である。
圧電アクチュエータ10は、前述したように、複数個の圧電素子柱12aが溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された圧電素子部材12aをベース部材13に接合した圧電素子ユニット11と、複数の圧電素子柱12A、12Bに接着剤接合された振動板部材2とを備え、1つの圧電素子柱12aと振動板部材2とは、第1の接着剤21及び第2の接着剤22で接着され、第1の接着剤21は第2の接着剤22よりも接着速度が速く、第2の接着剤22は第1の接着剤21よりも接着強度が強いものとしている。
Therefore, the bonding of the piezoelectric element member 12 and the diaphragm member 2 in this liquid discharge head will be specifically described with reference to FIG. FIG. 4 is an enlarged explanatory view of the piezoelectric element unit.
As described above, the piezoelectric actuator 10 includes a piezoelectric element unit in which a plurality of piezoelectric element columns 12a are formed at predetermined pitches through grooves, and the piezoelectric element members 12a arranged in a line are joined to the base member 13. 11 and a diaphragm member 2 that is adhesively bonded to the plurality of piezoelectric element columns 12A and 12B. One piezoelectric element column 12a and the diaphragm member 2 include a first adhesive 21 and a second adhesive. The first adhesive 21 has a higher bonding speed than the second adhesive 22, and the second adhesive 22 has a higher bonding strength than the first adhesive 21.

ここで、第1の接着剤21としては、可視光硬化型、2液硬化型、熱硬化型、紫外線硬化型及び湿度硬化型の接着剤を用いることが好ましく、また、第2の接着剤22としては熱硬化型接着剤を用いることが好ましい。   Here, as the first adhesive 21, it is preferable to use a visible light curable adhesive, a two-component curable adhesive, a thermosetting adhesive, an ultraviolet curable adhesive, and a humidity curable adhesive, and the second adhesive 22. It is preferable to use a thermosetting adhesive.

また、圧電素子柱12aには複数の圧電素子柱の並び方向と直交する方向であって、他の列の圧電素子柱と対向しない側の端部(給電部材14を接続する側の端部)に、端部に向けて開放された凹部である切り欠き部23を形成し、この切り欠き部23に第1の接着剤21を塗布している。ここでは、切り欠き部23は圧電素子柱12aの不活性領域24より大きい範囲に形成している。なお、不活性領域24は交互の内部電極が対向しない領域、活性領域25は交互の内部電極が対向している領域である。   In addition, the piezoelectric element column 12a is in a direction orthogonal to the direction in which the plurality of piezoelectric element columns are arranged, and the end portion on the side that does not face the piezoelectric element columns in the other rows (the end portion on the side where the feeding member 14 is connected). In addition, a notch 23 which is a recess opened toward the end is formed, and the first adhesive 21 is applied to the notch 23. Here, the notch 23 is formed in a range larger than the inactive region 24 of the piezoelectric element column 12a. The inactive region 24 is a region where alternating internal electrodes do not face each other, and the active region 25 is a region where alternating internal electrodes face each other.

このように構成したので、圧電素子ユニット11の各圧電素子柱12aに第1の接着剤21及び第2の接着剤22を塗布して振動板部材2とアライメントした状態で、接着速度が速い第1の接着剤21を硬化させることにより、圧電素子ユニット11と振動板部材2とが位置決めされた状態で一次接合が完了し、その後、接合強度が強い第2の接着剤22を硬化させて、圧電素子ユニット11と振動板部材2とを強固に接合する。   Since it comprised in this way, the 1st adhesive agent 21 and the 2nd adhesive agent 22 are apply | coated to each piezoelectric element pillar 12a of the piezoelectric element unit 11, and in the state which aligned with the diaphragm member 2, the adhesion speed is high. 1 adhesive 21 is cured, primary bonding is completed in a state where the piezoelectric element unit 11 and the diaphragm member 2 are positioned, and then the second adhesive 22 having high bonding strength is cured, The piezoelectric element unit 11 and the diaphragm member 2 are firmly joined.

これにより、圧電素子部材12の圧電素子柱の並び方向の端部の圧電素子柱12aまで実際に使用することができるとともに、十分な接合強度が得られて、接合品質が安定する。   Thereby, it is possible to actually use up to the piezoelectric element column 12a at the end of the piezoelectric element column of the piezoelectric element member 12 in the arrangement direction, and a sufficient bonding strength is obtained, and the bonding quality is stabilized.

ここで、具体的な例について図5をも参照して説明する。なお、図5は圧電素子ユニットの振動板部材に対する接合工程の説明に供する説明図である。
まず、ノズル板3、リストリクタプレート1A、チャンバープレート1B、振動板部材2(ポリイミド:厚み4μmを使用)を積層接合してノズル列の端から端までの長さが12インチのものを準備した。
Here, a specific example will be described with reference to FIG. FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining the bonding process of the piezoelectric element unit to the diaphragm member.
First, the nozzle plate 3, the restrictor plate 1A, the chamber plate 1B, and the vibration plate member 2 (polyimide: using a thickness of 4 μm) were laminated and prepared so that the length of the nozzle row from end to end was 12 inches. .

一方、SUS製のベース部材13に圧電素子部材12を接着剤にて接合し、300dpiにダイシングを行った後に電気配線を施した圧電素子ユニット11を準備する。圧電素子ユニット11の長さは1インチであり、12個並べてノズル列12インチに対応した液体吐出ヘッドを構成する。   On the other hand, the piezoelectric element unit 11 is prepared by bonding the piezoelectric element member 12 to the SUS base member 13 with an adhesive, dicing at 300 dpi, and then applying electrical wiring. The piezoelectric element unit 11 has a length of 1 inch, and twelve are arranged to constitute a liquid discharge head corresponding to a nozzle row of 12 inches.

