JP2008107403A - 共焦点顕微鏡 - Google Patents

Abstract

【課題】標本の観察必要領域に限定して照明光を照射することを可能にし、ＲＯＩ指定の自由度が広い焦点顕微鏡を提供すること。
【解決手段】光源１からの光を、一方向に長い照明範囲の照明光Ｓに形成して、被検物１０に照射する照明光学系と、前記被検物１０からの光を像面に結像する結像光学系と、前記像面の近傍に配置された光検出器１３と、前記照明光を前記被検物上で移動させる走査手段６と、２枚以上の遮光部材を有し、前記遮光部材をそれぞれ独立して駆動して前記照明光の長軸方向の幅と位置とを調整する調整手段１６とを有する共焦点顕微鏡１００。
【選択図】図１

Description

本発明は、共焦点顕微鏡に関する。

従来、共焦点絞りにスリット状開口を用いて形成されたライン状の照明光（ライン光とも記す）を用いる共焦点顕微鏡（以下、ラインスキャン型共焦点顕微鏡と記す）では、視野内の特定領域（ＲＯＩ；Ｒｅｇｉｏｎ Ｏｆ Ｉｎｔｅｒｅｓｔの略）を指定し、標本の指定領域のみに照明光を照射するＲＯＩスキャンを行う場合、スキャナミラーの振幅角の設定を狭くすることにより被検物に対するスキャン方向の照明光の照射範囲を限定することが知られている。また、ライン光の長軸方向の幅を制限することによってライン光の長軸方向の照射範囲を限定することが知られている。（例えば、特許文献１参照）。
特表２００６−５１０９２６号公報

しかしながら、従来のラインスキャン型共焦点顕微鏡では、ライン光の長軸方向の幅を制限する際、照明光学系の光軸を中心にして幅を制限することしかできないため、標本の観察必要領域に限定して照明光を照射することができず、ＲＯＩ指定の自由度が狭いと言う問題がある。

本発明は、上記課題に鑑みて行われたものであり、標本の観察必要領域に限定して照明光を照射することを可能にし、ＲＯＩ指定の自由度が広い共焦点顕微鏡を提供する。

上記課題を解決するために、本発明は、光源からの光を、一方向に長い照明範囲の照明光に形成して、被検物に照射する照明光学系と、前記被検物からの光を像面に結像する結像光学系と、前記像面の近傍に配置された光検出器と、前記照明光を前記被検物上で移動させる走査手段と、２枚以上の遮光部材を有し、前記遮光部材をそれぞれ独立して駆動して前記照明光の長軸方向の幅と位置とを調整する調整手段とを有する共焦点顕微鏡を提供する。

また、本発明は、光源からの光を、一方向に長い照明範囲の照明光に形成して、被検物に照射する照明光学系と、前記被検物からの光を像面に結像する結像光学系と、
前記像面の近傍に配置された光検出器と、前記照明光を前記被検物上で移動させる走査手段と、前記照明光の長軸方向の幅と位置とを調整する調整手段とを有し、前記調整手段は、開口を有する遮光部材からなり、前記遮光部材は互いに直交する二つの軸に沿って駆動可能であることを特徴とする共焦点顕微鏡を提供する。

本発明によれば、標本の観察必要領域に限定して照明光を照射することを可能にし、ＲＯＩ指定の自由度が広い共焦点顕微鏡を提供することができる。

以下、本発明の実施の形態に関し図面を参照しつつ説明する。

図１は、実施の形態に係る共焦点顕微鏡の概略構成図である。図２は標本を対物レンズ側から見た図である。

図１、図２において、実施の形態に係る共焦点顕微鏡１００は、レーザ光源１、シリンドリカルレンズ２、光源側共焦点絞り３、コリメートレンズ４、ビームスプリッタ５、スキャナ６、瞳投影レンズ７、第２対物レンズ８、対物レンズ９、標本（例えば、生体試料など）１０、集光レンズ１１、受光側共焦点絞り１２、検出器１３、コンピュータ１４、及びモニタ１５などで構成されている。

