JP2008134197A - Panel edge part inspection device - Google Patents
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本発明は、ラインセンサーで検査対象パネルのエッジ部の画像を取り込んで欠陥を検出するパネルエッジ部検査装置に関する。 The present invention relates to a panel edge portion inspection apparatus for detecting defects by capturing an image of an edge portion of a panel to be inspected with a line sensor.
LCD等の表示パネルにおいては、電極の位置するエッジ部分の表裏面に欠陥がないか否かを検査する必要がある。この表裏面の欠陥を検出するパネルエッジ部検査装置は一般に知られている。このパネルエッジ部検査装置の一例を図2に示す。 In a display panel such as an LCD, it is necessary to inspect whether there are defects on the front and back surfaces of the edge portion where the electrode is located. A panel edge inspection apparatus for detecting defects on the front and back surfaces is generally known. An example of this panel edge inspection apparatus is shown in FIG.
パネルエッジ部検査装置1は、コンベア2と、上側ラインセンサー3と、上側画像処理装置4と、下側ラインセンサー5と、下側画像処理装置6と、エッジ照明7とから構成されている。 The panel edge inspection apparatus 1 includes a conveyor 2, an upper line sensor 3, an upper image processing device 4, a lower line sensor 5, a lower image processing device 6, and an edge illumination 7.
コンベア2は、検査対象パネルとしての液晶パネル8を搬送する装置である。上側ラインセンサー3は、コンベア2で搬送される液晶パネル8の上側面の画像を撮影するための装置である。上側画像処理装置4は、上側ラインセンサー3で撮影した画像情報を処理して不良部分を検出するための装置である。下側ラインセンサー5は、コンベア2で搬送される液晶パネル8の下側面の画像を撮影するための装置である。下側画像処理装置6は、下側ラインセンサー5で撮影した画像を処理して不良部分を検出するための装置である。エッジ照明7は、上側ラインセンサー3及び下側ラインセンサー5で撮影する液晶パネル8の部分を照明するための照明機器である。
The conveyor 2 is a device that conveys a
このパネルエッジ部検査装置1によって、液晶パネル8の表裏面が同時に撮影されて、上側画像処理装置4及び下側画像処理装置6で画像処理され、不良部分等が検出される。
By this panel edge portion inspection device 1, the front and back surfaces of the
しかし、前記パネルエッジ部検査装置1では、液晶パネル8の表面の検査系と、裏面の検査系の2系統になるため、部品点数及び部品コストが増大する。
However, since the panel edge portion inspection apparatus 1 has two systems, that is, the front surface inspection system and the back surface inspection system of the
このため、ミラーを用いて、検査対象物の2つの面を同時に撮影する技術が特許文献1に提案されている。この特許文献1の撮像装置は、読み取り対象物の底面と側面の像をミラーでそれぞれ反射させ、ハーフミラーで合成して1つの撮像系で撮像する。
ところで、前記撮像装置では、小型の電子部品に対しては適用することができるが、液晶パネル等の大型の部品に対しては適用することができない。大型の液晶パネル等の底面や側面を1つのミラーで映すには、大型のミラーが必要になり、そのような大型の像を1つの撮像系に集光させて撮像するのは容易でない。 By the way, the imaging apparatus can be applied to a small electronic component, but cannot be applied to a large component such as a liquid crystal panel. In order to project the bottom and side surfaces of a large liquid crystal panel or the like with a single mirror, a large mirror is required, and it is not easy to collect such a large image on one imaging system.
本発明は、上述した課題を解決するためになされたもので、検査対象パネルの表面の画像を取り込むラインセンサーと、当該ラインセンサーと相対位置がずれないように取り付けられ前記検査対象パネルのエッジ部の裏面の画像を前記ラインセンサー側へ反射させて当該エッジ部の表裏面を並べて表示させる反射手段と、前記ラインセンサー及び前記反射手段と前記検査対象パネルとを相対的に移動させる相対移動手段とを備えたことを特徴とする。 The present invention has been made to solve the above-described problem, and is a line sensor that captures an image of the surface of the inspection target panel, and an edge portion of the inspection target panel that is attached so as not to shift relative position to the line sensor. Reflecting means for reflecting the image of the back surface to the line sensor side and displaying the front and back surfaces of the edge portion side by side, and relative moving means for relatively moving the line sensor, the reflecting means, and the inspection object panel; It is provided with.