ここで、12個の圧電ユニット11を振動板部材2に接合する場合、2つめ以降の圧電素子ユニット11を振動板部材2へアライメント接合を行うとき、先に接合した圧電素子ユニット11が十分に接合されていないと、2つ目のアライメント接合時に先の圧電ユニット11と干渉したときに簡単に位置ズレを引き起こし不良となる。   Here, when twelve piezoelectric units 11 are joined to the diaphragm member 2, when the second and subsequent piezoelectric element units 11 are aligned and joined to the diaphragm member 2, the piezoelectric element unit 11 joined first is sufficiently If they are not joined, when they interfere with the previous piezoelectric unit 11 during the second alignment joining, a positional deviation is easily caused, resulting in a failure.

そこで、圧電素子ユニット11の圧電素子柱12aの振動板部材2と接触する面側に切り欠き部23を形成し、切り欠き部23には速硬化性の高い紫外線硬化型接着剤(第1の接着剤21)をディスペンスにより塗布した。なお、凹部としての切り欠き部23は圧電素子柱12aの配列方向にダイシングにより溝加工を施すことにより形成した。また、圧電素子柱12aの振動板部材2との切り欠き部23以外の領域以外の接合面には熱硬化型接着剤(第2の接着剤22)を塗布した。   Accordingly, a notch 23 is formed on the surface of the piezoelectric element column 11 that contacts the diaphragm member 2 of the piezoelectric element column 12a. Adhesive 21) was applied by dispensing. In addition, the notch part 23 as a recessed part was formed by giving a groove process by dicing in the arrangement direction of the piezoelectric element pillars 12a. In addition, a thermosetting adhesive (second adhesive 22) was applied to the joint surface of the piezoelectric element column 12a other than the region other than the notch 23 with the diaphragm member 2.

そして、圧電素子ユニット11と振動板部材2とをアライメントにより位置合わせを行い、振動板部材2と圧電素子ユニット11を接触させた状態で、凹部としての切り欠き部23に塗布した紫外線硬化型接着剤(第1の接着剤21)に紫外線光を照射し、しっかりと位置決めされた状態で一次接合を完了する。続いて、オーブン等の環境で熱を加えることで熱硬化型接着剤(第2の接着剤22)を硬化させる。ここでは、接着速度が速い速硬化型の接着剤として紫外線硬化型接着剤を例にしているが、前述したように、速硬化であれば熱硬化、嫌気性、湿度硬化、2液反応型等の接着剤を用いることもできる。   Then, the piezoelectric element unit 11 and the diaphragm member 2 are aligned by alignment, and the ultraviolet curable adhesive is applied to the notch portion 23 as a recess while the diaphragm member 2 and the piezoelectric element unit 11 are in contact with each other. The adhesive (first adhesive 21) is irradiated with ultraviolet light, and primary bonding is completed in a state where the agent is firmly positioned. Subsequently, the thermosetting adhesive (second adhesive 22) is cured by applying heat in an environment such as an oven. Here, an ultraviolet curable adhesive is used as an example of a fast curable adhesive having a high adhesion speed, but as described above, if it is fast cured, heat curing, anaerobic, humidity curing, two liquid reaction type, etc. It is also possible to use an adhesive.

このように、1つの圧電素子柱と振動板部材との接合に接着剤として速硬化性の紫外線硬化型接着剤と接合強度の高い熱硬化型接着剤を利用しているので、圧電素子柱の一部と振動板部材とを瞬時に硬化完了させることができ、圧電素子ユニットのアライメント接合時に位置ズレを生じない。この場合、熱硬化型接着剤を併用することにより接合界面を強固につなぐことが可能となり、安定した接合界面を得ることができる。さらに、圧電素子柱に形成した凹部は開放端側に配置されているので、紫外線光が十分に届き安定した硬化を短時間で完了させることができる。さらに、紫外線硬化型接着剤は凹部にのみ塗布されているので、熱硬化型の接着剤(第二の接着剤)と混ざることがなく、予期せぬ化学反応により接合不良を起こす可能性が少ない。これにより、安定した接合品質を確保することができる。   As described above, a fast-curing ultraviolet curable adhesive and a thermosetting adhesive with high bonding strength are used as an adhesive for bonding one piezoelectric element column and a diaphragm member. A part and the diaphragm member can be instantaneously completed to cure, and no positional deviation occurs during alignment bonding of the piezoelectric element unit. In this case, the joint interface can be firmly connected by using the thermosetting adhesive together, and a stable joint interface can be obtained. Furthermore, since the concave portion formed in the piezoelectric element column is arranged on the open end side, the ultraviolet light can reach sufficiently and stable curing can be completed in a short time. Furthermore, since the UV curable adhesive is applied only to the recesses, it does not mix with the thermosetting adhesive (second adhesive) and is less likely to cause poor bonding due to an unexpected chemical reaction. . Thereby, the stable joining quality is securable.

また、第1の接着剤を塗布する凹部(切り欠き部)を圧電素子柱の不活性領域より小さく(狭く)することで圧電素子柱の変位効率が落ちることを防止できる。一方、第1の接着剤を塗布する凹部(切り欠き部)を圧電素子柱の不活性領域より大きく(広く)することで第1の接着剤を十分に塗布することができるようになり、接合強度を上げることができて、接合ズレなどの不良を低減することができる。   Moreover, it is possible to prevent the displacement efficiency of the piezoelectric element column from being lowered by making the recess (notch) to which the first adhesive is applied smaller (narrower) than the inactive region of the piezoelectric element column. On the other hand, the concave portion (notch portion) for applying the first adhesive is made larger (wider) than the inactive region of the piezoelectric element column, so that the first adhesive can be sufficiently applied and bonded. The strength can be increased, and defects such as joining displacement can be reduced.