レーザ光源１から射出したレーザ光は、シリンドリカルレンズ２により一方向に長いライン状に形成される。ライン状の光（以後、ライン光と記す）Ｓが集光する位置は、標本１０の観察面１０ａと光学的に共役な位置となっており、この位置にライン状の開口３ａを有する光源側共焦点絞り３が設置されている。ライン状の開口部３ａはシリンドリカルレンズ２でライン状に形成された光をライン光Ｓの照明光に整形する。また、光源側共焦点絞り３の射出側の近傍には、後述するライン光Ｓの長軸方向の幅と位置とを調整するための後述する調整機構１６が配設されている。なお、光源側共焦点絞り３は、レーザ光をシリンドリカルレンズ２によりきちんとライン光Ｓに形成できる場合は、配置することを省略しても良い。

光源側共焦点絞り３を通過したライン光Ｓは、コリメートレンズ４により光軸Ｉに対して平行な光に変換され、ビームスプリッタ５でスキャナ６方向に反射された後、スキャナ６内のスキャンミラー６ａで瞳投影レンズ７方向に反射され、瞳投影レンズ７、第２対物レンズ８、及び対物レンズ９を介して標本１０の観察面１０ａにライン状の照明領域Ｅ（図２参照）として集光される。

標本１０の照明領域Ｅからの光は、対物レンズ９、第２対物レンズ８、瞳投影レンズ７を介してスキャナ６に入射し、スキャンミラー６ａででスキャンされてビームスプリッタ５に入射する。標本１０からの光はビームスプリッタ５を透過し、集光レンズ１１で受光側共焦点絞り１２の開口部１２ａに集光される。開口部１２ａを通過した光は、光検出器１３で検出される。光受光器１３は観察面１０ａの輝度分布を検出し、輝度分布データを生成してコンピュータ１４へ送出する。

スキャナ６は、スキャンミラー６ａの振幅角を変化させることで、標本１０上の照明領域Ｅをその短軸方向（スキャナ６の走査方向に相当する）ＤＳに沿って（Ｙ−Ｙ’軸に沿って）移動させる。このように照明領域Ｅが標本１０の上を移動すると、光検出器１３の受光面上には標本１０上の異なる照明領域Ｅのライン像が投影される。

また、レーザ光源１、スキャナ６、光検出器１３、調整機構１６などはコンピュータ１４によって制御される。例えば、コンピュータ１４は、スキャナ６を制御して走査範囲（ＤＳの幅）を変えて標本１０の輝度分布データを取得する範囲の制御、取得した輝度分布データを処理して標本１０の２次元の画像を生成する演算処理、及びその画像をモニタ１５に表示するための変換処理などを行う。

図２は、標本１０を対物レンズ９側から見た図である。ライン状の照明領域Ｅは、図１の実線で示したライン光Ｓによる照明光を示している。また図２に示すようにＸ軸（Ｘ−Ｘ’）とＹ軸（Ｙ−Ｙ’）を定める。Ｘ軸は、照明領域Ｅの長軸方向に略平行な軸を、Ｙ軸はＸ軸に直交しスキャナ６で照明領域Ｅを走査する方向（ＤＳ方向）である。Ｘ軸とＹ軸の交点Ｏは、共焦点顕微鏡１００にける照明光学系及び結像光学系の光軸位置であり、スキャナ６のスキャンミラー６ａが中立位置にある時に一致する。図１における照明光学系の光軸Ｉは、スキャナ６のスキャンミラー６ａを遥動させることで、Ｙ軸上を往復する。その結果、照明領域Ｅは標本１０上で照明範囲Ｈの領域を照明する。

次に、ライン光Ｓの長軸方向の幅と位置とを調整する調整機構１６の一例と、その動作について説明する。図３（ａ）〜（ｄ）は、ライン光Ｓの長軸方向を遮光して長軸方向の幅と位置とを可変するための調整機構１６の一例とその動作を示している。図３（ａ）〜（ｃ）は図３（ｄ）のＡ方向から見た図であり、図３（ｄ）は図３（ｃ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図を示す。

調整機構１６は、モータ２３に接続された回転軸２３ａに固定されたほぼ半円形の遮光板２１と、モータ２４に接続された回転軸２４ａに固定されたほぼ半円形の遮光板２２から構成され、光源側共焦点絞り３の近傍に設置されている。回転軸２３ａは半円形の遮光板２１の中心から外周方向にずらした位置で固定され、回転軸２４ａは半円形の遮光板２２の中心から外周方向にずらした位置で固定されている。遮光板２１、２２は、モータ２３、２４の回転をコンピュータ１４からの制御信号に基づき制御することによって、軸２１ａ、２２ａを中心に回動する。また、遮光板２１、２２の外形形状はサイクロイド曲線状に形成されている。遮光板２１、２２はモータ２３、２４によりそれぞれ独立に回動することで、両遮光板２１と２２で形成される開口幅と開口位置を変更することができる。この結果、調整機構１６から射出するライン光Ｓの長軸方向の幅と位置とを変更することが可能になる。なお、使用するモータ２３、２４の一例として、ステッピングモータがあげられる。またステッピングモータと図示していない原点センサを組み合わせることによって、所定の角度の回転が可能になる。

