JP2008118850A - マイクロアクチュエータ - Google Patents
マイクロアクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008118850A JP2008118850A JP2007287536A JP2007287536A JP2008118850A JP 2008118850 A JP2008118850 A JP 2008118850A JP 2007287536 A JP2007287536 A JP 2007287536A JP 2007287536 A JP2007287536 A JP 2007287536A JP 2008118850 A JP2008118850 A JP 2008118850A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- drive means
- microactuator
- shaft
- joint
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0035—Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
- B81B3/004—Angular deflection
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/04—Optical MEMS
- B81B2201/042—Micromirrors, not used as optical switches
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Materials For Medical Uses (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
【課題】従来のマイクロアクチュエータを改良して、その寸法及び変位角度に関して制限されることなく所望のように構成することができるようにする。
【解決手段】マイクロアクチュエータであって、軸(10)と、少なくとも1つの第1の駆動手段(21)を有している形式のものにおいて、
軸(10)と第1の駆動手段(21)とが第1のジョイント(31)によって結合されている。
【選択図】図4.1
【解決手段】マイクロアクチュエータであって、軸(10)と、少なくとも1つの第1の駆動手段(21)を有している形式のものにおいて、
軸(10)と第1の駆動手段(21)とが第1のジョイント(31)によって結合されている。
【選択図】図4.1
Description
本発明は、軸と少なくとも1つの第1の駆動手段とを備えたマイクロアクチュエータから出発している。
静電的な駆動装置及び容量性の検出機構とはマイクロマシン、特にマイクロマシニングセンサにより公知である。即ち例えば、くし歯型電極を介して容量的に評価する加速度センサが公知である。その他にマイクロミラーも公知である。このマイクロミラーの変位のためにはマイクロアクチュエータが公知であって、このアクチュエータは、静電的な駆動手段によってねじられる軸を有している。ドイツ連邦共和国特許出願公開第19728598号明細書には、平面状電極を有した静電的な駆動装置を有したマイクロアクチュエータが開示されている。US6891650B2号特許明細書には、くし歯型電極を備えた静電的な駆動手段を有したマイクロアクチュエータが開示されている。
しかしながらしばしばこのようなアクチュエータには矛盾する要求が課せられる。一方では、エレメントを所望のようにほぼ静的に変位させることができるように、できるだけ高い力を生ぜしめるべきであり、他方では、エレメントの高い角度変位が求められる。しかしながら高い力のためには、電極のより大きな大きさが有利であるが、長さが長くなると最大の変位角度はそれだけ小さくなる。
ドイツ連邦共和国特許出願公開第19728598号明細書
US6891650B2号特許明細書
そこで本発明の課題は、冒頭で述べた形式のマイクロアクチュエータを改良して、その寸法及び変位角度に関して制限されることなく所望のように構成することができるようにすることにある。
この課題を解決するために本発明の構成では、マイクロアクチュエータであって、軸と、少なくとも1つの第1の駆動手段を有している形式のものにおいて、軸と第1の駆動手段とが第1のジョイントによって結合されているようにした。第1の駆動手段は最も簡単には、第1のジョイントによって直接、軸に、軸の回転軸線から所定の間隔をおいて結合されている。
しかしながら有利には第1のレバーが設けられており、第1のレバーの一方の端部は軸に結合されており、第1のレバーの他方の端部は第1のジョイントによって第1の駆動手段に結合されている。有利には駆動手段によって、所望の強さのトルクが軸に加えられる。
