JP2008142522A - 超音波デバイス - Google Patents

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Abstract

【課題】非圧電材料から作成され、かつ直接空気結合によって超音波をある領域に伝達することができる超音波デバイスを提供すること。
【解決手段】超音波デバイスが、第1柔軟層と、第2柔軟層と、 前記第1柔軟層と前記第2柔軟層の間の柔軟回路と、前記柔軟回路を介して加えられた電気エネルギーに応答して、前記第2柔軟層を経て超音波エネルギーを伝達するように構成された、前記柔軟回路に電気的に結合された前記第1柔軟層と前記第2柔軟層の間の容量性超音波変換器の少なくとも1つのアレイとを備えること、からなる。
【選択図】図3

Description

本発明は、一般的には、超音波の技術に関し、より具体的には、直接空気結合(direct air-coupling)によって超音波を試験媒体に伝達することができる超音波デバイスに関する。
フォノフォレシスは、超音波エネルギーまたは超音波が、局所的に加えられた医薬品または化粧品化合物が皮膚より下の組織の中に拡散するのを向上させるために使用されるプロセスである。D'Saらへの米国特許第6322532号は、経皮/経粘膜薬剤送達および/または体液監視の目的で、膜を通る物質の浸透性を向上させるデバイスを開示する。実際には、超音波ゲルの内部または超音波ゲルの下に包含された医薬品は、超音波によって押され、皮膚の下に深く駆動される。また、超音波は皮膚の組織を刺激し、マッサージ効果によって血液およびリンパ液の循環を促進することができる。Tagishiらへの米国特許第6090054号は、超音波皮膚洗浄および皮膚治療のための手持ち式超音波デバイスを開示する。超音波振動要素によって生成された超音波は、超音波デバイスのプローブを経て皮膚に加えられる。
一般的には、従来の超音波デバイスでは、圧電材料が、超音波化粧品デバイスの変換器など、超音波振動要素の製造に選択される。変換器は、電気エネルギーを超音波に変換するために圧電材料を使用する。その結果、変換器、ならびに皮膚に接触するプローブ・ヘッドの金属表面から生成された温度は、人の皮膚には高過ぎるレベルまで上昇する可能性がある。そのような温度の上昇は、変換器が長期間連続的に駆動されるとき、または超音波が皮膚の固定点に比較的長時間集中されるときに生じる。したがって、この種類の従来の超音波デバイスは、皮膚を焼けどさせる、またはそうでない場合は皮膚に悪影響を与える可能性がある。
さらに、従来の超音波デバイスでは、空気の音響インピーダンスと試験材料の音響インピーダンスの不整合が、超音波の伝播について多大な抵抗を生成する可能性がある。また空気によって超音波が極度に高度に減衰されるので、試験材料における超音波の伝達は、通常、液体またはゲル接触触媒を使用して変換器を試験材料に物理的に接触させる、または結合することによって行われることが可能である。しかし、液体またはゲル接触触媒の使用は望ましくないことがあるが、その理由は、試験されている材料を汚染する、またはそれに浸透し、それにより機械的な特性が低下する、または腐食する可能性があるからである。また、ある液体またはゲル接触触媒を皮膚領域の上に加えることにより、ある使用者にとっては不快感を生じ、またはさらに刺激を生じる可能性がある。
米国特許第6322532号 米国特許第6090054号 米国特許公報20040249285A1
上記の問題点を解決するため、本発明は、非圧電材料から作成され、かつ直接空気結合によって超音波をある領域に伝達することができる超音波デバイスを提供することを目的とする。
本発明によれば、接触パッチ、および接触パッチと電気連絡する制御モジュールを含む超音波デバイスが提供される。接触パッチは、基板、基板の上に配置された少なくとも1つの柔軟超音波変換器アレイ、柔軟超音波変換器アレイを隣接する柔軟超音波変換器アレイまたは制御モジュールに接続するために柔軟超音波変換器アレイに隣接して配置された少なくとも1つの回路、および柔軟超音波変換器アレイおよび回路を封入するために基板の上にわたって配置された封入層を含む。
また、前記接触パッチが、前記接触パッチを所望の領域に添付する固定手段をさらに備えることが好適である。
また、前記基板が、柔軟材料を備えることが好適である。
また、前記柔軟超音波変換器アレイが、柔軟容量性超音波変換器アレイを含むことが好適である。
また、前記封入層が、生体適合性材料を備えることが好適である。
また、前記1つの回路が、柔軟金属リードを備えることが好適である。