前記構成により、前記ラインセンサーで、前記検査対象パネルの表面の画像と、前記反射手段の画像とを取り込む。この状態で、相対移動手段によって前記ラインセンサー及び前記反射手段と前記検査対象パネルとを相対的に移動させて、前記検査対象パネルの表面の画像と裏面の画像とを並べて同時に撮影して、両面を同時に検査する。 With the above configuration, the line sensor captures an image of the surface of the panel to be inspected and an image of the reflecting means. In this state, the line sensor, the reflecting means, and the inspection target panel are relatively moved by relative movement means, and the front surface image and the back surface image of the inspection target panel are photographed side by side, Inspect at the same time.
このパネルエッジ部検査装置においては、前記検査対象パネルのエッジ部を照明するエッジ光源を備えることが望ましい。前記反射手段は、コーナーキューブプリズム又はコーナーキューブリフレクターであることが望ましい。 In this panel edge part inspection apparatus, it is desirable to provide an edge light source for illuminating the edge part of the inspection object panel. The reflecting means is preferably a corner cube prism or a corner cube reflector.
また、前記ラインセンサーは、検査対象パネルの表面の全幅の画像を取り込み、前記反射手段は、検査対象パネルの両側にそれぞれ設けるようにしてもよい。 The line sensor may capture an image of the entire width of the surface of the inspection target panel, and the reflection means may be provided on both sides of the inspection target panel.
また、前記相対移動手段による、前記ラインセンサー及び前記反射手段と前記検査対象パネルとの相対移動量又は距離を正確に検出して、前記検査対象パネルの不良箇所を特定する制御部を備えることが望ましい。 And a controller that accurately detects a relative movement amount or distance between the line sensor, the reflection unit, and the inspection target panel by the relative movement unit, and identifies a defective portion of the inspection target panel. desirable.
また、パネルエッジ部検査方法は、検査対象パネルの表面の画像を取り込むラインセンサーと、前記検査対象パネルの裏面を前記ラインセンサー側へ反射させる反射手段と、前記ラインセンサー及び前記反射手段と前記検査対象パネルとを相対的に移動させる相対移動手段とを備え、前記ラインセンサーで、前記検査対象パネルの表面のエッジ部の画像と、前記検査対象パネルのエッジ部に位置する前記反射手段による当該エッジ部の裏面の画像とを並べて同時に撮影して検査を行うことを特徴とする。 The panel edge portion inspection method includes a line sensor that captures an image of the surface of the inspection target panel, a reflection unit that reflects a back surface of the inspection target panel toward the line sensor, the line sensor, the reflection unit, and the inspection. An image of an edge portion of the surface of the inspection object panel and the edge by the reflection means located at the edge portion of the inspection object panel. It is characterized in that the inspection is performed by simultaneously photographing the images on the back side of the part and photographing them.
前記構成により、前記ラインセンサーで、前記検査対象パネルの表面の両側のエッジ部の画像と、前記検査対象パネルの両側のエッジ部に位置する前記反射手段による当該両側のエッジ部の裏面の画像とをそれぞれ並べて同時に撮影して検査する。 With the above configuration, the line sensor is configured so that the image of the edge part on both sides of the surface of the inspection object panel and the image of the back surface of the edge part on both sides by the reflecting means located on the edge part on both sides of the inspection object panel are obtained. Are inspected at the same time.
前記相対移動手段による、前記ラインセンサー及び前記反射手段と前記検査対象パネルとの相対移動量又は距離を正確に検出して、前記検査対象パネルの不良箇所を特定することが望ましい。 It is desirable to accurately detect a relative movement amount or distance between the line sensor, the reflection unit, and the inspection target panel by the relative movement unit to identify a defective portion of the inspection target panel.
1つのラインセンサーで、前記検査対象パネルの表面の画像と裏面の画像とを並べて同時に撮影するため、1系統だけの検査装置で済み、1回の画像読み込みと1回の処理で検査が可能になる。 Since the image on the front surface and the image on the back surface of the panel to be inspected are arranged side by side with a single line sensor, only one system of inspection device is required, and inspection can be performed with one image reading and one processing. Become.
