JP2008070364A

JP2008070364A - 光透過式流体濃度検出器

Info

Publication number: JP2008070364A
Application number: JP2007233857A
Authority: JP
Inventors: Jiun Ching Tung; 俊卿童; Yung-Lieh Chien; 永烈簡
Original assignee: Antig Technology Corp; Syspotek Corp
Current assignee: Antig Technology Corp; Syspotek Corp
Priority date: 2006-09-12
Filing date: 2007-09-10
Publication date: 2008-03-27
Also published as: US20080062403A1; DE102006052948A1; TW200813419A

Abstract

【課題】流体循環装置の流体濃度検知に使用される光透過式の流体濃度検出器を提供する。
【解決手段】光透過式流体濃度検出器として、少なくとも一つの光信号を電気的メッセージに変換する光センサーと、前記光センサーの光の照射下で前記光信号強度に対応して電気的メッセージを出力する光検出装置と、光源装置と、温度検知器及び前記電気的メッセージを処理する論理演算手段と、前記電気的メッセージに対応する流体濃度を演算する演算装置を含む。光センサーと前記光源装置が流体循環装置の局部空間両側に対向設置され、光源装置から出射したビームが流体循環装置内の流体を経由して光検出装置の光センサーへ投射させることができ、光検出装置の光センサーが流体濃度に対応する電気的メッセージを演算装置へ出力し、演算装置は光検出装置と温度検知器が出力した電気的メッセージに基づいて対応する流体濃度を判断する。
【選択図】図２

Description

本発明は、一種の光透過式流体濃度検出器に関り、特に、光学的性質の変化を通じて流体濃度を得るメカニズム及びその装置を提供することにある。

従来の流体測定装置は、流体の物理的特徴、例えば流体の濃度、密度或いは流体量を計量するために使用され、一般的な流体測定装置は通常体積が大きく且つデバイスも複雑で、同時にこの結果によりコストが比較的高くなってしまう。しかしながら、体積が小さく且つコストが低い製品も市場需要のもと日増しに重要になってきている。燃料電池システムを例にすると、燃料電池システムを携帯型電子装置に使用する傾向は徐々に多くなり、また水素リッチ燃料（例えばメタノール）と酸素燃料流体を利用することで電気化学反応を起して電力を出力する電池システムにおいて、利用者に対し、燃料濃度の不足或いは残存量の不足により燃料流体をいつ補充すべきかを知らせる必要があるため、燃料流体容器内の燃料流体液位及び燃料流体容量を検出しなければならない。また一般的な燃料流体容器において、燃料流体濃度及び燃料流体残存量の検出に高価な計量センサーが提供されているが、現在大量に携帯型電器製品で使用されるに当たり、非常に不経済なものとなっている。

その他、従来の燃料電池は、水素リッチ燃料（例えばメタノール）と酸素燃料を利用するため電気化学反応を起して電力を出力する電池コアを具備する。この種の燃料電池の応用分野において、利用者に対し、流体濃度の不足或いは残存量の不足により流体をいつ補充すべきかを知らせる必要があるため、流体容器内の流体濃度を検出しなければならない。また一般的な流体容器において、流体濃度の検出に高価な計量センサーが提供されているが、現在大量に携帯型電器製品で使用されるに当たり、非常に不経済なものとなっている。なぜなら燃料電池システムの電気化学反応において、電気化学反応の進行に伴い燃料流体の温度が変化し、また測定結果にも誤差が発生じてしまう。

これにより、本発明の発明者は、従来の流体測定装置の欠陥に鑑み、一種の光透過式流体濃度検出器を発明するに至った。

本発明の主な目的は、光透過式流体濃度検出器を提供し、流体循環装置の流体は、異なる濃度によって生じた光学的性質変化の検出を利用することで、更に一歩進んで流体の濃度を得ることにある。

