JP2007057089A - Small valve - Google Patents

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JP2007057089A JP2006120351A JP2006120351A JP2007057089A JP 2007057089 A JP2007057089 A JP 2007057089A JP 2006120351 A JP2006120351 A JP 2006120351A JP 2006120351 A JP2006120351 A JP 2006120351A JP 2007057089 A JP2007057089 A JP 2007057089A
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亮彦 斎藤
Shigeru Douno
茂 堂埜
Ken Yamamoto
山本  憲
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Matsushita Electric Works Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To protect a shape memory alloy of a small valve using the shape memory alloy from overload, and increase durability and reliability of the valve. <P>SOLUTION: The small valve is equipped with a movable valve element 3 having a sealing part 5 internally coming into contact with a guide pipe 1 to close an orifice 2, a bias coil 8 installed between the orifice 2 and the movable valve element 3, and a wire 9 formed of the shape memory alloy held between a fixed electrode 11 of the guide pipe 1 and a movable electrode 12 of the movable valve element 3. The wire 9 is heated to deform the shape memory alloy so as to move the movable valve element 3 in order to close the orifice 2. A coiled spring 7 for stress reduction is disposed in the movable valve element 3 to elastically deform the movable valve element 3 so that an overload on the movable valve element 3 due to excessive contraction of the wire 9 can be absorbed by the elastic deformation of the movable valve element 3 itself. Therefore, reoccurrence of a memorized shape can be prevented from being deteriorated by reducing the overload of the shape memory alloy, and the durability and the reliability of the valve can be increased. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、形状記憶合金を使用した気体や液体など各種流体を制御する小型バルブに関する。   The present invention relates to a small valve for controlling various fluids such as gas and liquid using a shape memory alloy.

従来、この種の流体調整を行う小型バルブとして、例えば、特許文献1に示されるように、オリフィスを開閉する弁体のアクチュエータを形状記憶合金で形成し、このアクチュエータに通電することにより、弁体を変位させる常閉型及び常開型のバルブが知られている。このようなバルブの制御弁においては、オリフィスの密閉性を良くするために、オリフィスへの押圧を強くする必要性から、形状記憶合金のアクチュエータは、閉弁時、オリフィスに接触後も収縮し、さらにオリフィスを加圧している。また、アクチュエータの部品のバラツキによっても、同様にオリフィスが余分に加圧されることがある。しかしながら、この加圧によってオリフィスが圧接されることにより、逆に、アクチュエータは、バルブ本体に固定されているオリフィスから負荷を受けることになる。この負荷は、アクチュエータからオリフィスへの押圧が強いほど大きくなり、形状記憶合金に過負荷を与えることになる。   Conventionally, as a small valve that performs this type of fluid adjustment, for example, as disclosed in Patent Document 1, a valve body actuator that opens and closes an orifice is formed of a shape memory alloy, and the valve body is energized, There are known normally-closed and normally-open valves that displace the valve. In the control valve of such a valve, in order to improve the sealing performance of the orifice, it is necessary to increase the pressure on the orifice. Therefore, when the valve is closed, the actuator of the shape memory alloy contracts even after contacting the orifice, Furthermore, the orifice is pressurized. Similarly, the orifice may be excessively pressurized due to variations in actuator parts. However, when the orifice is pressed by this pressurization, the actuator receives a load from the orifice fixed to the valve body. This load becomes larger as the pressure from the actuator to the orifice becomes stronger, and an overload is applied to the shape memory alloy.

一般に、通電加熱型の形状記憶合金では、通常、常温では全長が伸びる伸長形状となり、直流又は交流電圧が印加されて通電されると自己発熱し、その温度がある温度以上の高温になると予め形状記憶された収縮形状となる。そして、温度を初期の状態に戻せば、元の形状に回復し、形状記憶合金の性質である回復形状の再現性を示す。しかしながら、形状記憶合金は、記憶形状状態で過剰な圧力が加えられると、その記憶形状がずれてきて回復形状の再現性が損なわれ、この繰り返しによる経時変化により、元の記憶形状状態に完全に復帰しないという傾向を持っている。   In general, an electrically heated shape memory alloy usually has an elongated shape that extends in length at normal temperature, self-heats when a DC or AC voltage is applied and is energized, and is pre-shaped when the temperature rises above a certain temperature. It becomes the memorized contraction shape. When the temperature is returned to the initial state, the original shape is recovered, and the reproducibility of the recovered shape, which is a property of the shape memory alloy, is shown. However, when an excessive pressure is applied to the shape memory alloy in the memory shape state, the memory shape shifts and the reproducibility of the recovery shape is impaired, and due to this change over time, the original memory shape state is completely restored. Has a tendency not to return.

このため、上記特許文献1に示されるバルブにおいても、オリフィスへの過剰な押圧により、アクチュエータの形状記憶合金が過負荷を受け、これが繰り返されることにより経時劣化し、初期設定した記憶形状状態が変形されてしまい、元の記憶形状に復帰しなくなる可能性があった。これにより、形状記憶合金の回復形状の再現性が劣化し、バルブの弁制御性能を低下させる虞があった。また、上記特許文献1に示される常開型バルブでは、形状記憶合金のアクチュエータを2本必要とし、構造が複雑でコスト高になる欠点があった。   For this reason, even in the valve shown in Patent Document 1 described above, the shape memory alloy of the actuator is overloaded by excessive pressing on the orifice, and this is repeated to cause deterioration over time, and the initially set memory shape state is deformed. As a result, the original memory shape may not be restored. As a result, the reproducibility of the recovery shape of the shape memory alloy is deteriorated, and the valve control performance of the valve may be lowered. Further, the normally open valve disclosed in Patent Document 1 requires two shape memory alloy actuators, and has a drawback that the structure is complicated and the cost is high.

なお、他の従来例として、特許文献2に示されるように、形状記憶合金で形成されたコイルバネが一定温度以上になると伸長し、バイアスバネのバイアス力に打ち勝って開弁状態にある弁体を押圧して、強制的に閉弁させるバルブがある。しかし、このバルブは、コイルバネ形状であるため、外形が大きくなり、小型化が困難であった。また、一定の力を出すために形状記憶合金のコイルバネの線形を太くすると、コイルバネの熱容量が増えるため、放熱時の応答性が悪くなる虞があった。さらに、他の従来例として、特許文献3に示すように、形状記憶合金製のワイヤを用いて、常開型のバルブの閉動作を実現する小型バルブが知られている。しかし、このバルブでは、ワイヤの折り返し部で温度分布が生じるため、熱応力による耐久性の劣化をもたらす虞があった。また、ワイヤが動作限まで動いた後は、形状記憶合金に過負荷が掛かるため、前述と同様に、形状記憶合金に経時劣化を発生させる問題があった。
特開平05−99369号公報 特開平09−313363号公報 特開平11−153234号公報
As another conventional example, as shown in Patent Document 2, when a coil spring formed of a shape memory alloy reaches a certain temperature or more, it elongates and overcomes the bias force of the bias spring to open the valve body in a valve open state. There is a valve that is pressed to forcibly close the valve. However, since this valve has a coil spring shape, the outer shape becomes large and it is difficult to reduce the size. Further, if the shape of the shape memory alloy coil spring is made thicker in order to produce a certain force, the heat capacity of the coil spring increases, and there is a possibility that the responsiveness at the time of heat radiation may deteriorate. Furthermore, as another conventional example, as shown in Patent Document 3, a small valve that realizes a closing operation of a normally open valve using a wire made of a shape memory alloy is known. However, in this valve, temperature distribution is generated at the folded portion of the wire, and there is a possibility that durability is deteriorated due to thermal stress. In addition, after the wire moves to the operation limit, the shape memory alloy is overloaded, and there is a problem that the shape memory alloy deteriorates with time as described above.
JP 05-99369 A JP 09-313363 A JP-A-11-153234

本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、筒形状でオリフィスを内蔵する固定構造物と、固定構造物に内接してオリフィスを封止する封止体を備える可動自在な可動構造体を備え、形状記憶合金のワイヤを加熱し変形してオリフィスを封止する小型バルブにおいて、封止体を含む可動構造体の長さを弾性的に変形可能とし、ワイヤの加熱時の応力負荷を可動構造体の弾性変形により低減することにより、形状記憶合金の再現性の経時劣化を無くして耐久性を維持し、信頼性の高い小型バルブを提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problem, and is movable and includes a fixed structure that has a cylindrical shape and has an orifice built therein, and a sealing body that is inscribed in the fixed structure and seals the orifice. In a small valve that includes a movable structure and heats and deforms the shape memory alloy wire to seal the orifice, the length of the movable structure including the sealing body can be elastically deformed. An object of the present invention is to provide a highly reliable small valve that maintains the durability by reducing the stress load by elastic deformation of the movable structure, thereby eliminating the deterioration of the reproducibility of the shape memory alloy with the passage of time.

上記目的を達成するために請求項1の発明は、筒形状でオリフィスを有する固定構造物と、前記固定構造物に内接して可動自在に前記オリフィスを封止する封止体を有する可動自在な可動構造体と、通電用の電極となる第1電極及び第2電極と、前記第1電極と第2電極とによって保持される形状記憶合金のワイヤとを備え、前記第1電極と第2電極とに通電し、前記ワイヤを加熱して形状記憶合金を変形させることにより、前記可動構造体を可動させて、前記オリフィスを封止する小型バルブであって、前記封止体を含む可動構造体は、その長さが弾性的に変形可能に構成され、かつ、該可動構造体の弾性変形により前記形状記憶合金の加熱時の応力負荷が低減されるように構成されているものである。   In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is a movable structure having a cylindrical fixed structure having an orifice and a sealing body that is inscribed in the fixed structure and movably seals the orifice. A movable structure; a first electrode and a second electrode serving as energization electrodes; and a shape memory alloy wire held by the first electrode and the second electrode, the first electrode and the second electrode A small valve that moves the movable structure and seals the orifice by heating the wire and deforming the shape memory alloy, the movable structure including the seal Is configured such that its length is elastically deformable, and the stress load during heating of the shape memory alloy is reduced by elastic deformation of the movable structure.

請求項2の発明は、請求項1に記載の小型バルブにおいて、前記可動構造体の一部又は全部が弾性体材料からなるものである。   According to a second aspect of the present invention, in the small valve according to the first aspect, a part or all of the movable structure is made of an elastic material.

請求項3の発明は、請求項1に記載の小型バルブにおいて、前記可動構造体がバネ体を具備してなるものである。   According to a third aspect of the present invention, in the small valve according to the first aspect, the movable structure includes a spring body.

請求項4の発明は、請求項3に記載の小型バルブにおいて、前記バネ体は、前記固定構造体に外接して配設されているものである。   According to a fourth aspect of the present invention, in the small valve according to the third aspect, the spring body is disposed so as to circumscribe the fixed structure.

請求項5の発明は、請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の小型バルブにおいて、前記第2電極の一端が前記固定構造物に接続されるとともに、他端がワイヤに接続され、その両端の間で前記可動構造体に接触し、該電極が撓むことにより前記可動構造体を移動させるものである。   The invention according to claim 5 is the small valve according to any one of claims 1 to 4, wherein one end of the second electrode is connected to the fixed structure and the other end is connected to a wire. The movable structure is moved between the two ends by contacting the movable structure and bending the electrode.

請求項6の発明は、請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の小型バルブにおいて、前記第1電極は、前記固定構造物に固定された固定電極であり、前記第2電極は、前記可動構造体に接続された可動電極であるものである。   The invention according to claim 6 is the small valve according to any one of claims 1 to 5, wherein the first electrode is a fixed electrode fixed to the fixed structure, and the second electrode is the The movable electrode is connected to the movable structure.

請求項7の発明は、請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の小型バルブにおいて、前記第1電極は、前記固定構造物の所定部位に固定された固定電極であり、前記第2電極は、前記固定構造体の前記所定部位とは別の部位に固定された固定電極であり、前記ワイヤの中央部で前記可動構造体の端部を押圧し、前記ワイヤの伸縮方向が前記可動構造体の移動方向と直交するものである。   The invention according to claim 7 is the small valve according to any one of claims 1 to 4, wherein the first electrode is a fixed electrode fixed to a predetermined portion of the fixed structure, and the second electrode Is a fixed electrode fixed to a part different from the predetermined part of the fixed structure, pressing the end of the movable structure at the center of the wire, and the expansion and contraction direction of the wire is the movable structure It is orthogonal to the direction of body movement.

請求項8の発明は、請求項7に記載の小型バルブにおいて、前記端部は、前記可動構造体とワイヤとに接触する接触部を有し、前記接触部は、樹脂を被覆した金属で構成されているものである。   The invention according to claim 8 is the small valve according to claim 7, wherein the end portion has a contact portion that contacts the movable structure and the wire, and the contact portion is made of a metal coated with a resin. It is what has been.

請求項9の発明は、請求項7又は請求項8に記載の小型バルブにおいて、前記第1電極および第2電極の表面に樹脂を被覆してなるものである。   The invention according to claim 9 is the small valve according to claim 7 or 8, wherein the first electrode and the second electrode are coated with a resin.

請求項1の発明によれば、可動構造体の弾性変形によるクッション効果により、加熱時のバルブ閉鎖時の形状記憶合金への過負荷を低減することができる。これにより、形状記憶合金のワイヤへの過剰な加圧による過負荷を防止することができるので、形状記憶合金の形状記憶の再現性を損なわず、耐久性が維持され、小型バルブの信頼性を高めることができる。   According to the first aspect of the invention, the overload on the shape memory alloy when the valve is closed during heating can be reduced by the cushioning effect due to the elastic deformation of the movable structure. As a result, overloading due to excessive pressurization of the shape memory alloy wire can be prevented, so the durability of the shape memory alloy can be maintained without impairing the reproducibility of the shape memory of the shape memory alloy, and the reliability of the small valve can be improved. Can be increased.

請求項2の発明によれば、可動構造体と過負荷低減弾性体とを1つにすることができ、部品点数を低減することができる。   According to invention of Claim 2, a movable structure and an overload reduction elastic body can be made into one, and a number of parts can be reduced.

請求項3の発明によれば、可動構造体の弾性機能を弾性部品として弾性スペックが明確であるバネで形成することができるので、可動構造体の弾性機能の設計を精度良くすることができる。   According to the invention of claim 3, since the elastic function of the movable structure can be formed as an elastic part with a spring having a clear elastic specification, the design of the elastic function of the movable structure can be made with high accuracy.

請求項4の発明によれば、バネ体が固定構造体の外部に出るので、第1電極と第2電極間の形状記憶合金のワイヤをバネ体を通さずに接続でき、小型バルブの製造を容易にすることができる。   According to the invention of claim 4, since the spring body comes out of the fixed structure, the wire of the shape memory alloy between the first electrode and the second electrode can be connected without passing through the spring body. Can be easily.

