JP2008111819A - 光ファイバセンサ - Google Patents
光ファイバセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008111819A JP2008111819A JP2006320855A JP2006320855A JP2008111819A JP 2008111819 A JP2008111819 A JP 2008111819A JP 2006320855 A JP2006320855 A JP 2006320855A JP 2006320855 A JP2006320855 A JP 2006320855A JP 2008111819 A JP2008111819 A JP 2008111819A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- tip
- heat
- diameter
- fiber sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
【課題】 直径数十ミクロン以下の液滴を確実に検知するための光ファイバセンサと、それを製造するために適した製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明による光ファイバセンサにおいては、少なくとも先端が、光ファイバ素線とその周囲を被覆する耐熱ガラスとからなる複合素線であって、該複合素線の先端部に傾斜部を設けてあり、該傾斜部の1箇所において前記耐熱ガラスを延長させたスパイク突起を形成したことを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】 本発明による光ファイバセンサにおいては、少なくとも先端が、光ファイバ素線とその周囲を被覆する耐熱ガラスとからなる複合素線であって、該複合素線の先端部に傾斜部を設けてあり、該傾斜部の1箇所において前記耐熱ガラスを延長させたスパイク突起を形成したことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、液体のミスト等を検知するための光ファイバセンサに関する。
液体が接触すると光の伝播状態が変化することを利用して光ファイバを水、油等の漏洩検知センサとして使用することは従来から行われていた。例えば特許文献1には、光ファイバのクラッド内の外周部寄りの偏心位置に、クラッドに比べて屈折率の高いセンシングコア及びサブコアを併設する構造が開示されている。このような光ファイバセンサでは、光ファイバ線の側面に液体等が接触することにより、光の伝播状態が変化することを利用しているので、ある程度の面積に液体等が接触しないと検知が困難であった。
また特許文献2には、コアとクラッドからなる光ファイバの一端に、コアをクラッドから突出させ、突出させたコアを先端先細り状に先鋭化した先鋭部を形成した光ファイバプローブの製造方法が開示されている。そして、この技術においてはコアを先鋭化するのに化学的エッチングを用いている。しかしながら、このような方法では先端形状を制御することが困難であり、また幅が1ミクロン以下のようなスパイク突起を形成することは不可能である。
本発明は、上述の従来技術とは異なり、直径数十ミクロン以下の液滴を確実に検知するための光ファイバセンサと、それを製造するために適した製造方法を提供することを課題とする。
上記課題を解決するため本発明による光ファイバセンサにおいては、少なくとも先端が、光ファイバ素線とその周囲を被覆する耐熱ガラスとからなる複合素線であって、該複合素線の先端部に傾斜部を設けてあり、該傾斜部の1箇所において前記耐熱ガラスを延長させたスパイク突起を形成したことを特徴とする。
前記光ファイバ素線のコアは石英からなることが好適である。
前記複合素線先端部の直径は、10ミクロン以下であることが望ましい。
さらに、前記スパイク突起の幅が1ミクロン以下であることが好ましい。
また、本発明による光ファイバセンサの製造方法においては、クラッドで被覆された直径1mm以下の光ファイバ素線を直径が数十ミクロンになるまで加熱伸張する工程と、この伸張した光ファイバ素線をほぼ同じ内径を有する耐熱ガラス管に挿入して複合素線を形成する工程と、該複合素線をさらに加熱伸張して前記耐熱ガラス管を前記光ファイバ素線に密着させるとともに直径を10ミクロン以下まで極細化しセンサ先端部を形成する工程と、該先端部の突端を研磨して傾斜部を形成する工程と、該傾斜部の最突出部における耐熱ガラスのみを加熱伸張してスパイク突起を設ける工程とからなることを特徴とする。
本発明の光ファイバセンサによれば、先端部の直径が10ミクロン以下と極めて細く、さらに幅1ミクロン以下のスパイク突起を設けているので、極めて細かな液体ミストでもスパイク突起により吸着して安定した検知が可能となる。また、光ファイバ素線が石英からなり、被覆管が耐熱ガラスであるため耐溶剤性に優れており、化学薬品液滴にも対応できる。
