JP2008133835A - Three-way valve - Google Patents
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Abstract
Description
本願発明は、形状記憶合金製のアクチュエータを用いた三方弁に関するものである。 The present invention relates to a three-way valve using an actuator made of a shape memory alloy.
従来、流体の流入口と第1及び第2の流出口とを備え、流入口と第1又は第2の流出口との連通を選択的に切り替える三方弁において、弁体のアクチュエータを形状記憶合金製のコイルバネで形成したものが知られている(例えば特許文献1参照)。 2. Description of the Related Art Conventionally, in a three-way valve that includes a fluid inlet and first and second outlets and selectively switches the communication between the inlet and the first or second outlet, the actuator of the valve element is a shape memory alloy. What was formed with the coil spring made from manufacture is known (for example, refer patent document 1).
特許文献1に記載の三方弁では、弁体の一方側には形状記憶合金製のコイルバネが接続されている。また、弁体の他方側には通常のバネ材料で形成されたバイアス用のコイルバネが接続されている。ここで一般に、形状記憶合金は基準温度の前後で形状が変化する性質を有している。このため弁体の一方側に接続された形状記憶合金製のコイルバネは基準温度の前後で形状が変化し、その結果としてコイルバネの弾性係数が基準温度の前後で変化する。これに対して、弁体の他方側に接続されたコイルバネは、温度にかかわらず弾性係数がほぼ一定である。 In the three-way valve described in Patent Document 1, a coil spring made of a shape memory alloy is connected to one side of the valve body. Further, a bias coil spring made of a normal spring material is connected to the other side of the valve body. Here, generally, the shape memory alloy has a property that the shape changes before and after the reference temperature. For this reason, the shape memory alloy coil spring connected to one side of the valve body changes in shape before and after the reference temperature, and as a result, the elastic coefficient of the coil spring changes before and after the reference temperature. On the other hand, the coil spring connected to the other side of the valve body has a substantially constant elastic coefficient regardless of the temperature.
したがって、両コイルバネによる付勢力がつりあう弁体位置は基準温度の前後で変化する。特許文献1に記載の三方弁では、上述した温度変化に基づく弁体位置の変化によって流入口と第1又は第2の流出口との連通を選択的に切り替えることを可能としている。
ところで、特許文献1に記載の三方弁では、形状記憶合金製のコイルバネは、周囲温度の変化によってコイルバネの温度が変化するいわゆる傍熱タイプとなっている。そのため、温度に応じた形状記憶合金の形状変化の応答性が比較的遅いという問題がある。傍熱タイプで応答性を上げるためには周囲から熱を受けやすくするためにアクチュエータの表面積を大きくすることが考えられるが、これではアクチュエータの体格が大きくなってしまう。 By the way, in the three-way valve described in Patent Document 1, the coil spring made of shape memory alloy is a so-called side heat type in which the temperature of the coil spring changes due to the change in ambient temperature. Therefore, there exists a problem that the response of the shape change of the shape memory alloy according to temperature is comparatively slow. In order to increase the responsiveness in the side heat type, it is conceivable to increase the surface area of the actuator in order to easily receive heat from the surroundings, but this increases the size of the actuator.
本願発明は上記問題に鑑みなされたものであり、形状記憶合金製のアクチュエータを用いた三方弁において、小型且つ応答性に優れた三方弁を提供することを目的とするものである。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a three-way valve having a small size and excellent responsiveness in a three-way valve using an actuator made of a shape memory alloy.
上記課題を解決するため、請求項1記載の発明の三方弁では、第1、第2及び第3の流体出入口が形成された筒状の固定構造体と、前記固定構造体内においてその軸方向に移動可能に収容された可動構造体と、通電用の電極となる第1及び第2の電極と、形状記憶合金により形成されるとともに、通電可能に前記第1及び第2の電極に接続され、熱による形状の変化により前記可動構造体を前記固定構造体の軸方向に付勢可能な第1付勢部材とを備え、前記第1付勢部材への非通電時には、前記可動構造体が前記第1流体出入口を封止するとともに前記第2流体出入口と前記第3流体出入口とが連通し、前記第1付勢部材への通電時には、前記第1付勢部材の形状の変化により前記可動構造体が変位して前記可動構造体が前記第2流体出入口を封止するとともに前記第1流体出入口と前記第3流体出入口とが連通することを特徴としている。 In order to solve the above-mentioned problem, in the three-way valve according to the first aspect of the present invention, a cylindrical fixed structure in which first, second and third fluid inlets and outlets are formed, and an axial direction in the fixed structure. The movable structure housed movably, the first and second electrodes to be energized electrodes, and a shape memory alloy, and connected to the first and second electrodes to be energized, A first urging member capable of urging the movable structure in the axial direction of the fixed structure by a change in shape due to heat, and when the first urging member is not energized, the movable structure is The first fluid inlet / outlet is sealed and the second fluid inlet / outlet communicates with the third fluid inlet / outlet. When the first biasing member is energized, a change in the shape of the first biasing member causes the movable structure. A body is displaced and the movable structure is moved into the second fluid inlet / outlet. It said third fluid port and the first fluid inlet and outlet with seals is characterized by communicating.
形状記憶合金製の第1付勢部材は通電されると自己発熱して温度が上昇し、この熱により形状が変化する。そして、この形状の変化により可動構造体を所定の方向に付勢する。この結果可動構造体を変位させて、固定構造体に形成された流体出入口の連通状態を切り替える。ここで、第1付勢部材は通電可能な構成となっており、通電により自己発熱する。このため、傍熱タイプのものと比べて応答性を向上させることが可能となる。また、周囲からの熱を受けやすくするために第1付勢部材の表面積を大きくする必要もないため、アクチュエータである形状記憶合金製の第1付勢部材の体格、ひいては三方弁全体の体格を小型化することが可能となる。 When the first urging member made of a shape memory alloy is energized, it self-heats and the temperature rises, and the shape changes due to this heat. Then, the movable structure is biased in a predetermined direction by the change in shape. As a result, the movable structure is displaced, and the communication state of the fluid inlet / outlet formed in the fixed structure is switched. Here, the first urging member is configured to be energized, and self-heats when energized. For this reason, it becomes possible to improve responsiveness compared with an indirectly heated type. Further, since it is not necessary to increase the surface area of the first biasing member in order to make it easy to receive heat from the surroundings, the size of the first biasing member made of a shape memory alloy as an actuator, and hence the size of the entire three-way valve, can be reduced. It becomes possible to reduce the size.
