JP2008100301A - Diamond coated cutting insert and cutting tool - Google Patents

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秀晃 行待
Yuuko Moribe
裕江 森部
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a diamond coated cutting insert 1 which has a thin diamond coated film having excellent peeling resistance on the base material of the cutting insert, and has high durability, and further to provide a cutting tool 2 having the diamond coated cutting insert 1. <P>SOLUTION: The diamond coated cutting insert 1 has a coated film formed thereon. The coated film has a Raman spectrum having peaks at 1,140±30 cm<SP>-1</SP>, 1,330±10 cm<SP>-1</SP>, 1,480±50 cm<SP>-1</SP>, and 1,580±20 cm<SP>-1</SP>, and the intensity of the peak at 1,480±50 cm<SP>-1</SP>is larger than that of the peak at 1,580±20 cm<SP>-1</SP>in the Raman spectrum analysis. The cutting tool 2 is configured so as to comprise the diamond coated cutting insert 1. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

この発明はダイヤモンド被覆切削インサート及び切削工具に関し、詳しくは、優れた耐久性を持つダイヤモンド被覆切削インサート及びこのダイヤモンド被覆切削インサートを備えた切削工具に関する。   The present invention relates to a diamond-coated cutting insert and a cutting tool, and more particularly to a diamond-coated cutting insert having excellent durability and a cutting tool including the diamond-coated cutting insert.

切削用工具は図2に例示する外径加工用切削工具2のように、ホルダー3と呼ばれる支持体の先端に使い捨ての刃先である切削インサート1(スローアウェイチップ、刃先交換チップなどとも言う。)を取り付けた構造が多い。この切削インサートには被削材の種類、加工工程、切削速度などによって各種の材料が使用されている。例えば、超硬合金、サーメット、セラミックス、窒化ホウ素、さらにはこれらの表面に高硬度、耐摩耗性の被膜を被覆した材料が用いられている。しかし、切削インサート材料に対しては、近年益々その要求性能が過酷化しており、さらなる高性能化、低コスト化も求められている。このような状況下で、ダイヤモンド薄膜で被覆した切削インサートは優れた耐摩耗性及び耐久性を有すると考えられているので、アルミニウム合金の加工用材料として注目されている。   The cutting tool 1 is a disposable cutting edge 1 (also referred to as a throw-away tip, a cutting edge replacement tip, or the like) at the tip of a support called a holder 3 as in the outer diameter machining cutting tool 2 illustrated in FIG. There are many structures that are attached. Various materials are used for the cutting insert depending on the type of work material, the machining process, the cutting speed, and the like. For example, cemented carbides, cermets, ceramics, boron nitride, and materials in which a high hardness and wear resistant coating is coated on these surfaces are used. However, the required performance of cutting insert materials has become increasingly severe in recent years, and further higher performance and lower cost are also required. Under such circumstances, a cutting insert coated with a diamond thin film is considered to have excellent wear resistance and durability, and thus attracts attention as a material for processing an aluminum alloy.

ダイヤモンドは、切削インサート材料として汎用されてきたアルミナ、窒化珪素、超硬合金等に比べて高い硬度を有し、また熱伝導率も高いことからダイヤモンドを切削インサートの素材とする開発が進められてきた。ところが、超高圧・高温下で焼結して合成されたダイヤモンド焼結体を用いたダイヤモンド焼結体インサートは、高価であり、またダイヤモンドよりも高硬度の物質がないので、焼結後の切削インサートへの加工が困難なため形状的にも制約があった。そこで、マイクロ波や熱フィラメント等で励起状態にした炭素含有ガスを原料ガスとして用いた化学的気相合成法(CVD法という。)によって、ダイヤモンドを主体とした硬質薄膜(以下、単にダイヤモンド薄膜と呼ぶことがある。)を母材上に形成したダイヤモンド被覆切削インサートが多数開発されている。この方法によれば、複雑形状の工具母材に対しても容易且つ安価にダイヤモンド薄膜を形成できるので、この技術を応用してダイヤモンド被覆工具の研究開発が活発に進められている。最近では、ダイヤモンド薄膜の形成方法や形成されたダイヤモンド薄膜の形態を特定して切削工具材料としての性能を向上させることが試みられている。   Diamond has higher hardness than alumina, silicon nitride, cemented carbide, etc., which have been widely used as cutting insert materials, and has high thermal conductivity, so diamond has been developed as a cutting insert material. It was. However, a diamond sintered body insert using a diamond sintered body synthesized by sintering under ultra-high pressure and high temperature is expensive, and since there is no material that is harder than diamond, cutting after sintering is performed. The shape of the insert was limited because it was difficult to process the insert. Therefore, a hard thin film mainly composed of diamond (hereinafter simply referred to as a diamond thin film) is obtained by a chemical vapor phase synthesis method (CVD method) using a carbon-containing gas excited by a microwave or a hot filament as a raw material gas. Many diamond-coated cutting inserts have been developed on the base material. According to this method, a diamond thin film can be formed easily and inexpensively even on a tool base material having a complicated shape. Therefore, research and development of diamond-coated tools are actively promoted by applying this technique. Recently, attempts have been made to improve the performance as a cutting tool material by specifying the method of forming a diamond thin film and the form of the formed diamond thin film.

