JP2008149402A - 把持装置と把持力制御方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 把持力制御の精度を高め、且つ、把持装置に使用されている超音波モータの寿命の延長を図ることが可能な把持装置と把持力制御方法を提供すること。
【解決手段】 超音波モータと、超音波モータを駆動することによって離接される一対の移動体と、一対の移動体に対して夫々移動可能な状態で取り付けられ被把持物を把持する一対の把持部材と、各移動体と各把持部材の間に介装され把持部材を一方向に付勢する弾性部材と、超音波モータを駆動することによって一対の移動体を移動させて一対の把持部材を接近させることより被把持物を把持する際弾性部材が所定量だけ弾性変形するまで超音波モータを駆動させそれによって所定の把持力を得る制御手段と、を具備したもの。
【選択図】 図3
【解決手段】 超音波モータと、超音波モータを駆動することによって離接される一対の移動体と、一対の移動体に対して夫々移動可能な状態で取り付けられ被把持物を把持する一対の把持部材と、各移動体と各把持部材の間に介装され把持部材を一方向に付勢する弾性部材と、超音波モータを駆動することによって一対の移動体を移動させて一対の把持部材を接近させることより被把持物を把持する際弾性部材が所定量だけ弾性変形するまで超音波モータを駆動させそれによって所定の把持力を得る制御手段と、を具備したもの。
【選択図】 図3
Description
本発明は把持装置と把持力制御方法に係り、特に、超音波モータを使用したものにおいて、ロードセル等の高価なセンサを要することなく、比較的簡単な構成で把持力を高い精度で制御することができるように工夫したものに関する。
把持装置には超音波モータを使用したものがある。そのような把持装置における把持力の制御としては、超音波モータ自身が備えているピックアップ電極を用いたフィードバック制御が一般的である。つまり、ピックアップ電極を用いたフィードバック制御によってモータ負荷を検知し、それによって、把持力を制御するようにしたものである。
尚、同種の把持装置の構成を開示するものとして、例えば、特許文献1がある。
特開2001−341091号公報
上記従来の構成によると次のような問題があった。
まず、信頼性の高い把持力の制御ができないという問題があった。これは、ピックアップ電極を介して取り出す信号が、モータ負荷、モータ自身の発熱、モータ個体差によって大きく変動してしまうことに起因する。
又、従来の把持装置の場合には、把持中においても超音波モータが駆動したままの状態にあり、そのため超音波モータの寿命を磨耗によって縮めてしまうという問題があった。
まず、信頼性の高い把持力の制御ができないという問題があった。これは、ピックアップ電極を介して取り出す信号が、モータ負荷、モータ自身の発熱、モータ個体差によって大きく変動してしまうことに起因する。
又、従来の把持装置の場合には、把持中においても超音波モータが駆動したままの状態にあり、そのため超音波モータの寿命を磨耗によって縮めてしまうという問題があった。
本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、把持力制御の精度を高め、且つ、把持装置に使用されている超音波モータの寿命の延長を図ることが可能な把持装置と把持力制御方法を提供することにある。
上記目的を達成するべく本願の請求項1による把持装置は、超音波モータと、上記超音波モータを駆動することによって離接される一対の移動体と、上記一対の移動体に対して夫々移動可能な状態で取り付けられ被把持物を把持する一対の把持部材と、上記各移動体と各把持部材の間に介装され上記把持部材を一方向に付勢する弾性部材と、上記超音波モータを駆動することによって上記一対の移動体を移動させて上記一対の把持部材を接近させることより被把持物を把持する際上記弾性部材が所定量だけ弾性変形するまで上記超音波モータを駆動させそれによって所定の把持力を得る制御手段と、を具備したことを特徴とするものである。
又、請求項2による把持装置は、請求項1記載の把持装置において、上記制御手段は上記弾性部材が所定量だけ弾性変形するまで超音波モータを駆動した後超音波モータを停止させるものであることを特徴とするものである。
又、請求項3による把持力制御方法は、超音波モータを駆動することによって一対の移動体を離接可能に設置し、上記一対の移動体に対して夫々把持部材を移動可能な状態で取り付け、上記各移動体と各把持部材の間に上記把持部材を一方向に付勢する弾性部材を介装させ、上記超音波モータを駆動して上記一対の移動体を移動させ上記一対の把持部材によって被把持物を把持する際上記弾性部材が所定量だけ弾性変形するまで上記超音波モータを駆動させそれによって所定の把持力を得るようにしたことを特徴とするものである。
