JP2008062145A

JP2008062145A - 乾式洗浄装置及び乾式洗浄方法

Info

Publication number: JP2008062145A
Application number: JP2006240948A
Authority: JP
Inventors: Yusuke Taneda; 裕介種子田; Tatsuya Sato; 達哉佐藤; Yoichi Okamoto; 洋一岡本; Akihiro Fuchigami; 明弘渕上
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2006-09-06
Filing date: 2006-09-06
Publication date: 2008-03-21
Anticipated expiration: 2026-09-06
Also published as: JP4772624B2

Abstract

【課題】各種材料で形成された洗浄対象物を効率よく洗浄するとともに、洗浄媒体の再生品質を高めて洗浄品質と洗浄効率を向上させる。
【解決手段】循環用気流発生手段６から洗浄槽５の壁面に沿う高速の循環用気流を直接発生させ、発生した循環用気流を洗浄槽５に堆積している洗浄媒体４の面方向と直交する方向から当てて洗浄媒体４を運搬して飛翔させ、堆積している洗浄媒体４に対して循環用気流で有効な浮上力を与えて大量の洗浄媒体４を洗浄槽５内に飛翔させる。飛翔している洗浄媒体４に洗浄媒体加速手段７から高速気流を当てて洗浄対象物２に衝突させて洗浄対象物２に付着した塵や粉体の付着物を除去する。
【選択図】図１

Description

この発明は、例えば複写機やレーザプリンタ等の電子写真方式の画像形成装置で用いられるトナーが付着した比較的複雑な形状の部品等の各種洗浄対象物に付着した塵埃や粉体を、水や溶剤を使わずに固体洗浄媒体を用いて除去する乾式洗浄装置と乾式洗浄方法、特に、被洗浄体を連続投入して処理して作業性の向上を図ることに関するものである。

複写機、ファクシミリ、プリンタ等の事務機器メーカでは、資源循環型社会実現のために使用済みの製品や各種ユニットをユーザから回収後に分解・清掃・再組立し、部品として再使用したり、樹脂材料として利用したりするリサイクル活動を積極的に行っている。これらの製品や各種ユニットに使用されている部品を再利用するためには、分解した部品やユニットに付着している微粒子粉体であるトナーを除去して清浄化する工程が必要であり、清浄化に必要なコストや環境負荷を減らすことが大きな課題となっている。

この部品やユニットに付着したトナー等の汚れを除去するために水や溶剤を使用した湿式の洗浄方法の場合、トナー等を含んだ廃液の処理及び洗浄後の乾燥処理のエネルギー消費や環境負荷が大きく高コストである点が問題となっている。

また、エアブローによる乾式洗浄方法の場合、付着力の強いトナーに対しては洗浄能力が十分ではなく、人手によるウェス拭きなどの後工程が必要なため、清浄化は製品リユース・リサイクルにおけるボトルネック工程の１つとなっている。さらに、ドライアイスを使ったブラスト洗浄では、ドライアイスを大量に消費するためランニングコストが高く環境負荷も大きいという問題がある。

これらの問題を解決するため、特許文献１に示された乾式洗浄装置は、帯電性の洗浄対象物を弾性変形可能な接触部材とともに回転円筒内で撹拌しながら除電して洗浄対象物に付着している塵埃の付着力を弱めて除去するようにしている。しかし、撹拌による接触部材と洗浄対象物の接触力は十分とはいえず、付着力の強い塵埃の除去は困難である。

また、特許文献２に示すように、スチールやアルミ、ステンレスの小球又は線材を細かく切断した小片を被処理物に対して噴射して洗浄対象物から付着物を分離したり、特許文献３に示すように、粒状固体を高速空気流に混入させて樹脂製容器の表面に衝突させて樹脂製容器の汚れを除去するようなショットブラスト法も使用されている。

さらに、特許文献４に示された乾式洗浄方法は、微粒子を吸着する粒子状洗浄媒体を被洗浄容器内に導入し、洗浄ノズルを被洗浄容器の開口部に差し込み、洗浄容器内に高速空気流を吹き込み洗浄ノズルから排気して洗浄容器内で洗浄媒体を吹き上げ、吹き上げた粒子状洗浄媒体で洗浄容器内面に付着している微粒子を除去し、洗浄ノズルの先端部のメッシュに洗浄媒体を衝突させて、洗浄媒体に吸着している微粒子を分離させて濾過することにより洗浄媒体を再生し、再生した洗浄媒体を空気流で再び吹き上げて繰り返し洗浄するようにしている。
特許第３２８８４６２号公報特許第２８８９５４７号公報特許第３４６８９９５号公報特開２００５−３２９２９２号公報

特許文献１に示された乾式洗浄装置は、撹拌による接触部材と洗浄対象物の接触力は十分とはいえず、付着力の強い塵埃の除去は困難である。

また、特許文献２や特許文献３に示されたショットブラスト法は、洗浄媒体として金属の小球や線材を細かく切断した小片又は粒状固体を用いているため、洗浄対象物の汚れを除去するだけでなく、洗浄対象物の表面を削り取って梨地状に荒らしてしまい、洗浄による対象物への傷が許されない場合には適用できなかった。

また、特許文献４に示された乾式洗浄装置は、洗浄媒体の飛翔と洗浄媒体の吸引による再生を同時に行っており、容器内の洗浄のような小規模の容積に対して有効な手段であるが、洗浄媒体の飛翔のエネルギーが分散されるため、洗浄対象を投入し移動させるような容積の大きな洗浄槽内においては、洗浄媒体が飛翔せず滞留してしまうよどみが発生して洗浄媒体の飛翔と再生が行われにくくなり洗浄能力が低下する可能性がある。

この発明は、このような短所を改善し、各種材料で形成された洗浄対象物を効率よく洗浄するとともに、洗浄媒体の再生品質を高めて洗浄品質と洗浄効率を向上させることができる乾式洗浄装置と乾式洗浄方法を提供することを目的とするものである。

この発明の乾式洗浄装置は、洗浄槽内に高速気流を発生して前記洗浄槽に収容した薄片状の可撓性洗浄媒体を飛翔させる循環用気流発生手段と、前記飛翔した前記洗浄媒体を高速気流により洗浄対象物に衝突させて洗浄対象物に付着した塵や粉体の付着物を除去する洗浄媒体加速手段と、前記洗浄対象物に衝突した前記洗浄媒体に付着した付着物を吸引して除去して前記洗浄媒体を再生する洗浄媒体再生手段とを備えた乾式洗浄装置であって、前記循環用気流発生手段は、前記洗浄槽の壁面に沿って流れる循環用気流を発生することを特徴とする。

前記循環用気流発生手段を１又は複数有することを特徴とする。

前記循環用気流発生手段は、前記洗浄媒体再生手段に堆積した前記洗浄媒体の面に沿って流れる循環用気流を発生することを特徴とする。

前記洗浄槽の循環用気流が沿って流れる壁面には、循環用気流の流れ方向に沿った複数の溝を有したり、循環用気流の流れ方向に沿った凹形状の湾曲面を有することを特徴とする。