本発明によるマイクロアクチュエータの有利な構成では、第2の駆動手段が設けられていて、軸と第2の駆動手段とが第2のジョイントによって結合されている。さらに有利には、第1の駆動手段と第2の駆動手段とが第3のジョイントによって固定部に結合されている。特に有利な構成では、第2のレバーが設けられており、第1の駆動手段または第2の駆動手段も第3のジョイントによって第2のレバーの一方の端部に結合されており、固定部が第4のジョイントによって第2のレバーの他方の端部に結合されている。特に有利には、少なくとも第1の駆動手段または第2の駆動手段も、少なくとも1つの第1の電極および第2の電極を備えた静電的な駆動手段である。有利には、単数又は複数のジョイントにより、第1の駆動手段または第2の駆動手段も軸に関して並進的な運動ができるようになる。有利にはアクチュエータが基板の表面に配置されていて、固定部が基板に結合されている。
有利な発明では、静電的な駆動手段が設けられており、この駆動手段は電極の長さにおいても、マイクロマシニングエレメントの変位角度においても、先行技術における上述したような制限は受けない。電極がフレキシブルに懸吊されていることにより(面的であっても、くし歯型構成であっても)面による力は面積により、角度とは無関係に規定され、角度は、回転軸におけるレバーアームの長さにより、電極の寸法とは無関係に規定される。これにより、例えば、かけられる電圧による電極対の平行な引きつけと均一な力制御のような利点が得られる。有利には、回転軸線に対して垂直な電極の寸法も臨界的ではない。何故ならばこれにより、最大の変位角度の制限はないからである。本発明によるマイクロアクチュエータによりより大きな力が得られる。これにより、より広い使用範囲が得られる。有利には最大の変位角度(回転角度)は回転軸線のジオメトリにより設定可能である。本発明によるマイクロアクチュエータにより、簡単かつ安価な製造も可能である。ジョイントにより駆動手段と軸とを結合することにより例えば、駆動電極の簡単な配置を選択することもできる。何故ならば、電極の角度変位による電極の振動のための空間を設ける必要がないからである。従って有利にはアクチュエータは表面マイクロマシニング的により僅かな加工深さで基板に製造することができる。これにより、基板の片面加工が可能である。その結果さらに、プロセスを簡略にすることができ、これはコスト削減と改善された歩留まりにつながる。
本発明のさらに有利な構成は請求項2以下に記載されている。
次に図面につき本発明の実施例を説明する。
図1.1には先行技術によるマイクロミラーにおけるマイクロアクチュエータが休止位置で示されている。図示されたマイクロアクチュエータは、第1の駆動手段21と第2の駆動手段22に接続されている軸10を有している。駆動手段21,22は静電的な駆動手段として形成されていて、この駆動手段はそれぞれ可動の電極61と固定の電極62のグループから成っている。第1の電極61と第2の電極62とはそれぞれ1つのくし歯型電極構造体を形成している。第1の電極または可動電極61は軸10に固定されている。第2の電極または固定電極62は、上記構造体の下側に配置されているが図示されていない1つの基板上に固定されている。軸10の一方の端部にはマイクロミラー15が配置されている。この端部で軸が所定の角度だけ回転又は変位する際に、マイクロミラー15もこの角度だけ回転もしくは変位する。軸10は他方の端部で固定することができる。軸10の回転は軸10のねじれにより実行可能である。図1.1では、アクチュエータが休止位置に位置することができる。マイクロミラー15も相応に変位されていない。
図1.2には先行技術によるマイクロミラーにおけるマイクロアクチュエータが変位されて示されている。エレメントの第1の電極61と固定電極の一方の側の第2の電極62との間に電圧Uがかけられている場合に静電的な引張力が生じる。電圧Uが負荷された電極61,62は互いに接近する。その結果、軸10は所定の角度、回転する。軸10に固定されたマイクロミラー15は一緒に変位される。
図2.1、図2.2、図2.3には、先行技術によるマイクロアクチュエータが再度、横断面図で示されている。図2.1にはこの場合、くし歯型電極を有する先行技術によるマイクロアクチュエータが、休止位置の第1の運転状態で示されている。第1の駆動手段21と第2の駆動手段22の第1の電極61と第2の電極62との間にはこの場合、電圧Uがかかっていない。図2.2と図2.3とにはそれぞれ、くし歯型電極を有する先行技術によるマイクロアクチュエータの横断面図がそれぞれ、かけられた電圧に応じて異なるように変位された状態で示されている。図2.2では上方の図Aで、図示したシンボル+と−で示された電圧が、駆動手段21の第1の電極61と第2の電極62との間にかけられている。引きつける静電的な力Fの作用により、第1のくし歯型電極61は第2のくし歯型電極62の間へと引っ張られ、軸は第1の方向で所定の回転角度だけ回転する。下方の図Bでは、電圧は、第2の駆動手段22の第1の電極61と第2の電極62の間にかかっている。引きつける静電的な力Fの作用により、軸10は、第1の方向とは逆の第2の方向へと所定の回転角度だけ回転される。図2.3には、軸10が所定の回転角度よりもさらに変位された場合に何が起こるのかが示されている。即ち、下方に向かう電極面により、変位力Fに反作用し、従って最大可変変位を制限する戻し力FRが生じる。図示されたくし歯型電極の代わりに、互いに上下に配置された面状の電極を使用する場合には、変位は、始めからジオメトリにより制限されている。可動電極61が固定電極62に当接すると、変位は機械的に制限される。このような変位の機械的な制限は、くし歯型電極の場合も、可動電極61が、構造体の下方に位置された基板に当接する場合に生じる。