又、請求項4による把持力制御方法は、請求項3記載の把持力制御方法において、上記弾性部材が所定量だけ弾性変形した後上記超音波モータを停止させるようにしたことを特徴とするものである。
又、請求項2による把持装置は、請求項1記載の把持装置において、上記制御手段は上記弾性部材が所定量だけ弾性変形するまで超音波モータを駆動した後超音波モータを停止させるものであることを特徴とするものである。
又、請求項3による把持力制御方法は、超音波モータを駆動することによって一対の移動体を離接可能に設置し、上記一対の移動体に対して夫々把持部材を移動可能な状態で取り付け、上記各移動体と各把持部材の間に上記把持部材を一方向に付勢する弾性部材を介装させ、上記超音波モータを駆動して上記一対の移動体を移動させ上記一対の把持部材によって被把持物を把持する際上記弾性部材が所定量だけ弾性変形するまで上記超音波モータを駆動させそれによって所定の把持力を得るようにしたことを特徴とするものである。
又、請求項4による把持力制御方法は、請求項3記載の把持力制御方法において、上記弾性部材が所定量だけ弾性変形した後上記超音波モータを停止させるようにしたことを特徴とするものである。
以上述べたように本願の請求項1による把持装置によると、超音波モータと、上記超音波モータを駆動することによって離接される一対の移動体と、上記一対の移動体に対して夫々移動可能な状態で取り付けられ被把持物を把持する一対の把持部材と、上記各移動体と各把持部材の間に介装され上記把持部材を一方向に付勢する弾性部材と、上記超音波モータを駆動することによって上記一対の移動体を移動させて上記一対の把持部材を接近させることより被把持物を把持する際上記弾性部材が所定量だけ弾性変形するまで上記超音波モータを駆動させそれによって所定の把持力を得る制御手段と、を具備した構成になっているので、比較的簡単な構成によって把持力を高い精度で制御することが可能になった。これは、各移動体とそこに取り付けられる把持部材との間に弾性部材を取り付け、その弾性部材の押込み量によって把持力を制御するように構成したからである。
又、請求項2による把持装置は、請求項1記載の把持装置において、上記制御手段は上記弾性部材が所定量だけ弾性変形するまで超音波モータを駆動した後超音波モータを停止させるように構成しているので、超音波モータの寿命の延長を図ることができ、又、電力消費量の削減を図ることができる。
又、請求項3による把持力制御方法は、超音波モータを駆動することによって一対の移動体を離接可能に設置し、上記一対の移動体に対して夫々把持部材を移動可能な状態で取り付け、上記各移動体と各把持部材の間に上記把持部材を一方向に付勢する弾性部材を介装させ、上記超音波モータを駆動して上記一対の移動体を移動させ上記一対の把持部材によって被把持物を把持する際上記弾性部材が所定量だけ弾性変形するまで上記超音波モータを駆動させそれによって所定の把持力を得るようにしているので、まず、比較的簡単な構成によって把持力を高い精度で制御することが可能になった。これは、各移動体とそこに取り付けられる把持部材との間に弾性部材を取り付け、その弾性部材の押込み量によって把持力を制御するように構成したからである。
又、請求項4による把持力制御方法は、請求項3記載の把持力制御方法において、上記弾性部材が所定量だけ弾性変形した後上記超音波モータを停止させるようにしているので、超音波モータの寿命の延長を図ることができ、又、電力消費量の削減を図ることができる。
又、請求項2による把持装置は、請求項1記載の把持装置において、上記制御手段は上記弾性部材が所定量だけ弾性変形するまで超音波モータを駆動した後超音波モータを停止させるように構成しているので、超音波モータの寿命の延長を図ることができ、又、電力消費量の削減を図ることができる。
又、請求項3による把持力制御方法は、超音波モータを駆動することによって一対の移動体を離接可能に設置し、上記一対の移動体に対して夫々把持部材を移動可能な状態で取り付け、上記各移動体と各把持部材の間に上記把持部材を一方向に付勢する弾性部材を介装させ、上記超音波モータを駆動して上記一対の移動体を移動させ上記一対の把持部材によって被把持物を把持する際上記弾性部材が所定量だけ弾性変形するまで上記超音波モータを駆動させそれによって所定の把持力を得るようにしているので、まず、比較的簡単な構成によって把持力を高い精度で制御することが可能になった。これは、各移動体とそこに取り付けられる把持部材との間に弾性部材を取り付け、その弾性部材の押込み量によって把持力を制御するように構成したからである。
又、請求項4による把持力制御方法は、請求項3記載の把持力制御方法において、上記弾性部材が所定量だけ弾性変形した後上記超音波モータを停止させるようにしているので、超音波モータの寿命の延長を図ることができ、又、電力消費量の削減を図ることができる。
