JP2008092110A - Piezoelectric device - Google Patents

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Motoharu Ando
元晴 安藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric device packaging a variety of information data in each piezoelectric device, even if the front surface area of a lid is very small. <P>SOLUTION: The piezoelectric device has: an IC chip 19, which is not electrically connected with a piezoelectric resonance element 11 molded with resin 20, formed on a bottom surface of a recessed space 15 facing a location of one side end opposite to the other fixed side of the piezoelectric resonance element 11; and an antenna part 16 electrically connected with the IC chip 19 formed on an inner surface of the recessed space 15, the resin being partially in contact with the side end of the piezoelectric resonance element 11. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は電子機器内に使用される電子部品の一つである圧電デバイスに関し、特に小型化が著しく進んだ圧電デバイスに関する。   The present invention relates to a piezoelectric device which is one of electronic components used in electronic equipment, and more particularly to a piezoelectric device whose size has been remarkably advanced.

従来、携帯用通信機器等の電子機器には、その電子機器或いは電子機器に搭載される電子部品の基準信号やクロック信号等の発生源として用いられる圧電振動子や圧電発振器、又は電子機器が送受信する特定の周波数帯域信号以外を遮断する圧電フィルタ等の圧電デバイスが使用されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, electronic devices such as portable communication devices are transmitted and received by piezoelectric vibrators, piezoelectric oscillators, or electronic devices that are used as sources of reference signals or clock signals for electronic devices or electronic components mounted on the electronic devices. Piezoelectric devices such as piezoelectric filters that block signals other than a specific frequency band signal are used.

このような圧電デバイスを、圧電デバイスの一つである圧電振動子を例に説明する。即ち、図4に図示したように、容器体40に形成された凹部空間45内底面には、一対の素子搭載パッド47が設けられている。この素子搭載パッド47上には、導電性接着剤43を介して電気的に接続される一対の励振用電極を表裏主面に有した水晶材による圧電振動素子41が搭載されており、この圧電振動素子41を内包した凹部空間45を囲繞する容器体40の側壁部の開口側頂面には全周にわたって封止用導体パターン42が取着されている。この封止用導体パターン42上に平板状の金属製蓋体44を被せ、シーム溶接等で封止用導体パターン42と蓋体44縁部とを溶接接合することにより、圧電振動素子41の搭載空間(凹部空間45)を気密封止した圧電振動子4である。(例えば、下記特許文献1を参照。)   Such a piezoelectric device will be described by taking a piezoelectric vibrator as one of the piezoelectric devices as an example. That is, as shown in FIG. 4, a pair of element mounting pads 47 are provided on the bottom surface in the recessed space 45 formed in the container body 40. On the element mounting pad 47, a piezoelectric vibration element 41 made of a quartz material having a pair of excitation electrodes electrically connected via a conductive adhesive 43 on the front and back main surfaces is mounted. A sealing conductor pattern 42 is attached to the entire top surface of the opening side top surface of the side wall of the container body 40 that surrounds the recessed space 45 containing the vibration element 41. Mounting the piezoelectric vibration element 41 by covering the sealing conductor pattern 42 with a flat metal lid 44 and welding and joining the sealing conductor pattern 42 and the edge of the lid 44 by seam welding or the like. This is a piezoelectric vibrator 4 in which a space (concave space 45) is hermetically sealed. (For example, see Patent Document 1 below.)

このような圧電振動子4において、容器体40の実装側主面に設けられる入出力端子並びにグランド端子等で構成される外部接続用電極端子49を介して、容器体40内部に搭載された圧電振動素子41の励振用電極間に外部からの交番電圧が印加されると、圧電振動素子41の形態等に応じた所定の振動モード及び周波数で振動を起こすようになっており、その周波数に基づいて外部の発振回路で所定周波数の基準信号が発振・出力される。このような基準信号は携帯用通信機器等の電子機器におけるクロック信号として利用されることとなる。   In such a piezoelectric vibrator 4, a piezoelectric element mounted inside the container body 40 via an external connection electrode terminal 49 including an input / output terminal and a ground terminal provided on the mounting side main surface of the container body 40. When an alternating voltage from the outside is applied between the excitation electrodes of the vibration element 41, vibration is caused in a predetermined vibration mode and frequency according to the form of the piezoelectric vibration element 41, and the like. Thus, a reference signal having a predetermined frequency is oscillated and output by an external oscillation circuit. Such a reference signal is used as a clock signal in an electronic device such as a portable communication device.