なお、圧電素子ユニットと振動板部材との接合は、例えば、圧電素子部材12にスリット加工を施す前に半固形の接着剤を圧電素子部材12の端部(凹部ないし切欠き部を設ける場合にはこれらを含む)にライン状に塗布しておき、その後ダイシングで圧電素子部材12にスリット加工を施して圧電素子柱に分割ことで、圧電素子柱の端部(凹部ないし切欠き部を含む)に第1の接着剤を塗布した圧電素子部材を得て、振動板部材と接合することもできる。あるいは、振動板部材側の圧電素子柱の端部(凹部ないし切欠き部を含む)に対応する位置に第1の接着剤をライン状に塗布した後、振動板部材と圧電素子ユニットの圧電素子柱との接合を行うこともできる。   The piezoelectric element unit and the diaphragm member may be joined, for example, when a semi-solid adhesive is applied to the end of the piezoelectric element member 12 (a recess or a notch is provided before slitting the piezoelectric element member 12). Is applied in a line shape, and then the piezoelectric element member 12 is slitted by dicing and divided into piezoelectric element columns, so that the ends of the piezoelectric element columns (including recesses or notches) are included. It is also possible to obtain a piezoelectric element member coated with the first adhesive and to bond it to the diaphragm member. Alternatively, after applying the first adhesive in a line shape at a position corresponding to the end of the piezoelectric element column (including the recess or notch) on the diaphragm member side, the piezoelectric element of the diaphragm member and the piezoelectric element unit Bonding with a pillar can also be performed.

さらに、この図5に示すように、複数個の圧電素子ユニットを並べて振動板に接合して一本のつなぎによる長尺ヘッドを構成する場合、駆動部を等ピッチで配置すると、隣り合う圧電素子ユニットの隣り合う圧電素子柱の一方が駆動部となる。そのため、従前のように圧電素子ユニットの端部の圧電素子柱は紫外線硬化型接着剤を用いて、その他の圧電素子柱は熱硬化型接着剤を用いて振動板と接合することができなくなる。これに対して、本発明によれば、圧電素子ユニットの端部の圧電素子柱についても振動板との接合を熱硬化性樹脂(第2の接着剤)で行うようにすることができる。   Further, as shown in FIG. 5, when a plurality of piezoelectric element units are arranged side by side and joined to the diaphragm to form a long head by one connection, if the drive units are arranged at an equal pitch, adjacent piezoelectric elements One of the piezoelectric element columns adjacent to the unit is a drive unit. Therefore, as before, the piezoelectric element column at the end of the piezoelectric element unit cannot be bonded to the diaphragm using the ultraviolet curable adhesive, and the other piezoelectric element columns cannot be bonded to the diaphragm using the thermosetting adhesive. On the other hand, according to the present invention, the piezoelectric element column at the end of the piezoelectric element unit can be joined to the diaphragm with the thermosetting resin (second adhesive).

つまり、圧電素子ユニットの端部の圧電素子柱を駆動部として使用することができ、駆動する圧電素子柱を等ピッチに保って複数個の圧電素子ユニットを1つの振動板に対して連結して配置することができ、1本のつなぎラインヘッドなどの長尺ヘッド化を図ることができる。これによって、本発明に係る圧電アクチュエータを含む液体吐出ヘッドを備える後述するようなライン型画像形成装置を構成することができ、高速記録が可能になる。   In other words, the piezoelectric element column at the end of the piezoelectric element unit can be used as a driving unit, and a plurality of piezoelectric element units are connected to one diaphragm while keeping the driving piezoelectric element columns at an equal pitch. Therefore, a long head such as a single connecting line head can be realized. As a result, a line-type image forming apparatus as will be described later provided with a liquid discharge head including the piezoelectric actuator according to the present invention can be configured, and high-speed recording becomes possible.

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの他の実施形態について図6ないし9を参照して説明する。なお、図6は同ヘッドの圧電アクチュエータを構成する圧電素子ユニットの圧電素子柱に接着剤を塗布した状態の模式的斜視説明図、図7は同じく振動板部材の底面説明図、図8は同じく図7のB−B線に沿う断面に相当する圧電アクチュエータの断面説明図、図9は同じく図7のC−C線に沿う断面に相当するヘッドの要部断面説明図である。   Next, another embodiment of the liquid discharge head according to the present invention will be described with reference to FIGS. 6 is a schematic perspective view illustrating a state where an adhesive is applied to the piezoelectric element column of the piezoelectric element unit constituting the piezoelectric actuator of the head, FIG. 7 is a bottom explanatory view of the diaphragm member, and FIG. FIG. 9 is a cross-sectional explanatory view of the piezoelectric actuator corresponding to a cross section taken along line BB in FIG. 7, and FIG. 9 is a cross-sectional explanatory view of a main part of the head corresponding to a cross section taken along line CC in FIG.

ここでは、前記実施形態と同様に、圧電素子部材12の第2の圧電素子柱(駆動圧電素子柱)12A及び第1の圧電素子柱(非駆動圧電素子柱)12Bには、凹部としての切欠き部23を圧電素子柱の並び方向であって、他の列の圧電素子柱と対向しない側の端部に形成している。なお、切欠き部23は不活性領域24より小さくしている。   Here, as in the above embodiment, the second piezoelectric element column (driving piezoelectric element column) 12A and the first piezoelectric element column (non-driving piezoelectric element column) 12B of the piezoelectric element member 12 are cut as recesses. The notch portion 23 is formed at the end of the piezoelectric element column in the direction in which the piezoelectric element columns are arranged and not opposed to the piezoelectric element columns in the other rows. The notch 23 is smaller than the inactive region 24.

