JP2008134131A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008134131A JP2008134131A JP2006319973A JP2006319973A JP2008134131A JP 2008134131 A JP2008134131 A JP 2008134131A JP 2006319973 A JP2006319973 A JP 2006319973A JP 2006319973 A JP2006319973 A JP 2006319973A JP 2008134131 A JP2008134131 A JP 2008134131A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide rail
- positioning device
- stator
- vertical direction
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】ビームの自重による撓みを、コア付きリニアモータに発生する吸引力で抑制し得る構成を採用し、ビーム形状の小型化や単純形状化を図り、コストを抑えた位置決め装置を提供する。
【解決手段】ガイドレール8と、該ガイドレールに沿って移動可能なスライダ9とで構成される一対の直動案内装置Gと、上面にガイドレールを平行に延設した固定部Aと、固定部の上面と上下方向で対向する面部所定位置にスライダを備えた移動部Bと、固定子10と可動子11で構成される平行な一対のコア付きリニアモータMを備え、移動部が、可動子に跨って掛け渡されるビーム14を有する門型形状である位置決め装置において、リニアモータは、ガイドレールを延設した固定部の上面に上向きで固定子が備えられるとともに、スライダを備えた移動部の面部に下向きで可動子が備えられ、直動案内装置とオフセットして配置されている。
【選択図】図3
【解決手段】ガイドレール8と、該ガイドレールに沿って移動可能なスライダ9とで構成される一対の直動案内装置Gと、上面にガイドレールを平行に延設した固定部Aと、固定部の上面と上下方向で対向する面部所定位置にスライダを備えた移動部Bと、固定子10と可動子11で構成される平行な一対のコア付きリニアモータMを備え、移動部が、可動子に跨って掛け渡されるビーム14を有する門型形状である位置決め装置において、リニアモータは、ガイドレールを延設した固定部の上面に上向きで固定子が備えられるとともに、スライダを備えた移動部の面部に下向きで可動子が備えられ、直動案内装置とオフセットして配置されている。
【選択図】図3
Description
本発明は、位置決め装置、特に、吸引力の大きいコア付きリニアモータを備えてなるガントリ型の位置決め装置に関する。
半導体ウエハや液晶パネルなどを製造する場合において、微細パターンを露光形成したり検査等を行ったりするために、被測定物やワークが載置された固定部である基台(定盤)上を、計測器や工具(搭載物)を搭載した移動部であるテーブルが直線移動する位置決め装置が知られている。
特に、基台上に所定間隔をあけて並設した一対の案内装置と、該一対の案内装置に跨って配設されるビーム(梁)を含み、門型形状に構成されたガントリ(移動部)とを有し、そのガントリが、基台上に載置された被測定物やワークを跨いで移動する形式のものをガントリ形の位置決め装置と呼んでいる。このようなガントリ形の位置決め装置の一例として特許文献1が開示されている。
特に、基台上に所定間隔をあけて並設した一対の案内装置と、該一対の案内装置に跨って配設されるビーム(梁)を含み、門型形状に構成されたガントリ(移動部)とを有し、そのガントリが、基台上に載置された被測定物やワークを跨いで移動する形式のものをガントリ形の位置決め装置と呼んでいる。このようなガントリ形の位置決め装置の一例として特許文献1が開示されている。
特許文献1に開示のような従来のこの種のガントリ形の位置決め装置では、ビーム(梁)部分が搭載物の質量に耐えられるように設計されている。
しかし、ワークの大型化によりビーム(梁)の長さも長くなり、その長尺状のビーム(梁)の自重による撓みを解消する必要があった。このようなビーム(梁)の自重による撓みを解消するためには、従来、ビーム(梁)自体の剛性を高めたり、あるいはビーム(梁)自体の軽量設計を図ることが必須になり、複雑な形状や高価な材料を採択せざるを得なかったため、コスト高となるという問題があった。
実公平7−3283号公報
本発明の目的は、ビーム(梁)の自重による撓みを、コア付きリニアモータに発生する吸引力で抑制し得る構成を採用し、ビーム(梁)形状の小型化や単純形状化を図り、コストを抑えた位置決め装置を提供することである。
