JP2008128894A - 測定顕微鏡装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】面内測定に好適な条件と高さ測定に好適な条件とを簡単に切り換えられる測定顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】測定顕微鏡装置は、被検体Sを載置するXYステージ10と、被検体Sを光学的に観察するための観察光学系20と、被検体Sに二つの指標像をそれぞれ異なる方向から投影する指標投影光学系30と、被検体Sを照明する落射照明光学系40と、指標投影光学系30と落射照明光学系40の光量の比率を連動して切り換える光量調節部50とを有している。
【選択図】 図1
【解決手段】測定顕微鏡装置は、被検体Sを載置するXYステージ10と、被検体Sを光学的に観察するための観察光学系20と、被検体Sに二つの指標像をそれぞれ異なる方向から投影する指標投影光学系30と、被検体Sを照明する落射照明光学系40と、指標投影光学系30と落射照明光学系40の光量の比率を連動して切り換える光量調節部50とを有している。
【選択図】 図1
Description
本発明は、光学顕微鏡観察のもと、被検体の形状測定を行う測定顕微鏡装置に関する。
移動ステージに載置された加工物や電子部品などの被検体に対して、光学顕微鏡観察のもと、移動ステージを移動させ、その移動距離から被検体の面内寸法の測定を行い、また、焦点合わせを行い、その移動距離から被検体の高さ測定を行う測定顕微鏡装置が知られている。特に焦点合わせに関しては、より簡単にかつ安定した焦点検出が行えるよう焦点検出装置が考案されており、例えばGB2076176Bに開示されているような指標投影像を用いた合焦検出装置を用いた方法があり、それを用いた測定顕微鏡装置が知られている。
この種の焦点検出装置を備えた測定顕微鏡装置を図6に示す。測定顕微鏡装置は、XYステージ10上に置かれた被検体Sを観察する観察光学系20と、被検体Sに指標を投影する指標投影光学系30とを有している。観察光学系20は、対物レンズ21と結像レンズ22と接眼レンズ23とを含み、その結像位置には十字線を持つ焦点板24が配置されている。指標投影光学系30は、合焦時の被検体Sと共役な位置に光路分割プリズム35および指標34が置かれ、後方には射出瞳と共役な位置に置かれた開口部32と、電源81に接続された光源31がある。光路分割プリズム35は、図7に示すように、二つの同一の半円形のウェッジプリズム35aと35bが反対向きに隣接して配置されている。指標34は、光路分割プリズム35に近接して配置され、光路分割プリズム35の分割線に直交する直線パターンを有している。
光源31から射出された光は開口部32を通過した後、ウェッジプリズム35a,35bで屈折され、それぞれa,bの方向に進む。これにより、指標34は、光路分割プリズム35の分割線を境に、それぞれが異なる入射角で対物レンズ21を介して被検体Sに投影される。図8に示すように、被検体Sが合焦状態にあるときは、被検体S上の指標34の投影像は横ずれなく観察され、被検体Sが合焦状態からはずれているときは、指標34の投影像は横ずれして観察される。これにより、合焦状態が指標34像の横ずれとして容易に判定される。実際に被検体Sの形状を測定するには、XY方向すなわち面内測定は、光源31からの照明光により被検体S像を観察し、焦点板24の十字線と被検体S像のエッジを一致させるようにXYステージ10を移動させ、その移動量で測定を行い、高さ測定すなわちZ測定を行うには、被検体S上の異なる位置で、指標34の像の横ずれを見ながら例えば対物レンズ21を上下させて焦点合わせを行い、そのときの移動量から測定を行う。
GB2076176B
ところで、従来の測定顕微鏡装置では、面内形状測定を行うとき、観察用の照明は指標34の投影と同じ光源からの光を使用した落射照明で行われ、対物レンズ21を介して傾いた光で被検体が照明される。従って、デフォーカスにより像に横ずれが発生し、微小に高さ変化のある被検体や傾いた被検体などでは、その都度、正確に焦点合わせを行わないと、観察像のずれからXYの測定に測定誤差が混入してしまう。
この不具合を解消するため、図9に示すように、指標投影光学系30と別に、光源41と集光レンズ42からなる落射照明光学系40を設け、面内測定の安定を図ったものもある。しかし、この構成においても、以下に示す問題がある。
