JP2008112894A - 粘着性放熱シート - Google Patents

粘着性放熱シート Download PDF

Info

Publication number
JP2008112894A
JP2008112894A JP2006295649A JP2006295649A JP2008112894A JP 2008112894 A JP2008112894 A JP 2008112894A JP 2006295649 A JP2006295649 A JP 2006295649A JP 2006295649 A JP2006295649 A JP 2006295649A JP 2008112894 A JP2008112894 A JP 2008112894A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat
adhesive
sheet
silicone
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006295649A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5132122B2 (ja
Inventor
Toshikatsu Mitsunaga
敏勝 光永
Masahide Kaneko
正秀 金子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denka Co Ltd
Original Assignee
Denki Kagaku Kogyo KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denki Kagaku Kogyo KK filed Critical Denki Kagaku Kogyo KK
Priority to JP2006295649A priority Critical patent/JP5132122B2/ja
Publication of JP2008112894A publication Critical patent/JP2008112894A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5132122B2 publication Critical patent/JP5132122B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

【課題】金属基板、ガラスエポキシ基板等に搭載された半導体、CPU、チップセット等から発生する熱を効率よく放出するのに用いられるものであり、粘着層を別途付与することなく、自己粘着性を持つ放熱シートに関する。
【解決手段】シリコーン系粘着剤中に熱伝導性フィラーを配合し、両面に自己粘着性を発現させた事を特徴とする放熱シートであり、180度引きはがし試験による粘着力が0.2N/10mm以上、熱抵抗が0.9℃/W以下である粘着性放熱シート。