又、上述した金属製蓋体44の外部露出主面には、凹部空間内に搭載した圧電振動素子41の共振周波数値、製造者表示及び製造ロット番号等の、その圧電振動子4に関する各種表示がされている。   Further, on the externally exposed main surface of the metal lid 44 described above, various displays relating to the piezoelectric vibrator 4 such as the resonance frequency value, manufacturer display, and manufacturing lot number of the piezoelectric vibration element 41 mounted in the recessed space. Has been.

尚、上述した圧電振動子以外の他の圧電デバイスとしては、上述したような容器体内の凹部空間内に、圧電振動素子と、この圧電振動素子と電気的に接続した発振回路を内蔵した集積回路素子とを一緒に搭載した形態の圧電発振器や、内部に搭載する圧電振動素子をフィルタとして機能させた圧電フィルタ等がある。   In addition, as a piezoelectric device other than the above-described piezoelectric vibrator, an integrated circuit including a piezoelectric vibration element and an oscillation circuit electrically connected to the piezoelectric vibration element in the concave space in the container as described above. There are a piezoelectric oscillator in which an element is mounted together, a piezoelectric filter in which a piezoelectric vibration element mounted inside functions as a filter, and the like.

前述のような圧電振動子等を含む圧電デバイスについては、以下のような先行技術が開示されている。
特開2002―111435号公報(第5−6頁、図2) 特開平9−331228号公報 特開2001−185986号公報
The following prior arts are disclosed for the piezoelectric device including the piezoelectric vibrator and the like as described above.
JP 2002-111435 A (page 5-6, FIG. 2) JP-A-9-33228 JP 2001-185986 A

尚、出願人は、前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を本件出願時までに発見するに到らなかった。   In addition, the applicant did not come to discover prior art documents related to the present invention by the time of the filing of the application other than the prior art documents specified by the prior art document information described above.

しかし、上述した従来の圧電デバイスでは、板状の蓋体の外側主面に、当該圧電デバイスに関する発振周波数値、製造元を示すサービスマーク或いは製造ロット番号等の各種情報データが、印刷又はレーザなどによるエッチングにより形成されているが、圧電デバイスの外形サイズが、長さ2.5mm×幅2.0mm×厚さ0.9mm以下となるように著しく小型化が進んだ場合に、蓋体表面の面積が非常に狭くなってしまい、上述したような各種情報データを肉眼で認識できるように蓋体表面に記載することが不可能となる可能性がある。   However, in the above-described conventional piezoelectric device, various information data such as an oscillation frequency value, a service mark indicating the manufacturer, or a manufacturing lot number related to the piezoelectric device are printed or lasered on the outer main surface of the plate-like lid. Although it is formed by etching, the area of the lid surface when the size of the piezoelectric device is significantly reduced so that the external size is 2.5 mm long, 2.0 mm wide, and 0.9 mm thick or less. Becomes very narrow, and it may be impossible to describe the various information data as described above on the lid surface so that they can be recognized with the naked eye.

又、容器体に形成された凹部空間内に圧電振動素子を搭載する際に、圧電振動素子の一辺を固着保持する所謂片持ち保持形態を用いた場合、どうしても圧電振動素子の固着保持している一辺と対向する固定していない辺端部の凹部空間内における位置が圧電デバイスの厚み方向で一定せず、個々の圧電デバイス間の振動特性にばらつきが生じる虞がある。   Further, when the piezoelectric vibration element is mounted in the recessed space formed in the container body, when using a so-called cantilever holding form in which one side of the piezoelectric vibration element is fixedly held, the piezoelectric vibration element is inevitably held and held. The position in the recessed space of the unfixed side edge facing one side is not constant in the thickness direction of the piezoelectric device, and there is a possibility that the vibration characteristics between the individual piezoelectric devices may vary.