ダイヤモンド被覆工具としては、例えば特許文献1には、炭化タングステン基超硬合金基体の表面に形成された硬質炭素質膜のレーザラマンスペクトルにおいて、ダイヤモンド結晶を示すピークの両側にピークのある波形を持つ薄膜で被覆した切削工具が開示されている。また、特許文献2には、切削工具母材の表面の刃先先端部に被覆したダイヤモンド薄膜のラマンスペクトルにおける、ダイヤモンド結晶を示すピークと非ダイヤモンド成分を示すピークとの強度比を特定した高性能の切削工具を開示している。その他にも、ダイヤモンドコーティング工業刃物の製造方法(特許文献3)、プラズマCVD製膜のダイヤモンド状炭素被膜の超硬合金製切削工具(特許文献4)、表面に被覆した硬質炭素膜のラマンスペクトルにおける、ダイヤモンド結晶を示すピークと他のもうひとつのピークとの強度比を特定した高性能の摺動部材(特許文献5)など多くのダイヤモンド薄膜関連技術が開発されている。
特公昭62−6747号公報 特開平5−123098号公報 特開2004−76106号公報 特開5−342834号公報 特開平4−354871号公報
As a diamond-coated tool, for example, Patent Document 1 discloses a thin film having a waveform having peaks on both sides of a peak indicating a diamond crystal in a laser Raman spectrum of a hard carbonaceous film formed on the surface of a tungsten carbide base cemented carbide substrate. A cutting tool coated with is disclosed. Further, Patent Document 2 discloses a high performance that specifies the intensity ratio between a peak indicating a diamond crystal and a peak indicating a non-diamond component in a Raman spectrum of a diamond thin film coated on the tip of the cutting tool base material. A cutting tool is disclosed. In addition, in the manufacturing method of a diamond coating industrial blade (patent document 3), a diamond-like carbon coating cemented carbide cutting tool made of a plasma CVD film (patent document 4), a Raman spectrum of a hard carbon film coated on the surface Many diamond thin film-related technologies have been developed, such as a high-performance sliding member (Patent Document 5) that specifies the intensity ratio between a peak indicating diamond crystal and another peak.
Japanese Examined Patent Publication No. 62-6747 JP-A-5-123098 JP 2004-76106 A JP-A-5-342834 JP-A-4-3544871

上述のように、母材にダイヤモンド薄膜を形成したダイヤモンド被覆切削インサートは、高硬度、高熱伝導率という優れた切削工具として利用されている。しかし、従来のダイヤモンド被覆切削インサートは、薄膜の内部応力が大きく、しかも母材との密着強度が弱いことに加え、靭性が低い為に切削等の加工中に一瞬にして膜が剥離若しくは破壊されることがあるという欠点があった。そこで、ダイヤモンド粒子の結合力をさらに高め、ダイヤモンド薄膜の欠損や剥離を防ぎ、高速切削時等の耐摩耗性をさらに向上させることが求められていた。   As described above, a diamond-coated cutting insert in which a diamond thin film is formed on a base material is used as an excellent cutting tool having high hardness and high thermal conductivity. However, the conventional diamond-coated cutting insert has a large internal stress in the thin film and low adhesion strength with the base material, and because of its low toughness, the film peels or breaks instantly during processing such as cutting. There was a drawback that there was. Therefore, it has been demanded to further increase the bond strength of diamond particles, prevent the diamond thin film from being broken or peeled off, and further improve the wear resistance during high-speed cutting.

この発明の課題は、耐剥離性に優れたダイヤモンド薄膜を切削インサート用の母材に被覆することによって、耐久性の高いダイヤモンド被覆切削インサート及び切削工具を提供することである。   An object of the present invention is to provide a diamond coated cutting insert and a cutting tool having high durability by coating a diamond thin film having excellent peeling resistance on a base material for a cutting insert.

上述のように、ダイヤモンド被覆切削インサートにおける問題点は、切削等の加工を行っている最中に薄膜が剥離することである。この剥離原因については、ダイヤモンド薄膜と母材との熱膨張率の違いに基づく応力、特にダイヤモンド薄膜内の熱膨張による圧縮応力が大きいためであると考えられる。そこで、発明者らは、ダイヤモンド薄膜内部の圧縮応力を緩和する方法を検討した。その結果、ダイヤモンド薄膜中のダイヤモンド結晶粒子をナノサイズにまで微粒化すること、及びダイヤモンド薄膜中に非晶質ダイヤモンドとグラファイトとが存在するとこれらがダイヤモンド粒子のバインダ的な役割を果たすことにより、ダイヤモンド薄膜の耐摩耗性を損なうことなく、ダイヤモンド薄膜の内部に生じる圧縮応力が緩和されることを見いだした。そしてこのようなダイヤモンド薄膜で被覆したダイヤモンド被覆切削インサートは、極めて長寿命となることを見いだした。この発明者らは上記の知見に基づき、前記課題を解決するための以下の手段を見いだした。
前記課題を解決するための手段として、
請求項1は、被覆膜を形成したダイヤモンド被覆切削インサートであり、この被覆膜のラマンスペクトル分析において1140±30cm−1、1330±10cm−1、1480±50cm−1及び1580±20cm−1にピークが存在し、1480±50cm−1におけるピークの強度が1580±20cm−1におけるピークの強度より大であるラマンスペクトルを持つダイヤモンド被覆切削インサートであり、
請求項2は、前記被覆膜が気相合成法により形成されて成る前記請求項1に記載のダイヤモンド被覆切削インサートであり、
請求項3は、被覆膜の膜厚が3〜30μmである請求項1又は2に記載のダイヤモンド被覆切削インサートであり、
請求項4は、被覆膜により被覆される母材表面が炭窒化チタンを主成分とするβ相を含有する炭化タングステン超硬合金である請求項1〜3のいずれか1項に記載のダイヤモンド被覆切削インサートであり、
請求項5は、被覆膜が膜厚よりも小さいダイヤモンド微粒子の積み重なった構造である請求項1〜4のいずれか1項に記載のダイヤモンド被覆切削インサートであり、
請求項6は、請求項1〜5のいずれか1項に記載のダイヤモンド被覆切削インサートを備えた切削工具である。
As described above, a problem with the diamond-coated cutting insert is that the thin film is peeled off during processing such as cutting. The cause of the peeling is considered to be because the stress based on the difference in thermal expansion coefficient between the diamond thin film and the base material, particularly the compressive stress due to the thermal expansion in the diamond thin film is large. Therefore, the inventors examined a method for relaxing the compressive stress inside the diamond thin film. As a result, the diamond crystal particles in the diamond thin film are atomized to nano-size, and when there are amorphous diamond and graphite in the diamond thin film, these act as a binder for the diamond particles, It has been found that the compressive stress generated inside the diamond thin film is relaxed without impairing the wear resistance of the thin film. The diamond-coated cutting insert coated with such a diamond thin film was found to have an extremely long life. Based on the above findings, the inventors have found the following means for solving the above problems.
As means for solving the problems,
Claim 1 is a diamond-coated cutting insert in which a coating film is formed. In a Raman spectrum analysis of this coating film, 1140 ± 30 cm −1 , 1330 ± 10 cm −1 , 1480 ± 50 cm −1 and 1580 ± 20 cm −1. A diamond-coated cutting insert having a Raman spectrum with a peak at 1480 ± 50 cm −1 and a peak intensity at 1480 ± 50 cm −1 greater than the peak intensity at 1580 ± 20 cm −1 ,
Claim 2 is the diamond-coated cutting insert according to claim 1, wherein the coating film is formed by a vapor phase synthesis method.
Claim 3 is the diamond-coated cutting insert according to claim 1 or 2, wherein the coating film has a thickness of 3 to 30 µm.
The diamond according to any one of claims 1 to 3, wherein the base material surface covered with the coating film is a tungsten carbide cemented carbide containing a β phase mainly composed of titanium carbonitride. A coated cutting insert,
Claim 5 is a diamond-coated cutting insert according to any one of claims 1 to 4, wherein the coating film has a structure in which diamond fine particles smaller than the film thickness are stacked.
A sixth aspect of the present invention is a cutting tool including the diamond-coated cutting insert according to any one of the first to fifth aspects.