また、前記電子制御モジュールが、永続的な導電性ワイヤを介して前記接触パッチに結合されることが好適である。
また、前記電子制御モジュールが、前記接触パッチの上に配置されることが好適である。
また、前記電子制御モジュールが、取外し可能コネクタを介して前記接触パッチに結合されることが好適である。
また、前記接触パッチが、少なくとも1つの開口を提供することが好適である。
また、本発明によれば、マスク本体、およびマスク本体と電気連絡する電子制御モジュールを含む超音波デバイスが提供される。マスク本体は、裏当て層(backing layer)、裏当て層の上に配置された少なくとも1つの柔軟超音波変換器アレイ、柔軟超音波変換器アレイを隣接する柔軟超音波変換器アレイまたは電子制御モジュールに接続するために柔軟超音波変換器アレイに隣接して配置された少なくとも1つの柔軟回路、ならびに柔軟超音波変換器アレイおよび柔軟回路を封入するための裏当て層の上にわたって配置された封入層を含む。
また、前記マスク本体が、前記マスク本体を顔面マスクが必要な顔面領域に添付する固定手段をさらに備えることが好適である。
また、前記マスク本体が、少なくとも1つの開口を提供することが好適である。
また、前記裏当て層が、柔軟材料を備えることが好適である。
また、前記封入層が、生体適合性材料を備えることが好適である。
また、柔軟回路が、柔軟金属リードを備えることが好適である。
また、前記電子制御モジュールが、永続的な導電性ワイヤを介して前記マスク本体に結合されることが好適である。
また、前記電子制御モジュールが、前記マスク本体の上に配置されることが好適である。
また、前記電子制御モジュールが、取外し可能コネクタを介して前記マスク本体に結合されることが好適である。
さらに本発明によれば、第1柔軟層、第2柔軟層、第1柔軟層と第2柔軟層の間の柔軟回路、および柔軟回路に電気的に結合された第1柔軟層と第2柔軟層の間の容量性超音波変換器の少なくとも1つのアレイを含む超音波デバイスが提供される。容量性超音波変換器の少なくとも1つのアレイは、柔軟回路を介して加えられた電気エネルギーに応答して、第2柔軟層を経て超音波エネルギーを伝達することができる。
本発明の追加の目的および利点が、以下の記述において部分的に述べられ、一部には記述から明らかであり、または本発明を実施することによって習得されることが可能である。本発明の目的および利点は、添付の請求項において具体的に指摘される要素および組合せによって実現および達成される。
以上の全般的な記述および以下の詳細な記述は、主張されるように、単に例示および説明であり、本発明の限定ではないことを理解されたい。
以上の概述、ならびに以下の本発明の詳細な記述は、添付の図面と関連して読まれるとき、よりよく理解されるであろう。本発明を示すために、現在好ましい例が図面に示される。しかし、本発明は、図示された正確な構成および手段に限定されないことを理解されたい。
本発明の例は、非圧電材料から作成され、かつ直接空気結合によって超音波をある領域に伝達することができる超音波デバイスを提供することが可能である。具体的には、本発明の例は、適切な量の超音波を生成し、それを直接空気結合によってある領域に伝達する超音波デバイスを提供することが可能である。複数の柔軟超音波変換器が超音波デバイスにおいてアレイで配置されているので、空気結合によって伝達された超音波は、様々なフォノフォレシス効果を達成するように、領域を経てある深さに浸透する。すなわち、本発明の例はまた、柔軟超音波デバイスと接触している皮膚の浸透性を向上させることができる柔軟超音波デバイスを提供することも可能である。
本発明のいくつかの例によれば、超音波デバイスは、接触パッチ、および接触パッチと電気連絡する制御モジュールを含む。接触パッチは、基板、基板の上に配置された少なくとも1つの柔軟超音波変換器アレイ、柔軟超音波変換器アレイを隣接する柔軟超音波変換器アレイまたは制御モジュールに接続するような方式で柔軟超音波変換器アレイに隣接して配置された少なくとも1つの回路から組み立てられることが可能である。また、封入層が、柔軟超音波変換器アレイおよび回路を封入するために、基板の上にわたって配置されることが可能である。
本発明の一例では、基板は、超音波デバイスの接触パッチについて柔軟で生体適合性のベースを提供することが可能である。たとえば、基板は、不織の織物またはファブリックなどの不織材料、織られた織物またはファブリックなどの織り材料、およびシリコン・ゲル材料を含むが、これに限定されない生体適合性で柔軟な材料で作成されることが可能である。したがって、生体適合性で柔軟な材料から組み立てられる接触パッチは、生物学的組織と共に使用するのに安全であることが可能である。一例では、基板の柔軟材料は、超音波デバイスが使用されるとき、柔軟性を接触パッチに提供する。一方、基板は、ある応用分野には接触パッチの堅固なベースが望ましい場合、ポリカーボネートおよびテフロン(登録商標)を含むが、これに限定されない非柔軟材料で作成されることが可能である。
