JP2008073949A

JP2008073949A - Transfer device/method

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Publication number: JP2008073949A
Application number: JP2006255726A
Authority: JP
Inventors: Takato Baba; 丘人馬場; Haruyuki Matsubayashi; 治幸松林; Akihiko Hagiwara; 明彦萩原
Original assignee: Toshiba Machine Co Ltd
Current assignee: Shibaura Machine Co Ltd
Priority date: 2006-09-21
Filing date: 2006-09-21
Publication date: 2008-04-03
Anticipated expiration: 2026-09-21
Also published as: JP5007091B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To ensure correct pattern transfer, in a transfer device which transfers a microtransfer pattern formed on a transfer mold M1, to a molded object W1. SOLUTION: This transfer device 1 which transfers a microtransfer pattern formed on the transfer mold M1 to the molded object W1 comprises a pressing means which presses the molded object W1 using the mold M1, a generation device 9 which generates an electromagntic wave of a specified wavelength for irradiating the molded object W1, and a control means 19 which controls the generation device 9 so as to allow a change in irradiation energy level of the electromagnetic wave of a specified wavelength with which the molded object W1 is irradiated. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、転写装置および転写方法に係り、特に、紫外線等の電磁波を被成形品の被成形層に照射して転写を行うものに関する。 The present invention relates to a transfer apparatus and a transfer method, and more particularly, to a transfer device that performs transfer by irradiating a molded layer of a molded product with electromagnetic waves such as ultraviolet rays.

近年、電子線描画法などで石英基板等に超微細な転写パターンを形成して型（テンプレート、スタンパ）を作製し、被成形品（基板）として被転写基板（被成形品）表面に形成されたレジスト膜に前記型を所定の圧力で押圧して、当該型に形成された転写パターンを転写するナノインプリント技術が研究開発されている（非特許文献１参照）。 In recent years, a mold (template, stamper) is produced by forming an ultra-fine transfer pattern on a quartz substrate or the like by an electron beam drawing method, etc., which is formed on the surface of the substrate to be transferred (molded product) as a product to be molded (substrate). Research and development has been made on a nanoimprint technique in which the mold is pressed against the resist film with a predetermined pressure to transfer a transfer pattern formed on the mold (see Non-Patent Document 1).

また、前記ナノインプリントを実行するための装置としてたとえば特許文献１に記載の転写装置が知られている。この転写装置は、Ｌ字型のフレームの下部水平部にＸステージ、Ｙステージを設けてその上に被成形品の支持部である基板テーブルを搭載し、フレームの垂直部の上部に上下方向の移動機構を介して型支持部（型保持体）を設けている。型保持体は平面部を備え、この平面部で転写用の超微細な転写パターンが形成されている型を保持するようになっている。
特開２００４−３４３００号公報 Precision Engineering Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology Further, as a device for executing the nanoimprint, for example, a transfer device described in Patent Document 1 is known. In this transfer device, an X stage and a Y stage are provided at the lower horizontal portion of an L-shaped frame, and a substrate table as a support portion for a molded product is mounted thereon, and an upper and lower direction is placed above the vertical portion of the frame. A mold support (mold holder) is provided via a moving mechanism. The mold holding body includes a flat portion, and the flat portion holds a mold on which an ultra fine transfer pattern for transfer is formed.
JP 2004-34300 A Precision Engineering Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology

ところで、基材の一方の面に薄い紫外線硬化樹脂を設け、前記転写装置を用い、基材の一方の面を型で押圧し紫外線を照射して前記紫外線硬化樹脂を硬化させ転写を行う場合、基材（紫外線硬化樹脂）に照射する紫外線の強度をほぼ一定にしている。 By the way, when a thin ultraviolet curable resin is provided on one surface of the base material and the transfer device is used, the one surface of the base material is pressed with a mold and irradiated with ultraviolet light to cure the ultraviolet curable resin and perform transfer. The intensity of ultraviolet rays irradiated to the base material (ultraviolet curable resin) is made substantially constant.

したがって、紫外線硬化樹脂が硬化する際に変形が生じ、正確な転写を行うことができない場合があるという問題がある。 Therefore, there is a problem that deformation occurs when the ultraviolet curable resin is cured, and accurate transfer may not be performed.

たとえば、図１に示すような状態から、移動ダイ１１を上昇させて、被成形品Ｗ１を石英ガラスで構成された型Ｍ１に接触させて型Ｍ１で被成形品Ｗ１を押圧し、さらに、一定の強度の紫外線を、型Ｍ１を通過させて被成形品Ｗ１の被成形層（たとえば紫外線硬化樹の層）Ｗ５に照射すると、被成形層Ｗ５の厚さｔが薄くなっているにもかかわらず、被成形層Ｗ５の上側と下側とでは、紫外線の強度が僅かに異なり、紫外線の強度が強い側（上側）から被成形層Ｗ５が硬化をし始める。 For example, from the state shown in FIG. 1, the movable die 11 is raised, the product W1 is brought into contact with the mold M1 made of quartz glass, and the product W1 is pressed by the mold M1, and then the constant. When the ultraviolet ray having the intensity of 5 is passed through the mold M1 and irradiated onto the molding layer (for example, a layer of UV-curing tree) W5 of the molding product W1, the thickness t of the molding layer W5 is reduced. The upper side and the lower side of the layer to be molded W5 have slightly different ultraviolet intensities, and the layer to be molded W5 begins to harden from the side having the higher ultraviolet intensity (upper side).

このように、の上側だけがはじめに硬化すると、この硬化した部分で被成形層Ｗ５の体積が僅かに小さくなり、転写が終了したときに（被成形層Ｗ５の総てが硬化したときに）、被成形品Ｗ１が下側に凸になるように僅かに変形するおそれがある。 As described above, when only the upper side of the mold is initially cured, the volume of the molding layer W5 is slightly reduced at the cured portion, and when the transfer is completed (when all of the molding layer W5 is cured), There is a possibility that the molded product W1 is slightly deformed so as to protrude downward.

本発明は、前記問題点に鑑みてなされたものであり、転写用の型に形成されている微細な転写パターンを被成形品に転写する転写装置および転写方法において、正確な転写を行うことができるものを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and in a transfer apparatus and transfer method for transferring a fine transfer pattern formed on a transfer mold to a molded product, accurate transfer can be performed. The purpose is to provide what can be done.

請求項１に記載の発明は、転写用の型に形成されている微細な転写パターンを被成形品に転写する転写装置において、前記型で前記被成形品を押圧する押圧手段と、前記被成形品に照射するための所定の波長の電磁波を発生する発生装置と、前記被成形品に照射される前記所定の波長の電磁波の照射エネルギー量が変化するように、前記発生装置を制御する制御手段とを有する転写装置である。 The invention according to claim 1 is a transfer device for transferring a fine transfer pattern formed on a transfer mold to a molded product, a pressing means for pressing the molded product with the mold, and the molded product A generator for generating an electromagnetic wave having a predetermined wavelength for irradiating a product, and a control means for controlling the generator so that an irradiation energy amount of the electromagnetic wave having a predetermined wavelength irradiated to the molded product changes. And a transfer device.

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の転写装置において、前記制御手段は、前記押圧手段による押圧力を制御する手段である転写装置である。 A second aspect of the present invention is the transfer apparatus according to the first aspect, wherein the control means is a means for controlling a pressing force by the pressing means.

請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の転写装置において、前記制御手段は、前記押圧手段が押圧を開始する時から所定の時間だけ遡った時刻、または、前記押圧手段が押圧を開始した時、または、前記押圧手段が押圧を開始した時から所定の時間が経過した時刻から、前記所定の波長の電磁波の照射が開始されるように前記発生装置を制御する手段である転写装置である。 According to a third aspect of the present invention, in the transfer device according to the first or second aspect, the control means is a time that is a predetermined time later than the time when the pressing means starts pressing, or the pressing Means for controlling the generator so that the irradiation of the electromagnetic wave of the predetermined wavelength is started when the means starts pressing or when a predetermined time has elapsed from when the pressing means starts pressing. Is a transfer device.

請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の転写装置において、前記被成形品に照射される前記所定の波長の電磁波の照射エネルギー量の変化パターンを入力する入力手段を有し、前記制御手段は、前記入力手段で入力された変化パターンに基づいて前記被成形品に照射される前記所定の波長の電磁波の照射エネルギー量が変化するように、前記発生装置を制御する手段である転写装置である。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the transfer device according to any one of the first to third aspects, wherein a change pattern of an irradiation energy amount of the electromagnetic wave having the predetermined wavelength that is irradiated onto the molded product. Input means for inputting, the control means, so that the irradiation energy amount of the electromagnetic wave of the predetermined wavelength irradiated to the molded article changes based on the change pattern input by the input means, The transfer device is a means for controlling the generator.