測定顕微鏡では、像位置に配置された焦点板の十字線と被検体像のエッジを一致させて面内形状測定を行う。このとき、焦点合わせ用の指標34の像は視野内に不必要であるだけでなく、被検体像のエッジと十字線を合わせるという細かな観察には邪魔となり、合わせ誤差を生む可能性もある。また、高さ測定を行う際には、逆に指標34の像が明瞭に観察されることが必要であるが、高さ測定をしている個所つまり指標34が投影されている個所も重要であり、被検体Sのどの位置を測定しているか、測定する個所に傷やごみなどの異常がないかを確認するために、面内測定ほどの繊密さではないが、被検体Sの像を観察することが必要である。
また、被検体像の明るさは長時間観察しても疲労が少なく、細かい部分を注視できるような最適な明るさ範囲があり、面内測定のときには被検体Sの像の明るさがこの最適範囲に設定されればよいが、高さ測定の場合には指標34の像を注視する関係上、被検体Sの像と指標34の像を合わせた明るさがこの最適範囲にあることが望ましい。
従来の装置では、落射照明光学系40からの照明光で面内測定を行っている状態から、高さ測定を行うために指標34の像を投影し観察すると、被検体Sの像と指標34の像を重ねて観察するので指標34の像は明るくなりすぎて観察しにくいことがある。このような場合、指標34の微小なずれ、つまりデフォーカスを見落としてしまうことも考えられ、高さ測定の誤差の要因になることもある。このため、測定を切り換えるたびに光量の再設定が必要となることが多く、特に、被検体Sの反射率が変化した場合に、落射照明光学系40の光量と指標投影光学系30の光量とをそれぞれ変更することとなり、測定にかかる動作は面倒なものとなってしまう。
以上のように、従来の測定顕微鏡装置では、面内測定と高さ測定の切り換えにおいて、それぞれに好適な条件にする作業は面倒なものである。このため、面内測定と高さ測定を頻繁に切り換える場合や、高さが異なる個所が多いために焦点合わせを頻繁に行うことが必要な被検体に対して面内測定を行う場合などにおいて、作業のわずらわしさとともに、測定に誤差が混入してしまうこともある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、面内測定に好適な条件と高さ測定に好適な条件とを簡単に切り換えられる測定顕微鏡装置を提供することである。
本発明の測定顕微鏡装置は、対物レンズを介して被検体を照明する照明光学系と、前記対物レンズを介して前記被検体に二つの指標像をそれぞれ異なる方向から投影する指標投影光学系と、前記対物レンズを介して前記被検体および前記指標像を観察する観察光学系と、前記照明光学系と前記指標投影光学系の光量の比率を連動して調節する光量調節手段とを有している。
本発明によれば、面内測定に好適な条件と高さ測定に好適な条件とを簡単に切り換えられる測定顕微鏡装置が提供される。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
<第一実施形態>
本発明の第一実施形態による測定顕微鏡装置を図1に示す。図1に示すように、本実施形態における測定顕微鏡装置は、被検体Sを載置するXYステージ10と、被検体Sを光学的に観察するための観察光学系20と、被検体Sに二つの指標像をそれぞれ異なる方向から投影する指標投影光学系30と、被検体Sを照明する落射照明光学系40とを有している。
本発明の第一実施形態による測定顕微鏡装置を図1に示す。図1に示すように、本実施形態における測定顕微鏡装置は、被検体Sを載置するXYステージ10と、被検体Sを光学的に観察するための観察光学系20と、被検体Sに二つの指標像をそれぞれ異なる方向から投影する指標投影光学系30と、被検体Sを照明する落射照明光学系40とを有している。
観察光学系20は、対物レンズ21と結像レンズ22と接眼レンズ23と焦点板24とを含んでいる。焦点板24は十字線を有し、対物レンズ21と結像レンズ22からなる結像光学系の結像位置に配置されている。対物レンズ21と結像レンズ22により焦点板24上に形成される像と焦点板24の十字線は接眼レンズ23を通して観察される。
