JP2008111764A - 磁気式酸素計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】分岐した測定ガスの一方の流路に磁界を印加するとともに、分岐した測定ガス流路に補助ガスを流す補助ガス流路のそれぞれに流量計を配置し、これらの流量計出力の差に基づいて測定ガス中の酸素濃度を測定する磁気式酸素計において、前記流量計の出力をそれぞれデジタル値に変換する変換部と、この変換部の出力値に対し、前記それぞれの流量計の入出力特性を揃える補正演算を行う補正演算部と、この補正演算部から出力されるそれぞれの流量値の差を求める差分演算部と、この差分演算部の出力に基づいて前記測定ガス中の酸素濃度を求める酸素濃度演算部と、を有することを特徴とする磁気式酸素計。
【選択図】図1
Description
サーミスタ117a(抵抗値:Rh)と、定抵抗回路102aにおける比較抵抗(抵抗値R1,R2)でブリッジ回路が構成されている。これはサーミスタの温度変化を検出するための一般的な回路であり、サーミスタ117aがガスの流れによって冷却される効果を抵抗値Rhの低下として検出するものである。
測定ガス中に酸素分子が含まれていない場合、測定ガス流路112aに磁界が印加されても酸素分子は引き寄せられず、その部分の圧力は上昇しない。そのため補助ガス流路115a、115bの流量QL、QRは等しくなる。
一方、測定ガス中に酸素分子が含まれている場合には、磁界の発生側である補助ガス流路115aの流量QLは、磁界が酸素分子に作用する力により、補助ガス流路115bの流量QRより小さくなる。この流量の差(QR−QL)は測定ガス中に含まれる酸素分子の量に比例するため、この差を検出することにより測定ガス中の酸素量を測定することができる。
前記流量計の出力をそれぞれデジタル値に変換する変換部と、
この変換部の出力値に対し、前記それぞれの流量計の入出力特性を揃える補正演算を行う補正演算部と、
この補正演算部から出力されるそれぞれの流量値の差を求める差分演算部と、
この差分演算部の出力に基づいて前記測定ガス中の酸素濃度を求める酸素濃度演算部と、
を有することを特徴とする。
補正係数={(Va2−Va1)/(Vb2−Vb1)}×C (C:定数)
そのため、補正演算部41において、各流量計間の感度差や温度特性の差を揃えるために、あらかじめ求めておいた補正係数Rを用いて補正演算を行う。
(1)まず、磁気式酸素計の組み立て後、恒温槽1の内部を通常動作温度T(たとえばT=55℃)に設定する。恒温槽1内部の温度が十分安定したら、定抵抗回路2a、2bの制御出力をVa1、Vb1として補正演算部41に記憶する。
(2)次に、それぞれの定抵抗回路出力の周囲温度による影響度を測定するため、CPU4から恒温槽1の温度制御を行う温度制御部6に制御信号を出力し、恒温槽1の内部温度をΔt℃上昇させる。恒温槽1内部の温度が(T+Δt)℃で十分安定したら、定抵抗回路2a、2bの制御出力をVa2、Vb2として記憶する。
(3)以下の式により求まる値を補正係数Rとする。
R={(Va2−Va1)/(Vb2−Vb1)}×C ・・・式1
(C:実測により求める定数)
(1)まず、補正演算部41には、窒素ガスなどのゼロガスを流通させて行うゼロ校正時に、ゼロガス流通中の定抵抗回路2a、2bの出力をVza、Vzbとしてあらかじめ記憶させておく。
(2)通常測定時に変換部3からの出力として得られる定抵抗回路2a、2bの出力をVoa、Vobとし、補正演算後の定抵抗回路2bの出力をVob’とする。定抵抗回路2bの入出力特性を定抵抗回路2aに合わせるために、補正係数Rを用いて下記の演算を行う。
Vob’=(Vob−Vzb)×R+Vzb ・・・式2
11 リングセル
12a、12b 測定ガス流路
13 測定ガス導入口
14 ガス導出口
15a、15b 補助ガス流路
16 補助ガス供給口
17a、17b サーミスタ
2a、2b 定抵抗回路
3 変換部
4 CPU
41 補正演算部
42 差分演算部
43 酸素濃度演算部
5 アナログ出力回路
6 温度制御部
7 ヒータ
Claims (8)
- 分岐した測定ガスの一方の流路に磁界を印加するとともに、分岐した測定ガス流路に補助ガスを流す補助ガス流路のそれぞれに流量計を配置し、これらの流量計出力の差に基づいて測定ガス中の酸素濃度を測定する磁気式酸素計において、
前記流量計の出力をそれぞれデジタル値に変換する変換部と、
この変換部の出力値に対し、前記それぞれの流量計の入出力特性を揃える補正演算を行う補正演算部と、
この補正演算部から出力されるそれぞれの流量値の差を求める差分演算部と、
この差分演算部の出力に基づいて前記測定ガス中の酸素濃度を求める酸素濃度演算部と、
を有することを特徴とする磁気式酸素計。 - 前記補正演算部は、前記流量計ごとにあらかじめ記憶した個別の補正係数および流量計周辺の温度情報を利用して補正演算を行うことを特徴とする請求項1に記載の磁気式酸素計。
- 前記補正係数は、前記流量計の入出力特性を他方の流量計の入出力特性と一致させる係数であることを特徴とする請求項2に記載の磁気式酸素計。
- 前記補正係数は、異なる2点の温度における、前記一方の流量計の測定値Va1,Va2と、前記他方の流量計の測定値Vb1,Vb2から、下記の式により求められることを特徴とする請求項2または3のいずれかに記載の磁気式酸素計。
補正係数={(Va2−Va1)/(Vb2−Vb1)}×C (C:定数) - 前記流量計の周囲温度を制御する温度制御手段を有し、前記流量計の周囲温度を異なる2点間で変化させ、その際に得られる前記流量計の測定値を利用して前記補正係数を求めることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の磁気式酸素計。
- 前記温度制御手段は恒温槽であることを特徴とする請求項5に記載の磁気式酸素計。
- 前記流量センサはサーミスタであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の磁気式酸素計。
- 前記サーミスタは定抵抗制御されていることを特徴とする請求項7に記載の磁気式酸素計。
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---|---|---|---|---|
JPS646753A (en) * | 1987-06-29 | 1989-01-11 | Yokogawa Electric Corp | Magnetic oximeter |
JPH0217439A (ja) * | 1988-07-06 | 1990-01-22 | Yokogawa Electric Corp | 磁気式酸素計 |
JP2000146886A (ja) * | 1998-11-18 | 2000-05-26 | Shimadzu Corp | 熱伝導度検出器を有するガスクロマトグラフ装置 |
JP2006118894A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-05-11 | Kyoto Electron Mfg Co Ltd | 所望温度における比熱を求めるための校正直線の取得方法、及び比熱測定装置。 |
-
2006
- 2006-10-31 JP JP2006295804A patent/JP4853234B2/ja active Active
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