JP2008076817A - 平面ミラーアレイ及びwssデバイス - Google Patents
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Abstract
【課題】製作容易な1軸可動部方式平面ミラーアレイでありながら、パスバンド悪化を招くことのない平面ミラーアレイを提供する。
【解決手段】平面ミラーアレイには、平面ミラー1a〜1iが千鳥配列されている。各平面ミラー1k(k=a〜i)は、その中央部の両側に2つの可動部2k(k=a〜i)(回動部)を有しており、2つの可動部2kが支持部3の櫛歯状部3a、又は支持部4の櫛歯状部4aに保持されている。可動部2a、2c、2e、2g、2iは、第1の回動軸AX1上に位置し、可動部2b、2d、2f、2hは、第2の回動軸AX2上に位置している。第1と第2の回動軸AX1とAX2とは平行である。これにより、各平面ミラー1a〜1iは、支持部3、4に、可動部2a〜2iを介して千鳥配置されることになる。
【選択図】 図1
【解決手段】平面ミラーアレイには、平面ミラー1a〜1iが千鳥配列されている。各平面ミラー1k(k=a〜i)は、その中央部の両側に2つの可動部2k(k=a〜i)(回動部)を有しており、2つの可動部2kが支持部3の櫛歯状部3a、又は支持部4の櫛歯状部4aに保持されている。可動部2a、2c、2e、2g、2iは、第1の回動軸AX1上に位置し、可動部2b、2d、2f、2hは、第2の回動軸AX2上に位置している。第1と第2の回動軸AX1とAX2とは平行である。これにより、各平面ミラー1a〜1iは、支持部3、4に、可動部2a〜2iを介して千鳥配置されることになる。
【選択図】 図1
Description
本発明は平面ミラーアレイ及びそれを用いたWSS(Wave length Selective Switch)デバイスに関するものである。
光通信の分野においては、光ファイバ中に、複数波長の光を通過させるWDM(Wavelength Division Multiplex)技術が用いられている。そして、WDM光を使用した光通信においては、1本の光ファイバに含まれる複数波長の光を、波長毎に分波して、波長毎に異なる光ファイバに入射させて伝搬させたり、複数の光ファイバ中を伝搬する波長の異なる光を合波して、1本の光ファイバに入射させて伝搬させる、分波、合波システムが必要であり、このような目的のために、WSSが用いられている。
これは、US6,657,770B2号公報(特許文献1)に記載されるようなものであり、例えば、分波の場合、一列に並んだ光ファイバアレイのうち、1本の光ファイバから放出されるWDM光を、回折格子等の分光器に導いて、各波長毎の単波長の光に分光し、分光された光を平面ミラーアレイに導き、平面ミラーアレイで反射された光を、再び前述の分光器に導いて逆向きに透過させ、前記光ファイバアレイのうちの任意の光ファイバに入射させるものである。どの光ファイバに入射させるかは、平面ミラーアレイを構成する各平面ミラーの傾きを制御することにより決定される。このような目的に使用される平面ミラーアレイは、例えばUS6,097,859号公報(特許文献2)に記載されている。このような平面ミラーアレイは、主としてMEMS(Micro Electro Machine System)を使用して製作される。
US6,657,770B2号公報
US6,097,859号公報
光通信機器一般に対する要求に同じく、WSSデバイスもなるべく小型化することが望まれているが、そのためには回折格子の面積をなるべく小さくする必要がある。また回折格子の面積を小さくすることにより、分光器光学系の負担を少なくし簡単な光学系で優れた結像性能を得やすくなり、製造コスト低減にもつながる。
図4に示すように回折格子121’または121”上には、各入出力ポートと結合する個々のビーム断面(光ファイバアレイ端面の像)が一列に並んでいる。(a)はビーム幅圧縮がなくビーム配列を回折格子121’の溝方向と直交する方向にとった場合、(b)は回折格子121”の溝方向にビーム幅を圧縮し、ビーム配列を溝方向にとった場合を示す図である。なるべく小さな回折格子面積で済ますには、図4(b)回折格子121”におけるように、これらのビームを、一列に並んでいる方向に幅圧縮するのが有効である。ビーム幅圧縮は、偏角プリズムを使って行われる。圧縮前後のビームを平行に保ちたい場合は、たとえば図5に示すように偏角プリズム113、114を2個並べることが一般的に行われている。