請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の転写装置において、前記被成形品に照射する前記所定の波長の電磁波の照射エネルギー量の変化パターンを、複数記憶している記憶手段と、前記記憶手段が記憶している各変化パターンのうちの１つの変化パターンを選択する選択手段とを有し、前記制御手段は、前記選択手段で選択された変化パターンに基づいて、前記被成形品に照射される前記所定の波長の電磁波の照射エネルギー量が変化するように、前記発生装置を制御する手段である転写装置である。 Invention of Claim 5 WHEREIN: In the transfer apparatus of any one of Claims 1-3, the change pattern of the irradiation energy amount of the electromagnetic wave of the said predetermined wavelength irradiated to the said to-be-molded article is A plurality of storage means, and a selection means for selecting one of the change patterns stored in the storage means, and the control means is a change selected by the selection means. The transfer device is a means for controlling the generating device so that the irradiation energy amount of the electromagnetic wave of the predetermined wavelength irradiated on the molded article changes based on a pattern.

請求項６に記載の発明は、請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の転写装置において、前記被成形品への１回の転写で前記照射装置から照射されるエネルギー量を表示する第１の表示手段を有する転写装置である。 The invention according to claim 6 displays the amount of energy irradiated from the irradiation device in one transfer to the molded article in the transfer device according to any one of claims 1 to 5. A transfer device having first display means.

請求項７に記載の発明は、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の転写装置において、前記被成形品に照射する前記所定の波長の電磁波の照射エネルギー量の変化パターンを、グラフを用いて表示する第２の表示手段を有する転写装置である。 Invention of Claim 7 WHEREIN: In the transfer apparatus of any one of Claims 1-6, the change pattern of the irradiation energy amount of the electromagnetic wave of the said predetermined | prescribed wavelength irradiated to the said to-be-molded product is carried out, It is a transfer device having a second display means for displaying using a graph.

請求項８に記載の発明は、転写用の型に形成されている微細な転写パターンを被成形品に転写する転写方法において、前記型で前記被成形品を押圧する押圧工程と、前記被成形品に照射する前記所定の波長の電磁波の照射エネルギー量を変化させつつ照射する照射工程とを有する転写方法である。 According to an eighth aspect of the present invention, there is provided a transfer method for transferring a fine transfer pattern formed on a transfer mold onto a molded product, a pressing step of pressing the molded product with the mold, and the molded product And an irradiation step of irradiating the product while changing the amount of irradiation energy of the electromagnetic wave having the predetermined wavelength.

請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の転写方法において、前記押圧工程は、押圧力をほぼ一定に保ったまま、押圧を行う工程である転写方法である。 A ninth aspect of the present invention is the transfer method according to the eighth aspect, wherein the pressing step is a step of performing pressing while keeping the pressing force substantially constant.

本発明によれば、転写用の型に形成されている微細な転写パターンを被成形品に転写する転写装置および転写方法において、正確な転写を行うことができるという効果を奏する。 Advantageous Effects of Invention According to the present invention, there is an effect that accurate transfer can be performed in a transfer apparatus and a transfer method for transferring a fine transfer pattern formed on a transfer mold to a molded product.

図１は、本発明の実施形態に係る転写装置１の概略構成を示す図であり、図２は、転写装置１の制御系の概略構成を示すブロック図である。 FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of a transfer apparatus 1 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram illustrating a schematic configuration of a control system of the transfer apparatus 1.

転写装置１は、型Ｍ１に形成されている微細な転写パターンを、被成形品Ｗ１に転写するための装置であり、ベース部材３を備えている。なお、被成形品Ｗ１として、ＤＶＤ等の記録媒体や液晶表示装置の導光板等がある。 The transfer device 1 is a device for transferring a fine transfer pattern formed on the mold M1 to the molding target W1, and includes a base member 3. The molded product W1 includes a recording medium such as a DVD, a light guide plate of a liquid crystal display device, and the like.

ベース部材３には、コラム５が一体的に立設されており、コラム５の上部側には固定ダイ７が一体的に設けられている。固定ダイ７の上には、所定の波長の電磁波（たとえば紫外線）を発生する発生装置の例である紫外線ランプ９が設けられている。また、固定ダイ７の下側には、型Ｍ１が設置されるようになっている。型Ｍ１は、紫外線を透過する部材（たとえば、石英ガラス）で構成されている。型Ｍ１の下面に微細な転写パターンが形成されている。 A column 5 is integrally erected on the base member 3, and a fixed die 7 is integrally provided on the upper side of the column 5. On the fixed die 7, an ultraviolet lamp 9, which is an example of a generator that generates electromagnetic waves (for example, ultraviolet rays) having a predetermined wavelength, is provided. A mold M1 is installed below the fixed die 7. The mold M1 is made of a member that transmits ultraviolet rays (for example, quartz glass). A fine transfer pattern is formed on the lower surface of the mold M1.

コラム５の中程には、移動ダイ１１が設けられている。移動ダイ１１は、アクチュエータの例であるサーボモータと動力変換機構の例であるボールねじ１５（押圧手段）とによって、固定ダイ７に対して接近もしくは離反する方向（図１に矢印で示すような上下方向）に移動することができるようになっている。 A moving die 11 is provided in the middle of the column 5. The moving die 11 approaches or moves away from the fixed die 7 by a servo motor that is an example of an actuator and a ball screw 15 (pressing means) that is an example of a power conversion mechanism (as indicated by an arrow in FIG. 1). It is possible to move in the vertical direction.

移動ダイ１１の上部に、被成形品Ｗ１を設置することができるようになっている。被成形品Ｗ１は、ガラス等で形成された平板状の基材Ｗ３の上面に、所定の波長の電磁波が照射されると硬化する被成形層（たとえば、紫外線硬化樹脂）の薄膜Ｗ５が設けられている。 A molded product W 1 can be installed on the top of the moving die 11. The molded product W1 is provided with a thin film W5 of a molded layer (for example, an ultraviolet curable resin) that is cured when an electromagnetic wave having a predetermined wavelength is irradiated on an upper surface of a flat substrate W3 formed of glass or the like. ing.

そして、図１に示すように、移動ダイ１１に被成形品Ｗ１（紫外線硬化樹脂Ｗ５が硬化していない被成形品Ｗ１）が設置された状態で、移動ダイ１１を上昇させて型Ｍ１で被成形品Ｗ１を押圧し、紫外線ランプ９が発生する紫外線を被成形品Ｗ１に照射し、型Ｍ１の微細な転写パターンを被成形品Ｗ１（紫外線硬化樹脂Ｗ５）に転写することができるようになっている。 Then, as shown in FIG. 1, the movable die 11 is raised and the mold M 1 is covered with the movable die 11 in a state where the molded product W 1 (molded product W 1 with the UV curable resin W 5 not cured) is installed. By pressing the molded product W1 and irradiating the molded product W1 with ultraviolet rays generated by the ultraviolet lamp 9, the fine transfer pattern of the mold M1 can be transferred to the molded product W1 (ultraviolet curable resin W5). ing.

なお、紫外線ランプ９が発生する紫外線は、移動ダイ１１に形成されている経路（図示せず）と、型Ｍ１とを通って、被成形品Ｗ１に到達するようになっている。また、移動ダイ１１には、押圧力検出手段の例であるロードセル１７が設けられており、詳しくは後述するが、型Ｍ１による被成形品Ｗ１への押圧力を制御することができるようになっている。 The ultraviolet rays generated by the ultraviolet lamp 9 pass through a path (not shown) formed in the moving die 11 and the mold M1, and reach the product W1. Further, the moving die 11 is provided with a load cell 17 which is an example of a pressing force detecting means. As will be described in detail later, it is possible to control the pressing force applied to the workpiece W1 by the mold M1. ing.

