JP2008076320A - 表面検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検査物の円筒状の表面に対応する2次元画像内の濃度値に基づいて欠陥の有無を判別する表面検査装置において、2次元画像上に出現すべき加工部の像203a〜203a、204を、加工部毎に別々の基準画像211、212として保持するとともに、表面の軸線方向に相当する軸線相当方向における加工部の像の位置y1、y2、及び表面の周方向に相当する周相当方向に関して同一の加工部の像が存在すべき個数を基準画像211、212と対応付けて保持する。基準画像、該基準画像に対応付けられた位置及び個数に基づいて、2次元画像上で欠陥判別の対象から除外されるべき領域を特定し、その特定された領域外における画素の濃度値に基づいて欠陥の有無を判別する。
【選択図】図3
Description
5 検出ユニット(検出手段)
60 演算処理部(欠陥判別手段、除外領域特定手段)
65 記憶部(基準画像保持手段)
100 被検査物
100a 被検査物の内周面
101、102 欠陥
103a、103b、103c、104 加工穴(加工部)
200 内周面の2次元画像
200a 画素
201、202 欠陥像
203a、203b、203c、204 加工穴の像(加工部の像)
211、212 基準画像
220 検査対象画像
Claims (5)
- 被検査物の円筒状の表面を平面的に展開した2次元画像を取得し、該2次元画像内の画素の濃度値に基づいて前記表面における欠陥の有無を判別する表面検査装置において、
前記表面に存在する加工部に対応して前記2次元画像上に出現すべき加工部の像を、形状又は大きさの少なくともいずれか一方が異なる加工部毎に別々の基準画像として保持するとともに、前記表面の軸線方向に相当する軸線相当方向における前記加工部の像の位置、及び前記表面の周方向に相当する周相当方向に関して同一の加工部の像が存在すべき個数を前記基準画像と対応付けて保持する基準画像保持手段と、
前記基準画像、並びに該基準画像に対応付けられた位置及び個数に基づいて、前記2次元画像上で欠陥判別の対象から除外されるべき領域を特定し、その特定された領域外における画素の濃度値に基づいて欠陥の有無を判別する欠陥判別手段と、
を備えたことを特徴とする表面検査装置。 - 前記欠陥判別手段は、前記基準画像に対応付けられた位置を参照して該基準画像と比較されるべき前記2次元画像上の範囲を前記軸線相当方向に関して当該2次元画像の一部の範囲に絞り込み、該絞り込まれた範囲内で前記基準画像と前記2次元画像との画素の濃度値を比較し、その比較結果に基づいて、前記基準画像に対応付けられた個数と同数の領域を前記欠陥判別の対象から除外されるべき領域として特定する除外領域特定手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。
- 前記除外領域特定手段は、前記絞り込まれた範囲内で前記2次元画像に対して前記基準画像を前記周相当方向に相対的に位置を順次変更しつつ前記基準画像と前記2次元画像上の前記基準画像と同形同大の検査対象画像との一致度を判別し、判別された一致度が所定の閾値を超える場合に前記検査対象画像の領域を前記欠陥判別の対象から除外されるべき領域として特定することを特徴とする請求項2に記載の表面検査装置。
- 前記一致度が前記基準画像と前記検査対象画像との正規化相関により演算されることを特徴とする請求項3に記載の表面検査装置。
- 前記基準画像は、前記2次元画像から単一の加工部の像を包含する必要最小限の矩形領域を抽出して得られる画像に相当することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の表面検査装置。
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