そして、第1の圧電素子柱(非駆動圧電素子柱)12Bの切欠き部23には第1の接着剤21(例えば紫外線硬化型接着剤)をディスペンサなどで塗布するとともに、第1の圧電素子柱(非駆動圧電素子柱)12Bの上面には第2の接着剤22(例えば熱硬化型接着剤)を全域に塗布している。これに対し、第2の圧電素子柱(駆動圧電素子柱)12Aの切欠き部23には第1の接着剤21を塗布せず、第2の圧電素子柱(駆動圧電素子柱)12Aの上面には第2の接着剤22(例えば熱硬化型エポキシ接着剤)を全域に塗布している。   Then, a first adhesive 21 (for example, an ultraviolet curable adhesive) is applied to the notch 23 of the first piezoelectric element column (non-driving piezoelectric element column) 12B with a dispenser or the like, and the first piezoelectric element is also applied. A second adhesive 22 (for example, a thermosetting adhesive) is applied to the entire upper surface of the pillar (non-driving piezoelectric element pillar) 12B. On the other hand, the first adhesive 21 is not applied to the notch 23 of the second piezoelectric element column (driving piezoelectric element column) 12A, and the upper surface of the second piezoelectric element column (driving piezoelectric element column) 12A. A second adhesive 22 (for example, a thermosetting epoxy adhesive) is applied to the entire area.

一方、振動板部材2の振動板領域2Aには、圧電素子部材12の第2の圧電素子柱(駆動圧電素子柱)12Aと接合する島状の第1の凸部31Aを形成している。また、振動板部材2の振動板領域2A、2A間には、流路部材1の液室間隔壁6Aに対応して第1の圧電素子柱(非駆動圧電素子柱)12Bと接合する他の部分と同じ厚みの第2の凸部31Bを形成している。   On the other hand, in the diaphragm region 2A of the diaphragm member 2, an island-shaped first convex portion 31A joined to the second piezoelectric element column (drive piezoelectric element column) 12A of the piezoelectric element member 12 is formed. In addition, between the diaphragm regions 2A and 2A of the diaphragm member 2, there is another member joined to the first piezoelectric element column (non-driving piezoelectric element column) 12B corresponding to the liquid chamber interval wall 6A of the flow path member 1. A second convex portion 31B having the same thickness as the portion is formed.

なお、給電部材14の電極15は第2の圧電素子柱(駆動圧電素子柱)12Aに対応して設けられている。   The electrode 15 of the power supply member 14 is provided corresponding to the second piezoelectric element column (driving piezoelectric element column) 12A.

これにより、圧電素子ユニット10を振動板部材2に接合するとき、流路部材1の液室間隔壁6Aに対応して第1の圧電素子柱(非駆動圧電素子柱)12Bを位置決めし、前述した実施形態と同様に第1の接着剤21に紫外線を照射して一次接合を完了した後、熱を加えて第1の圧電素子柱(非駆動圧電素子柱)12B及び第2の圧電素子柱(駆動圧電素子柱)12Aの第2の接着剤22を硬化させて接合を完了する。   Thus, when the piezoelectric element unit 10 is joined to the diaphragm member 2, the first piezoelectric element column (non-driving piezoelectric element column) 12B is positioned corresponding to the liquid chamber interval wall 6A of the flow path member 1, In the same manner as in the embodiment, after the primary bonding is completed by irradiating the first adhesive 21 with ultraviolet rays, the first piezoelectric element column (non-driving piezoelectric element column) 12B and the second piezoelectric element column are applied by applying heat. (Drive piezoelectric element column) The second adhesive 22 of 12A is cured to complete the joining.

このように、液室間隔壁の下に配置される非駆動圧電素子柱にのみ第1の接着剤を塗布し、駆動圧電素子柱には第1の接着剤を塗布しないことにより、接着速度の速い(速硬化の)第1の接着剤の塗布量が多すぎることによりはみ出しが生じた場合でも、振動板領域への接着剤の流れ出しが抑制されるので、振動板領域の変位特性のばらつきを低減することができる。   Thus, by applying the first adhesive only to the non-driving piezoelectric element columns arranged under the liquid chamber interval wall and not applying the first adhesive to the driving piezoelectric element columns, the bonding speed can be reduced. Even when the amount of application of the fast (fast-curing) first adhesive is too large, the flow of the adhesive to the diaphragm region is suppressed, so variation in the displacement characteristics of the diaphragm region can be reduced. Can be reduced.