以下、図1乃至図10を参照して本発明の一実施の形態を説明する。図1は本実施の形態による把持装置の全体の構成を示す図であり、又、図2は図1の一部を切り欠いて内部の構造を示す図である。まず、外筐1があり、この外筐1の外側には超音波モータ3が取り付けられている。上記超音波モータ3の回転軸5は、図2及び図4に示すように、上記外筐1内に挿入・配置されていて、この回転軸5にはピニオンギヤ7が固着されている。一方、図4乃至図6に示すように、上記外筐1内には一対の移動体9a、9bが対向・配置されている。これら一対の移動体9a、9bにはラックギヤ11a、11bが夫々固着されている。これらラックギヤ11a、11bは既に説明したピニオンギヤ7を挟むような位置に対向・配置されていてピニオンギヤ7に噛合されている。
上記移動体9a、9bには、図5に示すように、コイルスプリング13a、13bを介して把持部材15a、15bが夫々取り付けられている。上記把持部材15a、15bはコイルスプリング13、13によって夫々相互に接近する方向に常時付勢されている。例えば、図5において右側に配置されている把持部材15aは、コイルスプリング13aによって図5中左方向に付勢されている。一方、図5において左側に配置されている把持部材15bは、コイルスプリング13bによって図5中右方向に付勢されている。
上記移動体9a、ラック11a、コイルスプリング13a、把持部材15aの関係を抽出して図7及び図8に示す。図8に示すように、まず、把持部材15aには中空部41が形成されていて、この中空部41内に移動体9aが移動可能な状態で収容されている。上記中空部41の両側には端栓43、43が取り付けられている。又、上記移動体9aには孔45が形成されていて、上記端栓43cとこの孔45との間にコイルスプリング13aが収容・配置されている。上記端栓43、43は固定ボルト47によって把持部材15aに固定されている。
上記把持部材15aには把持爪49が一体に取り付けられていて、この把持爪49には両側にV字溝51、51が形成されている。これらV字溝51、51内にはコロ53が回転可能な状態で収容・配置されている。その際、隣接するコロ53の向きが90°異なった向きになるように互い違いに配置されている。又、それらコロ53の両側には端栓55、55が固定ねじ57、57によって固定されている。
尚、上記移動体9b、ラック11b、コイルスプリング13b、把持部材15bの関係も同様の構成になっている。
尚、上記移動体9b、ラック11b、コイルスプリング13b、把持部材15bの関係も同様の構成になっている。
上記コイルスプリング13a、13bは図9に示すような特性を備えたものである。図9は横軸にバネ押込み量(mm)をとり縦軸に把持力(N)をとって両者の関係を示したものである。この実施の形態の場合には、上記一対の把持部材15a、15bによって被把持物21(図3中仮想線で示す)を把持し始めた点を「0」点とし、そこから予め設定された押込み量だけ上記コイルスプリング13a、13bを押し込むことにより所望の把持力を得ようとするものである。
上記押込み量を検知して所望の把持力を得るべく制御するために制御手段23が設けられている。そして、超音波モータ3に設置されているエンコーダ25によってコイルスプリング13a、13bの押込み量を検知する。すなわち、エンコーダ25のカウント数によってコイルスプリング13a、13bの押込み量を検知する。そして、コイルスプリング13a、13bの押込み量が予め設定された値に達したところで超音波モータ3を停止させる。それによって、被把持部21を所望の把持力によって把持した状態を得るものである。
尚、上記エンコーダ25のカウント数をカウントするに際して予め「0点」を設定しておく。すなわち、超音波モータ3を駆動して一対の移動体9a、9bを移動させ、それによって、一対の把持部材15a、15bを接近させて被把持物21を把持させる。その把持開始点を「0点」として設定するものである。この「0点」では上記コイルスプリング13a、13bは未だ弾性変形を開始していないものであり、そこからさらに超音波モータ3を駆動することにより徐々に弾性変形していくことになる。その弾性変形量を上記エンコーダ25のカウント数によって検出するものである。
又、上記外筐1の前面側であって、把持部材15a、15bの把持爪49、49の図1中上下位置にはガイド部材31、33が設置されている。上記把持部材15a、15bの把持爪49、49は上記ガイド部材31、33にガイドされながら移動するものである。すなわち、上記ガイド部材31、33側には横断面形状がV字溝31a、33aが形成されている。これらV字溝31a、33aと既に説明した把持爪49、49側のV字溝51、51との間にコロ53が収容・配置されているものである。よって、把持爪49、49はそれら複数個のコロ53によってガイドされながら移動することになる。