また、前記洗浄槽の循環用気流の循環経路を形成する壁面の角部を円弧状又は一定の角度以上で連結したことを特徴とする。

また、前記洗浄槽の底部に前記洗浄媒体再生手段を有する傾斜面を有し、前記傾斜面に沿う循環用気流を発生する前記循環用気流発生手段を前記傾斜面の下端部に設けたことを特徴とする。

さらに、前記洗浄槽の底部にＶ字状の前記洗浄媒体再生手段を有する傾斜面を有し、前記各傾斜面に沿う循環用気流を発生する前記循環用気流発生手段を前記各傾斜面の下端部にそれぞれ設けたことを特徴とする。そして前記各傾斜面の下端部にそれぞれ設けた前記循環用気流発生手段を交互に動作させることを特徴とする。

また、前記洗浄槽に、前記循環用気流を前記洗浄媒体加速手段からの高速気流の噴出経路へ導く気流整流手段を有することを特徴とする。

この発明の乾式洗浄方法は、洗浄槽の壁面に堆積した薄片状の可撓性洗浄媒体を洗浄槽の壁面に沿って流れる循環用気流により運搬して飛翔させ、飛翔している前記洗浄媒体を高速気流により洗浄対象物に衝突させて、前記洗浄対象物に付着した塵や粉体の付着物を除去することを特徴とする。また、前記洗浄槽に堆積した前記洗浄媒体の面と平行な流れの循環用気流を発生して、前記洗浄槽に堆積した前記洗浄媒体を運搬して飛翔させることを特徴とする。さらに、前記洗浄槽に堆積した前記洗浄媒体を１個所に集めた後、前記循環用気流により前記洗浄槽の壁面に沿って運搬することを特徴とする。

この発明は、薄片状の可撓性洗浄媒体を運搬して飛翔させる循環用気流を、洗浄槽の壁面に沿って流れるようにするから、流れる循環用気流が拡散して力が逃げることがないため、洗浄槽に堆積した洗浄媒体に対して気流の力を効果的に作用させることができ、供給する空気の量が少なくても洗浄媒体を大量に運搬して飛散させることができ、洗浄に要するエネルギーを低く抑えることができる。また、除去された付着物が洗浄層壁面に再度付着した場合でも、大量の洗浄媒体が循環しているために、常に壁面を洗浄することができ、洗浄槽のクリーニング等のメンテナンスを不要にできる。

また、循環用気流発生手段を１又は複数有することにより、洗浄槽の壁面に堆積したり付着した洗浄媒体を効率よく運搬することができる。

さらに、循環用気流発生手段は、洗浄媒体再生手段に堆積した洗浄媒体の面に沿って流れる循環用気流を発生することにより、堆積した洗浄媒体に大きな浮上力を与えて大量の洗浄媒体を洗浄槽の壁面に沿って循環させることでき、洗浄効果を高めることができる。

また、洗浄槽の循環用気流が沿って流れる壁面には、循環用気流の流れ方向に沿った複数の溝を有したり、循環用気流の流れ方向に沿った凹形状の湾曲面を有することにより、循環用気流を拡散させずに洗浄槽の壁面に沿って循環させることだでき、大量の洗浄媒体を安定して運搬することができ、洗浄効果を高めることができる。

また、前記洗浄槽の循環用気流の循環経路を形成する壁面の角部を円弧状又は一定の角度以上で連結することにより、洗浄媒体が壁面に衝突することなく運搬することができ、洗浄媒体を効率よく運搬して洗浄能力を高めることができるとともに少ない供給空気量で洗浄媒体を運搬して省エネルギー化を図ることができる。

また、洗浄槽の底部に洗浄媒体再生手段を有する傾斜面を設け、循環用気流発生手段で傾斜面に沿う循環用気流を発生することにより、付着物が除去された洗浄媒体を溜めてから運搬することにより、大量の洗浄媒体を安定して運搬でき、洗浄効率を向上することができる。

さらに、洗浄槽の底部に洗浄媒体再生手段を有するＶ字状の傾斜面を有し、各傾斜面に沿う循環用気流を発生する循環用気流発生手段を各傾斜面の下端部にそれぞれ設け、各傾斜面の下端部にそれぞれ設けた循環用気流発生手段を交互に動作させることにより、循環用気流の循環経路の１個所に洗浄媒体を集めた後、間欠的に洗浄槽の壁面に沿って循環用気流を発生させて、集めた洗浄媒体を洗浄槽の壁面に沿って循環させるから、一度に大量の洗浄媒体を運搬することができ、少ない供給空気量で洗浄媒体を運搬して、より省エネルギー化を図ることができると共に洗浄効率を向上させることができる。

また、洗浄槽に、循環用気流を洗浄媒体加速手段からの高速気流の噴出経路へ導く気流整流手段を設けることにより、洗浄媒体の運搬時の流速を上げた状態でも、確実に洗浄媒体を洗浄対象物に衝突できるようになり、洗浄媒体が洗浄対象物に衝突することなく循環経路を1周してしまう損失をなくして、洗浄媒体を有効に利用することができる。さらに洗浄媒体加速手段によるエネルギーのみでなく、循環経路上で運搬されてきた運動エネルギーも加えて洗浄対象物に衝突させることができ、洗浄効率をより向上することができる。

図１はこの発明の乾式洗浄装置の機構構成図である。乾式洗浄装置１は、図２に示すように、洗浄対象物２に付着したトナー等の各種粉塵３を高速気流により流動する洗浄媒体４より除去するものであり、洗浄槽５と循環用気流発生手段６と洗浄媒体加速手段７及び洗浄媒体再生手段８を有する。

この乾式洗浄装置１に使用する洗浄媒体４は、金属やセラミクス、合成樹脂、スポンジ、布等の粒状、棒状、筒状、繊維状又は薄片状の固体から形成され、洗浄対象物２の形状や材質などの特性や洗浄対象物２に付着している塵埃３の粒径や付着強度に応じて選択すれば良い。薄片状の洗浄媒体４としては面積が１〜1000ｍｍ^２で厚さが１〜500μｍ程度の物を使用すれば良い。例えば電子写真方式の画像形成装置に使用する平均粒径５μｍ〜10μｍのトナー粉体が付着した合成樹脂や金属製の構成部品からトナー粉体を除去するには樹脂フィルム片や布片、紙片、金属薄片等の薄片状の洗浄媒体４を使用することが望ましい。

