JP2008138256A - 基板上の水平電気めっき電着方法及び水平無電めっき方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水平電気めっきの設備の一種で、その主要は一組みのめっき液当て板、一組の第一電極、一組のネット状、面状または針状第二電極、電極再生とめっき液回収システムを含む。基板が水平に定位に送り込まれた場合、前述めっき液緩流当て板と接触陰極をもって基板を挟み持って導電を行い、更にめっき液の注入を通じて上側の陽極と接触し、電気めっきの環境を形成して陰極側の基板の片面電気めっきを行い、または電着液の注入を通じて上側の陰極と接触し、電着の環境を形成して陽極側の基板の片面彩色フィルター顔料、染料または導電性フォトレジスト電着を行う。
【選択図】図3A
Description
複数枚のめっき液当て板を移動して基板の縁に貼り付け、これらめっき液当て板は基板の周辺を包囲して周辺が密封した周囲を形成する工程と、
第一電極を移動して基板の非布線エリアと接触させて導電させる工程と、
第二電極を基板と接触しないように基板の上に置き、その第二電極の極性は第一電極の極性と逆とする工程と、
電気めっき液をめっき液当て板から形成される周囲に注入し、基板上側の第二電極に接触させて電気めっきまたは電着を行う工程を含むことを特徴とする、
基板上の水平電気めっき電着方法であることを要旨としている。
複数枚の当て板を移動して基板の縁に貼り付け、これら当て板は基板の周辺を包囲して周辺が密封した周囲を形成する工程と、
活性化基板処理液を当て板から形成される周囲に注入し、基板の上側に接触させて基板の活性化処理を行う工程と、
無電めっき液を当て板から形成される周囲に注入し、基板の上側に接触させて無電めっきを行う工程と、を含むことを特徴とする、
基板上の水平無電めっき方法であることを要旨としている。
本発明の基板の水平金属薄膜、導電材料の沈積構造は図3AからCに示す如く、並びに図9のフローダイアグラムを参照し、それの順序は先ず伝動ローラまたは機械アーム(図面には示されていない)をもって基板301(本実施例に於いてそれはガラス基板である)を基板支えシステム302に送り込んで定位を行う。本実施例に於いて、その基板支えシステム302は複数個のローラである(順序10)。
302 基板支えシステム 308 第二電極
303 回収システム 401 めっき液当て板
304 第二電極 402 電極
305 電気めっき液 501 基板
306 めっき液緩流当て板 502 ローラ
Claims (25)
- 基板を基板支えシステムに送り込んで定位を行い、その基板を水平に近い方向で配置する工程と、
複数枚のめっき液当て板を移動して基板の縁に貼り付け、これらめっき液当て板は基板の周辺を包囲して周辺が密封した周囲を形成する工程と、
第一電極を移動して基板の非布線エリアと接触させて導電させる工程と、
第二電極を基板と接触しないように基板の上に置き、その第二電極の極性は第一電極の極性と逆とする工程と、
電気めっき液をめっき液当て板から形成される周囲に注入し、基板上側の第二電極に接触させて電気めっきまたは電着を行う工程を含むことを特徴とする、
基板上の水平電気めっき電着方法。 - 前記電気めっき液は、緩やかに流れる方式をもってめっき液当て板から形成される周囲に注入され、当該電気めっき液は緩やかに注入しながら、緩やかにその周囲から流れ出ることによって、電気めっき液に攪拌の作用を形成し、それによって電解イオンは基板上で均一にめっきする工程を更に含むことを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 前記電気めっき液の流失分を、下側の電気めっき液回収システムを通じて回収し、濾過、添加と濃度調整を経て再利用されることを特徴とする、請求項2に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 前記基板支えシステムは複数個のローラまたは平台であることを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 前記第二電極はシート状の電極であり、水平に現れて基板の上側に置かれることを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 前記基板はシリコンウェーハ基板、ガラス基板、金属基板、プラスチック基板、または彩色フィルターまたは導電性フォートレジスト基板のうちいずれか一種であることを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 前記基板の上は塗布、無電めっき、スパッター等方式をもって導電薄膜を沈積させることを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 前記第二電極はシート状、ネット状、または針状の電極であることを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- その第二電極は基板の上側に置かれ、相対間隔は歩調を合わせて調整できることを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 前記彩色フィルターまたは導電性フォートレジスト基板が電着される場合、基板上側の第二電極は不溶性陰極であることを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 金属電気めっきの場合、第二電極は電気めっき反応を参与しない不溶性電極、または電気めっきしたい金属材料から形成される可溶性陽極であることを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 前記第二電極は移動可能のものであることを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 前記第一電極及び第二電極は半透膜材料によって電気めっき液を包んで形成された電極であることを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 前記基板の上に先ず一層の導電薄膜を覆い被せて図案を定義し、それから電気めっきすることを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 前記電気めっき電着材料は銅、銀、アルミ、金属、導電顔料、染料、導電ゴムを含むことを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 前記めっき液当て板は長方体または円柱体を含むことを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 