この発明のダイヤモンド被覆切削インサートにおいては、被覆膜を形成するダイヤモンド粒子はナノサイズの微粒子であり、前記ダイヤモンド粒子相互を非晶質ダイヤモンド粒子及びグラファイトが結合していると考えられる。そのため、被覆膜における表面近くの個々の粒子が剥離したとしても、被覆膜の表面に生じたクラックが一気に母材に到ることがなく、したがって母材表面から被覆膜が直ちに剥離することがなく、耐剥離性及び耐摩耗性の高い、長寿命のダイヤモンド被覆切削インサート及び切削工具が得られる。特に、高速切削のような高温条件での切削でも、被覆膜内部のダイヤモンド粒子間や被覆膜と母材との間での熱応力が小さく、ダイヤモンド粒子の耐剥離性に優れ、ダイヤモンド被覆切削インサート及び切削工具の耐久性をさらに向上させることができる。   In the diamond-coated cutting insert of the present invention, the diamond particles forming the coating film are nano-sized fine particles, and it is considered that the diamond particles are bonded to each other by amorphous diamond particles and graphite. Therefore, even if individual particles near the surface of the coating film are peeled off, cracks generated on the surface of the coating film do not reach the base material all at once, and therefore the coating film is immediately peeled off from the surface of the base material. In this way, a long-life diamond-coated cutting insert and cutting tool with high peel resistance and wear resistance can be obtained. In particular, even when cutting under high temperature conditions such as high-speed cutting, the thermal stress between the diamond particles in the coating film or between the coating film and the base material is small, and the diamond particles are excellent in resistance to peeling. The durability of the cutting insert and the cutting tool can be further improved.

この発明のダイヤモンド被覆切削インサートは、切削インサートの形状をした母材の表面に気相合成法により被覆膜を形成してなる。そして、この被覆膜は、ラマンスペクトル分析において、少なくとも1140±30cm−1、1330±10cm−1、1480±50cm−1及び1580±20cm−1にピークが存在するスペクトルを示す。さらに、この被覆膜は、1480±50cm−1におけるピークの強度Iが1580±20cm−1におけるピークの強度Iより大であるラマンスペクトルを示す。通常、1330±10cm−1に現れるピークがダイヤモンド結晶を示す。そしてこのダイヤモンド結晶がナノサイズの微粒子であることが、1140±30cm−1のピークにより示される。この発明におけるラマンスペクトルで1480±50cm−1のピークは非晶質ダイヤモンドの存在を示し、1580±20cm−1に現れるピークは、グラファイトの存在を示す。 The diamond-coated cutting insert of the present invention is formed by forming a coating film on the surface of a base material in the shape of a cutting insert by a gas phase synthesis method. Then, the coating film is in the Raman spectrum analysis, shows a spectrum at least 1140 ± 30cm -1, 1330 ± 10cm -1, a peak at 1480 ± 50 cm -1 and 1580 ± 20 cm -1 is present. Further, this coating film shows a Raman spectrum in which the peak intensity I 1 at 1480 ± 50 cm −1 is larger than the peak intensity I 2 at 1580 ± 20 cm −1 . Usually, a peak appearing at 1330 ± 10 cm −1 indicates a diamond crystal. And it is shown by the peak of 1140 ± 30 cm −1 that this diamond crystal is nano-sized fine particles. In the Raman spectrum of the present invention, the peak at 1480 ± 50 cm −1 indicates the presence of amorphous diamond, and the peak appearing at 1580 ± 20 cm −1 indicates the presence of graphite.