又は、図10に示すように、前記ビーム配列方向にのみビーム圧縮できるよう、シリンドリカルレンズを用いたケプラー式(図10(a))、又はガリレオ式(図10(b))アフォーカル光学系を用いることも一般的に行われている。シリンドリカルレンズ115、116、及び117は正のパワーを有しており、シリンドリカルレンズ118は負のパワーを有している。
しかし、図6に示すように、ビーム幅を圧縮すると、スペクトラム像における入力ポートの単波長像スポット(WSSデバイスの平面ミラー状に結像する像)は、逆にビーム幅圧縮方向に伸びてしまう。図6中、上側一列が回折格子に入射または、回折格子から射出するビーム垂直断面形状で、下一列が上のビーム断面に対応する単波長像スポット形状を表す。もしビーム配列方向を波長分散方向にとってしまうと、ビーム幅方向の圧縮に伴って平面ミラー上に形成される単波長像スポットが波長分散方向に伸びてしまう。その結果、波長分解能を劣化させてしまう上、後述するパスバンド特性の劣化も招くので、このビーム配列方向でのビーム幅圧縮は採用できない。よってビーム幅圧縮方向、すなわち入出力ポート配列方向は波長分散方向に直交する方向に限定され、ビーム偏向を受け持つ各平面ミラーの回転軸は波長分散方向に平行な方向にとることになる。
個々の波長が多少変動しても平面ミラーから単波長像スポットがはみ出さず、安定したインサーションロス特性を維持する波長帯域のことをパスバンドといい、パスバンド特性はできる限り幅広くあることが望まれる。つまり、各平面ミラー上にできる単波長像スポット幅は波長分散方向に関して平面ミラー幅に比べてなるべく狭いことが要求される。これと共に、WSSデバイスを小型化するためには、波長分散方向について個々の平面ミラーの間隙がなるべく狭いことが要求されることになる。前述のように、ビーム幅圧縮方向、すなわち入出力ポート配列方向を波長分散方向に直交する方向にとることにより、平面ミラー1上に形成された単波長像スポットは波長分散方向垂直方向には長く伸びているが、波長分散方向幅については変化せず、パスバンド特性には影響を与えないこととなる。
上述のようにビーム幅圧縮方向は波長分散方向に直交する方向にとるべきであり、同時に各平面ミラー間には何の部材も存在しない方がよい。これらの条件を満たすMEMS式平面ミラーアレイでは、個々の平面ミラーの回転機構について工夫が必要となる。MEMS製作歩留まりの観点から最も望ましいと考えられよく用いられているのは、図7に示すように回転軸上2箇所に可動部2を形成し、電磁力や静電力によって平面ミラー1を回転させる力を加え、可動部2がねじれることによって可動部2を軸として平面ミラー1を支持部3に対して回転させる1軸可動部方式である。このような構造のMEMS式平面ミラーアレイは基本的に単純な2次元構造であり、ひとつの母材からリソグラフィーなどの手法で安定的に形成できる。
しかし、すべての平面ミラーの回転軸を1直線状にならべると、図8に示すように可動部構造空間を確保するため平面ミラー間隙を大きくとらざるを得ない。その結果、単波長像スポット幅に対して平面ミラー幅が相対的に狭くならざるを得ず、パスバンド特性が非常に悪化してしまうという問題点がある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、製作容易な1軸可動部方式平面ミラーアレイでありながら、パスバンド悪化を招くことのない平面ミラーアレイ、及びそれを使用したWSSデバイスを提供することを課題とする。
前記課題を達成するための第1の手段は、支持部にそれぞれ1対の可動部により回動可能に接続された複数の平面ミラーからなる第1の平面ミラー群と第2の平面ミラー群を有し、前記第1の平面ミラー群は、前記可動部が、第1の回動軸上に配置されており、前記第2の平面ミラー群は、前記可動部が、第2の回動軸上に配置されており、前記第1の回動軸と第2の回動軸は互いに平行に配置されるとともに、前記第1の平面ミラー群の平面ミラーと第2の平面ミラー群の平面ミラーは互いに交互に隣り合うように配置されていることを特徴とする平面ミラーアレイである。
