JP2008105125A - Apparatus for correcting deflection of carrier robot system - Google Patents
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Description
本発明はガラス板を含む大型で壊れやすい大型の薄板をラックへ搬送するロボットシステムに関し、地面と平行で長い動作範囲を有する前後動作軸に取り付けられた大型の薄板を置くことのできるハンドをラックに挿入する際、重力でたわむ影響をキャンセルして、地面に対して平行に動作することができる搬送ロボットシステムのたわみ補正装置に関する。 The present invention relates to a robot system for transporting a large and fragile thin plate including a glass plate to a rack, and a rack capable of placing a large thin plate attached to a front and rear operation shaft having a long operation range parallel to the ground. The present invention relates to a deflection correction apparatus for a transfer robot system that can cancel the influence of bending due to gravity and can operate parallel to the ground.
従来、フラットパネルディスプレイなどのガラス板に代表とされる大型で壊れやすい薄板は保管する際にラックへ1枚づつ格納することが行われているが、大型化、薄膜化がすすむ現在では、すでに人手では搬送が不可能となり、その搬送に適したロボットによって実施されるのが標準となってきている。かかるロボットは地面に水平に動作する軸を有し、その先に薄板を置くことができるハンドを取り付けて前後動作させることで薄板のラックへの収納、取出しを行う。通常、その前後軸の垂直高さを変えることができる上下軸も有しており、同一ラックへ高さを変えて何枚も薄板を収納、取り出しを実施する。
ところで、昨今のフラットパネルディスプレイの大型化する要求に対してそのガラス板も大型化し、そのため、搬送ロボットシステムのハンドも大型重量化し、前後軸の動作量も大きくなっており、重力による前後軸の垂直方向へのたわみも大きくなる。そのたわみのため、薄板をラックへまっすぐ挿入することができないことから、たわみ分ラックのピッチを広げることが実施された。しかし、薄板を格納するラックのピッチを広く取るとどうしても一度に保管できるガラスの枚数が少なくなり、大量のガラスを保管することができなくなる。かかる課題を解決するために、例えば特許文献1に開示する、前後軸のたわみ量にあわせて上下軸の高さを変えて薄板を地面に平行に動作させる方法や、前後軸の根元やハンドの根元に前後軸の動作方向を変化させる回転軸を設けてその回転軸をたわみ量にあわせて動作させ、地面と平行に搬送させる方法などが提案されている。それらのたわみ量はハンドやワークの形状や重さ、前後アームの鉛直方向の剛性などのロボット個々の機差で容易に変化するため、使用条件でたわみ量を計算するか、事前に測定してデータとして保存し、そのデータからたわみ量を求めることになる。しかしたわみ量の計算は非常に複雑でかつワークの重さが間違って指定されれば、間違ったたわみ量が得られるし、事前に測定する場合は多品種のワークに対応することは非常に手間のかかることになる。
By the way, in response to the recent demand for larger flat panel displays, the size of the glass plate has also increased, so the hand of the transfer robot system has also increased in size and weight, and the amount of movement of the front and rear axes has increased. The vertical deflection is also increased. Because of the deflection, the thin plate cannot be inserted straight into the rack, so the pitch of the rack was increased by the deflection. However, if the racks for storing the thin plates have a wide pitch, the number of glasses that can be stored at one time is inevitably reduced, and a large amount of glass cannot be stored. In order to solve such a problem, for example, disclosed in
特許文献2では、LCD基板の重量によるたわみを、発光素子と受光素子を使用して補正するロボットシステムのたわみ補正装置を開示するが、ガラス板を含む薄板の大型化、搬送ロボットシステムのハンドも大型重量化及び前後軸の動作量の増大による、重力による前後軸の垂直方向へのたわみが大きくなっても、薄板をラックへ挿入するロボットの前後軸、上下軸及び回転軸の動作を停止することなく、薄板をラックへまっすぐ挿入することができる搬送ロボットシステムのたわみ補正装置には使用できない。又、特許文献3では、渦流れセンサーを使用してロボットによるワークの位置決めの際のずれを補正する装置を開示するが、ワークの前で一時停止して測定する必要があり、薄板をラックへ挿入するロボットの前後軸、上下軸及び回転軸の動作を停止することなく、薄板をラックへまっすぐ挿入することができる搬送ロボットシステムのたわみ補正装置には使用できない。