請求項5の発明によれば、可動電極の一端が固定されているので、通電用のリード線と可動電極との接続を強化でき、接続の信頼性を高めることができる。   According to the invention of claim 5, since one end of the movable electrode is fixed, the connection between the lead wire for energization and the movable electrode can be strengthened, and the reliability of the connection can be improved.

請求項6の発明によれば、形状記憶合金のワイヤの一端を確実に固定位置に固定でき、他端で可動構造体を引っ張ることができるので、通電時の形状記憶合金の収縮変動を確実に可動構造体に伝達することができる。これにより、通電時にバルブを閉鎖し、非通電時にバルブを開放する構造(ノーマルオープン構造)をシンプルに構成することができる。   According to the sixth aspect of the present invention, one end of the wire of the shape memory alloy can be reliably fixed at the fixed position, and the movable structure can be pulled at the other end, so that the contraction variation of the shape memory alloy during energization is ensured. It can be transmitted to the movable structure. Thereby, the structure (normal open structure) which closes a valve | bulb at the time of electricity supply, and opens a valve | bulb at the time of non-energization can be comprised simply.

請求項7の発明によれば、形状記憶合金のワイヤの少しの収縮で大きな可動構造体の変動のストロークを得ることができる。このため、可動構造体の必要ストロークに対し、形状記憶合金のワイヤの長さを短くできる。また、ワイヤの両端が接続される電極が可動せず固定されているので、電極に接続される通電用のリード線と電極との接続信頼性を向上することができる。   According to the invention of claim 7, a large stroke of fluctuation of the movable structure can be obtained by a slight contraction of the wire of the shape memory alloy. For this reason, the length of the wire of shape memory alloy can be shortened with respect to the required stroke of the movable structure. In addition, since the electrode to which both ends of the wire are connected is fixed without being moved, the connection reliability between the lead wire for energization connected to the electrode and the electrode can be improved.

請求項8の発明によれば、通電により発生したワイヤの熱の接触部へ熱伝導が低減され、ワイヤから固定構造物への熱放散を抑制することができるので、通電による形状記憶合金の収縮効率を向上し、可動構造体の可動応答速度を高めることができる。また、金属部材使用により、接触部の強度を確保できると共に、接触部を低価格化することができる。   According to the eighth aspect of the present invention, the heat conduction to the heat contact portion of the wire generated by energization is reduced, and heat dissipation from the wire to the fixed structure can be suppressed. Efficiency can be improved and the movable response speed of the movable structure can be increased. In addition, the strength of the contact portion can be secured by using the metal member, and the price of the contact portion can be reduced.

請求項9の発明によれば、ワイヤから固定構造物への熱放散をさらに抑制することができるので、通電による可動構造体の可動応答速度をさらに高めることができる。   According to the ninth aspect of the present invention, since heat dissipation from the wire to the fixed structure can be further suppressed, the movable response speed of the movable structure by energization can be further increased.

以下、本発明の第1の実施形態に係る小型バルブについて、図1及び図2(a)、(b)、(c)を参照して説明する。これらの図において、小型バルブ10は、金属製又は樹脂製の筒形状のガイドパイプ1(固定構造物)と、ガイドパイプ1に内蔵された金属製又は樹脂製のオリフィス2と、ガイドパイプ1に内接する第1可動部4と第2可動部6を有し可動自在にオリフィス2を封止する可動弁体3(可動構造体)と、ガイドパイプ1に内接し第1可動部4の一部に外接して可動弁体3とオリフィス2との間に設けられたバイアス用バネのバイアスコイル8(バイアス弾性体)と、第1可動部4と第2可動部6の間に設けられたガイドパイプ1に固定された固定電極11(第1電極)と、可動弁体3の第2可動部6側の端末に設置された可動電極12(第2電極)と、固定電極11と可動電極12とによって保持される形状記憶合金(または形状記憶樹脂、形状記憶ゴム等)のワイヤ9とを備える。ここでの形状記憶合金は、ある温度以上になると収縮する通電発熱型(例えば、Ti―Ni系形状記憶合金)のものが用いられる。   Hereinafter, a small valve according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2A, 2B, and 2C. In these drawings, a small valve 10 is formed of a metal or resin cylindrical guide pipe 1 (fixed structure), a metal or resin orifice 2 built in the guide pipe 1, and a guide pipe 1. A movable valve body 3 (movable structure) having a first movable portion 4 and a second movable portion 6 that are inscribed, and movably sealing the orifice 2, and a part of the first movable portion 4 that is inscribed in the guide pipe 1. A bias coil 8 (bias elastic body) of a bias spring provided between the movable valve body 3 and the orifice 2 and a guide provided between the first movable part 4 and the second movable part 6. A fixed electrode 11 (first electrode) fixed to the pipe 1, a movable electrode 12 (second electrode) installed at a terminal on the second movable portion 6 side of the movable valve body 3, a fixed electrode 11 and a movable electrode 12 Shape memory alloy (or shape memory resin, And a wire 9 of Jo storage rubber). As the shape memory alloy here, an energization heat generation type (for example, a Ti—Ni-based shape memory alloy) that contracts at a certain temperature or higher is used.

可動弁体3は、第1可動部4のオリフィス2側の先端にオリフィス2を封止する樹脂又はゴム製の封止部5(封止体)を有し、第1可動部4と第2可動部6の間に加熱時のワイヤ9の形状記憶合金への応力負荷を低減するコイルバネ7(過負荷低減弾性体)を備えている。形状記憶合金は、ある温度以上になると収縮する仕様のものを用いているので、直流電圧を印加して通電すると、自己発熱して温度が上昇し、ある温度以上になると予め記憶された収縮形状に形状を回復する。この形状回復力は、バイアスコイル8及びコイルバネ7の弾発力に比べて著しく大きなものである。また、コイルバネ7の弾性係数k2は、後述するように、バイアスコイル8の弾性係数k1より小さく設定されている。   The movable valve body 3 has a sealing part 5 (sealing body) made of resin or rubber that seals the orifice 2 at the tip of the first movable part 4 on the orifice 2 side. A coil spring 7 (overload reducing elastic body) that reduces the stress load on the shape memory alloy of the wire 9 during heating is provided between the movable parts 6. The shape memory alloy uses a specification that shrinks when the temperature exceeds a certain temperature, so when a DC voltage is applied and energized, it self-heats and the temperature rises. Recover shape. This shape recovery force is significantly larger than the elastic force of the bias coil 8 and the coil spring 7. The elastic coefficient k2 of the coil spring 7 is set smaller than the elastic coefficient k1 of the bias coil 8, as will be described later.

第1可動部4は、ガイドパイプ1に内接する第1円柱部41と、第1円柱部41からオリフィス2の方向に伸びる第1円柱部41より小さい外形の第2円柱部42を備えている。第2円柱部42は、その先端にオリフィス2を封止するための樹脂製又はゴム製の封止部5を有する。第1円柱部41のオリフィス2側の側面は、バイアスコイル8によりオリフィス2と反対方向に押圧を受けて、第1可動部4がオリフィス2から離される。これにより、図2(a)に示すように、通常の通電が無い状態では、封止部5がオリフィス2を閉弁しないように、オリフィス2と封止部5の間に間隔が開けられる(常開型:ノーマリオープン)。   The first movable part 4 includes a first cylindrical part 41 that is inscribed in the guide pipe 1 and a second cylindrical part 42 that has an outer shape smaller than the first cylindrical part 41 that extends from the first cylindrical part 41 toward the orifice 2. . The second cylindrical portion 42 has a sealing portion 5 made of resin or rubber for sealing the orifice 2 at the tip thereof. The side surface on the orifice 2 side of the first cylindrical portion 41 is pressed in the direction opposite to the orifice 2 by the bias coil 8, and the first movable portion 4 is separated from the orifice 2. Thereby, as shown to Fig.2 (a), in the state without normal electricity supply, a space | interval is opened between the orifice 2 and the sealing part 5 so that the sealing part 5 does not close the orifice 2 ( Normally open type: normally open).

上記構成において、固定電極11と可動電極12に通電してワイヤ9を加熱され、ある温度以上になると形状記憶合金のワイヤ9が収縮して変形する。このとき、ワイヤ9の一端は、ガイドパイプ1に固定の固定電極11に接続されて移動せず、ワイヤ9の他端は第2可動部6の可動電極12に接続されて、第2可動部6とともに移動する。従って、ワイヤ9の収縮により第2可動部6が移動し、この移動がコイルバネ7を圧迫し、さらにコイルバネ7が第1可動部4をオリフィス2側に押圧して移動させ、バイアスコイル8をオリフィス2側に押し付ける。そして、第1可動部4の先端の封止部5が、オリフィス2を圧接封止した状態で止まる。これにより、図2(b)に示すように、オリフィス2が閉弁される。   In the above configuration, the wire 9 is heated by energizing the fixed electrode 11 and the movable electrode 12, and when the temperature exceeds a certain temperature, the shape memory alloy wire 9 contracts and deforms. At this time, one end of the wire 9 is connected to the fixed electrode 11 fixed to the guide pipe 1 and does not move, and the other end of the wire 9 is connected to the movable electrode 12 of the second movable part 6, and the second movable part Move with 6. Accordingly, the second movable portion 6 moves due to the contraction of the wire 9, and this movement presses the coil spring 7, and the coil spring 7 presses and moves the first movable portion 4 toward the orifice 2, and the bias coil 8 is moved to the orifice. Press on the 2 side. Then, the sealing portion 5 at the tip of the first movable portion 4 stops in a state where the orifice 2 is pressure-sealed. Thereby, as shown in FIG.2 (b), the orifice 2 is closed.

一方、固定電極11と可動電極12間の通電を止めると、形状記憶合金のワイヤ9の温度が低下し、元の温度に戻るとワイヤ9が伸長し、前記と逆の作用により、図2(a)に示すように、第1可動部4が元の位置に戻り、封止部5がオリフィス2から離れ、オリフィス2が開放される。   On the other hand, when the energization between the fixed electrode 11 and the movable electrode 12 is stopped, the temperature of the shape memory alloy wire 9 decreases, and when it returns to the original temperature, the wire 9 expands. As shown to a), the 1st movable part 4 returns to an original position, the sealing part 5 leaves | separates from the orifice 2, and the orifice 2 is open | released.

上記の構成において、オリフィス2が封止部5により接触されて封止された後、より強く密閉するために、さらにワイヤ9が収縮して封止部5がオリフィス2を圧接する。この圧接は、ワイヤ9の部品バラツキにより多少変化するので、この部品バラツキを含めワイヤ9の収縮を予め大きく設定する。そして、封止部5がオリフィス2を圧接されると、バイアスコイル8は、ガイドパイプ1のオリフィス2側の端面と第1可動部4の間に押さえつけられて、それ以上収縮できない状態になる。この時点で、バイアスコイル8に代わり、弾性係数k2の小さいコイルバネ7が収縮を始める。   In the above configuration, after the orifice 2 is contacted and sealed by the sealing portion 5, the wire 9 further contracts and the sealing portion 5 presses the orifice 2 in order to seal stronger. Since this pressure contact changes somewhat due to the component variation of the wire 9, the contraction of the wire 9 including the component variation is set large in advance. When the sealing portion 5 is brought into pressure contact with the orifice 2, the bias coil 8 is pressed between the end surface of the guide pipe 1 on the orifice 2 side and the first movable portion 4, and cannot be further contracted. At this time, instead of the bias coil 8, the coil spring 7 having a small elastic coefficient k2 starts to contract.

この様子を以下に説明する。ワイヤ9の収縮力をFとし、バネの収縮長さをxとし、弾性係数をkとし、外部圧力のない状態の長さをLとすると、収縮されたバネの長さLは、
L=−x+L(Lは収縮前の長さ)
で表される。バイアスコイル8とコイルバネ7の各収縮後の長さL1及びL2とし、収縮前の長さをLa、Lbとし、それぞれのバネの弾性係数をk1、k2とすると、
F=−kxの関係より、
L1=−x+La=―F/k1+La
L2=−x+Lb=―F/k2+Lb
となる。このL1、L2と収縮力Fの関係を図2(c)に示す。ここで、バイアスコイル8の弾性係数k1は、コイルバネ7の弾性係数k2より大きくしている。これにより、バイアスコイル8は、コイルバネ7より先に収縮し、コイルバネ7は、封止部5がオリフィス2に接触するまでの収縮力Frまでは殆ど収縮せず、接触後、さらにオリフィス2に収縮力Fが加わると収縮を始める。
This will be described below. When the contraction force of the wire 9 is F, the contraction length of the spring is x, the elastic coefficient is k, and the length without external pressure is L, the length L of the contracted spring is
L = −x + L 0 (L 0 is the length before contraction)
It is represented by When the bias coil 8 and the coil spring 7 have lengths L1 and L2 after contraction, the lengths before contraction are La and Lb, and the elastic coefficients of the springs are k1 and k2, respectively.
From the relationship F = −kx,
L1 = −x + La = −F / k1 + La
L2 = −x + Lb = −F / k2 + Lb
It becomes. The relationship between the L1, L2 and the contraction force F is shown in FIG. Here, the elastic coefficient k1 of the bias coil 8 is larger than the elastic coefficient k2 of the coil spring 7. As a result, the bias coil 8 contracts before the coil spring 7, and the coil spring 7 hardly contracts until the contraction force Fr until the sealing portion 5 contacts the orifice 2, and further contracts to the orifice 2 after the contact. When force F is applied, it starts to contract.

このコイルバネ7の収縮は、ワイヤ9に直接に過負荷が掛かるのを緩和するクッション効果の役目を果し、ワイヤ9への過剰な負荷を低減することができる。このため、形状記憶合金への過負荷を避けることができるので、ワイヤ9の高温時に設定された記憶形状を変形させることを防止することができ、形状記憶合金は、常に元の記憶された形状に復帰することができ、ワイヤ9の経時劣化を無くすことができるので温度変化による形状記憶の再現性を良くすることができる。また、ワイヤ9の通電によるオリフィス2の開閉弁の再現性を精度良く行うことができる。   The contraction of the coil spring 7 plays a role of a cushioning effect that alleviates the overload directly applied to the wire 9, and the excessive load on the wire 9 can be reduced. For this reason, since the overload to the shape memory alloy can be avoided, it is possible to prevent the memory shape set at the time of high temperature of the wire 9 from being deformed, and the shape memory alloy always has the original memorized shape. Since the deterioration of the wire 9 over time can be eliminated, the reproducibility of the shape memory due to the temperature change can be improved. Further, the reproducibility of the opening / closing valve of the orifice 2 by energization of the wire 9 can be accurately performed.