前記課題を解決するための第2の手段は、前記第1の手段であって、前記第1の回動軸と、前記第2の回動軸の間には、第1のミラー群および第2のミラー群から形成される帯状の反射性領域を有し、前記反射性領域は、反射光を前記平面ミラーの回動によって偏向可能であることを特徴とするものである。
前記課題を解決するための第3の手段は、外部からWDM光を入力するための複数または単数入力ポートと、外部へWDM光を出力する複数又は単数出力ポートとが、後記分光器の波長分散方向と直角、又は直角方向から45°以内方向に1列に並んでいる入出力ポートアレイと、前記入出力ポートアレイを構成する各ポートの共約像を、実像又は虚像として(無限遠方も含む)同一位置に形成する機能を有し、かつ、自分自身の内部空間か、又は光路に沿って前記入出力ポートアレイ側とは反対側の外部空間において、前記各ポートに対応する光束全てを平行光束に変換する機能をも有する入出力光学系と、前記入出力光学系によって作り出された前記平行光束群中に配置され、前記入出力ポートアレイから後記分光器へ向かう光路に沿う順番で記述した場合、前記平行光束群の幅を後記分光器の波長分散方向と直角な方向に圧縮するビーム幅圧縮器からなる入出力ビーム整形器と、前記各ポートの共役像のさらなる共役像を、前記WDM光の構成波長ごとに分離された単波長共役像の列であるスペクトラム像として形成する分光器と、前記スペクトラム像位置に設置され、入射してきた単波長ビームを反射して前記分光器に戻して前記分光器を復路として逆向きに通過させることによって、往路における分波作用とは逆の合波作用をさせた後、さらに前記ビーム幅圧縮器及び前記入出力光学系に戻し、これらの部材を逆向きに通過させた後、任意の前記出力ポートのひとつに入射させるべく、前記入射してきた単波長ビームごとに独立して反射角度を変化させる機能を有する前記第1の手段又は第2の手段である平面ミラーアレイとを有することを特徴とするWSSデバイスである。
前記課題を解決するための第4の手段は、前記第3の手段であって、前記入出力光学系が、前記入出力ポート個々に焦点を合わせた同一設計の複数コリメータが、個々前記コリメータに対応するコリメート光束が平行に配列するように配列されているコリメータアレイと、前記コリメータ光束列を一括して扱い前記入出力ポート像を同一位置に実像として形成するリレー光学系から構成され、前記コリメータアレイと前記リレー光学系との間に前記ビーム幅圧縮器が設置されていることを特徴とするものである。
前記課題を解決するための第5の手段は、前記第3の手段であって、前記入出力光学系が、前記入出力ポート個々に焦点を合わせた同一設計の複数コリメータが、個々前記コリメータに対応するコリメート光束が平行に配列するように配列され、前記入出力ポート共役像を虚像として無限遠方に形成するコリメータアレイであり、前記コリメータアレイと前記分光器との間に前記ビーム幅圧縮器が設置され、前記分光器の波長分散素子が、前記ビーム圧縮器との間の光束の受け渡しに対してインターフェイスの役割を果たすことを特徴とするものである。
前記課題を解決するための第6の手段は、前記第3の手段であって、前記ビーム圧縮器が、偏角プリズム1個または2個から構成されているか、シリンドリカル光学素子から構成されたアフォーカル光学系であることを特徴とするものである。
本発明によれば、製作容易な1軸可動部方式平面ミラーアレイでありながら、パスバンド悪化を招くことのない平面ミラーアレイ、及びそれを使用したWSSデバイスを提供することができる。
以下、本発明の実施の形態の例を、図を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態の1例である平面ミラーアレイの概要を示す図である。この平面ミラーアレイには、平面ミラー1a〜1iが千鳥配列されている。平面ミラー1aは、その中央部の両側に2つの可動部2a(回動部)を有しており、2つの可動部2aが支持部3の櫛歯状部3aに保持されている。平面ミラー1bは、その中央部の両側に2つの可動部2bを有しており、2つの可動部2bが支持部4の櫛歯状部4aに保持されている。図1においては、支持部3と支持部4は分離されているが、一体の部材で形成されていてもよい。又、支持部3と支持部4は板状の部材で構成されており、両者は同一平面上にある。