本発明は上記課題に鑑み出されたものであり、従ってその目的は、蓋体表面の面積が非常に狭くなっても、上述したような各種情報データを個々のデバイス本体に搭載可能であり、且つ特性も良好な圧電デバイスを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and therefore, the purpose of the present invention is to mount various information data as described above on individual device bodies even when the area of the lid surface is very narrow. Another object is to provide a piezoelectric device with good characteristics.

本発明における圧電デバイスは、少なくとも、 絶縁材により形成され、一方の主面に開口部を有する少なくとも1つの凹部空間が形成された略直方体の容器体と、この凹部空間内底面の一辺近傍に前記一辺に沿って形成された一対の素子接続電極パッドに電気的且つ機械的に接続することで一辺が固定された、主面形状が四角形の平板状の圧電振動素子とを有する構造の圧電デバイスにおいて、
この圧電振動素子の固定された一辺と対向する一辺端部が配置された位置に相対する凹部空間内底面に、樹脂でモールドされた、圧電振動素子とは電気的に接続していないICチップが形成されており、且つ凹部空間内表面にはこのICチップと電気的接続したアンテナ部が形成されており、更に樹脂の一部が圧電振動素子の辺端部と接触していることを特徴とする。
The piezoelectric device according to the present invention includes at least a substantially rectangular parallelepiped container body formed of an insulating material and having at least one recessed space having an opening on one main surface, and near one side of the bottom surface in the recessed space. In a piezoelectric device having a structure in which a piezoelectric vibration element having a rectangular main surface is fixed to one side by being electrically and mechanically connected to a pair of element connection electrode pads formed along one side. ,
An IC chip molded with resin and not electrically connected to the piezoelectric vibration element is formed on the bottom surface in the concave space opposite to the position where the one side end facing the fixed side of the piezoelectric vibration element is disposed. An antenna portion electrically connected to the IC chip is formed on the inner surface of the recess space, and a part of the resin is in contact with the side edge portion of the piezoelectric vibration element. To do.

又、本発明における圧電デバイスは、上記構成において、ICチップを構成するメモリ部内には、非接触型データ読取/書込手段により入出力される圧電デバイスに関する仕様データ、製造履歴データ又は特性データのうち少なくとも1つが保存されていることを特徴とする。   In the piezoelectric device according to the present invention, in the above configuration, the specification data, manufacturing history data, or characteristic data relating to the piezoelectric device input / output by the non-contact type data reading / writing means is stored in the memory unit constituting the IC chip. At least one of them is stored.

本発明の圧電デバイスによれば、ICチップ及びそれに接続したアンテナ部により、ICチップ内に、個々の圧電デバイスに記録すべき各種情報データを、非接触型読取/書込手段により記録及び読取表示可能となり、圧電デバイスの外形サイズが、著しく小型化が進んだ場合でも各種情報データを個々の圧電デバイスに記録しておくことが可能と成る。また、従来の蓋体に記載している情報データ量に比べ、本発明におけるICチップ内に記録できる情報データ量は遙かに大量の情報データ量を記録できるので、個々の圧電デバイスにおける特性データ等、従来では記録することが不可能であった情報データも個々の圧電デバイス内に記録しておくことができる。更に、製品の出荷の際に、複数個の圧電デバイスが梱包された状態で個々のICチップ内に記録されている情報データを非接触型読取/書込手段により読み取ることにより、指定仕様外の圧電デバイスが混入していた場合、肉眼等で個々に検査するより著しく早く且つ確実に異物を発見でき、出荷後のユーザからの不具合クレームの発生を減少できる。   According to the piezoelectric device of the present invention, various information data to be recorded in each piezoelectric device is recorded and read by the non-contact type reading / writing means in the IC chip by the IC chip and the antenna portion connected thereto. Thus, even when the external size of the piezoelectric device is remarkably reduced, various information data can be recorded in each piezoelectric device. In addition, the amount of information data that can be recorded in the IC chip according to the present invention is much larger than the amount of information data described in the conventional lid, so that the characteristic data in each piezoelectric device can be recorded. For example, information data that could not be recorded conventionally can also be recorded in each piezoelectric device. Further, when the product is shipped, the information data recorded in each IC chip in a state where a plurality of piezoelectric devices are packed is read by the non-contact type reading / writing means, so that it is outside the specified specification. In the case where the piezoelectric device is mixed, foreign matters can be found significantly faster and more reliably than when individually inspected with the naked eye or the like, and the occurrence of defect complaints from users after shipment can be reduced.