ところで、転写装置１において、被成形品Ｗ１を型Ｍ１よりも大きくし、型Ｍ１（固定ダイ７）に対して被成形品Ｗ１（移動ダイ１１）を水平方向（図１の紙面に垂直な方向、図１の左右方向）で相対的に移動位置決め自在に構成し、１枚の被成形品Ｗ１に型Ｍ１による複数回の広範囲の転写を行うようにしてもよい。また、紫外線ランプ９を移動ダイ１１の下側に設置し、移動ダイ１１に設けた経路と基材Ｗ３とを通過した紫外線が、紫外線硬化樹脂Ｗ５に照射される構成であってもよい。さらに、被成形品Ｗ１を固定しておいて型Ｍ１を移動し押圧をするように構成してもよい。 By the way, in the transfer apparatus 1, the product to be molded W1 is made larger than the mold M1, and the product to be molded W1 (moving die 11) with respect to the mold M1 (fixed die 7) in the horizontal direction (direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1). In the left-right direction in FIG. 1, it may be configured to be relatively movable and positionable, and a wide range of transfer may be performed a plurality of times by the mold M1 on a single workpiece W1. Moreover, the ultraviolet lamp 9 may be installed below the moving die 11, and the ultraviolet light which passed the path | route provided in the moving die 11, and the base material W3 may be irradiated to the ultraviolet curable resin W5. Further, the molded product W1 may be fixed and the mold M1 may be moved and pressed.

また、転写装置１には、制御手段（コントローラ）１９が設けられている。詳しくは後述するが、転写を行う際、コントローラ１９の制御の下、紫外線出力アンプ２１は、時刻の経過にしたがって被成形品Ｗ１に照射される紫外線の照射エネルギー量（紫外線の強度）を変化させることができるようになっている。コントローラ１９は、たとえば、ステップ毎に紫外線の照射エネルギー量を変化させるようになっている。なお、紫外線の照射エネルギー量を初めは少なく（弱く）しておき、その後、多く（強く）して紫外線硬化樹脂Ｗ５を硬化させることが望ましい。 The transfer device 1 is provided with a control means (controller) 19. As will be described in detail later, when transferring, under the control of the controller 19, the ultraviolet output amplifier 21 changes the irradiation energy amount (ultraviolet intensity) of the ultraviolet rays irradiated to the molded product W1 as time elapses. Be able to. For example, the controller 19 changes the irradiation energy amount of ultraviolet rays for each step. It is desirable that the amount of ultraviolet irradiation energy be initially reduced (weak) and then increased (stronger) to cure the ultraviolet curable resin W5.

なお、紫外線の照射エネルギー量（強度）を変化させる方式として、紫外線ランプ９が紫外線を連続して発生している状態において紫外線ランプ９が発生する紫外線の強度（紫外線ランプ９が単位時間あたり発生する照射エネルギー量）を変えることにより、紫外線の強度を変化させる方式と、間欠制御により（紫外線ランプ９をごく短い時間間隔で間欠的にＯＮさせて）、見かけ上で紫外線の強度を変化させる方式とを考えることができる。 As a method of changing the amount of irradiation energy (intensity) of ultraviolet rays, the intensity of ultraviolet rays generated by the ultraviolet lamp 9 in a state where the ultraviolet lamp 9 continuously generates ultraviolet rays (the ultraviolet lamp 9 is generated per unit time). A method of changing the intensity of ultraviolet rays by changing the amount of irradiation energy), and a method of changing the intensity of ultraviolet rays apparently by intermittent control (by turning on the ultraviolet lamp 9 intermittently at a very short time interval). Can think.

また、コントローラ１９には、転写の際における押圧力の値がロードセル１７から入力されるようになっており、コントローラ１９の制御の下、サーボモータ１３が駆動し、移動ダイ１１が移動し、押圧力をフィードバック制御しながら被成形品Ｗ１を押圧するようになっている。 Further, the controller 19 is inputted with the value of the pressing force at the time of transfer from the load cell 17. Under the control of the controller 19, the servo motor 13 is driven, the moving die 11 is moved, and the pressing force is moved. The workpiece W1 is pressed while feedback-controlling the pressure.

さらに、コントローラ１９には、ＨＭＩ（ＨｕｍａｎＭａｃｈｉｎｅＩｎｔｅｒｆａｃｅ）２３と、メモリ２５とが接続されている。ＨＭＩ２３は、たとえば液晶表示装置とこの液晶表示装置に設けられたタッチパネル等で構成されている、メモリ２５は、転写を行う際、被成形品Ｗ１に照射する紫外線（紫外線ランプ９から照射される紫外線）の照射エネルギー量（強度）の変化パターン（被成形品の種類毎のパターン）を、主に記憶しているメモリである。 Furthermore, an HMI (Human Machine Interface) 23 and a memory 25 are connected to the controller 19. The HMI 23 is composed of, for example, a liquid crystal display device and a touch panel provided on the liquid crystal display device. The memory 25 is irradiated with ultraviolet rays (ultraviolet rays emitted from the ultraviolet lamp 9) to the product W1 when performing transfer. ) Is a memory that mainly stores a change pattern of the irradiation energy amount (intensity) (pattern for each type of molded product).

コントローラ１９は、前述したように、被成形品Ｗ１への転写をすべく型Ｍ１による被成形品Ｗ１への押圧を行っているときの押圧力を制御するようになっている。 As described above, the controller 19 controls the pressing force when the mold M1 presses the molded product W1 so as to transfer it to the molded product W1.

たとえば、コントローラ１９は、ロードセル１７で検出した押圧力でサーボモータ１３をフィードバック制御し、押圧を行っているときの押圧力がほぼ一定になるようにしている。なお、前述した紫外線の強度の制御と同様に、押圧力の大きさを変化させるようにしてもよい。このように、押圧力を変化させる際、紫外線の強度に対して正や負の相関関係を持たせて押圧力を変化させる必要はない。すなわち、紫外線強度が強くなるにしたがって押圧力を大きくし、もしくは小さくする必要はなく、紫外線強度の変化に関係なく、被成形品Ｗ１の性質に合わせて押圧力を変化させればよい。 For example, the controller 19 feedback-controls the servo motor 13 with the pressing force detected by the load cell 17 so that the pressing force when pressing is almost constant. Note that the magnitude of the pressing force may be changed in the same manner as the control of the intensity of the ultraviolet rays described above. Thus, when changing the pressing force, it is not necessary to change the pressing force with a positive or negative correlation with the intensity of ultraviolet rays. That is, it is not necessary to increase or decrease the pressing force as the ultraviolet intensity increases, and the pressing force may be changed in accordance with the properties of the product W1 regardless of the change in the ultraviolet intensity.

ここで、前述した紫外線の強度の変化等について例を掲げて詳しく説明する。 Here, the above-described change in the intensity of ultraviolet rays will be described in detail with an example.

転写装置１は、コントローラ１９の制御の下、紫外線の照射を開始する時刻と、紫外線の照射を終える時刻との間の時間を、複数の時間（ステップ）に分割し、これらの各分割された時間毎に、紫外線の強度を変えることができるようになっている。 Under the control of the controller 19, the transfer device 1 divides the time between the time of starting the irradiation of ultraviolet rays and the time of finishing the irradiation of ultraviolet rays into a plurality of times (steps). The intensity of ultraviolet rays can be changed every hour.

たとえば、図５（ＨＭＩ２３に表示される画面の例を示す図）に示すように、紫外線を照射する時間を４つに分割し（等分割でもよいし、等分割でなくてもよい。）、第１の時間（紫外線の照射を開始する時刻ｔ１と時刻ｔ２との間の時間）ＴＤ１では、一定の強度ＤＳ１の紫外線を照射し、第２の時間（時刻ｔ２と時刻ｔ３との間の時間）ＴＤ２では、一定の強度ＤＳ２の紫外線を照射し、第３の時間（時刻ｔ３と時刻ｔ４との間の時間）ＴＤ３では、一定の強度ＤＳ３の紫外線を照射し、第４の時間（時刻ｔ４と紫外線の照射を終える時刻ｔ５との間の時間）ＴＤ４では、一定の強度ＤＳ４の紫外線を照射するようになっている。 For example, as shown in FIG. 5 (a diagram illustrating an example of a screen displayed on the HMI 23), the time for irradiation with ultraviolet rays is divided into four (may be equal division or may not be equal division). In a first time (time between time t1 and time t2 when the irradiation of ultraviolet rays is started) TD1, ultraviolet light having a constant intensity DS1 is irradiated, and a second time (time between time t2 and time t3). ) At TD2, ultraviolet light having a constant intensity DS2 is irradiated, and at a third time (time between time t3 and time t4) TD3, ultraviolet light having a constant intensity DS3 is irradiated for a fourth time (time t4). And the time t5 when the irradiation of the ultraviolet rays ends) At TD4, ultraviolet rays having a constant intensity DS4 are emitted.

