JP2008086360A - 針状体の製造方法及び針状体 - Google Patents
針状体の製造方法及び針状体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008086360A JP2008086360A JP2006267310A JP2006267310A JP2008086360A JP 2008086360 A JP2008086360 A JP 2008086360A JP 2006267310 A JP2006267310 A JP 2006267310A JP 2006267310 A JP2006267310 A JP 2006267310A JP 2008086360 A JP2008086360 A JP 2008086360A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- needle
- substrate
- layer
- manufacturing
- exposure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Micromachines (AREA)
- Media Introduction/Drainage Providing Device (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の針状体の製造方法は、透明基板側からレジスト層を露光することで、高度な位置合わせの必要が無く、エッチングで設けられた溝の部分に対応するレジスト層のみに選択的に露光することが出来る。このため、露光に際して厳密なアライメントを必要とせず、簡便に針状体を製造することが可能となる。
【選択図】 図1
Description
次に、基板上に遮光層及び光透過層のパターニング用のエッチングマスク(104)を形成する。エッチングマスクとしては、遮光層及び光透過層とのエッチング選択比(加工対象のエッチングレートに対するエッチングマスク自体のエッチングレート)が得られるものであれば良く、遮光層自体が光透過層の加工時にエッチングマスクとして機能する場合は、エッチングマスク(104)は遮光層のパターニング用としてのみ用いることも可能である。このエッチングマスクを用いて針状構造体の先端部を形成するための穿孔パターン(105)を形成する(図1(b)参照)。
(1)まず、開口径の小さいレジストパターンをエッチングマスクとしてエッチングを行った後に、より大きい開口径のレジストパターンをエッチングマスクとして多段エッチングを行う方法や、
(2)露光マスクにグラデーションをつける、所謂、グレーマスクを用いてレジストパターン自体にテーパーを形成し、エッチングする方法、
等も用いることが出来る。
次に、穿孔パターン形成後の基板上にレジスト層(106)を形成する(図1(c)参照)。このレジストは感光することにより溶媒に対する溶解速度が向上する、いわゆるポジ型レジストである。このレジスト膜厚が針状構造体の支柱部の高さとなるため、レジスト膜厚を制御することで最終的な針状構造体の高さを制御することが可能となる。この際のレジスト層は所望の膜厚を形成することが可能であれば良く、形成方法はスピンコート法、スプレーコート法、スリットコート法等の一般的なコート方法で形成することが可能である。またレジスト層として使用する材料は、いわゆるポジ型のものであれば良く、例えば、レジストの代わりに感光性のドライフィルムを遮光層上に張り合わせて用いることも可能である。
次に、前記レジスト層を基板の透過層側より全面露光(107)することでレジスト層
(106)のパターニングを行う(図1(d)参照)。このレジストパターンの開口部(108)が針状構造体の支柱部となる。前述の通り、露光マスクは光透過層上に形成されている遮光層となる。このためパターニングは遮光層上に形成された開口部により自己整合的に位置あわせがなされるため、通常の重ね露光時に必要となるパターンのアライメントを行う必要がなく、簡便かつ高精度な露光を行うことが可能となる。
次に、現像処理を行い、針状構造体成型用金型(109)を得る(図1(e)参照)。このとき、現像処理の方法としては、選択したレジスト層に対応した適宜公知の方法を用いることが出来る。
次に、針状構造体成型用金型(109)に針状体材料を充填する(図示せず)。
次に、針状体材料と針状構造体成型用金型(109)を分離する工程を実施する。
以下、図3を用いて、針状体の転写加工成形について説明を行う。
スト層を基板のCr開口パターンを露光マスクとして裏面側から全面露光し、有機アルカリを用いて現像を行い、針状構造体の支柱部となる開口寸法51μm、高さ100μmのレジストパターンを完成させた。
102・・・遮光層
103・・・透過層
104・・・光透過層のパターニング用のエッチングマスク
105・・・穿孔パターン
106・・・レジスト層
107・・・針状構造体支柱部形成用レジスト層の露光
108・・・レジストパターンの開口部
109、209・・・針状構造体成型用金型
110、303・・・針状体
301・・・鋳型層
302・・・複製版
Claims (5)
- 微細な針状体の製造方法において、
遮光層と、透過層とを備えた基板に、前記基板の遮光層側から穿孔パターンを形成する工程と、
前記基板の遮光層側にレジスト層を設ける工程と、
前記基板の透過層側から光を入射し、レジスト層に露光を行う工程と、
前記レジスト層に現像処理を行う工程と、
前記レジスト層側から針状体材料を充填する工程と、
前記針状体材料を離型する工程と
を備えたことを特徴とする針状体の製造方法。 - 請求項1に記載の針状体の製造方法であって、
遮光層にアレイ状のパターニングを行うこと