この洗浄媒体４として薄片状の洗浄媒体４を使用した場合、図２に示すように、端部から洗浄対象物２に衝突した場合、接触力が洗浄媒体４のエッジに集中するため、質量が小さいにもかかわらず粉塵３の除去に必要な力が得られる。また、洗浄対象物２に対する接触力が大きくなると撓んで力を逃がすため、一般的なブラストショット材やバレル加工用の研磨材等とは異なり、必要以上の力を洗浄対象物２に加えることがなく、洗浄対象物２を傷つけないですむ。さらに、薄片状の洗浄媒体４が洗浄対象物２に衝突したときに撓んで空気から受ける粘性抵抗が大きく作用して非弾性衝突となり、跳ね返りが起こりにくく、斜め衝突の場合は滑り接触して一度の衝突で洗浄対象物２の広い面積に接触しながら移動し、この接触による掻き取り作用や摺擦作用により洗浄対象物２に付着したトナー粒子等の粉塵３に対して接触面に平行な力を作用させ、小さい力で粉塵３を洗浄対象物２から分離して洗浄効率を高めることができる。

洗浄槽５は、ほぼ直方体状の中空体で形成され、上面に洗浄対象物２を投入する被洗浄体投入口９を有し、底部が開口して形成され、被洗浄体投入口９に開閉自在な蓋１０が設けられ、底部の開口部に洗浄媒体再生手段８が設けられている。この洗浄槽５の一方の側面の内壁面の一部には、図３に示すように、循環用気流発生手段６が設けられ、両側面と底面及び上面の内壁面で循環用気流の循環経路を形成している。この循環用気流の循環経路を形成する内壁面の角部は、図３（ａ）に示すように、Ｒ形状又は図３（ｂ）に示すように、一定角度θで接続して、循環用気流を効率よく循環させるように形成されている。この一定角度θを１２０度〜１５０度にすることにより、循環用気流に与える抵抗を小さくして循環させることができる。

循環用気流発生手段６は、図４に示すように、大口径の吸引口６１を有する吸引部６２と、吸引部６２の出口側の外周部に設けられた圧縮空気供給口６３を有する吐出部６４を有し、圧縮空気供給口６３から供給して吐出部６４の吐出口６５に向けて生じる高速空気流により吸引部６２から空気流を吸い込み、圧縮空気供給口６３から供給した圧縮空気量の数倍〜１０倍の空気量を吐出口６５から吐出させる。この循環用気流発生手段６を使用することにより、一般的なエアブローノズルを用いる場合と比べて消費する圧縮空気量を減らしてより少ないエネルギーで洗浄媒体を循環させることができるとともに洗浄槽５内部の負圧を容易に保ち、洗浄槽５外への粉塵等の漏出を防止することができる。なお、圧縮空気供給口６ｃから供給する圧縮空気の代わりに窒素ガスや二酸化炭素ガス、アルゴンガス等の不活性ガスなど各種気体を供給しても良い。以下、圧縮空気を使用した場合について説明する。この循環用気流発生手段６は、洗浄槽５の循環用気流の循環経路を形成する一方の側壁の底部近傍に吸引口６１を上にして吐出口６５を下にして配置されている。

洗浄媒体加速手段７は、循環用気流の循環経路を形成する内壁面を直交する表面にアレイ状の複数の加速ノズル７１ａを有し、加速ノズル７１ａが設けられた壁面と対向する裏面にアレイ状の複数の加速ノズル７１ｂを有し、コンプレッサーや圧力タンク等の圧縮空気源から供給される圧縮空気を各加速ノズル７１から洗浄槽５内に噴出させて洗浄媒体４を洗浄対象物２に衝突させる。この加速ノズル７１ａ，７１ｂとしては循環用気流発生手段６と同様な噴出ノズルを使用すると良い。

洗浄媒体再生手段８は、図５（ａ）の斜視図と（ｂ）の部分断面図に示すように、洗浄槽５の底部内壁に配置された分離部材８１とフード８２で閉空間を形成し、形成した閉空間がホース等の吸引管１１により負圧発生源を有する集塵装置に接続され、フード８２の内部を負圧にする。分離部材８１は気体や粉体を通過させるが洗浄媒体４が通り抜けられない小孔やスリット８３を多数有し、例えば金網、プラスチック網、メッシュ、パンチメタル板、スリット板等の多孔性部材で形成され、洗浄対象物２から分離された粉塵と、洗浄対象物２に衝突し磨耗や欠けが生じた洗浄媒体や長期使用により弾力性が劣化した洗浄媒体を排出する。

この乾式洗浄装置１の制御装置１２には、図６のブロック図と図７（ａ），（ｂ）の配管系統図に示すように、加圧気体供給装置１８から循環用気流発生手段６に供給する圧縮空気の送気管の導通と非導通を行う気流循環用電磁弁１４と、洗浄媒体加速手段７に供給する圧縮空気の送気管の導通と非導通を行う加速用電磁弁１５と、洗浄媒体加速手段７の両壁面に設けられた加速ノズル７１に供給する圧縮空気を２方向に切り替える加速気流切替制御弁１６及び洗浄媒体再生手段８と集塵装置１９を連結した吸引管１１の導通と非導通を行う再生用電磁弁１７がそれぞれ接続され、起動手段１３からの駆動信号により各電磁弁の動作を制御する。

この乾式洗浄装置１においてワーク保持手段２０に保持された洗浄対象物２をワーク移動手段２１で洗浄槽５内に投入し、洗浄槽５内で薄片状の洗浄媒体４を循環させて洗浄対象物２に付着したトナー等の粉塵３を除去する動作を図８のタイムチャートを参照して説明する。

洗浄槽５に薄片状の洗浄媒体４を投入して洗浄媒体再生手段８の分離部材８１の上に積み上げた状態でワーク保持手段２０に保持された洗浄対象物２をワーク移動手段２１で洗浄槽５の被洗浄体投入口９から投入して初期位置に位置決めし、被洗浄体投入口９を蓋１０で閉じて洗浄槽５を密閉する。この状態で起動手段１３を操作して制御装置１２に洗浄開始信号が入力されると、制御装置１２はまず気流循環用電磁弁１４を開にしてコンプレッサー等の加圧気体供給装置１８から循環用気流発生手段６に例えば圧縮空気を供給し、循環用気流発生手段６により洗浄槽５の内壁面の循環経路に沿って流れる循環用気流を発生させる。この循環気流が洗浄媒体再生手段８の分離部材８１に沿って流れ、図９（ａ）に示すように、分離部材８１の上に積み上げた薄片状の洗浄媒体４に横方向から気流が作用し、図９（ｂ）と（ｃ）に示すように、堆積した洗浄媒体４の上層部から徐々に堆積を崩しながら持ち上げ洗浄槽５の長手方向に沿って運搬して飛翔させる。この洗浄媒体４を飛翔させる循環用気流を循環用気流発生手段６から洗浄槽５内に直接噴出させるから、堆積した洗浄媒体４に大きな衝撃力を与えることができ、循環用気流により堆積した洗浄媒体４を確実に飛翔させることができる。