なお、すでに理解されるように、前述した時間の分割は、切れ目が無いようになされている。したがって、たとえば、第１の時間ＴＤ１と第２の時間ＴＤ２とは連続している。 As already understood, the time division described above is made so as not to break. Therefore, for example, the first time TD1 and the second time TD2 are continuous.

また、コントローラ１９の制御の下、時刻の経過と共に、紫外線の強度を徐々に変化させるようにしてもよい。すなわち、紫外線の強度を段階的でなく（ステップ毎でなく）、時刻の経過にしたがって徐々に強くし、また、弱くし、また、強弱を繰り返すようにしてもよい。換言すれば、紫外線の強度ＤＳを時刻ｔの関数（ＤＳ＝ｆ（ｔ））にして変化させてもよい。 Further, under the control of the controller 19, the intensity of the ultraviolet light may be gradually changed as time passes. That is, the intensity of ultraviolet rays is not stepwise (not step by step), and gradually increases or decreases with the passage of time, and the intensity may be repeated. In other words, the ultraviolet ray intensity DS may be changed as a function of time t (DS = f (t)).

なお、紫外線の照射を開始する時刻と紫外線の照射を終える時刻との間の時間を多数の時間に分割し、多数に分割した各時間毎に紫外線の強度を設定すれば、紫外線の強度を段階的でなく、時刻の経過にしたがい徐々に強くしまた弱くするように見える。図５に示してある紫外線強度ＤＳ１等は、絶対値（単位；ｍＷ／ｃｍ^２；ミリワット／平方センチメートル）で表してもよいし、紫外線ランプ９の１００％の強度に対する百分率で表してもよい。 If the time between the start of UV irradiation and the end of UV irradiation is divided into a number of times, and the UV intensity is set for each of the divided times, the UV intensity is stepped. It seems that it gradually becomes stronger and weaker as time goes by. The ultraviolet intensity DS1 and the like shown in FIG. 5 may be expressed by absolute values (unit: mW / cm ² ; milliwatt / square centimeter) or may be expressed by a percentage with respect to 100% intensity of the ultraviolet lamp 9.

また、コントローラ１９の制御の下、転写のための押圧を開始する時から所定の時間だけ遡った時刻、または、転写のための押圧を開始した時、または、転写のための押圧を開始した時から所定の時間が経過した時刻から、紫外線の照射が開始されるようになっている。 Also, under the control of the controller 19, a time that is a predetermined time after the start of the pressing for transfer, or when the pressing for the transfer is started, or when the pressing for the transfer is started Irradiation of ultraviolet rays is started from the time when a predetermined time has passed.

転写のための押圧を開始する時から所定の時間だけ遡った時刻から、紫外線の照射を開始する場合には、たとえば、コントローラ１９が次の制御を行うようになっている。すなわち、転写装置１のスタートスイッチ（たとえば、ＨＭＩ２３を構成する転写スタートのスイッチ）が押された時にただちに紫外線の照射を開始し、もしくは、転写装置１のスタートスイッチが押された時から所定の時間が経過したときに紫外線の照射を開始するようになっている。 When the irradiation of ultraviolet rays is started from a time that is a predetermined time after the start of the pressing for transfer, for example, the controller 19 performs the following control. That is, when the start switch of the transfer device 1 (for example, the transfer start switch constituting the HMI 23) is pressed, the irradiation of ultraviolet rays starts immediately, or a predetermined time from when the start switch of the transfer device 1 is pressed. When elapses, ultraviolet irradiation is started.

続いて、前述した紫外線の照射が開始されてから所定の時間経過後に、型Ｍ１による被成形品Ｗ１への押圧が開始されるようになっている。 Subsequently, after a predetermined time has elapsed after the above-described irradiation of ultraviolet rays is started, the pressing of the mold M1 to the product W1 is started.

また、転写のための押圧を開始した時から紫外線の照射を開始する場合には、たとえば、コントローラ１９が次の制御を行うようになっている。すなわち、転写装置１のスタートスイッチが押され、移動ダイ１１が移動（上昇）し始め、型Ｍ１が被成形品Ｗ１に接触し、ロードセル１７で検出した押圧力が所定の値（閾値）を超えたときに、押圧が開始されたものとみなして、紫外線の照射が開始されるようになっている。 Further, when the irradiation of ultraviolet rays is started from the start of the pressing for transfer, for example, the controller 19 performs the following control. That is, the start switch of the transfer device 1 is pressed, the moving die 11 starts to move (rise), the mold M1 comes into contact with the workpiece W1, and the pressing force detected by the load cell 17 exceeds a predetermined value (threshold). It is assumed that pressing has started, and irradiation of ultraviolet rays is started.

また、前述したように、転写のための押圧を開始した時から所定の時間が経過した時刻から紫外線の照射を開始する場合には、たとえば、コントローラ１９が次の制御を行うようになっている。すなわち、転写装置１のスタートスイッチが押され、移動ダイ１１が移動し始め、型Ｍ１が被成形品Ｗ１に接触し、ロードセル１７で検出した押圧力が所定の値を超えたときに、押圧が開始されたものとみなし、このみなした時刻から所定の時間が経過した時刻になったときに、紫外線の照射を開始するようになっている。 Further, as described above, when the irradiation of ultraviolet rays is started from the time when a predetermined time has elapsed from the start of the pressing for transfer, for example, the controller 19 performs the following control. . That is, when the start switch of the transfer device 1 is pressed, the moving die 11 starts to move, the mold M1 comes into contact with the workpiece W1, and the pressing force detected by the load cell 17 exceeds a predetermined value, the pressing is performed. It is considered that the irradiation has started, and the irradiation of ultraviolet rays is started when a predetermined time elapses from the determined time.

ところで、転写装置１では、ＨＭＩ２３を用いて、被成形品Ｗ１に照射される紫外線の強度の変化パターンをオペレータが入力することができるようになっている。なお、前記入力された紫外線の強度の変化パターンは、図示しない記憶手段に一時的に格納されるようになっている。そして、転写装置１のコントローラ１９は、前記入力され一時的に格納されている変化パターンに基づいて、被成形品Ｗ１に照射される紫外線の強度を変化させて、転写を行うようになっている。 By the way, in the transfer device 1, an operator can input a change pattern of the intensity of ultraviolet rays irradiated to the product W 1 using the HMI 23. The input ultraviolet light intensity change pattern is temporarily stored in a storage means (not shown). Then, the controller 19 of the transfer device 1 performs transfer by changing the intensity of the ultraviolet rays irradiated to the product W1 based on the input and temporarily stored change pattern. .

また、転写装置１では、コントローラ１９の制御の下、被成形品Ｗ１への１回の転写で紫外線ランプ９から照射されるエネルギー量（エネルギーの総和量；仕事量）を、ＨＭＩ２３を用いて表示するようになっている。 In the transfer device 1, under the control of the controller 19, the amount of energy (total amount of energy; work amount) irradiated from the ultraviolet lamp 9 by one transfer to the molding product W 1 is displayed using the HMI 23. It is supposed to be.

ここで、紫外線の強度の変化パターンを入力する画面等について図５を用いて説明する。 Here, a screen for inputting a change pattern of the intensity of ultraviolet rays will be described with reference to FIG.

図５中の表示Ａ１は、被成形品Ｗ１に照射する紫外線の強度の変化パターンを、グラフを用いて表示したものである。表示Ａ１の横軸は時刻の経過を示し、縦軸は紫外線の強度を百分率で示している。たとえば、時刻ｔ１と時刻ｔ２との間の時間では、２５％の強度の紫外線が照射されることを示している。なお、百分率の値が１００％である場合における紫外線の強度の値は、表示Ａ１５に示されており、図５では、０．１ｍＷ／ｃｍ^２になっている。この値は、ＨＭＩ２３を用いてオペレータが入力し変更することができるようになっている。また、Ａ１の表示は、次に示す、Ａ３、Ａ５、Ａ７、Ａ１３等で入力等された値に応じて自動的に変化するようになっている。 A display A1 in FIG. 5 is a graph showing a change pattern of the intensity of the ultraviolet rays irradiated to the molded product W1. The horizontal axis of the display A1 indicates the passage of time, and the vertical axis indicates the intensity of ultraviolet rays as a percentage. For example, in the time between the time t1 and the time t2, it indicates that 25% intensity ultraviolet rays are irradiated. In addition, the value of the intensity | strength of an ultraviolet-ray in case the value of a percentage is 100% is shown by display A15, and is 0.1 mW / cm < ² > in FIG. This value can be input and changed by the operator using the HMI 23. In addition, the display of A1 is automatically changed according to the values input at A3, A5, A7, A13, etc.