また、本発明の光ファイバセンサの製造方法によれば、径の大きな光ファイバ素線から加熱伸張により極細線を導くため、極細線の径の制御が容易であり、また耐熱ガラスで被覆しているためにスパイク突起を形成することが可能となる。
以下図面に基づいて本発明の好適な実施例について説明する。光ファイバ素線として石英コア径200ミクロン、クラッド(多成分ガラス)径250ミクロンのものを使用した。この素線をバーナーにより加熱軟化して伸張し、コア直径が20ミクロン程度になるまで引き伸ばした。この段階でクラッド2は伸張に追随しきれず、先端部ではコア1が露出した。使用するのはクラッドなしの石英線でもよいが、石英のみの場合衝撃や曲げに対して折れやすく取扱いが困難なため、クラッド被覆されたものが好ましい。この細線を略同内径の耐熱ガラス管3に挿入して複合素線を形成し、さらに加熱してコア直径が5ミクロンになるまで伸張して光ファイバセンサ先端部を形成した。耐熱ガラスとしてはパイレックスガラスを用いたが、耐熱ガラスであれば使用することができ、これに限定されるものではない。この操作により、ガラス管3はコア1に密着する。次に、この複合素線の突端を顕微鏡下で砥石を用いて研磨し、傾斜部4を形成した。さらに、この傾斜部の最突出部の耐熱ガラス部のみを加熱伸張して、幅が約0.5ミクロン、長さ約3ミクロンのスパイク突起5を形成した。
図1に上記方法により製造した本発明による光ファイバセンサの実施例の先端部付近の断面図を示す。光ファイバコア1は径大部ではクラッドで被覆されているが先端部ではコアが露出され耐熱ガラス管3と直接密着している。このコアと耐熱ガラス管との複合素線突端は研磨により軸方向に対して傾斜した傾斜部を形成してある。さらに、この傾斜部の最突出部の耐熱ガラスはコア先端よりも前に伸びるスパイク突起として形成されている。
上記実施例による光ファイバセンサでは、先端部直径が5ミクロンに形成されているため、10から数十ミクロン程度の液滴がこの先端部に吸着することにより、光の反射や透過が変化するため、検出器で検出することが可能となる。特に本発明によるセンサでは、最先端部にスパイク突起を設けているため、液滴をこの突起に誘導して突起尖端に液滴の中心を位置させることができるので、液滴位置のずれによる誤差を防止することが可能となる。
本発明による光ファイバセンサでは、極めて細かな液体ミストを正確に誘導して光信号の変化を読み取ることが可能となるため、自動車の燃料噴射等の測定に大いに貢献できるものである。
1 光ファイバコア
2 光ファイバクラッド
3 耐熱ガラス管
4 傾斜部
5 スパイク突起
2 光ファイバクラッド
3 耐熱ガラス管
4 傾斜部
5 スパイク突起
Claims (5)
- 少なくとも先端が、光ファイバ素線とその周囲を被覆する耐熱ガラスとからなる複合素線であって、該複合素線の先端部に傾斜部を設けてあり、該傾斜部の1箇所において前記耐熱ガラスを延長させたスパイク突起を形成したことを特徴とする光ファイバセンサ。
- 前記光ファイバ素線のコアが石英からなることを特徴とする請求項1記載の光ファイバセンサ。
- 前記複合素線先端部の直径が10ミクロン以下であることを特徴とする請求項1または2記載の光ファイバセンサ。
- 前記スパイク突起の幅が1ミクロン以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の光ファイバセンサ。
- クラッドで被覆された直径1mm以下の光ファイバ素線を直径が数十ミクロンになるまで加熱伸張する工程と、この伸張した光ファイバ素線をほぼ同じ内径を有する耐熱ガラス管に挿入して複合素線を形成する工程と、該複合素線をさらに加熱伸張して前記耐熱ガラス管を前記光ファイバ素線に密着させるとともに直径を10ミクロン以下まで極細化しセンサ先端部を形成する工程と、該先端部の突端を研磨して傾斜部を形成する工程と、該傾斜部の最突出部における耐熱ガラスのみを加熱伸張してスパイク突起を設ける工程とからなることを特徴とする光ファイバセンサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006320855A JP2008111819A (ja) | 2006-10-30 | 2006-10-30 | 光ファイバセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006320855A JP2008111819A (ja) | 2006-10-30 | 2006-10-30 | 光ファイバセンサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008111819A true JP2008111819A (ja) | 2008-05-15 |
Family
ID=39444391