【選択図】 なし

Description

本発明は、粘着性のあるシリコーン系放熱シートに関する。詳しくは、プリント配線基板(例えば、金属基板、ガラスエポキシ基板等)に搭載された半導体、CPU、チップセット等から発生する熱を効率よく放出するのに用いられるものであり、粘着層を別途付与することなく、自己粘着性を持つ放熱シートに関する。
近年、 薄型テレビ、パーソナルコンピューター、デジタルカメラ等の電子機器は高性能化が著しく、ますます小さい搭載面積下に多数の発熱性電子部品が高密度に組み込まれるようになってきている。それに伴い、放熱対策は益々重要となっており、用いられる放熱部材には低熱抵抗化の要求が高まっている。
これら電子機器に搭載される金属基板やプリント配線基板に実装されるパッケージは、素子の発熱による温度上昇で性能が低下したり、場合によっては装置が故障したりする問題が発生している。このため従来からのシリコーン系放熱シートや放熱グリース、相変化型放熱部材等が提案され使用されてきた。
しかしながら、従来のシリコーン系放熱シートの場合、界面熱抵抗が大きく、材料自身の熱伝導率の割には実装着での放熱性に優れなかった場合が多かった。そこで対策としてゴム硬度が低く柔軟性のあるシリコーン系放熱シートも提案されてきている(例えば特許文献1参照)が、柔らかく柔軟であるためハンドリング性に劣り、放熱に効果的な薄肉化(薄膜化)が出来ないため、放熱性に限界があった。
放熱グリースは、放熱フィン等に密着することが可能であり、熱抵抗が低い特徴を有する(例えば特許文献2参照)が、他の部品を汚したり、長時間での使用時に放熱グリースがポンプアウトする欠点があったりした。
相変化型放熱部材は、発熱素子自身の熱で薄肉化し熱抵抗が小さい特徴がある(例えば特許文献3参照)が、マトリックス樹脂自身の長期信頼性はシリコーンより劣るため、相変化温度以上に長時間曝された場合、樹脂層が劣化する等の信頼性に乏しい問題が発生している。また、粘着力はあるものの剥離性が悪く一度装着したあとの再利用は不可能であった。
粘着性を持つ放熱シートは、シリコーン系放熱シートにアクリルやシリコーン等の粘着性を示す樹脂層をシートに塗布する事が一般的に行われている(例えば特許文献4参照)が、粘着層を塗布することで界面熱抵抗が増加し放熱性に悪影響を及ぼしたり、粘着剤を塗布する工程が別途必要であったり等の課題があった。
柔軟性のあるシリコーン系放熱材(例えば特許文献5参照)は、表層に若干の未反応シリコーンがあり微粘着を示すが、粘着力が不十分であり従来の金属基板と放熱フィンに貼り付ける粘着層としては不十分であり、近年のデジタル家電製品(例えばデジタルビデオディスクレコーダや薄型テレビ)やカーナビゲーションなどに使用されるプリント配線基板(例えば、金属基板、ガラスエポキシ基板等)
や、金属、ガラスエポキシ系のフレキシブル性を持つ基板の場合は、各材料の線膨張差による熱ストレス等による変形(例えば反りなど)に追随する事ができず隙間が生じるため放熱に不具合が生じていた。
特開平6−155517 特開平10−110179 特開2002−234952 特開昭56−161699 特開平09−296114
上記従来技術の状況に鑑み、本発明の目的は、パーソナルコンピューター、薄型テレビ、デジタルカメラ等の電子機器などの発熱素子からの放熱に好適なシリコーン系粘着性放熱シートに関するものである。
本発明者らは、上記目標を達成するため鋭意検討を重ねた結果、シリコーン樹脂の中で粘着性を有する樹脂に特定の熱伝導性フィラーを配合した時に、放熱性、耐熱性、信頼性に優れる粘着性放熱シートが得られることを見いだし本発明に到達した。
本発明はシリコーン系粘着剤中に熱伝導性フィラーを配合し、両面に自己粘着性を発現させた事を特徴とする放熱シートであり、そのシートのJIS Z0237による180度引きはがし粘着力の測定による粘着力が0.2N/10mm以上、TO−3形状の熱抵抗が0.9℃/W以下である粘着性放熱シートである。また、そのシリコーン系放熱シートのマトリックス成分中にテルペン系粘着付与剤を10体積%以下含有するシリコーン系粘着放熱シートであることが好ましい。また、補強層で補強して貼り付け、剥がし等の作業時にハンドリング性に優れる粘着放熱シートである。
本発明で使用されるシリコーン系粘着剤は、過酸化物硬化型、付加反応型シリコーンのいずれも用いることができ、シート化して硬化後にも粘着性を発現するシリコーンである。このましくは、JIS Z0237による180度引きはがしによる粘着力が0.2N/10mm以上必要である。粘着力が0.2N/10mmより低いとフィラーを加え最終的な放熱シートの形態にした場合に粘着力が劣り好ましくない。
熱伝導性フィラーの最大粒子径は、10μm以上150μm以下である。10μmより最大粒子径が小さいと平均径も小さく比表面積が大きくなり、シート化成型時にコンパウンドの粘度が高くなり好ましくない。また、最大粒子径が150μmより大きいと、得られる放熱シートの厚みを薄くすることが難しくなり、結果として放熱性に優れるシートを製造することが難しくなる。