図５中の表示Ａ３は、表示Ａ１の縦軸の単位を切り換えるためのものであり、オペレータによって「％」の箇所が押された場合には、図５の表示Ａ１のように、表示Ａ１の縦軸が百分率の表示になり、「ｍＷ／ｃｍ^２」の表示が押された場合には、図５の表示Ａ１の縦軸が、紫外線強度を、「ｍＷ／ｃｍ^２」の単位で表示するようになっている。 The display A3 in FIG. 5 is for switching the unit of the vertical axis of the display A1, and when the “%” part is pressed by the operator, the display A1 of the display A1 is displayed like the display A1 in FIG. When the vertical axis is displayed as a percentage and the display of “mW / cm ² ” is pressed, the vertical axis of the display A1 in FIG. 5 displays the ultraviolet intensity in units of “mW / cm ² ”. It is like that.

図５中の表示Ａ５は、各ステップにおける紫外線の強度を表している。たとえば、「ＤＳ１」は、１つ目のステップ（表示Ａ１における時刻ｔ１と時刻ｔ２との間のステップ）における紫外線の強度が２５％であることを示している。なお、この値は、ＨＭＩ２３を構成する１０キー等を用いて、オペレータが入力しまた変更することができるようになっている。また、表示Ａ１５によって実際の紫外線強度が選択された場合には、Ａ５の表示は、「ｍＷ／ｃｍ^２」の単位になる。 A display A5 in FIG. 5 represents the intensity of ultraviolet rays at each step. For example, “DS1” indicates that the intensity of ultraviolet rays in the first step (the step between time t1 and time t2 in display A1) is 25%. This value can be input and changed by the operator using the 10 keys constituting the HMI 23 or the like. Further, when the actual ultraviolet intensity is selected by the display A15, the display of A5 is a unit of “mW / cm ² ”.

図５中の表示Ａ７は、各ステップの時間を表している。たとえば、「ＴＤ１」は、１つ目のステップの時間が１５秒であることを示している。なお、この値も、ＨＭＩ２３を構成する１０キー等を用いて、オペレータが入力しまた変更することができるようになっている。 A display A7 in FIG. 5 represents the time of each step. For example, “TD1” indicates that the time of the first step is 15 seconds. This value can also be input and changed by the operator using the 10 keys constituting the HMI 23 or the like.

図５中の表示Ａ９は、転写を行う場合におけて紫外線の照射が開始されるタイミングを示している。この表示Ａ９が図５で示すように「＋５」になっているときには、転写のための押圧が開始された時刻（ロードセル１７の検出値が所定の値を超えた時）から５秒経過後に、紫外線の照射が開始されるようになっている。表示Ａ９がたとえば「−３」になっているときには、転写のための押圧が開始される時刻の約３秒前から紫外線の照射が開始されるようになっている。なお、この値も、ＨＭＩ２３を構成する１０キー等を用いて、オペレータが入力しまた変更することができるようになっている。 A display A9 in FIG. 5 indicates a timing at which irradiation of ultraviolet rays is started in the case of performing transfer. When the display A9 is “+5” as shown in FIG. 5, after 5 seconds from the time when the pressing for transfer is started (when the detection value of the load cell 17 exceeds a predetermined value), Irradiation of ultraviolet rays is started. For example, when the display A9 is “−3”, the irradiation of ultraviolet rays is started about 3 seconds before the time when the pressing for transfer is started. This value can also be input and changed by the operator using the 10 keys constituting the HMI 23 or the like.

図５中の表示Ａ１１は、転写を行う場合におけて紫外線の照射が開始されるタイミングをＡ９の表示よりも遅延させる場合に使用される。図５では表示が「０．１」になっており、表示Ａ９が「＋５」になっているので、転写のための押圧が開始された時刻から５．１秒経過後に、紫外線の照射が開始されるようになっている。なお、この値も、ＨＭＩ２３を構成する１０キー等を用いて、オペレータが入力しまた変更することができるようになっている。 The display A11 in FIG. 5 is used when the timing at which the irradiation of ultraviolet rays is started is delayed with respect to the display of A9 when transferring. In FIG. 5, since the display is “0.1” and the display A9 is “+5”, the irradiation of ultraviolet rays starts after 5.1 seconds from the time when the pressing for transfer is started. It has come to be. This value can also be input and changed by the operator using the 10 keys constituting the HMI 23 or the like.

図５中の表示Ａ１３は、表示Ａ１や表示Ａ５、Ａ７のステップ数を示している。図５では、「４」になっているので、ステップ数は４つになっている。なお、この値も、ＨＭＩ２３を構成する１０キー等を用いて、オペレータが入力しまた変更することができるようになっている。 A display A13 in FIG. 5 indicates the number of steps of the display A1, the displays A5, and A7. In FIG. 5, since it is “4”, the number of steps is four. This value can also be input and changed by the operator using the 10 keys constituting the HMI 23 or the like.

図５中の表示Ａ１３は、被成形品Ｗ１への１回の転写で紫外線ランプ９から照射されるエネルギー量（単位；ｍＪ／ｃｍ^２；ミリジュール／平方センチメートル）を示している。表示Ａ１３に示されている「ＳＴ」は、ＳＴ＝ＤＳ１×ＴＤ１＋ＤＳ２×ＴＤ２＋ＤＳ３×ＴＤ３＋ＤＳ４×ＴＤ４で求められる。なお、表示Ａ１３に示されている「ＳＴ」は、オペレータによって、ＤＳ１、ＴＤ１等の値が入力されまたは変更される毎に、計算されて表示されるようになっている。 A display A13 in FIG. 5 indicates the amount of energy (unit: mJ / cm ² ; millijoule / square centimeter) irradiated from the ultraviolet lamp 9 by one transfer to the molding target W1. “ST” shown in the display A13 is obtained by ST = DS1 × TD1 + DS2 × TD2 + DS3 × TD3 + DS4 × TD4. Note that “ST” shown in the display A13 is calculated and displayed each time a value such as DS1 or TD1 is input or changed by the operator.

ところで、図５では、表示Ａ７の各値が、ＴＤ１が１５秒、ＴＤ２が２０秒というように異なっていても、表示Ａ１の横軸の長さは同じになっている。すなわち、たとえば、時刻ｔ１と時刻ｔ２との間の長さと、時刻ｔ２と時刻ｔ３との間の長さとは互いがほぼ等しくなっている。このような表示に代えて、表示Ａ１の横軸を、表示Ａ７の各値に応じて変えてもよい。たとえば、表示Ａ７の各値の割合に応じて変えてもよい。また、転写をする際の押圧力を、図５に示す紫外線強度の場合と同様に表示し、入力し変更ことができるようにしてもよい。 By the way, in FIG. 5, even if each value of the display A7 is different such that TD1 is 15 seconds and TD2 is 20 seconds, the length of the horizontal axis of the display A1 is the same. That is, for example, the length between time t1 and time t2 and the length between time t2 and time t3 are substantially equal to each other. Instead of such a display, the horizontal axis of the display A1 may be changed according to each value of the display A7. For example, you may change according to the ratio of each value of display A7. Further, the pressing force at the time of transfer may be displayed in the same manner as in the case of the ultraviolet intensity shown in FIG.

さらに、転写装置１では、メモリ（記憶手段）２５に記憶されている複数の各変化パターン（転写の際における紫外線強度の変化のパターン）のうちの１つの変化パターンを、ＨＭＩ２３を用いてオペレータが選択し、この選択された変化パターンに基づいて、コントローラ１９の制御の下、被成形品Ｗ１に照射される紫外線の強度を変化させるようになっている。 Further, in the transfer apparatus 1, an operator uses one of the plurality of change patterns (patterns of changes in ultraviolet intensity during transfer) stored in the memory (storage means) 25 using the HMI 23. Based on the selected change pattern, under the control of the controller 19, the intensity of the ultraviolet rays applied to the molded product W1 is changed.

なお、メモリ２５が、紫外線の強度の各変化パターンに対応した紫外線照射開始時刻（紫外線照射開始のタイミング）を記憶しいてもよいし、紫外線の強度の各変化パターンに対応した押圧力の変化のパターンを記憶していてもよい。 The memory 25 may not store the ultraviolet irradiation start time (timing of ultraviolet irradiation start) corresponding to each change pattern of the ultraviolet intensity, or the change of the pressing force corresponding to each change pattern of the ultraviolet intensity. A pattern may be stored.