請求項2記載の発明では、上記請求項1記載の三方弁において、前記第1及び第2の流体出入口を前記固定構造体の軸方向の両端部にそれぞれ設け、前記第3の流体出入口を前記固定構造体の周壁部に設けたことを特徴としている。可動構造体を固定構造体の一端部に移動させることで、第1及び第2の流体出入口の一方を封止するとともに他方を開放することが可能となる。この結果、簡易な構造で第1及び第3の流体出入口の連通状態と第2及び第3の流体出入口の連通状態とを切り替えることが可能となる。 According to a second aspect of the present invention, in the three-way valve according to the first aspect, the first and second fluid inlets and outlets are provided at both axial ends of the fixed structure, respectively, and the third fluid inlet / outlet is It is provided on the peripheral wall portion of the fixed structure. By moving the movable structure to one end of the fixed structure, it is possible to seal one of the first and second fluid inlets and the other. As a result, it is possible to switch between the communication state of the first and third fluid ports and the communication state of the second and third fluid ports with a simple structure.
請求項3記載の発明では、上記請求項1又は請求項2記載の三方弁において、前記筒状の固定構造体における周壁部の対向位置に前記第1及び第2の電極をそれぞれ設け、前記第1付勢部材を略V字状に形成するとともに当該第1付勢部材の両端部を前記第1及び第2の電極にそれぞれ接続し、前記第1付勢部材は略V字の折曲部近傍で当該可動構造体を付勢することを特徴としている。 According to a third aspect of the present invention, in the three-way valve according to the first or second aspect, the first and second electrodes are respectively provided at positions opposed to the peripheral wall portion of the cylindrical fixed structure, One urging member is formed in a substantially V shape and both ends of the first urging member are connected to the first and second electrodes, respectively, and the first urging member is a substantially V-shaped bent portion. The movable structure is biased in the vicinity.
第1付勢部材を略V字状という簡易な形状としたため、アクチュエータである形状記憶合金製の第1付勢部材の体格、ひいては三方弁全体の体格を小型化することが可能となる。また、V字状の折曲部近傍で可動構造体を付勢させる構成としたため、形状記憶合金製の第1付勢部材の伸縮量に対する可動弁体の移動方向へのストローク量を大きくすることが可能となる。 Since the first urging member has a simple V-shape, the physique of the first urging member made of a shape memory alloy, which is an actuator, and the physique of the entire three-way valve can be downsized. Further, since the movable structure is biased in the vicinity of the V-shaped bent portion, the stroke amount in the moving direction of the movable valve body with respect to the expansion / contraction amount of the first biasing member made of the shape memory alloy is increased. Is possible.
請求項4に記載の発明では、上記請求項1から請求項3のいずれかに記載の三方弁において、前記可動構造体により第2流体出入口を封止する場合に前記第1付勢部材にかかる応力負荷を低減する負荷低減弾性体を備えることを特徴としている。 According to a fourth aspect of the present invention, in the three-way valve according to any one of the first to third aspects, the first urging member is applied when the second fluid inlet / outlet is sealed by the movable structure. It is characterized by comprising a load-reducing elastic body that reduces the stress load.
形状記憶合金製のアクチュエータを用いた三方弁においては、流体出入口を封止する際の確実性を上げるために封止の際の押圧を強く設定する場合がある。また、アクチュエータの部品にはその製造精度にバラツキが生じる場合がある。このため、アクチュエータにかかる応力負荷が大きくなる方向にばらつきが生じた場合には、流体出入口を封止する際に形状記憶合金製のアクチュエータに過剰な応力負荷がかかる場合がある。一般に形状記憶合金では、温度が基準温度を超えると形状が変化する。そして、温度を初期の状態に戻せば原形状に回復し、形状記憶合金の性質である形状の再現性を示す。しかしながら、記憶形状状態で過剰な応力負荷が加えられると、形状記憶合金の記憶形状がずれ、形状の再現性が損なわれるという傾向を持っている。 In a three-way valve using an actuator made of a shape memory alloy, the pressure at the time of sealing may be set strongly in order to increase the reliability at the time of sealing the fluid inlet / outlet. In addition, actuator parts may vary in manufacturing accuracy. For this reason, when a variation occurs in the direction in which the stress load applied to the actuator increases, an excessive stress load may be applied to the shape memory alloy actuator when sealing the fluid inlet / outlet. In general, the shape memory alloy changes its shape when the temperature exceeds a reference temperature. When the temperature is returned to the initial state, the original shape is recovered, and the shape reproducibility which is a property of the shape memory alloy is exhibited. However, when an excessive stress load is applied in the memory shape state, the memory shape of the shape memory alloy is shifted, and the reproducibility of the shape tends to be impaired.
この点、請求項4に記載の発明では、負荷低減弾性体を設けることで形状記憶合金製の第1付勢部材に過剰な応力負荷がかかることを抑制することが可能となる。この結果、形状記憶合金製の第1付勢部材の形状の再現性を良好に維持することが可能となり、三方弁の信頼性を高めるとともに製品寿命を長くすることが可能となる。 In this regard, in the invention according to the fourth aspect, it is possible to suppress an excessive stress load from being applied to the first urging member made of the shape memory alloy by providing the load reducing elastic body. As a result, the reproducibility of the shape of the first urging member made of the shape memory alloy can be maintained satisfactorily, and the reliability of the three-way valve can be improved and the product life can be extended.
請求項5記載の発明では、上記請求項1から請求項4のいずれかに記載の三方弁において、前記可動構造体を前記第1流体出入口側に付勢する第2付勢部材を備え、前記第1付勢部材への非通電時に、前記可動構造体は前記第2付勢部材により前記第1流体出入口側に付勢されて前記第1流体出入口を封止することを特徴としている。可動構造体を第1流体出入口側に付勢する第2付勢部材を設けることにより、第1付勢部材への非通電時における第1流体出入口の封止の確実性を向上させることが可能となる。 According to a fifth aspect of the present invention, the three-way valve according to any one of the first to fourth aspects, further comprising a second biasing member that biases the movable structure toward the first fluid inlet / outlet side, When the first urging member is not energized, the movable structure is urged toward the first fluid inlet / outlet by the second urging member to seal the first fluid inlet / outlet. By providing the second urging member that urges the movable structure toward the first fluid inlet / outlet side, it is possible to improve the reliability of sealing of the first fluid inlet / outlet when the first urging member is not energized. It becomes.