指標投影光学系30は、光源31と開口部32と指標34と光路分割プリズム35と結像レンズ36とハーフミラー37と対物レンズ21とを含んでいる。ハーフミラー37は対物レンズ21と結像レンズ22の間に配置されており、指標像投射光学系30の光路と観察光学系20の光路を結合している。開口部32は、対物レンズ21と結像レンズ36を介して、対物レンズ21の射出瞳と共役な位置に配置されている。指標34は直線状のパターンを有している。直線状のパターンは、遮光性パターンで構成されても、透光性パターンを有する遮光膜で構成されていてもよい。直線状のパターンは、これに限らないが、例えば一本の直線のパターンである。直線状のパターンは、互いに平行な複数本の直線のパターンであってもよい。光路分割プリズム35は、図7に示すように、二つの同一の半円形のウェッジプリズム35aと35bを有し、それらは反対向きに隣接して配置されている。光路分割プリズム35は、指標34を通過した光ビームを、互いに反対側にすなわち光軸に対して対称的に偏向された二本の光ビームに分割する。指標34と光路分割プリズム35は一体化され、対物レンズ21と結像レンズ36を介して、合焦時の被検体Sと共役な位置に配置されている。
落射照明光学系40は、光源41と集光レンズ42とハーフミラー43と対物レンズ21とを含んでいる。ハーフミラー43は対物レンズ21とハーフミラー37の間に配置されており、落射照明光学系40の光路を観察光学系20の光路に結合する。
観察光学系20と指標投影光学系30と落射照明光学系40は対物レンズ21を共有している。
この測定顕微鏡装置において、光源31から発した光ビームの一部は開口部32を通過する。開口部32を通過した光ビームは指標34を通過して光路分割プリズム35に入射する。光路分割プリズム35に入射した光ビームは二つのウェッジプリズム35aと35bにより、図1中にaとbで示されるように、光軸に対して互いに反対方向に偏向された二本の光ビームに分割される。分割された二本の光ビームは、結像レンズ36とハーフミラー37と対物レンズ21を経た後、観察光学系20の光軸に対して反対方向から斜めに同じ入射角で被検体Sに入射する。その結果、それぞれ指標34の半分に対応する二つの指標像が被検体Sの表面上に形成される。別の言い方をすれば、二つの指標像が被検体Sに、観察光学系20の光軸(対物レンズ21の中心軸)に対して反対方向から斜めに同じ入射角で投影される。被検体Sに投影された指標像は観察光学系20を介して目視によって観察される。
被検体Sに投影された二つの指標像は、観察光学系20の光軸に沿った被検体Sの位置に応じて移動する。詳しくは、図8に示されるように、被検体Sに投影される二つの指標像38aと38bは、非合焦状態では互いにずれて位置し、合焦状態では一直線上に整列する。このため、指標像38aと38bの横ずれに基づいて合焦判定を容易に行える。
被検体Sの形状の測定において、二点間のXY方向すなわち面内測定は次のように行う。光源31からの照明光により被検体Sの像を観察しながら、XYステージ10を操作して被検体Sを移動させることにより、被検体S上の二点のそれぞれについて、焦点板24の十字線と被検体Sの像のエッジとを一致させる。二点間で移動させるときのXYステージ10の移動量をXY方向に関する測定値とする。また二点間の高さ測定すなわちZ測定は次のように行う。被検体S上の二点のそれぞれについて、指標像38aと38bの横ずれを見ながら例えば対物レンズ21を光軸に沿って上下させて焦点合わせを行う。そのときの対物レンズ21の移動量ZをZ方向に関する測定値とする。
測定顕微鏡装置はさらに、指標投影光学系30と落射照明光学系40の光量の比率を連動して切り換える光量調節部50を有している。光量調節部50は、電源51と、可変増幅器52と、増幅器53A,53B,53Cと、アナログスイッチ54,55と、調整ボリューム56と、スイッチ57とを含んでいる。電源51と増幅器53A,53B,53Cは、異なる電力を含む三つの電力を生成する電力生成手段を構成し、アナログスイッチ54,55は、三つの電力を切り換えて光源31,41のそれぞれに供給する切換手段を構成している。
電源51は可変増幅器52の入力端子に接続されている。可変増幅器52は、その増幅率を調整するための調整ボリューム56に接続されている。可変増幅器52の出力端子は増幅器53A,53B,53Cの入力端子に接続されている。アナログスイッチ54は切換スイッチで、二つの入力端子54a,54bと1つの出力端子54cを有している。アナログスイッチ54の入力端子54aは接地され、入力端子54bは増幅器53Aの出力端子に接続されている。アナログスイッチ54の出力端子54cは指標投影光学系30の光源31に接続されている。アナログスイッチ55もまた切換スイッチで、二つの入力端子55a,55bと1つの出力端子55cを有している。アナログスイッチ55の入力端子55aは増幅器53Bの出力端子に接続され、入力端子55bは増幅器53Cの出力端子に接続されている。アナログスイッチ55の出力端子55cは落射照明光学系40の光源41に接続されている。アナログスイッチ54,55は、これらを連動して切り換えるためのスイッチ57に接続されている。