同様、各平面ミラー1k(k=c〜i)は、その中央部の両側に2つの可動部2k(k=c〜i)(回動部)を有しており、2つの可動部2kが支持部3の櫛歯状部3a、又は支持部4の櫛歯状部4aに保持されている。可動部2a、2c、2e、2g、2iは、第1の回動軸AX1上に位置し、可動部2b、2d、2f、2hは、第2の回動軸AX2上に位置している。第1の回動軸AX1と第2の回動軸AX2とは平行である。これにより、各平面ミラー1a〜1iは、支持部3、4に、可動部2a〜2iを介して千鳥配置されることになる。なお、各々の平面ミラーのこのような全体構成は、図7に示すものと同じであり、MEMSによって簡単に製造することができる。
なお、各平面ミラー1a〜1iは専用の電磁力または静電力などにより、それぞれ可動部2a〜2iを回動中心軸として回動されるが、この回動力を与える駆動機構については、本発明では任意の適当なものを適宜使用できるので図示を省略している。平面ミラー1aに回動力が加わると可動部2aがねじれて、平面ミラー1aは第1の回動軸AX1を中心として回動する。もちろんその間前記支持部3は固定したままである。他の平面ミラー2b〜2iについても同様である。回動力が加わらないときは、平面ミラー1a〜1iは同一平面上にある。
第1と第2の回動軸AX1とAX2に挟まれた部分には、これらの第1と第2の回動軸AX1、AX2に平行な2本の直線に挟まれた帯状領域Aが存在し、各平面ミラー1a〜1iのうち、少なくともこの領域内の部分には、反射体が設けられ、光を反射するようになっている。
このように、各平面ミラー1a〜1iが千鳥配置され、第1と第2の回動軸AX1とAX2との間隔が、可動部2a〜2iが、隣り合う平面ミラー1a〜1iと位置的に干渉しないようになっているので、各平面ミラー1a〜1iの隣同士の間隔を極狭くすることができる。例えば、各平面ミラー1a〜1iの幅を約500μm、それらの間隔を約10μmとすることができる。
この平面ミラーアレイを使用するときは、帯状領域A内に、各平面ミラー1a〜1i毎に、対応する光束を入射させて、各平面ミラー1a〜1iにより反射させる。各平面ミラー1a〜1iの回動角を独立に制御することにより、各平面ミラー1a〜1iによる反射光の反射角度を独立に制御することができる。
なお、本来ならば、各平面ミラー1a〜1iの回動軸は同一直線上にあることが理想であるが、WSSではその回動角度は高々±10°と考えられるので、回動軸が少々ずれていることはさほど問題とはならない。
図2に、このような平面ミラーアレイに光が入射する様子を示す。なお、以下の図においては、本欄に示された前出の図に現れた構成要素と同じ構成要素には、同じ符号を付してその説明を省略することがある。図2においては、全ての平面ミラーを符号1で示し、可動部と支持部の図示を省略している。第1と第2のAX1、AX2と領域Aは、図1に示したものと同じである。光スポット5は、平面ミラー1の配列方向に幅圧縮されて、各平面ミラー1の領域A内に入射して反射される。光スポット5が、平面ミラー1の配列方向に幅圧縮されているので、平面ミラー1の幅は狭くて済む。一般にWSSに使用される平面ミラーアレイは、そのミラーの配列方向に長く、それと直角方向に長くなるが、前述のように平面ミラー1の幅が狭くて済むので、平面ミラーアレイの大きさを小さくすることができる。
図3は、本発明の実施の形態であるWSSデバイスの光学系の概要を示す図である。(a)は側面図、(b)は(a)を紙面の下側から見た図である。図においては、波長分散方向を(a)における紙面の上下方向((b)における紙面に垂直な方向)にとり、入出力ポート配列方向を(a)における紙面に垂直な方向((b)における紙面の上下方向)にとって図示してある。
これらの光学系は、入出力ポートアレイ10、入出力ビーム整形器11、分光器12と、MEMSで製作された平面ミラーアレイ13から構成される。入力ポート101から入射した入力ビームは、入出力ビーム整形器11中のコリメータレンズアレイ111によって平行光束となり、2つの偏角プリズム113、114によってビーム幅を入出力ポートアレイ10の配列方向(後に説明する回折格子121の溝方向に対応する)に圧縮され、レンズ112によって共役像位置Iに一度入力ポート端面の像を形成する。すべての入力ポート端面(出力ポート端面に同じ)の共役像も共役像位置Iに形成される。なお、コリメータレンズアレイ111とレンズ112とで入出力光学系を構成する。