本発明の他の例によれば、いくつかの柔軟超音波変換器が、必要な領域において基板の上にアレイで提供および構成される。柔軟超音波変換器の一例を、本発明の発明者の1人であるDengらによって以前に出願された米国特許公報20040249285A1において見ることが可能である。柔軟超音波変換器は、延長されたベースの上において複数の超音波変換器要素を組み合わせることによって形成される。図1は、米国特許公報20040249285A1の図1の再現である。図1を参照すると、超音波変換器要素1のそれぞれは、膜20、第1電極31、および第2電極32を含むことが可能である。水平に延びる構造とすることが可能であるベース10は、上方側面11および下方側面12を有することが可能である。一例では、水平ベース10および横方向支持体構造14は、そのベース10の上方側面11の中に切り込まれた凹み13を有する単一本体として形成され、支持体14は、そのベース10の外縁の上に設定される。支持体14は、その上端部に上部側面15を有する。膜20は、外部(上部)側面21、および支持体14の上部側面15の上に配置される内部(底部)側面22を有する。第1電極31は、ベース10の上方側面11と下方側面12の間においてベース10の内部に挿入される。第2電極32は、膜20の外部側面21と内部側面22の間において膜20の内部に挿入される。図1に示された構成は、ある距離を第1電極31と第2電極32の間において提供することが可能であり、膜の大きな振動振幅を可能にするように、比較的厚い絶縁層を提供することが可能である。その結果、比較的大きな電気エネルギー量が、膜20を駆動し、かつ振動のための機械エネルギーに変換されるように、第1電極31と第2電極32の間に貯蔵されることが可能である。当業者なら、本発明は、図示された特定の例に限定されないことを理解するであろう。他の容量性超音波変換器が使用されることが可能である。
柔軟超音波変換器アレイは、超音波エネルギーを必要とする基板の領域において、物理的方法または化学的方法によって複数の柔軟超音波変換器から組み立てられることが可能である。基板の表面上において、柔軟超音波変換器アレイは、柔軟超音波変換器アレイに隣接してまたはその近傍に配置されることが可能である回路を介して、互いにおよび制御モジュールと結合される。柔軟超音波変換器アレイは、微細機械加工された柔軟で容量性の超音波変換器アレイ、または任意の柔軟で空気結合された超音波変換器アレイを含むことが可能である。次いで、封入層が、柔軟超音波変換器アレイおよび回路を封入するために、基板の上にわたって設置または配置されることが可能である。いくつかの例では、封入層は、パリレン、SU−8、および他のポリマー材料を含むが、これに限定されない生体適合性材料で作成されることが可能である。
一例では、柔軟超音波変換器アレイを互いにおよび制御モジュールと結合する回路は、金属リードまたはコネクタを含む柔軟回路とすることが可能である。柔軟回路は、ポリイミドおよびケプトンを含むが、これに限定されない材料から作成されることが可能である。回路はまた、柔軟性のないまたは柔軟性が限定される接触パッチを有する堅固なベースが必要とされる応用分野など、ある応用分野では、非柔軟材料から作成されることも可能である。柔軟回路は、コネクタを介して柔軟超音波変換器アレイを制御モジュールに結合することが可能である。本発明のいくつかの例において記述されるように、制御モジュールは、駆動電力およびスイッチ機能を超音波デバイスに提供するために、接触パッチに結合された電気デバイスとすることが可能である。例として、制御モジュールは、接触パッチに永続的に結合されることが可能である。他の例では、制御モジュールは、接触パッチおよび制御モジュールから分離することができる取外し可能コネクタを使用して、接触パッチに結合されることが可能である。取外し可能な設計は、超音波デバイスの実装および脱実装において柔軟性を提供することが可能である。