増幅器53A,53B,53Cの増幅率は、例えば、それぞれが使用されたときの像の明るさの比が1:2:1となるように設定されている。つまり、増幅器53Aからの出力により光源31が点灯されたときの指標投影光学系30の光量を1としたとき、増幅器53Bからの出力により光源41が点灯されたときの落射照明光学系40の光量が2、増幅器53Cからの出力により光源41が点灯されたときの落射照明光学系40の光量が1となるように、増幅器53A,53B,53Cの増幅率の比が設定されている。増幅器53A,53B,53Cの増幅率の比は、これに限定されるものではなく、別の比であってもよい。
本実施形態において、面内測定を行う際は、スイッチ57をオフにする。スイッチ57がオフのとき、アナログスイッチ54,55は図1の状態となり、アナログスイッチ54の出力端子54cは接地電位となり、アナログスイッチ55は増幅器53Bからの出力を出力端子55cから出力する。その結果、指標投影光学系30内の光源31は点灯されず、指標投影光学系30は指標34の投影を行わない。また、落射照明光学系40内の光源41は増幅器53Bからの出力により点灯され、落射照明光学系40は被検体Sを照明する。観察像が最適の明るさとなるように、被検体Sの反射率に応じて調整ボリューム56により可変増幅器52の増幅率を調整し、XYステージ10の操作により面内測定を行う。
高さ(Z)測定を行う際は、スイッチ57をオンにする。スイッチ57がオンのとき、アナログスイッチ54は増幅器53Aからの出力を出力端子54cから出力し、アナログスイッチ55は増幅器53Cからの出力を出力端子55cから出力する。その結果、指標投影光学系30内の光源31は増幅器53Aからの出力により点灯され、指標投影光学系30は指標34を被検体Sに投影する。また、落射照明光学系40内の光源41は増幅器53Cからの出力により点灯され、落射照明光学系40は被検体Sを照明する。このとき、スイッチ57がオフ時の被検体Sの像の明るさをIとすると、指標34の像と被検体Sの像の明るさは共に0.5Iとなる。これにより、明るさの抑えられた被検体Sの像の上に、焦点合わせ用の指標34の像が最適な明るさで投影される。
従って、スイッチ57のオン・オフの切り換えだけで、指標投影光学系30の光量と落射照明光学系40の光量の比率が連動して調節され、面内測定に好適な条件と高さ測定に好適な条件とが簡単に切り換えられる。そして、高さ測定において注視する指標34の像が明る過ぎて見にくいというようなことはなく、また、被検体Sの像も同時に良好に見えるので、測定個所の確認も容易である。さらに、被検体Sの反射率が変化しても、調整ボリューム56による観察像の明るさの設定のみで高さ測定に対しても最適条件を作れ、さまざまな被検体Sに対しても従来のような煩雑な作業の必要なく設定が容易である。
本実施形態では、光源31,41に関して特に明記していないが、光源31,41は電球であってもよいが、電球に限らず、LEDなどの光学素子でもよい。より好ましくは、落射照明光学系40の光源31が白色の光源であるのに対して、指標投影光学系30の光源41が緑色などの異なる色の光源であるとよく、より視認性の高い条件が得られる。
また、増幅器53A,53B,53Cの増幅率の比に関して、より好ましい形態としては、それぞれが調整ボリュームやディップスイッチなどで初期設定可能であり、被検体Sの種類、装置構成、測定者に応じて設定されるとよい。
また、増幅率の比の変更は、増幅器にかぎらず、抵抗を組み合わせて行ってもよい。
以上の通り、本実施形態による測定顕微鏡装置においては、非常に簡単な操作によって面内測定と高さ測定の最適条件が切り換えられる。
<第二実施形態>
本発明の第二実施形態は図1の測定顕微鏡装置の光量調節部に代わる別の光量調節部に向けられている。本発明の第二実施形態による光量調節部を図2に示す。図2に示すように、本実施形態では、光量調節部60は、電源61と、可変増幅器62と、光源63A,63Bと、ファイバーライトガイド67、68と、調整ボリューム69とを含んでいる。