ライン光Ｓは、調整機構１６に入射し、遮光板２１、２２のそれぞれで遮光されて、ライン光Ｓの長軸方向の幅と位置とが調整され、調整機構１６から射出される。図３（ａ）は、遮光部材２１、２２がライン光Ｓを全く遮光していない状態を示している。図３（ａ）の状態から遮光板２１を角度θ１、遮光板２２を角度θ２だけ矢印の方向に回転させると図３（ｂ）のようになり、ライン光Ｓの両端側がそれぞれ遮光され、長軸方向の幅が短くなる。遮光の度合いは遮光板２１、２２の回転角に応じて変化し、遮光板２１、２２をそれぞれ独立に回転角を設定することにより任意の位置での遮光が可能になる。したがって、ライン光Ｓの長軸方向の中心Ｉと、遮光板２１、２２の外周までの距離を違えて設定することができ、中心Ｉに対してずらした位置に開口を形成することが可能となる。ここで、ライン光Ｓの長軸方向の中心Ｉは照明光学系の光軸Ｉと一致している。

なお、調整機構１６と同等の調整機構を受光側共焦点絞り１２の近傍に配置し、光源側共焦点絞り２の近傍に配置された調整機構１６と同期して動作させる構成にしても良い。これにより、光源側と受光側の絞りの形状を一致させることができる。

次に、実施の形態に係る共焦点顕微鏡１００における標本１０の照明状態に関して説明する。図４（ａ）から（ｃ）は、共焦点顕微鏡１００において標本１０が照明される様子を示したものである。ＸＹ軸は図２と同様に定める。

図４（ａ）において、ｌｘは照明領域Ｅの観察面１０ａ上でのライン光Ｓの長軸方向の長さ、ｌｙはスキャンミラー６ａの遥動によって照明領域Ｅが移動する長さを示す。実施の形態に係る共焦点顕微鏡１００では、標本１０の像は、ｌｘ、ｌｙで囲まれた斜線の領域Ｈが生成され、ＰＣ１４を介してモニター１５に表示される。図４（ａ）の領域Ｈは、ライン光Ｓの長軸方向の幅、及びスキャンミラー６ａの振り角に制限を設けていない基準（デフオルト）領域を示している。即ち、領域Ｈは共焦点顕微鏡１００のスキャンフィールド（観察可能な視野の大きさ）である。この時、ライン光Ｓの長軸方向の中心Ｉは照明光学系の光軸Ｉに一致しており、スキャナミラー６ａを遥動することよりＹ軸上を幅ｌｙに亘って移動する。

次に、領域Ｈ内のある特定の領域のみに照明光を照射して観察することを考える。

図４（ｂ）はライン光Ｓの長軸方向の幅と位置とを図３に示す遮光板２１、２２の回転角θ１、θ２をそれぞれ制御して調整したライン光Ｓ’による照明領域Ｅ’とし、スキャナミラー６ａの振り角には制限を設けていない場合を示している。ライン光Ｓ’による照明領域Ｅ’は長軸方向の幅Δｌｘを有し、幅ｌｙに亘って走査され、領域Ｈ’を観察可能にする。

このように本実施の形態に係る共焦点顕微鏡１００では、遮光板２１、２２により図３（ｂ）、（ｃ）に示すように、ライン光Ｓの長軸方向の幅と位置とを変えることができるため、ライン光Ｓ’の中心Ｉ’は照明光学系の光軸Ｉに対してずらして設定される。この結果、照明領域Ｅ’は、Ｙ軸に対して長軸方向に幅の中心位置をずらして設定された領域Ｈ’を照明することが可能になる。