請求項6記載の発明では、上記請求項5記載の三方弁において、前記第2付勢部材を弾性体で形成し、前記第1流体出入口を封止する第1可動部と前記第2流体出入口を封止する第2可動部とを含んで前記可動構造体を構成するとともに前記第1可動部と第2可動部との間に前記負荷低減弾性体を設け、前記第2付勢部材の弾性係数を前記負荷低減弾性体の弾性係数よりも小さく設定したことを特徴としている。これによると、第1及び第2の可動部を含んで構成された可動構造体の間に負荷低減構造体を設けた構造となっている。このため、可動構造体以外の固定構造体等の部材に変更を加えることなく、負荷低減弾性体を設けることが可能となる。また、第2付勢部材の弾性係数を負荷低減弾性体の弾性係数よりも小さく設定した。このため、第1付勢部材の変形によって生じる力によって、負荷低減弾性体よりも先に第2付勢部材が変形して可動構造体が変位する。この結果、負荷低減弾性体により可動構造体の変位が阻害されることを抑制することができる。 According to a sixth aspect of the present invention, in the three-way valve according to the fifth aspect, the second urging member is formed of an elastic body, and the first movable portion and the second fluid inlet / outlet sealing the first fluid inlet / outlet. And the second movable part is configured to constitute the movable structure, and the load reducing elastic body is provided between the first movable part and the second movable part, and the elasticity of the second urging member is provided. The coefficient is set smaller than the elastic coefficient of the load reducing elastic body. According to this, it has the structure which provided the load reduction structure between the movable structures comprised including the 1st and 2nd movable part. For this reason, it becomes possible to provide a load reduction elastic body, without adding changes to members, such as fixed structures other than a movable structure. Further, the elastic coefficient of the second urging member was set smaller than the elastic coefficient of the load reducing elastic body. For this reason, due to the force generated by the deformation of the first urging member, the second urging member is deformed before the load reducing elastic body, and the movable structure is displaced. As a result, it is possible to suppress the displacement of the movable structure from being inhibited by the load reducing elastic body.
請求項7記載の発明では、上記請求項5記載の三方弁において、前記第1及び第2の可動部の一方に凸部を設けるとともに他方に凹部を設け、前記凸部が前記凹部に挿嵌された状態で、前記可動構造体が前記固定構造体の軸方向に移動可能であるとともに前記第1及び第2の可動部が相対的に移動可能であることを特徴としている。これにより、可動構造体の移動及び第1可動部と第2可動部との相対的な移動がスムーズとなる。 According to a seventh aspect of the present invention, in the three-way valve according to the fifth aspect, a convex portion is provided on one of the first and second movable portions, a concave portion is provided on the other, and the convex portion is inserted into the concave portion. In this state, the movable structure is movable in the axial direction of the fixed structure, and the first and second movable parts are relatively movable. Thereby, the movement of a movable structure and the relative movement of a 1st movable part and a 2nd movable part become smooth.
請求項8記載の発明では、上記請求項5記載の三方弁において、前記第2付勢部材を弾性体で形成し、前記第1及び第2の電極を前記固定構造体に設けるとともに前記第1及び第2の電極の少なくとも一方を弾性体で形成し、前記負荷低減弾性体を前記弾性体で形成した電極で構成し、前記第2付勢部材の弾性係数を前記負荷低減弾性体の弾性係数よりも小さく設定したことを特徴としている。これによると、負荷低減弾性体を設置するために可動構造体に変更を加える必要がないため、可動構造体の構造が簡易となり可動構造体の製造が容易となる。また、電極が負荷低減弾性体を兼ねているため、部品点数を低減することができる。さらに、第2付勢部材の弾性係数を負荷低減弾性体の弾性係数よりも小さく設定したため、第1付勢部材の変形によって生じる力によって、負荷低減弾性体よりも先に第2付勢部材が変形して可動構造体が変位する。このため、負荷低減弾性体により可動構造体の変位が阻害されることを抑制することができる。 According to an eighth aspect of the present invention, in the three-way valve according to the fifth aspect, the second urging member is formed of an elastic body, the first and second electrodes are provided on the fixed structure, and the first And at least one of the second electrode is formed of an elastic body, the load reducing elastic body is formed of an electrode formed of the elastic body, and an elastic coefficient of the second urging member is an elastic coefficient of the load reducing elastic body. It is characterized by having been set smaller than. According to this, since it is not necessary to change the movable structure in order to install the load reducing elastic body, the structure of the movable structure is simplified and the manufacture of the movable structure is facilitated. In addition, since the electrode also serves as a load reducing elastic body, the number of parts can be reduced. Furthermore, since the elastic coefficient of the second urging member is set smaller than the elastic coefficient of the load reducing elastic body, the second urging member is moved ahead of the load reducing elastic body by the force generated by the deformation of the first urging member. The movable structure is displaced by deformation. For this reason, it can suppress that the displacement of a movable structure is inhibited by the load reduction elastic body.
請求項9記載の発明では、上記請求項5記載の三方弁において、前記第2付勢部材を弾性体で形成し、前記第1及び第2の電極の少なくとも一方を前記固定構造体に対して相対移動可能に設けるとともに、前記固定構造体に対して相対移動可能に設けた電極と前記固定構造体との間に前記負荷低減弾性体を設け、前記第2付勢部材の弾性係数を前記負荷低減弾性体の弾性係数よりも小さく設定したことを特徴としている。 According to a ninth aspect of the present invention, in the three-way valve according to the fifth aspect, the second urging member is formed of an elastic body, and at least one of the first and second electrodes is attached to the fixed structure. The load reducing elastic body is provided between the fixed structure and the electrode provided to be relatively movable with respect to the fixed structure, and the elastic coefficient of the second biasing member is set to the load It is characterized by being set smaller than the elastic coefficient of the reduced elastic body.