以下、本発明の実施形態に係る検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
本実施形態に係るパネルエッジ部検査装置11は図1、3に示すように、ラインセンサー12と、画像処理装置13と、反射手段14と、相対移動手段15と、エッジ照明16とから構成されている。
As shown in FIGS. 1 and 3, the panel edge
ラインセンサー12は、検査対象パネル17の表面の画像を取り込むためのカメラである。このラインセンサー12は、パネルエッジ部検査装置11のフレーム側に固定されている。これによりラインセンサー12は、検査対象パネル17の上方であって、エッジ部に面する位置に設けられている。ラインセンサー12は、検査対象パネル17のエッジ部をその全長に亘って撮影する。即ち、相対移動手段15で検査対象パネル17が搬送される際に、ラインセンサー12の撮影領域に、検査対象パネル17のエッジ部の先端部分が入って後端部分が出るまでの間、ラインセンサー12が当該検査対象パネル17のエッジ部の一端から他端まで、その全長に亘って撮影する。
The
画像処理装置13は、ラインセンサー12で撮影した画像データを取り込んで画像処理を行い、検査対象パネル17のカケやキズ等の不良箇所を検出する。さらに、画像処理装置13は、装置全体を制御する制御装置としての機能も備えている。
The
反射手段14は、ラインセンサー12と相対位置がずれないように取り付けられて前記検査対象パネル17の裏面を前記ラインセンサー側へ反射させるための部材である。この反射手段14はパネルエッジ部検査装置11のフレーム側に固定されて、同様に前記フレーム側に固定されたラインセンサー12との相対位置が固定されている。反射手段14としては、コーナーキューブプリズム又はコーナーキューブリフレクター等を用いることができる。また、平板状の反射ミラーを1枚又は2枚用いてもよい。1枚の反射ミラーの場合は、ラインセンサー12に検査対象パネル17の裏面を、斜めから見た画像として映し出す。2枚の反射ミラーの場合は、コーナーキューブプリズムと同様に、ラインセンサー12に検査対象パネル17の裏面を真下から見た画像として映し出す。
The reflection means 14 is a member that is attached so as not to be displaced relative to the
この反射手段14によって、検査対象パネル17のエッジ部の外側に、あたかも、もう一枚の検査対象パネル17があるかのように、検査対象パネル17の裏面の画像を反射さて、表面の画像と並べて表示させる。
By this reflection means 14, the image on the back surface of the
相対移動手段15は、ラインセンサー12及び反射手段14と、検査対象パネル17とを相対的に移動させるための手段である。ここでは、相対移動手段15は、ローラーコンベアで構成されている。この相対移動手段15によって検査対象パネル17が移動されることで、この検査対象パネル17と、前記ラインセンサー12及び反射手段14とが互いに相対的に移動させることになる。前記ローラーコンベアの駆動モータ(図示せず)は、ステッピングモータ等によって構成されて、その回転量を正確に制御できるようになっている。これにより、検査対象パネル17の移動量を正確に制御できるようになっている。
The relative movement means 15 is a means for relatively moving the
パネルエッジ部検査装置11内の前記相対移動手段15の側部のうち、前記反射手段14に面する位置には、検査対象パネル17のエッジ部を照明するエッジ照明16が設けられている。このエッジ照明16は、検査対象パネル17側部からエッジ部の上下両側面を照明する。
An
さらに、パネルエッジ部検査装置11は、検査対象パネル17の前記不良箇所を特定するための制御部を備えている。この制御部は独立した装置として構成しても良いが、ここでは、画像処理装置13にその機能を持たせている。画像処理装置13の制御機能により、相対移動手段15による、前記ラインセンサー12及び反射手段14と、前記検査対象パネル17との相対移動量又は距離を正確に検出して、検査対象パネル17の不良箇所を特定する。なお、この不良箇所の特定方法としては、相対移動手段15による検査対象パネル17の移動量から検出する場合以外に、ラインセンサー12による検査対象パネル17の画像から、画像処理装置13での画像処理によって不良箇所を特定するようにしてもよい。
Further, the panel
[パネルエッジ部検査方法]
次に、前記構成のパネルエッジ部検査装置11を用いたパネルエッジ部検査方法について説明する。
[Panel edge inspection method]
Next, a panel edge portion inspection method using the panel edge
検査対象パネル17は相対移動手段15に載置されて、ラインセンサー12の下側を搬送される。
The
このとき、エッジ照明16が検査対象パネル17の側部を照明して、この検査対象パネル17のエッジ部の上下両側面を照明する。
At this time, the
反射手段14は、相対移動手段15上を移動する検査対象パネル17のエッジ部の下側面の映像を、エッジ部の上側面と並べた状態で映し出す。
The reflecting means 14 displays an image of the lower side surface of the edge portion of the