上記課題を達成するために、本発明の第一の発明は、所定長さを有するガイドレールと、該ガイドレールに沿って移動可能なスライダとで構成される一対の直動案内装置と、上面に前記それぞれのガイドレールを所定距離離間して平行に延設した固定部と、前記それぞれのガイドレールを延設した固定部の上面と上下方向で対向する面部所定位置に前記それぞれのスライダを備えた移動部と、前記固定部に備えられるマグネットの固定子及び、前記固定子と上下方向で対向して前記移動部に備えられるコア付きコイルの可動子により上下方向に吸引力が働き、前記移動部を前記ガイドレールの延設方向に往復移動及び所定位置で停止せしめる平行な一対のコア付きリニアモータを備え、前記移動部が、それぞれの可動子に跨って掛け渡されるビームを有する門型形状である位置決め装置において、
前記コア付きリニアモータは、前記ガイドレールを延設した固定部の上面に上向きで固定子が備えられるとともに、前記スライダを備えた移動部の面部に下向きで可動子が備えられ、前記直動案内装置に対し外側にオフセットして配置されている、ことを特徴とする位置決め装置としたことである。
前記コア付きリニアモータは、前記ガイドレールを延設した固定部の上面に上向きで固定子が備えられるとともに、前記スライダを備えた移動部の面部に下向きで可動子が備えられ、前記直動案内装置に対し外側にオフセットして配置されている、ことを特徴とする位置決め装置としたことである。
本発明によれば、ビーム(梁)の自重による撓みを、コア付きリニアモータに発生する吸引力で抑制し得る構成を採用し、ビーム(梁)形状の小型化や単純形状化を図り、コストを抑えた位置決め装置を提供することができる。
以下、本発明位置決め装置の一実施形態を添付図面に基づいて説明する。なお、本実施形態は本発明の一実施形態にすぎず、これに限定解釈されるものではなく本発明の範囲内で設計変更可能である。
図1は概略平面図、図2は図1の正面図、図3は要部を示す拡大断面図である。
本実施形態の位置決め装置の概略を説明すると、位置決め装置は、特に限定はされないが、例えば、液晶ディスプレイ等の電子部品の移動手段や測定器などに用いられる位置決め装置であって、固定部Aと、該固定部A上を移動可能に配設した移動部Bと、該移動部Bを直線案内する直動案内装置Gと、移動部Bを移動せしめる駆動手段としてのリニアモータMを含み、直動案内装置GとリニアモータMは、それぞれ所定間隔をあけて一対ずつ配設し、移動部Bは、前記一対のリニアモータM,Mに跨って配設されるビーム14を含み、門型形状に構成されたガントリである、ガントリ型の位置決め装置の一例である。
なお、本実施形態では、後述するリニアモータMの可動子11の位置を検出するための周知のリニアスケールS1と、移動限界点を検出する周知のリミットスイッチS2がそれぞれ備えられている。リミットスイッチS2は、例えば、ベースプレート2の上面長手方向の両端に透過型フォトセンサS2-1を備え、移動部Bに前記透過型フォトセンサS2-1の受光部と発光部間を遮る遮蔽板S2-2を備えて構成されている。
本実施形態の位置決め装置の概略を説明すると、位置決め装置は、特に限定はされないが、例えば、液晶ディスプレイ等の電子部品の移動手段や測定器などに用いられる位置決め装置であって、固定部Aと、該固定部A上を移動可能に配設した移動部Bと、該移動部Bを直線案内する直動案内装置Gと、移動部Bを移動せしめる駆動手段としてのリニアモータMを含み、直動案内装置GとリニアモータMは、それぞれ所定間隔をあけて一対ずつ配設し、移動部Bは、前記一対のリニアモータM,Mに跨って配設されるビーム14を含み、門型形状に構成されたガントリである、ガントリ型の位置決め装置の一例である。
なお、本実施形態では、後述するリニアモータMの可動子11の位置を検出するための周知のリニアスケールS1と、移動限界点を検出する周知のリミットスイッチS2がそれぞれ備えられている。リミットスイッチS2は、例えば、ベースプレート2の上面長手方向の両端に透過型フォトセンサS2-1を備え、移動部Bに前記透過型フォトセンサS2-1の受光部と発光部間を遮る遮蔽板S2-2を備えて構成されている。
固定部Aは、本実施形態によれば、平面視矩形板状で、所定厚みを持って形成された基台1と、該基台1上の左右両端にそれぞれ平行に固定されたベースプレート2,2とで構成されている。
また、本実施形態では、このベースプレート2は、その上面が、内方領域2aと外方領域2bとに段差部2cをもってプレートの長さ方向(図1中において矢印X1で示す方向。)で二分されている。