本発明の別の目的は、光透過式流体濃度検出器を提供し、流体循環装置の局部空間箇所に設ける温度センサーユニットを通じて、流体温度をフィードバックすることで、流体濃度検知の校正を達することにある。

さらに、本発明の別の目的は、光透過式流体濃度検出器を提供し、標準流体を収納する標準流体槽の増設を通じて、更に流体濃度検知の校正を達することにある。

上述の目的を達成するため、本発明は光透過式流体濃度検出器を提供し、これは主に流体循環装置の流体濃度検知に使用され、且つ前記光透過式流体濃度検出器には、少なくとも一つの光センサーを含み、前記光センサーは光信号を電気的メッセージに変換し、且つ前記電気的メッセージは前記光センサーが光の照射下で、前記光信号強度に対応して電気的メッセージを出力する光検出装置と、光源装置及び論理演算手段を含み、前記論理演算手段は前記濃度検出器が出力した電気的メッセージを処理し、また前記電気的メッセージに対応する流体濃度を演算する演算装置を含む。前記光検出装置の光センサーと前記光源装置が前記流体循環装置の局部空間両側に対向設置され、前記光源装置から出射したビームが前記流体循環装置内の流体を経由して前記光検出装置の光センサーへ投射させることができ、前記光検出装置の光センサーが前記流体濃度に対応する電気的メッセージを前記演算装置へ出力し、且つ前記演算装置は前記電気的メッセージの対応する流体濃度を判断する。

そして、更に一歩進んで、温度センサーユニットを前記光検出装置と前記光源装置が対応する流体循環装置の局部空間箇所に設置することを通じて、前記流体循環装置の局部空間の流体温度を測定でき、また温度変化によって生じた光学的性質偏差の電気的メッセージを校正するため、前記温度メッセージを前記演算装置へフィードバックする。

その他、標準流体槽を前記温度センサーユニットに代替することができ、且つ前記標準流体槽に標準流体を収納することでフィードバックした温度、電気的メッセージの偏差値の校正を達成することができる。前記標準流体は特定濃度既知流体で、且つ前記標準流体槽は前記流体循環装置の局部空間に対向設置され、前記標準流体槽内の標準流体温度を前記流体連通空間の流体温度に対応させることができる。

当該技術を熟知する者に本発明の目的、特徴及び効果について理解していただくため、下記の具体的な実施例を介し付属の図面を組み合わせることで、本発明に対する詳細な説明を後記のとおり行うものである。

図１は、本発明の光透過式流体濃度検出器の主要デバイスの関係図である。本発明は、主に燃料電池システム１に用いる濃度検出器２で、前記濃度検出器２は前記燃料電池システム１内の流体を貯蔵或いは輸送する局部に対向設置し、また前記濃度検出器２を通じて前記燃料電池システム１内の流体を検出して前記流体濃度に対応する電気的メッセージを演算装置３へ出力し、更に前記演算装置３は前記電気的メッセージが対応する流体濃度を判断する。

前述の前記燃料電池システム１には、触媒物質を具備すると共に水素リッチ燃料と酸素燃料を通じて電気化学反応を起こして化学エネルギーを更に電気エネルギーに変換して出力するエネルギー変換器である燃料電池発電部１１及び前記燃料電池システム１の電気化学反応に要する流体と反応後の残存溶液の貯蔵並びに輸送に用いる流体循環装置１２を含む。

前述の前記濃度検出器２内には、光信号を電気的メッセージに変換して、前記光センサーが光の照射下で受光量に基づいて各々対応する電流値またはその他の電気的メッセージを出力できる光検出装置２１及び光源を提供し、且つ前記光源は赤外線、可視光或いは単一周波数の光とすることができる前記光源装置２２を含む。

前述の前記演算装置３は、論理演算手段を具備し、前記濃度検出器２が出力した電気的メッセージを処理し、また前記電気的メッセージが対応する流体濃度の演算に用いる。前記演算装置３は回路手段によって達成でき、且つ各光センサーの光照射状態に対応して各々出力した電流値を捕捉でき、並びに電流値メッセージをキャリアする電気メッセージを出力できる。