ラインセンサー12は、この検査対象パネル17のエッジ部の上側面と、その横に並べて映し出された下側面とを同時に撮影してその画像情報を画像処理装置13に送信する。ラインセンサー12による撮影は、相対移動手段15で搬送される検査対象パネル17の先頭部分がラインセンサー12の撮影領域に入ったときから、後端部分が当該撮影領域から出るまで継続して、検査対象パネル17のエッジ部の全領域を撮影する。
The
撮影が終了した検査対象パネル17は、相対移動手段15によってそのまま搬送されて、次の検査対象パネル17がラインセンサー12の下部に移動される。
The
画像処理装置13は、前記画像情報を処理して、例えば図4に示すように、欠陥部分を検出する。そして、欠陥部分を検出した場合は、検査対象パネル17の前記先頭部分等に基準位置からこの欠陥部分まで、相対移動手段15で検査対象パネル17を移動させた量(ラインセンサー12及び反射手段14と検査対象パネル17との相対移動量)を正確に検出して、検査対象パネル17における前記欠陥部分の位置を特定する。なお、基準位置から欠陥部分までの距離を画像処理により特定するようにしてもよい。このようにして検出した欠陥部分は、その欠陥があった検査対象パネル17と関連付けて記録される。
The
検査対象パネル17は、相対移動手段15によって次々にラインセンサー12の下部に搬送されてそのエッジ部が撮影され、その画像情報が画像処理装置13に次々に送信される。画像処理装置13では、前述のようにして、欠陥の有無が検出され、欠陥部分が検出されたときは、その欠陥があった検査対象パネル17と関連付けて記録される。
The
[効果]
以上のように、1つのラインセンサー12で、検査対象パネル17の表面の画像と裏面の画像とを並べて同時に撮影するため、1系統だけの検査装置で済み、1系統における1回の画像読み込みと1回の処理で検査が可能になる。この結果、処理系の負担を軽減することができる。
[effect]
As described above, since the image on the front surface and the image on the back surface of the
パネルエッジ部検査装置11を、ラインセンサー12と画像処理装置13の1系統の検査系だけで検査が可能となるため、構成が容易になって装置の小型化を図ることができると共に、装置の部品低減及びコスト低減を図ることができる。
Since the panel
検査対象パネル17の裏面側が反射手段14だけとなり、ラインセンサー12等の設置スペースが不要となって、装置の小型化、設計の自由度の向上を図ることができる。
The back side of the panel to be inspected 17 is only the reflecting means 14, so that no installation space for the
[変形例]
前記実施形態では、検査対象パネル17の一側のエッジ部だけを検査する構成にしたが、図5に示すように、検査対象パネル17の両側のエッジ部を同時に検査するようにしてもよい。
[Modification]
In the embodiment, the configuration is such that only the edge portion on one side of the
図5のパネルエッジ部検査装置21では、ラインセンサー22が検査対象パネル27の中央位置に上方に配設されて、検査対象パネル27の表面の全幅の画像を取り込むようになっている。このラインセンサー22で撮影された画像は、図4の表裏面の境界が2箇所表示されることになる。
In the panel edge
画像処理装置23は、画像処理によって2つの境界線の部分での欠陥の有無を検出する。
The
反射手段24は、検査対象パネル27の両側にそれぞれ設けられ、その反射方向がラインセンサー22へ向くように傾斜させて設けられている。
The reflection means 24 is provided on both sides of the
検査対象パネル27の両側には、検査対象パネル27のエッジ部を照明するエッジ照明26がそれぞれ設けられる。
On both sides of the
この構成により、ラインセンサー22で、検査対象パネル27の表面の両側のエッジ部の画像と、検査対象パネル27の両側のエッジ部に位置する反射手段24による当該両側のエッジ部の裏面の画像とを同時に撮影して検査を行う。
With this configuration, with the
これにより、4つの面(検査対象パネル27の両側のエッジ部の表面及び裏面)を同時に検査することができる。この結果、1系統における1回の画像読み込みと1回の処理で検査が可能になって、処理系の負担をさらに軽減することができる。 Thereby, four surfaces (the front and back surfaces of the edge portions on both sides of the inspection object panel 27) can be inspected simultaneously. As a result, inspection can be performed by one image reading and one process in one system, and the burden on the processing system can be further reduced.
前記実施形態では、相対移動手段15によって検査対象パネル17を移動させて検査を行ったが、検査対象パネル17を固定して、ラインセンサー12と反射手段14を移動させるようにしてもよい。
In the above-described embodiment, the
この場合も、前記同様の作用、効果を奏することができる。 Also in this case, the same operations and effects as described above can be achieved.