この発明のダイヤモンド被覆切削インサートにおける被覆膜の厚さは、通常の場合、1〜40μmであり、好ましくは3〜30μmであり、さらに好ましくは5〜30μmである。すなわち、この発明のダイヤモンド被覆切削インサートの被覆膜におけるダイヤモンド粒子は、被覆膜の膜厚よりも非常に小さいので、図3及び図5に示すように多層のダイヤモンド粒子層として被覆膜を形成している。言い換えれば、膜厚のおよそ1/5〜1/1000となっているナノサイズのダイヤモンド粒子が石垣状に積み重なって被覆膜が形成されている。このような被覆膜で被覆された切削インサートは、切削工具としての使用中に個々のダイヤモンド粒子の剥離が起こっても、一つひとつの粒子ごとに剥離するだけで、被覆膜の最深部、すなわち母材表面までは剥離が進み難い。また、個々のダイヤモンド粒子が小さいので、高温においてもダイヤモンド粒子の変形量が小さく、被覆膜中でのダイヤモンド粒子とその周りの非晶質ダイヤモンド及びグラファイトとの熱応力は小さくなる。ここで非晶質ダイヤモンドとは、ダイヤモンドの等方性を有する炭素原子の三次元骨格が崩れて不規則に形成されて成り、炭素原子の未結合手は水素が結合することにより安定化している物質である。一方、ミクロンサイズである大粒径のダイヤモンド粒子で3〜30μmの膜厚の被覆膜を形成してなるダイヤモンド被覆切削インサートは、図6により模式的に示されるように、ミクロンサイズの大粒径のダイヤモンド粒子でほぼ一層の被覆層を形成しているので、ひとつのダイヤモンド粒子が剥離すると、その部分の被覆膜が欠損して母材表面が露出してしまう。母材はダイヤモンドで形成された被覆膜に較べて耐摩耗性が小さいので、切削工具としての寿命は母材表面が露出した時点で終了する。   The thickness of the coating film in the diamond-coated cutting insert of the present invention is usually 1 to 40 μm, preferably 3 to 30 μm, and more preferably 5 to 30 μm. That is, since the diamond particles in the coating film of the diamond-coated cutting insert of the present invention are much smaller than the film thickness of the coating film, the coating film is formed as a multilayer diamond particle layer as shown in FIGS. Forming. In other words, nano-sized diamond particles having a thickness of about 1/5 to 1/1000 are stacked in a stone wall shape to form a coating film. The cutting insert coated with such a coating film, even if the individual diamond particles are peeled off during use as a cutting tool, only the individual diamond particles are peeled off one by one. Peeling is difficult to proceed to the surface of the base material. Further, since the individual diamond particles are small, the amount of deformation of the diamond particles is small even at high temperatures, and the thermal stress between the diamond particles in the coating film and the surrounding amorphous diamond and graphite is small. Here, the amorphous diamond is formed by irregularly forming the three-dimensional skeleton of carbon atoms having the isotropic property of diamond, and the dangling bonds of carbon atoms are stabilized by the bonding of hydrogen. It is a substance. On the other hand, a diamond-coated cutting insert in which a coating film having a film thickness of 3 to 30 μm is formed of diamond particles having a large particle size of micron size, as schematically shown in FIG. Since almost one layer of the coating layer is formed of diamond particles having a diameter, when one diamond particle is peeled off, the coating film in that portion is lost and the surface of the base material is exposed. Since the base material has less wear resistance than the coating film formed of diamond, the life as a cutting tool ends when the surface of the base material is exposed.

さらに、この発明においては、ダイヤモンド被膜は、ラマンスペクトルの1480±50cm−1におけるピークの強度Iが1580±20cm−1におけるピークの強度Iより大である。この発明のダイヤモンド被覆切削インサートにおけるダイヤモンド被膜は、1500〜1600cm−1付近に明らかなピークがふたつあり、これらのピークの強度比が重要である。すなわち、ラマンスペクトルの1480±50cm−1におけるピークの強度Iと、1580±20cm−1におけるピークの強度Iとの比、I/Iが1以上、好ましくは1〜1.4である。この発明におけるラマンスペクトルで1480±50cm−1に現れるピークは、非晶質ダイヤモンドを示し、1580±20cm−1に現れるピークがグラファイトを示す。I/Iが1以上であることは、この発明において被覆膜中のグラファイトの含量が非晶質ダイヤモンドの含量に対して所定値以下であることを示している。このことは、ダイヤモンド微粒子に対し非晶質ダイヤモンドのバインダ的な働きがグラファイトのバインダ的な働きよりも大きく寄与しているものと推定される。 Furthermore, in the present invention, in the diamond coating, the peak intensity I 1 at 1480 ± 50 cm −1 of the Raman spectrum is larger than the peak intensity I 2 at 1580 ± 20 cm −1 . The diamond coating in the diamond-coated cutting insert of the present invention has two obvious peaks in the vicinity of 1500 to 1600 cm −1 , and the intensity ratio of these peaks is important. That is, the ratio of the peak intensity I 1 at 1480 ± 50 cm −1 of the Raman spectrum to the peak intensity I 2 at 1580 ± 20 cm −1 , I 1 / I 2 is 1 or more, preferably 1 to 1.4. is there. In the Raman spectrum of the present invention, the peak appearing at 1480 ± 50 cm −1 indicates amorphous diamond, and the peak appearing at 1580 ± 20 cm −1 indicates graphite. That I 1 / I 2 is 1 or more indicates that the graphite content in the coating film in the present invention is not more than a predetermined value with respect to the amorphous diamond content. This is presumed that the binder-like action of amorphous diamond contributes more to the diamond fine particles than the binder-like action of graphite.

以上の説明を定性的に、模式図的に説明すれば、図5に示すように、この発明における被覆膜は、ナノサイズの微粒子のダイヤモンド結晶粒子が積み重なった状態を呈しており、そのダイヤモンド結晶粒子同士は、グラファイトと非晶質ダイヤモンドとにより結合されている。ダイヤモンド結晶粒子同士を結合しているグラファイトと非晶質ダイヤモンドとの含有比率は、それぞれの成分を表わすピークの強度の比により特定することができる。   If the above explanation is explained qualitatively and schematically, as shown in FIG. 5, the coating film according to the present invention has a state in which diamond crystal particles of nano-sized fine particles are stacked. The crystal particles are bonded by graphite and amorphous diamond. The content ratio of graphite and amorphous diamond bonding diamond crystal particles can be specified by the ratio of the intensity of the peak representing each component.