図４（ｃ）はライン光Ｓの長軸方向の幅と位置とを遮光板２１、２２の回転角θ１、θ２をそれぞれ制御して調整したライン光Ｓ’’による照明領域Ｅ’’とし、スキャナミラー６ａの振り角にも制限を設けた場合を示している。ライン光Ｓ’’による照明領域Ｅ’’は長軸方向の幅Δｌｘ、短軸方向の幅Δｌｙの領域Ｈ’’を観察可能にする。この時、ライン光Ｓ’’の中心Ｉ’’は照明光学系の光軸Ｉに対してずらして設定されている。

このように本実施の形態に係る共焦点顕微鏡１００では、遮光板２１、２２によりライン光Ｓの長軸方向の幅と位置とを変更可能であり、かつスキャナミラー６ａの振り角を任意に設定することが可能であり、基準領域Ｈ内における任意の領域Ｈ’、或いは領域Ｈ’’を照明することが可能になる。この結果、観察したい領域(例えば、領域Ｈ’’)のみに照明光を照射することができる。実際には、標本１０のある特定の細胞のみに照明光を照射したい場合、照射したい領域を顕微鏡観察者がコンピュータ１４に人力することにより（例えば、モニター１５上の観察領域をマウス等で指定する）、この入力したデータに基づいて遮光板２１、２２の回転角が決定されて指定の回転角まで遮光板が回転し、スキャナミラー６ａの振れ角の設定も同時におこなわれる。実施の形態に係る共焦点顕微鏡１００では、例えば、蛍光観察などにおいて、観察目的の領域Ｈ’’以外の領域に照明光を照射することがないため標本１０の退色劣化等を防止することができる。

また、ライン光Ｓの走査節囲の指定は、標本１０の中の観察したい細胞の大きさ等に合わせて観察者が個別に設定する方法のほか、共焦点顕微鏡の観察倍率（対物レンズ倍率、ズーム・リレーレンズ倍率等）に応じて自動的に行うことも可能である。

なお、参考として従来の方法でライン光Ｓの長軸方向の幅を制限した場合の一例を図５に示す。図５は、図４（ｂ）に近い走査をしたときを示している。従来の方法では、ライン光Ｓの長軸方向の幅Δｌｘは、Ｙ−Ｙ’軸を中心としてＸ方向の幅ｌｘ１とＸ’方向の幅ｌｘ２とが等しく設定されてしまう。そして、幅Δｌｘを変えるときには、ｌｘ１＝ｌｘ２が維持された状態で変更され、図４（ｂ）に示すようにｌｘ１≠ｌｘ２とする事ができない構成になっている。このため、観測必要領域以外の領域にも照明光を照射してしまうことになる。また、従来のものは、図４（ｃ）に示す領域Ｈ’’に照明光を照射するようにライン光Ｓを設定することはできない構成であった。

次に、ライン光Ｓの長軸方向の幅と位置とを調整する調整機構１６の他の例と、その動作について説明する。図６（ａ）〜（ｅ）は、ライン光Ｓの長軸方向を遮光して長軸方向の幅と位置とを可変するための調整機構の各例とその動作を模式的に示している。

図６（ａ）は、図３に示したサイクロイド曲線部を階段状に形成した例である。調整機構１６は、不図示のモータ２３に接続された回転軸２３ａに固定されたほぼ半円形の遮光板１２１と、不図示モータ２４に接続された回転軸２４ａに固定されたほぼ半円形の遮光板１２２から構成され、図３と同様に光源側共焦点絞り３の近傍に設置されている。回転軸２３ａは半円形の遮光板１２１の中心から外周方向にずらした位置で固定され、回転軸２４ａは半円形の遮光板１２２の中心から外周方向にずらした位置で固定されている。遮光板１２１、１２２は、モータ２３、２４の回転をコンピュータ１４からの制御信号に基づき制御することによって、軸２１ａ、２２ａを中心に回動する。また、遮光板１２１、１２２の外形形状はサイクロイド曲線部を段階状に形成している。遮光板１２１、１２２を独立に回動することで、両遮光板１２１と１２２で形成される開口幅と開口位置が変更される。この結果、ライン光Ｓの長軸方向の幅と位置とが変更される。この場合、ライン光Ｓの長軸方向の幅と位置の変化は図３とは異なり連続的でなく段階的になる。段階的にすることで、モータの停止精度を緩くすることができるという利点が生ずる。また、遮光部材１２１、１２２が対向する外周辺がほぼ平行になるため、ライン光Ｓをほぼ矩形状に形成することができる。なお、使用するモータの一例としては、ステッピングモータがあげられる。ステッピングモータと図示していない原点センサを組み合わせることによって、所定の角度の回転が可能になる。