図２は、本発明の光透過式流体濃度検出器及びその応用する第１の具体的な実施例の局部デバイス側面図である。前記燃料電池システム１において、前記流体循環装置１２は流体連通空間１２ａを含み、前記流体循環装置１２内の流体１２ｂは前記流体連通空間１２ａを通じて輸送或いは貯蔵させることができる。前記流体循環装置１２が貯蔵した流体１２ｂは、純水とその他混合物の混合からなるため、前記流体１２ｂの濃度は前記流体１２ｂ内の純水が占める成分比率によって決定する。次に、前記光検出装置２１は少なくとも一つの光センサー２１ａを具え、前記光センサー２１ａは光感光性デバイスとすることができ、光信号を電気的メッセージに変換することに用い、前記光センサーが光の照射の下で、受光量に基づいて各々対応する電流値またはその他の電気的メッセージを出力できる。及び前記光検出装置２１と前記光源装置２２が前記流体循環装置１２の流体連通空間１２ａの局部の両側に対向設置され、前記光源装置２２が出射したビーム２２ａが前記流体循環装置１２を経由して、前記光検出装置２１の光センサー２１ａに到達することができる。

前記本発明の光透過式流体濃度検出器に基づき、前記濃度検出器２内の光源装置２２がビーム２２ａを発生すると共に前記流体循環装置１２の流体連通空間１２ａに入射して前記流体１２ｂを透過する場合、前記ビーム２２ａの一部のエネルギーが前記流体連通空間１２ａ内の流体１２ｂに吸収される。次に、残ったビーム２２ａのエネルギーが前記光検出装置２１の光センサー２１ａに入射することで、前記光検出装置２１の光センサー２１ａが受信した光信号の強度によって対応する電気的メッセージに変換させることができる。最終的に前記演算装置３は前記電気的メッセージに基づいて演算を行うため、前記流体連通空間１２ａの流体１２ｂの濃度を得ることができる。

前記流体循環装置１２の流体連通空間１２ａの前記光源装置２２が発射する前記ビーム２２ａに対応する局部及び前記光センサー２１ａの前記ビーム２２ａを受信する別の局部は透光するがその他部分が不透光であるため、外部光線の前記光センサー２１ａが受信した光信号への干渉を避けることができる。その他、前記流体循環装置１２の流体連通空間１２ａの局部とは前記流体循環装置１２内の流体１２ｂを輸送或いは貯蔵する空間を指し、実際、前記流体連通空間１２ａには、流体１２ｂを輸送する流路或いは流体１２ｂを貯蔵する流体槽を含むことができる。

本発明の第１の具体的な実施例において、好しい実施方法は温度が安定した操作システム内で使用し、且つ前記濃度検出器２が検知した流体連通空間１２ａの特定局部の温度は既知のものである。

図３及び図４について、図３は本発明の光透過式流体濃度検出器及びその応用する第２の具体的な実施例における局部デバイスの側面図で、且つ図４は本発明の図３実施例における具体的な実施方法に関するフローチャートである。図３に示すように、前記燃料電池システム１には温度センサーユニット４を更に含み、前記温度センサーユニット４は前記流体循環装置１２の流体連通空間１２ａの局部に対向設置し、前記温度センサーユニット４は前記流体連通空間１２ａの流体１２ｂ温度を測定させることができる。図４に示すように、本発明の図３実施例における具体的な実施方法のフローチャートには、前記光検出装置２１の光源装置２２がビーム２２ａを発射して前記流体循環装置１２の流体連通空間１２ａ局部の流体１２ｂを透過するステップ１０１と、前記光センサー２１ａは前記光源装置２２が発射したビーム２２ａを受信し、並びに前記ビーム２２ａ強度に対応する電気的メッセージを出力するステップ１0２と、前記温度センサーユニット４が前記流体循環装置１２の流体連通空間１２ａ局部の流体１２ｂ温度を検知し、並びに前記温度に対応する電気的メッセージを出力するステップ１0３及び前記演算装置３は前記光センサー２１ａが出力した電気的メッセージ及び前記温度センサーユニット４が出力した電気的メッセージに基づいて、前記流体循環装置１２の流体連通空間１２ａ局部の流体１２ｂ濃度を算出するステップ１0４を含む。