これによると、負荷低減弾性体は固定構造体に対して相対移動可能に設けられた電極と固定構造体との間に設けられる。このため、負荷低減弾性体を設置するために可動構造体に変更を加える必要がないため、可動構造体の構造が簡易となり可動構造体の製造が容易となる。また、第2付勢部材の弾性係数を負荷低減弾性体の弾性係数よりも小さく設定した。このため、第1付勢部材の変形によって生じる力によって、負荷低減弾性体よりも先に第2付勢部材が変形して可動構造体が変位する。このため、負荷低減弾性体により可動構造体の変位が阻害されることを抑制することができる。 According to this, the load reducing elastic body is provided between the fixed structure and the electrode provided so as to be movable relative to the fixed structure. For this reason, since it is not necessary to change a movable structure in order to install a load reduction elastic body, the structure of a movable structure becomes simple and manufacture of a movable structure becomes easy. Further, the elastic coefficient of the second urging member was set smaller than the elastic coefficient of the load reducing elastic body. For this reason, due to the force generated by the deformation of the first urging member, the second urging member is deformed before the load reducing elastic body, and the movable structure is displaced. For this reason, it can suppress that the displacement of a movable structure is inhibited by the load reduction elastic body.
[第1実施形態]
以下、本発明の第1の実施形態に係る三方弁について、図1を参照して説明する。ここで、図1(a)はワイヤへの非通電時における三方弁の状態を示す軸方向断面図であり、図1(b)はワイヤへの通電時における三方弁の状態を示す軸方向断面図である。
[First Embodiment]
Hereinafter, a three-way valve according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Here, FIG. 1A is an axial sectional view showing the state of the three-way valve when the wire is not energized, and FIG. 1B is an axial sectional view showing the state of the three-way valve when the wire is energized. FIG.
図1(a)に示すように、三方弁10はガイドパイプ11と、ガイドパイプ11内に収容された可動弁体12と、可動弁体12を駆動するためのアクチュエータとしてのワイヤ13とを含んで構成されている。
As shown in FIG. 1A, the three-
ガイドパイプ11は金属又は樹脂により略円筒状に形成されている。ガイドパイプ11の内部には収容部14が形成されており、可動弁体12がガイドパイプ11の軸方向に移動可能に収容されている。ガイドパイプ11の軸方向の両端部には、第1及び第2の流体流路15,16が設けられている。また、ガイドパイプ11の一端側(第1流体流路15側)の周壁部には共通流体流路17が設けられている。
The
可動弁体12は金属又は樹脂により略円柱状に形成されている。可動弁体12は、その内部を流体が通過可能に形成されている。上述のように、可動弁体12は収容部14内を軸方向に移動可能となっており、可動弁体12の移動方向の中央部には他の部分よりも径が大きい鍔部18が設けられている。鍔部18は、可動弁体12の一端が第1流体流路15に当接した状態で共通流体流路17を塞がない位置に設けられている。この鍔部18は可動弁体12が収容部14内を軸方向に移動する際に、収容部14の内周壁面に内接してガイドされる被ガイド部を形成するものである。鍔部18が収容部14の内壁面にガイドされることにより、可動弁体12が収容部14内をスムーズに移動できるようになっている。鍔部18には、可動弁体12の径方向に貫通する貫通孔19が形成されている。また、貫通孔19内には、貫通孔19の貫通方向及び可動弁体12の移動方向と直交する方向に延びる被付勢部20が設けられている。
The
可動弁体12の軸方向の両端部には、第1及び第2の封止部21,22がそれぞれ設けられている。第1及び第2の封止部21,22は、第1及び第2の流体流路15,16における収容部14側の開口部23,24に当接してこれらを封止するためのものである。第1及び第2の封止部21,22は、開口部23,24の封止性を高めるために、ゴム等の弾性樹脂材で形成することが好ましい。
First and
収容部14における第2流体流路16側の端部と可動弁体12の鍔部18との間には第1コイルバネ25が設けられており、可動弁体12を第1流体流路15側に付勢している。また、ガイドパイプ11の周壁部における対向した位置には、第1及び第2の電極26,27がそれぞれ固定されている。
A
三方弁10には、略V字状に折り曲げ形成されたワイヤ13が設けられている。ワイヤ13は貫通孔19内に配置されており、その両端部を貫通孔19から突出させるとともに、その折曲部が第1流体流路15側に凸となる向きとされている。また、ワイヤ13の両端部は第1及び第2の電極26,27にそれぞれ接続されており、第1及び第2の電極26,27間に電圧を印加することによりワイヤ13に通電可能となっている。なお、図1(a)に示すように、貫通孔19内において、ワイヤ13の折曲部は被付勢部20よりも第1流体流路15側に配置されており、ワイヤ13への非通電時にはワイヤ13と被付勢部20とは互いに非接触の状態となっている。
The three-
上記ワイヤ13は形状記憶合金(例えば、Ti−Ni型形状記憶合金)で形成されている。一般に形状記憶合金では、常温では全長が伸びた伸長形状であるが、その温度がある基準温度以上になると予め記憶された収縮形状となる。そして、温度を初期の状態に戻せば、元の形状に回復する性質を有している。この形状記憶合金の温度変化による形状変化力は第1コイルバネ25に作用する弾性力に対して著しく大きいものとなっている。したがって、第1及び第2の電極26,27に電圧が印加されてワイヤ13に通電がされるとワイヤ13が自己発熱し、ワイヤ13の温度が基準温度以上になるとワイヤ13は予め記憶された収縮形状となる。この収縮状態においては、図1(b)に示すように、ワイヤ13はその折曲部近傍で被付勢部20の第1流体流路15側と接触して可動弁体12を第2流体流路16側に付勢し、可動弁体12を移動させる。
The
次に、本実施形態における三方弁10の作動について説明する。図1(a)に示すように、ワイヤ13に電流を流していない場合には、形状記憶合金製のワイヤ13は伸長状態にある。この状態においてはワイヤ13と被付勢部20とが接触しておらず、ワイヤ13による可動弁体12に対する付勢力は作用していない。一方、第1コイルバネ25は可動弁体12を第1流体流路15側に付勢している。このため、可動弁体12の第1封止部21が第1流体流路15における収容部14側の開口部23に当接してこれを封止する。この結果、ワイヤ13への非通電時には第2流体流路16と共通流体流路17とが連通する。
Next, the operation of the three-
ワイヤ13に電流を流した場合には、通電によりワイヤ13が自己発熱する。そして、ワイヤ13の温度が基準温度以上になると、ワイヤ13は予め記憶された収縮状態となる。このため、ワイヤ13の折曲部近傍が被付勢部20に接触して可動弁体12を第2流体流路16側に付勢する。ここで、形状記憶合金製のワイヤ13の形状変化力は第1コイルバネ25の弾性力に対して著しく大きく、ワイヤ13の付勢力は第1コイルバネ25の付勢力よりも大きい。このため、可動弁体12は第2流体流路16側に移動され、第2封止部22で第2流体流路16が封止される。この結果、ワイヤ13への通電時には第1流体流路15と共通流体流路17とが連通する。
When a current is passed through the
以上詳述した本実施形態によれば、以下の優れた効果を有する。 According to the embodiment described in detail above, the following excellent effects are obtained.