以上の構成を基に図10のフローチャートを参照しながらその作用を説明する。まず、被把持物21を把持するべく超音波モータ3を起動する。それによって、一対の移動体9a、9bが移動し、それに伴って一対の把持部材15a、15bの把持爪49、49が相互に接近することになる。上記一対の把持部材15a、15bの把持爪49、49の接近によって被把持物21を把持することになる。そして、上記一対の把持部材15a、15bの把持爪49、49の接近によって被把持物21を把持し始めた点が「0点」である。これがステップS1になる。
そこから所定の押込み量だけコイルスプリング13a、13bを押し込む。すなわち、超音波モータ3を駆動して一対の移動体9a、9bを所定量だけ移動させるものである。そして、ステップS2に移行して、目標位置に到達したか否か、すなわち、コイルスプリング13a、13bを所定量押し込んだか否かを判別する。目標位置に到達したと判別された場合にはステップS3に移行して、超音波モータ3を停止させる。それによって、超音波モータ3の保持力とコイルスプリング13a、13bの弾性保持力によって被把持物21を把持することになる。これに対して、目標位置に到達していないと判別された場合には動作を継続する。その後ステップS4に移行して被把持物21の把持を解除する。
以下、同様の処理を繰り返すものである。
以下、同様の処理を繰り返すものである。
以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、比較的簡単な構成によって把持力を高い精度で制御することが可能になった。これは、各移動体9a、9bとそこに取り付けられる把持部材15a、15bとの間にコイルスプリング13a、13bを取り付け、そのコイルスプリング13a、13bの押込み量によって把持力を制御するように構成したからである。
又、所定の把持力を得られる状態になったところで超音波モータ3を停止させるようにしているので、超音波モータの寿命の延長を図ることができる。
又、所定の把持力を得られる状態になったところで超音波モータ3を停止させるようにしているので、電力消費量の削減を図ることができる。
まず、比較的簡単な構成によって把持力を高い精度で制御することが可能になった。これは、各移動体9a、9bとそこに取り付けられる把持部材15a、15bとの間にコイルスプリング13a、13bを取り付け、そのコイルスプリング13a、13bの押込み量によって把持力を制御するように構成したからである。
又、所定の把持力を得られる状態になったところで超音波モータ3を停止させるようにしているので、超音波モータの寿命の延長を図ることができる。
又、所定の把持力を得られる状態になったところで超音波モータ3を停止させるようにしているので、電力消費量の削減を図ることができる。
尚、本発明は前記一実施の形態に限定されるものではない。
例えば、把持装置自体の基本的な構成は図示したものに限定されるものではなく、様々な構成が考えられる。
又、前記一実施の形態の場合には、弾性部材としてコイルスプリングを使用した例を挙げて説明したが、それに限定されるものではなく、板ばね等様々な種類の弾性部材の使用が考えられる。
例えば、把持装置自体の基本的な構成は図示したものに限定されるものではなく、様々な構成が考えられる。
又、前記一実施の形態の場合には、弾性部材としてコイルスプリングを使用した例を挙げて説明したが、それに限定されるものではなく、板ばね等様々な種類の弾性部材の使用が考えられる。
本発明は把持装置と把持力制御方法に係り、特に、超音波モータを使用したものにおいて、ロードセル等の高価なセンサを要することなく、比較的簡単な構成で把持力の制御を高い精度で行うことができるように工夫したものに関し、例えば、工場等で使用されている各種グリッパに好適である。
1 外筐
3 超音波モータ
5 回転軸
7 ピニオンギヤ
9a 移動体
9b 移動体
11a ラックギヤ
11b ラックギヤ
13a コイルスプリング(弾性部材)
13b コイルスプリング(弾性部材)
15a 把持部材
15b 把持部材
21 被把持物
23 制御手段
25 エンコーダ
3 超音波モータ
5 回転軸
7 ピニオンギヤ
9a 移動体
9b 移動体
11a ラックギヤ
11b ラックギヤ
13a コイルスプリング(弾性部材)
13b コイルスプリング(弾性部材)
15a 把持部材
15b 把持部材
21 被把持物
23 制御手段
25 エンコーダ
Claims (4)
- 超音波モータと、
上記超音波モータを駆動することによって離接される一対の移動体と、
上記一対の移動体に対して夫々移動可能な状態で取り付けられ被把持物を把持する一対の把持部材と、