この発明に係るダイヤモンド被覆切削インサートにおいて、切削インサートの母材は切削インサートに使用可能である限りその材料及び種類等につき特に限定されるものでない。前記母材としては、例えば超硬合金、アルミナセラミックス、CBN、窒化珪素、サイアロン等が挙げられる。その中でも、超硬合金、さらに炭窒化チタンを主成分とするβ相を表面に有する炭化タングステン超硬合金を母材とすると、母材と被覆膜との結合が強固になり特に好ましい。このβ相は、炭化タングステン中に固溶した、例えばTi、Ta及びNb等が炭窒化物として析出したものであり、化学式でTi(C、N)と表記でき、例えばβ相を超硬合金の表面に析出させることによりセラミック材料の表面改質が可能である。この発明のダイヤモンド被覆切削インサートは、切削可能である限りどのような形状でもよく、従来から使用されている各種のスローアウェイチップの形状を取り得る。なお、この発明のダイヤモンド被覆切削インサートにおいて、被覆膜の厚さは前記したように通常は数十ミクロン以下であって母材の大きさに較べて無視できるほど薄いので、ダイヤモンド被覆切削インサートの形状は母材の形状で実質的に決定される。   In the diamond-coated cutting insert according to the present invention, the base material of the cutting insert is not particularly limited as long as it can be used for the cutting insert. Examples of the base material include cemented carbide, alumina ceramics, CBN, silicon nitride, sialon, and the like. Among these, a cemented carbide and a tungsten carbide cemented carbide having a β phase mainly composed of titanium carbonitride on the surface are particularly preferable because the bond between the matrix and the coating film becomes strong. This β phase is a solid solution in tungsten carbide, for example, Ti, Ta, Nb, etc. are precipitated as carbonitrides, and can be expressed as Ti (C, N) in the chemical formula. For example, the β phase is cemented carbide. It is possible to modify the surface of the ceramic material by precipitating on the surface. The diamond-coated cutting insert of the present invention may have any shape as long as it can be cut, and may take the shape of various throw-away tips conventionally used. In the diamond-coated cutting insert of the present invention, the thickness of the coating film is usually several tens of microns or less as described above, and is so thin that it can be ignored compared to the size of the base material. The shape is substantially determined by the shape of the base material.

この発明に係るダイヤモンド被覆切削インサートを備えた切削工具の種類は、どのようなものでもよく、例えば溝入れ工具、ねじ切り工具、外径加工用工具、内径加工用工具、面取り工具、エンドミル,ミニチュアドリル等が挙げられる。通常は、上記工具は、スローアウェイチップと呼ばれるチップを備えたチップ交換式の工具である。この発明の切削工具は、従来のダイヤモンド被覆切削インサートを備えた切削工具に比べて耐久性を著しく向上させることができる。   Any kind of cutting tool having the diamond-coated cutting insert according to the present invention may be used. For example, a grooving tool, a thread cutting tool, an outer diameter machining tool, an inner diameter machining tool, a chamfering tool, an end mill, a miniature drill Etc. Usually, the above-mentioned tool is a tip exchange type tool provided with a tip called a throw-away tip. The cutting tool of this invention can remarkably improve durability compared with the cutting tool provided with the conventional diamond covering cutting insert.

母材の表面に被覆膜を形成する方法については、気相合成法である限り特に限定されない。この発明における被覆膜の形成方法としては、マイクロ波プラズマCVD法、熱フィラメントCVD法、高周波プラズマCVD法などの各種化学蒸着法を挙げることができる。また、場合によってはアークイオンプレーティング法、反応性イオンプレーティング法などの各種物理蒸着法も、被覆膜の形成方法として利用可能である。また被覆膜の形成に用いる原料ガスとしては、炭素原子を含む化合物のガスであればよく、メタン、エタン、プロパン等の炭化水素系ガスの他、メタノール、エタノール等のアルコール系ガス、或は一酸化炭素等の酸化炭素系ガスを用いることもできる。一般的には、メタンガスが好適に用いられ、メタン等の炭素含有ガスを水素で希釈した混合ガスが用いられる。さらに、この発明のダイヤモンド被覆切削インサートの形成においては、上記混合ガス中にアルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガス等の不活性ガスを添加することが好ましい。   The method for forming the coating film on the surface of the base material is not particularly limited as long as it is a gas phase synthesis method. Examples of the method for forming the coating film in the present invention include various chemical vapor deposition methods such as a microwave plasma CVD method, a hot filament CVD method, and a high frequency plasma CVD method. In some cases, various physical vapor deposition methods such as an arc ion plating method and a reactive ion plating method can also be used as a method for forming a coating film. The raw material gas used for forming the coating film may be a compound gas containing carbon atoms, in addition to hydrocarbon gases such as methane, ethane, and propane, alcohol gases such as methanol and ethanol, or A carbon oxide gas such as carbon monoxide can also be used. In general, methane gas is preferably used, and a mixed gas obtained by diluting a carbon-containing gas such as methane with hydrogen is used. Furthermore, in the formation of the diamond-coated cutting insert of the present invention, it is preferable to add an inert gas such as argon gas, helium gas, or nitrogen gas to the mixed gas.

この発明における被覆膜の形成においては、熱フィラメント法が好適に利用できる。図7は、この発明における被覆膜形成に使用する熱フィラメント法化学蒸着装置19の説明図である。11はこの装置のチャンバー、12はその排気管、13はチャンバー11内に導入するメタンと水素等の混合ガス導入管である。14はチャンバー11内に於ける台座、15は台座14上に載置された被覆用の母材である。16は母材15の上方に配置される熱フィラメント、17は熱フィラメント16の支持柱兼用の電極である。18は電源である。   In forming the coating film in the present invention, a hot filament method can be suitably used. FIG. 7 is an explanatory diagram of the hot filament chemical vapor deposition apparatus 19 used for forming the coating film in the present invention. Reference numeral 11 denotes a chamber of the apparatus, 12 denotes an exhaust pipe thereof, and 13 denotes a mixed gas introducing pipe such as methane and hydrogen introduced into the chamber 11. Reference numeral 14 denotes a pedestal in the chamber 11, and 15 denotes a covering base material placed on the pedestal 14. Reference numeral 16 denotes a heat filament disposed above the base material 15, and 17 denotes an electrode also serving as a support column for the heat filament 16. Reference numeral 18 denotes a power source.