このように堆積した薄片状の洗浄媒体４を気流で搬送して飛翔させる場合、例えば、図１０（ａ）に示すように、分離部材８１に堆積した薄片状の洗浄媒体４に対し、ノズル２２で洗浄媒体４の堆積方向と垂直な気流を作用させた場合、堆積している全ての洗浄媒体４を持ち上げるだけの圧縮空気のエネルギーを必要とし、図１０（ｂ）に示すように、洗浄媒体４の堆積量が多くなるほど動かしにくくなる。また、気流を噴出するノズル２２直上の洗浄媒体４を動かすことはできても、堆積した薄片状の洗浄媒体４の流動性は悪いため、図１０（ｃ）に示すように、ノズル２２の周囲にすり鉢状の傾斜があっても、ノズル２２の周囲の洗浄媒体４は崩れずにそのまま残ってしまい、堆積した全ての洗浄媒体４を飛翔させることが困難であった。これに対して、循環用気流発生手段６により洗浄槽５の内壁面の循環経路に沿って流れる循環用気流を発生させて分離部材８１に堆積した洗浄媒体４の横方向から気流を作用させることにより、少ないエネルギーで堆積した洗浄媒体４を確実に飛翔させることができ、循環用気流発生手段６に供給する圧縮空気量の消費量を低減することができる。また、洗浄媒体４を気流搬送するとき、ダクトやホースを用いて搬送する場合には洗浄媒体４がダクトやホースに詰まるおそれがあるが、洗浄槽５の壁面により循環用気流の循環経路を形成するから、洗浄媒体４が循環経路で詰まるおそれがなく洗浄槽５内に洗浄媒体４を飛翔させることができる。

また、循環用気流を発生する循環用気流発生手段６は洗浄槽５の循環用気流の循環経路を形成する一方の側壁の底部近傍に吸引口６１を上にして吐出口６５を下にして配置されているから、吐出口６５から離れた位置であっても洗浄槽５の底部の分離部材８１に堆積した洗浄媒体４に対して底面に沿った強い気流の力を作用させることができ、大量の洗浄媒体４を洗浄槽５の壁面に沿って運ぶことができる。さらに、吸引口６１に入ってくる洗浄媒体４は分散して空間密度が小さいため吸引口６１を閉塞することを回避でき、安定して循環用気流を発生することができる。すなわち、吸引口６１を下に向け、洗浄槽５の底部付近に配置した場合、吸引気流の力は吸引口６１近傍の洗浄媒体４にしか作用せず、洗浄槽５の底部に溜まっている大量の洗浄媒体４を搬送することは困難であるとともに、堆積している洗浄媒体４が吸引口６１に大量に吸引された場合、吸引口６１における洗浄媒体４の空間密度が過剰になり吸引口６１を閉塞しやすいが、このような問題が生じることを防ぐことができる。

制御装置１２はあらかじめ設定された所定時間が経過すると気流循環用電磁弁１４を閉にして循環用気流発生手段６で発生している循環用気流を停止させ、図１１（ａ）に示すように、ワーク移動手段２１で洗浄対象物２を初期位置から徐々に下降せながら、加速用電磁弁１５を開にして加圧気体供給装置１８から加速気流切替制御弁１６を介して洗浄媒体加速手段７に圧縮空気を供給し、洗浄媒体加速手段７の一方の加速ノズル７１ａから圧縮空気を噴出させるとともに再生用電磁弁１７を開にして洗浄媒体再生手段８を集塵装置１９と導通させてフード８２内を負圧にする。循環用気流発生手段６で発生している循環用気流を停止させると、循環用気流により飛翔した洗浄媒体４は舞い降りる。この舞い降りている洗浄媒体４は加速ノズル７１ａから噴出している圧縮空気により洗浄対象物２に衝突し、洗浄対象物２の一方の面に付着しているトナー等の粉塵３を除去する。

洗浄対象物２から除去された粉塵や洗浄対象物２に衝突して粉塵が付着した洗浄媒体４は重力により落下し、フード８２内の負圧により吸気している洗浄媒体再生手段８の分離部材８１の上に降り積もる。この分離部材８１の上に落下した粉塵及び洗浄媒体４に付着した粉塵はフード８２内の負圧によりフード８２内に吸引されて集塵装置１９に集塵され、粉塵が付着した洗浄媒体４を効率よく再生する。

この加速ノズル７１ａによる圧縮空気の噴出を所定時間だけ行うと、制御装置１２は、加速用電磁弁１５と再生用電磁弁１７を閉にして洗浄媒体加速手段７と洗浄媒体再生手段８の動作を停止する。再生用電磁弁１７を閉にするとフード８２内の負圧は解消し、分離部材８１に堆積した洗浄媒体４に対するフード８２側の吸引力がなくなり、次の循環用気流により分離部材８１から分離される。したがって分離部材８１のメッシュ等を洗浄媒体４で覆って封止することはなく、連続的に洗浄媒体４と粉塵を分離することができる。このため洗浄媒体４の交換は必要なく、破損等により減少した洗浄媒体４の分を追加すれば良く、洗浄媒体４を有効に利用することができるとともにメンテナンス性を向上することができる。

その後、再び気流循環用電磁弁１４を開にして循環用気流発生手段６により循環用気流を発生させて洗浄媒体再生手段８の分離部材８１に堆積して再生された洗浄媒体４を所定時間Ｔ１だけ飛翔させた後、加速用電磁弁１５と再生用電磁弁１７を開にして加速気流切替制御弁１６を加速ノズル７１ｂ側に切り替えて洗浄対象物２からの粉塵除去処理と洗浄媒体４の再生処理を所定時間だけ行う。この洗浄対象物２からの粉塵除去処理と洗浄媒体４の再生処理を所定時間は循環用気流を発生している時間より長く設定し、洗浄対象物２の広い範囲を洗浄できるようにしてある。また、加速ノズル７１ａと加速ノズル７１ｂから圧縮空気を交互に噴射させるから、加速ノズル７１ａと加速ノズル７１ｂから噴射する気流が干渉することを防いで、洗浄対象物２に洗浄媒体４を確実に衝突させることができ、洗浄媒体４による洗浄効果を高めることができる。

この循環用気流の発生と洗浄対象物２からの粉塵除去処理と洗浄媒体４の再生処理を、洗浄対象物２を初期位置から徐々に下降せながら繰り返して行い、図１１（ｂ）に示すように、洗浄対象物２が折り返し位置に達するとワーク移動手段２１は洗浄対象物２の下降を停止して、洗浄対象物２を徐々に上昇させる。制御装置１２は洗浄対象物２が徐々に上昇しているときも、循環用気流の発生と洗浄対象物２からの粉塵除去処理と洗浄媒体４の再生処理を交互に繰り返して行い、洗浄対象物２の全面から粉塵３を除去する。そして、図１１（ｃ）に示すように、洗浄対象物２が上昇端である初期位置に達すると、制御装置１２は洗浄動作を停止する。洗浄動作が停止すると、洗浄槽５の蓋１０を開いてワーク保持手段１８に保持された洗浄対象物２をワーク移動手段１９で洗浄槽５から取り出し、新しい洗浄対象物２と交換して再び洗浄動作を開始する。