又、ICチップをモールドしている樹脂が、圧電振動素子の固定されていない辺端部(自由端部)を凹部空間内底面側から支える支持部材として機能し、これにより圧電振動素子を凹部空間内でほぼ凹部空間内底面に対して平行に保持することが可能となる。   Further, the resin molding the IC chip functions as a support member that supports the side end portion (free end portion) where the piezoelectric vibration element is not fixed from the bottom surface side in the recess space, thereby supporting the piezoelectric vibration element in the recess space. It becomes possible to hold | maintain substantially in parallel with respect to the bottom face in a recessed space inside.

因って、本発明により、小型化が進んだ圧電デバイスにおいても、個々の圧電デバイスに各種情報データを搭載することができると同時に、内部に搭載した圧電振動素子の姿勢を良好に保持することで圧電振動素子の振動特性も良好な圧電デバイスを提供できる効果を奏する。   Therefore, according to the present invention, various information data can be mounted on each piezoelectric device even in a piezoelectric device that has been miniaturized, and at the same time, the posture of the piezoelectric vibration element mounted inside can be well maintained. Thus, it is possible to provide a piezoelectric device having excellent vibration characteristics of the piezoelectric vibration element.

以下に、本発明における圧電デバイスの実施形態を図示しながら説明する。
図1は、本発明における圧電デバイスの一実施形態を、圧電デバイスの一つである圧電振動子を例に示した分解外観斜視図であり、図2は、図1に記載の容器体を示した構造図であり、(a)は凹部空間開口部側から見た平面図であり、(b)は(a)記載の仮想切断線A−A′で切断した場合の概略断面図である。図3は、図2に記載の容器体に圧電振動素子を搭載した場合の構造図であり、(a)は蓋体搭載前に凹部空間15開口部側から見た場合の平面図であり、(b)は蓋体14を載置後(a)記載の仮想切断線B−B′で切断した場合の概略断面図である。図5は、本発明における圧電デバイスの実施形態を、圧電デバイスの一つである圧電発振器を例に示した概略断面図である。尚、各図では、説明を明りょうにするため構造体の一部を図示せず、また寸法も一部誇張して図示している。特に各部分の厚み寸法は誇張して図示している。
Hereinafter, embodiments of a piezoelectric device according to the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is an exploded perspective view illustrating an embodiment of a piezoelectric device according to the present invention, taking a piezoelectric vibrator as an example of a piezoelectric device as an example, and FIG. 2 shows a container body shown in FIG. (A) is a plan view viewed from the concave space opening side, and (b) is a schematic cross-sectional view taken along the virtual cutting line AA ′ described in (a). FIG. 3 is a structural diagram when a piezoelectric vibration element is mounted on the container body shown in FIG. 2, and (a) is a plan view when viewed from the opening side of the recessed space 15 before mounting the lid, (B) is a schematic sectional drawing at the time of cut | disconnecting the cover body 14 by the virtual cutting line BB 'of (a) description after mounting. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of a piezoelectric device according to the present invention, taking as an example a piezoelectric oscillator which is one of the piezoelectric devices. In each of the drawings, a part of the structure is not shown, and some dimensions are exaggerated for the sake of clarity. In particular, the thickness dimension of each part is exaggerated.