本発明の課題はかかる従来の課題を解決した、ガラス板を含む薄板の大型化、搬送ロボットシステムのハンドも大型重量化及び前後軸の動作量の増大による、重力による前後軸の垂直方向へのたわみが大きくなっても、薄板をラックへ挿入するロボットの前後軸、上下軸及び回転軸の動作を停止することなく、薄板をラックへまっすぐ挿入することができる搬送ロボットシステムのたわみ補正装置を提供することにある。 The object of the present invention is to solve such a conventional problem, by increasing the size of a thin plate including a glass plate, increasing the weight of a transfer robot system hand, and increasing the amount of movement of the front and rear axes, and the vertical movement of the front and rear axes due to gravity. Provides a deflection correction device for a transfer robot system that can insert a thin plate straight into the rack without stopping the operation of the longitudinal axis, vertical axis, and rotation axis of the robot that inserts the thin plate into the rack even when the deflection increases. There is to do.
このため本発明の第1発明は、地面と平行で長い動作範囲を有する前後動作軸をもつロボットが、前記動作軸の先端にガラス板を含む薄板を置くことのできるハンドを取り付け、薄板を収納するラックへ前後軸を動作させて薄板の搬入、取り出しを行う動作において、ラックの基準部材とハンドの先端との距離を測定するハンドの先端部に取り付けられた変位検出器と、前記前後軸の動作高さを変えることができる上下動作軸及び前後軸の動作方向を変えることのできる回転動作軸を有し、前記変位検出器からの距離情報により、前記上下軸及び回転動作軸の重力によるたわみ量を補正する上下軸及び/又は回転動作軸の補正動作量を決定し補正する補正制御回路により、前記ハンドの先端下面と薄板を格納するラックの基準部材との垂直方向距離を、薄板の搬入、取り出しを行う動作中を通じて一定に保つことを特徴とする搬送ロボットシステムのたわみ補正装置によって上述した本発明の課題を解決した。
本発明の第2発明は、地面と平行で長い動作範囲を有する前後動作軸をもつロボットが、前記動作軸の先端にガラス板を含む薄板を置くことのできるハンドを取り付け、薄板を収納するラックへ前後軸動を動作させて薄板の搬入、取り出しを行う動作において、ラックの基準部材とハンドの先端との距離を測定する各ラック入口に取り付けられた変位検出器と、前記前後軸の動作高さを変えることができる上下動作軸及び前後軸の動作方向を変えることのできる回転動作軸を有し、前記変位検出器からの距離情報により、前記上下軸及び回転動作軸の重力によるたわみ量を補正する上下軸及び/又は回転動作軸の補正動作量を決定し補正する補正制御回路により、前記ハンドの先端下面と薄板を格納するラックの基準部材との垂直方向距離を、薄板の搬入、取り出しを行う動作中を通じて一定に保つことを特徴とする搬送ロボットシステムのたわみ補正装置によって上述した本発明の課題を解決した。
Therefore, according to the first aspect of the present invention, a robot having a longitudinal motion axis that is parallel to the ground and has a long motion range is attached with a hand that can place a thin plate including a glass plate at the tip of the motion shaft, and the thin plate is accommodated. A displacement detector attached to the front end of the hand for measuring the distance between the reference member of the rack and the front end of the hand in the operation of moving the front and rear shaft to the rack to carry in and taking out the thin plate; It has a vertical motion axis that can change the motion height and a rotational motion axis that can change the motion direction of the front and rear axes, and the deflection of the vertical and rotational motion axes due to gravity based on distance information from the displacement detector. The vertical direction of the lower surface of the front end of the hand and the reference member of the rack storing the thin plate is determined by a correction control circuit that determines and corrects the correction operation amount of the vertical axis and / or the rotation operation axis for correcting the amount. Distance, carrying the sheet, and solve the problems of the present invention described above by deflection correction apparatus of the transfer robot system, characterized in that kept constant throughout the operation for taking out.