その後入力ビームは分光器12に入り、レンズ122によって平行光束とされた後、回折格子121で波長に応じた偏向作用を受ける。図には単一波長のビームだけを図示している。そして、レンズ123の作用により、平面ミラーアレイ13の平面ミラー131上に集光される。平面ミラー131の配列方向は(a)において図の上下方向((b)において紙面に垂直な方向)である。平面ミラーアレイ13に入射したビームはその波長に割り当てられた平面ミラー131で反射される。そのとき平面ミラー131を所定の角度だけ傾けて反射角度を調整することによって、反射後、光学系内を逆進して行くビームを、出力先として選ばれた出力ポート102に結合させる。このように平面ミラー131の傾角を変化させることで結合させる出力ポートを選ぶことが可能となる。
この実施の形態においては、図1に示したような本発明の実施の形態の1例である平面ミラーアレイ13を使用し、かつ、2つの偏角プリズム113、114によって構成されるビーム幅圧縮器によって、ビーム幅を入出力ポートアレイ10の配列方向(回折格子121の溝方向に対応する)に圧縮している。よって、平面ミラーアレイ13に入射する光束は、図2に示すようになり、回折格子121、平面ミラーアレイ13を小型化することが可能となり、それにより、WSSデバイス全体も小型となる。
図9は、本発明の他の実施の形態であるWSSデバイスの光学系の概要を示す図である。(a)は側面図、(b)は(a)を紙面の下側から見た図である。図においては、波長分散方向を(a)における紙面の上下方向((b)における紙面に垂直な方向)にとり、入出力ポート配列方向を(a)における紙面に垂直な方向((b)における紙面の上下方向)にとって図示してある。
これらの光学系は、入出力ポートアレイ10、入出力ビーム整形器11、分光器12と、MEMSで製作された平面ミラーアレイ13から構成される。入力ポート101から入射した入力ビームは、入出力ビーム整形器11中のコリメータレンズアレイ111によって平行光束となり、2つの偏角プリズム113、114によってビーム幅を入出力ポートアレイ10の配列方向(後に説明する回折格子121の溝方向に対応する)に圧縮される。コリメータレンズアレイ111は、単独で入出力光学系を構成しており、プリズム113、114はビーム幅圧縮器を構成している。その後入力ビームは平行光束として分光器12に入り、回折格子121で波長に応じた偏向作用を受ける。図には単一波長のビームだけを図示している。そして、レンズ123の作用により、平面ミラーアレイ13の平面ミラー131上に集光される。平面ミラー131の配列方向は(a)において図の上下方向((b)において紙面に垂直な方向)である。平面ミラーアレイ13に入射したビームはその波長に割り当てられた平面ミラー131で反射される。そのとき平面ミラー131を所定の角度だけ傾けて反射角度を調整することによって、反射後、光学系内を逆進して行くビームを、出力先として選ばれた出力ポート102に結合させる。このように平面ミラー131の傾角を変化させることで結合させる出力ポートを選ぶことが可能となる。
この実施の形態においては、図1に示したような本発明の実施の形態の1例である平面ミラーアレイ13を使用し、かつ、2つの偏角プリズム113、114によってビーム幅を入出力ポートアレイ10の配列方向(回折格子121の溝方向に対応する)に圧縮している。よって、平面ミラーアレイ13に入射する光束は、図9に示すようになり、回折格子121、平面ミラーアレイ13を小型化することが可能となり、それにより、WSSデバイス全体も小型となる。
なお、上記の2例においては、入出力ポートアレイ10の配列方向を分光器12の波長分散方向と直角にしているが、光学系の配置によっては、直角から若干ずらした方が、入出力ポートでの光の入出力効率が高まることもあり得る。
1…平面ミラー、1a〜1i…平面ミラー、2…可動部、2a〜2i…可動部、3…支持部、3a…櫛歯状部、4…支持部、4a…櫛歯状部、5…光スポット、10…入出力ポートアレイ、11…入出力ビーム整形器、12…分光器、13…平面ミラーアレイ、101…入力ポート、102…出力ポート、111…コリメータレンズアレイ、112…レンズ、113…偏角プリズム、114…偏角プリズム、121…回折格子、122…レンズ、123…レンズ、131…平面ミラー
Claims (6)