前記実施例の好しい実施方法は、前記濃度検出器２内の光源装置２２が発生するビーム２２ａは、狭い周波数或いは単一周波数の安定光源であるため、前記流体１２ｂが前記ビーム２２ａの部分的エネルギーを吸収する要素を単純化させることで、前記光検出装置２１の解像度及び信頼性をアップできる。次に、前記演算装置３は、事前に確立した濃度-光透過性-温度の関係を利用し、更に前記光センサー２１ａが出力した電気的メッセージ及び前記温度センサーユニット４が出力した電気的メッセージに基づき、前記流体循環装置１２の流体連通空間１２ａ局部の流体１２ｂ濃度を算出する。前記濃度-光透過性-温度の関係において、濃度とは要測定流体の濃度で、光透過性とは前記光源装置２２の同じ光源が前記要測定流体を透過して前記光検出装置２１が受信される光強度で、温度とは前記要測定流体の温度を指し、前記濃度-光透過性-温度の関係は実験を通じて前記濃度、光透過性と温度の対応関係を記録し、この対応関係を通じて濃度-光透過性-温度の関数関係を確立して実験で達成していない部分も推定できる。図５は、本発明の光透過式流体濃度検出器に使用する濃度-光透過性-温度の関係図である。前記濃度検出器２内の光源装置２２が発生するビーム２２ａは狭い周波数の赤外線とし、前記ビーム２２ａが前記流体連通空間１２ａ局部の流体１２ｂに入射する際、前記ビーム２２ａの一部エネルギーが通過した流体１２ｂに吸収され、また吸収された量は主に前記流体１２ｂの温度及び濃度の影響を受ける。更に、前記ビーム２２ａが前記流体１２ｂを透過して前記光検出装置２１の光センサー２１ａへ照射する光強度は、前記ビーム２２ａの光透過性と見なすことができる。前記光センサー２１ａは前記ビーム２２ａが透過した部分を受信して対応する電流値を出力し、これによりこの電流値を通じて前記ビーム２２ａの光透過性を示すことができる。更に一歩進んで図５に示す濃度-光透過性-温度の関係図は、前記濃度検出器２が特定温度環境下で特定流体濃度に対応して得られる濃度-光透過性-温度の関係曲線である。前記流体濃度-光透過性-温度の関係は、データ対応表を通じる方式或いは関数の関係式で、前記演算装置３が前記濃度検出器２及び前記温度センサーユニット４を通じて前記流体１２ｂの光透過性と温度へのフィードバックとすると共に前記流体１２ｂの濃度を判断するため、前記演算装置３内に構築できる。その他、データ対応表を使用する実施方法において、前記演算装置３は現有の濃度-光透過性-温度の関係に基づき、外挿法或いは内挿法を通じてその他の濃度-光透過性-温度の関係データを得ることができる。

これにより前記温度センサーユニット４が温度に対応する電気的メッセージを出力し、且つ前記光センサー２１ａが濃度に対応する光透過性の電気的メッセージを出力した時、前記演算装置３が前記温度及び前記光透過性に対応する状態で対応する流体濃度を選択して前記流体循環装置１２の流体連通空間１２ａ局部の流体１２ｂ濃度を得ることができる。