を特徴とする針状体の製造方法。 - 請求項1または2のいずれかに記載の針状体の製造方法であって、
基板と露光光の相対角度が異なる露光を、複数回行うこと
を特徴とする針状体の製造方法。 - 請求項1から3のいずれかに記載の針状体の製造方法で作製した針状体を母型とし、
前記母型から複製版を作り、
転写加工成形を行うこと
を特徴とする針状体の製造方法。 - 請求項1から4のいずれかに記載の針状体の製造方法により製造された針状体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006267310A JP4888018B2 (ja) | 2006-09-29 | 2006-09-29 | 針状体の製造方法及び針状体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006267310A JP4888018B2 (ja) | 2006-09-29 | 2006-09-29 | 針状体の製造方法及び針状体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008086360A true JP2008086360A (ja) | 2008-04-17 |
JP4888018B2 JP4888018B2 (ja) | 2012-02-29 |
Family
ID=39371158
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006267310A Active JP4888018B2 (ja) | 2006-09-29 | 2006-09-29 | 針状体の製造方法及び針状体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4888018B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011062853A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Nikon Corp | 金型中子の製作方法および金型中子 |
KR101622388B1 (ko) * | 2015-10-21 | 2016-05-19 | 한국과학기술원 | 실리콘 마이크로 니들 스탬프 및 그 제조방법 |
KR101638865B1 (ko) * | 2015-10-21 | 2016-07-12 | 한국과학기술원 | 음각 형태의 니들 형상 몰드의 제조방법 |
EP3025754A4 (en) * | 2013-07-22 | 2017-04-12 | Toppan Printing Co., Ltd. | Needle-shaped body |
JP2017071094A (ja) * | 2015-10-06 | 2017-04-13 | 富士フイルム株式会社 | モールドの製造方法およびパターンシートの製造方法 |
KR101787945B1 (ko) * | 2017-02-17 | 2017-10-19 | 부산대학교 산학협력단 | 리소그래피를 이용한 마이크로니들용 몰드의 제조방법 |
KR20180095373A (ko) * | 2017-02-17 | 2018-08-27 | 부산대학교 산학협력단 | 인터로킹 기능을 가지는 마이크로니들용 몰드의 제조방법 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004526581A (ja) * | 2001-03-14 | 2004-09-02 | ザ プロクター アンド ギャンブル カンパニー | ソフトリソグラフィ及びフォトリソグラフィを使用して微小針(microneedles)構造を製造する方法 |
JP2005199245A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Dainippon Printing Co Ltd | マイクロミキサーおよびその製造方法 |
JP2006516226A (ja) * | 2003-01-16 | 2006-06-29 | スン−ソプ イ | Liga工程を用いたポリマー材質の微細針アレイの製造方法 |
-
2006
- 2006-09-29 JP JP2006267310A patent/JP4888018B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004526581A (ja) * | 2001-03-14 | 2004-09-02 | ザ プロクター アンド ギャンブル カンパニー | ソフトリソグラフィ及びフォトリソグラフィを使用して微小針(microneedles)構造を製造する方法 |
JP2006516226A (ja) * | 2003-01-16 | 2006-06-29 | スン−ソプ イ | Liga工程を用いたポリマー材質の微細針アレイの製造方法 |
JP2005199245A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Dainippon Printing Co Ltd | マイクロミキサーおよびその製造方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011062853A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Nikon Corp | 金型中子の製作方法および金型中子 |
EP3025754A4 (en) * | 2013-07-22 | 2017-04-12 | Toppan Printing Co., Ltd. | Needle-shaped body |