図3には、先行技術によるマイクロアクチュエータの電極対の横断面におけるジオメトリ的条件が変位した状態で示されている。図3により、可動電極の長さlの、回転角度または変位角度である角度αおよび厚さdに対する関係が次のように示される。
l=d/tanα
α=10°の所望の角度およびd=20μmの電極の所望の厚さの場合には、例えば電極の最大長さはほぼl=113μmである。得られる最大の力Fは、回転軸線の延長または複数の電極もしくは駆動手段を相応に並列接続することによって高めることができるが、これは基板上での構造体の所要底面積を高める。
α=10°の所望の角度およびd=20μmの電極の所望の厚さの場合には、例えば電極の最大長さはほぼl=113μmである。得られる最大の力Fは、回転軸線の延長または複数の電極もしくは駆動手段を相応に並列接続することによって高めることができるが、これは基板上での構造体の所要底面積を高める。
図4.1〜図4.8には、本発明によるマイクロアクチュエータの種々様々な実施例が休止位置および変位された状態で示されている。
図4.1には本発明によるマイクロアクチュエータの第1実施例が休止位置で示されている。このマイクロアクチュエータは、基板100を有しており、該基板100上には固定の電極62が配置されている。基板100の上方には軸10と可動の電極61が配置されている。可動の電極61と固定の電極62とは一緒に第1の駆動手段21を形成している。第1の駆動手段21の一部としての可動の電極61は軸10に第1のジョイント31によって結合されている。このジョイント31は例えばフレキシブルなばねとして形成されていて良い。第1のジョイント31はこの場合、第1のレバー41に結合されていて、この第1のレバー41は軸10に固定に結合されている。選択的に、第1のジョイント31は軸10に直接、軸10の回転軸線から所定の間隔をおいて結合されていても良い。可動の電極61と固定の電極62とはくし歯型電極として形成されている。ジョイント31は、フレキシブルな、少なくとも部分的に導電的に形成された結合部として形成されている。少なくとも部分的に導電的に形成された結合部はこの場合、可動の電極61と軸10との間の導電的な結合を保証する。ここでは、マイクロアクチュエータの第1の運転状態が、即ち休止位置が示されている。
図4.2には、本発明によるマイクロアクチュエータの第1実施例が変位された状態で示されている。変位された状態はマイクロアクチュエータの第2の運転状態である。この状態では軸10は第1の回転方向で回転されている。この場合、かけられる電圧により、既に先行技術に関して上述したように、くし歯型電極として形成された、第1の駆動手段21の第1の電極61と第2の電極62が、静電的な力により互いに引きつけられる。しかしながら、本発明によるジョイント31により、先行技術とは異なり、可動の電極61はゼロではない角度をなすのではなく、固定の電極62と基板100とに対して平行に、固定の電極62へと引き付けられる、もしくは固定の電極62内に引き付けられる。
図4.3及び図4.4には、本発明によるマイクロアクチュエータの第2実施例が休止位置と変位された状態とで示されている。第1実施例とは異なりこの場合、固定部50が設けられていて、この固定部50は基板100上に固定されている。さらに、第2のレバー42が設けられている。第1の駆動手段21は第3のジョイント33によって第2のレバー42の一方の端部に結合されている。固定部50は第4のジョイント34によって第2のレバー42の他方の端部に結合されている。
図4.5及び図4.6には、本発明によるマイクロアクチュエータの第3実施例が休止位置と変位された状態とで示されている。上記の実施例とは異なり、まず、第1の駆動手段21の反対側で軸10には同様の第2の駆動手段22が設けられていて、この駆動手段22は逆の回転方向での変位のために働く。第2の駆動手段22は第2のジョイント32によって、第1の駆動手段21と同様に軸10に接続されている。第2の駆動手段22を有したアクチュエータの領域は部分的にしか示されていない。しかしながら第1の駆動手段21に関する図面が、第2の駆動手段22にも当てはまる。第1の駆動手段21のために図示されたように、第1の駆動手段21と第2の駆動手段22とは第3のジョイント33によって直接に固定部50に結合されている。
しかしながら第2の駆動手段22は、第1の回転方向での変位も助成することができる。この場合、第2の駆動手段22の第1の電極61と第2の電極62とは同様の電荷により負荷される。
別の運転状態において、第1の駆動手段21および第2の駆動手段22に同様に、電圧Uをかけることもでき、これにより基板100に関して軸10の並進的な変位が回転することなしに行われる。並進的な変位および回転的な変位を、別の運転状態でも組み合わせることができる。
本発明の別の実施例、特に、本発明によるジョイントとその配置の別の組み合わせも考えられる。