A second invention of the present invention is a rack in which a robot having a longitudinal motion axis parallel to the ground and having a long motion range is attached with a hand capable of placing a thin plate including a glass plate at the tip of the motion shaft, and stores the thin plate. In the operation of carrying in and out the thin plate by moving the front and rear axial movements, a displacement detector attached to each rack inlet for measuring the distance between the reference member of the rack and the tip of the hand, and the operational height of the front and rear axes A vertical motion axis that can change the length and a rotational motion axis that can change the motion direction of the front and rear axes, and by the distance information from the displacement detector, the amount of deflection due to gravity of the vertical motion axis and the rotational motion axis The vertical distance between the lower surface of the front end of the hand and the reference member of the rack that stores the thin plate is determined by a correction control circuit that determines and corrects the correction operation amount of the vertical axis and / or the rotary operation axis to be corrected. Carrying the sheet, and solve the problems of the present invention described above by deflection correction apparatus of the transfer robot system, characterized in that kept constant throughout the operation for taking out.
本発明では、ラックの基準部材とハンドの先端との距離を測定するハンドの先端部に取り付けられた変位検出器、又は、ラックの基準部材とハンドの先端との距離を測定する各ラック入口に取り付けられた変位検出器を有し、変位検出器からの距離情報により、前記上下軸及び回転動作軸の重力によるたわみ量を補正する上下軸及び/又は回転動作軸の補正動作量を決定し補正する補正制御回路により、ハンドの先端下面と薄板を格納するラックの基準部材との垂直方向距離を、薄板の搬入、取り出しを行う動作中を通じて一定に保つようにしたので、ガラス板を含む薄板の大型化、搬送ロボットシステムのハンドも大型重量化及び前後軸の動作量の増大による、重力による前後軸の垂直方向へのたわみが大きくなっても、薄板をラックへ挿入するロボットの前後軸、上下軸及び回転軸の動作を停止することなく、薄板をラックへまっすぐ挿入することができる搬送ロボットシステムのたわみ補正装置を提供するものとなった。特に搬送する前後動作軸のハンドの先端下面と薄板を格納するラックの基準部材との垂直方向距離を、変位検出器センサにて測定し、前後軸を直線に動作させるための軸の動作量をそのたわみ量を決定し補正制御することが、本発明の際立った特徴である。 In the present invention, a displacement detector attached to the tip of the hand that measures the distance between the reference member of the rack and the tip of the hand, or each rack inlet that measures the distance between the reference member of the rack and the tip of the hand. It has an attached displacement detector, and based on the distance information from the displacement detector, it determines and corrects the correction operation amount of the vertical axis and / or the rotation motion axis that corrects the deflection amount due to gravity of the vertical motion shaft and the rotation motion shaft. Since the vertical distance between the lower surface of the front end of the hand and the reference member of the rack storing the thin plate is kept constant throughout the operation of loading and unloading the thin plate, Even if the deflection of the vertical axis of the front and rear axes due to gravity increases due to the increase in size and the weight of the transfer robot system and the increase in the amount of movement of the front and rear axes, the thin plate is inserted into the rack. Longitudinal axis of the robot, without stopping the operation of the vertical axis and the rotation axis, was intended to provide a deflection correction apparatus of the transfer robot system thin plate can straight insertion into a rack. In particular, the vertical distance between the lower surface of the front end of the hand of the front and rear operation shaft to be transported and the reference member of the rack that stores the thin plate is measured by a displacement detector sensor, and the amount of movement of the shaft for linearly moving the front and rear shaft is calculated. It is a distinguishing feature of the present invention that the amount of deflection is determined and correction control is performed.