このように、オリフィス2と可動弁体3の間に設けたバイアスコイル8と、可動弁体3の中に設けた過負荷低減用のコイルバネ7とを直列状に配設し、バイアスコイル8の弾性係数k1をコイルバネ7の弾性係数k2より大きくしたことにより、小型バルブ10の閉弁時に、可動弁体3を弾性変形させることができる。これにより、閉弁時のワイヤ9の収縮応力による形状記憶合金自身への過負荷を低減することができ、この形状記憶合金の記憶形状の再現性の経時劣化を防ぎ、その耐久性を向上し、小型バルブ10の信頼性を高めることができる。   In this manner, the bias coil 8 provided between the orifice 2 and the movable valve body 3 and the overload reducing coil spring 7 provided in the movable valve body 3 are arranged in series, and the bias coil 8 By making the elastic coefficient k1 larger than the elastic coefficient k2 of the coil spring 7, the movable valve body 3 can be elastically deformed when the small valve 10 is closed. Thereby, the overload on the shape memory alloy itself due to the contraction stress of the wire 9 at the time of valve closing can be reduced, the deterioration of the reproducibility of the memory shape of this shape memory alloy with time is prevented, and the durability is improved. The reliability of the small valve 10 can be improved.

次に、本発明の第2の実施形態に係る小型バルブについて、図3(a)、(b)、(c)を参照して説明する。本実施形態の小型バルブ10は、可動弁体3の一部又は全部に弾性体材料を用いた点で前記実施形態と異なる。   Next, a small valve according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 (a), (b), and (c). The small valve 10 of the present embodiment is different from the above embodiment in that an elastic material is used for a part or all of the movable valve body 3.

小型バルブ10は、金属製又は樹脂製の筒形状のガイドパイプ1(固定構造物)と、ガイドパイプ1に内蔵された金属製又は樹脂製のオリフィス2と、ガイドパイプ1に内接して可動自在にオリフィス2を封止する可動弁体3aと、ガイドパイプ1内の可動弁体3aと外接するバイアス用のコイルバネ8(バイアス弾性体)と、ガイドパイプ1に固定された固定電極11(第1電極)と、可動弁体3aにおけるオリフィス2と反対側の端部に設置された可動電極12(第2電極)と、固定電極11と可動電極12とによって保持される形状記憶合金のワイヤ9とを備える。この形状記憶合金は、ある温度以上になると収縮する上述と同様の通電発熱型のものが用いられる。可動弁体3aは、可動部4aとオリフィス2を封止する樹脂又はゴム製の封止部5を備える。   The small valve 10 is movable while inscribed in the guide pipe 1 and a cylindrical guide pipe 1 (fixed structure) made of metal or resin, a metal or resin orifice 2 built in the guide pipe 1, and the guide pipe 1. A movable valve body 3a for sealing the orifice 2 at the same time, a biasing coil spring 8 (bias elastic body) circumscribing the movable valve body 3a in the guide pipe 1, and a fixed electrode 11 (first electrode) fixed to the guide pipe 1 Electrode), a movable electrode 12 (second electrode) installed at the end of the movable valve body 3a opposite to the orifice 2, and a shape memory alloy wire 9 held by the fixed electrode 11 and the movable electrode 12; Is provided. As this shape memory alloy, an energization heat generation type similar to that described above, which shrinks at a certain temperature or higher is used. The movable valve body 3 a includes a resin or rubber sealing portion 5 that seals the movable portion 4 a and the orifice 2.

可動部4aは、樹脂材やゴム材等の弾性体材料で構成され、その中心部でガイドパイプ1に内接する円筒部44と、円筒部44から両側に伸びる円筒部44より直径の小さい主円筒部43と、主円筒部43の一端からオリフィス2の方向に伸びる円柱部45とを備える。ガイドパイプ1は、可動弁体3aの中心部の円筒部44と内接する円筒の主空洞1aと、主空洞1a内からオリフィス2の方向に伸延してオリフィス2に連結する主空洞1aより小径の円筒の小空洞1bを有する。可動部4aの主円筒部43は、小空洞1bに内接し、その一端の円柱部45の先端には、オリフィス2を封止する封止部5を有する。バイアスコイル8は、ガイドパイプ1内の主空洞1aの小空洞1b側の端部と可動部4aの円筒部44との間に、主円筒部43に外接して設けられる。円筒部44のオリフィス2側の側面は、バイアスコイル8からのバイアス用の押圧を受けて、可動弁体3a全体をオリフィス2と反対側に押圧する。これにより、通常は、封止部5がオリフィス2を閉弁しないよう、図3(a)に示すように、オリフィス2と封止部5の間に間隔が空くように設定されている。また、可動部4aが、弾性体材料で形成されているので、押圧により、それ自体で収縮し、可動弁体3aは、全体として弾性を示すことになる。   The movable portion 4a is made of an elastic material such as a resin material or a rubber material, and has a cylindrical portion 44 inscribed in the guide pipe 1 at the center thereof, and a main cylinder having a smaller diameter than the cylindrical portion 44 extending from the cylindrical portion 44 to both sides. A portion 43 and a column portion 45 extending from one end of the main cylindrical portion 43 toward the orifice 2. The guide pipe 1 has a cylindrical main cavity 1 a inscribed in the cylindrical portion 44 at the center of the movable valve body 3 a and a smaller diameter than the main cavity 1 a extending from the main cavity 1 a toward the orifice 2 and connected to the orifice 2. It has a cylindrical small cavity 1b. The main cylindrical portion 43 of the movable portion 4a is inscribed in the small cavity 1b, and has a sealing portion 5 for sealing the orifice 2 at the tip of the cylindrical portion 45 at one end thereof. The bias coil 8 is provided so as to circumscribe the main cylindrical portion 43 between the end portion of the main cavity 1a in the guide pipe 1 on the small cavity 1b side and the cylindrical portion 44 of the movable portion 4a. The side surface on the orifice 2 side of the cylindrical portion 44 receives the biasing pressure from the bias coil 8 and presses the entire movable valve body 3 a to the opposite side of the orifice 2. Thereby, normally, as shown to Fig.3 (a), it sets so that the space | interval may be left between the orifice 2 and the sealing part 5 so that the sealing part 5 may not close the orifice 2. FIG. Moreover, since the movable part 4a is formed with the elastic body material, it contracts by itself by press, and the movable valve body 3a will show elasticity as a whole.

上記構成において、固定電極11と可動電極12に通電してワイヤ9を加熱すると、温度上昇により、通電発熱型の形状記憶合金のワイヤ9が変形し、ワイヤ9の長さが収縮する。このとき、ワイヤ9の一方が接続されている固定電極11は、ガイドパイプ1に固定されているので移動しないが、ワイヤ9の他方が接続されている可動電極12は、可動部4aに接続されているので、この可動部4aとともに移動する。従って、ワイヤ9の収縮により可動部4aは、バイアスコイル8を圧縮し、可動部4aの先端の封止部5が、オリフィス2を接触し封止した状態で止まる。これにより、図3(b)に示すように、オリフィス2が閉鎖される。   In the above configuration, when the fixed electrode 11 and the movable electrode 12 are energized to heat the wire 9, the wire 9 of the heat generation type shape memory alloy is deformed due to the temperature rise, and the length of the wire 9 is contracted. At this time, the fixed electrode 11 to which one of the wires 9 is connected does not move because it is fixed to the guide pipe 1, but the movable electrode 12 to which the other of the wires 9 is connected is connected to the movable portion 4a. Therefore, it moves with this movable part 4a. Therefore, the movable portion 4a compresses the bias coil 8 due to the contraction of the wire 9, and the sealing portion 5 at the tip of the movable portion 4a stops in a state where the orifice 2 is in contact with and sealed. Thereby, as shown in FIG.3 (b), the orifice 2 is closed.

一方、固定電極11と可動電極12間の通電を止めると、形状記憶合金のワイヤ9の温度が低下し、元の温度に戻るとワイヤ9が伸長し、前記と逆の作用により、図3(a)に示すように、弾性体の可動部4aが元の位置に戻り、封止部5がオリフィス2から離れ、オリフィス2が開放される。   On the other hand, when the energization between the fixed electrode 11 and the movable electrode 12 is stopped, the temperature of the shape memory alloy wire 9 decreases, and when it returns to the original temperature, the wire 9 expands. As shown to a), the movable part 4a of an elastic body returns to the original position, the sealing part 5 leaves | separates from the orifice 2, and the orifice 2 is open | released.

前述と同様に、バイアスコイル8の弾性係数k1を、可動部4aの弾性体の弾性係数k3より大きくする。これにより、バイアスコイル8は、弾性体の可動部4aより先に収縮し、弾性体の可動部4aは、封止部5がオリフィス2に接触するまでの収縮力では殆ど収縮せず、接触後、さらにオリフィス2に収縮力が加わると収縮を始める。   Similarly to the above, the elastic coefficient k1 of the bias coil 8 is made larger than the elastic coefficient k3 of the elastic body of the movable part 4a. As a result, the bias coil 8 contracts before the movable portion 4a of the elastic body, and the movable portion 4a of the elastic body hardly contracts by the contraction force until the sealing portion 5 contacts the orifice 2, and after the contact When the contraction force is further applied to the orifice 2, the contraction starts.

そして、オリフィス2が封止部5により接触されて圧接された後、より強く密閉するために、さらにワイヤ9が収縮して封止部5がオリフィス2を圧迫すると、バイアスコイル8は、封止部5とオリフィス2とが既に接触しているのでそれ以上収縮できない。このとき、ワイヤ9の収縮の圧力を受けて、弾性体である可動部4aが収縮を始め、図3(c)に示すように、弓形のように曲がってオリフィス2を封止する。この変形により、ワイヤ9の収縮によるオリフィス2への過剰な圧力によるオリフィス2からのワイヤ9自身への過負荷を低減することができる。   Then, after the orifice 2 is brought into contact with the sealing portion 5 and pressed, the wire 9 further contracts and the sealing portion 5 presses the orifice 2 in order to tightly seal the bias coil 8. Since the part 5 and the orifice 2 are already in contact with each other, it cannot be further contracted. At this time, the movable part 4a, which is an elastic body, starts to contract under the contraction pressure of the wire 9, and bends like an arcuate shape to seal the orifice 2 as shown in FIG. By this deformation, it is possible to reduce overload on the wire 9 itself from the orifice 2 due to excessive pressure on the orifice 2 due to contraction of the wire 9.

このように、可動部4aを弾性体材料で形成したことにより、過剰な負荷に対して可動部4a自体を収縮させることができ、可動部4aは、ワイヤ9に直接過負荷が掛かるのを緩和するクッション効果の役目を果し、ワイヤ9への過剰な負荷を低減することができる。従って、可動弁体3aを過負荷低減作用を兼ね備えるよう可動部4aの過負荷低減弾性体を一体化したことにより、小型バルブ10の信頼性を高めると共に、小型バルブの部品点数を低減することができる。ここでは、可動弁体3aの全体を弾性体材料で形成したが、その一部を弾性体材料で形成しても同様の効果を得ることができる。   As described above, the movable portion 4a is made of an elastic material, so that the movable portion 4a itself can be contracted with respect to an excessive load, and the movable portion 4a reduces the direct overload on the wire 9. It plays the role of a cushioning effect, and an excessive load on the wire 9 can be reduced. Therefore, by integrating the overload reducing elastic body of the movable portion 4a so that the movable valve body 3a also has an overload reducing action, the reliability of the small valve 10 can be improved and the number of parts of the small valve can be reduced. it can. Here, the entire movable valve body 3a is formed of an elastic material, but the same effect can be obtained even if a part of the movable valve body 3a is formed of an elastic material.

次に、本発明の第3の実施形態に係る小型バルブについて、図4(a)、(b)、(c)を参照して説明する。本実施形態の小型バルブ10は基本的には、前記実施形態の図3と同等であり、可動弁体3bの封止部5を弾性体材料を用いて形成した点で前記実施形態と異なる。   Next, a small valve according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 (a), (b), and (c). The small valve 10 of this embodiment is basically the same as that of FIG. 3 of the above embodiment, and differs from the above embodiment in that the sealing portion 5 of the movable valve body 3b is formed using an elastic material.

図4(a)において、小型バルブ10は、金属製又は樹脂製の筒形状のガイドパイプ1(固定構造物)と、ガイドパイプ1に内蔵された金属製又は樹脂製のオリフィス2と、ガイドパイプ1に内接して可動自在にオリフィス2を封止する可動弁体3bと、この可動弁体3bと外接するバイアス用のバイアスコイル8(バイアス弾性体)と、ガイドパイプ1に固定された固定電極11(第1電極)と、可動弁体3bのオリフィス2と反対側の端部に設置された可動電極12(第2電極)と、固定電極11と可動電極12とによって保持される形状記憶合金のワイヤ9とを備える。可動弁体3bは、金属又は樹脂部材からなる可動部4bと、その先端にオリフィス2を封止する封止部5を備え、封止部5は、樹脂又はゴム製の弾性を持つ弾性体で形成される。   4A, a small valve 10 includes a metal or resin cylindrical guide pipe 1 (fixed structure), a metal or resin orifice 2 built in the guide pipe 1, and a guide pipe. 1, a movable valve body 3 b that is in contact with the movable body 3 so as to be movably sealed, a bias coil 8 (bias elastic body) for circumscribing the movable valve body 3 b, and a fixed electrode fixed to the guide pipe 1. 11 (first electrode), a shape memory alloy held by the movable electrode 12 (second electrode) installed at the end opposite to the orifice 2 of the movable valve body 3b, the fixed electrode 11 and the movable electrode 12 The wire 9 is provided. The movable valve body 3b includes a movable portion 4b made of a metal or a resin member, and a sealing portion 5 for sealing the orifice 2 at the tip thereof. The sealing portion 5 is an elastic body made of resin or rubber and having elasticity. It is formed.

この弾性体で形成された封止部5を備えたことにより、可動弁体3bは、全体として弾性を示す弾性体となる。従って、前述と同様に、可動弁体3b全体の弾性係数をk3とすると、前述と同様に、封止部5がオリフィス2に接触する時点のワイヤ9の収縮までは、バイアスコイル8が収縮し、それ以上収縮すると、封止部5の弾性体が収縮し始める。   By providing the sealing portion 5 formed of this elastic body, the movable valve body 3b becomes an elastic body showing elasticity as a whole. Therefore, if the elastic coefficient of the entire movable valve body 3b is k3, as described above, the bias coil 8 contracts until the wire 9 contracts when the sealing portion 5 contacts the orifice 2 as described above. When it contracts further, the elastic body of the sealing portion 5 starts to contract.