即ち、図1、図2及び図3の各図における容器体10は、例えば、ガラス−セラミック、アルミナセラミックス等の絶縁材から成る主面形状が四角形の基板12と、基板12と同様の絶縁材から成り、その外周形状が基板12の主面外周形状と同一形状の枠状の側壁部13から成り、基板12の上主面に側壁部13を取着させ、基板12上主面と側壁部13の内周面とにより構成された凹部空間15の内部底面の一短辺近傍にその短辺に沿った形態で素子接続電極パッド17が形成され、その上に導電性接着剤18を介して圧電振動素子11が、圧電振動素子11の一短辺を固着形成されて構成されている。また、本発明の特徴部分として、素子接続電極パッド17に固着されている圧電振動素子11の一短辺に対向する圧電振動素子11の固定されていない短辺端縁部に相対する凹部空間15の内部底面にはICチップ19が配置されている。更にICチップ19からは、凹部空間15の内部底面の周囲にループ状のアンテナ部16が形成されている。ここでICチップ19の上面には樹脂20が被覆されており、樹脂20の表面と圧電振動素子11の辺端部とは接触するか著しく近接する構造となっている。   That is, the container body 10 in each of FIGS. 1, 2, and 3 includes, for example, a substrate 12 having a main surface shape made of an insulating material such as glass-ceramic and alumina ceramic, and an insulating material similar to the substrate 12. The outer peripheral shape is formed of a frame-shaped side wall portion 13 having the same shape as the outer peripheral shape of the main surface of the substrate 12, and the side wall portion 13 is attached to the upper main surface of the substrate 12. An element connection electrode pad 17 is formed in the form along the short side in the vicinity of one short side of the inner bottom surface of the concave space 15 constituted by the inner peripheral surface of 13, and a conductive adhesive 18 is provided on the pad. The piezoelectric vibration element 11 is configured by fixing one short side of the piezoelectric vibration element 11. In addition, as a characteristic part of the present invention, a recessed space 15 that is opposed to an unfixed short side edge of the piezoelectric vibration element 11 that faces one short side of the piezoelectric vibration element 11 that is fixed to the element connection electrode pad 17. An IC chip 19 is disposed on the inner bottom surface. Further, from the IC chip 19, a loop-shaped antenna portion 16 is formed around the inner bottom surface of the recessed space 15. Here, the upper surface of the IC chip 19 is covered with the resin 20, and the surface of the resin 20 and the side edge of the piezoelectric vibration element 11 are in contact with each other or extremely close to each other.

図1及び図3(b)に示した圧電振動子1は、その内部に、具体的には、基板12の上主面と側壁部13の内周面と蓋体14の下主面とで囲繞される凹部空間15内に圧電振動素子11が収容されて、更に蓋体14が側壁部13の開口側頂面上に凹部空間開口部を覆う形態で載置接合されることで凹部空間15内が気密封止されており、凹部空間15内に露出する基板12の上主面には、上述したように圧電振動素子11の表裏両主面に形成された励振用電極に各々接続される一対の素子接続電極パッド17が、基板12の下主面の四隅部には他のマザーボード等の外部の実装回路基板に接続するための外部接続用電極端子21がそれぞれ設けられ、これらのパッドや端子は基板12表面の導配線パターン(不図示)や基板12内部に埋設されているビアホール導体(不図示)等を介して、対応するもの同士、相互に電気的に接続されている。また、上述のように本発明の圧電振動子1においては凹部空間15の内部底面の所定の位置にはICチップ19が配置されている。このICチップ内に形成されている電子回路網と圧電振動素子11の励振用電極とは電気的に接続していない。このICチップ19には個々の圧電振動子1に関する発振周波数、負荷容量値及びクリスタルインピーダンス値等の仕様データや、製造社名、製造年月及び製造ロット番号等の製造履歴データ、更に温度特性データや低ドライブ特性データ等の特性データが記憶されている。また、このICチップ19内に記憶する又は記載されたデータを外部のデータ読込/書込用送受信手段で送受信するための送信アンテナとなるアンテナ部16が凹部空間15内表面にループ状に形成されており、このアンテナ部16を介してICチップ19と無線で送受信された情報データは、データ読込/書込用送受信手段の表示手段、或いはデータ読込/書込用送受信手段に接続した電子計算機の表示手段に表示し確認できる。   The piezoelectric vibrator 1 shown in FIG. 1 and FIG. 3 (b) includes, specifically, an upper main surface of the substrate 12, an inner peripheral surface of the side wall portion 13, and a lower main surface of the lid body 14. The piezoelectric vibration element 11 is accommodated in the enclosed recess space 15, and the lid body 14 is further mounted and bonded on the opening side top surface of the side wall portion 13 so as to cover the recess space opening. The inside is hermetically sealed, and the upper main surface of the substrate 12 exposed in the recessed space 15 is connected to the excitation electrodes formed on both the front and back main surfaces of the piezoelectric vibration element 11 as described above. A pair of element connection electrode pads 17 are provided at the four corners of the lower main surface of the substrate 12 with external connection electrode terminals 21 for connection to an external mounting circuit board such as another mother board. The terminal is embedded in the conductive wiring pattern (not shown) on the surface of the substrate 12 or inside the substrate 12. And via-hole conductors (not shown) or the like, between the corresponding ones, are electrically connected to each other. Further, as described above, in the piezoelectric vibrator 1 of the present invention, the IC chip 19 is disposed at a predetermined position on the inner bottom surface of the recessed space 15. The electronic circuit network formed in the IC chip and the excitation electrode of the piezoelectric vibration element 11 are not electrically connected. The IC chip 19 includes specification data such as an oscillation frequency, a load capacitance value, and a crystal impedance value related to each piezoelectric vibrator 1, manufacturing history data such as a manufacturer name, manufacturing date, and manufacturing lot number, temperature characteristic data, Characteristic data such as low drive characteristic data is stored. An antenna portion 16 serving as a transmission antenna for transmitting / receiving data stored in or written in the IC chip 19 by an external data reading / writing transmitting / receiving means is formed in a loop shape on the inner surface of the recessed space 15. The information data transmitted / received wirelessly to / from the IC chip 19 via the antenna unit 16 is displayed on the display unit of the data reading / writing transmission / reception unit or the computer connected to the data reading / writing transmission / reception unit. It can be displayed and confirmed on the display means.