前記基板支えシステムには傾斜機構があってめっき液の流れ分布の均一性を調節することを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 更に電気めっき電着液のパラメータによってシステムを制御し、pH、温度とサイクル・ボルタンメトリーの分析、粒径分布の分析、静電気量の分布、導電性を行い、即時電気めっきの状況を反応することを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 前記第一電極は水平方式をもってめっき液当て板の下側に配置され、基板と互いに接触することを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 伝動ローラまたは機械アームをもって基板を基板支えシステムに送り込んで定位を行うことを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 各組立て品は同調して移動できることを特徴とする、請求項1に記載の基板上の水平電気めっき電着方法。
- 伝動ローラまたは機械アームをもって基板を基板支えシステムに送り込んで定位を行い、その基板を水平に近い方向で配置する工程と、
複数枚の当て板を移動して基板の縁に貼り付け、これら当て板は基板の周辺を包囲して周辺が密封した周囲を形成する工程と、
活性化基板処理液を当て板から形成される周囲に注入し、基板の上側に接触させて基板の活性化処理を行う工程と、
無電めっき液を当て板から形成される周囲に注入し、基板の上側に接触させて無電めっきを行う工程と、を含むことを特徴とする、
基板上の水平無電めっき方法。 - 活性化基板処理液及び無電めっき液は緩やかに流れる方式をもって当て板から形成される周囲に注入し、活性化基板処理液及び無電めっき液は緩やかに注入されながら、緩やかにその周囲から流れ出し、攪拌作用を形成して均一に基板を活性化させ、または均一にめっき膜を沈積させるように作用する工程を更に含むことを特徴とする、請求項22に記載の基板上の水平無電めっき方法。
- 活性化基板処理液及び無電めっき液の流失は下側の回収システムを通じて回収を行い、濾過、添加と濃度調整を経た後、温度制御及びpH制御を行って再利用されることを特徴とする、請求項22に記載の基板上の水平無電めっき方法。
- 各組立て品は同調して移動できることを特徴とする、請求項22に記載の基板上の水平無電めっき方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105271807A (zh) * | 2015-04-02 | 2016-01-27 | 常州雅谱智能变色光学器件有限公司 | 一种用于生产镀ec膜ito玻璃的镀膜模板及方法 |
KR20180000133A (ko) * | 2016-06-22 | 2018-01-02 | (주)포인텍 | 애노드 이동형 수평도금장치 |
JP2022517051A (ja) * | 2019-12-20 | 2022-03-04 | トーレ・アドバンスド・マテリアルズ・コリア・インコーポレーテッド | 軟性銅箔積層フィルム、それを含む電子素子、及び該軟性銅箔積層フィルムの製造方法 |
CN115110138A (zh) * | 2022-06-29 | 2022-09-27 | 济南大学 | 一种碲化镉薄膜太阳能电池基片的连续电镀流水线 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10317156A (ja) * | 1997-05-13 | 1998-12-02 | Osaka Gas Co Ltd | 平板状被めっき材料のめっき方法 |
JP2004115885A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Tokyo Electron Ltd | 無電解メッキ方法 |
JP2005105320A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Honda Motor Co Ltd | メッキ装置及びメッキ処理方法 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10317156A (ja) * | 1997-05-13 | 1998-12-02 | Osaka Gas Co Ltd | 平板状被めっき材料のめっき方法 |
JP2004115885A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Tokyo Electron Ltd | 無電解メッキ方法 |
JP2005105320A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Honda Motor Co Ltd | メッキ装置及びメッキ処理方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105271807A (zh) * | 2015-04-02 | 2016-01-27 | 常州雅谱智能变色光学器件有限公司 | 一种用于生产镀ec膜ito玻璃的镀膜模板及方法 |
KR20180000133A (ko) * | 2016-06-22 | 2018-01-02 | (주)포인텍 | 애노드 이동형 수평도금장치 |
KR101880599B1 (ko) * | 2016-06-22 | 2018-07-23 | (주)포인텍 | 애노드 이동형 수평도금장치 |
JP2022517051A (ja) * | 2019-12-20 | 2022-03-04 | トーレ・アドバンスド・マテリアルズ・コリア・インコーポレーテッド | 軟性銅箔積層フィルム、それを含む電子素子、及び該軟性銅箔積層フィルムの製造方法 |
JP7208352B2 (ja) | 2019-12-20 | 2023-01-18 | トーレ・アドバンスド・マテリアルズ・コリア・インコーポレーテッド | 軟性銅箔積層フィルム、それを含む電子素子、及び該軟性銅箔積層フィルムの製造方法 |
CN115110138A (zh) * | 2022-06-29 | 2022-09-27 | 济南大学 | 一种碲化镉薄膜太阳能电池基片的连续电镀流水线 |
CN115110138B (zh) * | 2022-06-29 | 2023-05-26 | 济南大学 | 一种碲化镉薄膜太阳能电池基片的连续电镀流水线 |
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