すなわち、通電によりワイヤ9の収縮の圧力を受けて、可動弁体3bがオリフィス2側に移動し、図4(b)に示すように、封止部5がオリフィス2に接触し、さらにワイヤ9が収縮すると、図4(c)に示すように、封止部5が圧縮変形されて薄くなる。この封止部5の変形により、ワイヤ9の過剰な収縮力が吸収される。即ち、ワイヤ9の過剰な収縮に伴う封止部5のオリフィス2への圧接は、オリフィス2からワイヤ9への反発力を生じ、この反発力によるワイヤ9自身への過負荷を封止部5の変形により低減している。   That is, the movable valve body 3b is moved to the orifice 2 side by receiving the contraction pressure of the wire 9 by energization, and the sealing portion 5 contacts the orifice 2 as shown in FIG. When is contracted, the sealing portion 5 is compressed and thinned as shown in FIG. Due to the deformation of the sealing portion 5, excessive contraction force of the wire 9 is absorbed. That is, the pressure contact of the sealing portion 5 to the orifice 2 due to excessive contraction of the wire 9 generates a repulsive force from the orifice 2 to the wire 9, and an overload on the wire 9 itself due to the repulsive force is caused by the sealing portion 5. It is reduced by deformation.

一方、固定電極11と可動電極12間の通電を止めると、形状記憶合金のワイヤ9の温度が低下し、元の温度に戻るとワイヤ9が伸長し、前記と逆の作用により、図4(a)に示すように、可動部4aが元の位置に戻り、封止部5がオリフィス2から離れ、オリフィス2が開放される。   On the other hand, when the energization between the fixed electrode 11 and the movable electrode 12 is stopped, the temperature of the shape memory alloy wire 9 decreases, and when the temperature returns to the original temperature, the wire 9 expands. As shown to a), the movable part 4a returns to the original position, the sealing part 5 leaves | separates from the orifice 2, and the orifice 2 is open | released.

このように、封止部5自体を弾性体材料で形成したことにより、過剰な負荷に対して封止部5自体が収縮することにより、可動弁対3bは、ワイヤ9に過負荷が掛かるのを緩和するクッション効果の役目を果し、ワイヤ9への過剰な負荷を低減することができる。このように、封止部5自体を弾性体材料で形成することにより、可動弁体3bを過負荷低減作用を兼ね備えた弾性体として簡単に形成でき、小型バルブの部品点数を低減することができる。   Thus, since the sealing part 5 itself is formed of an elastic material, the sealing part 5 itself contracts against an excessive load, so that the movable valve pair 3b overloads the wire 9. It can play a role of a cushion effect to alleviate the above, and an excessive load on the wire 9 can be reduced. Thus, by forming the sealing portion 5 itself from an elastic material, the movable valve body 3b can be easily formed as an elastic body having an overload reducing action, and the number of parts of the small valve can be reduced. .

次に、本発明の第4の実施形態に係る小型バルブについて、図5(a)、(b)、(c)を参照して説明する。本実施形態の小型バルブ10は基本的には、前記実施形態と同等であり、可動弁体3c(可動構造体)がバネ体を具備して形成された点で前記実施形態と異なる。   Next, a small valve according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 (a), 5 (b), and 5 (c). The small valve 10 of this embodiment is basically the same as that of the above embodiment, and is different from the above embodiment in that the movable valve body 3c (movable structure) is provided with a spring body.

図5(a)において、小型バルブ10は、金属製又は樹脂製の筒形状のガイドパイプ1(固定構造物)と、ガイドパイプ1に内蔵された金属製又は樹脂製のオリフィス2と、ガイドパイプ1に内接して可動自在にオリフィス2を封止する金属製又は樹脂製の可動弁体3cと、ガイドパイプ1に内接しオリフィス2と可動弁体3cとの間に設けられたバイアス用のバイアスコイル8(バイアス弾性体)と、ガイドパイプ1に固定された固定電極11(第1電極)と、可動弁体3cのオリフィス2と反対側の端部に設置された可動電極12(第2電極)と、固定電極11と可動電極12とによって保持される通電加熱型の形状記憶合金のワイヤ9とを備える。   In FIG. 5A, a small valve 10 includes a metal or resin cylindrical guide pipe 1 (fixed structure), a metal or resin orifice 2 built in the guide pipe 1, and a guide pipe. A metal or resin movable valve body 3c that is in contact with 1 and movably seals the orifice 2, and a bias bias that is inscribed in the guide pipe 1 and provided between the orifice 2 and the movable valve body 3c. A coil 8 (bias elastic body), a fixed electrode 11 (first electrode) fixed to the guide pipe 1, and a movable electrode 12 (second electrode) installed at the end of the movable valve body 3c opposite to the orifice 2 And a wire 9 of an electrically heated shape memory alloy held by the fixed electrode 11 and the movable electrode 12.

可動弁体3cは、その先端に円柱の円柱部45を持つ筒形状の可動部4cと、円柱部45の先端に接合されるオリフィス2を封止する封止部5と、可動電極12を保持する電極保持板13と、電極保持板13と可動部4cの端部とに挟持された過負荷低減用の小型のコイルバネ7a(バネ体)を備える。このコイルバネ7aを有することにより、可動弁体3cは、弾性特性を持つことができる。   The movable valve body 3c holds a cylindrical movable portion 4c having a cylindrical cylindrical portion 45 at the tip thereof, a sealing portion 5 for sealing the orifice 2 joined to the tip of the cylindrical portion 45, and the movable electrode 12. And a small coil spring 7a (spring body) for reducing overload sandwiched between the electrode holding plate 13 and the end of the movable portion 4c. By having this coil spring 7a, the movable valve body 3c can have elastic characteristics.

上記構成において、固定電極11と可動電極12に通電してワイヤ9を加熱され、ある温度以上になると形状記憶合金のワイヤ9が変形し、ワイヤ9の長さが収縮する。このとき、ワイヤ9の一方が接続されている固定電極11は、ガイドパイプ1に固定されて移動せず、ワイヤ9の他方が接続されている可動電極12は、可動部4cに接続され、この可動部4cと伴に移動する。ワイヤ9の収縮により可動部4cは、バイアスコイル8を圧迫し、バイアスコイル8をオリフィス2側に押圧して移動させ、バイアスコイル8をオリフィス2側に押し付ける。これにより、可動部4cの先端の封止部5が、オリフィス2を圧接封止し、オリフィス2が閉弁される。このとき、前述と同様に、バイアスコイル8の弾性係数k1は、コイルバネ7aの弾性係数k2より大きく設定されているため、コイルバネ7aより先に収縮し、コイルバネ7aは、封止部5がオリフィス2に接触するまで殆ど収縮しない。   In the above configuration, the wire 9 is heated by energizing the fixed electrode 11 and the movable electrode 12, and when the temperature exceeds a certain temperature, the shape memory alloy wire 9 is deformed and the length of the wire 9 is contracted. At this time, the fixed electrode 11 to which one of the wires 9 is connected is fixed to the guide pipe 1 and does not move, and the movable electrode 12 to which the other of the wires 9 is connected is connected to the movable portion 4c. It moves with the movable part 4c. Due to the contraction of the wire 9, the movable portion 4 c presses the bias coil 8, presses and moves the bias coil 8 toward the orifice 2, and presses the bias coil 8 toward the orifice 2. As a result, the sealing part 5 at the tip of the movable part 4c seals the orifice 2 in pressure contact, and the orifice 2 is closed. At this time, similarly to the above, the elastic coefficient k1 of the bias coil 8 is set larger than the elastic coefficient k2 of the coil spring 7a, so that the coil spring 7a contracts before the coil spring 7a. It hardly shrinks until it touches.

一方、固定電極11と可動電極12間の通電を止めると、形状記憶合金のワイヤ9の温度が低下し、元の温度に戻るとワイヤ9が伸長し、前記と逆の作用により、可動部4cが元の位置に戻り、封止部5がオリフィス2から離れ、オリフィス2が開放される。   On the other hand, when the energization between the fixed electrode 11 and the movable electrode 12 is stopped, the temperature of the shape memory alloy wire 9 decreases, and when returning to the original temperature, the wire 9 expands. Returns to the original position, the sealing portion 5 is separated from the orifice 2, and the orifice 2 is opened.

そして、オリフィス2が封止部5により接触されて封止された後、より強く密閉するために、さらにワイヤ9が収縮して封止部5がオリフィス2を圧接すると、バイアスコイル8は、ガイドパイプ1のオリフィス2側の端面と可動部4cの間に押さえつけられて、それ以上収縮できない状態になる。この時点で、バイアスコイル8に代わり、コイルバネ7aが収縮を始める。   After the orifice 2 is brought into contact with the sealing portion 5 and sealed, the wire 9 further contracts and the sealing portion 5 presses against the orifice 2 in order to make a stronger seal. It is pressed between the end surface of the pipe 1 on the orifice 2 side and the movable portion 4c so that it cannot be further contracted. At this time, instead of the bias coil 8, the coil spring 7a starts to contract.

このように、本実施形態の小型バルブ10は、可動弁体3cに小型のコイルバネ7aを設けたことにより、可動弁体3cを加圧により全長が変動する小型で簡単な構成の弾性体として形成することができる。そして、可動弁体3cは、過負荷時のコイルバネ7aの収縮により、ワイヤ9に過負荷が掛かるのを緩和するクッション効果の役目を果し、過負荷低減弾性体として作用することができる。そして、ここでの小型バルブ10は、過負荷低減弾性体のコイルバネ7aや、バイアス用のバイアスコイル8を弾性係数の明確なバネ体を用いて構成することにより、バルブ弁を精度良く容易に設計することができる。また、前記同様に、形状記憶合金への過負荷を避けることができるので、形状記憶合金の温度変化に対する形状変化の再現性の劣化を防ぎ、ワイヤ9の耐久性が向上すると共に、ワイヤ9の通電によるオリフィス2の開閉を精度良く行うことができる。   As described above, the small valve 10 according to the present embodiment is provided with a small coil spring 7a on the movable valve body 3c, so that the movable valve body 3c is formed as an elastic body having a small and simple configuration whose total length varies due to pressurization. can do. And the movable valve body 3c plays the role of the cushion effect which relieve | moderates overloading to the wire 9 by contraction of the coil spring 7a at the time of an overload, and can act as an overload reduction elastic body. In the small valve 10 here, the over-load reducing elastic coil spring 7a and the bias bias coil 8 are configured by using a spring body with a clear elastic coefficient, thereby easily designing the valve valve with high accuracy. can do. Further, similarly to the above, since overload to the shape memory alloy can be avoided, deterioration of the reproducibility of the shape change with respect to the temperature change of the shape memory alloy is prevented, and the durability of the wire 9 is improved. The orifice 2 can be opened and closed accurately by energization.

次に、図5(b)に可動弁体3d(可動構造体)がバネ体を具備する第4実施形態の変形例を示す。本変形例の小型バルブ10は、基本的には前記実施形態と同等であり、可動弁体3d(可動構造体)が可動体4dの中央部の側壁にコイルバネ7b(バネ体)を備えた点で前記実施形態と異なる。   Next, FIG. 5B shows a modification of the fourth embodiment in which the movable valve body 3d (movable structure) includes a spring body. The small valve 10 of this modification is basically the same as that of the above embodiment, and the movable valve body 3d (movable structure) includes a coil spring 7b (spring body) on the side wall of the central portion of the movable body 4d. This is different from the above embodiment.

図5(b)において、可動弁体3dは、その中央部の側壁の一部にコイルバネ7bが組み込まれた可動部4dを備える。前述と同様に、コイルバネ7bの弾性係数k2は、バイアスコイル8の弾性係数k1より小さく設定されているため、バイアスコイル8が先に収縮し、コイルバネ7bは、封止部5がオリフィス2に接触するまで殆ど収縮しない。   In FIG. 5 (b), the movable valve body 3d includes a movable portion 4d in which a coil spring 7b is incorporated in a part of the central side wall. Similarly to the above, since the elastic coefficient k2 of the coil spring 7b is set smaller than the elastic coefficient k1 of the bias coil 8, the bias coil 8 first contracts, and the coil spring 7b has the sealing portion 5 in contact with the orifice 2. Almost no shrinkage until

上記構成により、可動弁体3dは、可動部4dが弾性を持つため、加圧により全長が変動する弾性体として動作することができる。そして、コイルバネ7bが可動部4d内に一体化されて内蔵されるため、小型でコンパクトな可動弁体3dを形成することができ、バルブ全体の小型化を可能にする。そして、前記同様に、可動弁体3dは、ワイヤ9に過負荷が掛かるのを緩和するクッション効果の役目を果し、ワイヤ9への過剰な負荷を低減することができる。   With the above configuration, the movable valve body 3d can operate as an elastic body whose total length varies due to pressurization because the movable portion 4d has elasticity. And since the coil spring 7b is integrated and incorporated in the movable part 4d, the small and compact movable valve body 3d can be formed, and the whole valve can be miniaturized. In the same manner as described above, the movable valve body 3d plays a role of a cushioning effect that alleviates the overloading of the wire 9, and can reduce an excessive load on the wire 9.

次に、図5(c)に可動弁体3e(可動構造体)がバネ体を具備する第4実施形態の他の変形例を示す。本変形例の小型バルブ10は、基本的には、前記実施形態と同等であり、可動弁体3e(可動構造体)が、その可動部4cの円柱部45と封止部5の間にコイルバネ(バネ体)7aを備えた点で前記実施形態と異なる。   Next, FIG. 5C shows another modification of the fourth embodiment in which the movable valve body 3e (movable structure) includes a spring body. The small valve 10 of this modification is basically the same as that of the above embodiment, and the movable valve body 3e (movable structure) is a coil spring between the cylindrical portion 45 and the sealing portion 5 of the movable portion 4c. (Spring body) It differs from the said embodiment by the point provided with 7a.

図5(c)において、可動弁体3eの可動部4cは、その先端に円柱の円柱部45を持つ筒形状の可動部4cと、円柱部45の先端に接合されオリフィス2を封止する封止部5と、封止部5と可動部4cの円柱部45との間に設けられた過負荷低減用のコイルバネ7aとを備える。このように、コイルバネ7aを可動部4cの封止部5側に一体化することにより、可動弁体3eをコンパクトに形成することができる。また、閉弁時のオリフィス2からの過負荷を可動部4cより先に、封止部5を介してコイルバネ7aで直接受けることができる。従って、過負荷に対して可動部4cが樹脂製等で圧力伝達応答が遅い場合でも、可動部4cの伸縮の応答に関係なく、コイルバネ7aにより素早く過負荷低減作用を動作させることができ、過負荷低減応答を速めることができる。これにより前記同様に、可動弁体3eは、ワイヤ9に直接過負荷が掛かるのを緩和するクッション効果の役目を果すと共に、ワイヤ9への過負荷低減の応答を速めることができる。   In FIG. 5 (c), the movable portion 4 c of the movable valve body 3 e includes a cylindrical movable portion 4 c having a cylindrical cylindrical portion 45 at the tip thereof, and a seal that is joined to the tip of the cylindrical portion 45 and seals the orifice 2. A stop portion 5 and an overload reducing coil spring 7a provided between the sealing portion 5 and the cylindrical portion 45 of the movable portion 4c are provided. Thus, the movable valve body 3e can be compactly formed by integrating the coil spring 7a on the sealing portion 5 side of the movable portion 4c. Moreover, the overload from the orifice 2 at the time of valve closing can be directly received by the coil spring 7a via the sealing part 5 before the movable part 4c. Therefore, even when the movable portion 4c is made of resin or the like and the pressure transmission response is slow with respect to the overload, the overload reduction action can be quickly operated by the coil spring 7a regardless of the expansion / contraction response of the movable portion 4c. The load reduction response can be accelerated. As a result, similarly to the above, the movable valve body 3e can play a role of a cushioning effect for reducing the direct overload on the wire 9, and can speed up the response of the overload reduction to the wire 9.