本発明の実施形態を、図1〜図3を参照して説明する。図1は本発明の実施形態の搬送ロボットシステムのたわみ補正装置を示す概略側面ブロック図、図2は図1の搬送ロボットシステムのハンド3のたわみ動作状態を示す説明図、図3は図1の搬送ロボットシステムのハンド3のたわみ動作状態を補正した状態を示す説明図、図4は従来の搬送ロボットシステムのハンドのたわみ動作状態が補正されていない状態を示す説明図を示す。
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic side block diagram showing a deflection correcting device of a transfer robot system according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an explanatory view showing a bending operation state of a
図1の7aに示す変位検出器は、本発明の第1発明の実施形態の搬送ロボットシステムのたわみ補正装置を示し、地面と平行で長い動作範囲を有する前後動作軸1をもつロボットが(図1では1個の前後動作軸をもつが、2個以上の前後動作軸をもつてもよい)、動作軸1の先端にガラス板を含む薄板2を置くことのできるハンド3を取り付け、薄板2をハンド3にのせたまま、薄板2を収納するラック4へ前後軸1を動かして挿入し、薄板2をラックに搬入、取り出しを行う動作において、ラック4の図示しない基準部材である棒部材とハンド3の先端との距離を測定するハンドの先端部に取り付けられた変位検出器7aと、前後軸1の動作高さを変えることができる上下動作軸5及び前後軸1の動作方向を変えることのできる回転動作軸6とを有し、変位検出器7aからの距離情報により、上下軸5及び回転動作軸6の重力によるたわみ量を補正する上下軸及び/又は回転動作軸の補正動作量を決定し補正する制御装置8に内蔵された補正制御回路10により、ハンドの先端下面と薄板を格納するラックの基準部材との垂直方向距離dを、薄板の搬入、取り出しを行う動作中を通じて一定に保つことを特徴とするものである。図1において、実線で示す前後動作軸1は最も前方に前進した位置にあり、前後動作軸1が支持するハンド3aは薄板2をラック4の奥まで搬入した状態を示し、破線で示す前後動作軸1bは後方に後退しており、前後動作軸1bが支持するハンド3bも後退位置にある。
The
図1の7bに示す変位検出器は、本発明の第2発明の実施形態の搬送ロボットシステムのたわみ補正装置を示し、ラック4の図示しない基準部材である棒部材とハンド3の先端との距離を測定する各ラック4入口に取り付けられた6個の変位検出器7bを有す他は、図1の7aに示す変位検出器を有する、本発明の第1発明の実施形態の搬送ロボットシステムのたわみ補正装置と同じであり説明を省略する。
The
作動においては、図2に示すように、前後動作軸1bが支持するハンド3bの位置から前進して、ハンド 3c,3dの位置からハンド3aの位置まで前進すると、前後軸1の剛性不足もしくは、ハンド3、薄板2の重量によって、基準線sからたわみ量Lだけたわんでいき、最悪の場合ラック4と干渉する。そこでラックとの干渉を防ぐように、上下動作軸5をそのたわみ量Lをキャンセルするように動作させること、及び/又は、前後軸1の根元に取り付けられた回転軸6角度αだけを動作させることで、基準線sを通るように動作させることでラック4との干渉を防ぐことができる(図3)。しかし従来装置では、前後軸のハンドや薄板の形状が別のものに変わった場合、そのたわみ方も当然変化し、例えば、図4のようなたわみ量Hになり、図3に基づいてたわみ量のキャンセル動作ではそのたわみ量をキャンセルすることができないため、再度たわみ量を測りなおして上下動作、回転動作を決定し補正することになった。それに対して本発明では各ラック4入口もしくはハンド先端に、ラック4の図示しない基準部材である棒部材とハンド3の先端との距離を測定する変位検出器 7a,7bを取り付ける。そして前後軸の動作によってラックとハンドの間の距離が狭くなった場合、それを広げる方向へ上下軸もしくは回転軸を動作させ、広がった場合もその距離が狭くなるように上下軸もしくは回転軸を動作させる動作量を決定し補正する制御装置8に内蔵された補正制御回路10で、上下軸もしくは回転軸の動作を決定し補正し挿入動作を行うことで、ラックと薄板の間隔を一定に保ったまま、干渉することなく搬送作業が実施できる。このときハンドや薄板の形状や重量が変わった場合でも特別な計測や補正の計算を実施することなしに容易にラックへの挿入、取出し動作が行えるものである。変位検出器 7a,7bの取り付け位置は各ラック4入口もしくはハンド先端としたが、センサの信頼性や保守性の観点からは各ラック4入口に取り付けることが望ましいが、すべての挿入位置に変位検出器7bを取り付ける必要があり、コストの観点からは不利となる。しかしハンド先端に変位検出器7aを取り付ける場合は、変位検出器の数は少なくなるが、動作する部分への取り付けとなるため、センサへの線の断線や、センサそのものの故障が多くなる。
In operation, as shown in FIG. 2, when the front and