本実施形態では、形状記憶合金製のワイヤ13は通電されると自己発熱して温度が上昇し、この熱により形状が変化する。そして、この形状の変化により可動弁体12を第2流体流路16側に付勢している。この結果可動弁体12を変位させて、ガイドパイプ11に形成された流体流路15,16,17の連通状態を切り替えている。ここで、ワイヤ13は通電により自己発熱する構成となっている。このため、傍熱タイプのものと比べて応答性を向上させることが可能となる。また、傍熱タイプのものと異なり周囲からの熱を受けやすくするためにワイヤ13の表面積を大きくする必要もないため、形状記憶合金製のワイヤ13により構成されるアクチュエータの体格、ひいては三方弁10全体の体格を小型化することが可能となる。
In this embodiment, when the shape
本実施形態では、第1及び第2の流体流路15,16は、円筒状のガイドパイプ11の両端部に設けられている。このため、可動弁体12をガイドパイプ11の一端部に移動させることで、第1及び第2の流体流路15,16の開口部23,24の一方を封止するとともに他方を開放することが可能となる。この結果、簡易な構造で第1流体流路15及び共通流体流路17の連通状態と第2流体流路16及び共通流体流路17の連通状態とを切り替えることが可能となる。
In the present embodiment, the first and second
また、本実施形態では、ワイヤ13が略V字状という簡易な形状とされている。このため、形状記憶合金製のアクチュエータの体格、ひいては三方弁10全体の体格を小型化することが可能となるとともに、アクチュエータの製造が容易となる。また、V字状の折曲部近傍で可動弁体12を付勢させる構成としたため、形状記憶合金製のワイヤ13の伸縮量に対する可動弁体12の移動方向へのストローク量を大きくすることが可能となる。
Moreover, in this embodiment, the
本実施形態では、可動弁体12と第2流体流路16との間に第1コイルバネ25が設けられている。このため、形状記憶合金製のワイヤ13が非通電状態であり、ワイヤ13により可動弁体12に付勢力が作用していない場合には、可動弁体12が第1コイルバネ25により第1流体流路15側に付勢される。これにより、ワイヤ13に通電していない場合における第1流体流路15の封止の確実性を高めることが可能となる。
In the present embodiment, a
[第2実施形態]
本発明の第2の実施形態に係る三方弁について、図2を参照して説明する。なお、第1実施形態と同様の構成については、同一符号を付して説明を省略する。ここで、図2(a)はワイヤへの非通電時における三方弁の状態を示す軸方向断面図であり、図2(b)はワイヤへの通電時における三方弁の状態を示す軸方向断面図である。
[Second Embodiment]
A three-way valve according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, about the structure similar to 1st Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted. Here, FIG. 2A is an axial sectional view showing the state of the three-way valve when the wire is not energized, and FIG. 2B is an axial sectional view showing the state of the three-way valve when the wire is energized. FIG.
第2実施形態の可動弁体30は、第1封止部31を有する第1可動部32と第2封止部34を有する第2可動部33とを含んで構成されている。そして、第1及び第2の可動部32,33間には、負荷低減弾性体としての第2コイルバネ35が設けられている。
The
具体的には、図2(a)に示すように、第1及び第2の可動部32,33は円筒状に形成され、両者の軸方向端面を対向させて配置されている。そして、第1可動部32及び第2可動部33の対向面側には、他の部分よりも径が大きい鍔部36,37がそれぞれ設けられている。両可動部の鍔部36,37は第1及び第2の可動部32,33が収容部14内を軸方向に移動する際に、収容部14の内周壁面に内接してガイドされる被ガイド部を形成するものである。そして、鍔部36,37が収容部14の内壁面にガイドされることにより、第1及び第2の可動部32,33が収容部14内をスムーズに移動できるようになっている。
Specifically, as shown in FIG. 2A, the first and second
本実施形態においても、可動弁体30を駆動するためのアクチュエータとして、形状記憶合金製の略V字状のワイヤ13が用いられている。第1可動部32には径方向に貫通する貫通孔19が形成されており、この貫通孔38内には貫通孔38の貫通方向及び第1可動部32の移動方向と直交する方向に延びる被付勢部39が設けられている。
Also in the present embodiment, a substantially V-shaped
ワイヤ13は貫通孔38内に配置されており、その両端部を突出させるとともに、その折曲部が第1流体流路15側に凸となる向きに配置されている。また、ワイヤ13の両端部は第1及び第2の電極26,27にそれぞれ接続されており、第1及び第2の電極26,27間に電圧を印加することによりワイヤ13に通電可能となっている。なお、図2(a)に示すように、貫通孔38内において、ワイヤ13の折曲部は被付勢部39に対して第1流体流路15側に配置されており、ワイヤ13への非通電時には、ワイヤ13と被付勢部20とは互いに非接触の状態となっている。
The
両鍔部36,37には第2コイルバネ35の端部がそれぞれ接続されている。このコイルバネの伸縮により、第1可動部32と第2可動部33との相対的な距離が可変となっている。第2コイルバネ35は形状記憶合金製のワイヤ13に過剰な負荷がかかるのを抑制するためのものであり、第2コイルバネ35の弾性係数は第1コイルバネ25の弾性係数よりも十分に大きく設定されている。
The end portions of the
次に、本実施形態における三方弁10の作動について説明する。図2(a)に示すように、ワイヤ13に電流を流していない場合には、形状記憶合金製のワイヤ13は伸長状態にある。この状態においてはワイヤ13と被付勢部39とが接触しておらず、第1可動部32にはワイヤ13による付勢力が作用していない。一方、第1コイルバネ25は第2可動部33を第1流体流路15側に付勢している。そして、第2可動部33に作用する付勢力は、第2コイルバネ35を介して第1可動部32に伝達され、第1可動部32は第1流体流路15側に移動する。この結果、ワイヤ13への非通電時には、可動弁体30の第1封止部31が第1流体流路15における収容部14側の開口部23に当接してこれを封止し、第2流体流路16と共通流体流路17とが連通する。
Next, the operation of the three-