前記説明では洗浄媒体加速手段７の加速ノズル７１ａ，７１ｂから圧縮空気を交互に噴射させて洗浄対象物２の全面を洗浄した場合について説明したが、図１２に示すように、洗浄対象物２に対する加速ノズル７１ａ，７１ｂの噴射角度を調節することにより、加速ノズル７１ａ，７１ｂから圧縮空気を同時に噴射させても良い。また、洗浄対象物２の一方の面にだけ粉塵が付着している場合は加速ノズル７１ａ，７１ｂにいずれか一方から圧縮空気を噴射させれば良い。

また、前記説明では洗浄槽５の平坦な内側面により循環用気流発生手段６で発生する循環用気流の循環経路を形成した場合について説明したが、図１３（ａ）に示すように、循環経路を形成する洗浄槽５の壁面５１に循環用気流の流れ方向に沿った複数の角状又は曲面で形成した溝２３を設けても良い。この溝２３の幅は洗浄媒体４の面サイズより小さくして、洗浄媒体４が溝２３内に落ち込まないようにしておく。このように溝２３を設けることにより、洗浄槽５の壁面５１と洗浄媒体４の間に空間を形成して壁面５１と洗浄媒体４との接触抵抗を低減させることができるとともに、溝２３内を循環用気流が流れることにより洗浄媒体４を効率よく運搬して大量の洗浄媒体４を運搬することができる。また、複数の溝２３により循環用気流を整流させて乱流が発生しにくくなり気流の力が減衰しにくく効率的に洗浄媒体４を運搬して飛翔させることができ、洗浄効率をより向上することができる。この溝２３の高さは気流が通過できれば良く、例えば0.1ｍｍから１ｍｍ程度にすると、容易に加工することができる。

また、洗浄槽５の循環用気流の循環経路を形成する壁面５１を、図１３（ｂ）に示すように、凹形状の湾曲面に形成しても良い。このように循環経路を形成する壁面５１を凹形状の湾曲面に形成することにより循環用気流が拡散することを防いで、大量の洗浄媒体４を効率よく運搬して、大量の洗浄媒体４を洗浄槽５内に飛散させて洗浄効率を高めることができる。

さらに、図１４（ａ），（ｂ）に示すように、循環用気流の循環経路を形成する洗浄槽５の上面や上部側面に、洗浄媒体４を洗浄媒体加速手段７の方へ導く気流整流手段２４を設けると良い。このように循環用気流の循環経路に気流整流手段２４を設けることにより、洗浄媒体４を洗浄媒体加速手段７と洗浄対象物２の間に大量に飛散させることができ、洗浄効果を高めることができる。また、気流整流手段２４により流れ方向が変更された洗浄媒体４が洗浄対象物２に直接衝突して洗浄することもできる。この気流整流手段２４は洗浄対象物２の形状や位置により気流の流れを変える角度を調整するようにすると良い。

また、洗浄槽５をほぼ直方体に形成せずに、図１５（ａ），（ｂ）に示すように、洗浄槽５の底部に開口を有する傾斜面５２を設け、この傾斜面５２に洗浄媒体再生手段８を設け、傾斜面５２の下端部に循環用気流発生手段６を設け、循環用気流発生手段６から傾斜面５２に沿って循環用気流を流すようにしても良い。このように構成すると、洗浄媒体４が洗浄対象物２に衝突して粉塵３を除去した後、洗浄媒体再生手段８の分離部材８１の上に落ちたとき、循環用気流発生手段６の吐出口６５の近傍に集まり易く、集まった洗浄媒体４に対して循環用気流発生手段６から循環用気流を発生して洗浄媒体４を運搬することにより、少ない圧縮空気の供給量で大量の洗浄媒体４を運搬することができ、省エネルギー化を図ることができる。また、洗浄媒体４を集める場所として洗浄媒体再生手段８の設置場所を使用することにより、洗浄媒体４の再生時間を長く取ることができ、洗浄媒体４の再生効率を高めることができる。

また、前記説明では循環用気流発生手段６を洗浄槽５に１個設けた場合について説明したが、図１６に示すように、洗浄槽５の両側壁の底部近傍に２つの循環用気流発生手段６ａ，６ｂを洗浄媒体再生手段８の分離部材８１を挟んで対称に配置しても良い。図１６においては、２つの循環用気流発生手段６ａ，６ｂを洗浄槽５の外部に配置し、吐出口６５を洗浄槽５の下部に設け、吸引口６１はダクトホース２５を介して洗浄槽５の上部に連結する。この場合、制御装置１２は、図１７のブロック図に示すように、気流循環用電磁弁１４と加速用電磁弁１５と加速気流切替制御弁１６と再生用電磁弁１７とともに、図１８の配管系統図に示すように、循環用気流発生手段６ａ，６ｂに供給する圧縮空気を切り替える循環気流切替制御弁２６の動作も制御する。そして洗浄槽５内に循環用気流を発生して洗浄媒体４を飛翔させるとき、制御装置１２で循環気流切替制御弁２６を制御して循環用気流発生手段６ａ，６ｂから交互に循環用気流を発生することにより、洗浄槽４内で洗浄媒体５が溜まって滞留しやすい個所をなくして、洗浄槽５内の洗浄媒体４を有効に洗浄に用いることができ、洗浄媒体４が洗浄対象物２に衝突する頻度が増して効率的に洗浄することができる。また、吸引口６１をダクトホース２５を介して洗浄槽５の上部に連結することにより、洗浄槽５内に上昇気流を発生させることができ、洗浄媒体４の滞空時間を長くして浮遊している洗浄媒体の量を増加し、加速ノズル７１ａ，７１ｂから噴出する圧縮空気により洗浄対象物２に衝突する洗浄媒体２の数を増やして洗浄能力を向上させることができる。また、吸引口６１をダクトホース２５を介して洗浄槽５に連結しても、ダクトホース２５は洗浄媒体の空間密度が小さい洗浄槽５の上側に連結しているから、吸引された洗浄媒体４によりダクトホース２５や循環用気流発生手段６ａ，６ｂが詰まることを防ぐことができる。