いくつかの他の例では、超音波デバイスはまた、接触パッチを物体または物体の所望の領域に添付する固定手段を含むことも可能である。固定手段は、固定手段が、接触パッチを適所において、かつ所望の領域に添付して維持するのを補助する限り、接触パッチの縁または中心部分に添付されることが可能である。代替として、固定手段は、必要時に接触パッチから分離されることが可能である取外し可能部分として作成されることが可能である。たとえば、固定手段は、接触パッチが様々な領域において超音波を提供するために頻繁に移動されるとき、または接触パッチが、延長領域を覆うために拡張されることが必要であるとき、接触パッチと関連付けられることはもはや必要としない。固定手段は、固定テープ、固定ストラップ、固定バンド、固定ベルト、および固定チェーンの少なくとも1つを含むことが可能である。
本発明の例によれば、超音波デバイスは、制御モジュール105を介して電源110によって給電されることが可能である。図2に示されたように、制御モジュール105は、バイアス・モジュール120および発振器モジュール130を含む。動作時、電源110は、電圧信号をバイアス・モジュール120および発振器モジュール130に提供する。バイアス・モジュール120は、バイアス制御回路121を含む。バイアス・モジュール120において、バイアス制御回路121によって受信された電圧信号は、超音波変換器140に出力される。発振器モジュール130は、振幅制御回路132に結合された発振回路131を含む。それにより、発振回路131によって受信された電圧信号は、振幅制御回路132に出力される。次いで、振幅制御回路132は、信号を超音波変換器140に出力する。したがって、バイアス・モジュール120および発振器モジュール130からの出力は、超音波を生成するために、超音波変換器140に供給される。
本発明の一例が、図3および4を参照して記述される。図3に示されたように、超音波デバイスは、超音波顔面マスク1として構成されることが可能である。超音波顔面マスクMは、マスク本体100、およびマスク本体100と電気連絡する電子制御モジュール105を含む。電子制御モジュール105は、電源110に接続されるために、プラグを含むことが可能である。図4を参照すると、マスク本体100は、柔軟裏当て層101から組み立てられることが可能である。柔軟超音波変換器アレイ102が、柔軟裏当て層101の上に配置されることが可能であり、柔軟回路103が、柔軟超音波変換器アレイ102を隣接する柔軟超音波変換器アレイ102に結合するために、柔軟超音波変換器アレイ102に隣接して配置されることが可能である。また封入層104が、柔軟超音波変換器アレイ102および柔軟回路103を封入するために、裏当て層101の上にわたって形成されることが可能である。マスク本体100は柔軟材料から組み立てられるので、そのように製作された超音波顔面マスクMは、使用者の顔の輪郭に一致することが可能である。図3を参照すると、1つまたは複数の開口106が、超音波顔面マスクMが装着されているとき、使用者が少なくとも1つの開口106を通して見る、呼吸する、飲む、またはさらに食べることを可能にするように、マスク本体100によって提供されることが可能である。他の例では、複数の開口106が、使用者の眼、鼻、および口に対応するマスク本体100の領域において提供されることが可能である。マスク本体100はまた、マスク本体100を使用者の所望の顔面領域に添付する固定ストラップ107をも有する。
動作時、使用者が自分の顔に超音波顔面マスクMを装着しているとき、マスク本体100に結合された制御モジュール105は、柔軟超音波変換器アレイ102を駆動するためにスイッチONされることが可能である。次いで、柔軟超音波変換器アレイ102は、約0.5から3MHzの周波数領域の超音波を生成する。具体的には、約0.1から0.5W/cmの電力を有するパルス波および約0.5から1.5W/cmの電力を有する連続波などの超音波が加えられることが可能である。したがって、柔軟超音波変換器アレイ102によって生成された超音波で、超音波顔面マスクMは、使用者の顔面の皮膚にマッサージを提供することが可能である。
本発明の他の例によれば、液体、コロイドまたはゲルの媒体が、超音波の伝達をさらに向上させるために、超音波顔面マスクを装着する前に、使用者の顔面に加えられることが可能である。したがって、本発明のある応用例では、超音波顔面マスクは、化粧品顔面マスクなど、他の化粧品製品または皮膚ケア品目と組み合わせて使用されることが可能である。化粧品製品は、使用者の顔面に一様に加えられる際、フォノフォレシスによる向上した皮膚の浸透性および吸収性のために、より容易に使用者の顔面皮膚に浸透することができる。