本発明の第二実施形態は図1の測定顕微鏡装置の光量調節部に代わる別の光量調節部に向けられている。本発明の第二実施形態による光量調節部を図2に示す。図2に示すように、本実施形態では、光量調節部60は、電源61と、可変増幅器62と、光源63A,63Bと、ファイバーライトガイド67、68と、調整ボリューム69とを含んでいる。
電源61は可変増幅器62の入力端子に接続されている。可変増幅器62は、その増幅率を調整するための調整ボリューム69に接続されている。可変増幅器62の出力端子は光源63A,63Bに接続されている。ファイバーライトガイド67,68はそれぞれ光源63A,63Bからの光を取り込む端面67b,68bを有している。ファイバーライトガイド67は指標投影光学系30に接続され、ファイバーライトガイド68は落射照明光学系40に接続されている。指標投影光学系30は光源を含まず、ファイバーライトガイド67の端面67aが光源として機能する。同様に、落射照明光学系40は光源を含まず、ファイバーライトガイド68の端面68aが光源として機能する。ファイバーライトガイド67,68は光源63A,63Bからの光を指標投影光学系30と落射照明光学系40にそれぞれ導く導光手段を構成している。
光量調節部60はさらに、回転可能に支持された回転板64を含んでいる。回転板64には、回転板64を手動により回転させるためのレバー66が取り付けられている。回転板64は、図3に示すように、遮光部64aと開口64bを有し、また二枚のフィルター65A,65Bを保持している。遮光部64aと開口64bとフィルター65A,65Bは透過光の光量を制御する光学部材として機能する。遮光部64aと開口64bとフィルター65A,65Bは、直径が二本のファイバーライトガイド67,68の間隔に等しく回転板64の回転中心と同中心の円の円周上に等しい角度間隔で配置されている。遮光部64aと開口64bは回転板64の回転中心に対して点対称に位置し、フィルター65A,65Bは回転板64の回転中心に対して点対称に位置している。図2に示すように、回転板64は光源63A,63Bとファイバーライトガイド67,68の間に配置されており、遮光部64aと開口64bとフィルター65A,65Bは光源63A,63Bからファイバーライトガイド67,68に至るそれぞれの光路上に配置されうる。つまり、回転板64は、光源63A,63Bからファイバーライトガイド67,68に至るそれぞれの光路上に遮光部64aと開口64bとフィルター65A,65Bの一つを切り換えて配置する切換機構を構成している。また、回転板64と遮光部64aと開口64bとフィルター65A,65Bは、ファイバーライトガイド67,68に入射する光の強度を制御する強度制御手段を構成している。
フィルター65A,65Bの透過率は、例えば、それぞれを使用したときの像の明るさが1:1なるように設定されている。さらに、フィルター65A,65Bの透過率は、それぞれを使用したときの像の明るさが、開口64bを使用したときの像の明るさの半分になるように設定されている。つまり、フィルター65Aを通過した光を使用した指標投影光学系30の光量を1としたとき、開口64bを通過した光を使用した落射照明光学系40の光量が2、フィルター65Bを通過した光を使用した落射照明光学系40の光量が1となるように、フィルター65A,65Bの透過率が設定されている。フィルター65A,65Bの透過率は、これに限定されるものではなく、別の設定であってもよい。
本実施形態において、面内測定を行う際は、レバー66の操作により回転板64を回転させて、図3の左側に示されるように、光源63Aからファイバーライトガイド67に至る光路上に遮光部64aを配置し、光源63Bからファイバーライトガイド68に至る光路上に開口64bを配置する。この状態では、光源63Aからの光は遮光部64aで遮断されてファイバーライトガイド67の端面67bに入射しない。光源63Bからの光は開口64bを通過し、光量が落とされることなく、ファイバーライトガイド68の端面68bに入射する。その結果、指標投影光学系30は指標34の投影を行わず、落射照明光学系40は被検体Sを照明する。観察像が最適の明るさとなるように、被検体Sの反射率に応じて調整ボリューム69により可変増幅器62の増幅率を調整し、XYステージ10の操作により面内測定を行う。