記載したレバー41またはレバー42の形状と長さは、基板100への固定部50とも同様に所望の使用例に適合させることができる。特にこれにより、トルクと回転角度を適合させることができる。例えば、第3のジョイント33を、別の構成のより長いばねとして設けることも考えられる。このばねは、必要に応じてさらに、基板100に対する電気的絶縁を保証し、または固有の固定部50なしでも直接的に基板100に固定されている。選択的には本発明を、くし歯型電極ではなく面状の電極のために使用することもできる。この場合、固定の対応電極62は基板100上で構造化されていて、電圧Uをかけることにより、両電極間の間隔だけが減じられる。最大の変位は、電極61と電極62とが機械的に接触している状態で生じる。さらに、単数又は複数の本発明によるジョイント31,32,33,34は、弾性的に、または別の形式でフレキシブルに形成することもでき、この場合、長さが可変であって、従って、第1の駆動手段21または第2の駆動手段22の並進的な可動性、特に、軸10に関する可動の電極61の並進的な可動性が得られる。
10 軸、 15 マイクロミラー、 21 第1の駆動手段、 22 第2の駆動手段、 31 第1のジョイント、 32 第2のジョイント、 33 第3のジョイント、 34 第4のジョイント、 41 第1のレバー、 42 第2のレバー、 50 固定部、 61 第1の電極、 62 第2の電極、 100 基板
Claims (8)
- マイクロアクチュエータであって、軸(10)と、少なくとも1つの第1の駆動手段(21)を有している形式のものにおいて、
軸(10)と第1の駆動手段(21)とが第1のジョイント(31)によって結合されていることを特徴とする、マイクロアクチュエータ。 - 第1のレバー(41)が設けられており、
第1のレバー(41)の一方の端部が軸(10)に結合されていて、
第1のレバー(41)の他方の端部が第1のジョイント(31)によって第1の駆動手段(21)に結合されている、請求項1記載のマイクロアクチュエータ。 - 第2の駆動手段(22)が設けられており、軸(10)と第2の駆動手段(22)とが第2のジョイント(32)によって結合されている、請求項1又は2記載のマイクロアクチュエータ。
- 第1の駆動手段(21)及び/又は第2の駆動手段(22)が第3のジョイント(33)によって固定部(50)に結合されている、請求項1から3までのいずれか1項記載のマイクロアクチュエータ。
- 第2のレバー(42)が設けられており、
第1の駆動手段(21)及び/又は第2の駆動手段(22)が第3のジョイント(33)によって、第2のレバー(42)の一方の端部に結合されていて、
固定部(50)が第4のジョイント(34)によって第2のレバー(42)の他方の端部に結合されている、請求項4記載のマイクロアクチュエータ。 - 少なくとも第1の駆動手段(21)及び/又は第2の駆動手段(22)が、少なくとも1つの第1の電極(61)及び第2の電極(62)備えた静電的な駆動手段である、請求項1から5までのいずれか1項記載のマイクロアクチュエータ。
- ジョイント(31,32,33,34)により、第1の駆動手段(21)及び/又は第2の駆動手段(22)が軸(10)に関して並進的に運動可能である、請求項1から6までのいずれか1項記載のマイクロアクチュエータ。
- 基板(100)の表面にアクチュエータが配置されていて、固定部(50)が基板(100)に結合されている、請求項1から7までのいずれか1項記載のマイクロアクチュエータ。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102006052414.4A DE102006052414B4 (de) | 2006-11-07 | 2006-11-07 | Mikromechanischer Aktor mit einer Welle |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008118850A true JP2008118850A (ja) | 2008-05-22 |
Family
ID=39264938
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007287536A Pending JP2008118850A (ja) | 2006-11-07 | 2007-11-05 | マイクロアクチュエータ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8791620B2 (ja) |
JP (1) | JP2008118850A (ja) |
DE (1) | DE102006052414B4 (ja) |
FR (1) | FR2908124B1 (ja) |
IT (1) | ITMI20072119A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013097138A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Kyushu Univ | マイクロスキャナ |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006052414B4 (de) * | 2006-11-07 | 2015-10-01 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Aktor mit einer Welle |