ワイヤ13に電流を流した場合には、通電によりワイヤ13が自己発熱する。そして、ワイヤ13の温度が基準温度以上になると、ワイヤ13は予め記憶された収縮状態となる。このため、ワイヤ13の折曲部近傍が被付勢部39に接触して第1可動部32を第2流体流路16側(第2可動部33側)に付勢する。第1可動部32に作用した付勢力は、第2コイルバネ35を介して第2可動部33に伝達され、第2可動部33から第1コイルバネ25に伝達される。
When a current is passed through the
ここで、第2コイルバネ35の弾性係数は、第1コイルバネ25の弾性係数よりも十分に大きく設定されている。このため、第2封止部34が第2流体流路16における収容部14側開口部24に当接していない状態においては、第2コイルバネ35はほとんど収縮せず、第1コイルバネ25が収縮する。そして、第2可動部33が第2流体流路16側に移動して、第2封止部34が開口部24に当接する。この結果、第2封止部34で第2流体流路16が封止され、ワイヤ13への通電時には第1流体流路15と共通流体流路17とが連通する。第2封止部34が第2流体流路16に当接した後、さらに第1可動部32に対して第2流体流路16側に付勢力が作用すると、第2コイルバネ35が収縮を開始する。この第2コイルバネ35の収縮はワイヤ13に直接に過負荷がかかるのを緩和するクッション効果の役目を果たし、ワイヤ13への過剰な負荷を低減する。
Here, the elastic coefficient of the
ここで一般に、形状記憶合金は記憶形状状態で過剰な圧力が加えられると、その記憶形状がずれてきて形状の再現性が損なわれ、元の形状に完全に復帰しないという傾向を持っている。この点、本実施形態では、形状記憶合金製のワイヤ13に過剰な負荷がかかるのを抑制するための第2コイルバネ35が設けられている。このため、形状記憶合金製のワイヤ13に過剰な負荷がかかることを抑制することができ、形状記憶合金製のワイヤ13の形状再現性が損なわれることを抑止することが可能となる。この結果、経時劣化を抑制することができるので温度変化による形状の再現性を良くすることができ、ワイヤ13の通電による連通状態の切り替え精度を高めることができる。
Here, in general, when an excessive pressure is applied in a memory shape state, the shape memory alloy has a tendency that the memory shape shifts and the reproducibility of the shape is lost, and the shape does not completely return to the original shape. In this regard, in the present embodiment, a
また、第1コイルバネ25の弾性係数を第2コイルバネ35の弾性係数よりも小さく設定したので、ワイヤ13の変形によって生じる力によって、第2コイルバネ35よりも先に第1コイルバネ25が変形して可動弁体30が変位する。このため、第2コイルバネ35により可動弁体30の変位が阻害されることを抑制することができる。
Further, since the elastic coefficient of the
本実施形態では、可動弁体30を第1可動部32と第2可動部33とに分割して構成し、両可動部の間に第2コイルバネ35を配設している。このため、第1実施形態の三方弁10に対して、可動弁体30以外の構成に変更を加えることなく、負荷低減弾性体としての第2コイルバネ35を配設することが可能となる。
In the present embodiment, the
[第3実施形態]
本発明の第3の実施形態に係る三方弁について、図3を参照して説明する。なお、第2実施形態と同様の構成については、同一符号を付して説明を省略する。ここで、図3(a)はワイヤへの非通電時における三方弁の状態を示す軸方向断面図であり、図3(b)はワイヤへの通電時における三方弁の状態を示す軸方向断面図である。
[Third Embodiment]
A three-way valve according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, about the structure similar to 2nd Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted. 3A is an axial sectional view showing the state of the three-way valve when the wire is not energized, and FIG. 3B is an axial sectional view showing the state of the three-way valve when the wire is energized. FIG.
本実施形態では、第1可動部32には第2可動部33側に突出する凸部40が形成されている。また、第2可動部33には、反第1可動部32側に窪んだ凹部41が形成されている。そして、凸部40が凹部41に挿入された状態で、第1可動部32と第2可動部33とが一体となって収容部14内を移動するとともに、第1可動部32と第2可動部33とが相対的に移動するように構成されている。
In the present embodiment, the first
図3(a),(b)に示すように、本実施形態では、第1及び第2の可動部32,33が一体的に移動する際には、凸部40が凹部41に挿嵌された状態で移動する。すなわち、凸部40が凹部41に挿嵌された状態となっているので、両者の一体性を確保することが容易であり、可動弁体30の移動をスムーズに行わせることが可能となる。また、第1及び第2の可動部32,33が相対的に移動する際には、凸部40が凹部41に挿嵌された状態で両者が相対的に移動する。すなわち、両者が相対的に移動する際には、凹部41で凸部40のスライド方向が規制されつつ両者の相対移動をスムーズに行わせることが可能となる。
As shown in FIGS. 3A and 3B, in the present embodiment, when the first and second
[第4実施形態]
本発明の第4の実施形態に係る三方弁について、図4を参照して説明する。なお、第1実施形態と同様の構成については、同一符号を付して説明を省略する。ここで、図4(a)はワイヤへの非通電時における三方弁の状態を示す軸方向断面図であり、図4(b)はワイヤへの通電時における三方弁の状態を示す軸方向断面図である。
[Fourth Embodiment]
A three-way valve according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, about the structure similar to 1st Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted. 4A is an axial cross-sectional view showing the state of the three-way valve when the wire is not energized, and FIG. 4B is an axial cross-section showing the state of the three-way valve when the wire is energized. FIG.