高さ(Z)測定を行う際は、レバー66の操作により回転板64を回転させて、図3の右側に示されるように、光源63Aからファイバーライトガイド67に至る光路上にフィルター65Aを配置し、光源63Bからファイバーライトガイド68に至る光路上にフィルター65Bを配置する。この状態では、光源63Aからの光はフィルター65Aにより減光されてファイバーライトガイド67の端面67bに入射し、光源63Bからの光はフィルター65Bにより減光されてファイバーライトガイド68の端面68bに入射する。その結果、指標投影光学系30は指標34を被検体Sに投影し、落射照明光学系40は被検体Sを照明する。このとき、開口64bを通過した光を使用したときの被検体Sの像の明るさをIとすると、指標34の像と被検体Sの像の明るさは共に0.5Iとなる。これにより、明るさの抑えられた被検体Sの像の上に、焦点合わせ用の指標34の像が最適な明るさで投影される。
従って、レバー66の操作によって、指標投影光学系30の光量と落射照明光学系40の光量の比率が連動して調節され、面内測定に好適な条件と高さ測定に好適な条件とが簡単に切り換えられる。そして、高さ測定において注視する指標34の像が明る過ぎて見にくいというようなことはなく、また、被検体Sの像も同時に良好に見えるので、測定個所の確認も容易である。さらに、被検体Sの反射率が変化しても、調整ボリューム69による観察像の明るさの設定のみで高さ測定に対しても最適条件を作れ、さまざまな被検体Sに対しても従来のような煩雑な作業の必要なく設定が容易である。より好ましくは、フィルター65Aを特定の波長域を透過する特性を持つものとし、被検体Sに応じて、より高い視認性で指標34の像が観察されるように、フィルター65Aを交換して指標34の投影像の色を変更して、より視認性の高い条件を得るとよい。
本実施形態では回転板64は手動により回転される構成であるが、回転板64はモーターにより回転される構成としてもよい。この場合、例えば、回転板64は外周にギアを有し、モーターは回転板64のギアに噛み合うギアを回転させる。
[変形例1]
本変形例は、回転板64で構成された切換機構に代わる別の切換機構に向けられている。本変形例による切換機構を図4に示す。図4に示すように、本変形例では、切換機構は、ベース71に対して直線移動可能に支持されたスライダー72を含んでいる。スライダー72には、スライダー72を手動により移動させるためのレバー73が取り付けられている。スライダー72は遮光部72aと開口72bを有し、また二枚のフィルター65A,65Bを保持している。遮光部72aと開口72bとフィルター65A,65Bは透過光の光量を制御する光学部材として機能する。遮光部72aと開口72bの間隔はファイバーライトガイド67,68の間隔に等しく、フィルター65A,65Bの間隔はファイバーライトガイド67,68の間隔に等しい。
本変形例は、回転板64で構成された切換機構に代わる別の切換機構に向けられている。本変形例による切換機構を図4に示す。図4に示すように、本変形例では、切換機構は、ベース71に対して直線移動可能に支持されたスライダー72を含んでいる。スライダー72には、スライダー72を手動により移動させるためのレバー73が取り付けられている。スライダー72は遮光部72aと開口72bを有し、また二枚のフィルター65A,65Bを保持している。遮光部72aと開口72bとフィルター65A,65Bは透過光の光量を制御する光学部材として機能する。遮光部72aと開口72bの間隔はファイバーライトガイド67,68の間隔に等しく、フィルター65A,65Bの間隔はファイバーライトガイド67,68の間隔に等しい。
面内測定を行う際は、レバー73の操作によりスライダー72を移動させて、図4の上側に示されるように、光源63Aからファイバーライトガイド67に至る光路上に遮光部72aを配置し、光源63Bからファイバーライトガイド68に至る光路上に開口72bを配置する。また、高さ測定を行う際は、レバー73の操作によりスライダー72を移動させて、図4の下側に示されるように、光源63Aからファイバーライトガイド67に至る光路上にフィルター65Aを配置し、光源63Bからファイバーライトガイド68に至る光路上にフィルター65Bを配置する。
[変形例2]