JP2017071094A (ja) * | 2015-10-06 | 2017-04-13 | 富士フイルム株式会社 | モールドの製造方法およびパターンシートの製造方法 |
KR101622388B1 (ko) * | 2015-10-21 | 2016-05-19 | 한국과학기술원 | 실리콘 마이크로 니들 스탬프 및 그 제조방법 |
KR101638865B1 (ko) * | 2015-10-21 | 2016-07-12 | 한국과학기술원 | 음각 형태의 니들 형상 몰드의 제조방법 |
KR101787945B1 (ko) * | 2017-02-17 | 2017-10-19 | 부산대학교 산학협력단 | 리소그래피를 이용한 마이크로니들용 몰드의 제조방법 |
KR20180095373A (ko) * | 2017-02-17 | 2018-08-27 | 부산대학교 산학협력단 | 인터로킹 기능을 가지는 마이크로니들용 몰드의 제조방법 |
KR101979493B1 (ko) * | 2017-02-17 | 2019-05-16 | 부산대학교 산학협력단 | 인터로킹 기능을 가지는 마이크로니들용 몰드의 제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4888018B2 (ja) | 2012-02-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4888018B2 (ja) | 針状体の製造方法及び針状体 | |
JP5660155B2 (ja) | マイクロニードルの製造方法 | |
JP5517956B2 (ja) | 一体化マイクロニードルアレイの製造方法 | |
JP4778669B2 (ja) | ソフトリソグラフィ及びフォトリソグラフィを使用して微小針(microneedles)構造を製造する方法 | |
Lipomi et al. | 7.11: soft lithographic approaches to nanofabrication | |
US20090162798A1 (en) | Method of manufacturing master plate, method of manufacturing microneedle patch and apparatus exposure apparatus | |
JP5064743B2 (ja) | 凹部パターンを有する構造体の製造方法 | |
JP5023671B2 (ja) | 針状体の製造方法 | |
JP5285943B2 (ja) | 針状体アレイおよび針状体アレイ製造方法 | |
US7906273B2 (en) | Method of manufacturing hollow micro-needle structures | |
JP4888011B2 (ja) | 針状体およびその製造方法 | |
JP2008035874A (ja) | 針状体の製造方法 | |
JP5338021B2 (ja) | 針状体の製造方法 | |
JP4978245B2 (ja) | 針状体、針状体製造方法および薬物輸送デバイス | |
JP5412045B2 (ja) | 針状体アレイおよびそのアレイ製造方法 | |
JP4978243B2 (ja) | 針状体および針状体製造方法 | |
JP5568234B2 (ja) | 針状体および針状体製造方法 | |
JP5098237B2 (ja) | 針状体の製造方法 | |
JP2009225987A (ja) | 針状体 | |
JP5173332B2 (ja) | マイクロニードルおよびマイクロニードル製造方法 | |
CN101189110A (zh) | 模具的制造方法及利用该模具得到的成型品 | |
Tormen et al. | Three-dimensional micro-and nanostructuring by combination of nanoimprint and x-ray lithography | |
JP4797138B2 (ja) | シリコン製鋳型の製造方法 | |
JP2010046722A (ja) | 針状体製造方法および針状体 | |
JP2006247973A (ja) | パターン形成方法、パターン複製方法、及び微細な凹凸形状層を有する樹脂成形品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090825 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100825 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110728 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110803 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110915 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111115 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111128 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4888018 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141222 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |