JP2008088514A - めっき基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明にかかるめっき基板100の製造方法は、無電解めっき法により金属層33を形成するめっき基板の製造方法であって、基板10上に所定パターンの樹脂成形体22を形成する工程と、樹脂成形体の上に触媒層31を形成する工程と、無電解めっき液に基板を浸漬することにより、触媒層上に金属を析出させて金属層33を形成する工程と、を含む。
【選択図】図12
Description
無電解めっき法により形成された金属層を有するめっき基板であって、
基体上に形成された所定のパターンの樹脂成形体と、
前記樹脂成形体の上方に形成された触媒層と、
前記触媒層の上に形成された金属層と、
を含む。
前記金属層は、前記樹脂成形体の形成領域および非形成領域にも形成されており、
前記樹脂成形体の形成領域に形成された金属層の膜厚は、前記樹脂成形体の非形成領域に形成された金属層の膜厚より大きいことができる。
前記樹脂成形体と前記触媒層の間に形成された触媒吸着層をさらに含むことができる。
前記樹脂成形体は、フォトレジストからなることができる。
前記基体は所定の波長の光を透過する透明基板であることができる。
無電解めっき法により金属層を形成するめっき基板の製造方法であって、
(a)基板上に所定パターンの樹脂成形体を形成する工程と、
(b)前記樹脂成形体の上に触媒層を形成する工程と、
(c)無電解めっき液に前記基板を浸漬することにより、前記触媒層上に金属を析出させて金属層を形成する工程と、を含む。
前記工程(a)は、
基板に流動状態の樹脂材料を塗布する工程と、
所定パターンの凹パターンを有するナノスタンパを前記基板上に押し付けて、前記樹脂材料に前記所定パターンを転写する工程と、
前記樹脂材料を硬化させる工程と、
を含むことができる。
前記工程(a)と(b)との間に、
アッシングによって、硬化させた樹脂材料の上部および前記所定パターン以外の領域の樹脂材料を除去することができる。
前記樹脂成形体は、フォトレジストからなり、
前記工程(a)では、干渉露光法を用いて前記樹脂成形体を形成することができる。
前記工程(a)と(b)との間に、
(d)前記基板をアルカリ溶液に浸漬することによって、前記樹脂成形体の一部を除去する工程をさらに含むことができる。
前記工程(d)と(b)との間に、
前記基板上の樹脂成形体上に触媒吸着層を形成する工程をさらに含むことができる。
前記工程(a)と(b)との間に、
前記基板をアルカリ性の界面活性剤溶液に浸漬することによって、前記樹脂成形体の一部を除去するとともに、基板上の樹脂成形体上に界面活性剤層を形成することができる。
図1〜図11は、第1の実施の形態にかかるめっき基板100(図12参照)の製造方法を示す図である。本実施の形態では、無電解めっきを適用してめっき基板を製造する。
(4a)純度99.99%のパラジウムペレットを塩酸と過酸化水素水と水との混合溶液に溶解させ、パラジウム濃度が0.1〜0.5g/lの塩化パラジウム溶液とする。
(4b)上述した塩化パラジウム溶液をさらに水と過酸化水素水で希釈することによりパラジウム濃度を0.01〜0.05g/lとする。
(4c)水酸化ナトリウム水溶液等を用いて、塩化パラジウム溶液のpHを4.5〜6.8に調整する。
上述した方法により製造されためっき基板100について、図13を用いて説明する。図13は、本実施の形態にかかるめっき基板100を模式的に示す斜視図である。めっき基板100は、基板10と当該基板10上に形成された金属層33とを含む。金属層33は、所定のパターンを有する。所定のパターンは、たとえば1次元または2次元の周期的なパターンであることができる。めっき基板100は、光透過性基板上に所定のパターンを有することにより、偏光板等の光学素子基板として機能することができる。たとえば図13に示すように、めっき基板100は、一定の間隔bと一定の幅aの直線状の金属層がX軸方向に繰り返し設けられている1次元の周期的なパターン(ストライプ形状)であることができる。周期方向(X軸方向)における幅aが可視光の波長以下であり、かつ基板10が光透過性基板からなる場合には、めっき基板100は、偏光板として機能することができる。
図14は、本実施の形態にかかるめっき基板の製造方法によって製造されるめっき基板を適用した電子デバイスの一例を示す。基板10が絶縁基板である場合には、めっき基板100は、配線基板として機能することができる。電子デバイス1000は、配線基板としてのめっき基板100と、集積回路チップ90と、他の基板92とを含む。
本実施の形態にかかるめっき基板の製造方法によりめっき基板を形成した。
Claims (12)
- 無電解めっき法により形成された金属層を有するめっき基板であって、
基体上に形成された所定のパターンの樹脂成形体と、
前記樹脂成形体の上方に形成された触媒層と、
前記触媒層の上に形成された金属層と、
を含む、めっき基板。 - 請求項1において、
前記金属層は、前記樹脂成形体の形成領域および非形成領域にも形成されており、
前記樹脂成形体の形成領域に形成された金属層の膜厚は、前記樹脂成形体の非形成領域に形成された金属層の膜厚より大きい、めっき基板。 - 請求項1または2において、
前記樹脂成形体と前記触媒層の間に形成された触媒吸着層をさらに含む、めっき基板。 - 請求項1ないし3のいずれかにおいて、
前記樹脂成形体は、フォトレジストからなる、めっき基板。 - 請求項1ないし4のいずれかにおいて、
前記基体は所定の波長の光を透過する透明基板である、めっき基板。 - 無電解めっき法により金属層を形成するめっき基板の製造方法であって、
(a)基板上に所定パターンの樹脂成形体を形成する工程と、
(b)前記樹脂成形体の上に触媒層を形成する工程と、
(c)無電解めっき液に前記基板を浸漬することにより、前記触媒層上に金属を析出させて金属層を形成する工程と、
を含む、めっき基板の製造方法。 - 請求項6において、
前記工程(a)は、
基板に流動状態の樹脂材料を塗布する工程と、
所定パターンの凹パターンを有するナノスタンパを前記基板上に押し付けて、前記樹脂材料に前記所定パターンを転写する工程と、
前記樹脂材料を硬化させる工程と、
を含む、めっき基板の製造方法。 - 請求項7において、
前記工程(a)と(b)との間に、
アッシングによって、硬化させた樹脂材料の上部および前記所定パターン以外の領域の樹脂材料を除去する、めっき基板の製造方法。 - 請求項6において、
前記樹脂成形体は、フォトレジストからなり、
前記工程(a)では、干渉露光法を用いて前記樹脂成形体を形成する、めっき基板の製造方法。 - 請求項6ないし9のいずれかにおいて、
前記工程(a)と(b)との間に、
(d)前記基板をアルカリ溶液に浸漬することによって、前記樹脂成形体の一部を除去する工程をさらに含む、めっき基板の製造方法。 - 請求項10において、
前記工程(d)と(b)との間に、
前記基板上の樹脂成形体上に触媒吸着層を形成する工程をさらに含む、めっき基板の製造方法。 - 請求項6ないし9のいずれかにおいて、
前記工程(a)と(b)との間に、
前記基板をアルカリ性の界面活性剤溶液に浸漬することによって、前記樹脂成形体の一部を除去するとともに、基板上の樹脂成形体上に界面活性剤層を形成する、めっき基板の製造方法。
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