この熱フィラメント法化学蒸着装置19による母材15に対する被覆膜の形成方法の一例について説明する。ダイヤモンド粒子を含有する被覆膜を形成するときのチャンバー内の圧力は、通常1333.22Pa以上26664.4Pa以下(10Torr以上200Torr以下)である。ナノサイズのダイヤモンド微粒子を含有する被覆膜を母材表面に形成するには、このチャンバー内の圧力を高くするのが好ましく、通常の場合3999.66Pa以上15998.64Pa以下(30Torr以上120Torr以下)である。チャンバー内に配置された母材の温度は、通常、700〜1000℃である。ナノサイズのダイヤモンド微粒子を含有する被覆膜を母材表面に形成するには、母材の温度を高くするのが好ましく、通常の場合、750〜1000℃である。また、熱フィラメント16への印加電圧は10〜50V、同電流値は30〜100A、熱フィラメント電源18はAC又はDCとする。メタンと水素との組成比率はメタンが水素の1〜10vol%、好ましくは3〜7vol%とする。なお、窒素などの不活性ガスをメタン等の炭素源ガスに対し1〜20vol%、好ましくは5〜15vol%添加すると、ナノサイズのダイヤモンド粒子を含む被覆膜を形成することができて好ましい。熱フィラメント16と母材15との距離は5〜20mmとする。この実施態様においては、母材15は炭化タングステン超硬合金チップ(図1に示す四角形チップ:内接円12.7mm、厚3.18mm)とした。そして、チップ上に3〜30μmのダイヤモンド薄膜が形成されるまで被覆操作を続ければ、この発明のダイヤモンド被覆切削インサートが製造できる。   An example of a method for forming a coating film on the base material 15 by the hot filament chemical vapor deposition apparatus 19 will be described. The pressure in the chamber when forming a coating film containing diamond particles is usually 1333.22 Pa or more and 26664.4 Pa or less (10 Torr or more and 200 Torr or less). In order to form a coating film containing nano-sized diamond fine particles on the surface of the base material, it is preferable to increase the pressure in this chamber, and in a normal case, 3999.66 Pa to 15998.64 Pa (30 Torr to 120 Torr) It is. The temperature of the base material disposed in the chamber is usually 700 to 1000 ° C. In order to form a coating film containing nano-sized fine diamond particles on the surface of the base material, it is preferable to increase the temperature of the base material, and in a normal case, the temperature is 750 to 1000 ° C. The applied voltage to the hot filament 16 is 10 to 50 V, the current value is 30 to 100 A, and the hot filament power source 18 is AC or DC. The composition ratio of methane and hydrogen is 1 to 10 vol%, preferably 3 to 7 vol% of methane. Note that it is preferable to add an inert gas such as nitrogen to the carbon source gas such as methane in an amount of 1 to 20 vol%, preferably 5 to 15 vol% because a coating film containing nano-sized diamond particles can be formed. The distance between the hot filament 16 and the base material 15 is 5 to 20 mm. In this embodiment, the base material 15 was a tungsten carbide cemented carbide chip (square chip shown in FIG. 1: inscribed circle 12.7 mm, thickness 3.18 mm). And if a coating operation is continued until a 3-30 micrometers diamond thin film is formed on a chip | tip, the diamond covering cutting insert of this invention can be manufactured.

この発明のダイヤモンド被覆切削インサートにおける被覆膜のラマンスペクトル分析において、発振源としては、アルゴンレーザ(発振線457.9nm、472.7nm、488.0nm、501.7nm等)、クリプトンレーザ(発振線476.2nm、520.8nm、568.2nm、676.5nm等)等のレーザ光を利用することが望ましい。   In the Raman spectrum analysis of the coating film in the diamond-coated cutting insert of the present invention, as an oscillation source, an argon laser (oscillation lines 457.9 nm, 472.7 nm, 488.0 nm, 501.7 nm, etc.), a krypton laser (oscillation line) 476.2 nm, 520.8 nm, 568.2 nm, 676.5 nm, etc.) are preferably used.

上述したこの発明のダイヤモンド被覆切削インサートは、高温での硬度及び耐摩耗性に優れており、高硬度鋼等の高速切削用の切削工具の刃先として優れた性質を持っている。このダイヤモンド被覆切削インサートは耐熱性、耐摩耗性に優れた長寿命の切削用スローアウェイチップとして有用であり、さらに、このダイヤモンド被覆切削インサートを例えば図2に示すような切削工具用のホルダーに設置したこの発明の切削工具は優れた切削工具として各種の切削加工、特に高速切削加工に好適に使用できる。   The above-described diamond-coated cutting insert of the present invention is excellent in hardness and wear resistance at high temperatures, and has excellent properties as a cutting edge of a cutting tool for high-speed cutting such as high-hardness steel. This diamond-coated cutting insert is useful as a throw-away tip for long-life cutting with excellent heat resistance and wear resistance. Further, this diamond-coated cutting insert is installed in a holder for a cutting tool as shown in FIG. The cutting tool of the present invention can be suitably used as an excellent cutting tool for various types of cutting, particularly high-speed cutting.

(1)ダイヤモンド被覆切削インサートの製造 (実施例1〜5)
図1に示すような形状を有する、β炭化タングステンを含む超硬合金製の母材の表面に、図7に示す熱フィラメント法装置19で、被覆膜を形成してダイヤモンド被覆切削インサートを製造した。
(1) Production of diamond-coated cutting inserts (Examples 1 to 5)
A diamond-coated cutting insert is manufactured by forming a coating film on the surface of a base material made of cemented carbide containing β-tungsten carbide and having a shape as shown in FIG. 1 by a hot filament method apparatus 19 shown in FIG. did.