次に、本発明の第5の実施形態に係る小型バルブについて、図6(a)、(b)、(c)を参照して説明する。本実施形態の小型バルブ10は、基本的には前記実施形態と同等であり、可動弁体3fを構成するコイルバネ7と、バイアス機能のバイアスコイル8が、ガイドパイプ1(固定構造体)に外接して配設された点で前記実施形態と異なる。   Next, a small valve according to a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 (a), (b), and (c). The small valve 10 of this embodiment is basically the same as that of the above embodiment, and the coil spring 7 constituting the movable valve body 3f and the bias coil 8 having a bias function are circumscribed on the guide pipe 1 (fixed structure). It differs from the said embodiment by the point arrange | positioned.

図6(a)において、小型バルブ10は、金属製又は樹脂製の筒形状のガイドパイプ1(固定構造物)と、ガイドパイプ1に内蔵された金属製又は樹脂製のオリフィス2と、可動自在にオリフィス2を封止する可動弁体3f(可動構造体)と、ガイドパイプ1に外接し可動弁体3fのバイアス用バネとなるバイアスコイル8(バイアス弾性体)と、ガイドパイプ1に固定された固定電極11(第1電極)と、可動弁体3fの端末に設置された可動電極12(第2電極)と、固定電極11と可動電極12とによって保持される形状記憶合金(または形状記憶樹脂、形状記憶ゴム等)のワイヤ9とを備える。ここでの形状記憶合金は、ある温度以上になると収縮する通電発熱型のものが用いられる。   In FIG. 6A, a small valve 10 is movable in a cylindrical guide pipe 1 (fixed structure) made of metal or resin, a metal or resin orifice 2 built in the guide pipe 1, and freely movable. A movable valve body 3f (movable structure) for sealing the orifice 2 at the same time, a bias coil 8 (bias elastic body) circumscribing the guide pipe 1 and serving as a bias spring for the movable valve body 3f, and the guide pipe 1 are fixed. The shape memory alloy (or shape memory) held by the fixed electrode 11 (first electrode), the movable electrode 12 (second electrode) installed at the end of the movable valve body 3f, and the fixed electrode 11 and the movable electrode 12 Resin, shape memory rubber, etc.) wire 9. The shape memory alloy used here is an energization heat generation type that shrinks when the temperature rises above a certain temperature.

ガイドパイプ1は、内径の大きい筒形状の主空洞1aと、主空洞1aからオリフィス2側に伸延してオリフィス2を含み内径の小さい筒形状の小空洞1bと、ガイドパイプ1に外接するバイアスコイル8のストッパとなる鍔型の円形突起部1cを備えている。可動弁体3fは、ガイドパイプ1の小空洞1bに内接する第1可動部4eと、ガイドパイプ1に外接する第2可動部6aと、第1可動部4eのオリフィス2側の先端に設けられたオリフィス2を封止する樹脂又はゴム製の封止部5(封止体)と、ガイドパイプ1に外接し第1可動部4eと第2可動部6aの間に設けられたコイルバネ7(過負荷低減弾性体)とを備えている。   The guide pipe 1 includes a cylindrical main cavity 1 a having a large inner diameter, a small cylindrical cavity 1 b extending from the main cavity 1 a toward the orifice 2 and including the orifice 2, and a bias coil circumscribing the guide pipe 1. 8 is provided with a bowl-shaped circular projection 1c serving as a stopper. The movable valve body 3f is provided at the first movable portion 4e inscribed in the small cavity 1b of the guide pipe 1, the second movable portion 6a circumscribed in the guide pipe 1, and the tip of the first movable portion 4e on the orifice 2 side. A sealing part 5 (sealing body) made of resin or rubber for sealing the orifice 2 and a coil spring 7 (excessively provided around the guide pipe 1 and between the first movable part 4e and the second movable part 6a). Load-reducing elastic body).

第1可動部4eは、金属又は樹脂材料で構成され、ガイドパイプ1の小空洞1bに内接する主円筒部43と、主円筒部43からオリフィス2側に伸びる小径の円柱部45と、主円筒部43の第可動部6a側の端部からガイドパイプ1に垂直にその外部に出る突出部46を備えている。この突出部46とガイドパイプ1の円形突起部1cの間に、ガイドパイプ1に外接するバイアスコイル8が配設されている。   The first movable portion 4e is made of a metal or a resin material, and has a main cylindrical portion 43 that is inscribed in the small cavity 1b of the guide pipe 1, a small-diameter columnar portion 45 that extends from the main cylindrical portion 43 toward the orifice 2, and a main cylinder. A protrusion 46 is provided that protrudes outward from the end of the portion 43 on the side of the movable portion 6a perpendicularly to the guide pipe 1. A bias coil 8 that circumscribes the guide pipe 1 is disposed between the protrusion 46 and the circular protrusion 1 c of the guide pipe 1.

第2可動部6aは、金属又は樹脂材料で構成され、その内面がガイドパイプ1に外接してガイドパイプ1の端末を封止し、その外部端面には、ワイヤ9への通電用の可動電極12が設けられている。この第2可動部6aの外接側壁厚と突出部46との間には、ガイドパイプ1に外接し、加熱時のワイヤ9の形状記憶合金への応力負荷を低減するコイルバネ7(過負荷低減弾性体)が配設されている。また、コイルバネ7の弾性係数k2は、前述と同様に、バイアスコイル8の弾性係数k1より小さく設定されている。   The second movable portion 6a is made of a metal or a resin material, the inner surface of the second movable portion 6a circumscribes the guide pipe 1 to seal the end of the guide pipe 1, and the outer end surface has a movable electrode for energizing the wire 9 12 is provided. A coil spring 7 (overload reducing elasticity) that circumscribes the guide pipe 1 and reduces the stress load on the shape memory alloy of the wire 9 during heating is provided between the circumscribed side wall thickness of the second movable portion 6a and the protruding portion 46. Body) is disposed. Further, the elastic coefficient k2 of the coil spring 7 is set smaller than the elastic coefficient k1 of the bias coil 8 as described above.

上記構成において、固定電極11と可動電極12に通電してワイヤ9を加熱され、形状記憶合金のワイヤ9が収縮し、第2可動部6aがオリフィス2側に引っ張られると、第2可動部6aに接するコイルバネ7を押圧する。この押圧は、弾性係数(k2)の小さいコイルバネ7を収縮せずに、コイルバネ7を介して第1可動部4eに伝達され、第1可動部4eの押圧により弾性係数(k1)の大きいバイアスコイル8を収縮する。そして、図6(b)に示すように、第1可動部4eの先端の封止部5がオリフィス2を封止した状態で止まる。   In the above configuration, when the wire 9 is heated by energizing the fixed electrode 11 and the movable electrode 12, the shape memory alloy wire 9 contracts, and the second movable portion 6a is pulled toward the orifice 2, the second movable portion 6a. The coil spring 7 in contact with is pressed. This pressing force is transmitted to the first movable part 4e via the coil spring 7 without contracting the coil spring 7 having a small elastic coefficient (k2), and the bias coil having a large elastic coefficient (k1) by the pressing of the first moving part 4e. Shrink 8 Then, as shown in FIG. 6B, the sealing portion 5 at the tip of the first movable portion 4e stops in a state where the orifice 2 is sealed.

オリフィス2が封止部5により接触されて閉弁された後、より強く密閉するために、ワイヤ9の収縮が進み、封止部5がオリフィス2をさらに圧迫すると、封止部5とオリフィス2とは既に接触しているので、弾性係数の大きいバイアスコイル8は、それ以上収縮しない。従って、オリフィス2からの反発力がワイヤ9へ過負荷として掛かるが、ここで、第1可動部4eと第2可動部6a間のコイルバネ7が収縮を始め、これにより、ワイヤ9への過負荷が低減される。   After the orifice 2 is contacted by the sealing portion 5 and closed, the wire 9 is further contracted to seal tightly, and when the sealing portion 5 further compresses the orifice 2, the sealing portion 5 and the orifice 2 are sealed. Are already in contact with each other, the bias coil 8 having a large elastic coefficient does not contract any more. Accordingly, the repulsive force from the orifice 2 is applied to the wire 9 as an overload, but here, the coil spring 7 between the first movable portion 4e and the second movable portion 6a starts to contract, thereby overloading the wire 9 Is reduced.

一方、固定電極11と可動電極12間の通電を止めると、形状記憶合金のワイヤ9の温度が低下し、元の温度に戻りワイヤ9が伸長し、前記と逆の作用により、図6(a)に示すように、第1可動部4eをはじめ可動弁体3f全体が元の位置に戻り、封止部5がオリフィス2から離れ、オリフィス2が開放される。   On the other hand, when the energization between the fixed electrode 11 and the movable electrode 12 is stopped, the temperature of the wire 9 of the shape memory alloy decreases, returns to the original temperature, and the wire 9 expands. ), The entire movable valve body 3f including the first movable portion 4e is returned to the original position, the sealing portion 5 is separated from the orifice 2, and the orifice 2 is opened.

このように、コイルバネ7及びバイアスコイル8をガイドパイプ1に外接させて設けたことにより、これらバネ部分が可動弁体3fの全長の長さ内に納まって配設されるので、小型バルブ10全体をさらに小型化することができる。また、形状記憶合金のワイヤ9をバネ部分の中を通さずに構成できるので、バルブ10の製造が容易になる。また、可動弁体3fは、全体として弾性を持つことができるので、前記同様に、ワイヤ9に過負荷が掛かるのを緩和するクッション効果の役目を果し、形状記憶合金への過剰な負荷を低減することができ、小型バルブ10の耐久性を高めることができる。   Thus, by providing the coil spring 7 and the bias coil 8 so as to circumscribe the guide pipe 1, these spring portions are disposed within the entire length of the movable valve body 3f, so that the entire small valve 10 is provided. Can be further reduced in size. Further, since the shape memory alloy wire 9 can be configured without passing through the spring portion, the manufacture of the valve 10 is facilitated. Further, since the movable valve body 3f can have elasticity as a whole, as described above, the movable valve body 3f serves as a cushioning effect to alleviate the overloading of the wire 9, and exerts an excessive load on the shape memory alloy. The durability of the small valve 10 can be increased.

次に、本発明の第6の実施形態に係る小型バルブについて、図7(a)、(b)を参照して説明する。本実施形態の小型バルブ10は、基本的には前記実施形態と同等であり、可動電極12(第2電極)の一端がガイドパイプ1に接続されると共に、ワイヤ9の収縮で可動電極12が撓むことにより、可動弁体3gを移動させる点で前記実施形態と異なる。   Next, a small valve according to a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 (a) and 7 (b). The small valve 10 of this embodiment is basically the same as that of the above embodiment, and one end of the movable electrode 12 (second electrode) is connected to the guide pipe 1 and the movable electrode 12 is contracted by the contraction of the wire 9. It differs from the said embodiment by the point which moves 3 g of movable valve bodies by bending.

図7(a)において、小型バルブ10は、金属製又は樹脂製の筒形状のガイドパイプ1(固定構造物)と、ガイドパイプ1に内蔵された金属製又は樹脂製のオリフィス2と、ガイドパイプ1に内接して可動自在にオリフィス2を封止する可動弁体3gと、ガイドパイプ1内の可動弁体3gの一部と外接するバイアス用のバイアスコイル8(バイアス弾性体)と、ガイドパイプ1の外部に固定された固定電極11(第1電極)と、一端がガイドパイプ1の外部に固定された可動電極12と、固定電極11と可動電極12とによって保持される形状記憶合金(または形状記憶樹脂、形状記憶ゴム等)のワイヤ9とを備える。ここでの形状記憶合金は、ある温度以上になると収縮する通電発熱型(例えば、Ti―Ni系形状記憶合金)のものが用いられる。固定電極11と可動電極12には、通電用のリード線15bとリード線15aがそれぞれ接続されている。   In FIG. 7A, a small valve 10 includes a cylindrical guide pipe 1 (fixed structure) made of metal or resin, a metal or resin orifice 2 built in the guide pipe 1, and a guide pipe. 1, a movable valve body 3 g that is slidably sealed in contact with 1, a bias bias coil 8 (bias elastic body) that circumscribes a part of the movable valve body 3 g in the guide pipe 1, and a guide pipe A fixed electrode 11 (first electrode) fixed to the outside of 1, a movable electrode 12 having one end fixed to the outside of the guide pipe 1, and a shape memory alloy held by the fixed electrode 11 and the movable electrode 12 (or Wire 9 of shape memory resin, shape memory rubber, etc.). As the shape memory alloy here, an energization heat generation type (for example, a Ti—Ni-based shape memory alloy) that contracts at a certain temperature or higher is used. The fixed electrode 11 and the movable electrode 12 are connected to a lead wire 15b for energization and a lead wire 15a, respectively.

ガイドパイプ1は、内部に可動弁体3gが内接する筒形状の内径の大きい主空洞1aと、この主空洞1aからオリフィス2側に伸びる筒形状の内径の小さい小空洞1bとを有する。可動弁体3gは、ガイドパイプ1に内接する第1可動部4fと、ガイドパイプ1に内接し可動電極12に接して押圧される第2可動部6bと、第1可動部4fのオリフィス2側の先端にオリフィス2を封止する樹脂又はゴム製の封止部(封止体)5と、可動弁体3gに弾性を持たせるコイルバネ7(過負荷低減弾性体)を備えている。   The guide pipe 1 has a cylindrical main cavity 1a having a large inner diameter, in which the movable valve body 3g is inscribed, and a cylindrical small cavity 1b having a small inner diameter extending from the main cavity 1a to the orifice 2 side. The movable valve body 3g includes a first movable portion 4f inscribed in the guide pipe 1, a second movable portion 6b inscribed in the guide pipe 1 and pressed against the movable electrode 12, and the orifice 2 side of the first movable portion 4f. A resin or rubber sealing portion (sealing body) 5 for sealing the orifice 2 and a coil spring 7 (overload reducing elastic body) for imparting elasticity to the movable valve body 3g are provided.