図６は、本発明の光透過式流体濃度検出器及びその応用する第３の具体的な実施例における局部デバイスの側面図である。前記燃料電池システム１は濃度検出器５及び標準流体槽６を更に含む。前記濃度検出器５は光検出装置５１及び光源装置５２を具備し、前記光検出装置５１が第１光センサー５１ａ及び第２光センサー５１ｂを具え、前記光源装置５２が第１ビーム５２ａ及び第２ビーム５２ｂを発生させることができる。及び前記標準流体槽６は標準流体６１を収納し、前記標準流体６１が既知の特定流体濃度を具備し、且つ前記標準流体槽６が前記流体循環装置１２の流体連通空間１２ａの局部に対向設置し、前記標準流体槽６内の標準流体６１の温度を前記流体連通空間１２ａの流体１２ｂ温度に対応させることができる。前記光源装置５２で発生した第１ビーム５２ａと第２ビーム５２ｂは、各々前記流体循環装置１２の流体連通空間１２ａ局部及び前記標準流体槽６に対応し、且つ前記第１ビーム５２ａと前記第２ビーム５２ｂは各々前記流体連通空間１２ａ局部の流体１２ｂ及び前記標準流体槽６の標準流体６１を透過する。前記光検出装置５１の第１光センサー５１ａと第２光センサー５１ｂの設置は透過後の第１ビーム５２ａと第２ビーム５２ｂに合わせるため、透過後の前記第１ビーム５２ａと第２ビーム５２ｂが各々前記第１光センサー５１ａと第２光センサー５１ｂへ入射できる。

本発明の光透過式流体濃度検出器及びその応用する第３の具体的な実施例において、前記標準流体６１は純水、高純度流体或いは特定濃度既知流体とすることができ、直接メタノール型燃料電池を例とすると、この高純度流体は純メタノールを指す。

前記標準流体槽６の設置は、前記流体循環装置１２の流体連通空間１２ａ局部に対応し、具体的な好しい実施方法で言うと、前記流体循環装置１２の流体連通空間１２ａは流体を貯蔵する流体槽とすることができ、且つ前記標準流体槽６の設置はできる限り前記流体連通空間１２ａに接触し、前記流体連通空間１２ａ内の流体１２ｂと前記標準流体槽６内の標準流体６１の温度のバランスをとらせることができる。また前述の図１実施例内の前記演算装置３は事前に確立した濃度-光透過性-温度の関係を利用し、更に前述の前記第１光センサー５１ａ及び前記第２光センサー５１ｂが各々出力した電気的メッセージに基づき、前記流体循環装置１２の流体連通空間１２ａ局部の流体１２ｂ濃度を算出する。前記標準流体槽６内の標準流体６１濃度は既知のもので、且つ前記第２光センサー５１ｂが前記標準流体６１を透過する第２ビーム５２ｂの光透過性をフィードバックできるため、前記濃度-光透過性-温度の関係に基づいて、前記演算装置３の演算を通じて前記標準流体槽６内の標準流体６１温度を演算でき、また前記標準流体６１温度もまた前記流体連通空間１２ａ内の流体１２ｂ温度に対応しているため、更に前記第１光センサー５１ａが前記流体１２ｂを透過する第１ビーム５２ａの光透過性をフィードバックすると、更に一歩進んで前記演算装置３の演算を通じて前記流体循環装置１２の流体連通空間１２ａ内の流体１２ｂ濃度を得ることができる。

前述の本発明の光透過式流体濃度検出器の第３の具体的な実施例において、前記光検出装置５１の第２光センサー５１ｂを通じて前記標準流体槽６内の標準流体６１の光透過性を検出すると、前記流体連通空間１２ａ内の流体１２ｂが対応する温度を知り得ることができため、その他の温度検知を通じて前記流体連通空間１２ａ内の流体１２ｂ温度を得る必要が無く、前記第１光センサー５１ａが出力した電気的メッセージを校正することで、前記流体連通空間１２ａ内の流体１２ｂが対応する濃度を得ることができる。