また、前記説明では洗浄槽５に洗浄媒体再生手段８を１個設けた場合について説明したが、洗浄媒体再生手段８を複数個、例えば図１９に示すように、洗浄槽５の底部に設けた洗浄媒体再生手段８のほかに洗浄媒体加速手段７のアレイ状の加速ノズル７１ａ，７１ｂの上下に洗浄媒体再生手段８ａ〜８ｄを設けても良い。この場合、制御装置１２は、図２０のブロック図に示すように、気流循環用電磁弁１４と加速用電磁弁１５と加速気流切替制御弁１６と再生用電磁弁１７と循環気流切替制御弁２６とともに、図２１の配管系統図に示すように、洗浄媒体再生手段８に対する吸引を切り替える吸引気流切替制御弁２７と、洗浄槽５の表面に設けた洗浄媒体再生手段８ａ，８ｂと裏面に設けた洗浄媒体再生手段８ｃ，８ｄに対する吸引を切り替える吸引気流切替制御弁２８の動作も制御する。そして、図２２に示すように、洗浄槽５の表面に設けた加速ノズル７１ａから圧縮空気を噴出して洗浄対象物２を洗浄するとき、制御装置１２は吸引気流切替制御弁２７を洗浄媒体再生手段８に接続するとともに、吸引気流切替制御弁２８を裏面に設けた洗浄媒体再生手段８ｃ，８ｄに接続し、洗浄槽５の裏面に設けた加速ノズル７１ｂから圧縮空気を噴出して洗浄対象物２を洗浄するとき、吸引気流切替制御弁２８を表面に設けた洗浄媒体再生手段８ａ，８ｂに接続する。このように加速ノズル７１ａから噴出する圧縮空気により舞い上がった粉塵３や洗浄媒体４を洗浄媒体再生手段８ｃ，８ｄに吸い寄せる。この粉塵３や洗浄媒体４を洗浄媒体再生手段８ｃ，８ｄに吸い寄せるとき、洗浄媒体再生手段８ｃ，８ｄの吸引流に加えて加速ノズル７１ａからの気流が粉塵３や洗浄媒体４に作用するから、洗浄媒体再生手段８ｃ，８ｄの分離部材８１のメッシュ部における流速を飛躍的に増大することができ、洗浄媒体４に付着している粉塵３の除去能力を非常に高くすることができ、洗浄媒体４を確実に再生することができる。また、加速ノズル７１ａからの圧縮空気の噴出を停止した後、一定タイミングをおいて洗浄媒体再生手段８ｃ，８ｄの吸引を停止して、洗浄媒体再生手段８ｃ，８ｄに吸引された洗浄媒体４を洗浄媒体再生手段８ｃ，８ｄから確実に離すことができる。

また、舞い上がった洗浄媒体４が加速ノズル７１ａ，７１ｂで加速されずに落下してしまう無駄をなくして加速ノズル７１ａ，７１ｂから圧縮空気を噴出しているときに加速ノズル７１ａ，７１ｂと洗浄対象物２の間に大量の洗浄媒体４を供給することができ、洗浄効率を向上することができる。すなわち薄片状の洗浄媒体４を洗浄対象物２に衝突させて洗浄する場合、洗浄品質は洗浄媒体４が所定以上の速度で洗浄対象物２に衝突する頻度にほぼ比例する。したがって洗浄媒体４の供給量が増えれば洗浄品質を向上させるとともに洗浄時間を短縮することができ消費エネルギーを低減することができる。

また、加速ノズル７１ａ，７１ｂと洗浄媒体再生手段８ａ〜８ｄを使用して粗洗浄を行ってから洗浄媒体４を使用した洗浄を行うこともできる。このように粗洗浄を行う場合の動作を図２３のタイムチャートを参照して説明する。

洗浄槽５に薄片状の洗浄媒体４を投入して洗浄媒体再生手段８の分離部材８１の上に積み上げた状態でワーク保持手段２０に保持された洗浄対象物２をワーク移動手段２１で洗浄槽５の被洗浄体投入口９から投入して初期位置に位置決めし、被洗浄体投入口９を蓋１０で閉じて洗浄槽５を密閉する。この状態で起動手段１３を操作して制御装置１２に洗浄開始信号が入力されると、制御装置１２は加速用電磁弁１５を開にして加速気流切替制御弁１６を一定周期で切り替えて加速ノズル７１ａ，７１ｂから圧縮空気を交互に噴出させ、加速ノズル７１ａ，７１ｂからの圧縮空気の噴出の切り替えに同期して加圧気流切替制御弁１６を切り替えて圧縮空気が噴出している加速ノズル７１ａ，７１ｂと対向する面に設けられた洗浄媒体再生手段８ａ，８ｂと洗浄媒体再生手段８ｃ，８ｄの吸引を切り替える。すなわち洗浄槽５の表面に設けた加速ノズル７１ａから圧縮空気を噴出しているとき、洗浄槽５の裏面に設けた洗浄媒体再生手段８ｃ，８ｄで吸引を行う。この動作により加速ノズル７１ａから噴出した圧縮空気が洗浄対象物２に当たり、洗浄対象物２に付着している付着力の弱い汚れや粉塵３は大半除去され、洗浄対象物２は粗洗浄される。その後、循環用気流発生手段６から循環用気流を発生させて、洗浄媒体再生手段８の分離部材８１上に堆積している洗浄媒体４を運搬して飛翔させ、飛翔している洗浄媒体４による洗浄を行う。この飛翔している洗浄媒体４による洗浄が終了すると、再び加速ノズル７１ａ，７１ｂから圧縮空気を交互に噴出させ、加速ノズル７１ａ，７１ｂからの圧縮空気の噴出の切り替えに同期して加圧気流切替制御弁１６を切り替えて圧縮空気が噴出している加速ノズル７１ａ，７１ｂと対向する面に設けられた洗浄媒体再生手段８ａ，８ｂと洗浄媒体再生手段８ｃ，８ｄの吸引を切り替え、洗浄対象物２に静電気で付着した洗浄媒体４を払い落としして洗浄動作を終了して洗浄槽５の蓋１０を開きワーク保持手段１８に保持された洗浄対象物２をワーク移動手段１９で洗浄槽５から取り出し、新しい洗浄対象物２と交換して再び洗浄動作を開始する。このように粗洗浄や洗浄媒体４の払い落とし動作を行うことにより、洗浄速度と洗浄品質を向上することができる。

前記説明では洗浄媒体再生手段８ａ〜８ｄを洗浄槽５の表面と裏面に設けた場合について説明したが、図２４に示すように、洗浄槽５の底部にＶ字形に交差して２つの開口を有する傾斜面５２ａ，５２ｂを設け、この傾斜面５２ａ，５２ｂにそれぞれ洗浄媒体再生手段８を設け、傾斜面５２ａ，５２ｂの下端部に循環用気流発生手段６ａ，６ｂを設け、循環用気流発生手段６ａ，６ｂから傾斜面５２ａ，５２ｂに沿って交互に循環用気流を流すようにしても良い。この場合も循環用気流の循環経路を形成する洗浄槽５の上面や上部側面に、洗浄媒体４を洗浄媒体加速手段７の方へ導く気流整流手段２４を設けると良い。