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの更に他の実施形態について図10を参照して説明する。なお、図10は同ヘッドの圧電アクチュエータを構成する圧電素子ユニットの圧電素子柱に接着剤を塗布した状態の模式的斜視説明図である。
ここでは、圧電素子部材12の第1の圧電素子柱(非駆動圧電素子柱)12Bには、凹部としての切欠き部23を圧電素子柱の並び方向であって、他の列の圧電素子柱と対向しない側の端部に形成している。そして、第1の圧電素子柱(非駆動圧電素子柱)12Bは、切欠き部23に第1の接着剤21(例えば紫外線硬化型接着剤)をディスペンサなどで塗布するとともに、その上面には第2の接着剤22(例えば熱硬化型接着剤)を全域に塗布している。
Next, still another embodiment of the liquid discharge head according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a schematic perspective explanatory view showing a state in which an adhesive is applied to the piezoelectric element columns of the piezoelectric element unit constituting the piezoelectric actuator of the head.
Here, the first piezoelectric element column (non-driving piezoelectric element column) 12B of the piezoelectric element member 12 has notches 23 as recesses in the direction in which the piezoelectric element columns are arranged, and the piezoelectric element columns in other rows. It is formed in the edge part of the side which does not oppose. The first piezoelectric element column (non-driving piezoelectric element column) 12B applies a first adhesive 21 (for example, an ultraviolet curable adhesive) to the notch 23 with a dispenser or the like, and the upper surface thereof Two adhesives 22 (for example, thermosetting adhesives) are applied to the entire area.

これに対し、第2の圧電素子柱(駆動圧電素子柱)12Aには切欠き部23を形成せず、その上面には第2の接着剤22(例えば熱硬化型エポキシ接着剤)を全域に塗布している。   In contrast, the second piezoelectric element column (driving piezoelectric element column) 12A is not formed with the notch 23, and the second adhesive 22 (for example, a thermosetting epoxy adhesive) is applied to the entire upper surface thereof. It is applied.

このように、非駆動の第2の圧電素子柱にのみ凹部を形成しているので、速硬化性の第1の接着剤を塗布する圧電素子柱を外観上判別でき、誤って駆動の第1の圧電素子柱に速硬化性の第1の接着剤が塗布することを防止できる。また、駆動の第2の圧電素子柱には凹部を形成しないことにより、不活性領域が非常に小さな場合でも第2の圧電素子柱の変位効率を落とすことなく安定した接合を行うことができる。   As described above, since the concave portion is formed only in the non-driven second piezoelectric element column, the piezoelectric element column to which the fast-curing first adhesive is applied can be discriminated in appearance, and the first driven column is erroneously detected. It is possible to prevent the fast-curing first adhesive from being applied to the piezoelectric element columns. Further, by not forming a recess in the driven second piezoelectric element column, stable bonding can be performed without reducing the displacement efficiency of the second piezoelectric element column even when the inactive region is very small.

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを含む本発明に係る画像形成装置の一例について図11を参照して説明する。なお、図11は同装置の機構部全体の概略構成図である。
この画像形成装置は、装置本体201の内部に画像形成部202等を有し、装置本体201の下方側に多数枚の記録媒体(用紙)203を積載可能な給紙トレイ204を備え、この給紙トレイ204から給紙される用紙203を取り込み、搬送機構205によって用紙203を搬送しながら画像形成部202によって所要の画像を記録した後、装置本体201の側方に装着された排紙トレイ206に用紙203を排紙する。
Next, an example of the image forming apparatus according to the present invention including the liquid discharge head according to the present invention will be described with reference to FIG. In addition, FIG. 11 is a schematic block diagram of the whole mechanism part of the apparatus.
The image forming apparatus includes an image forming unit 202 and the like inside the apparatus main body 201, and includes a paper feed tray 204 on the lower side of the apparatus main body 201 on which a large number of recording media (sheets) 203 can be stacked. The paper 203 fed from the paper tray 204 is taken in, a required image is recorded by the image forming unit 202 while the paper 203 is transported by the transport mechanism 205, and then a paper discharge tray 206 mounted on the side of the apparatus main body 201. The sheet 203 is discharged.

また、装置本体201に対して着脱可能な両面ユニット207を備え、両面印刷を行うときには、一面(表面)印刷終了後、搬送機構205によって用紙203を逆方向に搬送しながら両面ユニット207内に取り込み、反転させて他面(裏面)を印刷可能面として再度搬送機構205に送り込み、他面(裏面)印刷終了後排紙トレイ206に用紙203を排紙する。   In addition, a duplex unit 207 that can be attached to and detached from the apparatus main body 201 is provided, and when performing duplex printing, the sheet 203 is taken into the duplex unit 207 while being transported in the reverse direction by the transport mechanism 205 after one-side (front) printing is completed. Then, the other side (back side) is sent to the transport mechanism 205 again as the printable side, and the sheet 203 is discharged to the discharge tray 206 after the other side (back side) printing is completed.

ここで、画像形成部202は、例えばブラック(K)、シアン(C)、マゼンタ(M)、イエロー(Y)の各色の液滴を吐出する、フルライン型の4個の本発明に係る液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッド211k、211c、211m、211y(色を区別しないときには「記録ヘッド211」という。)を備え、各記録ヘッド211は液滴を吐出するノズルを形成したノズル面を下方に向けてヘッドホルダ213に装着している。なお、記録ヘッド211は前述したように複数個の圧電素子ユニットを振動板に連結して接合した圧電アクチュエータを備えているものである。   Here, the image forming unit 202, for example, ejects liquid droplets of each color of black (K), cyan (C), magenta (M), and yellow (Y), and is a full line type of four liquids according to the present invention. The recording heads 211k, 211c, 211m, and 211y (which are referred to as “recording heads 211” when the colors are not distinguished) are configured by ejection heads, and each recording head 211 has a nozzle surface on which nozzles for ejecting droplets are formed downward. The head holder 213 is attached. As described above, the recording head 211 includes a piezoelectric actuator in which a plurality of piezoelectric element units are joined to a diaphragm.