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006320855A Pending JP2008111819A (ja) | 2006-10-30 | 2006-10-30 | 光ファイバセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008111819A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009275656A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Toshiba Corp | 蒸気タービン内の液滴計測装置および液滴計測方法 |
JP2010237092A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Toshiba Corp | 蒸気タービン内の液滴計測装置及び液滴計測方法 |
-
2006
- 2006-10-30 JP JP2006320855A patent/JP2008111819A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009275656A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Toshiba Corp | 蒸気タービン内の液滴計測装置および液滴計測方法 |
JP2010237092A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Toshiba Corp | 蒸気タービン内の液滴計測装置及び液滴計測方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102066996B (zh) | 用来形成用于环境传感器的空心开缝的pbg光纤的预成形件和方法 | |
JP2010501894A (ja) | アルカリ金属酸化物を含有する光ファイバ | |
WO2009052027A2 (en) | Multi-tipped optical component | |
JPH0320643A (ja) | 毛管フローセル | |
JP4844484B2 (ja) | 光ファイバの製造方法及び製造装置 | |
JP2008111819A (ja) | 光ファイバセンサ | |
CN105800962A (zh) | 引导辊及光纤的制造方法 | |
JP2013142792A (ja) | 光ファイバの加工方法、光ファイバの加工装置、光ファイバ及び光ファイバ入出力構造 | |
JP2000035395A (ja) | プローブの尖鋭化方法 | |
WO2008055957A1 (en) | Method for detecting a core of an optical fiber and method and apparatus for connecting optical fibers | |
JP2006526560A (ja) | 光学的な構成部分を製造するための石英ガラス円筒体ならびにその製造方法 | |
US7103250B1 (en) | Optical fiber with high small-angle scatter and sensor using same | |
JP2004163147A (ja) | 近視野顕微鏡用光伝搬体プローブの製造方法 | |
CN104677290B (zh) | 基于自组装原理的双芯光纤光栅微尺度测量探针制作方法 | |
JP2004325222A (ja) | 光ファイバプローブの製造方法 | |
CN104677294B (zh) | 基于自组装原理的七芯光纤光栅微尺度测量探针制作方法 | |
JP2013142791A (ja) | 光ファイバの加工方法、光ファイバの加工装置、光ファイバ、及び光ファイバ入出力構造 | |
CN111344546B (zh) | 光纤的玻璃偏心测定装置及测定方法 | |
JP3260300B2 (ja) | 光ファイバープローブ及びその製造方法 | |
JP2011163839A (ja) | 基板の検査方法及び基板の検査装置 | |
JP3023048B2 (ja) | 光ファイバプローブ及びその製造方法 | |
JP2013063890A (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法、及び、これを用いた光ファイバの製造方法 | |
CN110114320B (zh) | 用于制造光纤预制件的方法 | |
WO2009029987A1 (en) | A method for making microstructured fibres sensitive to the external environment | |
JP2005128449A (ja) | 光ファイバとその加工方法およびそれを用いた光モジュール |