このように洗浄媒体４を飛翔させ、飛翔している洗浄媒体４を洗浄対象物２に衝突させて洗浄しているとき、洗浄媒体４は洗浄対象物２に対する衝突により破損して洗浄媒体再生手段８の分離部材８１に有するメッシュ部を通って集塵装置１９に排出され、洗浄槽５内の洗浄媒体４が減少してくる。洗浄槽５内の洗浄媒体４が減少して洗浄槽５内の飛散料が少なくなると洗浄効果が低減する。また、複数の洗浄対象物２をワーク保持手段２０で保持して洗浄槽５に投入して洗浄する場合も有る。そこで、図２５に示すように、洗浄槽５内に洗浄媒体飛翔量計測手段２９を設け、加速ノズル７１ａ，７１ｂを挟んで上下に一定間隔を置いて洗浄対象物検知手段３０ａ，３０ｂを設けると良い。洗浄媒体飛翔量計測手段２９は、例えば図２６に示すように、光軸が洗浄媒体４の循環方向に対して直交するように配置された光電センサ２９１を使用し、洗浄対象物検知手段３０ａ，３０ｂは、例えば投受光部３０１と反射板３０２を有する光電センサからなり、投受光部３０１は洗浄媒体４が干渉しないように洗浄槽５の表面又は裏面に透明窓を介して取り付けられ、反射板３０２は投受光部３０１と反対側の内壁面に取り付けられ、光軸が洗浄槽５を横切るように配置されている。この洗浄媒体飛翔量計測手段２９と洗浄対象物検知手段３０ａ，３０ｂは、図２７のブロック図に示すように制御装置１２に接続されている。制御装置１２は媒体飛翔量計測手段２９である光電センサ２９１の光軸が遮断された数を計測して一定時間における洗浄媒体４の飛翔量を定量化し、洗浄対象物検知手段３０ａ，３０ｂのいずれか一方で洗浄対象物２を検知したときに洗浄動作を制御する。

この洗浄媒体飛翔量計測手段２９と洗浄対象物検知手段３０ａ，３０ｂを洗浄槽５に設けた場合の洗浄動作を図２８のタイムチャートを参照して説明する。

図２５に示すように、複数の洗浄対象物２をワーク保持手段１８で保持して洗浄槽５に投入した後、洗浄開始信号が入力すると循環用気流発生手段６から循環用気流を発生させて洗浄媒体再生手段８の上に堆積している洗浄媒体４を運搬して洗浄槽５内に飛散させる。この飛散している洗浄媒体４の量を媒体飛翔量計測手段２９である光電センサ２９１で検出して制御装置１２に入力する。制御装置１２は入力した洗浄媒体４の一定時間の飛散量とあらかじめ設定された閾値と比較し、洗浄媒体４の飛散量が閾値を超えている場合は洗浄動作を開始する。また、洗浄媒体４の飛散量が閾値以下の場合は洗浄媒体不足の警報を発生して洗浄動作を停止する。その後、洗浄媒体４をホッパー等から一定量あるいは不足量だけ補給されて再び洗浄開始信号が入力して洗浄媒体４を飛散させたとき洗浄媒体４の飛散量が閾値を超えたら洗浄動作を開始する。

このように洗浄媒体４の飛散量を検出して一定量を超える洗浄媒体４を使用して洗浄を行うから、良好な洗浄品質で洗浄を行うことができる。また、洗浄対象物２に衝突する洗浄媒体４の量は洗浄媒体４の飛散量に比例する。そこで制御装置１２は洗浄媒体２の一定時間毎の飛散量から洗浄品質を評価することもできる。さらに、洗浄媒体２の飛散量の変化を記録しておくことにより、洗浄品質を洗浄能力を正確に定量化することができる。

洗浄動作を開始すると、ワーク移動手段１９で複数の洗浄対象物２をワーク保持手段１８を上から下に移動し、最初の洗浄対象物２が加速ノズル７１ａ，７１ｂの上に配置された洗浄対象物検知手段２９ａの光軸をさえぎる位置に到達して洗浄対象物検知手段２９ａから洗浄対象物検知信号が制御装置１２に入力すると、制御装置１２は洗浄対象物２の移動速度及び洗浄対象物検知手段３０ａと加速ノズル７１ａ，７１ｂとの距離から洗浄対象物２が加速ノズル７１ａ，７１ｂの位置に到達する時間遅れを加えたタイミングで一方の加速ノズル７１ａからの圧縮空気の噴出と洗浄媒体再生手段８の吸引動作のタイミングを決定し、そのタイミングで循環用気流を停止させ、加速ノズル７１ａから圧縮空気を噴出させ、洗浄媒体再生手段８の吸引を開始して最初の洗浄対象物の洗浄を行う。この状態で洗浄対象物検知手段３０ａから洗浄対象物検知信号が入力しなくなると、制御装置１２は洗浄対象物２の移動速度及び洗浄対象物検知手段３０ａと加速ノズル７１ａ，７１ｂとの距離から洗浄対象物２が加速ノズル７１ａ，７１ｂの位置に到達する時間遅れを加えたタイミングで加速ノズル７１ａからの圧縮空気噴出と洗浄媒体再生手段８の吸引を停止し、循環用気流発生手段６から循環用気流を発生させる。この制御を洗浄対象物検知手段３０ａから洗浄対象物検知信号が入力するたびに繰り返して複数の洗浄対象物２を順次洗浄する。洗浄対象物２が折り返し位置に達して上昇を開始すると、制御装置１２は加速ノズル７１ａ，７１ｂの下に配置された洗浄対象物検知手段３０ｂから洗浄対象物検知信号が入力するたびに前記制御を繰り返して加速ノズル７１ｂから圧縮空気を噴射させて、複数の洗浄対象物２の全面を洗浄する。

このように洗浄対象物２の位置に応じて圧縮空気を大量に消費する加速ノズル７１ａ，７１ｂから圧縮空気を噴射するから圧縮空気の使用量を低減して省エネルギーを図ることができる。

前記説明では媒体飛翔量計測手段２９として光電センサ２９１を使用した場合について説明したが、力センサにより洗浄対象物２に対する洗浄媒体４の衝撃力を積算する方法、加重センサを用いたプロセス終了時における重量計測、距離センサ等を用いた洗浄槽５の底部の堆積量計測方法などを使用しても良い。この洗浄媒体４の衝撃力を積算する場合は、積算した衝撃回数から洗浄品質を評価することができる。

また、図２９に示すように、ワーク移動手段１９とワーク保持手段１８の間に、モータやエアシリンダ等でワーク保持手段１８を長手方向の軸回りに回転させるワーク姿勢変更手段３１を設け、洗浄槽５の循環用気流を形成する一方の側面に洗浄媒体加速手段７としてアレイ状の複数の加速ノズル７１を複数組、例えば３組設け、各加速ノズル７１の噴射方向が例えば水平方向と上下方向に異なるように配置しても良い。そしてワーク保持手段１８で保持して洗浄槽５に投入した洗浄対象物２をワーク姿勢変更手段３１で回転させながら上下方向に移動して複数組の加速ノズル７１からの圧縮空気の噴射を交互に切り替えて洗浄対象物２を洗浄する。このように洗浄対象物２を回転しながら上下方向に移動して異なる方向から圧縮空気を噴射することにより、複雑な形状の洗浄対象物２の全面を確実に洗浄することができる。