また、ＨＭＩ２３を用いてオペレータにより入力された変化パターンを、メモリ２５に記憶するようにしてもよい。さらには、メモリ２５記憶されている各変化パターンの中から、ＨＭＩ２３を用いてオペレータが１つの変化パターンを選択し、この選択した変化パターンを、ＨＭＩ２３を用いてオペレータが修正し、この修正した変化パターンを用いて転写を行うようにしてもよいし、前記修正した変化パターンを新たな変化パターンとしてメモリ２５に記憶してもよい。 Further, a change pattern input by an operator using the HMI 23 may be stored in the memory 25. Furthermore, the operator selects one change pattern from the change patterns stored in the memory 25 using the HMI 23, the operator corrects the selected change pattern using the HMI 23, and the corrected change. Transfer may be performed using a pattern, or the modified change pattern may be stored in the memory 25 as a new change pattern.

ここで、メモリ２５に記憶されている紫外線の変化パターンについて図６を用いて説明する。なお、図６に示す表は、オペレータの操作により、ＨＭＩ２３に表示されるようになっている。 Here, the change pattern of the ultraviolet rays stored in the memory 25 will be described with reference to FIG. The table shown in FIG. 6 is displayed on the HMI 23 by the operation of the operator.

図６の「Ｎｏ．」は変化パターンの通し番号であり、「品名」は、変化パターンを用いて転写される被成形品の名称を示し、仕事量は、紫外線のエネルギーの量を示し、ステップ数は、紫外線の変化のステップ数を示している。 “No.” in FIG. 6 is a serial number of the change pattern, “product name” indicates the name of the molded product transferred using the change pattern, the work amount indicates the amount of ultraviolet energy, and the number of steps. Indicates the number of steps of the change of ultraviolet rays.

たとえばＮｏ．１では、被成形品Ｗ１の品名が、「ａａａ」であり、この「ａａａ」１枚の転写で照射される紫外線のエネルギーの総和は「ＳＴ１」であり、ステップ数は、図５で示す場合と同様に「４」である。 For example, no. 1, the product name of the molded product W1 is “aaa”, the total energy of ultraviolet rays irradiated by the transfer of this “aaa” is “ST1”, and the number of steps is shown in FIG. Similarly to “4”.

オペレータは、「Ｎｏ．」の下にある数字の箇所を押すことによって、メモリ２５に記憶されている複数の変化パターンから１つのパターンを選択することができるようになっている。 The operator can select one pattern from a plurality of change patterns stored in the memory 25 by pressing a numeric position below “No.”.

次に、転写装置１の動作について説明する。 Next, the operation of the transfer device 1 will be described.

図３、図４は、転写装置１の動作を示すフローチャートである。 3 and 4 are flowcharts showing the operation of the transfer apparatus 1.

転写装置１は、図示しないＲＯＭ等のメモリに格納されている動作プログラムに基づいて、コントローラ１９の制御の下、ＨＭＩ２３に、メモリ２５に格納してある照射パターン（被成形品Ｗ１への転写を行う際の紫外線の強度の変化パターン）を利用するか否かの表示をする（Ｓ１）。 Based on an operation program stored in a memory such as a ROM (not shown), the transfer device 1 controls the irradiation pattern (transfer to the molded product W1) stored in the memory 25 in the HMI 23 under the control of the controller 19. It is displayed whether or not to use the ultraviolet intensity change pattern when performing (S1).

メモリ２５に格納してある照射パターンを利用しない旨が、ＨＭＩ２３を介してオペレータにより選択された場合には、ＨＭＩ２３に、照射パターンの設定画面を表示し（Ｓ３）、この表示後、オペレータによって図５に示すようなパターンが入力され、パターン設定が終了した場合には（Ｓ５）、ＨＭＩ２３に、転写を行うか否かの表示をする（Ｓ７）。なお、ステップＳ５におけるパターン設定が終了の判断は、たとえば、図５に示す、Ａ１３、Ａ５、Ａ７の入力や変更が終了したことを条件にしてもよいし、ＨＭＩ２３に、別途、設定が終了したか否かのボタン等を表示し、オペレータが前記ボタンを押したか否かで判断してもよい。 When it is selected by the operator via the HMI 23 that the irradiation pattern stored in the memory 25 is not used, an irradiation pattern setting screen is displayed on the HMI 23 (S3). When the pattern shown in FIG. 5 is input and the pattern setting is completed (S5), the HMI 23 is displayed as to whether or not to perform the transfer (S7). The determination of the end of the pattern setting in step S5 may be made on the condition that the input or change of A13, A5, A7 shown in FIG. 5 is completed, or the setting is separately completed in the HMI 23. Whether or not a button is displayed may be determined based on whether or not the operator has pressed the button.

ステップＳ７で転写を行わないことが選択された場合には、ステップＳ１５に進み、ステップＳ７で転写を行うことが選択された場合には、前記設定された紫外線の照射パターンで被成形品Ｗ１への転写を行う（Ｓ９）。 If it is selected not to perform the transfer in step S7, the process proceeds to step S15. If it is selected to perform the transfer in step S7, the molded product W1 is applied with the set ultraviolet irradiation pattern. Is transferred (S9).

続いて、ステップＳ９で転写を実行した後に、この実行した照射パターンに変更（修正）があるか否かの表示をＨＭＩ２３で行い、ＨＭＩ２３を介してオペレータから修正が必要な旨が入力された場合には（Ｓ１１）、ステップＳ１３で、照射パターンの変更を行う。なお、この変更もＨＭＩ２３を用いてオペレータにより入力される。 Subsequently, after the transfer is executed in step S9, whether or not the executed irradiation pattern is changed (corrected) is displayed on the HMI 23, and the operator inputs that the correction is required via the HMI 23. (S11) In step S13, the irradiation pattern is changed. This change is also input by the operator using the HMI 23.

ステップＳ１１において照射パターンの変更が無い場合、また、ステップＳ１３で、照射パターンの変更がなされた場合、変更（修正）された照射パターンをメモリ２５に記憶するか否かを判断する（Ｓ１５）。この判断も、ＨＭＩ２３を介してオペレータによりなされる。 If there is no change in the irradiation pattern in step S11, or if the irradiation pattern is changed in step S13, it is determined whether or not to store the changed (corrected) irradiation pattern in the memory 25 (S15). This determination is also made by the operator via the HMI 23.

前記照射パターン（ステップＳ１１、ステップＳ１３の照射パターン）をメモリ２５に記憶する旨が選択された場合には、前記照射パターンをメモリ２５に記憶して（Ｓ１７）動作を終了し、前記照射パターン（ステップＳ１１、ステップＳ１３の照射パターン）をメモリ２５に記憶する旨が選択されない場合には、そのまま動作を終了する。 When it is selected to store the irradiation pattern (irradiation pattern in steps S11 and S13) in the memory 25, the irradiation pattern is stored in the memory 25 (S17), and the operation ends, and the irradiation pattern ( If it is not selected to store the irradiation patterns in step S11 and step S13 in the memory 25, the operation is ended as it is.

ステップＳ１において、メモリ２５に格納してある照射パターンを利用するか旨の選択がされた場合には、図６に示すような表を、ＨＭＩ２３に表示する（Ｓ１９）。 If it is selected in step S1 that the irradiation pattern stored in the memory 25 is to be used, a table as shown in FIG. 6 is displayed on the HMI 23 (S19).

続いて、ＨＭＩ２３を介してオペレータにより、照射パターンが選択された場合（図６のＮｏ．の下の数字のいずれかが押された場合）には（Ｓ２１）、図５に示すような照射パターン（押された数字に対応する照射パターン）をＨＭＩ２３に表示する（Ｓ２３）。 Subsequently, when an irradiation pattern is selected by the operator via the HMI 23 (when any of the numbers under No. in FIG. 6 is pressed) (S21), the irradiation pattern as shown in FIG. (Irradiation pattern corresponding to the pressed number) is displayed on the HMI 23 (S23).

続いて、ステップＳ２３で表示された照射パターンに修正があるか否かを判断する（Ｓ２５）。この判断もＨＭＩ２３を介してオペレータにより行われる。ステップＳ２５で修正がない場合には、ステップＳ７に移行し、ステップＳ２５で修正があるとされた場合には、ＨＭＩ２３を介してオペレータが照射パターンの修正を行い（Ｓ２７）、その後、ステップＳ７に移行する。 Subsequently, it is determined whether or not the irradiation pattern displayed in step S23 is corrected (S25). This determination is also made by the operator via the HMI 23. If there is no correction in step S25, the process proceeds to step S7. If it is determined that there is a correction in step S25, the operator corrects the irradiation pattern via the HMI 23 (S27), and then proceeds to step S7. Transition.