第1可動部4fは、金属又は樹脂材料で構成され、ガイドパイプ1の小空洞1bに内接する主円柱部48と、主円柱部48からオリフィス2側に伸びる小径の円柱部45と、主円柱部48の端部でガイドパイプ1に内接する第2円柱部48を備えている。この第2円柱部48のオリフィス2側の側面とガイドパイプ1の主空洞1aのオリフィス2側の端部と間に、主円柱部48に外接するバイアスコイル8が配設されている。   The first movable portion 4f is made of a metal or a resin material, a main cylindrical portion 48 that is inscribed in the small cavity 1b of the guide pipe 1, a small-diameter cylindrical portion 45 that extends from the main cylindrical portion 48 toward the orifice 2, and a main cylinder. A second cylindrical portion 48 that is inscribed in the guide pipe 1 at the end of the portion 48 is provided. A bias coil 8 circumscribing the main cylindrical portion 48 is disposed between the side surface on the orifice 2 side of the second cylindrical portion 48 and the end portion on the orifice 2 side of the main cavity 1 a of the guide pipe 1.

第2可動部6bは、金属又は樹脂材料で構成され、ガイドパイプ1に内接し可動電極12に接する突起部61を有している。可動電極12は、ガイドパイプ1に固定される固定端14aと、一端が固定電極11に接合されたワイヤ9の他端に接続される可動端14bを持ち、可動端14bは、ワイヤ9の収縮により移動する。固定端14aと可動端14bは、第2可動部6bが挿入されたガイドパイプ1の端面近傍の外部側面上において、互いに略円対称の位置関係に配設される。固定端14aと可動端14b間の可動電極12は、ワイヤ9で引っ張られて撓み、突起部61を覆って押さえる形で弓形に曲げられで配設される。第1可動部4fと第2可動部6bの間には、加熱時のワイヤ9の形状記憶合金への応力負荷を低減するコイルバネ7(過負荷低減弾性体)が配設され、コイルバネ7の弾性係数k2は、前述と同様に、バイアスコイル8の弾性係数k1より小さく設定されている。   The second movable part 6 b is made of a metal or a resin material, and has a protrusion 61 that is inscribed in the guide pipe 1 and in contact with the movable electrode 12. The movable electrode 12 has a fixed end 14 a fixed to the guide pipe 1 and a movable end 14 b connected to the other end of the wire 9 having one end joined to the fixed electrode 11, and the movable end 14 b is a contraction of the wire 9. To move. The fixed end 14a and the movable end 14b are disposed in a substantially circular symmetrical position on the outer side surface near the end surface of the guide pipe 1 in which the second movable portion 6b is inserted. The movable electrode 12 between the fixed end 14a and the movable end 14b is pulled by the wire 9 to bend, and is bent and arranged in an arc shape so as to cover and hold the protrusion 61. Between the first movable part 4f and the second movable part 6b, a coil spring 7 (overload reducing elastic body) for reducing the stress load on the shape memory alloy of the wire 9 during heating is disposed. The coefficient k2 is set smaller than the elastic coefficient k1 of the bias coil 8 as described above.

上記構成において、通電用のリード線15aとリード線15bにより、固定電極11と可動電極12に通電されると、加熱に伴うワイヤ9の収縮により可動電極12は、固定電極11側に引っ張られ、可動電極12の中央部付近で第2可動部6bの突起部61を押圧する。この押圧により、第2可動部6bがオリフィス側に移動され、第2可動部6bと直列的に圧接接触されているコイルバネ7、第1可動部4fが移動し、図7(b)に示すように、封止部5においてオリフィス2を封止する。バイアスコイル8は、前記と同様に、封止部5がオリフィス2に接触するまでは収縮され、第1可動部4fの先端の封止部5がオリフィス2を封止した状態で殆んど止まる。   In the above configuration, when the fixed electrode 11 and the movable electrode 12 are energized by the lead wires 15a and 15b for energization, the movable electrode 12 is pulled toward the fixed electrode 11 due to the contraction of the wire 9 accompanying heating, The projection 61 of the second movable part 6 b is pressed near the center of the movable electrode 12. By this pressing, the second movable portion 6b is moved to the orifice side, and the coil spring 7 and the first movable portion 4f that are in pressure contact with the second movable portion 6b are moved, as shown in FIG. 7B. In addition, the orifice 2 is sealed in the sealing portion 5. Similarly to the above, the bias coil 8 is contracted until the sealing portion 5 comes into contact with the orifice 2, and almost stops when the sealing portion 5 at the tip of the first movable portion 4 f seals the orifice 2. .

オリフィス2が封止部5により接触されて閉弁された後、より強く密閉するために、ワイヤ9の収縮が進み、封止部5がオリフィス2をさらに圧迫すると、封止部5とオリフィス2とは既に接触しているので、弾性係数の大きいバイアスコイル8は、それ以上収縮しない。従って、オリフィス2からの反発力がワイヤ9に過負荷として掛かる。このとき、第1可動部4fと第2可動部6a間のコイルバネ7が収縮を始め、これにより、ワイヤ9への過負荷が低減される。   After the orifice 2 is contacted by the sealing portion 5 and closed, the wire 9 is further contracted to seal tightly, and when the sealing portion 5 further compresses the orifice 2, the sealing portion 5 and the orifice 2 are sealed. Are already in contact with each other, the bias coil 8 having a large elastic coefficient does not contract any more. Accordingly, the repulsive force from the orifice 2 is applied to the wire 9 as an overload. At this time, the coil spring 7 between the first movable portion 4f and the second movable portion 6a starts to contract, thereby reducing the overload on the wire 9.

このように、可動弁体3fは、第1可動部4fと第2可動部6bの間にコイルバネ7を設けたことにより、弾性を持った可動弁体3fとなり、過負荷を低減することができる。そして、可動電極12が固定端14aを持つので、可動電極12への通電用のリード線15aと可動電極12の接合部分の強度を向上することができ、小型バルブの信頼性を高めることができる。   Thus, the movable valve body 3f becomes the movable valve body 3f having elasticity by providing the coil spring 7 between the first movable portion 4f and the second movable portion 6b, and can reduce overload. . Since the movable electrode 12 has the fixed end 14a, the strength of the joint portion between the lead wire 15a for energizing the movable electrode 12 and the movable electrode 12 can be improved, and the reliability of the small valve can be improved. .

次に、本発明の第7の実施形態に係る小型バルブについて、図8(a)、(b)を参照して説明する。本実施形態の小型バルブ10は、基本的には前記実施形態と同等であり、ガイドパイプ1(固定構造物)に固定された第1固定電極11a(第1電極)と、ガイドパイプ1の他の場所に固定された第2固定電極12a(第2電極)とを備え、第1固定電極11aと第2固定電極12aの間にワイヤ9を接続し、ワイヤ9の中央部で可動弁体3hを押圧し、ワイヤ9の伸縮方向が可動弁体3hの移動方向と直交する点で前記実施形態と異なる。   Next, a small valve according to a seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The small valve 10 of this embodiment is basically the same as that of the above embodiment, and includes a first fixed electrode 11a (first electrode) fixed to the guide pipe 1 (fixed structure), and the guide pipe 1 and the like. A second fixed electrode 12a (second electrode) fixed at the location of the wire 9, and a wire 9 is connected between the first fixed electrode 11a and the second fixed electrode 12a. Is different from the above-described embodiment in that the extending / contracting direction of the wire 9 is orthogonal to the moving direction of the movable valve body 3h.

図8(a)において、小型バルブ10は、金属製又は樹脂製の筒形状のガイドパイプ1と、ガイドパイプ1に内蔵された金属製又は樹脂製のオリフィス2と、ガイドパイプ1のオリフィス2と反対側の開放された端末においてガイドパイプ1に垂直に設けた中空円板状の鍔部1dと、ガイドパイプ1に内接して可動自在にオリフィス2を封止する可動弁体3hと、ガイドパイプ1内の可動弁体3hの一部と外接するバイアス用のバイアスコイル8(バイアス弾性体)と、ガイドパイプ1の鍔部1d上で円対称状に配置されて固定された第1固定電極11a(第1電極)及び第2固定電極12a(第2電極)と、第1固定電極11aと第2固定電極12aとによって保持される形状記憶合金(または形状記憶樹脂、形状記憶ゴム等)のワイヤ9とを備える。ここでの形状記憶合金は、ある温度以上になると収縮する通電発熱型のものが用いられる。ワイヤ9は、その中央部で可動弁体3hの端部を押圧している。   In FIG. 8A, a small valve 10 includes a metal or resin cylindrical guide pipe 1, a metal or resin orifice 2 built in the guide pipe 1, and an orifice 2 of the guide pipe 1. A hollow disc-shaped flange 1d provided perpendicularly to the guide pipe 1 at the open end on the opposite side, a movable valve body 3h that inscribes the guide pipe 1 and movably seals the orifice 2, and a guide pipe A bias coil 8 (bias elastic body) for biasing circumscribing a part of the movable valve body 3h in 1 and a first fixed electrode 11a arranged and fixed circularly symmetrically on the flange 1d of the guide pipe 1 (First electrode) and second fixed electrode 12a (second electrode), and wire of shape memory alloy (or shape memory resin, shape memory rubber, etc.) held by first fixed electrode 11a and second fixed electrode 12a 9 Equipped with a. The shape memory alloy used here is an energization heat generation type that shrinks when the temperature rises above a certain temperature. The wire 9 presses the end of the movable valve body 3h at its center.

可動弁体3hは、ガイドパイプ1に内接する第1可動部4gと、ガイドパイプ1に内接し、その末端でワイヤ9に接する第2可動部6cと、第1可動部4gのオリフィス2側の先端に設けられたオリフィス2を封止する樹脂又はゴム製の封止部(封止体)5と、第1可動部4gと第2可動部6cの間に設けられ可動弁体3hに弾性を持たせるコイルバネ7(過負荷低減弾性体)を備えている。   The movable valve body 3h includes a first movable portion 4g inscribed in the guide pipe 1, a second movable portion 6c inscribed in the guide pipe 1 and in contact with the wire 9 at the end thereof, and the orifice 2 side of the first movable portion 4g. Resin or rubber sealing portion (sealing body) 5 for sealing the orifice 2 provided at the tip, and the movable valve body 3h provided between the first movable portion 4g and the second movable portion 6c are elastic. A coil spring 7 (overload reducing elastic body) is provided.

第1可動部4gは、金属又は樹脂材料で構成され、ガイドパイプ1に内接する第1円柱部41と、第1円柱部41からオリフィス2の方向に伸びる第1円柱部41より小さい外形の第2円柱部42を備えている。第2円柱部42は、その先端にオリフィス2を封止するための樹脂製又はゴム製の封止部5を有し、その円筒側面はバイアスコイル8に内接する。バイアスコイル8は、第1円柱部41のオリフィス2側の側面と、ガイドパイプ1のオリフィス2側の端面との間に挟まれ、通電の無い状態では、封止部5がオリフィス2を閉弁しないように第1可動部4gを押圧している。コイルバネ7の弾性係数k2は、前記と同様に、バイアスコイル8の弾性係数k1より小さく設定されている。   The first movable portion 4g is made of a metal or a resin material, and has a first cylindrical portion 41 inscribed in the guide pipe 1 and a first outer shape smaller than the first cylindrical portion 41 extending from the first cylindrical portion 41 toward the orifice 2. Two cylindrical portions 42 are provided. The second cylindrical part 42 has a sealing part 5 made of resin or rubber for sealing the orifice 2 at the tip thereof, and the cylindrical side surface is inscribed in the bias coil 8. The bias coil 8 is sandwiched between the side surface on the orifice 2 side of the first cylindrical portion 41 and the end surface on the orifice 2 side of the guide pipe 1, and the sealing portion 5 closes the orifice 2 when there is no energization. The 1st movable part 4g is pressed so that it may not. The elastic coefficient k2 of the coil spring 7 is set smaller than the elastic coefficient k1 of the bias coil 8 as described above.

第2可動部6cは、ガイドパイプ1に内接する第1円柱部62と、第1円柱部62から第1可動部4gの方向に伸びる第1円柱部62より小さい外形の第2円柱部63を備え、第1円柱部62の中央部には、ワイヤ9の中央部分で接触して押圧される円柱形状の接触部64が設けられている。この接触部64は、回転自由で、ワイヤ9の伸縮によりガイドパイプ1の軸方向に押圧されて移動される。この結果、第2可動部6cは、ワイヤ9の伸縮方向に垂直に押圧されて、ガイドパイプ1内に沿って移動される。   The second movable part 6c includes a first cylindrical part 62 inscribed in the guide pipe 1 and a second cylindrical part 63 having an outer shape smaller than the first cylindrical part 62 extending from the first cylindrical part 62 in the direction of the first movable part 4g. In addition, a cylindrical contact portion 64 is provided at the central portion of the first cylindrical portion 62 and is contacted and pressed at the central portion of the wire 9. The contact portion 64 is freely rotatable and is moved while being pressed in the axial direction of the guide pipe 1 by the expansion and contraction of the wire 9. As a result, the second movable portion 6 c is pressed along the direction of expansion and contraction of the wire 9 and moved along the guide pipe 1.

上記の構成において、第1固定電極11aと第2固定電極12aに通電されると、ワイヤ9が加熱され収縮される。これにより、第2可動部6cの接触部64がオリフィス2方向に押圧されて、可動弁体3h全体がオリフィス2方向に移動され、図8(b)に示すように、封止部5がオリフィス2と接触した時点で移動が止まる。ここで、ワイヤ9がさらに収縮して、封止部5でオリフィス2を圧接すると、弾性係数が大きいバイアスコイル8が先に収縮された後、オリフィス2からの逆負荷が可動弁体3hに掛かり、これにより、ワイヤ9に過負荷が掛かる。しかし、可動弁体3hは、コイルバネ7を含み弾性特性を持つので、前記と同様に、ワイヤ9への過負荷を低減することができ、ワイヤ9を保護することができる。   In the above configuration, when the first fixed electrode 11a and the second fixed electrode 12a are energized, the wire 9 is heated and contracted. As a result, the contact portion 64 of the second movable portion 6c is pressed in the direction of the orifice 2, and the entire movable valve body 3h is moved in the direction of the orifice 2, so that the sealing portion 5 becomes the orifice as shown in FIG. The movement stops at the point of contact with 2. Here, when the wire 9 is further contracted and the orifice 2 is pressed by the sealing portion 5, the bias coil 8 having a large elastic coefficient is contracted first, and then a reverse load from the orifice 2 is applied to the movable valve body 3h. As a result, the wire 9 is overloaded. However, since the movable valve body 3h includes the coil spring 7 and has an elastic characteristic, the overload on the wire 9 can be reduced and the wire 9 can be protected as described above.