また、各記録ヘッド211に対応してヘッドの性能を維持回復するための維持回復機構212k、212c、212m、212y(色を区別しないときには「維持回復機構212」という。)を備え、パージ処理、ワイピング処理などのヘッドの性能維持動作時には、記録ヘッド211と維持回復機構212とを相対的に移動させて、記録ヘッド211のノズル面に維持回復機構212を構成するキャッピング部材などを対向させる。   Further, maintenance recovery mechanisms 212k, 212c, 212m, and 212y for maintaining and recovering the head performance corresponding to each recording head 211 are provided (referred to as “maintenance recovery mechanism 212” when colors are not distinguished), and purge processing, During the head performance maintenance operation such as wiping processing, the recording head 211 and the maintenance / recovery mechanism 212 are relatively moved so that the capping member constituting the maintenance / recovery mechanism 212 faces the nozzle surface of the recording head 211.

なお、ここでは、記録ヘッド211は、用紙搬送方向上流側から、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの順に各色の液滴を吐出する配置としているが、配置及び色数はこれに限るものではない。また、ライン型ヘッドとしては、各色の液滴を吐出する複数のノズル列を所定間隔で設けた1又は複数のヘッドを用いることもできるし、ヘッドとこのヘッドに記録液を供給する記録液カートリッジを一体とすることも別体とすることもできる。さらに、2つのヘッドを段違いで直線状に並べてライン型ヘッドとすることもできる。   Here, the recording head 211 is arranged to eject droplets of each color in the order of yellow, magenta, cyan, and black from the upstream side in the paper conveyance direction, but the arrangement and the number of colors are not limited to this. Further, as the line-type head, one or a plurality of heads provided with a plurality of nozzle rows for discharging droplets of each color at predetermined intervals can be used, and a recording liquid cartridge for supplying a recording liquid to the head and the head. Can be integrated or separated. Furthermore, two heads can be arranged in a straight line at different levels to form a line type head.

給紙トレイ204の用紙203は、給紙コロ(半月コロ)221と図示しない分離パッドによって1枚ずつ分離され装置本体201内に給紙され、搬送ガイド部材223のガイド面223aに沿ってレジストローラ225と搬送ベルト233との間に送り込まれ、所定のタイミングでガイド部材226を介して搬送機構205の搬送ベルト233に送り込まれる。   The sheets 203 in the sheet feeding tray 204 are separated one by one by a sheet feeding roller (half-moon roller) 221 and a separation pad (not shown) and fed into the apparatus main body 201, and are registered along the guide surface 223 a of the conveyance guide member 223. 225 and the conveying belt 233, and are sent to the conveying belt 233 of the conveying mechanism 205 via the guide member 226 at a predetermined timing.

また、搬送ガイド部材223には両面ユニット207から送り出される用紙203を案内するガイド面223bも形成されている。更に、両面印刷時に搬送機構205から戻される用紙203を両面ユニット207に案内するガイド部材227も配置している。   In addition, a guide surface 223 b that guides the sheet 203 sent out from the duplex unit 207 is also formed on the transport guide member 223. Further, a guide member 227 for guiding the sheet 203 returned from the transport mechanism 205 during duplex printing to the duplex unit 207 is also provided.

搬送機構205は、駆動ローラである搬送ローラ231と従動ローラ232との間に掛け渡した無端状の搬送ベルト233と、この搬送ベルト233を帯電させるための帯電ローラ234と、画像形成部202に対向する部分で搬送ベルト233の平面性を維持するプラテン部材235と、搬送ベルト233から送り出す用紙203を搬送ローラ231側に押し付ける押さえコロ236と、その他図示しないが、搬送ベルト233に付着した記録液(インク)を除去するためのクリーニング手段である多孔質体などからなるクリーニングローラなどを有している。   The transport mechanism 205 includes an endless transport belt 233 that is stretched between a transport roller 231 that is a driving roller and a driven roller 232, a charging roller 234 that charges the transport belt 233, and an image forming unit 202. A platen member 235 that maintains the flatness of the conveying belt 233 at the opposite portion, a pressing roller 236 that presses the paper 203 fed from the conveying belt 233 against the conveying roller 231, and other recording liquid that is not shown, but adheres to the conveying belt 233. It has a cleaning roller made of a porous material or the like, which is a cleaning means for removing (ink).

この搬送機構205の下流側には、画像が記録された用紙203を排紙トレイ206に送り出すための排紙ローラ238及び拍車239を備えている。   A paper discharge roller 238 and a spur 239 for sending the paper 203 on which an image is recorded to the paper discharge tray 206 are provided on the downstream side of the transport mechanism 205.

このように構成した画像形成装置において、搬送ベルト233は矢示方向に周回移動し、高電位の印加電圧が印加される帯電ローラ334と接触することで正に帯電される。この場合、帯電ローラ234の帯電電圧は所定の時間間隔で極性を切り替えることによって、搬送ベルト233を所定の帯電ピッチで帯電させる。   In the image forming apparatus configured as described above, the transport belt 233 rotates in the direction indicated by the arrow, and is positively charged by coming into contact with the charging roller 334 to which a high potential applied voltage is applied. In this case, the charging belt 233 is charged at a predetermined charging pitch by switching the polarity of the charging voltage of the charging roller 234 at a predetermined time interval.

ここで、この高電位に帯電した搬送ベルト233上に用紙203が給送されると、用紙203内部が分極状態になり、搬送ベルト233上の電荷と逆極性の電荷が用紙203の搬送ベルト233と接触している面に誘電され、搬送ベルト233上の電荷と搬送される用紙203上に誘電された電荷同士が互いに静電的に引っ張り合い、用紙203は搬送ベルト233に静電的に吸着される。このようにして、搬送ベルト233に強力に吸着した用紙203は反りや凹凸が校正され、高度に平らな面が形成される。   Here, when the sheet 203 is fed onto the conveying belt 233 charged to this high potential, the inside of the sheet 203 is in a polarized state, and the charge opposite in polarity to the charge on the conveying belt 233 is conveyed to the conveying belt 233 of the sheet 203. The charge on the transport belt 233 and the charge on the transported sheet 203 are electrostatically attracted to each other, and the sheet 203 is electrostatically attracted to the transport belt 233. Is done. In this way, the sheet 203 strongly adsorbed to the conveyor belt 233 is calibrated for warpage and unevenness, and a highly flat surface is formed.