転写装置１において、紫外線の強度を初め弱くその後強くして転写を行えば、紫外線ランプ９に近い部位（被成形層Ｗ５の上側の部位；基材Ｗ３から離れた側の部位）が先に硬化してしまう事態を回避することができ、転写しているときに、被成形層Ｗ５がこの厚さ方向でほぼ同時に硬化することになり、転写後における被成形品Ｗ１の変形を防止することができ、正確な転写を行うことができる。 In the transfer device 1, when the transfer is performed with the intensity of the ultraviolet light initially weakened and then increased, the part close to the ultraviolet lamp 9 (the part on the upper side of the layer to be molded W5; the part on the side away from the substrate W3) is first cured. Can be avoided, and during the transfer, the molding layer W5 is cured almost simultaneously in the thickness direction, and deformation of the molding product W1 after the transfer can be prevented. And accurate transfer can be performed.

なお、転写装置１によれば、紫外線の強度を初め弱くその後強くするパターンだけでなく、その他のパターンで紫外線強度が変化するように、適宜紫外線の強度を変化させることができるので、被成形品Ｗ１の性質に合致した紫外線の照射を行うことができ、多様な種類の微細転写において正確な転写を行うことができる。 In addition, according to the transfer apparatus 1, since the intensity of ultraviolet rays can be appropriately changed so that the intensity of ultraviolet rays changes not only in a pattern in which the intensity of ultraviolet rays is initially weakened and then increased, but also in other patterns. Irradiation with ultraviolet rays matching the properties of W1 can be performed, and accurate transfer can be performed in various types of fine transfer.

また、転写装置１によれば、押圧するときの押圧力をたとえば一定にする等、押圧力をロードセル１７を用いて適宜制御することができるので、型Ｍ１の被成形品Ｗ１に対する相対的な位置を検出して押圧をする場合に比べて、より正確な押圧力で転写のための押圧をすることができ、前述した紫外線強度を変化させることと相俟って、一層的確な転写を行うことができる。 Further, according to the transfer device 1, since the pressing force can be appropriately controlled using the load cell 17, for example, the pressing force when pressing is constant, the relative position of the mold M1 with respect to the workpiece W1. Compared with the case of detecting and pressing, it is possible to press for transfer with a more accurate pressing force, and in combination with changing the ultraviolet intensity described above, more accurate transfer is performed. Can do.

また、転写装置１によれば、紫外線の照射を開始するタイミングを適宜変えることできるので、さらに正確な転写を行うことができる。 Moreover, according to the transfer apparatus 1, since the timing which starts the irradiation of an ultraviolet-ray can be changed suitably, a more exact transfer can be performed.

たとえば、硬化前における粘度が著しく低い紫外線硬化樹脂の場合には、押圧前に紫外線を照射することにより、紫外線硬化樹脂の粘度を若干高めておいてから照射を行うことができ、粘度が著しく低い紫外線硬化樹脂が押圧によって押圧部位から流れ出てしまう等の不具合を回避することができる。 For example, in the case of an ultraviolet curable resin having a significantly low viscosity before curing, irradiation can be performed after slightly increasing the viscosity of the ultraviolet curable resin by irradiating ultraviolet rays before pressing, and the viscosity is extremely low. It is possible to avoid problems such as the ultraviolet curable resin flowing out of the pressed part by pressing.

また、たとえば、硬化前における粘度がある程度高い紫外線硬化樹脂の場合には、押圧を開始してから所定の時間が経過したときに紫外線の照射を開始することにより、型の微細な転写パターンに紫外線硬化樹脂が十分になじんでから紫外線硬化樹脂の硬化が始まり、正確な転写を行うことができる。 In addition, for example, in the case of an ultraviolet curable resin having a relatively high viscosity before curing, the ultraviolet ray irradiation is started when a predetermined time has passed after the pressing is started, so that an ultraviolet ray is applied to the fine transfer pattern of the mold. Curing of the ultraviolet curable resin begins after the curable resin is sufficiently familiar, and accurate transfer can be performed.

さらに、転写装置１によれば、メモリ２５を備えているので、オペレータは、メモリ２５に記憶されている各変化パターンの中から必要な変化パターンを選択すればよく、転写装置１の使用が容易になっている。 Furthermore, since the transfer device 1 includes the memory 25, the operator only has to select a necessary change pattern from among the change patterns stored in the memory 25, and the transfer device 1 can be used easily. It has become.

また、転写装置１によれば、被成形品Ｗ１への１回の転写で照射される紫外線のエネルギー量を表示するようになっているので、被成形品Ｗ１への１回の転写で必要な紫外線の量をオペレータが確認するこができ、過不足のない状態で被成形品Ｗ１に紫外線を照射することができ、転写の失敗を回避することができる。 Further, according to the transfer device 1, the amount of energy of ultraviolet rays irradiated by one transfer to the molding target W1 is displayed, so that it is necessary for one transfer to the molding target W1. The operator can confirm the amount of ultraviolet rays, and the workpiece W1 can be irradiated with ultraviolet rays in a state where there is no excess or deficiency, and transfer failure can be avoided.

また、転写装置１によれば、紫外線の強度の変化パターンを、図５の表示Ａ１に示すようなグラフを用いて表示するようになっているので、紫外線の強度の変化パターンをオペレータが視覚的に理解することができ、転写の失敗を一層回避することができる。 Further, according to the transfer device 1, since the change pattern of the intensity of ultraviolet rays is displayed using a graph as shown in the display A1 of FIG. 5, the operator visually recognizes the change pattern of the intensity of ultraviolet rays. It is possible to understand this, and it is possible to further avoid transcription failure.

［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態に係る転写装置は、紫外線エネルギーの総和量をまず決めてから、紫外線の強度を変更するようになっている点が、第１の実施形態に係る転写装置１と異なり、その他の点は、第１の実施形態に係る転写装置１とほぼ同様に構成されほぼ同様の効果を奏する。 [Second Embodiment]
The transfer device according to the second embodiment of the present invention is different from the transfer device 1 according to the first embodiment in that the ultraviolet light intensity is changed after first determining the total amount of ultraviolet energy. The other differences are substantially the same as those of the transfer apparatus 1 according to the first embodiment, and have substantially the same effects.

すなわち、第２の実施形態に係る転写装置は、被成形品Ｗ１への１回の転写で紫外線ランプ９から照射されるエネルギー量（エネルギーの総和量）を入力する入力手段（たとえばＨＭＩ２３）と、前記入力手段で入力されたエネルギー量を分配することによって、被成形品Ｗ１に照射する紫外線の強度の変化パターンを設定する設定手段（たとえばＨＭＩ２３やコントローラ１９）とを有する。 That is, the transfer device according to the second embodiment includes an input unit (for example, HMI 23) for inputting the amount of energy (total amount of energy) irradiated from the ultraviolet lamp 9 in one transfer to the molding product W1. It has setting means (for example, the HMI 23 or the controller 19) for setting the change pattern of the intensity of the ultraviolet rays irradiated to the molded product W1 by distributing the amount of energy input by the input means.

前記設定手段について例を掲げて説明する。 The setting means will be described with examples.

たとえば、前記入力手段でエネルギー量（被成形品Ｗ１への１回の転写で紫外線ランプ９から照射されるエネルギー量）ＳＴ１が入力されているものとする。また、図５に示すように、前記入力手段を用いて、オペレータにより、４つのステップＴＤ１、ＴＤ２、ＴＤ３、ＴＤ４が設定されているものとする。前記各ステップの時間は、互いが等しくてもよいし、互いが異なっていてもよい。４つのステップ毎に、前記入力手段を用いて、オペレータが紫外線の強度を設定する。この設定により、１つ目のステップＴＤ１では、時間として１５秒が入力され紫外線の強度として２５％が入力され、２つ目のステップＴＤ２では、時間として２０秒が入力され紫外線の強度として４０％が入力され、３つ目のステップＴＤ３では、時間として２５秒が入力され紫外線の強度として７０％が入力され、４つ目のステップＴＤ４では、時間として１８秒が入力され紫外線の強度として２０％が入力されたものとする。なお、１００％の紫外線強度ＳＤｍａｘ（図５の校正「０．１」）は、予め入力されているものとする。 For example, it is assumed that the energy amount (energy amount irradiated from the ultraviolet lamp 9 by one transfer to the molding product W1) ST1 is input by the input means. Further, as shown in FIG. 5, it is assumed that four steps TD1, TD2, TD3, and TD4 are set by the operator using the input means. The time of each step may be equal to each other or different from each other. At every four steps, the operator sets the intensity of ultraviolet rays using the input means. With this setting, in the first step TD1, 15 seconds is input as the time and 25% is input as the ultraviolet intensity, and in the second step TD2, 20 seconds is input as the time and the ultraviolet intensity is 40%. In the third step TD3, 25 seconds is input as the time, and 70% is input as the intensity of the ultraviolet light. In the fourth step TD4, 18 seconds is input as the time, and the intensity of the ultraviolet light is 20%. Is entered. It is assumed that 100% ultraviolet intensity SDmax (calibration “0.1” in FIG. 5) is input in advance.