本発明は、具体的な実施例で上記のとおりに開示したが、開示した具体的な実施例が本発明として限定的に用いることではなく、当該技術を熟知する者は本発明の精神と範囲に基づき各種の改変と修飾を行なうことができ、行なった改変或いはいは修飾も全て本発明の保護範疇にあり、本発明の保護範囲は、特許請求の範囲に定義するものを基準とする。

本発明の光透過式流体濃度検出器の主要デバイスの関係図である。本発明の光透過式流体濃度検出器及びその応用した第１の具体的な実施例における局部デバイスの側面図である。本発明の光透過式流体濃度検出器及びその応用した第２の具体的な実施例における局部デバイスの側面図である。本発明の図３実施例の具体的な実施方法のフローチャートである。本発明のデータ対応表の方式或いは関数の関係式によることができる濃度-光透過性-温度の関係である。本発明の光透過式流体濃度検出器及びその応用した第３の具体的な実施例における局部デバイスの側面図である。

符号の説明

１燃料電池システム
２濃度検出器
３演算装置
４温度センサーユニット
５濃度検出器
６標準流体槽
１１燃料電池発電部
１２流体循環装置
１２ａ流体連通空間
１２ｂ流体
２１光検出装置
２１ａ光センサー
２２光源装置
２２ａビーム
５１光検出装置
５１ａ第１光センサー
５１ｂ第２光センサー
５２光源装置
５２ａ第１ビーム
５２ｂ第２ビーム
６１標準流体