また、基板12の下主面に設けられている4つの外部接続用電極端子21は、圧電振動子1をマザーボード等の外部の実装回路基板に接続固定するための端子として機能するものであり、圧電振動子1を実装回路基板上に搭載する際、実装回路基板の回路配線と半田等の導電性接合材を介して電気的且つ機械的に接続固定されるように成っている。   The four external connection electrode terminals 21 provided on the lower main surface of the substrate 12 function as terminals for connecting and fixing the piezoelectric vibrator 1 to an external mounting circuit board such as a mother board. When the piezoelectric vibrator 1 is mounted on the mounting circuit board, it is electrically and mechanically connected and fixed via a conductive bonding material such as solder and the circuit wiring of the mounting circuit board.

一方、圧電振動子1の内部に収容される圧電振動素子11は、例えば圧電振動素子を構成する圧電材として水晶を用いた場合では、人工水晶体より所定のカットアングルで切り出された圧電素板に外形加工施し、その両主面に圧電素板本体を間に挟む形態で一対の励振用電極が被着形成されて成り、外部からの変動電圧が一対の励振用電極を介して圧電素板に印加されると、主となる振動モードで所定の周波数の振動を起こす。尚、圧電材としては他にタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム又は圧電セラミックス等を用いても構わない。   On the other hand, the piezoelectric vibration element 11 accommodated in the piezoelectric vibrator 1 is a piezoelectric element plate cut out at a predetermined cut angle from the artificial crystalline lens when, for example, quartz is used as the piezoelectric material constituting the piezoelectric vibration element. A pair of excitation electrodes are deposited and formed on both main surfaces with the piezoelectric element body sandwiched between the two main surfaces, and externally varying voltage is applied to the piezoelectric element plate via the pair of excitation electrodes. When applied, it vibrates at a predetermined frequency in the main vibration mode. In addition, as the piezoelectric material, lithium tantalate, lithium niobate, piezoelectric ceramics, or the like may be used.