本発明の放熱シートに使用する熱伝導性フィラーとしては、ボロンナイトライド、窒化アルミニウム、窒化珪素、酸化アルミニウムなど熱伝導率の高いセラミックスが使用できる。特にボロンナイトライド粉末を使用した場合、その結晶構造から耐電圧等のシート絶縁特性を高めることが可能であり好ましい。
本発明の放熱シートは、180度引きはがし試験による粘着力が0.2N/10mm以上である。粘着力が0.2N/10mm未満では、金属基板、ガラスエポキシ基板等への貼り付けが出来ない。また、被着体である金属基板、ガラスエポキシ基板、金属筐体などとの部分的な剥離により界面熱抵抗が大きくなり、目的とする放熱性が得られない。
本発明で使用されるテルペン系粘着付与剤は、基材のシリコーン系粘着剤に粘着力を付与する作用を有するものである。またテルペン系粘着付与剤は、基材であるシリコーン系粘着剤との相溶性に優れるため好ましい。
テルペン系粘着付与剤はテレピン油などを原料とした樹脂であり、テルペンを重合したテルペン樹脂、フェノールとテルペンを反応させたテルペンフェノール樹脂、スチレン等と反応させた芳香族変性テルペン樹脂や水素化テルペン樹脂等を例示することができる。好ましくは、テルペンフェノール樹脂、芳香族変性テルペン樹脂、水素化テルペン樹脂である。
本発明の放熱シートは、マトリックス成分中に粘着付与剤を10体積%以下含有することが好ましい。10体積%超えて含有する場合は、本発明シートの基本であるシリコーン系粘着剤の特性が生かせず、耐熱、耐湿性能が劣ることになり好ましくない。
テルペン系粘着付与剤は、軟化点温度が30℃以上100℃未満の場合と、軟化点温度が100℃以上150℃以下の場合に、その効果が異なり両方の場合でそれぞれ有効である。
テルペン系粘着付与剤の軟化点温度が、30℃以上100℃未満の場合は、パソコンのCPUの放熱の場合などのように、地面と平行の発熱素子とヒートシンクの間に放熱シートを挟む場合に有効である。常温時には粘着性を発現し被着体への貼り付け作業性が良好であり、実装されたCPU等の発熱性部品が実装された基板と金属筐体やヒートシンクの間に挟み込んで使用した場合、当該発熱素子の温度上昇と共に、シリコーン系粘着放熱シートの界面に液状の粘着付与剤成分が溶融介在し、界面熱抵抗を大幅に低減できる。このためハンドリング性が悪い従来のシリコーングリースや、信頼性に乏しい熱可塑性樹脂系の相変化型放熱部材に代わり、CPU等の発熱素子の放熱に有効である。
一方、テルペン系粘着付与剤の軟化点温度が100℃以上150℃以下の場合は、デジタル家電製品(例えばデジタルビデオディスクレコーダや薄型テレビ)等に用いられる地面に対し90度に立てかける発熱素子が実装されたガラスエポキシ基板等に貼り付ける場合や、通常の電源に用いられるネジ止め絶縁放熱シートが使用される部位に有効である。発熱素子の温度が高温になった場合でも、粘着力が低減せず剥離しないため、プリント配線基板(例えば、金属基板、ガラスエポキシ基板等)や金属、ポリイミド、ガラスエポキシフレキシブル基板への装着や、電源機器筐体への粘着固定に有効である。
本発明の放熱シートは、ガラスクロス、PETフィルム、ポリイミドフィルム等の補強層で補強することが好ましい。CPU用放熱シートや金属基板、ガラスエポキシ基板等の放熱シートに用いる場合、低熱抵抗化の為に薄肉化する事が必要であるが、補強層で補強することでハンドリング性が向上する。また、補強層で補強することで貼り付け、剥がし作業が良好となる。
本発明の放熱シートは、原料の混合工程、成形工程を経て製造される。混合は、万能混合機等を用い、有機溶剤などで希釈して行われるドクターブレードやコンマコーターによるシート化法が望ましく、シート化に際しては離型処理の施されたフィルムを用いることが好ましい。そのフィルムの一例として、シリコーンの塗布やフッ素処理したPETフィルムがある。また、有機溶剤を使用せずに押し出し成形後にカレンダーロール等で薄肉化して製造することもできる。
以下、実施例を、比較例をあげて更に具体的に本発明を説明する。
実施例1〜4、比較例1〜2
シリコーン系粘着剤(GE東芝シリコーン社製YR3340)にBN粉末(電気化学工業社製SGPS)とアルミナ粉末(電気化学工業社製DAW10)と硬化剤(日本油脂社製ナイパーBW)を表1に示す配合組成で混合し、トルエンを溶剤に粘度を6Pasに調整した。調整したスラリーに補強層としてガラスクロスを内部に挿入しながらドクターブレード装置で厚み0.20mmの放熱シートを作製した。
比較例3、比較例4
市販の放熱シート電気化学工業社製の厚み0.2mmの放熱シートBFG20を比較例3として、同様にBFG20の両面に10μmアクリル粘着層を付与したもの(BFG20AD)を比較例4として評価した。
得られた放熱シートについて、以下に従い、(1)熱抵抗、(2)粘着力、(3)実装時の温度差、(4)密着性・剥離性を測定した。それらの結果を表1に示す。