被覆膜を形成する条件は以下のようにした。
チャンバ内圧:3999.66Pa(30Torr)、
母材温度:800℃、
混合ガス供給速度:500ml/分、
混合ガス組成比率(体積比率):水素/メタン/窒素=960/40/4、
フィラメント印加電圧/電流:20V/100A、
フィラメント温度:1800℃、
被覆膜形成時間:3〜30時間、
被覆膜厚さ:実施例毎に表1に示す。
実施例3で形成された被覆膜のSEM写真を図3に示した。
The conditions for forming the coating film were as follows.
Chamber internal pressure: 3999.66 Pa (30 Torr),
Base material temperature: 800 ° C.
Mixed gas supply rate: 500 ml / min,
Mixed gas composition ratio (volume ratio): hydrogen / methane / nitrogen = 960/40/4,
Filament applied voltage / current: 20V / 100A,
Filament temperature: 1800 ° C
Coating film formation time: 3 to 30 hours,
Coating thickness: shown in Table 1 for each example.
An SEM photograph of the coating film formed in Example 3 is shown in FIG.

(比較例1、2、5、6)
前記実施例1〜5における被覆膜を形成する条件において、比較例1及び比較例2は窒素を導入せずに被覆膜を形成させ、比較例5及び比較例6は混合ガスの窒素の含量をメタンに対して8vol%として被覆膜を形成させた他は前記実施例1〜5における条件と同様にして、母材の表面に被覆膜を形成してダイヤモンド被覆切削インサートを製造した。また、比較例1及び比較例2、並びに比較例5及び比較例6の膜厚がそれぞれ相違しているのは被覆膜形成の時間の相違による。比較例2で形成された被覆膜のSEM写真を図4に示した。
(比較例3,4)
特公昭62−6747号公報に記載の実施例3と同様にしてダイヤモンド被覆切削インサートを製造した。
(Comparative Examples 1, 2, 5, 6)
In the conditions for forming the coating film in Examples 1 to 5, Comparative Example 1 and Comparative Example 2 formed the coating film without introducing nitrogen, and Comparative Example 5 and Comparative Example 6 were mixed gas of nitrogen. A diamond-coated cutting insert was produced by forming a coating film on the surface of the base material in the same manner as in Examples 1 to 5 except that the coating film was formed with a content of 8 vol% with respect to methane. . Moreover, the film thicknesses of Comparative Example 1 and Comparative Example 2, and Comparative Example 5 and Comparative Example 6 are different because of the difference in the time for forming the coating film. An SEM photograph of the coating film formed in Comparative Example 2 is shown in FIG.
(Comparative Examples 3 and 4)
A diamond-coated cutting insert was produced in the same manner as in Example 3 described in Japanese Patent Publication No. 62-6747.

(2)ダイヤモンド被覆切削インサートのラマンスペクトル及び切削性能評価
実施例、比較例で製造したダイヤモンド被覆インサートのラマンスペクトル分析、及び切削剥離試験結果を表1に示した。
・ラマンスペクトル分析
アルゴンレーザ光(波長488nm)を使用してラマンスペクトルを測定した。強度は、ラマンスペクトルの1000cm−1と1800cm−1の区間で直線のベースラインを作って、これに対する高さで測定した。実施例3において母材に形成された被覆膜のラマンスペクトルを図8に示した。
・切削剥離試験
切削速度及び切り込みを一定にして切削を開始し、一定加工長ごとに切削送りを増加させていき、被覆膜の剥離が起きるまで続ける。被覆膜の剥離が起きたときの切削送りにより評価した。
被削材:アルミニウム合金(AC4A)、
チップ形状:SPGN120308 刃先処理:なし
切削速度:471mm/min、 送り:f=0.1〜 mm/rev
切り込み:d=0.5mm、 切削油:あり
(2) Raman spectrum of diamond-coated cutting insert and evaluation of cutting performance Table 1 shows the results of Raman spectrum analysis of the diamond-coated insert manufactured in Examples and Comparative Examples, and the results of cutting peeling test.
Raman spectrum analysis A Raman spectrum was measured using an argon laser beam (wavelength 488 nm). Strength, making linear baseline in the section 1000 cm -1 and 1800 cm -1 of the Raman spectrum were measured at a height relative to this. The Raman spectrum of the coating film formed on the base material in Example 3 is shown in FIG.
・ Cutting and peeling test Cutting is started at a constant cutting speed and incision, and the cutting feed is increased for each fixed machining length until the coating film peels. Evaluation was made by cutting feed when peeling of the coating film occurred.
Work material: Aluminum alloy (AC4A),
Tip shape: SPGN120308 Cutting edge treatment: None Cutting speed: 471 mm / min, Feed: f = 0.1 mm / rev
Cutting depth: d = 0.5mm, Cutting oil: Available

Figure 2008100301
表1において、ラマンピークの欄における○はピークのあることを示し、×はピークの観測されなかったことを示す。また、表1中の「ピークが一体化」は、それぞれのラマンピーク(1480±50cm−1及び1580±20cm−1)の部分にブロードな膨らみが観測され、かつその膨らみの近傍部が重なっていたのでピークを検出できなかったことを示す。
Figure 2008100301
In Table 1, ◯ in the Raman peak column indicates that there is a peak, and × indicates that no peak was observed. In Table 1, “peaks are integrated” indicates that broad bulges are observed in the respective Raman peaks (1480 ± 50 cm −1 and 1580 ± 20 cm −1 ), and the vicinity of the bulges overlaps. This indicates that no peak could be detected.