本実施例では、後述する直動案内装置GとリニアモータMの上下方向の高さ合わせを行うため(移動部の平行を出すため。)にベースプレート2を、上下方向で段差状に形成しているが、直動案内装置GとリニアモータMの上下方向の高さを同一の高さに形成しておけばこのような構成を採用しなくてもよい。
なお、固定部Aは本実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で他の周知形態が採用可能である。
また、本実施形態では、このベースプレート2は、その上面が、内方領域2aと外方領域2bとに段差部2cをもってプレートの長さ方向(図1中において矢印X1で示す方向。)で二分されている。
本実施例では、後述する直動案内装置GとリニアモータMの上下方向の高さ合わせを行うため(移動部の平行を出すため。)にベースプレート2を、上下方向で段差状に形成しているが、直動案内装置GとリニアモータMの上下方向の高さを同一の高さに形成しておけばこのような構成を採用しなくてもよい。
なお、固定部Aは本実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で他の周知形態が採用可能である。
移動部Bは、本実施形態によれば、それぞれ所定同一長さの平面視矩形板状に形成された左右一対のテーブル(連結ブロック)6,6と、それぞれのテーブル6,6の上面6aに、上下方向に所定の長さをもって一体に備えられる左右一対の脚部7,7と、それら脚部7,7の上面7a,7aにわたって一体に架け渡される直方体状のビーム(梁)14とで構成され、正面視門型に構成されたガントリ形態である。なお、このガントリ形態の移動部Bは単に一例に過ぎず、他の周知形態であってもよく、ガントリ形態であれば本発明の範囲内で設計変更可能である。
なお、図中符号15は、ビーム(梁)14上を、その延在方向へと移動可能に案内装置G2,G2によって案内され、リニアモータM2により駆動される移動テーブルである。
なお、図中符号15は、ビーム(梁)14上を、その延在方向へと移動可能に案内装置G2,G2によって案内され、リニアモータM2により駆動される移動テーブルである。
直動案内装置G,Gは、左右それぞれのベースプレート2,2上の内方領域2a,2aの延設方向(図1中において矢印X1で示す方向)にわたり、それぞれ平行に一体に配設されるガイドレール8,8と、前記内方領域2a,2aと上下方向で対向する前記左右それぞれのテーブル6,6の下面6b,6bに一体に備えられ、前記左右それぞれのガイドレール8,8に沿って直線移動可能なそれぞれ二個のスライダ(軸受)9・9,9・9とで構成されている。
なお、直動案内装置Gは、特に限定解釈されるものではなく、本発明の範囲内で適宜好適な直動案内装置が採用可能である。
なお、直動案内装置Gは、特に限定解釈されるものではなく、本発明の範囲内で適宜好適な直動案内装置が採用可能である。
リニアモータM,Mは、左右それぞれのベースプレート2の外方領域2b,2bの延設方向(図1中において矢印X1で示す方向)にわたり、それぞれ固定子10,10を平行に一体に配設するとともに、該左右それぞれの固定子10,10と上下方向で同軸に対向するそれぞれのテーブル6,6の下面6b,6bにそれぞれ可動子11,11を一体に配設する。
例えば、本実施形態のリニアモータMの一例を説明すると、固定子10,10は、ベースプレート2,2上の外方領域2b,2bの延設方向(図1中において矢印X1で示す方向)にわたって多数のマグネット(図示は省略するが、交互に配置したN極磁石とS極磁石)を上向き(図3中において矢印C1で示す方向 反重力方向)に配置して構成されている。
一方、可動子11,11は、前記固定子10,10に、上下方向(図3中において矢印C3で示す方向)で所定の隙間(例えば約1mm程度)を保ちつつ同軸に対向するようにして連結ブロック6,6の下面6b,6bに下向きに配置した複数のコア付きコイルである。
このコア付きコイルは、図示は省略するが、電流を流すことで発生する磁力を大きく得るために鉄心に銅線を多数巻いた周知構造のものである。
リニアモータ構成にあっても、可動子11としてコア付きコイルを使用し、かつ固定子10と可動子11が上下方向に対向するとともに、可動子11が重力方向に引張られる形態を採用するものであれば、固定子と可動子の構成は特に限定解釈されず本発明の範囲内で設計変更可能である。
一方、可動子11,11は、前記固定子10,10に、上下方向(図3中において矢印C3で示す方向)で所定の隙間(例えば約1mm程度)を保ちつつ同軸に対向するようにして連結ブロック6,6の下面6b,6bに下向きに配置した複数のコア付きコイルである。
このコア付きコイルは、図示は省略するが、電流を流すことで発生する磁力を大きく得るために鉄心に銅線を多数巻いた周知構造のものである。
リニアモータ構成にあっても、可動子11としてコア付きコイルを使用し、かつ固定子10と可動子11が上下方向に対向するとともに、可動子11が重力方向に引張られる形態を採用するものであれば、固定子と可動子の構成は特に限定解釈されず本発明の範囲内で設計変更可能である。
本実施形態では、前記一対の並設されているリニアモータM,Mは、一対の直動案内装置G,Gの外側に備えられている。すなわち、リニアモータMは、直動案内装置Gと所定量オフセットして配設されている(オフセット量を図中Lで示す。)。
従って、停止時も含めて、固定子10と可動子11の間には、常に上下方向C3の大きな吸引力が発生している。
そして、この一対のリニアモータM,Mは、可動子11,11を同期駆動して移動させることで、移動部Bが移動方向に直角を保って固定部Aに対して平行に移動する。
そして、この一対のリニアモータM,Mは、可動子11,11を同期駆動して移動させることで、移動部Bが移動方向に直角を保って固定部Aに対して平行に移動する。
このように、門型の移動部Bを構成する左右の脚部7,7の直下に位置するリニアモータM,Mが、直動案内装置G,Gよりも外方で所定量オフセットして配設され、かつ、門型の移動部Bを構成する左右の脚部7,7の直下に一体に位置する左右の可動子11,11が、ベースプレート2,2上の外方領域2b,2bに配置した固定子10,10と上下方向で同軸に対向しているため、上下方向で同軸に配置されたそれぞれの固定子10,10と可動子11,11との間に発生する吸引力によって、門型の移動部Bの両端部を上下方向で下方(図3中において矢印C2で示す方向 重力方向)に引張る作用が働く。ここで、これより内方においてテーブル6は直動案内装置Gにより支持されているため、ビーム(梁)14の自重撓みを抑制する方向にモーメント(オフセット量L×上下方向吸引力)が働く。
このように、移動部Bの左右の脚部の直下において、それぞれ、内方領域2aが支持され、これより外方にオフセットした位置で移動部Bを常に下方へと引張ろうとする力が発生しているため、その結果生じるモーメントにより、ビーム(梁)14の自重による撓み(図3中において矢印C2で示す方向への撓み)を抑制することができる。なお、リニアモータMと直動案内装置Gのオフセット量Lを変えることでビーム(梁)14の自重による撓みの抑制量を調整できる。
また、左右一対のみのガイドレール8でビーム(梁)14の撓みを効果的に抑制できる。
このように、移動部Bの左右の脚部の直下において、それぞれ、内方領域2aが支持され、これより外方にオフセットした位置で移動部Bを常に下方へと引張ろうとする力が発生しているため、その結果生じるモーメントにより、ビーム(梁)14の自重による撓み(図3中において矢印C2で示す方向への撓み)を抑制することができる。なお、リニアモータMと直動案内装置Gのオフセット量Lを変えることでビーム(梁)14の自重による撓みの抑制量を調整できる。
また、左右一対のみのガイドレール8でビーム(梁)14の撓みを効果的に抑制できる。
A 固定部
1 基台
2 ベースプレート
B 移動部
6 テーブル(連結ブロック)
7 脚部
G 直動案内装置
8 ガイドレール
9 スライダ(軸受)
M リニアモータ
10 固定子
11 可動子
14 ビーム(梁)
1 基台
2 ベースプレート
B 移動部
6 テーブル(連結ブロック)
7 脚部
G 直動案内装置
8 ガイドレール
9 スライダ(軸受)
M リニアモータ
10 固定子
11 可動子
14 ビーム(梁)
Claims (1)
- 所定長さを有するガイドレールと、該ガイドレールに沿って移動可能なスライダとで構成される一対の直動案内装置と、
上面に前記それぞれのガイドレールを所定距離離間して平行に延設した固定部と、
前記それぞれのガイドレールを延設した固定部の上面と上下方向で対向する面部所定位置に前記それぞれのスライダを備えた移動部と、
前記固定部に備えられるマグネットの固定子及び、前記固定子と上下方向で対向して前記移動部に備えられるコア付きコイルの可動子により上下方向に吸引力が働き、前記移動部を前記ガイドレールの延設方向に往復移動及び所定位置で停止せしめる平行な一対のコア付きリニアモータを備え、
前記移動部が、それぞれの可動子に跨って掛け渡されるビームを有する門型形状である位置決め装置において、
前記コア付きリニアモータは、前記ガイドレールを延設した固定部の上面に上向きで固定子が備えられるとともに、前記スライダを備えた移動部の面部に下向きで可動子が備えられ、前記直動案内装置に対し外側にオフセットして配置されている、