上記各移動体と各把持部材の間に介装され上記把持部材を一方向に付勢する弾性部材と、
上記超音波モータを駆動することによって上記一対の移動体を移動させて上記一対の把持部材を接近させることより被把持物を把持する際上記弾性部材が所定量だけ弾性変形するまで上記超音波モータを駆動させそれによって所定の把持力を得る制御手段と、
を具備したことを特徴とする把持装置。 - 請求項1記載の把持装置において、
上記制御手段は上記弾性部材が所定量だけ弾性変形するまで超音波モータを駆動した後超音波モータを停止させるものであることを特徴とする把持装置。 - 超音波モータを駆動することによって一対の移動体を離接可能に設置し、上記一対の移動体に対して夫々把持部材を移動可能な状態で取り付け、上記各移動体と各把持部材の間に上記把持部材を一方向に付勢する弾性部材を介装させ、上記超音波モータを駆動して上記一対の移動体を移動させ上記一対の把持部材によって被把持物を把持する際上記弾性部材が所定量だけ弾性変形するまで上記超音波モータを駆動させそれによって所定の把持力を得るようにしたことを特徴とする把持力制御方法。
- 請求項3記載の把持力制御方法において、
上記弾性部材が所定量だけ弾性変形した後上記超音波モータを停止させるようにしたことを特徴とする把持力制御方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013255958A (ja) * | 2012-06-12 | 2013-12-26 | Seiko Epson Corp | ロボットハンド、およびロボット |
JP2014528364A (ja) * | 2011-10-07 | 2014-10-27 | シュンク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディトゲゼルシャフト スパン−ウント グライフテクニック | 把持装置またはクランプ装置 |
JP2014528363A (ja) * | 2011-10-07 | 2014-10-27 | シュンク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディトゲゼルシャフト スパン−ウント グライフテクニック | 把持装置またはクランプ装置 |
JP2017087393A (ja) * | 2015-11-16 | 2017-05-25 | 株式会社デンソーウェーブ | 把持装置 |
KR102188322B1 (ko) * | 2019-10-31 | 2020-12-11 | 주식회사 나우테크닉스 | 로봇팔 그리퍼 |
JP7151166B2 (ja) | 2018-05-18 | 2022-10-12 | セイコーエプソン株式会社 | 把持装置およびロボット |
-
2006
- 2006-12-18 JP JP2006339283A patent/JP2008149402A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014528364A (ja) * | 2011-10-07 | 2014-10-27 | シュンク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディトゲゼルシャフト スパン−ウント グライフテクニック | 把持装置またはクランプ装置 |
JP2014528363A (ja) * | 2011-10-07 | 2014-10-27 | シュンク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディトゲゼルシャフト スパン−ウント グライフテクニック | 把持装置またはクランプ装置 |
US9296110B2 (en) | 2011-10-07 | 2016-03-29 | Schunk Gmbh & Co. Kg Spann- Und Greiftechnik | Gripping or clamping device |
JP2013255958A (ja) * | 2012-06-12 | 2013-12-26 | Seiko Epson Corp | ロボットハンド、およびロボット |
JP2017087393A (ja) * | 2015-11-16 | 2017-05-25 | 株式会社デンソーウェーブ | 把持装置 |
JP7151166B2 (ja) | 2018-05-18 | 2022-10-12 | セイコーエプソン株式会社 | 把持装置およびロボット |
KR102188322B1 (ko) * | 2019-10-31 | 2020-12-11 | 주식회사 나우테크닉스 | 로봇팔 그리퍼 |
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