- 支持部にそれぞれ1対の可動部により回動可能に接続された複数の平面ミラーからなる第1の平面ミラー群と第2の平面ミラー群を有し、前記第1の平面ミラー群は、前記可動部が、第1の回動軸上に配置されており、前記第2の平面ミラー群は、前記可動部が、第2の回動軸上に配置されており、前記第1の回動軸と第2の回動軸は互いに平行に配置されるとともに、前記第1の平面ミラー群の平面ミラーと第2の平面ミラー群の平面ミラーは互いに交互に隣り合うように配置されていることを特徴とする平面ミラーアレイ。
- 前記第1の回動軸と、前記第2の回動軸の間には、第1のミラー群および第2のミラー群から形成される帯状の反射性領域を有し、前記反射性領域は、反射光を前記平面ミラーの回動によって偏向可能であることを特徴とする請求項1に記載の平面ミラーアレイ。
- 外部からWDM光を入力するための複数または単数入力ポートと、外部へWDM光を出力する複数又は単数出力ポートとが、後記分光器の波長分散方向と直角、又は直角方向から45°以内方向に1列に並んでいる入出力ポートアレイと、
前記入出力ポートアレイを構成する各ポートの共約像を、実像又は虚像として(無限遠方も含む)同一位置に形成する機能を有し、かつ、自分自身の内部空間か、又は光路に沿って前記入出力ポートアレイ側とは反対側の外部空間において、前記各ポートに対応する光束全てを平行光束に変換する機能をも有する入出力光学系と、前記入出力光学系によって作り出された前記平行光束群中に配置され、前記入出力ポートアレイから後記分光器へ向かう光路に沿う順番で記述した場合、前記平行光束群の幅を後記分光器の波長分散方向と直角な方向に圧縮するビーム幅圧縮器からなる入出力ビーム整形器と、
前記各ポートの共役像のさらなる共役像を、前記WDM光の構成波長ごとに分離された単波長共役像の列であるスペクトラム像として形成する分光器と、
前記スペクトラム像位置に設置され、入射してきた単波長ビームを反射して前記分光器に戻して前記分光器を復路として逆向きに通過させることによって、往路における分波作用とは逆の合波作用をさせた後、さらに前記ビーム幅圧縮器及び前記入出力光学系に戻し、これらの部材を逆向きに通過させた後、任意の前記出力ポートのひとつに入射させるべく、前記入射してきた単波長ビームごとに独立して反射角度を変化させる機能を有する請求項1又は請求項2に記載の平面ミラーアレイ
とを有することを特徴とするWSSデバイス。 - 前記入出力光学系は、前記入出力ポート個々に焦点を合わせた同一設計の複数コリメータが、個々前記コリメータに対応するコリメート光束が平行に配列するように配列されているコリメータアレイと、前記コリメータ光束列を一括して扱い前記入出力ポート像を同一位置に実像として形成するリレー光学系から構成され、
前記コリメータアレイと前記リレー光学系との間に前記ビーム幅圧縮器が設置されていることを特徴とする請求項3に記載のWSSデバイス。 - 前記入出力光学系は、前記入出力ポート個々に焦点を合わせた同一設計の複数コリメータが、個々前記コリメータに対応するコリメート光束が平行に配列するように配列され、前記入出力ポート共役像を虚像として無限遠方に形成するコリメータアレイであり、
前記コリメータアレイと前記分光器との間に前記ビーム幅圧縮器が設置され、
前記分光器の波長分散素子が、前記ビーム圧縮器との間の光束の受け渡しに対してインターフェイスの役割を果たすことを特徴とする請求項3に記載のWSSデバイス。 - 前記ビーム圧縮器は、偏角プリズム1個または2個から構成されているか、シリンドリカル光学素子から構成されたアフォーカル光学系であることを特徴とする請求項3から請求項5のうちいずれか1項に記載のWSSデバイス。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2011145462A (ja) * | 2010-01-14 | 2011-07-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 波長選択スイッチ |
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2006
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20091201 |