本変形例は、図2の光量調節部の要部に代わる別の光量調節部の要部に向けられている。本変形例による光量調節部の要部を図5に示す。図5に示すように、本変形例では、光量調節部は、二つの光源63A,63Bに代えて一つの光源63を有し、光源63からの光を分割してファイバーライトガイド67,68に導く二つのビームスプリッター77A,77Bと、ビームスプリッター77A,77Bを切り換える切換機構とを含んでいる。切換機構は、ベース75に対して直線移動可能に支持されたスライダー76を含んでいる。スライダー76は、ビームスプリッター77A,77Bを保持している。二つのビームスプリッター77A,77Bは、光源63からの光を異なる割合で分割する。例えば、ビームスプリッター77Aは、光源63からの光をすべて透過してファイバーライトガイド67に導く、ファイバーライトガイド68へは光源63からの光をまったく導かない。一方、ビームスプリッター77Bは、光源63からの光の一部を透過してファイバーライトガイド67に導き、残りの光を反射してファイバーライトガイド68に導く。さらにビームスプリッター77Bは、ファイバーライトガイド67に入射した光を使用した指標投影光学系30の光量と、ファイバーライトガイド68に入射した光を使用した落射照明光学系40の光量とが等しくなるように、光源63からの光を分割する。
本変形例は、図2の光量調節部の要部に代わる別の光量調節部の要部に向けられている。本変形例による光量調節部の要部を図5に示す。図5に示すように、本変形例では、光量調節部は、二つの光源63A,63Bに代えて一つの光源63を有し、光源63からの光を分割してファイバーライトガイド67,68に導く二つのビームスプリッター77A,77Bと、ビームスプリッター77A,77Bを切り換える切換機構とを含んでいる。切換機構は、ベース75に対して直線移動可能に支持されたスライダー76を含んでいる。スライダー76は、ビームスプリッター77A,77Bを保持している。二つのビームスプリッター77A,77Bは、光源63からの光を異なる割合で分割する。例えば、ビームスプリッター77Aは、光源63からの光をすべて透過してファイバーライトガイド67に導く、ファイバーライトガイド68へは光源63からの光をまったく導かない。一方、ビームスプリッター77Bは、光源63からの光の一部を透過してファイバーライトガイド67に導き、残りの光を反射してファイバーライトガイド68に導く。さらにビームスプリッター77Bは、ファイバーライトガイド67に入射した光を使用した指標投影光学系30の光量と、ファイバーライトガイド68に入射した光を使用した落射照明光学系40の光量とが等しくなるように、光源63からの光を分割する。
面内測定を行う際は、スライダー76を移動させて、図5の上側に示されるように、光源63Aからファイバーライトガイド67に至る光路上にビームスプリッター77Aを配置する。また、高さ測定を行う際は、スライダー76を移動させて、図5の下側に示されるように、光源63Aからファイバーライトガイド67に至る光路上にビームスプリッター77Bを配置する。
これまで、図面を参照しながら本発明の実施形態を述べたが、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において様々な変形や変更が施されてもよい。
10…XYステージ、20…観察光学系、21…対物レンズ、22…結像レンズ、23…接眼レンズ、24…焦点板、30…指標投影光学系、31…光源、32…開口部、34…指標、35…光路分割プリズム、35a,35b…ウェッジプリズム、36…結像レンズ、37…ハーフミラー、38a,38b…指標像、40…落射照明光学系、41…光源、42…集光レンズ、43…ハーフミラー、50…光量調節部、51…電源、52…可変増幅器、53A,53B,53C…増幅器、54…アナログスイッチ、54a,54b…入力端子、54c…出力端子、55…アナログスイッチ、55a,55b…入力端子、55c…出力端子、56…調整ボリューム、57…スイッチ、60…光量調節部、61…電源、62…可変増幅器、63…光源、63A,63B…光源、64…回転板、64a…遮光部、64b…開口、65A,65B…フィルター、66…レバー、67…ファイバーライトガイド、67a,67b…端面、68…ファイバーライトガイド、68a,68b…端面、69…調整ボリューム、71…ベース、72…スライダー、72a…遮光部、72b…開口、73…レバー、75…ベース、76…スライダー、77A,77B…ビームスプリッター、81…電源。
Claims (8)
- 対物レンズを介して被検体を照明する照明光学系と、
前記対物レンズを介して前記被検体に二つの指標像をそれぞれ異なる方向から投影する指標投影光学系と、