DE102012200943B4 (de) | 2012-01-24 | 2024-05-29 | Robert Bosch Gmbh | Gelenkvorrichtung für einen Sensor und Sensor |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3543917A (en) | 1968-06-06 | 1970-12-01 | Cochran Western Corp | Inclined elevator conveyor |
US5999303A (en) * | 1997-03-24 | 1999-12-07 | Seagate Technology Inc. | Micro-machined mirror using tethered elements |
US6128122A (en) * | 1998-09-18 | 2000-10-03 | Seagate Technology, Inc. | Micromachined mirror with stretchable restoring force member |
DE19728598C2 (de) * | 1997-07-04 | 2000-12-14 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanische Spiegeleinrichtung |
TW472402B (en) * | 2001-01-02 | 2002-01-11 | Hung-Yi Lin | Micro-mechanical driving device and its manufacturing method |
TW480346B (en) * | 2001-02-01 | 2002-03-21 | Walsin Lihwa Corp | Actuating mechanism for rotating micro-mirror |
US6480320B2 (en) * | 2001-02-07 | 2002-11-12 | Transparent Optical, Inc. | Microelectromechanical mirror and mirror array |
JP3827977B2 (ja) * | 2001-08-20 | 2006-09-27 | 富士通株式会社 | マイクロミラー素子の製造方法 |
JP4089215B2 (ja) * | 2001-09-17 | 2008-05-28 | 株式会社ニコン | マイクロアクチュエータ、並びに、これを用いたマイクロアクチュエータ装置、光スイッチ及び光スイッチアレー |
US6760144B2 (en) * | 2001-12-05 | 2004-07-06 | Jds Uniphase Corporation | Articulated MEMS electrostatic rotary actuator |
US20050094931A1 (en) * | 2002-01-21 | 2005-05-05 | Kazuo Yokoyama | Optical switch and production method therefor, information transmission device using it |
US6822370B2 (en) * | 2002-03-06 | 2004-11-23 | Analog Devices, Inc. | Parallel plate electrostatic actuation of MEMS mirrors |
US7085122B2 (en) * | 2003-05-21 | 2006-08-01 | The Regents Of The University Of California | MEMS tunable capacitor based on angular vertical comb drives |
JP2005092174A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-04-07 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子 |
US7432629B2 (en) * | 2005-02-16 | 2008-10-07 | Jds Uniphase Corporation | Articulated MEMs structures |
JP4645227B2 (ja) * | 2005-02-28 | 2011-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子構造体及びその製造方法 |
DE102006052414B4 (de) * | 2006-11-07 | 2015-10-01 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Aktor mit einer Welle |