このように、ワイヤ9の収縮方向の力を、これと垂直な可動弁体3hの移動方向に変換することにより、逆テコの原理により形状記憶合金のワイヤ9の少しの収縮で可動弁体3hを大きく変動させるストロークを得ることができる。このため、可動弁体3hの必要ストロークに対し、形状記憶合金のワイヤ9の長さを短くできる。また、ワイヤ9の両端が接続される電極を可動しない第1固定電極11a及び第2固定電極12aとしているので、これら電極に接続される通電用のリード線15a、15bと各固定電極11a、12aとの接続の信頼性を向上することができる。   In this way, by converting the force in the contraction direction of the wire 9 into the moving direction of the movable valve body 3h perpendicular to the wire 9, the movable valve body 3h can be moved with a slight contraction of the shape memory alloy wire 9 by the reverse lever principle. A stroke that greatly fluctuates can be obtained. For this reason, the length of the wire 9 of shape memory alloy can be shortened with respect to the required stroke of the movable valve body 3h. Further, since the electrodes to which both ends of the wire 9 are connected are the first fixed electrode 11a and the second fixed electrode 12a that are not movable, the energization lead wires 15a and 15b connected to these electrodes and the fixed electrodes 11a and 12a are connected. Connection reliability can be improved.

次に、上記第8の実施形態に係る小型バルブについて、図9を参照して説明する。本実施形態の小型バルブ10の構成は、基本的には前記第7の実施形態と同等であり、可動弁体3hの端部における第2可動部6cとワイヤ9とに接触する接触部64が、樹脂66を被覆した金属体65(金属)で構成されている点で異なる。なお、第1固定電極11a及び第2固定電極12aは、樹脂接着剤又は溶接等でガイドパイプ1の鍔部1dに固定され、それら固定電極11a、12aには、ワイヤ9の両端がそれぞれ固定されている。   Next, a small valve according to the eighth embodiment will be described with reference to FIG. The configuration of the small valve 10 of this embodiment is basically the same as that of the seventh embodiment, and the contact portion 64 that contacts the second movable portion 6c and the wire 9 at the end of the movable valve body 3h is provided. The difference is that the metal body 65 (metal) covered with the resin 66 is used. The first fixed electrode 11a and the second fixed electrode 12a are fixed to the flange 1d of the guide pipe 1 by resin adhesive or welding, and both ends of the wire 9 are fixed to the fixed electrodes 11a and 12a, respectively. ing.

図9において、接触部64は、回転自由な円柱形状の金属体65からなり、その表面は熱伝導率の低い樹脂66で被覆されている。また、樹脂66は、耐熱性と耐摩耗性とが良好であって、潤滑性に富むものが望ましい。具体的には、PTFE樹脂があげられる。可動弁体3hの端部である第2可動部6cの第1円柱部62には、その中央部に接触部64の半径と略同径を成す半円形の断面を持つ溝62aがワイヤ9と略直交する方向に配設されている。また、接触部64は、その円柱側面の約半分が溝62a内に内接され、他の半分の側面でワイヤ9の中央部分と接触して押圧されて配設されている。このワイヤ9の伸縮により、接触部64はガイドパイプ1の軸方向に押圧されて、これにより第2可動部6cは、ワイヤ9の伸縮方向に垂直に押圧されて、ガイドパイプ1内に沿って移動される。   In FIG. 9, the contact portion 64 is formed of a columnar metal body 65 that is freely rotatable, and the surface thereof is covered with a resin 66 having low thermal conductivity. Further, it is desirable that the resin 66 has good heat resistance and wear resistance and is rich in lubricity. Specific examples include PTFE resin. The first cylindrical portion 62 of the second movable portion 6c, which is the end portion of the movable valve body 3h, has a groove 62a having a semicircular cross section that is substantially the same diameter as the radius of the contact portion 64 at the center thereof and the wire 9. They are arranged in a substantially orthogonal direction. Further, about half of the cylindrical side surface of the contact portion 64 is inscribed in the groove 62a, and the other half side surface is pressed in contact with the central portion of the wire 9. Due to the expansion and contraction of the wire 9, the contact portion 64 is pressed in the axial direction of the guide pipe 1, whereby the second movable portion 6 c is pressed perpendicularly to the expansion and contraction direction of the wire 9 and along the guide pipe 1. Moved.

このとき、接触部64は第2可動部6cとワイヤ9の双方に接触した状態で移動するため、ワイヤ9の通電により発熱された熱は、ワイヤ9から接触部64と第2可動部6cを経てコイルバネ7を介してガイドパイプ1に熱伝導され熱放散される。しかしながら、このワイヤ9の熱放散は、通電に対する形状記憶合金の収縮効率を低下させるために望ましくない。   At this time, since the contact portion 64 moves while being in contact with both the second movable portion 6c and the wire 9, the heat generated by energization of the wire 9 is transferred from the wire 9 to the contact portion 64 and the second movable portion 6c. Then, heat is conducted to the guide pipe 1 via the coil spring 7 and is dissipated. However, this heat dissipation of the wire 9 is undesirable because it reduces the shrinkage efficiency of the shape memory alloy with respect to energization.

本実施形態の接触部64では、接触部64を金属体65の表面を樹脂66で被覆して構成したことにより、樹脂被覆による断熱効果が得られるので、これによりワイヤ9の熱の接触部64への熱伝導を低減でき、通電によるワイヤ9の発熱の熱放散を抑制することができる。従って、通電に対するワイヤ9の収縮効率が良くなり、可動弁体3hの可動応答速度を高めることができ、小型バルブ10の弁開閉の通電応答を良くすることができる。また、接触部64は、形状記憶合金のワイヤ9の収縮による強い押圧を受けるが、その本体を金属体65としたことにより、接触部64の強度を硬く強固にできるので、ワイヤ9からの押圧を直接的に可動弁体3hに伝達することができ、押圧の伝達効率が良くなる。また、接触部64用の部材全体を樹脂部材で形成することも可能であるが、耐熱性と耐摩耗性とが良好で、潤滑性に富む樹脂部材は高価であるので、本変形例のように接触部64の本体を金属で形成したことにより、接触部64を安価に製作することができる。   In the contact portion 64 of the present embodiment, since the contact portion 64 is configured by coating the surface of the metal body 65 with the resin 66, a heat insulating effect by the resin coating can be obtained, whereby the heat contact portion 64 of the wire 9 is obtained. The heat conduction to the wire 9 can be reduced, and the heat dissipation of the heat generation of the wire 9 due to energization can be suppressed. Therefore, the contraction efficiency of the wire 9 with respect to energization is improved, the movable response speed of the movable valve body 3h can be increased, and the energization response of the small valve 10 to open and close can be improved. Further, the contact portion 64 receives a strong press due to the contraction of the wire 9 of the shape memory alloy, but the strength of the contact portion 64 can be hardened and strengthened by using the metal body 65 as its main body. Can be directly transmitted to the movable valve body 3h, and the transmission efficiency of the pressure is improved. Although the entire member for the contact portion 64 can be formed of a resin member, a resin member having good heat resistance and wear resistance and having high lubricity is expensive. Since the main body of the contact portion 64 is made of metal, the contact portion 64 can be manufactured at low cost.

このように本実施形態の小型バルブ10によれば、接触部64を樹脂66で被覆された金属体65で構成したことにより、簡単な構成でワイヤ9の熱収縮効率を向上し、通電による可動弁体3hの可動応答速度を高め、かつ接触部64を安価に形成できる。   As described above, according to the small valve 10 of the present embodiment, the contact portion 64 is configured by the metal body 65 covered with the resin 66, thereby improving the heat shrinkage efficiency of the wire 9 with a simple configuration and being movable by energization. The movable response speed of the valve body 3h can be increased, and the contact portion 64 can be formed at a low cost.

次に、上記第9の実施形態に係る小型バルブについて、図10を参照して説明する。本実施形態の小型バルブ10の構成は、基本的には前記第7の実施形態と同等であり、第1電極11aおよび第2電極12aの表面に樹脂11c、12cを被覆した点で異なる。   Next, a small valve according to the ninth embodiment will be described with reference to FIG. The configuration of the small valve 10 of this embodiment is basically the same as that of the seventh embodiment, and is different in that the surfaces of the first electrode 11a and the second electrode 12a are coated with the resins 11c and 12c.

図10において、第1固定電極11a及び第2固定電極12aは、ガイドパイプ1の鍔部1d上で円対称状に配置されて固定されると共に、両電極11a、12aによって形状記憶合金のワイヤ9を保持している。これらの第1固定電極11aと第2固定電極12aは、矩形の直方体からなる金属体11b、12bと、それら金属体11b、12bの表面の少なくとも鍔部1dとの接触面を含む表面を被覆する樹脂11c、12cとから成る。また、このように樹脂被覆された第1固定電極11a及び第2固定電極12aは、樹脂接着剤等により鍔部1dに固定される。   In FIG. 10, the first fixed electrode 11a and the second fixed electrode 12a are arranged and fixed in a circularly symmetrical manner on the flange 1d of the guide pipe 1, and the shape memory alloy wire 9 is formed by both the electrodes 11a and 12a. Holding. The first fixed electrode 11a and the second fixed electrode 12a cover a surface including a contact surface between the metal bodies 11b and 12b made of a rectangular parallelepiped and at least the flange 1d of the surfaces of the metal bodies 11b and 12b. It consists of resin 11c, 12c. Further, the first fixed electrode 11a and the second fixed electrode 12a coated with resin in this way are fixed to the flange 1d with a resin adhesive or the like.

この構成において、ワイヤ9は、その両端が第1固定電極11aと第2固定電極12aに固定され、各第1、第2の固定電極11a、12aがガイドパイプ1の鍔部1dに固定されているため、ワイヤ9の通電により発熱された熱は、ワイヤ9から各固定電極11a、12aを経てガイドパイプ1に熱伝導され熱放散される。   In this configuration, both ends of the wire 9 are fixed to the first fixed electrode 11a and the second fixed electrode 12a, and the first and second fixed electrodes 11a and 12a are fixed to the flange 1d of the guide pipe 1. Therefore, the heat generated by energization of the wire 9 is conducted from the wire 9 to the guide pipe 1 through the fixed electrodes 11a and 12a and is dissipated.

しかしながら、本実施形態の接触部64では、第1固定電極11aと第2固定電極12aの表面を樹脂で被覆したことによる樹脂の断熱効果により、各固定電極11a、12aと鍔部1d間における熱伝導を低減することができ、ワイヤ9の熱がガイドパイプ1から熱放散することを抑制することができる。従って、通電に対するワイヤ9の収縮効率を向上できるので、可動弁体3hの可動応答速度を高めることができ、小型バルブ10の弁開閉の通電応答を良くすることができる。   However, in the contact part 64 of this embodiment, the heat between each fixed electrode 11a, 12a and the collar part 1d is obtained by the heat insulating effect of the resin by covering the surfaces of the first fixed electrode 11a and the second fixed electrode 12a with resin. The conduction can be reduced, and the heat of the wire 9 can be prevented from being dissipated from the guide pipe 1. Therefore, since the contraction efficiency of the wire 9 with respect to energization can be improved, the movable response speed of the movable valve body 3h can be increased, and the energization response for opening and closing the small valve 10 can be improved.

このように本実施形態の小型バルブ10によれば、第1固定電極11aと第2固定電極12aを樹脂11c、12cで被覆したことにより、簡単な構成で各固定電極11a、12aからの放熱を抑制することできるので、ワイヤ9の通電による収縮効率を向上し、通電による可動弁体3hの可動応答速度を高めることができる。また、その結果、小型バルブ10の弁開閉の通電応答を良くすることができる。   Thus, according to the small valve 10 of the present embodiment, the first fixed electrode 11a and the second fixed electrode 12a are covered with the resins 11c and 12c, so that heat is radiated from the fixed electrodes 11a and 12a with a simple configuration. Since it can suppress, the contraction efficiency by electricity supply of the wire 9 can be improved, and the movable response speed of the movable valve body 3h by electricity supply can be raised. As a result, the energization response of the valve opening / closing of the small valve 10 can be improved.

次に、上記第8の実施形態に係る小型バルブの変形例について、図11を参照して説明する。本変形例の小型バルブ10の構成は、基本的には前記8の実施形態と同等であり、第1固定電極11a及び第2固定電極12aと、これら各固定電極11a、12aとによって保持される形状記憶合金のワイヤ9とを覆うカバー16を鍔部1d上に設けた点で異なる。   Next, a modification of the small valve according to the eighth embodiment will be described with reference to FIG. The configuration of the small valve 10 of this modification is basically the same as that of the eighth embodiment, and is held by the first fixed electrode 11a and the second fixed electrode 12a, and these fixed electrodes 11a and 12a. The difference is that a cover 16 covering the shape memory alloy wire 9 is provided on the flange 1d.

このカバー16は、熱伝導性の低い樹脂部材を用いた矩形の空洞の筐体からなり、第1固定電極11a、第2固定電極12a及びワイヤ9を覆ってこれらを鍔部1d上で略密閉する形で鍔部1dに樹脂接着材等で取り付けられている。これにより、第1固定電極11aと第2固定電極12a及びワイヤ9は、外部空気と遮断される。この遮断により、通電により発熱したワイヤ9と、このワイヤ9からの熱伝導で加熱された第1固定電極11a及び第2固定電極12aとの熱は、それらの空気中へ熱放散が抑制される。従って、通電によるワイヤ9の発熱の空気中への熱放散が抑えられ、通電に対するワイヤ9の収縮効率が良くなり、可動弁体3hの可動応答速度をさらに高めることができる。   The cover 16 is formed of a rectangular hollow housing using a resin member having low thermal conductivity. The cover 16 covers the first fixed electrode 11a, the second fixed electrode 12a, and the wire 9, and is substantially hermetically sealed on the flange 1d. It is attached to the collar 1d with a resin adhesive or the like. Thereby, the 1st fixed electrode 11a, the 2nd fixed electrode 12a, and the wire 9 are interrupted | blocked with external air. By this interruption, the heat of the wire 9 that has generated heat by energization and the heat of the first fixed electrode 11a and the second fixed electrode 12a heated by heat conduction from the wire 9 is suppressed from being diffused into the air. . Therefore, the heat dissipation of the heat generated by the wire 9 due to energization is suppressed, the contraction efficiency of the wire 9 against energization is improved, and the movable response speed of the movable valve body 3h can be further increased.

次に、上記第8の実施形態に係る小型バルブの他の変形例について、図12(a)、(b)を参照して説明する。本変形例の小型バルブ10の構成は、基本的には前記第8の実施形態と同等であり、ガイドパイプ1の鍔部1d上で円対称状に配置されて溶接又は樹脂接着剤等により固定された第1固定電極11a及び第2固定電極12aにおいて、それら固定電極11a、12aに接続されたワイヤ9を引き出す各ワイヤの引出口11d、12dの表面から電極内部に略逆三角形のバリ取り孔11e、12eを彫り込んて開口周辺をバリ取りしたものである。   Next, another modification of the small valve according to the eighth embodiment will be described with reference to FIGS. The configuration of the small valve 10 of this modification is basically the same as that of the eighth embodiment, and is arranged in a circularly symmetrical manner on the flange 1d of the guide pipe 1 and fixed by welding or a resin adhesive or the like. In the first fixed electrode 11a and the second fixed electrode 12a thus formed, a substantially inverted triangular deburring hole is formed inside the electrode from the surface of the wire outlets 11d and 12d through which the wire 9 connected to the fixed electrodes 11a and 12a is drawn. 11e and 12e are engraved to deburr the periphery of the opening.