前記対物レンズを介して前記被検体および前記指標像を観察する観察光学系と、
前記照明光学系と前記指標投影光学系の光量の比率を連動して調節する光量調節手段とを有することを特徴とする測定顕微鏡装置。 - 前記照明光学系と前記指標投影光学系はそれぞれ光源を含み、前記光量調節手段は、異なる電力を含む少なくとも三つの電力を生成する電力生成手段と、前記電力を切り換えて前記光源のそれぞれに供給する切換手段とを含むことを特徴とする請求項1に記載の測定顕微鏡装置。
- 前記電力生成手段は、電源と、前記電源の出力が入力される少なくとも三つの増幅器とを含み、前記切換手段は、前記光源にそれぞれ接続された互いに連動する二つの切換スイッチを含むことを特徴とする請求項2に記載の測定顕微鏡装置。
- 前記光量調節手段は、光源と、前記光源からの光を前記照明光学系と前記指標投影光学系にそれぞれ導く導光手段と、前記導光手段に入射する光の強度を制御する強度制御手段とを含むことを特徴とする請求項1に記載の測定顕微鏡装置。
- 前記導光手段は、前記照明光学系と前記指標投影光学系にそれぞれ接続された二本のファイバーライトガイドを含み、前記強度制御手段は、透過光の光量を制御する複数の光学部材と、前記光源から前記ファイバーライトガイドに至るそれぞれの光路上に前記光学部材の一つを切り換えて配置する切換機構とを含むことを特徴とする請求項4に記載の測定顕微鏡装置。
- 前記光学部材は遮光部材と開口と二枚のフィルターとを含み、前記切換機構は前記光学部材を保持している回転可能に支持された回転板を含むことを特徴とする請求項5に記載の測定顕微鏡装置。
- 前記光学部材は遮光部材と開口と二つのフィルターとを含み、前記切換機構は前記光学部材を保持している直線移動可能に支持されたスライダーを含むことを特徴とする請求項5に記載の測定顕微鏡装置。
- 前記導光手段は、前記照明光学系と前記指標投影光学系にそれぞれ接続された二本のファイバーライトガイドを含み、前記強度制御手段は、前記光源からの光を分割して前記ファイバーライトガイドに導く二つのビームスプリッターと、前記ビームスプリッターを切り換える切換機構とを含み、前記二つのビームスプリッターは前記光源からの光をそれぞれ異なる割合で分割することを特徴とする請求項4に記載の測定顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006315719A JP2008128894A (ja) | 2006-11-22 | 2006-11-22 | 測定顕微鏡装置 |
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JP2008128894A true JP2008128894A (ja) | 2008-06-05 |
Family
ID=39554853
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2019509522A (ja) * | 2016-03-24 | 2019-04-04 | マツクス−プランク−ゲゼルシヤフト ツール フエルデルング デル ヴイツセンシヤフテン エー フアウMAX−PLANCK−GESELLSCHAFT ZUR FOeRDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V. | 時空間光変調結像システム、物体を共焦点結像させるための方法、およびキャリア・ホイール装置 |
-
2006
- 2006-11-22 JP JP2006315719A patent/JP2008128894A/ja not_active Withdrawn
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US10969573B2 (en) | 2016-03-24 | 2021-04-06 | Max-Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschaften E.V. | Spatio-temporally light modulated imaging system, method for confocal imaging an object and carrier wheel device |
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