-
2006
- 2006-11-07 DE DE102006052414.4A patent/DE102006052414B4/de active Active
-
2007
- 2007-11-05 JP JP2007287536A patent/JP2008118850A/ja active Pending
- 2007-11-05 FR FR0758774A patent/FR2908124B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 2007-11-06 US US11/983,176 patent/US8791620B2/en active Active
- 2007-11-06 IT IT002119A patent/ITMI20072119A1/it unknown
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013097138A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Kyushu Univ | マイクロスキャナ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ITMI20072119A1 (it) | 2008-05-08 |
FR2908124B1 (fr) | 2013-03-22 |
DE102006052414A1 (de) | 2008-05-08 |
FR2908124A1 (fr) | 2008-05-09 |
DE102006052414B4 (de) | 2015-10-01 |
US20080151342A1 (en) | 2008-06-26 |
US8791620B2 (en) | 2014-07-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4219383B2 (ja) | 櫛歯型静電アクチュエータ | |
US7420318B1 (en) | Lateral piezoelectric microelectromechanical system (MEMS) actuation and sensing device | |
US9676607B2 (en) | Micromechanical device with an actively deflectable element | |
JP2007006696A (ja) | 静電アクチュエータ、静電アクチュエータを有するデバイス、このようなデバイスを有するマイクロシステム及びこのようなアクチュエータの製造方法 | |
EP2419370A2 (en) | Long travel range mems actuator | |
JP2008118850A (ja) | マイクロアクチュエータ | |
WO2009095950A1 (ja) | クランプ装置 | |
JP2018186656A5 (ja) | ||
JP6911162B2 (ja) | 回転式超音波モータ | |
JP2007259691A (ja) | Memsの静電駆動法、静電アクチュエーター、及びマイクロスイッチ | |
US20160133824A1 (en) | Actuator | |
US20080001499A1 (en) | Conductive polymer drive for actuating eccentric members of a motor | |
JP7422744B2 (ja) | 触覚応答を備える車両操作ユニット | |
US8912708B2 (en) | Electromechanical motor | |
JP4550620B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよびそれを用いた電子機器 | |
EP2870690B1 (en) | A wobble motor with a solid state actuator | |
JP2006203982A (ja) | 高分子アクチュエータおよび多関節ハンドロボット | |
CN109478856B (zh) | 致动器 | |
JP2020089946A (ja) | マイクロ構造およびマイクロ構造の制御方法 | |
US8810881B2 (en) | Micro structure, micro actuators, method of fabricating micro structure and micro actuators | |
CN109417125B (zh) | 超声致动器 | |
JP4815756B2 (ja) | アクチュエータ | |
JP2005046958A (ja) | マイクロ構造体 | |
JP2009238546A (ja) | 微小電気機械スイッチ | |
WO2022106492A1 (en) | Mems actuator and method for controlling a mems actuator |