更に本発明の他の特徴部分としては図1〜図3に示すように、圧電振動素子11の固定された一短辺と対向する一短辺端部が配置された位置に相対する凹部空間15内底面に、樹脂20でモールドされた圧電振動素子11とは電気的に接続していないICチップ19が形成されていることから、ICチップ19が圧電振動素子11の固定されていない一短辺を支える支持部材として機能し、圧電振動素子11を凹部空間内底面に対しほぼ平行に保持することが可能となる。これにより、圧電振動素子11と蓋体14或いは凹部空間15内底面との間に生じる浮遊容量値が個々の圧電振動子の保持姿勢が不定のためにばらつき、個々の圧電振動子で特性が異なってしまうという不具合を回避することができる。   Furthermore, as another characteristic part of the present invention, as shown in FIGS. 1 to 3, a recessed space 15 that is opposed to a position where one short-side end portion opposite to the fixed short side of the piezoelectric vibration element 11 is disposed. Since the IC chip 19 that is not electrically connected to the piezoelectric vibration element 11 molded with the resin 20 is formed on the inner bottom surface, the short side where the IC chip 19 is not fixed to the piezoelectric vibration element 11 is formed. It is possible to hold the piezoelectric vibration element 11 substantially parallel to the bottom surface in the recess space. As a result, the stray capacitance value generated between the piezoelectric vibration element 11 and the lid 14 or the inner bottom surface of the recess space 15 varies because the holding posture of each piezoelectric vibrator is indefinite, and the characteristics differ among the individual piezoelectric vibrators. It is possible to avoid the problem of end up.

尚、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。   In addition, this invention is not limited to the above-mentioned embodiment, A various change, improvement, etc. are possible in the range which does not deviate from the summary of this invention.

例えば、上述の実施形態においては、圧電振動子を例に説明したが、他に容器体内の凹部空間内に、圧電振動素子と、この圧電振動素子と電気的に接続した発振回路を内蔵した集積回路素子とを搭載した形態の圧電発振器や、内部に搭載する圧電振動素子をフィルタとして機能させた圧電フィルタにおいても、上述した実施形態で樹脂モールドされたICチップ及びアンテナ部を形成し、各種情報データを非接触でICチップ内へ書込或いはICチップ内から読取ことにより本発明と同様の効果を奏することができる。図5には、本発明における課題解決手段を、容器体50に、圧電振動素子11と、少なくとも圧電振動素子11に形成された励振用電極と電気的に接続した発振回路を内蔵する集積回路素子51とを搭載した圧電発振器5に適用した場合を示している。   For example, in the above-described embodiment, the piezoelectric vibrator has been described as an example. However, in addition, the piezoelectric vibration element and an oscillation circuit electrically connected to the piezoelectric vibration element are incorporated in the recessed space in the container. In the piezoelectric oscillator in which the circuit element is mounted and the piezoelectric filter in which the piezoelectric vibration element mounted inside functions as a filter, the resin-molded IC chip and the antenna unit are formed in the above-described embodiment, and various information By writing data into the IC chip or reading data from the IC chip in a non-contact manner, the same effects as in the present invention can be obtained. In FIG. 5, an integrated circuit element in which a problem solving means in the present invention is built in a container body 50, which includes a piezoelectric vibration element 11 and an oscillation circuit electrically connected to at least an excitation electrode formed on the piezoelectric vibration element 11. The case where it applies to the piezoelectric oscillator 5 which mounts 51 is shown.

図1は、本発明おける圧電デバイスの実施形態を、圧電デバイスの一つである圧電振動子を例に示した分解外観斜視図である。FIG. 1 is an exploded external perspective view illustrating an embodiment of a piezoelectric device according to the present invention, taking as an example a piezoelectric vibrator that is one of the piezoelectric devices. 図2は、図1に示した容器体の構造図であり、(a)は凹部空間開口部側から見た場合の平面図であり、(b)は(a)記載の仮想切断線A−A′で切断した場合の概略断面図である。2 is a structural diagram of the container body shown in FIG. 1, (a) is a plan view when viewed from the recessed space opening side, and (b) is a virtual cutting line A- described in (a). It is a schematic sectional drawing at the time of cut | disconnecting by A '. 図3は、図2に記載の容器体に圧電振動素子を搭載した場合の構造図であり、(a)は蓋体載置前に凹部空間開口部側から見た場合の平面図であり、(b)は蓋体を載置後(a)記載の仮想切断線B−B′で切断した場合の概略断面図である。FIG. 3 is a structural diagram when the piezoelectric vibration element is mounted on the container body shown in FIG. 2, and (a) is a plan view when viewed from the recessed space opening side before the lid body is placed, (B) is a schematic sectional drawing at the time of cutting | disconnecting a cover body by the virtual cutting line BB 'of (a) description after mounting. 図4は、従来の圧電デバイス実施形態を、圧電デバイスの一つである圧電振動子を例に示したものであり、(a)は蓋体側から見た平面図であり、(b)は(a)記載の仮想切断線C−C′で切断した場合の概略断面図である。FIG. 4 shows an embodiment of a conventional piezoelectric device, taking as an example a piezoelectric vibrator which is one of the piezoelectric devices, (a) is a plan view seen from the lid side, and (b) is ( It is a schematic sectional drawing at the time of cut | disconnecting by the virtual cutting line CC 'of a) description. 図5は、本発明おける圧電デバイスの実施形態を、圧電デバイスの一つである圧電発振器を例に示した概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view illustrating an embodiment of a piezoelectric device according to the present invention, taking as an example a piezoelectric oscillator that is one of the piezoelectric devices.