そして、搬送ベルト233を周回させて用紙203を移動させ、記録ヘッド211から液滴を吐出することで、用紙203上に所要の画像が形成され、画像が記録された用紙203は排紙ローラ238によって排紙トレイ206に排紙される。   Then, the paper 203 is moved around the conveyor belt 233 and droplets are ejected from the recording head 211, whereby a required image is formed on the paper 203, and the paper 203 on which the image is recorded is discharged to the paper discharge roller 238. Is discharged to the discharge tray 206.

このように、この画像形成装置においては本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッドを備えているので、低コストで、高い信頼性が得られる記録ヘッドを用いて高速で画像を形成することができる。   As described above, since the image forming apparatus includes the recording head including the liquid discharge head according to the present invention, it is possible to form an image at high speed using a recording head that can be obtained at low cost and high reliability. it can.

なお、上記実施形態では本発明をプリンタ構成の画像形成装置に適用した例で説明したが、これに限るものではなく、例えば、プリンタ/ファックス/コピア複合機などの画像形成装置に適用することができる。また、インク以外の液体である記録液や定着処理液などを用いる画像形成装置にも適用することができる。また、本発明に係る圧電アクチュエータは液体吐出ヘッド以外の流体ポンプ、光マイクロデバイスなどにも使用することができる。   In the above embodiment, the present invention has been described with reference to an example in which the present invention is applied to an image forming apparatus having a printer configuration. However, the present invention is not limited to this. For example, the present invention may be applied to an image forming apparatus such as a printer / fax / copier multifunction machine. it can. Further, the present invention can be applied to an image forming apparatus using a recording liquid or a fixing processing liquid that is a liquid other than ink. The piezoelectric actuator according to the present invention can also be used for fluid pumps, optical microdevices, and the like other than liquid ejection heads.

本発明に係る圧電アクチュエータを備える本発明に係る液体吐出ヘッドの一例を示す外観斜視説明図である。It is an external appearance perspective explanatory view showing an example of a liquid discharge head concerning the present invention provided with a piezoelectric actuator concerning the present invention. 図1のA−A線に沿う液室長手方向(液室の並び方向と直交する方向)に沿う断面説明図である。FIG. 2 is a cross-sectional explanatory view along a liquid chamber longitudinal direction (a direction orthogonal to the liquid chamber arrangement direction) along the line AA in FIG. 1. 同じく液室短手方向(液室の並び方向)に沿う断面説明図である。FIG. 6 is a cross-sectional explanatory view along the liquid chamber short direction (liquid chamber arrangement direction). 同じく圧電アクチュエータ部分の拡大説明図である。It is an enlarged explanatory view of a piezoelectric actuator part. 同じく圧電素子ユニットの振動板部材への接合工程の説明に供する説明図である。It is explanatory drawing with which it uses for description of the joining process to the diaphragm member of a piezoelectric element unit similarly. 本発明に係る液体吐出ヘッドの他の実施形態の圧電アクチュエータを構成する圧電素子ユニットの圧電素子柱に接着剤を塗布した状態の模式的斜視説明図である。FIG. 10 is a schematic perspective explanatory view showing a state in which an adhesive is applied to a piezoelectric element column of a piezoelectric element unit constituting a piezoelectric actuator of another embodiment of the liquid discharge head according to the present invention. 同じく振動板部材の底面説明図である。It is a bottom face explanatory drawing of a diaphragm member similarly. 同じく図7のB−B線に沿う断面に相当する圧電アクチュエータの断面説明図である。FIG. 8 is a cross-sectional explanatory view of a piezoelectric actuator corresponding to a cross section taken along line BB in FIG. 7. 同じく図7のC−C線に沿う断面に相当するヘッドの要部断面説明図である。FIG. 8 is an explanatory cross-sectional view of a main part of the head corresponding to a cross section taken along the line CC of FIG. 7. 本発明に係る液体吐出ヘッドの更に他の実施形態の圧電アクチュエータを構成する圧電素子ユニットの圧電素子柱に接着剤を塗布した状態の模式的斜視説明図である。FIG. 10 is a schematic perspective explanatory view showing a state in which an adhesive is applied to a piezoelectric element column of a piezoelectric element unit constituting a piezoelectric actuator of still another embodiment of the liquid ejection head according to the present invention. 本発明に係る液体吐出ヘッドを含む本発明に係る画像形成装置の一例を示す全体構成説明図である。1 is an overall configuration explanatory view showing an example of an image forming apparatus according to the present invention including a liquid discharge head according to the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…流路基板
2…振動板部材
3…ノズル板
4…ノズル
6…加圧液室
10…圧電アクチュエータ
11…圧電素子ユニット
12…圧電素子部材
12A…第2の圧電素子柱(非駆動圧電素子柱)
12B…第1の圧電素子柱(駆動圧電素子柱)
21…第1の接着剤
22…第2の接着剤
23…切欠き部(凹部)
211k、211c、211m、211y…記録ヘッド(液体吐出ヘッド)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Flow path board 2 ... Vibrating plate member 3 ... Nozzle plate 4 ... Nozzle 6 ... Pressurizing liquid chamber 10 ... Piezoelectric actuator 11 ... Piezoelectric element unit 12 ... Piezoelectric element member 12A ... 2nd piezoelectric element pillar (non-driving piezoelectric element) Pillar)
12B: First piezoelectric element column (drive piezoelectric element column)
21 ... 1st adhesive agent 22 ... 2nd adhesive agent 23 ... Notch part (concave part)
211k, 211c, 211m, 211y ... recording head (liquid ejection head)