表1に示すように、この発明のダイヤモンド被覆切削インサートを備えた切削工具(実施例1〜5)は、ナノサイズのダイヤモンド粒子を含まないダイヤモンド被膜や(比較例1,2)、グラファイトとは異なる非晶質ダイヤモンドの示すラマンスペクトルピークが不明確なダイヤモンド被膜(比較例3,4)、グラファイトとは異なる非晶質ダイヤモンドの示すラマンスペクトルピークがあっても、その相対強度が小さく、この発明の範囲内に入らないダイヤモンド被膜(比較例5,6)を形成したダイヤモンド被覆切削インサートを備えた切削工具に較べて、切削送りが大きく、耐久性が高いことが分かる。また、この発明のダイヤモンド被覆切削インサートを備えた切削工具は、ナノサイズのダイヤモンド粒子で実質に形成された被覆膜の厚さが3〜30μmであると、特に切削送りが大きくなるまで使用可能で、耐久性が高くなることが分かる。   As shown in Table 1, the cutting tools (Examples 1 to 5) provided with the diamond-coated cutting insert of the present invention are diamond coatings that do not contain nano-sized diamond particles (Comparative Examples 1 and 2), and graphite. Diamond film (Comparative Examples 3 and 4) in which the Raman spectrum peak shown by different amorphous diamonds is unclear. Even if there is a Raman spectrum peak shown by amorphous diamonds different from graphite, the relative intensity is small. It can be seen that the cutting feed is large and the durability is high as compared with a cutting tool provided with a diamond-coated cutting insert formed with a diamond coating (Comparative Examples 5 and 6) that does not fall within the range of. In addition, the cutting tool equipped with the diamond-coated cutting insert of the present invention can be used until the cutting feed becomes large when the thickness of the coating film substantially formed of nano-sized diamond particles is 3 to 30 μm. It can be seen that the durability becomes high.

この発明のダイヤモンド被覆切削インサート及びこれを備えた切削工具は耐摩耗性、耐剥離性に優れた長寿命のスローアウェイチップ及び切削工具として例えばアルミニウム合金の加工、特に高速加工に使用できる。   The diamond-coated cutting insert according to the present invention and the cutting tool equipped with the diamond-coated cutting insert can be used, for example, for processing an aluminum alloy, particularly for high-speed machining, as a long-life throw-away tip and a cutting tool excellent in wear resistance and peeling resistance.

図1は切削インサートの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a cutting insert. 図2は外径加工用ホルダーにインサートを取り付けた切削工具の正面図である。FIG. 2 is a front view of a cutting tool in which an insert is attached to an outer diameter processing holder. 図3はこの発明のダイヤモンド被覆切削インサートの電子顕微鏡写真である。FIG. 3 is an electron micrograph of the diamond-coated cutting insert of the present invention. 図4は従来のダイヤモンド被覆切削インサートの電子顕微鏡写真である。FIG. 4 is an electron micrograph of a conventional diamond-coated cutting insert. 図5はこの発明のダイヤモンド被複層の模式図である。FIG. 5 is a schematic view of the diamond multilayer of the present invention. 図6は従来のダイヤモンド被複層の模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram of a conventional diamond multilayer. 図7は熱フィラメント法化学蒸着装置の説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of a hot filament chemical vapor deposition apparatus. 図8は実施例3において母材に形成された被覆膜のラマンスペクトルチャートである。FIG. 8 is a Raman spectrum chart of the coating film formed on the base material in Example 3.

符号の説明Explanation of symbols

1:インサート
2:切削工具
3:ホルダ
A,B:被覆膜の層厚
4:この発明の被覆膜
5:従来の被覆膜
6:ナノサイズのダイヤモンド粒子
7:ミクロンサイズのダイヤモンド粒子
8:グラファイト
9:グラファイト以外の非ダイヤモンド成分
10:母材
11:チャンバー
12:排気管
13:混合ガス導入管
14:台座
15:母材
16:熱フィラメント
17:支持柱兼用の電極
18:電源
19:熱フィラメント法化学蒸着装置
1: Insert 2: Cutting tool 3: Holder A, B: Layer thickness of coating film 4: Coating film 5 of the present invention: Conventional coating film 6: Nano-sized diamond particles 7: Micron-sized diamond particles 8 : Graphite 9: Non-diamond component other than graphite 10: Base material 11: Chamber 12: Exhaust pipe 13: Mixed gas introduction pipe 14: Pedestal 15: Base material 16: Hot filament 17: Electrode 18 also serving as support column: Power supply 19: Hot filament chemical vapor deposition system

Claims (6)

被覆膜を形成したダイヤモンド被覆切削インサートであり、この被覆膜のラマンスペクトル分析において1140±30cm−1、1330±10cm−1、1480±50cm−1および1580±20cm−1にピークが存在し、1480±50cm−1におけるピーク強度が1580±20cm−1におけるピーク強度より大であるラマンスペクトルを持つダイヤモンド被覆切削インサート。 It is a diamond-coated cutting insert with a coating film, and in the Raman spectrum analysis of this coating film, there are peaks at 1140 ± 30 cm −1 , 1330 ± 10 cm −1 , 1480 ± 50 cm −1 and 1580 ± 20 cm −1. A diamond-coated cutting insert having a Raman spectrum with a peak intensity at 1480 ± 50 cm −1 greater than the peak intensity at 1580 ± 20 cm −1 . 前記被覆膜が気相合成法により形成されて成る前記請求項1に記載のダイヤモンド被覆切削インサート。   The diamond-coated cutting insert according to claim 1, wherein the coating film is formed by a gas phase synthesis method. 被覆膜の膜厚が3〜30μmである請求項1又は2に記載のダイヤモンド被覆切削インサート。   The diamond-coated cutting insert according to claim 1 or 2, wherein the coating film has a thickness of 3 to 30 µm. 被覆膜により被覆される母材表面が炭窒化チタンを主成分とするβ相を含有する炭化タングステン超硬合金である請求項1〜3のいずれか1項に記載のダイヤモンド被覆切削インサート。   The diamond-coated cutting insert according to any one of claims 1 to 3, wherein the surface of the base material coated with the coating film is a tungsten carbide cemented carbide containing a β phase mainly composed of titanium carbonitride. 被覆膜が膜厚よりも小さいダイヤモンド微粒子の積み重なった構造である請求項1〜4のいずれか1項に記載のダイヤモンド被覆切削インサート。   The diamond-coated cutting insert according to any one of claims 1 to 4, wherein the coating film has a structure in which diamond fine particles smaller than the film thickness are stacked. 請求項1〜5のいずれか1項に記載のダイヤモンド被覆切削インサートを備えた切削工具。   The cutting tool provided with the diamond covering cutting insert of any one of Claims 1-5.
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