符号の説明Explanation of symbols

1・・・圧電振動子(圧電デバイス)
10・・・容器体
11・・・圧電振動素子
12・・・基板
13・・・側壁部
14・・・蓋体
15・・・凹部空間
16・・・アンテナ部
17・・・素子接続電極パッド
18・・・導電性接着剤
19・・・ICチップ
20・・・樹脂
21・・・外部接続用電極端子
5・・・圧電発振器(圧電デバイス)
1 ... Piezoelectric vibrator (piezoelectric device)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Container body 11 ... Piezoelectric vibration element 12 ... Board | substrate 13 ... Side wall part 14 ... Cover body 15 ... Recessed space 16 ... Antenna part 17 ... Element connection electrode pad DESCRIPTION OF SYMBOLS 18 ... Conductive adhesive 19 ... IC chip 20 ... Resin 21 ... External connection electrode terminal 5 ... Piezoelectric oscillator (piezoelectric device)

Claims (2)

少なくとも、
絶縁材により形成され、一方の主面に開口部を有する少なくとも1つの凹部空間が形成された略直方体の容器体と、
前記凹部空間内底面の一辺近傍に前記一辺に沿って形成された一対の素子接続電極パッドに電気的且つ機械的に接続することで一辺が固定された、主面形状が四角形の平板状の圧電振動素子と
を有する構造の圧電デバイスにおいて、
前記圧電振動素子の固定された一辺と対向する一辺端部が配置された位置に相対する前記凹部空間内底面に、樹脂でモールドされた前記圧電振動素子とは電気的に接続していないICチップが形成されており、且つ前記凹部空間内表面には前記ICチップと電気的接続したアンテナ部が形成されており、更に前記樹脂の一部が前記圧電振動素子の辺端部と接触していることを特徴とする圧電デバイス。
at least,
A substantially rectangular parallelepiped container formed of an insulating material and having at least one recessed space having an opening on one main surface;
A piezoelectric plate having a rectangular main surface shape, with one side fixed by electrical and mechanical connection to a pair of element connection electrode pads formed along the one side in the vicinity of one side of the bottom surface in the recess space. In a piezoelectric device having a structure including a vibration element,
An IC chip that is not electrically connected to the piezoelectric vibration element molded with resin on the bottom surface in the recess space opposite to the position where one side end portion facing the fixed side of the piezoelectric vibration element is disposed. And an antenna portion electrically connected to the IC chip is formed on the inner surface of the recess space, and a part of the resin is in contact with a side edge portion of the piezoelectric vibration element. A piezoelectric device characterized by that.
前記ICチップを構成するメモリ部内には、非接触型データ読取/書込手段により入出力される前記圧電デバイスに関する仕様データ、製造履歴データ又は特性データのうち少なくとも1つが保存されていることを特徴とする請求項1記載の圧電デバイス。   The memory unit constituting the IC chip stores at least one of specification data, manufacturing history data, and characteristic data related to the piezoelectric device input / output by the non-contact type data reading / writing means. The piezoelectric device according to claim 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2011010158A (en) * 2009-06-29 2011-01-13 Tokyo Denpa Co Ltd Piezoelectric vibrator and method of manufacturing the same

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