(1)熱抵抗
作製した粘着性放熱シートをTO−3型銅製ヒーターケースと銅板の間に0.035N・mの力がかかるようにネジ止めした後、ヒーターケースと銅板が60℃になるまで加温後室温まで冷却する。ついで、ヒーターケースに電力15Wをかけて4分間保持したときに、銅製ヒーターケースと銅板の温度差を測定し、以下の式で熱伝導率を算出した。
熱抵抗(℃/W)=温度差(℃)/印加電力(W)
(2)粘着力
JIS−Z0237(粘着テープ・粘着シートの試験方法)の粘着力180度引きはがし法に準じて粘着力を測定した。
(3)実装時の温度差
薄型テレビや携帯電話等のプリント基板を想定し、縦横30mmのガラスエポキシ基板上に2Wの発熱体を乗せ、作製した粘着性放熱シートで1mm厚みのアルミ板に貼り付け通電した。30分後の粘着性放熱シートの上下の温度を計測し、温度差を求めた。
(4)密着性、剥離性
実装時の温度差測定後にガラスエポキシ基板とアルミ板とが確実に密着しているか目視で確認した(密着性)。更に評価後に粘着性放熱シートを剥がす事が可能か確認した(剥離性)。
実施例、比較例から分かるように、本発明の放熱シートは粘着力も高く、密着性に優れ、ガラスエポキシ基板等へも確実に密着することが可能である。また、自己粘着性であるため粘着層を後工程で付与するタイプの放熱シートと異なり熱抵抗も低く、実装時にも良好な放熱性を示した。
実施例5〜8、比較例5、6
シリコーン系粘着剤(GE東芝シリコーン社製YR3340)に表2に示す配合組成でフィラー、硬化剤及び軟化点温度が異なるテルペン系粘着付与剤を混合し、トルエンを溶剤に粘度を6Pasに調整した。
テルペン系粘着付与剤は、市販のヤスハラケミカル社製クリアロンP85(軟化点温度85℃)、クリアロンP105(軟化点温度105℃)、YSポリスターT30(軟化点温度30℃)、YSポリスターT80(軟化点温度80℃)を用いた。作製したスラリーに補強層としてガラスクロスを内部に挿入しながらドクターブレード装置で厚み0.20mmの放熱シートを作製した。
得られた放熱シートについて、前記に示した(1)熱抵抗(2)粘着力、並びに下記に示す(5)パソコン実装時の温度、(6)高温高湿下での信頼性を測定した。
(5)パソコン実装時の温度
パソコン実装時の温度は、デスクトップパソコンのCPU(インテル社製登録商標Pentium(登録商標)4プロセッサ、2.53GHz)とヒートシンクの間に、製作した放熱シート(サイズ:35mm×35mm)を装着し、CPUフルパワー、30分経過後のCPU温度を熱電対で計測した。
(6)高温高湿下での信頼性
高温高湿下での信頼性は、150℃、湿度95%の環境下に粘着性放熱シートを1000時間さらした後に、熱抵抗を測定した。熱抵抗の変化(処理後の熱抵抗増加率)が10%以上高くなった場合に劣化していると判断した。
実施例、比較例から分かるように、本発明の粘着性放熱シートは粘着力も高く、密着性に優れ、発熱素子の温度上昇と共に界面に液状の粘着付与剤成分が溶融介在し、界面熱抵抗を大幅に低減できるためCPU等発熱密度が高い素子の放熱において優れる結果となった。
実施例9〜11、比較例7
シリコーン系粘着剤(GE東芝シリコーン社製YR3340)に表3に示す配合組成でフィラー、硬化剤及び軟化点温度が異なるテルペン系粘着付与剤を混合し、トルエンを溶剤に粘度を6Pasに調整した。
テルペン系粘着付与剤は、市販のヤスハラケミカル社製クリアロンP105(軟化点温度105℃)、クリアロンP115(軟化点温度115℃)、クリアロンP125(軟化点温度125℃)、YSポリスターT30(軟化点温度30℃)を用いた。作製したスラリーに補強層としてガラスクロスを内部に挿入しながらドクターブレード装置で厚み0.20mmの放熱シートを作製した。
得られた放熱シートについて、前記に示した(1)熱抵抗(2)粘着力、並びに下記に示す(7)高温での保持力について測定した。
(7)高温での保持力
高温での保持力は、縦25mm、横25mmサイズの粘着性放熱シートの片面に縦40mm、横30mmのアルミ板を貼り付け、更に片面を高温乾燥機内のアルミ板に貼り付けた。80℃の高温下で1時間放置後、80℃の温度下でアルミ板の下部に2kgfの荷重を掛け、1時間後にアルミ板が放熱シートから剥離脱落するかどうか試験を行った。
実施例、比較例から分かるように、本発明の粘着性放熱シートは粘着力も高く、密着性に優れ、且つ粘着付与剤の軟化点温度が高いため、高温時にもネジ止め等が不要であり、シート自身の粘着力で密着性を維持できる。
本発明の粘着性放熱シートは、薄型テレビ、ゲーム機、携帯電話、LEDモジュールのガラスエポキシ基板、金属フレキシブル基板の放熱用に使用できる。また、シリコーン系粘着剤にテルペン系粘着付与剤を付与した場合、その軟化点温度を変えることで、CPU、画像チップなどの発熱密度の高い発熱素子の放熱用に使用可能であり、また、電源、パワーモジュールなどの発熱用途にも使用できる。