本実施形態では、第1及び第2の電極42,43は導電性樹脂により形成されている。そして、導電性樹脂製の両電極42,43に略V字状に形成された形状記憶合金製のワイヤ13の両端部がそれぞれ接続されている。なお、導電性樹脂製の電極42,43の弾性係数は第1コイルバネ25の弾性係数よりも十分に大きく設定されている。
In the present embodiment, the first and
次に、本実施形態における三方弁10の作動について説明する。図4(a)に示すように、ワイヤ13に電流を流していない場合には、形状記憶合金製のワイヤ13は伸長状態にある。この状態においてはワイヤ13と被付勢部20とが接触しておらず、可動弁体12にはワイヤ13による付勢力が作用していない。一方、第1コイルバネ25は可動弁体12を第1流体流路15側に付勢している。そして、この付勢力により、可動弁体12は第1流体流路15側に移動する。この結果、ワイヤ13への非通電時には、可動弁体12の第1封止部21が第1流体流路15における収容部14側の開口部23に当接してこれを封止し、第2流体流路16と共通流体流路17とが連通する。
Next, the operation of the three-
ワイヤ13に電流を流した場合には、通電によりワイヤ13が自己発熱する。そして、ワイヤ13の温度が基準温度以上になると、ワイヤ13は予め記憶された収縮状態となる。このため、ワイヤ13の折曲部近傍が被付勢部20に接触して可動弁体12を第2流体流路16側に付勢する。また、ワイヤ13の変形に伴い発生する力が第1及び第2の電極42,43にも作用する。
When a current is passed through the
ここで、導電性樹脂製の第1及び第2の電極42,43の弾性係数は、第1コイルバネ25の弾性係数よりも十分に大きく設定されている。このため、第2封止部22が第2流体流路16における収容部14側開口部23に当接していない状態においては、第1及び第2の電極42,43はほとんど変形せず、第1コイルバネ25が収縮する。そして、可動弁体12が第2流体流路16側に移動して、第2封止部22が開口部23に当接する。この結果、第2封止部22で第2流体流路16が封止され、第1流体流路15と共通流体流路17とが連通する。第2封止部22が開口部23に当接した後、さらにワイヤ13の変形に伴う力が第1及び第2の電極42,43に作用すると、図4(b)に示すように、第1及び第2の電極42,43が変形を開始する。この第1及び第2の電極42,43の変形は、ワイヤ13に直接に過負荷がかかるのを緩和するクッション効果の役目を果たし、ワイヤ13への過剰な負荷を低減する。
Here, the elastic coefficient of the first and
すなわち、本実施形態では、導電性樹脂で第1及び第2の電極42,43を形成することにより、形状記憶合金製のワイヤ13に過剰な負荷がかかるのを抑制することができ、形状記憶合金製のワイヤ13の形状再現性が損なわれることを抑止することが可能となる。この結果、経時劣化を抑制することができるので温度変化による形状の再現性を良くすることができ、ワイヤ13の通電による連通状態の切り替え精度を高めることができる。
That is, in this embodiment, by forming the first and
また、第1コイルバネ25の弾性係数を導電性樹脂製の電極42,43の弾性係数よりも小さく設定したので、ワイヤ13の変形によって生じる力によって、電極42,43よりも先に第1コイルバネ25が変形して可動弁体12が変位する。このため、電極42,43の変形により可動弁体12の変位が阻害されることを抑制することができる。
Further, since the elastic coefficient of the
本実施形態では、負荷低減弾性体を設置するために可動弁体12に変更を加える必要がない。このため、可動弁体12の構造が簡易となり可動弁体12の製造が容易となる。また、電極42,43が負荷低減弾性体を兼ねているため、部品点数を低減することができる。
In this embodiment, it is not necessary to change the
[第5実施形態]
本発明の第5の実施形態に係る三方弁について、図5を参照して説明する。なお、上記各実施形態と同様の構成については、同一符号を付して説明を省略する。ここで、図5(a)はワイヤへの非通電時における三方弁の状態を示す軸方向断面図であり、図5(b)はワイヤへの通電時における三方弁の状態を示す軸方向断面図である。
[Fifth Embodiment]
A three-way valve according to a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, about the structure similar to said each embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted. Here, FIG. 5A is an axial sectional view showing a state of the three-way valve when the wire is not energized, and FIG. 5B is an axial sectional view showing a state of the three-way valve when the wire is energized. FIG.
本実施形態では、第1電極44はガイドパイプ11に固定され、第2電極45はガイドパイプ11に対して相対移動可能に設けられている。具体的には、ガイドパイプ11の内周壁面における第2電極45の配設位置には、径方向に孔部46が穿設されている。そして、第2電極45は孔部46内を第1電極44に対する遠近方向に移動可能となっている。なお、孔部46における収容部14側の端部にはストッパ部47が形成されており、第2電極45が収容部14内に突出することが防止されるようになっている。ストッパ部47と第2電極45との間には負荷低減弾性体としての第2コイルバネ48が配設されており、第2コイルバネ48の両端部はストッパ部47及び第2電極45にそれぞれ固定されている。なお、第2コイルバネ48の弾性係数は、第1コイルバネ25の弾性係数よりも十分に大きく設定されている。
In the present embodiment, the
本実施形態でも、図5(a)に示すワイヤ13の非通電時には、可動弁体12の第1封止部21は第1流体流路15を封止しており、第2流体流路16と共通流体流路17とが連通する。そして、ワイヤ13に通電を開始すると、図5(b)に示すように、ワイヤ13の変形により可動弁体12及び第2電極45が付勢される。ここで、第1コイルバネ25の弾性係数は第2コイルバネ48の弾性係数よりも小さく設定されているので、第2電極45の移動よりも先に可動弁体12の移動が開始される。そして、可動弁体12の第2封止部22が第2流体流路16を封止した後、さらにワイヤ13により可動弁体12及び第2電極に付勢力が作用すると、第2コイルバネ48の伸長が開始される。これにより、ワイヤ13に過剰な負荷がかかることが抑制される。
Also in this embodiment, when the
本実施形態においても、第2電極をガイドパイプ11と相対移動可能に設けるとともに、ストッパ部47と第2電極45との間に第2コイルバネ48を配設した。これにより、形状記憶合金製のワイヤ13に過剰な負荷がかかるのを抑制することができ、形状記憶合金製のワイヤ13の形状再現性が損なわれることを抑止することが可能となる。この結果、経時劣化を抑制することができるので温度変化による形状の再現性を良くすることができ、ワイヤ13の通電による連通状態の切り替え精度を高めることができる。
Also in the present embodiment, the second electrode is provided so as to be movable relative to the
[他の実施形態]
上記第1実施形態では、ワイヤ13が収縮した場合にのみ被付勢部20に当接する構造としたが、ワイヤ13のV字部を可動弁体12に固定する構造としてもよい。この場合、ワイヤ13の伸長時にはワイヤ13によって可動弁体12が第1流体流路15側に付勢されるとともに、ワイヤ13の収縮時にはワイヤ13によって可動弁体12が第2流体流路16側に付勢されるようにワイヤ13の位置及び形状が設定される。これによっても、ワイヤ13への通電状態を切り替えることにより、流体流路の連通状態を切り替えることが可能となる。
[Other Embodiments]
In the first embodiment, the structure that abuts against the
上記各実施形態では、可動弁体12,30を駆動するアクチュエータとして形状記憶合金製の略V字状のワイヤ13を用いた。すなわち、形状記憶合金製のアクチュエータを線状体とした。しかし、形状記憶合金製のアクチュエータの形状はこれに限るものではなく、板状体等の形状としてもよい。
In each of the above embodiments, the substantially V-shaped
第3実施形態では、第1可動部32に凸部40を形成するとともに第2可動部33に凹部41を形成した。しかし、第1可動部32に凹部41を形成するとともに第2可動部33に凸部40を形成してもよい。
In the third embodiment, the
10 三方弁
11 ガイドパイプ
12 可動弁体
13 ワイヤ
14 収容部
15 第1流体流路
16 第2流体流路
17 共通流体流路
18 鍔部
19 貫通孔
20 被付勢部
21 第1封止部
22 第2封止部
23,24 開口部
25 第1コイルバネ
26 第1電極
27 第2電極
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記固定構造体内においてその軸方向に移動可能に収容された可動構造体と、
通電用の電極となる第1及び第2の電極と、
形状記憶合金により形成されるとともに、通電可能に前記第1及び第2の電極に接続され、熱による形状の変化により前記可動構造体を前記固定構造体の軸方向に付勢可能な第1付勢部材とを備え、
前記第1付勢部材への非通電時には、前記可動構造体が前記第1流体出入口を封止するとともに前記第2流体出入口と前記第3流体出入口とが連通し、