図６（ｂ）の調整機構１６は、ライン光Ｓの長軸方向に対向して配置された２枚の長方形状の遮光板２２１、２２２で構成され、２枚の遮光板２２１、２２２をライン光Ｓの長軸方向に沿ってそれぞれ独立に移動させることで、ライン光Ｓの長軸方向の幅と位置とを可変するものである。遮光板２２１、２２２は、それぞれ不図示の移動機構を有し、コンピュータ１４からの制御信号に基づき移動制御することによって、それぞれ独立して長軸方向に沿って移動可能である。遮光板２２１、２２２をそれぞれ独立に移動することで、両遮光板２２１と２２２で形成される開口幅と開口位置が変更される。この結果、ライン光Ｓの長軸方向の幅と位置とが変更できる。

図６（ｃ）の調整機構１６は、ライン光Ｓの短軸方向に沿って配置された２枚の台形状の遮光板３２１、３２２で構成されている。遮光板３２１、３２２は、それぞれ不図示の移動機構を有し、コンピュータ１４からの制御信号に基づき移動制御することによって、それぞれ独立して短軸方向に沿って移動可能である。遮光板３２１、３２２をそれぞれ独立に移動することで、両遮光板３２１と３２２の向かい合った斜辺で形成される開口幅と開口位置が変更できる。この結果、ライン光Ｓの長軸方向の幅と位置とが変更できる。

図６（ｄ）の調整機構１６は、ライン光Ｓの短軸方向に沿って離れた位置を回転中心とする２枚の長方形状の遮光板４２１、４２２で構成され、この２枚の遮光板４２１、４２２ををライン光Ｓから短軸方向に沿って離れた位置を回転中心に回動させて、ライン光Ｓの長軸方向の幅と位置とを可変するものである。遮光板４２１は、不図示のモータで回転軸４２３ａを回動させることによって、軸４２１ａを中心として回動し、遮光板４２２は、不図示のモータで回転軸４２４ａを回動させることによって、軸４２２ａを中心として回動する。両遮光板４２１と４２２がそれぞれ独立に回動することによって、回動軸から離れた位置の遮光板４２１、４２２の間隔が変更され、遮光板４２１と４２２とで形成される開口幅と開口位置が変更できる。この結果、ライン光Ｓの長軸方向の幅と位置とが変更される。

図６（ｅ）の調整機構１６は、三角形状の開口部５００ａを有する遮光板５００を短軸方向に沿って移動させる不図示の機構と、長軸方向に沿って移動させる不図示の機構を有している。遮光板５００をライン光Ｓの短軸方向に沿って移動させることで開口部５００ａでライン光Ｓの長軸方向の幅を変更し、遮光板５００をライン光Ｓの長軸方向に沿って移動させることで開口部５００ａで形成されたライン光Ｓの長軸方向に沿った位置を変更することが可能になる。

なお、遮光板の形状および作動はここに示した以外にも様々な形態を用いることが可能であることは言うまでもない。

上述の説明では、ライン光Ｓを用いるスリット式の共焦点顕微鏡への適用を例に説明してきたが、マルチピンホール型の共焦点顕微鏡に適用することも可能である。図７に図３に示すサイクロイド曲線状に形成した遮光板２１、２２を用いた調整機構１６を、マルチピンホール光Ｐの遮光に適用した一例を示す。図７において、図３と同様の構成には同じ符号を付し説明を省略する。

図７において、調整機構１６は、外周をサイクロイド曲線状に形成した略半円形状の遮光板２１、２２を軸２１ａ、２２ａに対して回動可能に構成している。図１において、シリンドリカルレンズ２でライン光Ｓに形成された照明光は、ライン光Ｓの長軸方向に沿ってピンホールが複数形成された光源側共焦点開口部材３３でライン状のマルチピンホール光Ｐが射出される。光源側共焦点開口部材３３の射出側には、調整機構１６が配設され、遮光板２１、２２をそれぞれ独立して回動することにより、遮光板２１、２２で形成される長軸方向の開口幅と開口位置とを変更することが可能になる。この結果、マルチピンホール光Ｐを１個のピンホール光から複数個のピンホール光にわたって射出光を可変可能にすると共に、射出するピンホール光の位置も変更可能になる。このように構成したことによる作用、効果は、図３に示す前述のライン光Ｓの場合と同様であり詳細な説明を省略する。なお、調整機構１６は、図７に限らず図６（ａ）から（ｅ）の構成を使用することも可能である。