本発明の実施形態では、ラックの基準部材とハンドの先端との距離を測定するハンドの先端部に取り付けられた変位検出器、又は、ラックの基準部材とハンドの先端との距離を測定する各ラック入口に取り付けられた変位検出器を有し、変位検出器からの距離情報により、前記上下軸及び回転動作軸の重力によるたわみ量を補正する上下軸及び/又は回転動作軸の補正動作量を決定し補正する補正制御回路により、ハンドの先端下面と薄板を格納するラックの基準部材との垂直方向距離を、薄板の搬入、取り出しを行う動作中を通じて一定に保つようにしたので、ガラス板を含む薄板の大型化、搬送ロボットシステムのハンドも大型重量化及び前後軸の動作量の増大による、重力による前後軸の垂直方向へのたわみが大きくなっても、薄板をラックへ挿入するロボットの前後軸、上下軸及び回転軸の動作を停止することなく、薄板をラックへまっすぐ挿入することができる搬送ロボットシステムのたわみ補正装置を提供するものとなった。 In the embodiment of the present invention, a displacement detector attached to the tip of the hand that measures the distance between the reference member of the rack and the tip of the hand, or each of measuring the distance between the reference member of the rack and the tip of the hand A displacement detector attached to the rack inlet, and a correction operation amount of the vertical axis and / or the rotary operation axis for correcting a deflection amount due to gravity of the vertical axis and the rotary operation axis based on distance information from the displacement detector; Because the correction control circuit that determines and corrects the vertical distance between the lower surface of the tip of the hand and the reference member of the rack that stores the thin plate is kept constant throughout the operation of loading and unloading the thin plate, Even if the deflection of the vertical axis of the front and rear axis due to gravity increases due to the increase in the size of the thin plate, the large weight of the transfer robot system hand, and the increase in the amount of movement of the front and rear axis, Longitudinal axis of the robot to be inserted into the click, without stopping the operation of the vertical axis and the rotation axis, was intended to provide a deflection correction apparatus of the transfer robot system thin plate can straight insertion into a rack.
1、1b:前後動作軸、2:ガラス板を含む薄板、3:ハンド、3a〜3d:ハンドの位置
4:ラック、5:上下動作軸、6:回転動作軸、7a、7b:変位検出器
d:ラックの基準部材との垂直方向距離
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101349606B1 (en) * | 2012-03-19 | 2014-01-10 | 로체 시스템즈(주) | Apparatus for transportation of glass substrate |
JP2020505775A (en) * | 2017-01-26 | 2020-02-20 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | Method and apparatus for position compensation of a substrate transfer device |
WO2021090693A1 (en) * | 2019-11-05 | 2021-05-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Robot control method |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101349606B1 (en) * | 2012-03-19 | 2014-01-10 | 로체 시스템즈(주) | Apparatus for transportation of glass substrate |
JP2020505775A (en) * | 2017-01-26 | 2020-02-20 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | Method and apparatus for position compensation of a substrate transfer device |
WO2021090693A1 (en) * | 2019-11-05 | 2021-05-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Robot control method |
JPWO2021090693A1 (en) * | 2019-11-05 | 2021-05-14 | ||
JP7133757B2 (en) | 2019-11-05 | 2022-09-09 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Robot control method |
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