前記第1付勢部材への通電時には、前記第1付勢部材の形状の変化により前記可動構造体が変位して前記可動構造体が前記第2流体出入口を封止するとともに前記第1流体出入口と前記第3流体出入口とが連通することを特徴とする三方弁。 A cylindrical fixing structure in which first, second and third fluid ports are formed;
A movable structure housed movably in the axial direction in the fixed structure;
First and second electrodes to be energized electrodes;
A first attachment formed of a shape memory alloy, connected to the first and second electrodes so as to be energized, and capable of urging the movable structure in the axial direction of the fixed structure by a change in shape due to heat. A force member,
When the first biasing member is not energized, the movable structure seals the first fluid inlet / outlet and the second fluid inlet / outlet communicates with the third fluid inlet / outlet;
When the first urging member is energized, the movable structure is displaced due to a change in the shape of the first urging member so that the movable structure seals the second fluid inlet / outlet and the first fluid inlet / outlet. And the third fluid inlet / outlet communicate with each other.
前記第1付勢部材を略V字状に形成するとともに当該第1付勢部材の両端部を前記第1及び第2の電極にそれぞれ接続し、
前記第1付勢部材は略V字の折曲部近傍で当該可動構造体を付勢することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の三方弁。 The first and second electrodes are respectively provided at positions opposed to the peripheral wall portion in the cylindrical fixing structure,
Forming the first biasing member in a substantially V shape and connecting both ends of the first biasing member to the first and second electrodes, respectively;
The three-way valve according to claim 1 or 2, wherein the first urging member urges the movable structure in the vicinity of a substantially V-shaped bent portion.
前記第1付勢部材への非通電時に、前記可動構造体は前記第2付勢部材により前記第1流体出入口側に付勢されて前記第1流体出入口を封止することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の三方弁。 A second biasing member that biases the movable structure toward the first fluid inlet / outlet;
The said movable structure is urged | biased by the said 2nd urging | biasing member to the said 1st fluid inlet / outlet side at the time of the deenergization to the said 1st urging | biasing member, The said 1st fluid inlet / outlet is sealed, It is characterized by the above-mentioned. The three-way valve according to any one of claims 1 to 4.
前記第1流体出入口を封止する第1可動部と前記第2流体出入口を封止する第2可動部とを含んで前記可動構造体を構成するとともに前記第1可動部と第2可動部との間に前記負荷低減弾性体を設け、
前記第2付勢部材の弾性係数を前記負荷低減弾性体の弾性係数よりも小さく設定したことを特徴とする請求項5に記載の三方弁。 Forming the second biasing member with an elastic body;
The movable structure is configured to include a first movable part that seals the first fluid inlet / outlet and a second movable part that seals the second fluid inlet / outlet, and the first movable part and the second movable part, The load reducing elastic body is provided between
The three-way valve according to claim 5, wherein an elastic coefficient of the second urging member is set smaller than an elastic coefficient of the load reducing elastic body.
前記凸部が前記凹部に挿嵌された状態で、前記可動構造体が前記固定構造体の軸方向に移動可能であるとともに前記第1及び第2の可動部が相対的に移動可能であることを特徴とする請求項6に記載の三方弁。 A convex portion is provided on one of the first and second movable portions and a concave portion is provided on the other,
The movable structure is movable in the axial direction of the fixed structure and the first and second movable parts are relatively movable in a state where the convex portion is inserted into the concave portion. The three-way valve according to claim 6.
前記第1及び第2の電極を前記固定構造体に設けるとともに前記第1及び第2の電極の少なくとも一方を弾性体で形成し、
前記負荷低減弾性体を前記弾性体で形成した電極で構成し、
前記第2付勢部材の弾性係数を前記負荷低減弾性体の弾性係数よりも小さく設定したことを特徴とする請求項5に記載の三方弁。 Forming the second biasing member with an elastic body;
Providing the first and second electrodes on the fixed structure and forming at least one of the first and second electrodes with an elastic body;
The load reducing elastic body is composed of an electrode formed of the elastic body,
The three-way valve according to claim 5, wherein an elastic coefficient of the second urging member is set smaller than an elastic coefficient of the load reducing elastic body.
前記第1及び第2の電極の少なくとも一方を前記固定構造体に対して相対移動可能に設けるとともに、前記固定構造体に対して相対移動可能に設けた電極と前記固定構造体との間に前記負荷低減弾性体を設け、
前記第2付勢部材の弾性係数を前記負荷低減弾性体の弾性係数よりも小さく設定したことを特徴とする請求項5に記載の三方弁。 Forming the second biasing member with an elastic body;
At least one of the first and second electrodes is provided so as to be relatively movable with respect to the fixed structure, and between the fixed structure and the electrode provided to be relatively movable with respect to the fixed structure. Provide a load reducing elastic body,
The three-way valve according to claim 5, wherein an elastic coefficient of the second urging member is set smaller than an elastic coefficient of the load reducing elastic body.
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