他の例では、超音波デバイスは、図5に示された超音波パッドPとして構成されることが可能である。超音波パッドPは、身体の疲労を軽減するために、四肢または身体の特有の部分など、人の身体上において使用されることが可能である。図5を参照すると、超音波パッドPは、接触パッチ200、および接触パッチ200と電気連絡する制御モジュール205を含む。制御モジュール205は、電源110に接続されるようにプラグを有することが可能である。接触パッチは、基板201、基板201の上に配置された少なくとも1つの柔軟超音波変換器アレイ202、柔軟超音波変換器アレイ202に隣接して配置された少なくとも1つの回路203から組み立てられることが可能である。また、封入層204が、柔軟超音波変換器アレイ202および回路203を封入するために、基板201の上にわたって形成される。接触パッチ200はまた、接触パッチ200を所望の身体領域に添付する固定ストラップ206をも有する。動作時、超音波変換器アレイ202は、使用者に対し所望のフォノフォレシスまたはマッサージの効果を達成することができる周波数の超音波を生成するように、制御モジュール205によって駆動されることが可能である。
本発明に適用可能な超音波デバイスは、上述された構成に限定されるものではない。超音波デバイスはまた、使用者の要求に応じて、カフス、バンド、フード、マスク、およびグローブを含むが、これに限定されない異なる形状、サイズ、または構成を有するように設計されることも可能である。したがって、本発明はまた、修正された構造を有する超音波デバイスを提供することも可能である。たとえば、デバイスは、第1柔軟層、第2柔軟層、第1柔軟層と第2柔軟層の間の柔軟回路、および柔軟回路に電気的に結合された第1柔軟層と第2柔軟層の間の容量性超音波変換器の1つまたは複数のアレイを含むことが可能である。容量性超音波変換器の1つまたは複数のアレイは、柔軟回路を介して加えられた電気エネルギーに応答して、第2柔軟層を経て超音波エネルギーを伝達することができるようにし得る。
提供された医療用および化粧用の利点を考慮すると、当業者なら、超音波伝達に関連する結果および利点を達成するために、超音波デバイスを組み込む、構築する、または現在利用可能な医療用機器、デバイスまたは器具に結合することが可能であることを理解されたい。たとえば、超音波デバイスによって提供される超音波はまた、身体の疲労または倦怠を軽減することを補助することが可能である。したがって、超音波デバイスは、マッサージ機械として設計され、他のデバイスと組み合わせて使用されることが可能である。
さらに、超音波デバイスによって提供される超音波伝達はまた、血液の循環を促進し、加温効果を提供する。したがって、超音波デバイスが、任意の箇所において有益な効果を提供するように、身体ウエアまたは身体キャリアの一部として埋め込まれる、または構築されることが可能であることが、本発明の範囲によって包含される。および本発明の超音波デバイスはまた、従来の超音波デバイスに関連する問題を有さずに、直接空気結合によって超音波を試験材料に伝達することを必要とする他の分野にも適用可能とし得る。
本発明の他の例が、本明細書において開示された本発明の仕様および実施を考慮することから、当業者には明らかになるであろう。仕様および例は、単に例示として考慮され、本発明の真の範囲および精神は、添付の請求項によって示されることを意図する。
当業者なら、広範な本発明の概念から逸脱せずに、上述された例に対して変更を行うことができることを理解するであろう。したがって、本発明は、開示された特定の例に限定されるのではなく、添付の請求項によって確定される本発明の精神および範囲内にある修正を網羅することを意図することを理解されたい。
米国特許公報20040249285A1に記述された超音波変換器要素の1つの概略的側面図である。 本発明の一例による、電源によって給電される制御モジュールを示すブロック図である。 本発明の一例による、マスク本体の背面図および超音波顔面マスクの透視図を示す概略図である。 図3に示されたマスク本体の断面図である。 本発明の他の例による、接触パッチの背面図および超音波パッドの透視図を示す概略図である。
符号の説明
10 ベース
11 上方側面
12 下方側面
13 凹み
14 横方向支持体構造
15 上部側面
20 膜
21 外部(上部)側面
22 内部(底部)側面
31 第1電極
32 第2電極
100 マスク本体
101 柔軟裏当て層
102 柔軟超音波変換器アレイ
103 柔軟回路
104 封入層
105 制御モジュール
106 開口
107 固定ストラップ
110 電源
120 バイアス・モジュール
121 バイアス制御回路
130 発振器モジュール
131 発振回路
132 振幅制御回路
140 超音波変換器
200 接触パッチ
201 基板
202 柔軟超音波変換器アレイ
203 回路
