JP2008117986A - ロードポート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ロードポート1は、内部に半導体製造装置が配置された隔離空間が形成された半導体製造ユニットの一側面に取り付けられている。ロードポート1の隔離空間と外部とを連通させる開口部12を閉鎖するドアユニットのドアプレート40には、FOUPの蓋との対向面40aに2つの吸引装置41の吸引口41aが形成され、さらに、2つの吸引口41aの周囲を取り囲むようにそれぞれ4つずつ合計8つのスペーサ42が配置されている。スペーサ42は対向面40aから前方に突出しており、吸引装置41によりFOUPの蓋がドアプレート40に吸い付け保持されたときには、蓋とドアプレート40との間に隙間ができる。そして、排気口43aからファンによりこの隙間の空気及び空気中に含まれる異物を排出する。
【選択図】図6
Description
また、ファン43は、隙間Sの空気を排出するときにのみ駆動させればよいので、ファン43が長寿命なものとなる。
2 FOUP
12 開口部
13 ドアユニット
16 載置台
22 蓋
25 収納空間
40 ドアプレート
40a 対向面
41 吸引装置
41a 吸引口
42 スペーサ
43 ファン
45 排気空間
46 フィルタ室
47 フィルタ
48 ダクト
49 移動装置
100 半導体製造ユニット
101 隔離空間
Claims (4)
- 内部に半導体基板が収納される収納空間が形成され、側面に設けられた蓋によって前記収納空間が閉鎖されたキャリアの前記収納空間と、半導体製造装置が配置された、外部から隔てられた隔離空間とを連通させるロードポートであって、
前記キャリアが載置される載置部と、
前記隔離空間を外部に連通させる開口部と、
前記開口部の開放及び閉鎖を行うドアユニットとを備え、
前記ドアユニットが、
前記載置部に載置された前記キャリアの前記蓋に対向する対向面を有し、前記開口部を閉鎖するドアプレートと、
前記蓋を前記対向面に保持する保持手段と、
前記対向面から前記蓋に向かって突出した複数の突出部と、
前記ドアプレートに保持された前記蓋と、前記ドアプレートとの隙間に存在する空気を排出する排気手段と、
前記ドアプレートを、前記開口部を閉鎖する閉鎖位置と、前記開口部を開放する前記隔離空間内の開放位置のいずれかの位置に移動させる移動手段とを有していることを特徴とするロードポート - 複数の前記突出部が前記保持手段の周囲を取り囲むように配置されていることを特徴とする請求項1に記載のロードポート。
- 前記ドアユニットが、
前記排気手段によって排気された空気が流れ込む排気空間と、
前記排気空間内の空気に含まれる異物を除去するフィルタとをさらに有し、
前記排気空間と前記隔離空間とが前記フィルタを介してのみ連通していることを特徴とする請求項1に記載のロードポート。 - 前記排気手段は、前記蓋が前記ドアプレートに保持されたときのみ駆動されることを特徴とする請求項1に記載のロードポート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006301074A JP2008117986A (ja) | 2006-11-07 | 2006-11-07 | ロードポート |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006301074A JP2008117986A (ja) | 2006-11-07 | 2006-11-07 | ロードポート |
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Family Applications (1)
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JP2006301074A Pending JP2008117986A (ja) | 2006-11-07 | 2006-11-07 | ロードポート |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2006
- 2006-11-07 JP JP2006301074A patent/JP2008117986A/ja active Pending
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