Claims

主に流体の循環装置に用いる光透過式濃度検出器であって、また、
光源装置と、
少なくとも一つの光センサーを含み、前記光センサーは光信号を電気的メッセージに変換し、且つ前記電気的メッセージは前記光センサーが光の照射下で、前記光信号強度に対応して電気的メッセージを出力する光検出装置と、
設置は前記流体循環装置に対応し、前記流体循環装置の温度を検知することに用いる温度センサー、及び、
論理演算手段を含み、前記論理演算手段は前記光検出装置が出力した電気的メッセージを処理し、並びに、前記電気的メッセージが対応する流体循環装置内の流体濃度を演算する演算装置を含み、
前記光検出装置の光センサーと前記光源装置が前記流体循環装置の局部空間両側に対向設置され、前記光源装置から出射したビームが前記流体循環装置内の流体を経由して前記光検出装置の光センサーへ投射させることができ、前記光検出装置の光センサーが前記流体濃度に対応する電気的メッセージを前記演算装置へ出力し、及び、前記演算ユニットには前記光検出装置の光センサーが出力する電気的メッセージと前記温度センサーユニットが出力する電気的メッセージに基づき、前記流体循環装置の流体連通空間局部の流体濃度を演算するための濃度-光透過性-温度の関係の判別手段を含むことを特徴とする、光透過式濃度検出器。
請求項１記載の光透過式濃度検出器において、前記光センサーが電流値を出力し、前記電流値は前記光源装置のビームが前記流体循環装置の局部空間の流体を通過する光透過性に対応することを特徴とする、光透過式濃度検出器。
請求項２記載の光透過式濃度検出器において、前記演算ユニットが前記濃度検出器と前記温度センサーユニットを通じて前記流体の光透過性と温度へのフィードバックとすると共に前記流体の濃度を判断するため、前記流体の濃度-光透過性-温度の関係はデータ対応表の方式と関数の関係式内のいずれかの形態を選択して前記演算ユニット内に構築することを特徴とする、光透過式濃度検出器。
請求項１記載の光透過式濃度検出器において、前記流体循環装置内の前記光源装置が発射するビームに対応する局部、及び、前記光センサーのビームを受信する別の局部が透光し、且つ、前記流体循環装置その他の部分が不透光であることを特徴とする、光透過式濃度検出器。
請求項１記載の光透過式濃度検出器において、前記光源装置が発射する光源は赤外線、可視光、及び、単一周波数の光のいずれかから選択することを特徴とする、光透過式濃度検出器。
請求項１記載の光透過式濃度検出器において、前記光センサーは光感光性デバイスであることを特徴とする、光透過式濃度検出器。
主に流体循環装置に用いる光透過式濃度検出器であって、また、
少なくとも第１ビームと第２ビームを発生する光源装置と、
少なくとも第１光センサーと第２光センサーを含み、これら光センサーは光信号を電気的メッセージに変換し、且つ前記電気的メッセージは前記光センサーが光の照射下で、前記光信号強度に対応して電気的メッセージを出力する光検出装置と、
標準流体を収納し、前記標準流体は特定濃度既知流体を具備し、且つ、前記標準流体槽が前記流体循環装置の局部空間に対向設置されるため、前記標準流体槽内の標準流体温度が前記流体循環装置の流体温度に対応させることのできる標準流体槽、及び、
論理演算手段を含み、前記論理演算手段は前記光検出装置が出力した電気的メッセージを処理し、並びに、前記電気的メッセージが対応する流体循環装置内の流体濃度を演算する演算装置を含み、
前記光検出装置の第１光センサーと前記光源装置が前記流体循環装置の局部空間両側に対向設置され、前記光検出装置の第２光センサーと前記光源装置は前記標準流体槽の両側に対向設置され、前記光源装置から出射した第１ビームと第２ビームが各々前記流体循環装置内の流体と前記標準流体槽の標準流体を経由して第１光センサーと第２センサーへ対応投射させることができ、前記光検出装置の第１光センサーと第２センサーが各々前記流体濃度と前記標準流体に対応する電気的メッセージを前記演算装置へ出力し、且つ、前記演算装置はこれを介して前記電気的メッセージが対応する流体濃度を判断し、及び、前記演算ユニットには前記光検出装置の光センサーが出力する電気的メッセージと前記温度センサーユニットが出力する電気的メッセージに基づき、前記流体循環装置の流体連通空間局部の流体濃度を演算するための濃度-光透過性-温度の関係の判別手段を含むことを特徴とする、光透過式濃度検出器。
請求項７記載の光透過式濃度検出器において、前記第１光センサーと第２光センサーが電流値を出力し、前記電流値は前記光源装置のビームが前記流体循環装置の局部空間の流体と前記標準流体を通過する光透過性に対応することを特徴とする、光透過式濃度検出器。
請求項７記載の光透過式濃度検出器において、前記標準流体は純水、高純度流体、及び、特定濃度既知流体のいずれかの流体を選択することを特徴とする、光透過式濃度検出器。
請求項９記載の光透過式濃度検出器において、前記高純度流体は高純度のメタノールであることを特徴とする、光透過式濃度検出器。
請求項７記載の光透過式濃度検出器において、前記光センサーが電流値を出力し、前記電流値は前記光源装置のビームが前記流体循環装置の局部空間の流体を通過する光透過性に対応することを特徴とする、光透過式濃度検出器。
請求項１１記載の光透過式濃度検出器において、前記演算ユニットが前記濃度検出器と前記温度センサーユニットを通じて前記流体の光透過性と温度へのフィードバックとすると共に前記流体の濃度を判断するため、前記流体の濃度-光透過性-温度の関係はデータ対応表の方式と関数の関係式内のいずれかの形態を選択して前記演算ユニット内に構築することを特徴とする、光透過式濃度検出器。
請求項７記載の光透過式濃度検出器において、前記流体循環装置内の前記光源装置が発射するビームに対応する局部、及び、前記光センサーのビームを受信する別の局部が透光し、且つ、前記流体循環装置その他の部分が不透光であることを特徴とする、光透過式濃度検出器。
請求項７記載の光透過式濃度検出器において、前記光源装置が発射する光源は赤外線、可視光、及び、単一周波数の光のいずれかから選択することを特徴とする、光透過式濃度検出器。
請求項７記載の光透過式濃度検出器において、前記光センサーは光感光性デバイスであることを特徴とする、光透過式濃度検出器。