ここで、前記設定手段は、４つのステップにおけるエネルギー量の総和ＳＴ２（ＳＤｍａｘ×０．２５×ＴＤ１＋ＳＤｍａｘ×０．４×ＴＤ２＋ＳＤｍａｘ×０．７×ＴＤ３＋ＳＤｍａｘ×０．２×ＴＤ４）を求める。 Here, the setting means obtains a sum ST2 of energy amounts in four steps (SDmax × 0.25 × TD1 + SDmax × 0.4 × TD2 + SDmax × 0.7 × TD3 + SDmax × 0.2 × TD4).

そして、エネルギーの総和ＳＴ２とエネルギー量ＳＴ１とを比較し、エネルギーの総和ＳＴ２とエネルギー量ＳＴ１とが、互いに異なる場合には、エネルギーの総和ＳＴ２を修正する。 Then, the total energy ST2 and the energy amount ST1 are compared, and if the total energy ST2 and the energy amount ST1 are different from each other, the total energy ST2 is corrected.

この修正について説明する。 This correction will be described.

エネルギーの総和ＳＴ２＞エネルギー量ＳＴ１の場合には、前記各ステップにおける紫外線強度の％の値や各ステップの時間を相似形的に減少させて、エネルギーの総和ＳＴ２＝エネルギー量ＳＴ１になるようにする。すなわち、たとえば、エネルギーの総和ＳＴ２が、エネルギー量ＳＴ１の２倍の値である場合には、各ステップにおける紫外線強度の％を半分にするような修正をする。つまり、ステップＴＤ１における％の値を１２．５％にし、ステップＴＤ２における％の値を２０％にし、ステップＴＤ３における％の値を３５％にし、ステップＴＤ４における％の値を１０％にするような修正を行う。または、各ステップにおける時間を半分にするような修正をする。すなわち、たとえば、ステップＴＤ１の時間を７．５秒にし、ステップＴＤ２の時間を１０秒にし、ステップＴＤ３の時間を１２．５秒にし、ステップＴＤ３の時間を９秒にするような修正を行う。または、ステップＴＤ１における％の値を１７．７（２５÷２の平方根）％にすると共に時間を１０．６（１５÷２の平方根）秒にするような修正を、各ステップＴＤ２、ＴＤ３、ＴＤ４で同様に行う修正をする。 When the total energy ST2> the energy amount ST1, the percentage value of the ultraviolet intensity in each step and the time of each step are reduced in a similar manner so that the total energy ST2 = the energy amount ST1. . That is, for example, when the total energy ST2 is twice the energy amount ST1, the correction is made so that the% of the ultraviolet intensity in each step is halved. That is, the% value at Step TD1 is set to 12.5%, the% value at Step TD2 is set to 20%, the% value at Step TD3 is set to 35%, and the% value at Step TD4 is set to 10%. Make corrections. Or, the correction is made so that the time in each step is halved. That is, for example, the correction is performed so that the time of step TD1 is 7.5 seconds, the time of step TD2 is 10 seconds, the time of step TD3 is 12.5 seconds, and the time of step TD3 is 9 seconds. Alternatively, a correction is made so that the value of% in step TD1 is 17.7 (25 ÷ 2 square root)% and the time is 10.6 (15 ÷ 2 square root) seconds, for each step TD2, TD3, TD4. Make the same correction in.

一方、エネルギーの総和ＳＴ２＜エネルギー量ＳＴ１の場合には、前記各ステップのおける％の値や各ステップの時間を相似形的に増加させて、エネルギーの総和ＳＴ２＝エネルギー量ＳＴ１になるようにする。なお、紫外線強度の％の値が１００％を超えてしまった場合には、アラームを出してオペレータに修正を促し、または、紫外線強度の％の値が１００％を超えたステップにおいて紫外線の強度を１００％にしたまま、時間を延ばす修正を自動的に行うようにすればよい。 On the other hand, in the case of the total energy ST2 <energy amount ST1, the% value in each step and the time of each step are increased in a similar manner so that the total energy ST2 = energy amount ST1. . If the value of% of UV intensity exceeds 100%, an alarm is issued to prompt the operator to correct, or the UV intensity is increased at the step where the value of% of UV intensity exceeds 100%. What is necessary is just to perform the correction which extends time automatically, leaving it at 100%.

本発明の実施形態に係る転写装置の概略構成を示す図である。1 is a diagram illustrating a schematic configuration of a transfer device according to an embodiment of the present invention. 転写装置の制御系の概略構成を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram illustrating a schematic configuration of a control system of a transfer apparatus. 転写装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a transfer apparatus. 転写装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a transfer apparatus. ＨＭＩに表示される画面の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the screen displayed on HMI. メモリに記憶されている紫外線の変化パターンを示す図である。It is a figure which shows the change pattern of the ultraviolet-ray memorize | stored in memory.

Explanation of symbols

１転写装置
９紫外線ランプ
１７ロードセル
１９コントローラ
２３ＨＭＩ
２５メモリ
Ｍ１型
Ｗ１被成形品
Ｗ３基材
Ｗ５被成形層 1 Transfer Device 9 UV Lamp 17 Load Cell 19 Controller 23 HMI
25 Memory M1 Type W1 Molded product W3 Base material W5 Molded layer

Claims

In a transfer device for transferring a fine transfer pattern formed on a transfer mold to a molded product,
Pressing means for pressing the workpiece with the mold;
A generator for generating an electromagnetic wave having a predetermined wavelength for irradiating the molded article;
Control means for controlling the generator so that the amount of irradiation energy of the electromagnetic wave of the predetermined wavelength irradiated on the molded article changes;
A transfer device comprising:

The transfer device according to claim 1,
The transfer device, wherein the control means is means for controlling a pressing force by the pressing means.

In the transfer device according to claim 1 or 2,
The control means has a time that is a predetermined time after the pressing means starts pressing, or a predetermined time from when the pressing means starts pressing, or when the pressing means starts pressing. The transfer apparatus is a means for controlling the generator so that the irradiation of the electromagnetic wave having the predetermined wavelength is started from the time at which elapses.

In the transfer device according to any one of claims 1 to 3,
Input means for inputting a change pattern of an irradiation energy amount of the electromagnetic wave of the predetermined wavelength irradiated to the molded article;
The control means is a means for controlling the generating device so that an irradiation energy amount of the electromagnetic wave of the predetermined wavelength irradiated on the molded article is changed based on a change pattern input by the input means. A transfer device characterized by that.

In the transfer device according to any one of claims 1 to 3,
Storage means for storing a plurality of change patterns of the irradiation energy amount of the electromagnetic wave of the predetermined wavelength that irradiates the molded article;
Selection means for selecting one of the change patterns stored in the storage means;
And the control means controls the generator so that the irradiation energy amount of the electromagnetic wave of the predetermined wavelength irradiated on the molded article changes based on the change pattern selected by the selection means. A transfer device characterized in that the transfer device is a control means.

In the transfer device according to any one of claims 1 to 5,
A transfer apparatus comprising: a first display unit that displays an amount of energy irradiated from the irradiation apparatus in a single transfer to the molded article.

In the transfer device according to any one of claims 1 to 6,
2. A transfer apparatus comprising: a second display unit configured to display, using a graph, a change pattern of an irradiation energy amount of the electromagnetic wave having the predetermined wavelength that irradiates the molded article.

In a transfer method for transferring a fine transfer pattern formed on a transfer mold to a molded product,
A pressing step of pressing the workpiece with the mold;
An irradiation step of irradiating the molded article while changing an irradiation energy amount of the electromagnetic wave having the predetermined wavelength;
A transfer method characterized by comprising:

The transfer method according to claim 8, wherein
The transfer method, wherein the pressing step is a step of pressing while maintaining a pressing force substantially constant.