ことを特徴とする位置決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006319973A JP2008134131A (ja) | 2006-11-28 | 2006-11-28 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006319973A JP2008134131A (ja) | 2006-11-28 | 2006-11-28 | 位置決め装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008134131A true JP2008134131A (ja) | 2008-06-12 |
Family
ID=39559083
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006319973A Pending JP2008134131A (ja) | 2006-11-28 | 2006-11-28 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008134131A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010135425A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 反力処理機構、その反力処理機構を備えたステージ装置、及びそのステージ装置を備えた半導体検査装置 |
-
2006
- 2006-11-28 JP JP2006319973A patent/JP2008134131A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010135425A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 反力処理機構、その反力処理機構を備えたステージ装置、及びそのステージ装置を備えた半導体検査装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20090302693A1 (en) | Linear Motor | |
JP2007325389A (ja) | 可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置 | |
JP2007325389A5 (ja) | ||
JP2007295702A (ja) | リニアモータ、および、ステージ駆動装置 | |
JP2016036228A (ja) | テーブル装置、位置決め装置、及び精密機械 | |
JP6021819B2 (ja) | レーザ加工機用ステージ装置 | |
JP2006304470A (ja) | 電磁石ユニット、電磁アクチュエータ、電磁アクチュエータの駆動制御装置、およびステージ装置 | |
JP2001211630A (ja) | リニアスライダ | |
JP5248150B2 (ja) | 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置 | |
JP5113436B2 (ja) | リニアモータ駆動の軸送り装置 | |
JP2008134131A (ja) | 位置決め装置 | |
WO2013047610A1 (ja) | アクチュエータ | |
JP5140103B2 (ja) | リニアモータ対、移動ステージ、及び電子顕微鏡 | |
JP2008125285A (ja) | 位置決め装置 | |
JP2004312956A (ja) | リニアアクチュエータ | |
JP2016036227A (ja) | テーブル装置、位置決め装置、及び精密機械 | |
JP2018148760A (ja) | リニアモータ | |
JP2005245066A (ja) | ムービングマグネット形リニアモータ | |
JP2012114359A (ja) | Xyステージ | |
JP2006034016A (ja) | 工作機械用リニアモータ | |
JP2002096233A (ja) | リニアスライダ | |
JP2015097456A (ja) | 可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置 | |
JP5306558B2 (ja) | リニアモータ | |
JP3797670B2 (ja) | 静圧ステージ及び走査型露光装置 | |
JP2006034013A (ja) | 工作機械用リニアモータ |