この発明の乾式洗浄装置の構成図である。薄片状の洗浄媒体で洗浄対象物に付着した粉塵等を除去する状態を示す模式図である。洗浄槽の形状を示す断面図である。循環用気流発生手段の構成を示す断面図である。洗浄媒体再生手段の構成図である。乾式洗浄装置の駆動制御部の構成を示すブロック図である。乾式洗浄装置の駆動部の配管系統図である。乾式洗浄装置の洗浄動作を示すタイムチャートである。洗浄媒体再生手段に積層された洗浄媒体を循環用気流で運搬する状態を示す模式図である。積層された洗浄媒体を循環用気流で運搬する比較例を示す模式図である。洗浄対象物の洗浄動作を示す工程図である。洗浄媒体加速手段の加速ノズルから噴出する気流で洗浄媒体を洗浄対象物に衝突させる状態を示す模式図である。循環用気流の循環経路を形成する洗浄槽の内壁面の構成図である。循環用気流の循環経路に気流整流手段を設けた洗浄槽の断面図である。底部に傾斜面を設けた洗浄槽の断面図である。第２の乾式洗浄装置の構成図である。第２の乾式洗浄装置の駆動制御部の構成を示すブロック図である。第２の乾式洗浄装置の駆動部の構成を示すブロック図である。第３の乾式洗浄装置の構成図である。第３の乾式洗浄装置の駆動制御部の構成を示すブロック図である。第３の乾式洗浄装置の駆動部の構成を示すブロック図である。第３の乾式洗浄装置で洗浄媒体を洗浄対象物に衝突させる状態を示す模式図である。粗洗浄動作と払い落とし動作を含む洗浄動作のタイムチャートである。第４の乾式洗浄装置の構成図である。洗浄媒体飛翔量計測手段と洗浄対象物検知手段を有する第５の乾式洗浄装置の概要を示す構成図である。洗浄媒体飛翔量計測手段を構成する光電センサの構成図である。洗浄媒体飛翔量計測手段と洗浄対象物検知手段を有する乾式洗浄装置の駆動制御部の構成を示すブロック図である。第５の乾式洗浄装置の動作を示すタイムチャートである。第６の乾式洗浄装置の構成図である。

符号の説明

１；乾式洗浄装置、２；洗浄対象物、３；トナー等の各種粉塵、４；洗浄媒体、
５；洗浄槽、６；循環用気流発生手段、７；洗浄媒体加速手段、７１；加速ノズル、
８；洗浄媒体再生手段、８１；分離部材、８２；フード、１１；吸引管、
１２；制御装置、１３；起動手段、１４；気流循環用電磁弁、１５；加速用電磁弁、
１６；加速気流切替制御弁、１７；再生用電磁弁、１８；加圧気体供給装置、
１９；集塵機、２０；ワーク保持手段、２１；ワーク移動手段、２３；溝、
２４；気流整流手段、２５；ダクトホース、２６；循環気流切替制御弁、
２７，２８；吸引気流切替制御弁、２９；洗浄媒体飛翔量計測手段、
３０；洗浄対象物検知手段、３１；ワーク姿勢変更手段。

Claims

洗浄槽内に高速気流を発生して前記洗浄槽に収容した薄片状の可撓性洗浄媒体を飛翔させる循環用気流発生手段と、前記飛翔した前記洗浄媒体を高速気流により洗浄対象物に衝突させて洗浄対象物に付着した塵や粉体の付着物を除去する洗浄媒体加速手段と、前記洗浄対象物に衝突した前記洗浄媒体に付着した付着物を吸引して除去して前記洗浄媒体を再生する洗浄媒体再生手段とを備えた乾式洗浄装置であって、
前記循環用気流発生手段は、前記洗浄槽の壁面に沿って流れる循環用気流を発生することを特徴とする乾式洗浄装置。
請求項１記載の乾式洗浄装置において、
前記循環用気流発生手段を１又は複数有することを特徴とする乾式洗浄装置。
請求項１又は２記載の乾式洗浄装置において、
前記循環用気流発生手段は、前記洗浄媒体再生手段に堆積した前記洗浄媒体の面に沿って流れる循環用気流を発生することを特徴とする乾式洗浄装置。
請求項１乃至３のいずれかに記載の乾式洗浄装置において、
前記洗浄槽の循環用気流が沿って流れる壁面には、循環用気流の流れ方向に沿った複数の溝を有することを特徴とする乾式洗浄装置。
請求項１乃至３のいずれかに記載の乾式洗浄装置において、
前記洗浄槽の循環用気流が沿って流れる壁面には、循環用気流の流れ方向に沿った凹形状の湾曲面を有することを特徴とする乾式洗浄装置。
請求項１乃至５のいずれかに記載の乾式洗浄装置において、
前記洗浄槽の循環用気流の循環経路を形成する壁面の角部を円弧状又は一定の角度以上で連結したことを特徴とする乾式洗浄装置。
請求項１乃至５のいずれかに記載の乾式洗浄装置において、
前記洗浄槽の底部に前記洗浄媒体再生手段を有する傾斜面を有し、前記傾斜面に沿う循環用気流を発生する前記循環用気流発生手段を前記傾斜面の下端部に設けたことを特徴とする乾式洗浄装置。
請求項１乃至５のいずれかに記載の乾式洗浄装置において、
前記洗浄槽の底部にＶ字状の前記洗浄媒体再生手段を有する傾斜面を有し、前記各傾斜面に沿う循環用気流を発生する前記循環用気流発生手段を前記各傾斜面の下端部にそれぞれ設けたことを特徴とする乾式洗浄装置。
請求項８記載の乾式洗浄装置において、
前記各傾斜面の下端部にそれぞれ設けた前記循環用気流発生手段を交互に動作させることを特徴とする乾式乾燥装置。
請求項１乃至９のいずれかに記載の乾式洗浄装置において、
前記洗浄槽に、前記循環用気流を前記洗浄媒体加速手段からの高速気流の噴出経路へ導く気流整流手段を有することを特徴とする乾式洗浄装置。
洗浄槽の壁面に堆積した薄片状の可撓性洗浄媒体を洗浄槽の壁面に沿って流れる循環用気流により運搬して飛翔させ、飛翔している前記洗浄媒体を高速気流により洗浄対象物に衝突させて、前記洗浄対象物に付着した塵や粉体の付着物を除去することを特徴とする乾式洗浄方法。
請求項１１記載の乾式洗浄方法であって、
前記洗浄槽に堆積した前記洗浄媒体の面と平行な流れの循環用気流を発生して、前記洗浄槽に堆積した前記洗浄媒体を運搬して飛翔させることを特徴とする乾式洗浄方法。
請求項１１又は１２記載の乾式洗浄方法であって、
前記洗浄槽に堆積した前記洗浄媒体を１個所に集めた後、前記循環用気流により前記洗浄槽の壁面に沿って運搬することを特徴とする乾式洗浄方法。