Claims (5)

  1. シリコーン系粘着剤中に熱伝導性フィラーを配合し、表面に自己粘着性を発現させた事を特徴とする放熱シートであり、そのシートの180度引きはがし試験による粘着力が0.2N/10mm以上、熱抵抗が0.9℃/W以下である粘着性放熱シート。
  2. シリコーン系粘着剤中に軟化点温度30℃以上100℃未満のテルペン系粘着付与剤を含み、含有量が10体積%以下の請求項1に記載の粘着性放熱シート。
  3. シリコーン系粘着剤中に軟化点温度100℃以上150℃以下のテルペン系粘着付与剤を含み、含有量が10体積%以下の請求項1に記載の粘着性放熱シート。
  4. 放熱シート中に補強層を設けた請求項1〜3のいずれか一項に記載の粘着性放熱シート。
  5. 請求項1〜4に記載のいずれか一項記載の粘着性放熱シートを用いたデジタル家電製品用放熱モジュール。

JP2006295649A 2006-10-31 2006-10-31 粘着性放熱シート Active JP5132122B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006295649A JP5132122B2 (ja) 2006-10-31 2006-10-31 粘着性放熱シート

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006295649A JP5132122B2 (ja) 2006-10-31 2006-10-31 粘着性放熱シート

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008112894A true JP2008112894A (ja) 2008-05-15
JP5132122B2 JP5132122B2 (ja) 2013-01-30

Family

ID=39445243

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006295649A Active JP5132122B2 (ja) 2006-10-31 2006-10-31 粘着性放熱シート