11:パネルエッジ部検査装置、12:ラインセンサー、13:画像処理装置、14:反射手段、15:相対移動手段、16:エッジ照明、17:検査対象パネル。 11: Panel edge portion inspection device, 12: Line sensor, 13: Image processing device, 14: Reflecting means, 15: Relative moving means, 16: Edge illumination, 17: Panel to be inspected
Claims (8)
当該ラインセンサーと相対位置がずれないように取り付けられ前記検査対象パネルのエッジ部の裏面の画像を前記ラインセンサー側へ反射させて当該エッジ部の表裏面を並べて表示させる反射手段と、
前記ラインセンサー及び前記反射手段と前記検査対象パネルとを相対的に移動させる相対移動手段とを備えたことを特徴とするパネルエッジ部検査装置。 A line sensor that captures an image of the surface of the panel to be inspected;
Reflecting means for reflecting the image of the back surface of the edge portion of the panel to be inspected and reflecting the image to the line sensor side and displaying the front and back surfaces of the edge portion side by side, so that the relative position with the line sensor is not shifted,
A panel edge portion inspection apparatus, comprising: a relative movement means for relatively moving the line sensor, the reflection means, and the inspection object panel.
前記検査対象パネルのエッジ部を照明するエッジ光源を備えたことを特徴とするパネルエッジ部検査装置。 In the panel edge part inspection apparatus according to claim 1,
A panel edge portion inspection apparatus comprising an edge light source that illuminates an edge portion of the panel to be inspected.
前記反射手段が、コーナーキューブプリズム又はコーナーキューブリフレクターであることを特徴とするパネルエッジ部検査装置。 In the panel edge part inspection apparatus according to claim 1 or 2,
The panel edge portion inspection apparatus, wherein the reflecting means is a corner cube prism or a corner cube reflector.
前記ラインセンサーが、検査対象パネルの表面の全幅の画像を取り込み、
前記反射手段が、検査対象パネルの両側にそれぞれ設けられたことを特徴とするパネルエッジ部検査装置。 In the panel edge part inspection device according to any one of claims 1 to 3,
The line sensor captures an image of the entire width of the surface of the panel to be inspected,
A panel edge portion inspection apparatus, wherein the reflection means is provided on both sides of a panel to be inspected.
前記相対移動手段による、前記ラインセンサー及び前記反射手段と前記検査対象パネルとの相対移動量又は距離を正確に検出して、前記検査対象パネルの不良箇所を特定する制御部を備えたことを特徴とするパネルエッジ部検査装置。 In the panel edge part inspection device according to any one of claims 1 to 4,
A control unit is provided that accurately detects a relative movement amount or distance between the line sensor, the reflection unit, and the inspection target panel by the relative movement unit, and identifies a defective portion of the inspection target panel. Panel edge inspection equipment.
前記ラインセンサーで、前記検査対象パネルの表面のエッジ部の画像と、前記検査対象パネルのエッジ部に位置する前記反射手段による当該エッジ部の裏面の画像とを並べて同時に撮影して検査を行うことを特徴とするパネルエッジ部検査方法。 A line sensor that captures an image of the front surface of the inspection target panel, a reflection unit that reflects the back surface of the inspection target panel toward the line sensor side, and the line sensor, the reflection unit, and the inspection target panel are relatively moved. Relative movement means,
The line sensor performs an inspection by simultaneously photographing an image of an edge portion on the surface of the panel to be inspected and an image of the back surface of the edge portion by the reflecting means located on the edge portion of the panel to be inspected. A panel edge inspection method characterized by the above.
前記ラインセンサーで、前記検査対象パネルの表面の両側のエッジ部の画像と、前記検査対象パネルの両側のエッジ部に位置する前記反射手段による当該両側のエッジ部の裏面の画像とをそれぞれ並べて同時に撮影して検査を行うことを特徴とするパネルエッジ部検査方法。 In the panel edge part inspection method according to claim 6,
In the line sensor, the images of the edge portions on both sides of the surface of the panel to be inspected and the images of the back surfaces of the edge portions on both sides by the reflecting means located on the edge portions on both sides of the panel to be inspected are simultaneously arranged. A panel edge portion inspection method, wherein the inspection is performed by photographing.
前記相対移動手段による、前記ラインセンサー及び前記反射手段と前記検査対象パネルとの相対移動量又は距離を正確に検出して、前記検査対象パネルの不良箇所を特定することを特徴とするパネルエッジ部検査方法。 In the panel edge part inspection method according to claim 6 or 7,
A panel edge portion characterized by accurately detecting a relative movement amount or distance between the line sensor, the reflection means, and the inspection object panel by the relative movement means, and specifying a defective portion of the inspection object panel. Inspection method.
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