Claims (12)

複数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された圧電素子部材と、
前記複数の圧電素子柱に接着剤接合された振動板部材とを備え、
前記1つの圧電素子柱と振動板部材とは、第1の接着剤及び第2の接着剤で接着され、前記第1の接着剤は第2の接着剤よりも接着速度が速く、前記第2の接着剤は第1の接着剤よりも接着強度が強いことを特徴とする圧電アクチュエータ。
A plurality of piezoelectric element columns formed at a predetermined pitch through the groove, and arranged in a row;
A diaphragm member adhesively bonded to the plurality of piezoelectric element columns;
The one piezoelectric element column and the diaphragm member are bonded with a first adhesive and a second adhesive, and the first adhesive has a higher bonding speed than the second adhesive, and the second adhesive The piezoelectric actuator is characterized in that the adhesive strength is stronger than that of the first adhesive.
請求項1に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記第1の接着剤は可視光硬化型、2液硬化型、熱硬化型、紫外線硬化型及び湿度硬化型のいずれかの接着剤であり、前記第2の接着剤は熱硬化型接着剤であることを特徴とする圧電アクチュエータ。   2. The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein the first adhesive is any one of a visible light curable adhesive, a two-component curable adhesive, a thermosetting adhesive, an ultraviolet curable adhesive, and a humidity curable adhesive. The piezoelectric actuator is a thermosetting adhesive. 請求項1又は2に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記第1の接着剤は前記複数の圧電素子柱の並び方向と直交する方向で第2の接着剤よりも端部側にあることを特徴とする圧電アクチュエータ。   3. The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein the first adhesive is located on an end side of the second adhesive in a direction orthogonal to an arrangement direction of the plurality of piezoelectric element columns. Piezoelectric actuator. 請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電アクチュエータおいて、前記圧電素子柱は第2の接着剤の接着部分に凹部が形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
4. The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein the piezoelectric element column has a recess formed in a bonding portion of the second adhesive. 5.
請求項4に記載の圧電アクチュエータおいて、前記凹部は端部に向けて開放された切り欠きであることを特徴とする圧電アクチュエータ。   5. The piezoelectric actuator according to claim 4, wherein the concave portion is a notch opened toward an end portion. 請求項4又は5に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記凹部は前記圧電素子柱の不活性領域より小さい範囲に形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。   6. The piezoelectric actuator according to claim 4, wherein the concave portion is formed in a range smaller than an inactive region of the piezoelectric element column. 請求項4又は5に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記凹部は前記圧電素子柱の不活性領域より大きい範囲に形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。   6. The piezoelectric actuator according to claim 4, wherein the recess is formed in a range larger than an inactive region of the piezoelectric element column. 請求項1ないし7のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、第1、第2の接着剤により接着される第1の圧電素子と、前記第2の接着剤により接着される第2の圧電素子を含むことを特徴とする圧電アクチュエータ。   8. The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein the first piezoelectric element bonded by the first and second adhesives and the second piezoelectric element bonded by the second adhesive are provided. A piezoelectric actuator comprising: 請求項1ないし7のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、第1、第2の接着剤により接着される第1の圧電素子柱と、前記第2の接着剤により接着される第2の圧電素子柱を含み、第1の圧電素子柱には第2の接着剤の接着部分に凹部が形成され、第2の圧電素子柱には前記凹部が形成されていないことを特徴とする圧電アクチュエータ。   8. The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein the first piezoelectric element column bonded by the first and second adhesives and the second piezoelectric element bonded by the second adhesive. A piezoelectric actuator comprising a column, wherein the first piezoelectric element column is formed with a recess in a bonding portion of the second adhesive, and the second piezoelectric element column is not formed with the recess. 請求項8又は9に記載の圧電アクチュエータおいて、前記第1の圧電素子柱は駆動電圧が印加されない圧電素子柱であり、前記第2の圧電素子柱は駆動電圧が印加される圧電素子柱であることを特徴とする圧電アクチュエータ。   10. The piezoelectric actuator according to claim 8, wherein the first piezoelectric element column is a piezoelectric element column to which no driving voltage is applied, and the second piezoelectric element column is a piezoelectric element column to which a driving voltage is applied. A piezoelectric actuator characterized by being. 液滴を吐出するノズルが連通する液室の壁面を形成する振動板を圧電アクチュエータで変位させることで前記ノズルから液滴が吐出される液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータが請求項1ないし10のいずれかに記載の圧電アクチュエータであることを特徴とする液体吐出ヘッド。   11. A liquid ejection head that ejects liquid droplets from the nozzles by displacing a diaphragm that forms a wall surface of a liquid chamber that communicates with a nozzle that ejects liquid droplets with the piezoelectric actuator. A liquid discharge head, which is the piezoelectric actuator according to any one of the above. 液滴を吐出する液体吐出ヘッドを備えて画像を形成する画像形成装置において、前記液体吐出ヘッドが請求項11に記載の液体吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。   An image forming apparatus comprising a liquid discharge head for discharging liquid droplets to form an image, wherein the liquid discharge head is the liquid discharge head according to claim 11.
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