JP2008118254A - 屈曲振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基部からY軸方向に振動長、X軸方向に振動幅、Z軸方向に厚みを有する一対の振動腕部33,34を備え、この振動腕部33,34の外側の側面s1及び凹部37,38内の側面s2に励振電極35a,36a及び励振電極35b,36bがそれぞれ形成される屈曲振動子31において、前記各励振電極は、その上端及び下端が前記振動腕部33,34の上面u及び下面dと前記側面s1,s2との間にできる上側稜線u1及び下側稜線d1からそれぞれ内側に絶縁部30を残して形成した。
【選択図】 図4
Description
s3 底面
u 上面
u1 上側稜線
d 下面
d1 下側稜線
10 光
21,31,41 屈曲振動子
22,32,42 基部
23,24,33,34,43,44 振動腕部
25,26,35,36,45,46 励振電極
27,28,37,38 凹部
29 金属塵
39 金属導電膜
40 フォトレジスト膜
30,50 絶縁部
Claims (8)
- 基部と、この基部からY軸方向に振動長、X軸方向に振動幅、Z軸方向に厚みを有する振動腕部とで構成され、Y軸及びZ軸からなるY−Z面に対応する前記振動腕部の側面に励振電極が形成される屈曲振動子において、
前記励振電極は、前記振動腕部の側面の域内に形成されることを特徴とする屈曲振動子。 - 前記励振電極は、その上端及び下端が前記振動腕部のX軸及びY軸からなるX−Y面に対応する上面及び下面と前記側面との間にできる上側稜線及び下側稜線まで延びている請求項1記載の屈曲振動子。
- 前記励振電極は、その上端及び下端が前記振動腕部のX軸及びY軸からなるX−Y面に対応する上面及び下面と前記側面との間にできる上側稜線及び下側稜線からそれぞれ内側に形成される請求項1記載の屈曲振動子。
- 前記側面には、前記上側稜線及び下側稜線と励振電極の上端及び下端との間に振動腕部の表面が露出する絶縁部分が形成される請求項3記載の屈曲振動子。
- 前記絶縁部分は、0.5μm以上に形成される請求項4記載の屈曲振動子。
- 前記励振電極は、前記振動腕部の上側稜線及び下側稜線、あるいは、上側稜線及び下側稜線から側面の上端及び下端にかかる内側方向を焦点範囲とする露光によってパターニング形成される請求項2又は3記載の屈曲振動子。
- 前記露光は、前記上側稜線及び下側稜線から側面の上端及び下端から内側の方向に0.5〜5μmの範囲で行われる請求項6記載の屈曲振動子。
- 前記振動腕部には、振動幅の略中央部に所定の幅及び深さで、振動長方向に延びる凹部が形成され、この凹部内の側面に前記励振電極が形成される請求項1乃至7のいずれかに記載の屈曲振動子。
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JP2006297507A JP2008118254A (ja) | 2006-11-01 | 2006-11-01 | 屈曲振動子 |
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2006
- 2006-11-01 JP JP2006297507A patent/JP2008118254A/ja active Pending
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