204 封入層
205 制御モジュール
206 固定ストラップ
M 超音波顔面マスク

Claims (20)

  1. マスク本体と、前記マスク本体と電気連絡する電子制御モジュールとを備えた超音波デバイスであって、前記マスク本体が、
    裏当て層と、
    前記裏当て層の上に配置された少なくとも1つの柔軟超音波変換器アレイと、
    前記柔軟超音波変換器アレイを隣接する柔軟超音波変換器アレイまたは電子制御モジュールに結合するために、前記柔軟超音波変換器アレイに隣接して配置された少なくとも1つの柔軟回路と、
    前記柔軟超音波変換器アレイおよび柔軟回路を封入するために、前記裏当て層の上にわたる封入層とを備えることを特徴とする超音波デバイス。
  2. 前記マスク本体が、前記マスク本体を顔面マスクが必要な顔面領域に添付する固定手段をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
  3. 前記マスク本体が、少なくとも1つの開口を提供することを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
  4. 前記裏当て層が、柔軟材料を備えることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
  5. 前記封入層が、生体適合性材料を備えることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
  6. 前記柔軟回路が、柔軟金属リードを備えることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
  7. 前記電子制御モジュールが、永続的な導電性ワイヤを介して前記マスク本体に結合されることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
  8. 前記電子制御モジュールが、前記マスク本体の上に配置されることを特徴とする請求項7に記載のデバイス。
  9. 前記電子制御モジュールが、取外し可能コネクタを介して前記マスク本体に結合されることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
  10. 接触パッチ、および前記接触パッチと電気連絡する制御モジュールを備える超音波デバイスであって、前記接触パッチが、
    基板と、
    前記基板の上に配置された少なくとも1つの柔軟超音波変換器アレイと、
    前記柔軟超音波変換器アレイを隣接する柔軟超音波変換器アレイまたは前記制御モジュールに結合するための前記柔軟超音波変換器アレイに隣接する少なくとも1つの回路と、
    前記柔軟超音波変換器アレイおよび前記回路を封入するための前記基板の上にわたる封入層とを備えることを特徴とするデバイス。
  11. 前記接触パッチが、前記接触パッチを所望の領域に添付する固定手段をさらに備えることを特徴とする請求項10に記載のデバイス。
  12. 前記基板が、柔軟材料を備えることを特徴とする請求項10に記載のデバイス。
  13. 前記柔軟超音波変換器アレイが、柔軟容量性超音波変換器アレイを含むことを特徴とする請求項10に記載のデバイス。
  14. 前記封入層が、生体適合性材料を備えることを特徴とする請求項10に記載のデバイス。
  15. 前記1つの回路が、柔軟金属リードを備えることを特徴とする請求項10に記載のデバイス。
  16. 前記電子制御モジュールが、永続的な導電性ワイヤを介して前記接触パッチに結合されることを特徴とする請求項10に記載のデバイス。
  17. 前記電子制御モジュールが、前記接触パッチの上に配置されることを特徴とする請求項16に記載のデバイス。
  18. 前記電子制御モジュールが、取外し可能コネクタを介して前記接触パッチに結合されることを特徴とする請求項10に記載のデバイス。
  19. 前記接触パッチが、少なくとも1つの開口を提供することを特徴とする請求項10に記載のデバイス。
  20. 第1柔軟層と、
    第2柔軟層と、
    前記第1柔軟層と前記第2柔軟層の間の柔軟回路と、
    前記柔軟回路を介して加えられた電気エネルギーに応答して、前記第2柔軟層を経て超音波エネルギーを伝達するように構成された、前記柔軟回路に電気的に結合された前記第1柔軟層と前記第2柔軟層の間の容量性超音波変換器の少なくとも1つのアレイとを備えることを特徴とする超音波デバイス。
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