以上述べたように、本実施の形態によれば、一方向に長く形成された照明光の長軸方向の照射領域と照射位置とを標本の観察必要領域に対応して制限できるので、観察必要範囲領域の設定（ＲＯＩスキャン）をきめ細かく行うことができる共焦点顕微鏡を提供できる。例えば、共焦点蛍光顕微鏡に本実施の形態を適用した場合、観察必要領域にのみ照明光を照射できるので観察必要領域以外の蛍光標本の退色を防止することができる。

なお、上述の実施の形態は例に過ぎず、上述の構成や形状に限定されるものではなく、本発明の範囲内において適宜修正、変更が可能である。

実施の形態に係る共焦点顕微鏡の概略構成図。 標本を対物レンズ側から見た図。 （ａ）〜（ｄ）は、ライン光Ｓの長軸方向を遮光して長軸方向の幅と位置とを可変するための調整機構の一例とその動作を示す。 （ａ）〜（ｃ）は、実施の形態に係る共焦点顕微鏡における標本１０の照明状態の説明図。 従来の方法でライン光Ｓの長軸方向の幅を制限した場合の一例示す。 （ａ）〜（ｅ）は、ライン光Ｓの長軸方向を遮光して長軸方向の幅を可変するための調整機構の各例とその動作を示す。 マルチピンホール光における調整機構の一例を示す。

符号の説明

１ レーザ光源
２ シリンドリカルレンズ
３、３３ 光源側共焦点絞り
４ コリメートレンズ
５ ビームスプリッタ
６ スキャナ
７ 瞳投影レンズ
８ 第２対物レンズ
９ 対物レンズ
１０ 標本
１１ 集光レンズ
１２ 受光側共焦点絞り
１３ 検出器
１４ コンピュータ
１５ モニタ
１６ 調整機構
２１、２２ 遮光板
２３、２４ モータ
１２１、１２２ 遮光板
２２１、２２２ 遮光板
３２１、３２２ 遮光板
４２１、４２２ 遮光板
５００ 遮光板

Claims (9)

1. 光源からの光を、一方向に長い照明範囲の照明光に形成して、被検物に照射する照明光学系と、
   前記被検物からの光を像面に結像する結像光学系と、
   前記像面の近傍に配置された光検出器と、
   前記照明光を前記被検物上で移動させる走査手段と、
   ２枚以上の遮光部材を有し、前記遮光部材をそれぞれ独立して駆動して前記照明光の長軸方向の幅と位置とを調整する調整手段とを有することを特徴とする共焦点顕微鏡。
2. 前記遮光部材は、前記照明光の前記長軸方向に沿ってそれぞれ駆動可能であることを特徴とする請求項１に記載の共焦点顕微鏡。
3. 前記遮光部材は、前記照明光の長軸方向に略直交する短軸方向に沿ってそれぞれ駆動可能であることを特徴とする請求項１に記載の共焦点顕微鏡。
4. 前記遮光部材は、前記照明光の光軸に略平行な軸を回転軸としてそれぞれ回動可能であることを特徴とする請求項１に記載の共焦点顕微鏡。
5. 前記遮光部材は、外形がサイクロイド曲線状にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項４に記載の共焦点顕微鏡。
6. 光源からの光を、一方向に長い照明範囲の照明光に形成して、被検物に照射する照明光学系と、
   前記被検物からの光を像面に結像する結像光学系と、
   前記像面の近傍に配置された光検出器と、
   前記照明光を前記被検物上で移動させる走査手段と、
   前記照明光の長軸方向の幅と位置とを調整する調整手段とを有し、
   前記調整手段は、開口を有する遮光部材からなり、前記遮光部材は互いに直交する二つの軸に沿って駆動可能であることを特徴とする共焦点顕微鏡。
7. 前記開口は、略三角形状であることを特徴とする請求項６に記載の共焦点顕微鏡。
8. 前記照明光は、スリット状に形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項または請求項６に記載の共焦点顕微鏡。
9. 前記照明光は、複数のピンホールが一方向に配列されて形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項または請求項６に記載の共焦点顕微鏡。

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