図12(a)、(b)において、各固定電極11a、12aは、長方形の金属体11b、12bから成り、ワイヤ9の両端は、金属体11b、12b内に溶接等で固定されている。この各固定電極11a、12aの金属体11b、12bからワイヤ9を引き出す引出口11d、12dは、その表面にバリ取り孔11e、12eが形成されている。このバリ取り孔11e、12eを設けたことにより、引出口11d、12dでの金属体11b、12bとワイヤ9の接触を減らすことができる。また、金属体11b、12bは、その引出口11d、12dをワイヤ9の引き出す方向に合わせるように鍔面と傾斜を持って配設されている。これにより、ワイヤ9の引っ張り方向と、金属体11b、12bの引出口11d、12dの向きが略同じ方向となるので、ワイヤ9を金属体11b、12bにさらに接触し難くできる。   12A and 12B, the fixed electrodes 11a and 12a are formed of rectangular metal bodies 11b and 12b, and both ends of the wire 9 are fixed in the metal bodies 11b and 12b by welding or the like. Deburring holes 11e and 12d for drawing out the wire 9 from the metal bodies 11b and 12b of the fixed electrodes 11a and 12a have deburring holes 11e and 12e formed on their surfaces. By providing the deburring holes 11e and 12e, contact between the metal bodies 11b and 12b and the wire 9 at the outlets 11d and 12d can be reduced. Moreover, the metal bodies 11b and 12b are disposed with a flange surface and an inclination so that the outlets 11d and 12d are aligned with the direction in which the wire 9 is pulled out. Thereby, since the pulling direction of the wire 9 and the directions of the outlets 11d and 12d of the metal bodies 11b and 12b are substantially the same direction, the wire 9 can be further prevented from coming into contact with the metal bodies 11b and 12b.

このように、バリ取り孔11e、12eを設けたことにより、ワイヤ9の収縮による引出口11d、12dにおけるワイヤ9の位置変動に伴うワイヤ9との引出口11b、12bとの接触摩擦を軽減することができる。これにより、ワイヤ9の固定電極11a、12aとの摩擦による断線を防止することができ、信頼性を高めることができる。   As described above, by providing the deburring holes 11e and 12e, contact friction between the wire 9 and the outlets 11b and 12b due to the position change of the wire 9 at the outlets 11d and 12d due to the contraction of the wire 9 is reduced. be able to. Thereby, the disconnection by the friction with the fixed electrodes 11a and 12a of the wire 9 can be prevented, and reliability can be improved.

上述した各種実施形態及びそれらの変形例に係る小型バルブ10によれば、オリフィス2を内蔵するガイドパイプ1内に、ガイドパイプ1に内接してオリフィス2を封止する封止部5を有する可動自在な可動弁体3を設け、この可動弁体3に過負荷低減用のコイルバネ7を配設し、コイルバネ7の弾性係数k2をバイアスコイル8の弾性係数k1より小さくしたことにより、形状記憶合金のワイヤ9の収縮によるオリフィス2の閉弁時に、ワイヤ9の過剰収縮によるオリフィス2から過負荷を可動弁体3のコイルバネ7の弾性変形により吸収することができる。この可動弁体3の過負荷低減弾性体としてのクッション効果により、通電加熱時のバルブ閉弁における形状記憶合金への過負荷を低減することができる。従って、バルブ閉弁時の形状記憶合金への過負荷による記憶形状の変形を防止することができるので、過負荷の繰り返しによる形状記憶合金の形状記憶の再現性を経時劣化させることなく、形状記憶合金の耐久性を向上させ、小型バルブの信頼性を高めることができる。   According to the above-described various embodiments and the small valves 10 according to the modified examples thereof, the movable valve having the sealing portion 5 that is inscribed in the guide pipe 1 and seals the orifice 2 in the guide pipe 1 that contains the orifice 2. A flexible movable valve body 3 is provided, a coil spring 7 for reducing overload is provided on the movable valve body 3, and the elastic coefficient k2 of the coil spring 7 is made smaller than the elastic coefficient k1 of the bias coil 8, whereby the shape memory alloy When the orifice 2 is closed due to the contraction of the wire 9, the overload from the orifice 2 due to the excessive contraction of the wire 9 can be absorbed by the elastic deformation of the coil spring 7 of the movable valve body 3. Due to the cushion effect of the movable valve body 3 as an overload reducing elastic body, it is possible to reduce the overload on the shape memory alloy in the valve closing at the time of energization heating. Therefore, deformation of the memory shape due to overload on the shape memory alloy when the valve is closed can be prevented, so that shape memory reproducibility of the shape memory alloy due to repeated overload is not deteriorated over time. The durability of the alloy can be improved and the reliability of the small valve can be increased.

また、可動弁体の一部又は全部を弾性体材料で形成することにより、可動弁体を過負荷低減弾性体を兼ねて一体化形成することができ、コイルバネが不要となり、部品点数を低減することができる。また、バイアスコイルやコイルバネにより弾性体を全てバネ体で形成することにより、弾性係数のスペックが明確となり、バルブ制御設計の精度を高めることができる。また、バネ体を、ガイドパイプの外部に配設することにより、形状記憶合金のワイヤをバネ体を通さずに接続でき、小型バルブの製造を容易にすることができる。   In addition, by forming a part or all of the movable valve body from an elastic material, the movable valve body can be integrally formed as an overload reducing elastic body, a coil spring is not required, and the number of parts is reduced. be able to. In addition, by forming the elastic body as a spring body using a bias coil or a coil spring, the specification of the elastic coefficient becomes clear and the accuracy of valve control design can be improved. Further, by disposing the spring body outside the guide pipe, the shape memory alloy wire can be connected without passing through the spring body, and the manufacture of the small valve can be facilitated.

さらに、ワイヤの中央部で可動弁体の端部を押圧し、ワイヤの収縮方向を可動弁体の移動方向と直交させることにより、形状記憶合金のワイヤの少しの収縮で大きな可動弁体のストローク変動を得ることができる。このため、可動弁体の必要なストロークに対し、形状記憶合金のワイヤの長さを短くできる。また、端部や固定電極を樹脂被覆することにより、ワイヤからの放熱を抑制し、形状記憶合金によるバルブの開閉弁の通電応答感度を高めることができる。   Furthermore, by pressing the end of the movable valve body at the center of the wire and making the contraction direction of the wire orthogonal to the moving direction of the movable valve body, the stroke of the large movable valve body with a slight contraction of the shape memory alloy wire Variations can be obtained. For this reason, the length of the wire of the shape memory alloy can be shortened with respect to the necessary stroke of the movable valve element. In addition, by covering the end portion and the fixed electrode with a resin, heat dissipation from the wire can be suppressed, and the energization response sensitivity of the valve opening / closing valve of the shape memory alloy can be increased.

本発明の第1の実施形態に係る小型バルブの断面図。Sectional drawing of the small valve | bulb which concerns on the 1st Embodiment of this invention. (a)、(b)は上記バルブのそれぞれバルブ開弁時及び閉弁時の断面図、(c)はコイルバネとバイアスコイルの収縮特性図。(A), (b) is sectional drawing at the time of valve opening of each of the said valve | bulb, and a valve closing time, respectively, (c) is a contraction characteristic figure of a coil spring and a bias coil. (a)は本発明の第2の実施形態に係る小型バルブの断面図、(b)、(c)は同バルブの閉弁時及び過負荷閉弁時の断面図。(A) is sectional drawing of the small valve | bulb which concerns on the 2nd Embodiment of this invention, (b), (c) is sectional drawing at the time of valve closing of the valve, and at the time of overload closing. (a)は本発明の第3の実施形態に係る小型バルブの断面図、(b)、(c)は同バルブの閉弁時及び過負荷閉弁時の断面図。(A) is sectional drawing of the small valve | bulb which concerns on the 3rd Embodiment of this invention, (b), (c) is sectional drawing at the time of valve closing of the valve, and at the time of overload closing. (a)は本発明の第4の実施形態に係る小型バルブの断面図、(b)、(c)はそれぞれ同バルブの異なる変形例を示す断面図。(A) is sectional drawing of the small valve | bulb which concerns on the 4th Embodiment of this invention, (b), (c) is sectional drawing which shows the modified example from which the valve respectively differs. (a)は本発明の第5の実施形態に係る小型バルブの断面図、(b)は同バルブの閉弁時の断面図。(A) is sectional drawing of the small valve | bulb which concerns on the 5th Embodiment of this invention, (b) is sectional drawing at the time of valve closing of the valve. (a)は本発明の第6の実施形態に係る小型バルブの断面図、(b)は同バルブの閉弁時の断面図。(A) is sectional drawing of the small valve | bulb which concerns on the 6th Embodiment of this invention, (b) is sectional drawing at the time of valve closing of the valve. (a)は本発明の第7の実施形態に係る小型バルブの断面図、(b)は同バルブの閉弁時の断面図。(A) is sectional drawing of the small valve | bulb which concerns on the 7th Embodiment of this invention, (b) is sectional drawing at the time of valve closing of the valve. 本発明の第8の実施形態に係る小型バルブの断面図。Sectional drawing of the small valve | bulb which concerns on the 8th Embodiment of this invention. 本発明の第9の実施形態に係る小型バルブの断面図。Sectional drawing of the small valve | bulb which concerns on the 9th Embodiment of this invention. 上記第8の実施形態の変形例に係る小型バルブの断面図。Sectional drawing of the small valve | bulb which concerns on the modification of the said 8th Embodiment. (a)は上記第8の実施形態の他の変形例に係る小型バルブの断面図、(b)は(a)のA部の拡大図。(A) is sectional drawing of the small valve | bulb which concerns on the other modification of the said 8th Embodiment, (b) is an enlarged view of the A section of (a).

符号の説明Explanation of symbols

1 ガイドパイプ(固定構造物)
2 オリフィス
3、3a、3b、3c、3d、3e、3f、3g、3h 可動弁体(可動構造体)
5 封止部(封止体)
7、7a、7b コイルバネ(過負荷低減弾性体、バネ体)
9 ワイヤ(形状記憶合金)
10 小型バルブ
11 固定電極部(第1電極)
12 可動電極部(第2電極)
11c、12c 樹脂
64 接触部
65 金属体(金属)
66、 樹脂
1 Guide pipe (fixed structure)
2 Orifice 3, 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f, 3g, 3h Movable valve body (movable structure)
5 Sealing part (sealing body)
7, 7a, 7b Coil spring (overload reducing elastic body, spring body)
9 Wire (shape memory alloy)
10 Small valve 11 Fixed electrode part (first electrode)
12 Movable electrode part (second electrode)
11c, 12c Resin 64 Contact part 65 Metal body (metal)
66, resin

Claims (9)

筒形状でオリフィスを有する固定構造物と、
前記固定構造物に内接して可動自在に前記オリフィスを封止する封止体を有する可動自在な可動構造体と、
通電用の電極となる第1電極及び第2電極と、
前記第1電極と第2電極とによって保持される形状記憶合金のワイヤとを備え、
前記第1電極と第2電極とに通電し、前記ワイヤを加熱して形状記憶合金を変形させることにより、前記可動構造体を可動させて前記オリフィスを封止する小型バルブであって、
前記封止体を含む可動構造体は、その長さが弾性的に変形可能に構成され、かつ、該可動構造体の弾性変形により、前記形状記憶合金の加熱時の応力負荷が低減されるように構成されていることを特徴とする小型バルブ。
A fixed structure having an orifice in a cylindrical shape;
A movable movable structure having a sealing body that seals the orifice movably in contact with the fixed structure;
A first electrode and a second electrode to be energized electrodes;
A wire of shape memory alloy held by the first electrode and the second electrode,
A small valve that energizes the first electrode and the second electrode, heats the wire and deforms the shape memory alloy, thereby moving the movable structure and sealing the orifice;
The movable structure including the sealing body is configured such that its length is elastically deformable, and the stress load during heating of the shape memory alloy is reduced by the elastic deformation of the movable structure. A small valve characterized by being configured as follows.
前記可動構造体の一部又は全部が弾性体材料からなることを特徴とする請求項1に記載の小型バルブ。   The small valve according to claim 1, wherein a part or all of the movable structure is made of an elastic material. 前記可動構造体がバネ体を具備してなることを特徴とする請求項1に記載の小型バルブ。   The small valve according to claim 1, wherein the movable structure includes a spring body. 前記バネ体は、前記固定構造体に外接して配設されていることを特徴とする請求項3に記載の小型バルブ。   The small valve according to claim 3, wherein the spring body is disposed so as to circumscribe the fixed structure. 前記第2電極の一端が前記固定構造物に接続されるとともに、他端がワイヤに接続され、その両端の間で前記可動構造体に接触し、該電極が撓むことにより前記可動構造体を移動させることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の小型バルブ。   One end of the second electrode is connected to the fixed structure, the other end is connected to a wire, and the movable structure is brought into contact with both ends of the second electrode, whereby the movable structure is deformed by bending the electrode. The small valve according to any one of claims 1 to 4, wherein the small valve is moved. 前記第1電極は、前記固定構造物の固定された固定電極であり、前記第2電極は、前記可動構造体に接続された可動電極であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の小型バルブ。   5. The first electrode according to claim 1, wherein the first electrode is a fixed electrode fixed to the fixed structure, and the second electrode is a movable electrode connected to the movable structure. The small valve as described in any one. 前記第1電極は、前記固定構造物の所定部位に固定された固定電極であり、前記第2電極は、前記固定構造体の前記所定部位とは別の部位に固定された固定電極であり、前記ワイヤの中央部で前記可動構造体の端部を押圧し、前記ワイヤの伸縮方向が前記可動構造体の移動方向と直交することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の小型バルブ。   The first electrode is a fixed electrode fixed to a predetermined part of the fixed structure; the second electrode is a fixed electrode fixed to a part different from the predetermined part of the fixed structure; The end portion of the movable structure is pressed at the center of the wire, and the expansion / contraction direction of the wire is orthogonal to the moving direction of the movable structure. Small valve as described in 前記端部は、前記可動構造体とワイヤとに接触する接触部を有し、
前記接触部は、樹脂を被覆した金属で構成されていることを特徴とする請求項7に記載の小型バルブ。
The end portion has a contact portion that contacts the movable structure and the wire,
The small valve according to claim 7, wherein the contact portion is made of a metal coated with a resin.
前記第1電極および第2電極の表面に樹脂を被覆してなることを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の小型バルブ。   The small valve according to claim 7 or 8, wherein a resin is coated on surfaces of the first electrode and the second electrode.
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