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5132122B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7169235B2 (ja) 2018-03-15 2022-11-10 三ツ星ベルト株式会社 計数装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06155517A (ja) * 1992-11-17 1994-06-03 Shin Etsu Chem Co Ltd 熱伝導性複合シートの製造方法
JPH09151366A (ja) * 1995-11-30 1997-06-10 Toray Dow Corning Silicone Co Ltd 粘接着剤組成物
JPH11157011A (ja) * 1997-09-24 1999-06-15 Tokai Rubber Ind Ltd 熱伝導性複合シートおよびその連続製法並びにそれを用いたプラズマディスプレイ
JP2000355654A (ja) * 1999-06-15 2000-12-26 Denki Kagaku Kogyo Kk 熱伝導性シリコーン成形体及びその用途
JP2005305723A (ja) * 2004-04-19 2005-11-04 Somar Corp 積層体
JP2006257372A (ja) * 2005-03-18 2006-09-28 Somar Corp 再剥離性粘着シート及びそれを用いた被着体加工方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06155517A (ja) * 1992-11-17 1994-06-03 Shin Etsu Chem Co Ltd 熱伝導性複合シートの製造方法
JPH09151366A (ja) * 1995-11-30 1997-06-10 Toray Dow Corning Silicone Co Ltd 粘接着剤組成物
JPH11157011A (ja) * 1997-09-24 1999-06-15 Tokai Rubber Ind Ltd 熱伝導性複合シートおよびその連続製法並びにそれを用いたプラズマディスプレイ
JP2000355654A (ja) * 1999-06-15 2000-12-26 Denki Kagaku Kogyo Kk 熱伝導性シリコーン成形体及びその用途
JP2005305723A (ja) * 2004-04-19 2005-11-04 Somar Corp 積層体
JP2006257372A (ja) * 2005-03-18 2006-09-28 Somar Corp 再剥離性粘着シート及びそれを用いた被着体加工方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP5132122B2 (ja) 2013-01-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11610831B2 (en) Methods for establishing thermal joints between heat spreaders or lids and heat sources
US20160315030A1 (en) Reusable thermoplastic thermal interface materials and methods for establishing thermal joints between heat sources and heat dissipating/removal structures
US6432497B2 (en) Double-side thermally conductive adhesive tape for plastic-packaged electronic components
US6822018B2 (en) Thermally-conductive electrically-insulating polymer-base material
US20140368992A1 (en) Methods For Establishing Thermal Joints Between Heat Spreaders and Heat Generating Components Using Thermoplastic and/or Self-Healing Thermal Interface Materials
TWI717413B (zh) 具有基質及分散於其中之經密封相變材料之組合物及以其組裝之電子裝置
WO2012095757A1 (en) Reversibly adhesive thermal interface material
JP4893415B2 (ja) 放熱性フィルム
JP2004130646A (ja) 熱伝導性シート
WO1997045499A1 (fr) Adhesif autocollant tres resistant a la chaleur et excellent conducteur thermique, feuilles adhesives, et procede de fixation de composants electroniques a des elements thermoradiants l'utilisant
JP6716584B2 (ja) アセンブルされた電子デバイス用組成物
KR20040086802A (ko) 열전도성 복합 시트 및 그의 제조 방법
CN106414649B (zh) 用于热量管理应用的增强压敏粘合剂
WO2014069353A1 (ja) 半導体装置
KR102155811B1 (ko) 방열 점착제의 제조방법 및 이를 포함하는 방열 테이프
JP4030399B2 (ja) 自己粘着性相変化型放熱部材
JP5132122B2 (ja) 粘着性放熱シート
JPH10237228A (ja) 放熱シート及び放熱板
JP2005060594A (ja) 粘着層付熱伝導性シート
JP2005228955A (ja) 放熱部材、その製造方法及び用途
JP2006222400A (ja) 接着剤、半導体装置及び半導体装置の製造方法
TW201811961A (zh) 熱傳導性複合薄片
JP2018101768A (ja) 複合部材
WO2004015768A1 (ja) 放熱用部材及び接続構造体
JP3023821U (ja) 放熱フィン

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20091023

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100405

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120417

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120615

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20121023

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20121106

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151116

Year of fee payment: 3

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5132122

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151116

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250